RU2010149024A

RU2010149024A - Устройство нагрева подложки для установки изготовления полупроводниковой структуры

Info

Publication number: RU2010149024A
Application number: RU2010149024/28A
Authority: RU
Inventors: Владимир Геннадьевич Шенгуров (RU); Владимир Геннадьевич Шенгуров; Сергей Петрович Светлов (RU); Сергей Петрович Светлов; Вадим Юрьевич Чалков (RU); Вадим Юрьевич Чалков; Сергей Александрович Денисов (RU); Сергей Александрович Денисов
Priority date: 2010-11-30
Filing date: 2010-11-30
Publication date: 2012-06-10
Also published as: RU2468468C2

Abstract

1. Устройство нагрева подложки для установки изготовления полупроводниковой структуры, содержащее подложкодержатель и расположенный в камере нагреватель, подключенный к источнику питания токовводами, отличающееся тем, что подложкодержатель установлен в камере, которая снабжена съемной крышкой, при этом подложкодержатель установлен между съемной крышкой и нагревателем. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что камера выполнена теплоизолированной. ! 3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что в камере установлен, по меньшей мере, один теплоотражающий экран. ! 4. Устройство по п.2, отличающееся тем, что внутренняя поверхность, по меньшей мере, одной стенки камеры выполнена отражающей. ! 5. Устройство по п.2, отличающееся тем, что, по меньшей мере, одна стенка камеры выполнена полой. ! 6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что полость в стенке камеры заполнена теплоизолирующей средой. ! 7. Устройство по п.6, отличающееся тем, что в качестве теплоизолирующей среды использован воздух. ! 8. Устройство по п.7, отличающееся тем, что давление в полости стенки камеры ниже атмосферного. ! 9. Устройство по п.1, отличающееся тем, что крышка выполнена теплоизолированной. ! 10. Устройство по п.9, отличающееся тем, что внутренняя поверхность крышки выполнена отражающей тепловое излучение. !11. Устройство по п.10, отличающееся тем, что крышка выполнена полой. ! 12. Устройство по п.1, отличающееся тем, что полость в крышке заполнена теплоизолирующей средой. !13. Устройство по п.12, отличающееся тем, что в качестве теплоизолирующей среды использован воздух. ! 14. Устройство по п.13, отличающееся тем, что давление в полости крышки ниже атмосферного. ! 15. Уст

Claims

1. Устройство нагрева подложки для установки изготовления полупроводниковой структуры, содержащее подложкодержатель и расположенный в камере нагреватель, подключенный к источнику питания токовводами, отличающееся тем, что подложкодержатель установлен в камере, которая снабжена съемной крышкой, при этом подложкодержатель установлен между съемной крышкой и нагревателем.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что камера выполнена теплоизолированной.

3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что в камере установлен, по меньшей мере, один теплоотражающий экран.

4. Устройство по п.2, отличающееся тем, что внутренняя поверхность, по меньшей мере, одной стенки камеры выполнена отражающей.

5. Устройство по п.2, отличающееся тем, что, по меньшей мере, одна стенка камеры выполнена полой.

6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что полость в стенке камеры заполнена теплоизолирующей средой.

7. Устройство по п.6, отличающееся тем, что в качестве теплоизолирующей среды использован воздух.

8. Устройство по п.7, отличающееся тем, что давление в полости стенки камеры ниже атмосферного.

9. Устройство по п.1, отличающееся тем, что крышка выполнена теплоизолированной.

10. Устройство по п.9, отличающееся тем, что внутренняя поверхность крышки выполнена отражающей тепловое излучение.

11. Устройство по п.10, отличающееся тем, что крышка выполнена полой.

12. Устройство по п.1, отличающееся тем, что полость в крышке заполнена теплоизолирующей средой.

13. Устройство по п.12, отличающееся тем, что в качестве теплоизолирующей среды использован воздух.

14. Устройство по п.13, отличающееся тем, что давление в полости крышки ниже атмосферного.

15. Устройство по п.1, отличающееся тем, что нагреватель выполнен в виде набора электрически изолированных друг от друга лент из тугоплавкого материала, расположенных одна подле другой и последовательно соединенных друг с другом, при этом крайние ленты соединены с токовводами.