RU2018140733A - Многоканальный датчик пыли - Google Patents
Многоканальный датчик пыли Download PDFInfo
- Publication number
- RU2018140733A RU2018140733A RU2018140733A RU2018140733A RU2018140733A RU 2018140733 A RU2018140733 A RU 2018140733A RU 2018140733 A RU2018140733 A RU 2018140733A RU 2018140733 A RU2018140733 A RU 2018140733A RU 2018140733 A RU2018140733 A RU 2018140733A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- array
- optical axes
- dichroic
- radiation
- lasers
- Prior art date
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 20
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 14
- 238000003491 array Methods 0.000 claims 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
- G01N15/0211—Investigating a scatter or diffraction pattern
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/1456—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals
- G01N15/1459—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals the analysis being performed on a sample stream
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0208—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/1434—Optical arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J2003/1213—Filters in general, e.g. dichroic, band
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N15/075—Investigating concentration of particle suspensions by optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N2015/0042—Investigating dispersion of solids
- G01N2015/0046—Investigating dispersion of solids in gas, e.g. smoke
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N2015/1027—Determining speed or velocity of a particle
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/1434—Optical arrangements
- G01N2015/1454—Optical arrangements using phase shift or interference, e.g. for improving contrast
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/60—Specific applications or type of materials
- G01N2223/651—Specific applications or type of materials dust
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Claims (29)
1. Многоканальный датчик пыли, содержащий:
массив лазеров;
массив коллимирующих линз, причем каждая коллимирующая линза расположена после соответствующего лазера;
массив фокусирующих линз, причем каждая фокусирующая линза расположена напротив соответствующей коллимирующей линзы;
причем каждый лазер из массива лазеров с соответствующими ему фокусирующей и коллимирующей линзами расположены на одной оптической оси, причем оптические оси для разных лазеров из массива лазеров параллельны друг другу и образуют первый массив оптических осей;
первый массив фотодетекторов;
массив дихроичных зеркал, причем за каждым из дихроичных зеркал расположен один из фотодетекторов первого массива фотодетекторов;
второй массив фотодетекторов;
массив дихроичных фильтров, причем за каждым из дихроичных фильтров расположен один из фотодетекторов второго массива фотодетекторов;
причем каждый дихроичный фильтр расположен напротив соответствующего дихроичного зеркала, таким образом, каждый дихроичный фильтр с соответствующими ему элементами: фотодетектором второго массива фотодетекторов, дихроичным зеркалом, фотодетектором первого массива фотодетекторов расположены на одной оптической оси, причем эти оси образуют второй массив оптических осей;
причем оптические оси первого массива оптических осей и второго массива оптических осей перпендикулярны друг другу;
делитель светового пучка, расположенный между массивом дихроичных фильтров и дихроичных зеркал и между массивами фокусирующих и коллимирующих линз, в точках пересечения оптических осей первого и второго массивов оптических осей,
причем делитель светового пучка ориентирован таким образом, что излучение, распространяющиеся по оптической оси первого массива оптических осей от лазера к фокусирующей линзе, частично направляется по одной из оптических осей второго массива оптических осей в сторону одного их дихроичных фильтров;
при этом излучение, распространяющиеся по оптической оси второго массива оптических осей в обратную сторону от фокусирующей линзы к коллимирующей линзе, частично направляется по соответствующей оптической оси второго массива оптических осей в сторону дихроичного зеркала, причем каждая пара оптических осей из первого и второго массива оптических осей, пересекающаяся в точке, расположенной на делителе, образует измерительный канал.
2. Многоканальный датчик пыли по п. 1, в котором массив лазеров состоит из лазеров, работающих на одной длине волны.
3. Многоканальный датчик пыли по п. 1, в котором массив лазеров состоит из лазеров, работающих на разных длинах волн.
4. Многоканальный датчик пыли по п. 1, в котором первый фотодетектор регистрирует только смешанное рассеянное и лазерное излучение, дихроичное зеркало отражает лазерное излучение, а дихроичный фильтр пропускает смешанное рассеянное и лазерное излучение.
5. Многоканальный датчик пыли по п. 1, в котором второй фотодетектор регистрирует только флуоресцентное излучение, дихроичное зеркало пропускает флуоресцентное излучение и отражает лазерное излучение, дихроичный фильтр отражает флуоресцентное излучение.
6. Многоканальный датчик пыли по п. 1, в котором по меньшей мере одна фокусирующая линза является жидкокристаллической.
7. Способ работы одного измерительного канала многоканального датчика пыли по любому из пп. 1-6, содержащий этапы, на которых:
обеспечивают коллимирование лазерного излучения;
обеспечивают разделение лазерного излучения на два пучка: первый пучок и второй пучок;
обеспечивают фокусировку первого пучка с образованием измерительного объема;
частица пыли, попадая в измерительный объем:
а) рассеивает первый пучок, в этом случае обеспечивается гомодинный режим работы, в котором:
обеспечивают смешение второго пучка и рассеянного первого пучка;
смешанное излучение попадает на фотодетектор, фиксирующий эффект Доплера; и/или
б) флуоресцирует, в этом случае обеспечивается флуоресцентный режим работы, в котором:
обеспечивают попадание флуоресцентного излучения на фотодетектор, фиксирующий флуоресцентное излучение.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2018140733A RU2722066C2 (ru) | 2018-11-19 | 2018-11-19 | Многоканальный датчик пыли |
CN201980075797.2A CN113039427B (zh) | 2018-11-19 | 2019-11-19 | 多模式灰尘传感器 |
PCT/KR2019/015883 WO2020106036A1 (en) | 2018-11-19 | 2019-11-19 | Multimodal dust sensor |
US17/294,905 US11841311B2 (en) | 2018-11-19 | 2019-11-19 | Multimodal dust sensor |
KR1020190148906A KR102799524B1 (ko) | 2018-11-19 | 2019-11-19 | 멀티모달 더스트 센서 |
EP19886872.1A EP3850333B1 (en) | 2018-11-19 | 2019-11-19 | Multimodal dust sensor |
US18/388,148 US20240077405A1 (en) | 2018-11-19 | 2023-11-08 | Multimodal dust sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2018140733A RU2722066C2 (ru) | 2018-11-19 | 2018-11-19 | Многоканальный датчик пыли |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2018140733A3 RU2018140733A3 (ru) | 2020-05-19 |
RU2018140733A true RU2018140733A (ru) | 2020-05-19 |
RU2722066C2 RU2722066C2 (ru) | 2020-05-26 |
Family
ID=70735008
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2018140733A RU2722066C2 (ru) | 2018-11-19 | 2018-11-19 | Многоканальный датчик пыли |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3850333B1 (ru) |
KR (1) | KR102799524B1 (ru) |
CN (1) | CN113039427B (ru) |
RU (1) | RU2722066C2 (ru) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11371947B2 (en) | 2020-11-24 | 2022-06-28 | Kyndryl, Inc. | Generating a holographic image to visualize contaminants |
WO2022114733A1 (ko) * | 2020-11-27 | 2022-06-02 | 삼성전자 주식회사 | 입자 사이즈 분포를 결정하는 방법 및 전자 장치 |
CN114018770B (zh) * | 2021-11-23 | 2024-01-23 | 辽宁工程技术大学 | 一种多功能粉尘检测装置 |
RU210148U1 (ru) * | 2021-12-15 | 2022-03-30 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Сибирский федеральный научный центр агробиотехнологий Российской академии наук (СФНЦА РАН) | Устройство для мониторинга загрязнения наружной воздушной среды твердыми частицами |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU4307700A (en) * | 1999-06-26 | 2001-01-31 | Packard Instrument Company, Inc. | Microplate reader |
US6380503B1 (en) * | 2000-03-03 | 2002-04-30 | Daniel G. Mills | Apparatus and method using collimated laser beams and linear arrays of detectors for sizing and sorting articles |
NL1016887C2 (nl) * | 2000-12-15 | 2002-06-18 | Tno | Werkwijze en inrichting voor het detecteren en identificeren van bio-aÙrosoldeeltjes in de lucht. |
US20140226158A1 (en) * | 2004-03-06 | 2014-08-14 | Michael Trainer | Methods and apparatus for determining particle characteristics |
US10386283B2 (en) * | 2004-03-06 | 2019-08-20 | Michael Trainer | Methods and apparatus for determining particle characteristics by utilizing force on particles |
JP2009509689A (ja) * | 2005-09-29 | 2009-03-12 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | スペクトル符号化による光学的撮像方法および装置 |
US20090323061A1 (en) * | 2006-02-28 | 2009-12-31 | Lukas Novotny | Multi-color hetereodyne interferometric apparatus and method for sizing nanoparticles |
DE102006056429B3 (de) * | 2006-11-28 | 2008-02-14 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Lasermikroskop mit räumlich trennendem Strahlteiler |
US8467054B2 (en) * | 2009-01-23 | 2013-06-18 | University Of Washington | Virtual core flow cytometry |
US8441638B2 (en) * | 2010-02-26 | 2013-05-14 | Wyatt Technology Corporation | Apparatus to measure particle mobility in solution with scattered and unscattered light |
FI20105645A0 (fi) * | 2010-06-07 | 2010-06-07 | Environics Oy | Laite ja menetelmä biologisen materiaalin havaitsemiseksi |
RU103920U1 (ru) * | 2010-08-23 | 2011-04-27 | Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "Прибор" | Оптическая система регистрации сигналов флуоресценции и рассеяния аэрозольных частиц в потоке |
US8717562B2 (en) * | 2010-08-23 | 2014-05-06 | Scattering Solutions, Inc. | Dynamic and depolarized dynamic light scattering colloid analyzer |
US9134230B2 (en) * | 2011-04-06 | 2015-09-15 | Instant Bioscan, Llc | Microbial detection apparatus and method |
KR101226445B1 (ko) * | 2011-04-08 | 2013-01-28 | 이큐메드 주식회사 | 멀티모달 광 단층촬영 시스템 및 그 방법 |
CA2856664A1 (en) * | 2011-12-01 | 2013-06-06 | P.M.L. - Particles Monitoring Technologies Ltd. | Detection scheme for particle size and concentration measurement |
US9863887B2 (en) * | 2012-11-15 | 2018-01-09 | Nemor Technologies Ou | Unit and method for optical non-contact oil detection |
KR20150123064A (ko) * | 2014-04-24 | 2015-11-03 | 삼성전자주식회사 | 조명장치 및 이를 구비한 투사형 영상표시장치 |
CN107850527A (zh) * | 2015-07-30 | 2018-03-27 | 皇家飞利浦有限公司 | 用于颗粒密度检测的激光传感器 |
KR101749994B1 (ko) * | 2015-11-24 | 2017-06-22 | (주)센서테크 | 형광신호와 산란신호 측정을 이용한 생물입자 탐지장치 |
CN109844449B (zh) * | 2016-07-25 | 2021-11-16 | 厦泰生物科技公司 | 流式细胞仪 |
CN106383097B (zh) * | 2016-11-16 | 2024-01-19 | 大连中汇达科学仪器有限公司 | 基于可调谐激光器的机动车尾气遥感检测系统及方法 |
-
2018
- 2018-11-19 RU RU2018140733A patent/RU2722066C2/ru active
-
2019
- 2019-11-19 EP EP19886872.1A patent/EP3850333B1/en active Active
- 2019-11-19 KR KR1020190148906A patent/KR102799524B1/ko active Active
- 2019-11-19 CN CN201980075797.2A patent/CN113039427B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113039427B (zh) | 2024-09-17 |
EP3850333C0 (en) | 2023-08-16 |
EP3850333A4 (en) | 2021-11-17 |
CN113039427A (zh) | 2021-06-25 |
RU2018140733A3 (ru) | 2020-05-19 |
RU2722066C2 (ru) | 2020-05-26 |
EP3850333B1 (en) | 2023-08-16 |
KR20200058318A (ko) | 2020-05-27 |
KR102799524B1 (ko) | 2025-04-23 |
EP3850333A1 (en) | 2021-07-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2018140733A (ru) | Многоканальный датчик пыли | |
US8384045B2 (en) | Minute particle analyzing device and method | |
JP6524269B2 (ja) | ビームスプリッタ、および電磁放射によって励起可能な試料を検査するための構造 | |
EP2181317B1 (en) | Broad-range spectrometer | |
KR101356707B1 (ko) | 투과 파장 가변 필터를 이용한 분광 형광 수명시간 이미징 현미경 | |
JP5828440B1 (ja) | 微小粒子測定装置 | |
EP2597438A1 (en) | Stimulated raman scattering measurement apparatus | |
CN109683307A (zh) | 一种基于dmd的调谐滤光装置及调谐滤光方法 | |
JP2008039600A (ja) | ダイクロイックプリズムによる光分割した測量機 | |
CN103292901A (zh) | 光谱测定光学系统及光谱测定仪 | |
JP2017037027A (ja) | 自動測量機 | |
CN114599947B (zh) | 用于测量拉曼光谱的装置及其方法 | |
US12209954B2 (en) | Multi-capillary optical detection system | |
US20200173921A1 (en) | Light source device and range sensor provided with the same | |
WO2000039545A1 (en) | Fluorescence measuring device | |
US9164038B2 (en) | Fluorescence light detection device and fluorescence light detection method | |
JP2011058953A (ja) | 検出装置、それを備えた光学装置 | |
JP3597946B2 (ja) | シングルパルスオートコリレータ | |
CN109283140B (zh) | 一种光强度增强系统及光强度的增强方法 | |
RU2176391C1 (ru) | Пламенно-фотометрический детектор для газовой хроматографии | |
CN109580568A (zh) | 光纤荧光共焦显微成像装置及方法 | |
US20240053258A1 (en) | Optical module and multifocal optical device | |
US9354114B2 (en) | Spectrophotometer including photodiode array | |
RU1805347C (ru) | Фотометр-флуориметр-нефелометр | |
JP2015017889A (ja) | ラマン分光分析装置 |