[go: up one dir, main page]

RU2009128061A - Способ и сенсорное устройство для определения положения и/или изменения положения объекта измерения относительно чувствительного элемента - Google Patents

Способ и сенсорное устройство для определения положения и/или изменения положения объекта измерения относительно чувствительного элемента Download PDF

Info

Publication number
RU2009128061A
RU2009128061A RU2009128061/28A RU2009128061A RU2009128061A RU 2009128061 A RU2009128061 A RU 2009128061A RU 2009128061/28 A RU2009128061/28 A RU 2009128061/28A RU 2009128061 A RU2009128061 A RU 2009128061A RU 2009128061 A RU2009128061 A RU 2009128061A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coil
film
sensing element
change
sensor
Prior art date
Application number
RU2009128061/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2460044C2 (ru
Inventor
Владислав МЕДНИКОВ (RU)
Владислав Медников
Original Assignee
Микро-Эпсилон Месстехник Гмбх Унд Ко. Кг (De)
Микро-Эпсилон Месстехник Гмбх Унд Ко. Кг
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Микро-Эпсилон Месстехник Гмбх Унд Ко. Кг (De), Микро-Эпсилон Месстехник Гмбх Унд Ко. Кг filed Critical Микро-Эпсилон Месстехник Гмбх Унд Ко. Кг (De)
Publication of RU2009128061A publication Critical patent/RU2009128061A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2460044C2 publication Critical patent/RU2460044C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/2006—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
    • G01D5/2033—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils controlling the saturation of a magnetic circuit by means of a movable element, e.g. a magnet
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/22—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils
    • G01D5/2208—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils by influencing the self-induction of the coils
    • G01D5/2241—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils by influencing the self-induction of the coils by controlling the saturation of a magnetic circuit by means of a movable element, e.g. a magnet
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03K—PULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/94—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the way in which the control signals are generated
    • H03K17/945—Proximity switches
    • H03K17/95—Proximity switches using a magnetic detector
    • H03K17/9505—Constructional details
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03K—PULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/94—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the way in which the control signals are generated
    • H03K17/945—Proximity switches
    • H03K17/95—Proximity switches using a magnetic detector
    • H03K17/952—Proximity switches using a magnetic detector using inductive coils

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)

Abstract

1. Способ определения положения и/или изменения положения объекта измерения относительно чувствительного элемента (3), причем чувствительный элемент (3) предпочтительно представляет собой катушку (6) чувствительного элемента (3), подпитываемую переменным током, отличающийся тем, что посредством магнита (4), приданного объекту (2) измерения, в магнитомягкой пленке (8), магнитная проницаемость которой изменяется под воздействием магнитного поля в зависимости от напряженности магнитного поля и которая находится с области влияния чувствительного элемента (3), вызывается изменение магнитной проницаемости пленки (8) и что изменение магнитной проницаемости пленки (8) определяется по его обратному действию на чувствительный элемент (3) и отсюда определяется положение и/или изменение положения объекта (2) измерения относительно чувствительного элемента (3). ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что компенсационная катушка (7), возбуждаемая постоянным током, создает магнитное поле, с помощью которого оказывается воздействие на магнитную проницаемость пленки (8) или части пленки (8), причем постоянный ток может регулироваться таким образом, что устанавливается, по существу, постоянное магнитное поле компенсационной катушки (7). ! 3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что для калибровки чувствительного элемента (3) выполняются следующие этапы ! позиционирование объекта (2) измерения в множестве положений h относительно чувствительного элемента (3) с величиной шага δh, ! подача переменного тока на катушку (6) чувствительного элемента, ! определение импеданса Z и/или относительного изменения Z/ΔZ импеданса катушки (6) чувствительного элем�

Claims (16)

1. Способ определения положения и/или изменения положения объекта измерения относительно чувствительного элемента (3), причем чувствительный элемент (3) предпочтительно представляет собой катушку (6) чувствительного элемента (3), подпитываемую переменным током, отличающийся тем, что посредством магнита (4), приданного объекту (2) измерения, в магнитомягкой пленке (8), магнитная проницаемость которой изменяется под воздействием магнитного поля в зависимости от напряженности магнитного поля и которая находится с области влияния чувствительного элемента (3), вызывается изменение магнитной проницаемости пленки (8) и что изменение магнитной проницаемости пленки (8) определяется по его обратному действию на чувствительный элемент (3) и отсюда определяется положение и/или изменение положения объекта (2) измерения относительно чувствительного элемента (3).
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что компенсационная катушка (7), возбуждаемая постоянным током, создает магнитное поле, с помощью которого оказывается воздействие на магнитную проницаемость пленки (8) или части пленки (8), причем постоянный ток может регулироваться таким образом, что устанавливается, по существу, постоянное магнитное поле компенсационной катушки (7).
3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что для калибровки чувствительного элемента (3) выполняются следующие этапы
позиционирование объекта (2) измерения в множестве положений h относительно чувствительного элемента (3) с величиной шага δh,
подача переменного тока на катушку (6) чувствительного элемента,
определение импеданса Z и/или относительного изменения Z/ΔZ импеданса катушки (6) чувствительного элемента в каждом положении,
определение характеристической кривой, описывающей зависимость относительной чувствительности S катушки (6) чувствительного элемента от положения h объекта (2) измерения, где
S=ΔZ/Z:δh,
определение положения h0 на характеристической кривой, в котором относительная чувствительность S принимает максимальные значения,
запись величины комплексного импеданса Z0, соответствующей положению h0, в энергонезависимую память,
подача постоянного тока на компенсационную катушку (7),
определение импеданса Z и/или относительного изменения Z/ΔZ импеданса катушки (6) чувствительного элемента в любом положении h, причем на пленку (8) воздействуют магнитные поля катушки (6) чувствительного элемента, компенсационной катушки (7) и магнита (4),
изменение постоянного тока в диапазоне ±Δh измерений до достижения записанной заданной величины импеданса,
определение зависимости постоянного тока от изменения положения объекта (2) измерения.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что для обнаружения обратного действия на катушку (6) чувствительного элемента, вызванного изменением магнитной проницаемости пленки (8), проводится измерение импеданса или его изменения, причем могут определяться действительная составляющая Re{Z} и мнимая составляющая Im{Z} комплексного импеданса катушки (6) чувствительного элемента (3), а также частное D=Re{Z}/Im{Z}.
5. Способ по п.2, отличающийся тем, что величина постоянного тока устанавливается посредством компенсационной катушки (7) в системе следящего управления с помощью замкнутого контура регулирования, причем частное D может быть использовано в контуре регулирования в качестве заданной величины и/или причем мнимая составляющая Im{Z} может быть использована для определения положения между объектом (2) измерения и чувствительным элементом (3), причем D предпочтительно удерживается постоянным и/или причем сила постоянного тока, протекающего в компенсационной катушке (7), может быть использована для определения положения.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что благодаря регулированию максимальная относительная чувствительность S чувствительного элемента (3) удерживается постоянной во всем диапазоне измерений или в его части.
7. Сенсорное устройство для определения положения и/или изменения положения объекта (2) измерения относительно чувствительного элемента (3), причем объекту (2) измерения предпочтительно придан магнит (4) и причем чувствительный элемент (3) предпочтительно содержит катушку (6) чувствительного элемента, подпитываемую переменным током, в частности, для осуществления способа по любому из пп.1-6, отличающееся тем, что в области влияния чувствительного элемента (3) расположена пленка (8) из магнитомягкого материала, причем магнитная проницаемость пленки (8) под влиянием магнитного поля изменяется в зависимости от напряженности магнитного поля, и что предусмотрена схема (11) обработки, с помощью которой изменение магнитной проницаемости пленки (8) определяется по его обратному действию на чувствительный элемент (3) и делается вывод в отношении положения и/или изменения положения объекта (2) измерения относительно чувствительного элемента (3).
8. Сенсорное устройство по п.7, отличающееся тем, что предусмотрена компенсационная катушка (7), возбуждаемая постоянным током и влияющая на магнитную проницаемость пленки (8) или части пленки (8), причем магнитные поля катушки (6) чувствительного элемента (3), компенсационной катушки (7) и магнита (4) могут складываться в результирующее магнитное поле, причем катушка (6) чувствительного элемента может быть гальванически отделена от компенсационной катушки (7).
9. Сенсорное устройство по п.8, отличающееся тем, что сила постоянного тока регулируется, и/или что магнит (4) включает в себя постоянный магнит и/или электромагнит, и/или что пленка (8) находится в емкостной связи с катушкой (6) чувствительного элемента и имеет электрический контакт (9), причем между контактом (9) пленки (8) и выводом катушки (6) чувствительного элемента может быть включен осциллятор (10).
10. Сенсорное устройство по п.9, отличающееся тем, что второй вывод катушки (6) чувствительного элемента соединен со входом усилителя (12) схемы (11) обработки, причем сигнал U2, выдаваемый усилителем (12), пропорционален относительному изменению ΔZ/Z импеданса катушки (6) чувствительного элемента, причем для определения двух ортогональных компонентов напряжения U2 может быть предусмотрено электронное устройство (13), причем один из обоих компонентов пропорционален действительной составляющей Re{Z}, а другой - мнимой составляющей Im{Z} комплексного импеданса катушки (6) чувствительного элемента и/или причем электронное устройство (13) при необходимости формирует сигналы U3 и U4, причем с помощью сигнала U4 синхронизируется осциллятор (10), а сигнал U3 может быть использован для управления источником (14) напряжения.
11. Сенсорное устройство по п.10, отличающееся тем, что электронное устройство (13) содержит аналого-цифровой преобразователь, процессор и память и через оптоэлектронный элемент связи соединяются со входом источника (14) напряжения.
12. Сенсорное устройство по любому из пп.7-11, отличающееся тем, что чувствительный элемент (3) установлен на круглой основе (20), и/или что чувствительный элемент (3) выполнен плоскостным и установлен предпочтительно на плоской основе, и/или что в результате изменения магнитной проницаемости пленки (8) глубина проникновения электромагнитного поля, создаваемого катушкой (6) чувствительного элемента, увеличивается и что пленка (8) по своей длине рассчитана таким образом, чтобы электромагнитное поле на участках с низкой магнитной проницаемостью могло проходить через пленку (8), и/или что предусмотрена проводящая поверхность (26), расположенная вблизи пленки (8) и со стороны, противоположной катушке (6) чувствительного элемента, причем электромагнитное поле, пронизывающее пленку (8), может индуцировать в проводящей поверхности вихревые токи.
13. Сенсорное устройство для определения положения и/или изменения положения объекта (2) измерения относительно чувствительного элемента (3), причем объекту (2) измерения предпочтительно придан магнит (4) и причем чувствительный элемент (3) предпочтительно содержит катушку (6) чувствительного элемента, подпитываемую переменным током, отличающееся тем, что в области влияния чувствительного элемента (3) расположена пленка (8) из магнитомягкого материала, причем магнитная проницаемость пленки (8) под влиянием магнитного поля изменяется в зависимости от напряженности магнитного поля и причем перемещение объекта (2) измерения осуществляется, по существу, параллельно направлению протяженности пленки (8), и что изменение магнитной проницаемости пленки (8) определяется по его обратному действию на чувствительный элемент (3), а отсюда делается вывод в отношении положения и/или изменения положения объекта (2) измерения относительно чувствительного элемента (3).
14. Сенсорное устройство по п.12, отличающееся тем, что предусмотрена схема (11) обработки, с помощью которой определяется изменение магнитной проницаемости пленки (8) по его обратному действию на катушку (6) чувствительного элемента, причем магнит (4) может включать в себя постоянный магнит и/или электромагнит, и/или причем пленка (8) может находиться в емкостной связи с катушкой (6) чувствительного элемента и иметь электрический контакт (9), причем между контактом (9) пленки (8) и выводом катушки (6) чувствительного элемента включен осциллятор (10).
15. Сенсорное устройство по п.11, отличающееся тем, что второй вывод катушки (6) чувствительного элемента соединен с усилителем (12) схемы (11) обработки, причем сигнал U2 на выходе усилителя (12) пропорционален изменению ΔZ/Z импеданса катушки (6) чувствительного элемента.
16. Сенсорное устройство по любому из пп.13-15, отличающееся тем, что чувствительный элемент (3) установлен на круглой основе (20), и/или что чувствительный элемент (3) выполнен плоскостным и установлен предпочтительно на плоской основе, и/или что в результате изменения магнитной проницаемости пленки (8) глубина проникновения электромагнитного поля, создаваемого катушкой (6) чувствительного элемента, увеличивается и что пленка (8) по своей длине рассчитана таким образом, чтобы электромагнитное поле на участках с низкой магнитной проницаемостью могло проходить через пленку (8), и/или что предусмотрена проводящая поверхность (26), расположенная вблизи пленки (8) и со стороны, противоположной катушке (6) чувствительного элемента, причем электромагнитное поле, пронизывающее пленку (8), может индуцировать в проводящей поверхности вихревые токи.
RU2009128061/28A 2006-12-21 2007-12-21 Способ и измерительное устройство для определения положения и/или изменения положения объекта измерения относительно чувствительного элемента RU2460044C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006061845.9 2006-12-21
DE102006061845 2006-12-21

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009128061A true RU2009128061A (ru) 2011-01-27
RU2460044C2 RU2460044C2 (ru) 2012-08-27

Family

ID=39496138

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009128061/28A RU2460044C2 (ru) 2006-12-21 2007-12-21 Способ и измерительное устройство для определения положения и/или изменения положения объекта измерения относительно чувствительного элемента

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8476896B2 (ru)
EP (1) EP2137499B1 (ru)
CN (1) CN101563585B (ru)
DE (1) DE112007003357A5 (ru)
RU (1) RU2460044C2 (ru)
WO (1) WO2008074317A2 (ru)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101563585B (zh) * 2006-12-21 2013-03-20 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 被测物相对于传感器的位置和/或位置变化的测定方法及测定用的传感器装置
CN101751719B (zh) * 2008-12-03 2011-12-28 国民技术股份有限公司 用温度补偿提高交易系统通信距离准确性的方法和装置
DE102008063527A1 (de) 2008-12-18 2010-07-01 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Schaltungsanordnung und Verfahren zum Auswerten eines Sensors
DE102009032897B4 (de) * 2009-07-10 2013-09-19 Stabilus Gmbh Kolben-Zylinderaggregat
DE202010013721U1 (de) 2009-09-30 2011-04-28 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Erfassen der Bewegung eines dünnen Körpers
DE102010011849A1 (de) 2009-09-30 2011-04-07 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zum Erfassen der Bewegung eines dünnen Körpers
DE102009055104A1 (de) * 2009-12-21 2011-06-22 Robert Bosch GmbH, 70469 Magnetfeldsensoranordnung zur Wegerfassung an beweglichen Bauteilen
DE102010027017A1 (de) * 2010-07-08 2012-01-12 Siemens Aktiengesellschaft Induktive Sensoreinrichtung sowie induktiver Näherungssensor mit einer induktiven Sensoreinrichtung
CN101915592A (zh) * 2010-07-15 2010-12-15 常州华辉电子设备有限公司 基于电磁感应的高精度定位系统
EP2525193B1 (en) * 2011-05-17 2016-03-02 Sensata Technologies, Inc. Magnetic proximity sensor
DE102011079631A1 (de) * 2011-07-22 2013-01-24 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Ermittlung von Bewegungsparametern
DE102011086773A1 (de) * 2011-11-22 2013-05-23 Robert Bosch Gmbh Metallsensor
RU2487314C1 (ru) * 2011-12-23 2013-07-10 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Вихретоковый преобразователь перемещений
WO2013142388A1 (en) * 2012-03-23 2013-09-26 Northeastern University A device for direct microwave measurement of permeability as a function of high dc voltage
US9464922B2 (en) * 2012-11-19 2016-10-11 Behr-Hella Thermocontrol Gmbh Capacitive sensor for detecting a relative movement of two adjacent bodies
WO2014091823A1 (ja) * 2012-12-11 2014-06-19 三菱電機株式会社 電磁アクチュエータの可動子位置検出装置および方法
KR102044354B1 (ko) * 2012-12-20 2019-11-13 삼성전자주식회사 데이터베이스 구축을 위한 자기장 맵을 생성하는 방법 및 장치
DE102014201975A1 (de) * 2013-08-28 2015-03-05 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensor mit einem Sensorelement und Verfahren zur Herstellung des Sensorelements
CN104458901A (zh) * 2013-10-10 2015-03-25 上海宝信软件股份有限公司 旋转前进涡流检测用探头定位机械接触式表面形态跟踪架
CN104667427B (zh) * 2013-11-29 2019-02-01 上海联影医疗科技有限公司 多叶光栅的叶片位置监测装置、多叶光栅、放疗设备
DE102014213221A1 (de) * 2014-07-08 2016-01-14 Continental Teves Ag & Co. Ohg Wegmessung basierend auf Wirbelströmen und eine Abschirmung aufhebenden Geberelement
EP3209975B1 (en) * 2014-10-24 2020-12-02 Moog Inc. Position sensor assembly
US10627199B1 (en) 2014-10-29 2020-04-21 Moog Inc. Active cooling system for electronics on a missile
DE102014223884A1 (de) 2014-11-24 2016-05-25 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensoranordnung und Verfahren zum Bestimmen einer Position und/oder einer Positionsänderungeines Messobjekts
NL2016860A (en) 2015-07-08 2017-01-17 Asml Netherlands Bv Measurement Systems, Lithographic Apparatus, Device manufacturing Method and a Method of Measuring
US9733061B2 (en) * 2015-07-29 2017-08-15 Texas Instruments Incorporated Distance determination based on reflected admittance
US10914566B2 (en) 2016-07-22 2021-02-09 Regents Of The University Of Minnesota Position sensing system with an electromagnet
US10837802B2 (en) 2016-07-22 2020-11-17 Regents Of The University Of Minnesota Position sensing system with an electromagnet
DE102017212052A1 (de) * 2017-07-13 2019-01-17 Zf Friedrichshafen Ag Induktive Positionsbestimmung
DE102017128472A1 (de) 2017-11-30 2019-06-06 Pepperl + Fuchs Gmbh Induktiver Näherungsschalter und Verfahren zum Betreiben eines induktiven Näherungsschalters
DE102017128471A1 (de) 2017-11-30 2019-06-06 Pepperl + Fuchs Gmbh Induktiver Näherungsschalter und Verfahren zum Betreiben eines induktiven Näherungsschalters
CN110207583A (zh) * 2019-07-02 2019-09-06 唐山迪安自动化设备有限公司 酸槽内钢带位置测量传感器
DE102019123344B3 (de) * 2019-08-30 2021-02-25 Endress+Hauser Flowtec Ag Coriolis-Messaufnehmer und Coriolis-Messgerät mit einer Vorrichtung zur Bestimmung eines Alters von Magneten eines Sensors oder Erregers sowie ein Verfahren zur Altersbestimmung
CN113008939B (zh) 2019-12-18 2024-12-31 财团法人工业技术研究院 电磁特性测量装置与系统以及电磁特性测量方法
US10847017B1 (en) * 2020-03-17 2020-11-24 Discovery Democracy LLC Electronic face mask
US20210369145A1 (en) * 2020-05-27 2021-12-02 Pablo Hugo Marcos Bracelet and necklace savior
DE102020134217A1 (de) * 2020-12-18 2022-06-23 Balluff Gmbh Induktive Sensorvorrichtung zum Bestimmen einer longitudinalen Position eines bewegbaren Objekts entlang einer sensitiven Achse der Sensorvorrichtung sowie Verfahren zum Betreiben einer solchen Sensorvorrichtung
CN114473843B (zh) * 2021-12-30 2022-12-13 清华大学 一种金属膜厚测量方法和化学机械抛光设备

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3041041C2 (de) 1980-10-31 1983-06-23 Krauss-Maffei AG, 8000 München Magneto-elektrischer Wegaufnehmer
DE3610479A1 (de) * 1986-03-27 1987-10-01 Vacuumschmelze Gmbh Magnetischer wegsensor
DE3803293A1 (de) 1988-02-04 1989-08-17 Turck Werner Kg Magnetisch betaetigter analoger elektrischer wegaufnehmer fuer geradlinige bewegungen
DE3803253A1 (de) 1988-02-04 1989-08-17 Niederberg Chemie Duennwandige sammlerrohre, insbesondere aus kunststoff, fuer deponien
US4926122A (en) * 1988-08-08 1990-05-15 General Motors Corporation High sensitivity magnetic circuit
FR2718250B1 (fr) * 1994-03-31 1996-06-07 Setid Procédé de sondage d'un canal.
DE4425904A1 (de) * 1994-07-21 1996-01-25 Vacuumschmelze Gmbh Magnetischer Wegsensor
EP1173721A1 (en) * 1999-04-23 2002-01-23 Scientific Generics Limited Position sensor
US6605939B1 (en) * 1999-09-08 2003-08-12 Siemens Vdo Automotive Corporation Inductive magnetic saturation displacement sensor
DE10025661A1 (de) * 2000-05-24 2001-12-06 Balluff Gebhard Feinmech Wegmeßsystem
US6633160B2 (en) * 2001-04-19 2003-10-14 Hoton How Fluxgate signal detection employing high-order waveform autocorrelation
US6828780B2 (en) * 2001-05-01 2004-12-07 Balluff Gmbh Position measuring system having an inductive element arranged on a flexible support
GB2377497B (en) * 2001-07-11 2003-07-23 Elliott Ind Ltd Inductive position detectors
DE20307652U1 (de) * 2003-05-16 2004-09-16 Werner Turck Gmbh & Co. Kg Magnetisch betätigbarer Wegaufnehmer
CN101563585B (zh) * 2006-12-21 2013-03-20 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 被测物相对于传感器的位置和/或位置变化的测定方法及测定用的传感器装置

Also Published As

Publication number Publication date
RU2460044C2 (ru) 2012-08-27
EP2137499B1 (de) 2017-03-15
CN101563585A (zh) 2009-10-21
CN101563585B (zh) 2013-03-20
WO2008074317A2 (de) 2008-06-26
WO2008074317A3 (de) 2008-09-18
US20100090688A1 (en) 2010-04-15
US8476896B2 (en) 2013-07-02
DE112007003357A5 (de) 2009-12-03
EP2137499A2 (de) 2009-12-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2009128061A (ru) Способ и сенсорное устройство для определения положения и/или изменения положения объекта измерения относительно чувствительного элемента
US10036656B2 (en) Position detecting system based on inductive sensing
KR20040081200A (ko) 자기장 센서
CN103674075A (zh) 用于感应产生电测量信号的方法和相关的传感器装置
JP5156432B2 (ja) 渦電流式試料測定方法と渦電流センサ
CN107576425A (zh) 一种非接触式测量铁磁材料应力的装置及方法
US6693425B2 (en) Sensor having an electric coil and giant magnetoresistor for detecting defects in a component
US7271587B2 (en) High resolution and low power magnetometer using magnetoresistive sensors
US8203406B2 (en) Magnetic having linear magnetic flux density
US7495433B2 (en) Device for detecting defects in electrically conductive materials in a nondestructive manner
JP2013101129A (ja) 渦電流センサ及び検出物判別回路
WO2005064268A1 (en) A method and device for measuring the thickness and the electrical conductivity of an object of measurement
US20140002069A1 (en) Eddy current probe
Luong et al. Fluxgate-based displacement sensor design
JP5209994B2 (ja) 渦電流センサ
WO2015118508A1 (en) Eddy current probe with differential magnetic field sensors
CN109690308B (zh) 用于对试样的能磁化的和/或不能磁化的部分进行无损的含量确定的设备和方法
Deyneka et al. Non-destructive testing of ferromagnetic materials using hand inductive sensor
JP2005315732A (ja) 強磁性体の変位測定装置
JP2021018057A (ja) 磁気センサ
Ka et al. Development of micro-size search coil magnetometer for magnetic field distribution measurement
US7498804B1 (en) Resonance current sensing
Indrasari et al. High sensitivity fluxgate sensor for detection of AC magnetic field: Equipment for characterization of magnetic material in subsurface
JPH03243801A (ja) 非接触型距離計
RU2533347C1 (ru) Устройство автономной регистрации импульсного магнитного поля