[go: up one dir, main page]

RU2018140733A - Многоканальный датчик пыли - Google Patents

Многоканальный датчик пыли Download PDF

Info

Publication number
RU2018140733A
RU2018140733A RU2018140733A RU2018140733A RU2018140733A RU 2018140733 A RU2018140733 A RU 2018140733A RU 2018140733 A RU2018140733 A RU 2018140733A RU 2018140733 A RU2018140733 A RU 2018140733A RU 2018140733 A RU2018140733 A RU 2018140733A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
array
optical axes
dichroic
radiation
lasers
Prior art date
Application number
RU2018140733A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2018140733A3 (ru
RU2722066C2 (ru
Inventor
Владислав Валерьевич Лычагов
Елена Константиновна Волкова
Артём Юрьевич Климчук
Алексей Вячеславович ПЕРЧИК
Владимир Михайлович Семенов
Original Assignee
Самсунг Электроникс Ко., Лтд.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Самсунг Электроникс Ко., Лтд. filed Critical Самсунг Электроникс Ко., Лтд.
Priority to RU2018140733A priority Critical patent/RU2722066C2/ru
Priority to CN201980075797.2A priority patent/CN113039427B/zh
Priority to PCT/KR2019/015883 priority patent/WO2020106036A1/en
Priority to US17/294,905 priority patent/US11841311B2/en
Priority to KR1020190148906A priority patent/KR102799524B1/ko
Priority to EP19886872.1A priority patent/EP3850333B1/en
Publication of RU2018140733A3 publication Critical patent/RU2018140733A3/ru
Publication of RU2018140733A publication Critical patent/RU2018140733A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2722066C2 publication Critical patent/RU2722066C2/ru
Priority to US18/388,148 priority patent/US20240077405A1/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94Investigating contamination, e.g. dust
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/02Investigating particle size or size distribution
    • G01N15/0205Investigating particle size or size distribution by optical means
    • G01N15/0211Investigating a scatter or diffraction pattern
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10Investigating individual particles
    • G01N15/14Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
    • G01N15/1456Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals
    • G01N15/1459Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals the analysis being performed on a sample stream
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0208Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/02Investigating particle size or size distribution
    • G01N15/0205Investigating particle size or size distribution by optical means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06Investigating concentration of particle suspensions
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10Investigating individual particles
    • G01N15/14Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
    • G01N15/1434Optical arrangements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J2003/1213Filters in general, e.g. dichroic, band
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06Investigating concentration of particle suspensions
    • G01N15/075Investigating concentration of particle suspensions by optical means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N2015/0042Investigating dispersion of solids
    • G01N2015/0046Investigating dispersion of solids in gas, e.g. smoke
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10Investigating individual particles
    • G01N2015/1027Determining speed or velocity of a particle
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10Investigating individual particles
    • G01N15/14Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
    • G01N15/1434Optical arrangements
    • G01N2015/1454Optical arrangements using phase shift or interference, e.g. for improving contrast
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/60Specific applications or type of materials
    • G01N2223/651Specific applications or type of materials dust

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Claims (29)

1. Многоканальный датчик пыли, содержащий:
массив лазеров;
массив коллимирующих линз, причем каждая коллимирующая линза расположена после соответствующего лазера;
массив фокусирующих линз, причем каждая фокусирующая линза расположена напротив соответствующей коллимирующей линзы;
причем каждый лазер из массива лазеров с соответствующими ему фокусирующей и коллимирующей линзами расположены на одной оптической оси, причем оптические оси для разных лазеров из массива лазеров параллельны друг другу и образуют первый массив оптических осей;
первый массив фотодетекторов;
массив дихроичных зеркал, причем за каждым из дихроичных зеркал расположен один из фотодетекторов первого массива фотодетекторов;
второй массив фотодетекторов;
массив дихроичных фильтров, причем за каждым из дихроичных фильтров расположен один из фотодетекторов второго массива фотодетекторов;
причем каждый дихроичный фильтр расположен напротив соответствующего дихроичного зеркала, таким образом, каждый дихроичный фильтр с соответствующими ему элементами: фотодетектором второго массива фотодетекторов, дихроичным зеркалом, фотодетектором первого массива фотодетекторов расположены на одной оптической оси, причем эти оси образуют второй массив оптических осей;
причем оптические оси первого массива оптических осей и второго массива оптических осей перпендикулярны друг другу;
делитель светового пучка, расположенный между массивом дихроичных фильтров и дихроичных зеркал и между массивами фокусирующих и коллимирующих линз, в точках пересечения оптических осей первого и второго массивов оптических осей,
причем делитель светового пучка ориентирован таким образом, что излучение, распространяющиеся по оптической оси первого массива оптических осей от лазера к фокусирующей линзе, частично направляется по одной из оптических осей второго массива оптических осей в сторону одного их дихроичных фильтров;
при этом излучение, распространяющиеся по оптической оси второго массива оптических осей в обратную сторону от фокусирующей линзы к коллимирующей линзе, частично направляется по соответствующей оптической оси второго массива оптических осей в сторону дихроичного зеркала, причем каждая пара оптических осей из первого и второго массива оптических осей, пересекающаяся в точке, расположенной на делителе, образует измерительный канал.
2. Многоканальный датчик пыли по п. 1, в котором массив лазеров состоит из лазеров, работающих на одной длине волны.
3. Многоканальный датчик пыли по п. 1, в котором массив лазеров состоит из лазеров, работающих на разных длинах волн.
4. Многоканальный датчик пыли по п. 1, в котором первый фотодетектор регистрирует только смешанное рассеянное и лазерное излучение, дихроичное зеркало отражает лазерное излучение, а дихроичный фильтр пропускает смешанное рассеянное и лазерное излучение.
5. Многоканальный датчик пыли по п. 1, в котором второй фотодетектор регистрирует только флуоресцентное излучение, дихроичное зеркало пропускает флуоресцентное излучение и отражает лазерное излучение, дихроичный фильтр отражает флуоресцентное излучение.
6. Многоканальный датчик пыли по п. 1, в котором по меньшей мере одна фокусирующая линза является жидкокристаллической.
7. Способ работы одного измерительного канала многоканального датчика пыли по любому из пп. 1-6, содержащий этапы, на которых:
обеспечивают коллимирование лазерного излучения;
обеспечивают разделение лазерного излучения на два пучка: первый пучок и второй пучок;
обеспечивают фокусировку первого пучка с образованием измерительного объема;
частица пыли, попадая в измерительный объем:
а) рассеивает первый пучок, в этом случае обеспечивается гомодинный режим работы, в котором:
обеспечивают смешение второго пучка и рассеянного первого пучка;
смешанное излучение попадает на фотодетектор, фиксирующий эффект Доплера; и/или
б) флуоресцирует, в этом случае обеспечивается флуоресцентный режим работы, в котором:
обеспечивают попадание флуоресцентного излучения на фотодетектор, фиксирующий флуоресцентное излучение.
RU2018140733A 2018-11-19 2018-11-19 Многоканальный датчик пыли RU2722066C2 (ru)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018140733A RU2722066C2 (ru) 2018-11-19 2018-11-19 Многоканальный датчик пыли
CN201980075797.2A CN113039427B (zh) 2018-11-19 2019-11-19 多模式灰尘传感器
PCT/KR2019/015883 WO2020106036A1 (en) 2018-11-19 2019-11-19 Multimodal dust sensor
US17/294,905 US11841311B2 (en) 2018-11-19 2019-11-19 Multimodal dust sensor
KR1020190148906A KR102799524B1 (ko) 2018-11-19 2019-11-19 멀티모달 더스트 센서
EP19886872.1A EP3850333B1 (en) 2018-11-19 2019-11-19 Multimodal dust sensor
US18/388,148 US20240077405A1 (en) 2018-11-19 2023-11-08 Multimodal dust sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018140733A RU2722066C2 (ru) 2018-11-19 2018-11-19 Многоканальный датчик пыли

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2018140733A3 RU2018140733A3 (ru) 2020-05-19
RU2018140733A true RU2018140733A (ru) 2020-05-19
RU2722066C2 RU2722066C2 (ru) 2020-05-26

Family

ID=70735008

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018140733A RU2722066C2 (ru) 2018-11-19 2018-11-19 Многоканальный датчик пыли

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP3850333B1 (ru)
KR (1) KR102799524B1 (ru)
CN (1) CN113039427B (ru)
RU (1) RU2722066C2 (ru)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11371947B2 (en) 2020-11-24 2022-06-28 Kyndryl, Inc. Generating a holographic image to visualize contaminants
WO2022114733A1 (ko) * 2020-11-27 2022-06-02 삼성전자 주식회사 입자 사이즈 분포를 결정하는 방법 및 전자 장치
CN114018770B (zh) * 2021-11-23 2024-01-23 辽宁工程技术大学 一种多功能粉尘检测装置
RU210148U1 (ru) * 2021-12-15 2022-03-30 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Сибирский федеральный научный центр агробиотехнологий Российской академии наук (СФНЦА РАН) Устройство для мониторинга загрязнения наружной воздушной среды твердыми частицами

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU4307700A (en) * 1999-06-26 2001-01-31 Packard Instrument Company, Inc. Microplate reader
US6380503B1 (en) * 2000-03-03 2002-04-30 Daniel G. Mills Apparatus and method using collimated laser beams and linear arrays of detectors for sizing and sorting articles
NL1016887C2 (nl) * 2000-12-15 2002-06-18 Tno Werkwijze en inrichting voor het detecteren en identificeren van bio-aÙrosoldeeltjes in de lucht.
US20140226158A1 (en) * 2004-03-06 2014-08-14 Michael Trainer Methods and apparatus for determining particle characteristics
US10386283B2 (en) * 2004-03-06 2019-08-20 Michael Trainer Methods and apparatus for determining particle characteristics by utilizing force on particles
JP2009509689A (ja) * 2005-09-29 2009-03-12 ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション スペクトル符号化による光学的撮像方法および装置
US20090323061A1 (en) * 2006-02-28 2009-12-31 Lukas Novotny Multi-color hetereodyne interferometric apparatus and method for sizing nanoparticles
DE102006056429B3 (de) * 2006-11-28 2008-02-14 Leica Microsystems Cms Gmbh Lasermikroskop mit räumlich trennendem Strahlteiler
US8467054B2 (en) * 2009-01-23 2013-06-18 University Of Washington Virtual core flow cytometry
US8441638B2 (en) * 2010-02-26 2013-05-14 Wyatt Technology Corporation Apparatus to measure particle mobility in solution with scattered and unscattered light
FI20105645A0 (fi) * 2010-06-07 2010-06-07 Environics Oy Laite ja menetelmä biologisen materiaalin havaitsemiseksi
RU103920U1 (ru) * 2010-08-23 2011-04-27 Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "Прибор" Оптическая система регистрации сигналов флуоресценции и рассеяния аэрозольных частиц в потоке
US8717562B2 (en) * 2010-08-23 2014-05-06 Scattering Solutions, Inc. Dynamic and depolarized dynamic light scattering colloid analyzer
US9134230B2 (en) * 2011-04-06 2015-09-15 Instant Bioscan, Llc Microbial detection apparatus and method
KR101226445B1 (ko) * 2011-04-08 2013-01-28 이큐메드 주식회사 멀티모달 광 단층촬영 시스템 및 그 방법
CA2856664A1 (en) * 2011-12-01 2013-06-06 P.M.L. - Particles Monitoring Technologies Ltd. Detection scheme for particle size and concentration measurement
US9863887B2 (en) * 2012-11-15 2018-01-09 Nemor Technologies Ou Unit and method for optical non-contact oil detection
KR20150123064A (ko) * 2014-04-24 2015-11-03 삼성전자주식회사 조명장치 및 이를 구비한 투사형 영상표시장치
CN107850527A (zh) * 2015-07-30 2018-03-27 皇家飞利浦有限公司 用于颗粒密度检测的激光传感器
KR101749994B1 (ko) * 2015-11-24 2017-06-22 (주)센서테크 형광신호와 산란신호 측정을 이용한 생물입자 탐지장치
CN109844449B (zh) * 2016-07-25 2021-11-16 厦泰生物科技公司 流式细胞仪
CN106383097B (zh) * 2016-11-16 2024-01-19 大连中汇达科学仪器有限公司 基于可调谐激光器的机动车尾气遥感检测系统及方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN113039427B (zh) 2024-09-17
EP3850333C0 (en) 2023-08-16
EP3850333A4 (en) 2021-11-17
CN113039427A (zh) 2021-06-25
RU2018140733A3 (ru) 2020-05-19
RU2722066C2 (ru) 2020-05-26
EP3850333B1 (en) 2023-08-16
KR20200058318A (ko) 2020-05-27
KR102799524B1 (ko) 2025-04-23
EP3850333A1 (en) 2021-07-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2018140733A (ru) Многоканальный датчик пыли
US8384045B2 (en) Minute particle analyzing device and method
JP6524269B2 (ja) ビームスプリッタ、および電磁放射によって励起可能な試料を検査するための構造
EP2181317B1 (en) Broad-range spectrometer
KR101356707B1 (ko) 투과 파장 가변 필터를 이용한 분광 형광 수명시간 이미징 현미경
JP5828440B1 (ja) 微小粒子測定装置
EP2597438A1 (en) Stimulated raman scattering measurement apparatus
CN109683307A (zh) 一种基于dmd的调谐滤光装置及调谐滤光方法
JP2008039600A (ja) ダイクロイックプリズムによる光分割した測量機
CN103292901A (zh) 光谱测定光学系统及光谱测定仪
JP2017037027A (ja) 自動測量機
CN114599947B (zh) 用于测量拉曼光谱的装置及其方法
US12209954B2 (en) Multi-capillary optical detection system
US20200173921A1 (en) Light source device and range sensor provided with the same
WO2000039545A1 (en) Fluorescence measuring device
US9164038B2 (en) Fluorescence light detection device and fluorescence light detection method
JP2011058953A (ja) 検出装置、それを備えた光学装置
JP3597946B2 (ja) シングルパルスオートコリレータ
CN109283140B (zh) 一种光强度增强系统及光强度的增强方法
RU2176391C1 (ru) Пламенно-фотометрический детектор для газовой хроматографии
CN109580568A (zh) 光纤荧光共焦显微成像装置及方法
US20240053258A1 (en) Optical module and multifocal optical device
US9354114B2 (en) Spectrophotometer including photodiode array
RU1805347C (ru) Фотометр-флуориметр-нефелометр
JP2015017889A (ja) ラマン分光分析装置