RU2013127482A

RU2013127482A - СПОСОБ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО ПРЕЦИЗИОННОГО АЗОТИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ СТАЛЕЙ И СПЛАВОВ Avinit N

Info

Publication number: RU2013127482A
Application number: RU2013127482/02A
Authority: RU
Inventors: Владислав Викторович Сагалович; Алексей Владиславович Сагалович
Original assignee: Владислав Викторович Сагалович; Алексей Владиславович Сагалович
Priority date: 2013-06-17
Filing date: 2013-06-17
Publication date: 2014-12-27
Also published as: RU2555692C2

Abstract

1. Способ ионно-плазменного прецизионного азотирования поверхностей сталей и сплавов Avinit N, включающий предварительную ионную очистку поверхности с образованием в межэлектродном пространстве плазмы, нагрев поверхности и поддержание его на всех стадиях обработки, подачу отрицательного потенциала на обрабатываемую деталь, азотирование в азотосодержащем газе или азоте, отличающийся тем, что предварительно инициируют газоразрядную плазму на основе аргона, после выдержки в инициированной плазме на основе аргона в газоразрядную плазму вводят азот, подают отрицательный потенциал смещения на обрабатываемое изделие, плавно изменяя его значение от минимального до рабочего значения, осуществляют изотермическую выдержку, затем заменяют аргоноазотную смесь чистым азотом, создавая плазменный поток, содержащий ионы азота, повышают отрицательный потенциал смещения на изделие и температуру, и выполняют изотермическую выдержку в азотной плазме.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в инициированной газоразрядной плазме на основе аргона изделие нагревают до температуры 400-500°C, выдерживают в инертной атмосфере в течение 20-30 мин.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что ионную очистку выполняют при отрицательном потенциале на изделии до 800-1200 В.4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в газоразрядную плазму на основе аргона после выдержки вводят азот до образования газовой смеси 50/50 Ar+N, устанавливают отрицательный потенциал смещения на обрабатываемое изделие, плавно изменяя его значение от 50 до 400-500 В.5. Способ по п.1, отличающийся тем, что в аргоноазотной смеси выполняют изотермическую выдержку в течение 1,5-3 ч при давлении 1,5·10мм

Claims

1. Способ ионно-плазменного прецизионного азотирования поверхностей сталей и сплавов Avinit N, включающий предварительную ионную очистку поверхности с образованием в межэлектродном пространстве плазмы, нагрев поверхности и поддержание его на всех стадиях обработки, подачу отрицательного потенциала на обрабатываемую деталь, азотирование в азотосодержащем газе или азоте, отличающийся тем, что предварительно инициируют газоразрядную плазму на основе аргона, после выдержки в инициированной плазме на основе аргона в газоразрядную плазму вводят азот, подают отрицательный потенциал смещения на обрабатываемое изделие, плавно изменяя его значение от минимального до рабочего значения, осуществляют изотермическую выдержку, затем заменяют аргоноазотную смесь чистым азотом, создавая плазменный поток, содержащий ионы азота, повышают отрицательный потенциал смещения на изделие и температуру, и выполняют изотермическую выдержку в азотной плазме.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в инициированной газоразрядной плазме на основе аргона изделие нагревают до температуры 400-500°C, выдерживают в инертной атмосфере в течение 20-30 мин.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что ионную очистку выполняют при отрицательном потенциале на изделии до 800-1200 В.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в газоразрядную плазму на основе аргона после выдержки вводят азот до образования газовой смеси 50/50 Ar+N₂, устанавливают отрицательный потенциал смещения на обрабатываемое изделие, плавно изменяя его значение от 50 до 400-500 В.

5. Способ по п.1, отличающийся тем, что в аргоноазотной смеси выполняют изотермическую выдержку в течение 1,5-3 ч при давлении 1,5·10^-3 мм рт.ст.

6. Способ по п.1, отличающийся тем, что после изотермической выдержки повышают отрицательный потенциал смещения на изделие до 600-800 В.

7. Способ по п.1, отличающийся тем, что изотермическую выдержку в азотной плазме осуществляют при температуре изделия 500-700°C в течение 2-3 ч.