RU2031355C1

RU2031355C1 - Method of thermal compensation of strain-measuring bridge

Info

Publication number: RU2031355C1
Authority: RU
Inventors: Е.М. Белозубов
Original assignee: Научно-исследовательский институт физических измерений
Priority date: 1984-07-10
Filing date: 1984-07-10
Publication date: 1995-03-20

Abstract

FIELD: instrumentation. SUBSTANCE: increased precision of thermal compensation of strain-measuring bridge of integrated circuit make is achieved by measurement of its output signals with switched on and off compensation resistor in the form of serpentine located in zone of maximum thermal deformation. These measurements are conducted also under action of liquid nitrogen. Accurate value of mentioned resistor is obtained by calculation. EFFECT: increased precision of thermal compensation. 1 dwg

Description

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в тензометрии. The invention relates to instrumentation and can be used in tensometry.

Известен способ термокомпенсации тензомоста, заключающийся в том, что на тензомост воздействуют перепадами температур, измеряют выходные сигналы тензомоста и корректируют расчетные значения термокомпенсирующих резисторов эмпирическим путем. A known method of thermal compensation of the strain gage, which consists in the fact that the strain gage is affected by temperature differences, measure the output signals of the strain gage and correct the calculated values of the thermocompensating resistors empirically.

Однако точность компенсации этим способом недостаточная. However, the accuracy of compensation in this way is insufficient.

Для повышения точности компенсации интегрально-схемного тензомоста, расположенного на мембране при термоударе, один из термокомпенсирующих резисторов располагают на этой мембране в зоне максимального градиента термодеформации, перепад температур создают потоком жидкого азота на мембрану, а корректировку термокомпенсирующего резистора на мембране выполняют путем короткого замыкания его части. To increase the accuracy of compensation of the integrated circuit strain gage located on the membrane during thermal shock, one of the thermocompensating resistors is placed on this membrane in the zone of the maximum thermal deformation gradient, the temperature difference is created by the flow of liquid nitrogen to the membrane, and the thermocompensing resistor on the membrane is adjusted by short-circuiting part of it .

На чертеже представлена схема тензомоста в интегральном исполнении. The drawing shows a diagram of the tensor bridge in an integral design.

Он содержит контактные площадки 1-6, установленные на мембране 7 с диэлектрическим слоем (на чертеже не показан). На этом слое расположены тензорезисторы 8-11, компенсационный резистор 12 в виде змейки. Кроме того, располагают в расчетном месте этой змейки перемычку 13 для получения короткого замыкания. It contains pads 1-6 mounted on the membrane 7 with a dielectric layer (not shown in the drawing). On this layer are strain gauges 8-11, the compensation resistor 12 in the form of a snake. In addition, a jumper 13 is placed in the calculated location of this snake to obtain a short circuit.

Способ реализуется следующим образом. The method is implemented as follows.

Посpедством контактных площадок 1-6 тензомост включается в измерительную схему. При нормальных климатических условиях. Измеряют его выходные сигналы при полностью закороченном компенсирующем резисторе 12 и при полностью включенном этом резисторе. Затем воздействуют на тензомост жидким азотом и измеряют при этом его выходной сигнал. Through pads 1-6, the strain gage is included in the measuring circuit. Under normal climatic conditions. Its output signals are measured with a fully compensated compensating resistor 12 and with this resistor fully turned on. Then the liquid nitrogen is applied to the strain gage and its output signal is measured.

С учетом указанных значений выходных сигналов тензомоста расчетом получают значение компенсационного резистора 12, которое достигается закорачиванием части змейки перемычкой 13. Taking into account the indicated values of the output signals of the strain bridge, the calculation gives the value of the compensation resistor 12, which is achieved by shorting the part of the snake with a jumper 13.

Claims

METHOD OF THERMAL COMPENSATION OF THE TENZOMOST, which consists in the fact that the tensor bridge is affected by temperature differences, the output signals of the tensor bridge are measured and the calculated values of the thermocompensating resistors are empirically corrected, characterized in that, in order to increase the accuracy of compensation of the integrated circuit tensor bridge located on the membrane, of temperature compensating resistors are placed on this membrane in the zone of the maximum gradient of thermal deformation, the temperature difference is created by a stream of liquid nitrogen on the membrane, and adjustment termokompensiruyuschego resistor across the membrane is performed by a "short circuit" part.