[go: up one dir, main page]

RU2035721C1 - Method of checking transparency of flat light-translucent materials - Google Patents

Method of checking transparency of flat light-translucent materials Download PDF

Info

Publication number
RU2035721C1
RU2035721C1 SU5042287A RU2035721C1 RU 2035721 C1 RU2035721 C1 RU 2035721C1 SU 5042287 A SU5042287 A SU 5042287A RU 2035721 C1 RU2035721 C1 RU 2035721C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
transparency
light
test material
paper
illuminated
Prior art date
Application number
Other languages
Russian (ru)
Inventor
П.Г. Шляхтенко
О.М. Суриков
А.В. Сергеев
Original Assignee
Шляхтенко Павел Григорьевич
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Шляхтенко Павел Григорьевич filed Critical Шляхтенко Павел Григорьевич
Priority to SU5042287 priority Critical patent/RU2035721C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2035721C1 publication Critical patent/RU2035721C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

FIELD: measurement technology. SUBSTANCE: material tested is illuminated by two identical parallel light beams at normal to its surface during material transportation under production. Flat white non-transparent substrate is disposed under one illuminated parts at the side being opposite to the material. Black substrate is disposed under the other part. Light fluxes φw and φo, are indicated which are dissipated by one and other parts of material at opposite direction in identical small solid angles Ω oriented at identical angles v to each incident beam. Transparency of the material is judged from dc = φo,эw,эow, where φw,э and φo,э are light fluxes measured by the same method for standard sample of the same material with known transparency. EFFECT: improved precision of measurement. 6 dwg

Description

Изобретение относится к способам контроля физических параметров плоских светопропускающих материалов, например бумаги, и может быть использовано для непрерывного контроля качества бумажного полотна непосредственно в ходе технологического процесса его производства. The invention relates to methods for monitoring the physical parameters of flat light-transmitting materials, for example paper, and can be used for continuous quality control of a paper web directly during the manufacturing process of it.

Наиболее близким к заявляемому способу является принятый в отечественной бумажной промышленности стандартный метод измерения прозрачности, ГОСТ 8874-72, в соответствии с которым исследуемый образец бумаги освещают параллельным световым пучком нормально к его поверхности, последовательно измеряют световые потоки, рассеянные образцом в обратном направлении в случаях, когда с противоположной стороны от образца помещают либо плоскую непрозрачную белую, либо черную подложку, и по величине этих потоков по известной формуле рассчитывают прозрачность образца. Closest to the claimed method is the standard method for measuring transparency adopted in the domestic paper industry, GOST 8874-72, according to which the paper sample under investigation is illuminated normally with a parallel light beam to its surface, light fluxes scattered by the sample in the opposite direction are successively measured in cases when either a flat opaque white or black substrate is placed on the opposite side of the sample, and the prose is calculated using the known formula Sample cleanliness.

К недостаткам метода следует отнести выборочность, необходимость вырезания образцов, т.е. разрушения готовой продукции, длительность порядка 5 мин на одно измерение и, как следствие, невозможность применения метода для непрерывного контроля качества бумажного полотна непосредственно в ходе его производства для оперативного вмешательства в технологический процесс, тем более для целей его автоматизации. The disadvantages of the method include selectivity, the need to cut out samples, i.e. destruction of the finished product, the duration of the order of 5 minutes per measurement and, as a result, the inability to use the method for continuous quality control of the paper web directly during its production for operational intervention in the technological process, especially for its automation.

Изобретение позволяет повысить скорость измерений и создать способ, пригодный для непрерывного неразрушающего контроля качества бумажного полотна непосредственно в ходе технологического процесса производства светопропускающих материалов. The invention allows to increase the measurement speed and create a method suitable for continuous non-destructive testing of the quality of the paper web directly during the technological process of production of light-transmitting materials.

Это достигается тем, что исследуемый материал освещают двумя одинаковыми параллельными световыми пучками нормально к его поверхности последовательно по ходу протяжки материала в процессе его производства, причем под одним из освещаемых участков с противоположной стороны от материала помещают плоскую белую непрозрачную подложку, а под другим черную, регистрируют световые потоки Φω и Φo, рассеянные соответственно тем и другим участками материала в обратном направлении в одинаковых малых телесных углах Ω ориентированных под одинаковыми углами φ к каждому из падающих пучков, а о прозрачности исследуемого материала судят по величине разности
δχ

Figure 00000001
Figure 00000002
где Φω,э и Φ о, э аналогично измеренные световые потоки для эталонного образца того же материала известной прозрач- ности.This is achieved by the fact that the material under investigation is illuminated with two identical parallel light beams normally to its surface sequentially along the path of material drawing during its production, and a flat white opaque substrate is placed under one of the illuminated areas on the opposite side of the material, and black is recorded under the other, luminous fluxes Φ ω and Φ o scattered respectively by those and other sections of the material in the opposite direction in the same small solid angles Ω oriented at the same angles φ to each of the incident beams, and the transparency of the investigated material is judged by the difference
δχ
Figure 00000001
Figure 00000002
where Φ ω, e and Φ 0 , e are similarly measured light fluxes for a reference sample of the same material of known transparency.

На фиг. 1 представлена схема для контролля прозрачности плоских светопропускающих материалов; на фиг.2 представлен разрез А-А на фиг.1; на фиг.3 разрез Б-Б на фиг.1; на фиг.4 изображена лабораторная установка для осуществления предложенного способа; на фиг.5 показан график для определения прозрачности образца; на фиг.6 изображено устройство для контроля прозрачности образца, установленного непосредственно на выходе бумагоделательной машины. In FIG. 1 is a diagram for controlling the transparency of planar light-transmitting materials; figure 2 presents a section aa in figure 1; figure 3 section BB in figure 1; figure 4 shows a laboratory installation for implementing the proposed method; figure 5 shows a graph for determining the transparency of the sample; figure 6 shows a device for controlling the transparency of a sample installed directly at the output of a paper machine.

Исследуемый материал 1, например движущееся бумажное полотно (бумага), освещают двумя одинаковыми параллельными световыми пучками 2 и 3 нормально к его поверхности последовательно по ходу протяжки материала в процессе его производства. Направление вектора

Figure 00000003
скорости протяжки изображено на фиг.1 стрелкой, а на фиг.2 и 3 символом
Figure 00000004
(от наблюдателя). Под световым пучком 2 с противоположной стороны от материала помещают плоскую белую (рассеивающую) непоглощающую подложку 4 ("белый" участок материала), а под световым пучком 3 такую же черную подложку 5 поглощающую ("черный" участок). Свет, рассеянный "белым" и "черным" участками материала в обратном направлении, регистрируют в пределах одинаковых малых телесных углов 6 и 7 (Ω < < 2 π), при этом каждый из телесных углов ориентирован в плоскости, перпендикулярной к направлению протяжки материала, под одним и тем же углом φ к каждому из падающих пучков.The studied material 1, for example, a moving paper web (paper), is illuminated with two identical parallel light beams 2 and 3 normally to its surface sequentially along the path of material broaching during its production. Vector direction
Figure 00000003
drawing speed is shown in figure 1 by an arrow, and in figures 2 and 3 by a symbol
Figure 00000004
(from the observer). A flat white (scattering) non-absorbing substrate 4 (“white” section of the material) is placed under the light beam 2 on the opposite side of the material, and under the light beam 3, the same black substrate 5 is absorbing (the “black” section). Light scattered by the “white” and “black” sections of the material in the opposite direction is recorded within the same small solid angles 6 and 7 (Ω <<2 π), with each of the solid angles oriented in a plane perpendicular to the direction of the material’s pulling, at the same angle φ to each of the incident beams.

Для проверки работоспособности способа была собрана лабораторная установка (фиг.4), включающая источник 8 излучения, линзу 9, фотоприемник 10, белую подложку 4, черную подложку 5, усилитель 11, аналого-цифровой преобразователь 12, индикаторное табло 13, кожух 14, модулятор 15. To verify the operability of the method, a laboratory setup (Fig. 4) was assembled, including a radiation source 8, a lens 9, a photodetector 10, a white substrate 4, a black substrate 5, an amplifier 11, an analog-to-digital converter 12, an indicator board 13, a casing 14, a modulator fifteen.

Работает установка следующим образом. The installation works as follows.

Свет от источника 8 (ИК-светодиод АЛ-107), пройдя через линзу 9, параллельным пучком падает нормально на поверхность исследуемого материла 1, диаметр пятна засветки на бумаге (материале) составлял около 1 см. С противоположной стороны бумаги под пятном помещается либо плоская белая подложка 4 (ватман 5х5 см2), либо черная подложка 5 (черный бархат). Рассеянный бумагой в обратном направлении свет улавливается фотоприемником 10 (фотодиод ФД-256) с диаметром фотоприемной поверхности около 3 мм. Фотоприемник располагается в плоскости, перпендикулярной машинному направлению бумаги, на расстоянии около 5 см от пятна засветки, при этом угол между падающим пучком и направлением на центр фотоприемника составляет φ 40о. Фотосигнал I от фотоприемника усиливается усилителем 11, преобразуется в цифровую форму с помощью аналого-цифрового преобразователя 12 и выводится на индикаторное табло 13. Для устранения влияния возможных паразитных засветок фотометрическая часть установки заключена в светопроницаемый зачерненный кожух 14. Кроме того, с этой же целью источник света модулируется модулятором 15, который одновременно управляет усилителем, обеспечивая синхронное детектирование только полезного сигнала.The light from source 8 (IR LED AL-107), passing through the lens 9, normally falls in parallel beam onto the surface of the test material 1, the diameter of the light spot on the paper (material) was about 1 cm. On the opposite side of the paper, it is placed either flat under the spot white backing 4 (whatman 5x5 cm 2 ), or black backing 5 (black velvet). The light scattered by the paper in the opposite direction is captured by the photodetector 10 (photodiode FD-256) with a photodetector surface diameter of about 3 mm. The photodetector is located in a plane perpendicular to the machine direction of the paper, at a distance of about 5 cm from the spot of light, while the angle between the incident beam and the direction to the center of the photodetector is φ 40 about . The photo signal I from the photodetector is amplified by an amplifier 11, converted to digital form using an analog-to-digital converter 12 and displayed on a display panel 13. To eliminate the influence of possible spurious illumination, the photometric part of the installation is enclosed in a translucent blackened casing 14. In addition, for the same purpose, the source light is modulated by a modulator 15, which simultaneously controls the amplifier, providing synchronous detection of only the useful signal.

С помощью описанной установки были проведены измерения на образцах кальки производства ленинградской бумажно-картонной фабрики "Коммунар" различной прозрачности, которая была предварительно измерена в заводской лаборатории качества на лейкометре по методу прототипа, в соответствии с которым она вычислялась по формуле
χпр= 1-

Figure 00000005
где Φ о,пр световой поток, рассеянный калькой в обратном направлении в телесном угле 2 π при черной подложке;
Φ∞,пр аналогичный световой потолок при белой подложке, в качестве которой использовалась непрозрачная (бесконечно толстая) стопа той же кальки.Using the described setup, measurements were made on tracing paper samples produced by the Leningrad Paper and Cardboard Factory Kommunar of various transparency, which was previously measured at the factory quality laboratory on a leukometer according to the prototype method, according to which it was calculated by the formula
χ ol = 1-
Figure 00000005
where Φ о, pr is the light flux scattered by tracing paper in the opposite direction in a solid angle of 2 π with a black substrate;
Φ ∞, a similar light ceiling with a white substrate, which was used as an opaque (infinitely thick) foot of the same tracing paper.

На установке измерялись фотосигналы Iω и Iо, пропорциональные световым потокам Φω и Φ o, рассеянным калькой в направлении на фотоприемник соответственно при белой и черной подложке. Прозрачность кальки определялась по формуле
χ 1-

Figure 00000006
1-
Figure 00000007
для разных участков исследованных образцов.At the setup, the photosignals I ω and I о were measured, which are proportional to the light fluxes Φ ω and Φ o scattered by tracing paper in the direction of the photodetector with a white and black substrate, respectively. The transparency of tracing paper was determined by the formula
χ 1-
Figure 00000006
1-
Figure 00000007
for different sections of the studied samples.

Сравнительные результаты проведенных измерений приведены на фиг.5, где по горизонтали отложены средние значения и доверительные погрешности (р 0,95) прозрачности χпр, образцов, измеренной по методу прототипа, а по вертикали соответствующие значения прозрачности χ тех же образцов, измеренной на лабораторной установке по предлагаемому способу. Из фиг.5 видно, что между обеими прозрачностями существует линейная зависимость, что позволяет судить о прозрачности любой исследуемой бумаги по величине разности δχ χ χэ ее прозрачности χ и прозрачности χэ образца той же бумаги, принятого за эталон, измеренных по заявляемому способу. Видно, что величина указанной разности приводится к следующему виду:
δχ χ-χэ=

Figure 00000008
Figure 00000009

Заявляемый способ контроля прозрачности может быть реализован, например, в устройстве для контроля прозрачности кальки, предназначенном для установки непосредственно на выходе бумагодалительной машины (фиг.6). Устройство включает в себя модулятор 15, источник 8 излучения, линзу 9, полупрозрачное зеркало 16, зеркало 17, два идентичных фотоприемника 10, два одинаковых кожуха 14, белую 4 и черную 5 подложки, усилитель 11, аналого-цифровой преобразователь 12, блок 18 обработки, запоминающее устройство 19 и индикаторное табло 13.Comparative results of the measurements are shown in figure 5, where the horizontal values and the confidence errors (p 0.95) of transparency χ pr , samples measured by the prototype method, and the vertical values of transparency χ of the same samples measured in the laboratory installation by the proposed method. Figure 5 shows that there is a linear relationship between both transparencies, which makes it possible to judge the transparency of any paper under investigation by the difference δχ χ χ e of its transparency χ and the transparency χ e of a sample of the same paper taken as a standard, measured by the present method. It can be seen that the magnitude of this difference is reduced to the following form:
δχ χ-χ e =
Figure 00000008
Figure 00000009

The inventive method of controlling transparency can be implemented, for example, in a device for controlling the transparency of tracing paper, designed to be installed directly at the output of a paper machine (Fig.6). The device includes a modulator 15, a radiation source 8, a lens 9, a translucent mirror 16, a mirror 17, two identical photodetectors 10, two identical casings 14, a white 4 and a black 5 substrate, an amplifier 11, an analog-to-digital converter 12, a processing unit 18 , a storage device 19 and an indicator board 13.

Устройство работает следующим образом. The device operates as follows.

Источник 8 излучения (ИК-светодиод, например, типа АЛ-107) питается от модулятора 15 импульсным током частоты fо, стабилизированным по амплитуде. Модулированный свет от источника 8, пройдя линзу 9, образует параллельный пучок, который падает на полупрозрачное зеркало 16, при этом половина излучения проходит через зеркало 16 и падает на обычное зеркало 17. Отраженные от обоих зеркал параллельные световые пучки 2 и 3 нормально падают на поверхность движущегося исследуемого материала (бумажного полотна), вектор скорости протяжки полотна изображен на фиг.6 стрелкой. С противоположной стороны кальки под пучком 2 находится плоская непрозрачная белая подложка 4, а под пучком 3 черная подложка 5. Рассеянный бумагой в обратном направлении свет улавливается двумя идентичными фотоприемниками 10 (например, фотодиодами ФД-256), которые расположены в плоскости, перпендикулярной к направлению протяжки бумаги, при этом угол φ между осью падающего пучка и направлением из центра пятна засветки на центр фотоприемной поверхности того и другого фотоприемника один и тот же. Для устранения возможных паразитных засветок фотометрические части обоих измерительных каналов заключены в непрозрачные зачерненные кожухи 14. Фотосигналы с обоих фотоприемников поступают на два идентичных усилителя 11, каждый из которых включает в себя преобразователь фототока, узкополосный фильтр с частотой fo и синхронный детектор, управляемый от модулятора 15. Усиленные сигналы поступают на аналого-цифровой преобразователь 12, где происходит преобразование аналоговых фотосигналов в цифровые коды, и затем в блок 18 обработки. Последний работает следующим образом.The radiation source 8 (IR LED, for example, type AL-107) is fed from the modulator 15 by a pulsed current of frequency f about , stabilized in amplitude. The modulated light from the source 8, passing through the lens 9, forms a parallel beam that incident on the translucent mirror 16, with half of the radiation passing through the mirror 16 and incident on the ordinary mirror 17. Parallel light beams 2 and 3 reflected from both mirrors normally fall on the surface moving test material (paper web), the vector of the speed of drawing the web is shown in Fig.6 with an arrow. On the opposite side of the tracing paper, under the beam 2 there is a flat opaque white substrate 4, and under the beam 3 there is a black substrate 5. The light scattered by the paper in the opposite direction is captured by two identical photodetectors 10 (for example, FD-256 photodiodes), which are located in a plane perpendicular to the direction paper broadening, the angle φ between the axis of the incident beam and the direction from the center of the spot of light to the center of the photodetector surface of one and the other photodetector is the same. To eliminate possible spurious illumination, the photometric parts of both measuring channels are enclosed in opaque blackened covers 14. The photo signals from both photodetectors are fed to two identical amplifiers 11, each of which includes a photocurrent converter, a narrow-band filter with a frequency f o and a synchronous detector controlled by a modulator 15. The amplified signals are fed to an analog-to-digital converter 12, where the analog photo signals are converted to digital codes, and then to the processing unit 18. The latter works as follows.

В режиме "эталон" (т.е. при перемещении в измерительном зазоре образца аналогичной кальки, принятой за эталон) осуществляется отсчет n значений сигналов Iω,э и Iо, э с обоих усилителей, затем происходит их усреднение и вычисляется значение прозрачности эталона χэ= 1-

Figure 00000010
которое заносится в запоминающее устройство 19. При желании это значение может быть выдано на индикаторное табло 13. В режиме "измерение" (т.е. при протягивании в измерительном зазоре полотна измеряемой кальки) происходит отсчет n значений сигналов Iω и Iо, усреднение этих значений и вычисление прозрачности исследуемой кальки
χ 1-
Figure 00000011

По желанию оператора на индикаторное цифровое табло может выводиться либо χ либо δχ χ χэ Через определенное время t происходит новое накопление отсчетов Iω и Io и процесс обработки повторяется.In the “standard” mode (that is, when a similar tracing paper adopted for the standard moves in the measuring gap of the sample), n values of the signals I ω, e and I o, e from both amplifiers are counted, then they are averaged and the transparency value of the standard is calculated χ e = 1-
Figure 00000010
which is entered in the storage device 19. If desired, this value can be displayed on the indicator board 13. In the "measurement" mode (that is, when drawing the tracing paper of the measured tracing paper in the measuring gap), n values of the signals I ω and I о are counted, averaging these values and calculating the transparency of the tracing paper
χ 1-
Figure 00000011

At the request of the operator on a display digital display can be displayed either x or δχ χ χ e after a certain time t, there is a new accumulation of samples and I ω I o and the process is repeated.

Время измерения величины прозрачности исследуемой бумаги определяется временем достаточного усреднения фотосигналов Iω и Iо и при существующих скоростях протяжки бумажного полотна не превышает секунд, что значительно меньше времени измерения по методу-прототипу.The measurement time of the transparency of the investigated paper is determined by the time of a sufficient averaging of the photographic signals I ω and I о and at the existing speeds of drawing the paper web does not exceed seconds, which is significantly less than the measurement time by the prototype method.

Claims (1)

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОЗРАЧНОСТИ ПЛОСКИХ СВЕТОПРОПУСКАЮЩИХ МАТЕРИАЛОВ, при осуществлении которого под исследуемым материалом помещают плоские белую и черную подложки, освещают исследуемый материал световым потоком нормально к его поверхности, регистрируют световой поток, рассеянный исследуемым материалом и одной из подложек в направлении, обратном падению света на исследуемый материал, отличающийся тем, что исследуемый материал в области расположения второй подложки освещают дополнительным световым потоком, направленным нормально к его поверхности, регистрируют световой поток, рассеянный исследуемым материалом и этой подложкой в направлении, обратном падению света на исследуемый материал, и по величине этих потоков судят о прозрачности исследуемого материала, при этом световые потоки регистрируют в одинаковых телесных углах, ориентированных под одинаковыми углами к каждому из падающих на исследуемый материал световых потоков. METHOD FOR CONTROLLING TRANSPARENCY OF PLANE LIGHT-TRANSMITTING MATERIALS, during which flat white and black substrates are placed under the test material, the test material is illuminated with the light flux normally to its surface, the light flux scattered by the test material and one of the substrates in the direction opposite to the incident light is recorded. , characterized in that the test material in the area of the second substrate is illuminated with an additional light flux directed normally to e of the surface, the light flux scattered by the test material and this substrate in the direction opposite to the incidence of light on the test material is recorded, and the transparency of the test material is judged by the magnitude of these fluxes, while the light flux is recorded in the same solid angles oriented at the same angles to each from light streams incident on the material under investigation.
SU5042287 1992-05-15 1992-05-15 Method of checking transparency of flat light-translucent materials RU2035721C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5042287 RU2035721C1 (en) 1992-05-15 1992-05-15 Method of checking transparency of flat light-translucent materials

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5042287 RU2035721C1 (en) 1992-05-15 1992-05-15 Method of checking transparency of flat light-translucent materials

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2035721C1 true RU2035721C1 (en) 1995-05-20

Family

ID=21604279

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU5042287 RU2035721C1 (en) 1992-05-15 1992-05-15 Method of checking transparency of flat light-translucent materials

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2035721C1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002092180A3 (en) * 2001-05-17 2004-04-29 Koninkl Philips Electronics Nv Device and method for digitizing an object
RU2525662C2 (en) * 2012-10-29 2014-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет технологии и дизайна" (СПГУТД) Method for determining transparency of flat light-transmitting print-receiving materials

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Курицкий А.Л. и др. Оптические методы и приборы в целлюлозно-бумажной промышленности. М.: Лесная промышленность, 1980, с.70-71. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002092180A3 (en) * 2001-05-17 2004-04-29 Koninkl Philips Electronics Nv Device and method for digitizing an object
RU2525662C2 (en) * 2012-10-29 2014-08-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет технологии и дизайна" (СПГУТД) Method for determining transparency of flat light-transmitting print-receiving materials

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4302108A (en) Detection of subsurface defects by reflection interference
JPH03267745A (en) Surface property detecting method
CN1318840C (en) Synchronous optical measurement and ispection method and means
US4402607A (en) Automatic detector for microscopic dust on large-area, optically unpolished surfaces
JPH0820371B2 (en) Defect inspection device and defect inspection method
GB1473233A (en) Gauging method and apparatus
US4522497A (en) Web scanning apparatus
US4570074A (en) Flying spot scanner system
US4330205A (en) Optical apparatus for measuring the size and location of optical in an article
FI78355B (en) METHOD FOER MAETNING AV GLANS OCH APPARATUR FOER TILLAEMPNING AV METODEN.
RU2035721C1 (en) Method of checking transparency of flat light-translucent materials
JP2873450B2 (en) Defect inspection device using light
JP2711140B2 (en) Fine particle measuring device
JPH02114146A (en) Method and device for measuring crack length and strain in structure part and test piece
JPS6280507A (en) Measuring method for cracking on road surface
JPH0812152B2 (en) Reflected light flaw detector
JPS6352004A (en) Measuring instrument
JPH0252241A (en) Surface defect inspection instrument
JPS61207951A (en) Defect inspecting device for transparent object
JPS6021792Y2 (en) Defect detection device
JPH0776758B2 (en) Defect detection method for sheet
JPS62118243A (en) Surface defect inspecting instrument
JPH0795040B2 (en) Micro foreign matter inspection device
JPH05188004A (en) Foreign matter detecting device
JPS55149023A (en) Infrared ray spectroscopic method