RU2126953C1 - Датчик перемещения - Google Patents
Датчик перемещения Download PDFInfo
- Publication number
- RU2126953C1 RU2126953C1 RU93004808A RU93004808A RU2126953C1 RU 2126953 C1 RU2126953 C1 RU 2126953C1 RU 93004808 A RU93004808 A RU 93004808A RU 93004808 A RU93004808 A RU 93004808A RU 2126953 C1 RU2126953 C1 RU 2126953C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- magnet
- axis
- polarity
- displacement sensor
- shaft
- Prior art date
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 abstract 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Датчик перемещения используется для измерения расположения вала в газовом контрольном модуле. Датчик перемещения содержит несколько чувствительных элементов Холла, выходы которых соединены с входами суммирующего усилителя, и ферромагнитный элемент, выполненный в виде полого цилиндра и расположенный с возможностью перемещения вдоль его оси. Внешняя поверхность ферромагнитного элемента является магнитным полюсом первой полярности, а внутренняя - второй полярности. Элементы Холла установлены на равном расстоянии друг от друга по окружности, расположенной в плоскости, перпендикулярной оси ферромагнитного элемента. Внешняя поверхность каждого элемента Холла расположена в плоскости, касательной к окружности, в точках которой расположены чувствительные элементы. 5 з.п. ф-лы, 3 ил.
Description
Изобретение относится к датчикам перемещения.
Типичной областью применения датчика перемещения является газовый модуль типа, описанного в европейской патентной заявке N 91 306159.4 (публикация N 0473264). В этой заявке описан клапан-хлопушка, который соединен посредством кабеля с валом обратной установки, несущем рукоятку. Датчик находит применение при измерении осевого перемещения этой рукоятки во время закрытия клапана-хлопушки.
Целью изобретения является создание датчика перемещения, на выходной сигнал которого не влияет вращение или смещение продольной оси такого вала или подобного ему элемента.
Датчик перемещения согласно изобретению содержит чувствительный элемент Холла и пустотелый цилиндрический магнит из ферромагнитного материала, расположенный с возможностью перемещения вдоль оси, и отличается тем, что содержит группу чувствительных элементов Холла и суммирующий усилитель для суммирования выходных напряжений всех чувствительных элементов Холла, установленных в точках по окружности, расположенной в плоскости, перпендикулярной оси перемещения магнита, равноугольно вокруг ее центра, внешняя поверхность каждого элемента Холла расположена в плоскости, касательной к окружности, в точках которой расположены чувствительные элементы, причем внешняя поверхность магнита является магнитным полюсом первой полярности, а внутренняя - второй полярности, а выходной сигнал суммирующего усилителя не зависит от бокового смещения или наклона магнита, или его вращения.
Предпочтительно датчик перемещения согласно изобретению дополнительно содержит пустотелый цилиндрический второй магнит из ферромагнитного материала, установленный с возможностью совместного с первым магнитом перемещения вдоль его оси, при этом внешняя поверхность второго магнита является магнитным полюсом второй полярности, а внутренняя поверхность второго магнита - магнитным полюсом первой полярности.
Предпочтительно имеется четыре чувствительных элемента в указанной группе, установленных в точках на указанной окружности, причем эти точки равноугольно расположены на указанной окружности.
Пример выполнения настоящего изобретения будет описан со ссылкой на прилагаемые чертежи, на которых:
фиг. 1 представляет собой вид сбоку датчика перемещения;
фиг. 2 - горизонтальное сечение по линии II-II на фиг. 1;
фиг. 3 - блок-схема, показывающая суммирование выходов датчиков, изображенных на фиг. 1 и 2.
фиг. 1 представляет собой вид сбоку датчика перемещения;
фиг. 2 - горизонтальное сечение по линии II-II на фиг. 1;
фиг. 3 - блок-схема, показывающая суммирование выходов датчиков, изображенных на фиг. 1 и 2.
Фиг. 1 изображает основные детали датчика перемещений, которыми являются пустотелый цилиндрический магнит 10 и подобный ему магнит 12, которые установлены на валу 14; магниты 10 и 12 могут перемещаться с валом 14 вдоль оси 16; и четыре датчика Холла 18, 20, 22, 24, образующие группу 26. Датчики Холла, имеющие код типа ЛОХЕТ 11, выпускаются фирмой Хониуэл Контрол Системз Лимитед, Компонентная Группа, Чарлз Сквер, Бренкнелл, Беркшир РЖ12 1ЭБ.
Чувствительные элементы 18-24 установлены через равноугольные интервалы в точках окружности с центром, совпадающим с осью 16. Чувствительные элементы 18-24 установлены на пластине 28, имеющей круглое отверстие 30, через которое могут проходить, оставляя зазор, магниты 10,12. Каждый из чувствительных элементов 18-24 размещен так, что он своей поверхностью лежит в плоскости, касательной к окружности, в точках которой расположены чувствительные элементы. Такое устройство используется всегда при любом количестве чувствительных элементов в ряду. Пластина 28 в случае перемещения датчика в газовом модуле устанавливается снаружи пространства, занимаемого находящимся под давлением газом над стойкой 14, показанной на фиг. 1 патентной публикации N 0473264. Вал 14 предназначен в настоящей заявке служить рукояткой обратной установки клапана-хлопушки. Когда клапан-хлопушка закрыт, то натягивает кабель, с помощью которого он связан с рукояткой. Во время закрытия клапан-хлопушка поднимается и передает это движение через кабель к рукоятке, то есть к валу 14, показанному на фиг. 1 и 2. Получающееся в результате перемещение вала 14 вниз измеряется датчиком.
Датчик создает на выходе непрерывный комбинированный сигнал, из которого могут быть получены длина хода вала 14, его скорость в любой точке на пути его перемещения и его ускорение в любой точке. Датчик может таким образом обнаруживать изменения этих параметров, которые указывают на наличие неисправности(тей) (вследствие засорения, например). В этом случае датчик работает как часть диагностической системы применительно к газовому модулю. Датчики Холла очень чувствительны к изменению расстояния от магнитов 10, 12. Однако чувствительные элементы не оказывают воздействия на вал 14 и поэтому не являются источником явлений, которые необходимо брать в расчет.
Вал 14 перемещается вверх идеально вдоль оси 16, которая расположена перпендикулярно плоскости окружности, на которой размещены чувствительные элементы 18-24 и которая проходит через центр окружности. Однако на практике ось перемещения подвержена смещению, например, типичным является угловое смещение, равнозначное наклону, хотя вообще при проектировании датчика учитывается либо наклон, либо смещение, параллельное идеальному положению, показанному позицией 16.
Магнит 10 состоит из отрезка упругого ферритового материала, поставляемого под кодом типа ТПФФ00865 фирмой Магнетик Девелойхетс Лимитед Подразделение 17, Хайворт Индастриал Парк, Хайворт, Свиндон, Вилтшир, CH6 7HA, Англия. Первоначально отрезок материала был плоским и намагничен так, что южный полюс был повсюду на одной стороне поверхности, а северный полюс был повсюду на обратной стороне. Эти стороны были большими сторонами отрезка материала, а малыми сторонами были четыре кромки отрезка. Отрезок материала очень гибкий и легко может быть загнут вокруг вала 14, образуя полую цилиндрическую форму, показанную позицией 10. Затем материал присоединялся к валу соответствующим клеем и затем покрывался защитной оболочкой, например, подверженной тепловой усадке. Изгиб отрезка материала был таков, что южный полюс находился повсюду на наружной цилиндрической поверхности 50 магнита. Северный полюс находился повсюду на внутренней поверхности 52 магнита.
Другой магнит 12 был изготовлен из того же материала, что и магнит 10. Однако изгиб в этом случае был таков, что северный полюс находился повсюду на наружной цилиндрической поверхности 54 магнита, а южный полюс был повсюду на внутренней поверхности, которую на чертеже не видно.
По мере того как южный полюс перемещается вниз, проходя мимо ряда 26 чувствительных элементов вдоль оси 16, сигналы отрицательного напряжения на выходе чувствительных элементов возрастают до максимума в средней точке южного полюса 10, а затем уменьшаются до нуля в месте соединения южного полюса 10 и северного полюса 12. При движении северного полюса вниз положительный выходной сигнал возрастает до максимума в средней точке северного полюса 10, а затем снова падает до нуля в верхнем крае северного полюса 12. В итоге получается выходной сигнал, имеющий форму одного цикла синусоидальной волны.
Напряжение на выходах чувствительных элементов 18-24 суммируется, как показано на фиг.3, при помощи устройства, которым в данном случае является суммирующий усилитель 60. Усилитель 60 дает объединенный выходной сигнал, который может быть линеаризован при необходимости. Однако при описываемом применении датчика его рабочим диапазоном является центральная часть упомянутой выше синусоидальной волны. Таким образом, выходной сигнал является приблизительно линейным, пропорционально представляющим движение магнитов 10, 12.
На общий выходной сигнал не влияет вращение вала 14. При вращении вала магнитное поле, действующее на датчики 18-24, остается равномерным, так что в итоге изменений на выходе не происходит.
Кроме того, на общий выходной сигнал не влияет смещение оси 16 или наклон оси 16. При наклоне вала 14 напряжение магнитного поля будет возрастать, воздействуя на чувствительные элементы, к которым он приближается, a воздействие напряжения поля на чувствительные элементы, от которых он удаляется, будет уменьшаться на ту же величину. В результате в общем выходном сигнале суммирующего усилителя 60 изменений не будет.
Выходной сигнал чувствительных элементов 18-24 может быть изменен посредством изменения расстояния между чувствительными элементами и магнитами 10,12 на вале 14. Выходной сигнал также может быть изменен, если изменить длину вдоль оси 16 магнитного материала в магнитах 10, 12. Вал 16 может быть сделан из железного и/или нежелезного материала.
Хотя выше описаны четыре чувствительных элемента 18-20, их число может быть различным. Каково бы ни было их число, чувствительные элементы будут расположены в точках окружности. А также они будут равноугольно размещены вокруг центра окружности или группы чувствительных элементов будут равноугольно размещены.
Предпочтительно, чтобы было четное количество чувствительных элементов. Однако, это не существенно. Например, могут быть использованы три чувствительных элемента. Цель заключается в том, чтобы компенсировать наклон или смещение в сторону оси 16, а также обеспечить вращение магнитов 10, 12, так чтобы на выходе образовался обобщенный сигнал, при любых условиях независимый от наклона или смещения в сторону, или от вращения магнитов 10, 12.
Хотя выше описаны два магнита, можно использовать только один магнит. Рабочий диапазон модифицированного таким образом датчика составил бы только половину диапазона датчика с двумя магнитами.
Claims (6)
1. Датчик перемещения, содержащий чувствительный элемент Холла и пустотелый цилиндрический магнит из ферромагнитного материала, расположенный с возможностью перемещения вдоль оси, отличающийся тем, что содержит группу чувствительных элементов Холла и суммирующий усилитель для суммирования выходных напряжений всех чувствительных элементов Холла, установленных в точках по окружности, расположенной в плоскости, перпендикулярной оси перемещения магнита равноугольно вокруг ее центра, внешняя поверхность каждого элемента Холла расположена в плоскости, касательной к окружности, в точках которой расположены чувствительные элементы, причем внешняя поверхность магнита является магнитным полюсом первой полярности, а внутренняя - второй полярности, а выходной сигнал суммирующего усилителя не зависит от бокового смешения, или наклона магнита, или его вращения.
2. Датчик перемещения по п.1, отличающийся тем, что магнит выполнен из ферромагнитного материала, являющегося упругим.
3. Датчик перемещения по п.1 или 2, отличающийся тем, что магнит установлен на валу.
4. Датчик перемещения по п.1, отличающийся тем, что дополнительно содержит пустотелый цилиндрический второй магнит из ферромагнитного материала, установленный с возможностью совместного с первым магнитом перемещения вдоль его оси, при этом внешняя поверхность второго магнита является магнитным полюсом второй полярности, а внутренняя поверхность второго магнита - магнитным полюсом первой полярности.
5. Датчик перемещения по п.4, отличающийся тем, что каждый магнит выполнен из ферромагнитного материала, являющегося упругим.
6. Датчик перемещения по п.4 или 5, отличающийся тем, что магниты установлены на валу.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB9205511A GB2265010B (en) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | Motion transducer |
GB9205511.0 | 1992-03-13 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU93004808A RU93004808A (ru) | 1995-11-20 |
RU2126953C1 true RU2126953C1 (ru) | 1999-02-27 |
Family
ID=10712077
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU93004808A RU2126953C1 (ru) | 1992-03-13 | 1993-03-12 | Датчик перемещения |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5399967A (ru) |
EP (1) | EP0561524B1 (ru) |
JP (1) | JP2500253B2 (ru) |
CA (1) | CA2092656C (ru) |
DE (1) | DE69312356T2 (ru) |
ES (1) | ES2104050T3 (ru) |
GB (1) | GB2265010B (ru) |
RU (1) | RU2126953C1 (ru) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2310495A (en) * | 1996-02-22 | 1997-08-27 | Ronald Ayre Shaw | Displacement sensor imposing zero force |
US5850142A (en) * | 1997-04-03 | 1998-12-15 | Measurement Systems, Inc. | Control device having a magnetic component with convex surfaces |
US6411081B1 (en) * | 2000-02-10 | 2002-06-25 | Siemens Ag | Linear position sensor using magnetic fields |
US6545465B1 (en) | 2000-06-14 | 2003-04-08 | Syron Engineering & Manufacturing Corporation | Gripper with coiled sensor wire |
DE10108732A1 (de) * | 2001-02-23 | 2002-09-05 | Philips Corp Intellectual Pty | Vorrichtung mit einem magnetischen Positionssensor |
JP4446377B2 (ja) | 2004-04-08 | 2010-04-07 | 株式会社小松製作所 | 変位センサ |
US7757579B2 (en) * | 2004-08-30 | 2010-07-20 | Sauer-Danfoss Inc. | Joystick device with redundant sensor processing |
US8089459B2 (en) * | 2005-06-06 | 2012-01-03 | Measurement Systems, Inc. | Manual control device including a magnetoresistive sensor element |
EP2179456B1 (en) * | 2007-06-21 | 2015-09-23 | Mason Electric Co. | Hall effect system |
KR101235966B1 (ko) * | 2008-07-29 | 2013-02-21 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 자기식 위치센서 |
FR2981745B1 (fr) * | 2011-10-25 | 2014-08-08 | Sc2N Sa | Capteur destine a detecter le deplacement d'un objet mobile par rapport a un autre objet |
JP6015776B2 (ja) | 2013-01-10 | 2016-11-02 | 村田機械株式会社 | 変位センサ及び変位の検出方法 |
CN103424132B (zh) * | 2013-08-22 | 2015-10-28 | 浙江大学 | 一种三维空间磁编码器 |
US10918348B2 (en) | 2015-10-21 | 2021-02-16 | Micro-X Limited | Articulated arm for suspending an x-ray head |
JP6725391B2 (ja) | 2016-10-12 | 2020-07-15 | 富士フイルム株式会社 | 移動型放射線発生装置 |
CN109643141B (zh) * | 2017-02-28 | 2020-12-25 | 株式会社小松制作所 | 操作杆 |
US10443749B2 (en) * | 2017-12-20 | 2019-10-15 | Fisher Jeon Gas Equipment (Chengdu) Co., Ltd. | Slam-shut safety device with an operational feedback system |
CN110793430B (zh) * | 2019-12-23 | 2020-05-05 | 峰岹科技(深圳)有限公司 | 绝对电角度检测方法、系统及计算机可读存储介质 |
CN114812367B (zh) * | 2022-04-26 | 2024-09-24 | 北京特倍福电子技术有限公司 | 一种非接触的外置式磁感应直线位移测量方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3205485A (en) * | 1960-10-21 | 1965-09-07 | Ti Group Services Ltd | Screening vane electro-mechanical transducer |
DE1473854A1 (de) * | 1964-01-11 | 1969-02-06 | Siemens Ag | Verfahren zur kontinuierlichen Abstandsueberwachung rotierender Antriebswellen |
US3500091A (en) * | 1968-04-18 | 1970-03-10 | Kelsey Hayes Co | Electrical rotational speed sensing device |
DE2945895C2 (de) * | 1979-11-14 | 1986-06-05 | Festo-Maschinenfabrik Gottlieb Stoll, 7300 Esslingen | Magnetischer Stellungsgeber für hydrauliche oder pneumatische Arbeitszylinder |
JPS6344730Y2 (ru) * | 1980-08-29 | 1988-11-21 | ||
JPS60209102A (ja) * | 1984-03-21 | 1985-10-21 | Nec Corp | リニア磁気スケ−ル |
DE8612317U1 (de) * | 1986-05-05 | 1987-09-03 | KMK-Sensortechnik GmbH & Co, 8122 Penzberg | Druckaufnehmer |
JPS63122902A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-26 | Ckd Controls Ltd | 移動体の位置確認装置 |
JPH01131115U (ru) * | 1988-03-01 | 1989-09-06 | ||
US4825157A (en) * | 1988-05-16 | 1989-04-25 | Mikan Peter J | Hall-effect controller |
DE4036703A1 (de) * | 1990-11-17 | 1992-05-21 | Bilstein August Gmbh Co Kg | Verfahren zum messen der relativgeschwindigkeit und des ein- und ausfahrhubes bei einem schwingungsdaempfer fuer kraftfahrzeuge |
-
1992
- 1992-03-13 GB GB9205511A patent/GB2265010B/en not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-03-01 DE DE69312356T patent/DE69312356T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-03-01 EP EP93301565A patent/EP0561524B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-03-01 ES ES93301565T patent/ES2104050T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1993-03-10 JP JP5049351A patent/JP2500253B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1993-03-12 CA CA002092656A patent/CA2092656C/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-03-12 RU RU93004808A patent/RU2126953C1/ru active
- 1993-03-15 US US08/031,359 patent/US5399967A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69312356T2 (de) | 1998-02-19 |
EP0561524B1 (en) | 1997-07-23 |
JP2500253B2 (ja) | 1996-05-29 |
JPH0626805A (ja) | 1994-02-04 |
GB2265010B (en) | 1995-08-09 |
CA2092656C (en) | 1996-12-24 |
CA2092656A1 (en) | 1993-09-14 |
GB9205511D0 (en) | 1992-04-29 |
DE69312356D1 (de) | 1997-08-28 |
EP0561524A1 (en) | 1993-09-22 |
ES2104050T3 (es) | 1997-10-01 |
GB2265010A (en) | 1993-09-15 |
US5399967A (en) | 1995-03-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2126953C1 (ru) | Датчик перемещения | |
US6201389B1 (en) | Device for determining the angular position of a rotating shaft | |
KR101716731B1 (ko) | 자기장 방향 측정장치 및 플럭스 컬렉터를 갖는 자기 위치 센서 | |
US5444370A (en) | Magnetic angular position sensor with two magnetically sensitive components arranged proximate two target tracks having complimentary magnetic and nonmagnetic segments | |
US5341097A (en) | Asymmetrical magnetic position detector | |
US5159268A (en) | Rotational position sensor with a Hall effect device and shaped magnet | |
US5026178A (en) | Sensor bearings for determining rotational speed and/or angle of torsion | |
EP0578299B1 (en) | Magnetic position sensor with variable area coupling | |
US4732494A (en) | Bearing or roller bearing with data sensor | |
US8970210B2 (en) | Bidirectional magnetic position sensor having field rotation | |
US5497082A (en) | Quadrature detector with a hall effect element and a magnetoresistive element | |
US20020118011A1 (en) | Linear and radial displacement sensor | |
EP2952857A2 (en) | Absolute magnetic rotating encoder | |
US7049808B2 (en) | Apparatus for sensing angular position | |
JP4903586B2 (ja) | 磁気角度位置センサー | |
US4334166A (en) | Rotary magnetic sensor | |
CN1318822C (zh) | 码盘 | |
KR20000070595A (ko) | 회전각도를 접촉없이 감지할 수 있는 측정장치 | |
KR20000057320A (ko) | 와전류 측정 기구 | |
KR100458235B1 (ko) | 각도 검출기 | |
Bratland et al. | Linear position sensing using magnetoresistive sensors | |
RU2110045C1 (ru) | Датчик угловых перемещений | |
CN110873581A (zh) | 量测旋转轴偏摆与角度位置的磁性编码器及其装置 | |
CN110873585A (zh) | 格栅编码器及其装置 | |
JPH07128053A (ja) | 傾斜センサ |