[go: up one dir, main page]

RU2009118234A - METHOD FOR OPTICAL MEASUREMENTS FOR DETERMINING MATERIAL PROPERTIES - Google Patents

METHOD FOR OPTICAL MEASUREMENTS FOR DETERMINING MATERIAL PROPERTIES Download PDF

Info

Publication number
RU2009118234A
RU2009118234A RU2009118234/28A RU2009118234A RU2009118234A RU 2009118234 A RU2009118234 A RU 2009118234A RU 2009118234/28 A RU2009118234/28 A RU 2009118234/28A RU 2009118234 A RU2009118234 A RU 2009118234A RU 2009118234 A RU2009118234 A RU 2009118234A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
angle
reflection coefficient
distortions
absence
radiation
Prior art date
Application number
RU2009118234/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2423684C2 (en
Inventor
Александр Анатольевич Ковалев (RU)
Александр Анатольевич Ковалев
Геннадий Михайлович Борисов (RU)
Геннадий Михайлович Борисов
Original Assignee
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) (RU)
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) (RU), Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) filed Critical Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) (RU)
Priority to RU2009118234/28A priority Critical patent/RU2423684C2/en
Publication of RU2009118234A publication Critical patent/RU2009118234A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2423684C2 publication Critical patent/RU2423684C2/en

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

1. Способ оптических измерений для определения свойств материалов, заключающийся в том, что посредством модуляционной спектроскопии измеряют спектры, отличающийся тем, что измеряют спектр угла θ1, соответствующего минимуму зависимости коэффициента отражения светового излучения от угла падения, и спектр угла θ2, соответствующего точке перегиба угловой зависимости коэффициента отражения, при этом осуществляют модуляцию угла падения излучения на исследуемый образец с амплитудой, обеспечивающей отсутствие искажений θ1 и θ2, связанных с нелинейностью угловой зависимости коэффициента отражения, или пренебрежимо малое влияние нелинейности угловой зависимости коэффициента отражения. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что выбором частоты модуляции f обеспечивают достаточно высокое отношение сигнал/шум для выделения из шума полезного сигнала, необходимого для измерения характеристических углов при отсутствии искажений θ1 и θ2. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что при измерении спектров углов используют линейно поляризованное излучение, его р-компоненту. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что для модуляции угла падения излучения на исследуемый образец с амплитудой, обеспечивающей отсутствие искажений θ1 и θ2, связанных с нелинейностью угловой зависимости коэффициента отражения, амплитуду выбирают от 0,2 до 2 градусов. ! 5. Способ по п.2, отличающийся тем, что при выборе частоты модуляции f, обеспечивающей достаточно высокое отношение сигнал/шум для выделения из шума полезного сигнала, необходимого для измерения характеристических углов при отсутствии искажений θ1 и θ2, используют значения от 5 до 200 Гц. 1. The method of optical measurements for determining the properties of materials, which consists in the fact that modulation spectroscopy measure spectra, characterized in that they measure the spectrum of the angle θ1 corresponding to the minimum dependence of the reflection coefficient of light radiation on the angle of incidence, and the spectrum of the angle θ2 corresponding to the inflection point of the angle the dependences of the reflection coefficient, while modulating the angle of incidence of radiation on the test sample with an amplitude that ensures the absence of distortions θ1 and θ2 associated with not ineynostyu angular dependence of the reflection coefficient or negligible effect of the nonlinearity of the angular dependence of the reflection coefficient. ! 2. The method according to claim 1, characterized in that the choice of modulation frequency f provides a sufficiently high signal-to-noise ratio for extracting from the noise a useful signal necessary for measuring characteristic angles in the absence of distortions θ1 and θ2. ! 3. The method according to claim 1, characterized in that when measuring the spectra of angles using linearly polarized radiation, its p-component. ! 4. The method according to claim 1, characterized in that for modulating the angle of incidence of radiation on the test sample with an amplitude that ensures the absence of distortions θ1 and θ2 associated with the nonlinearity of the angular dependence of the reflection coefficient, the amplitude is selected from 0.2 to 2 degrees. ! 5. The method according to claim 2, characterized in that when choosing a modulation frequency f that provides a sufficiently high signal-to-noise ratio to extract from the noise a useful signal necessary for measuring characteristic angles in the absence of distortions θ1 and θ2, values from 5 to 200 are used Hz

Claims (5)

1. Способ оптических измерений для определения свойств материалов, заключающийся в том, что посредством модуляционной спектроскопии измеряют спектры, отличающийся тем, что измеряют спектр угла θ1, соответствующего минимуму зависимости коэффициента отражения светового излучения от угла падения, и спектр угла θ2, соответствующего точке перегиба угловой зависимости коэффициента отражения, при этом осуществляют модуляцию угла падения излучения на исследуемый образец с амплитудой, обеспечивающей отсутствие искажений θ1 и θ2, связанных с нелинейностью угловой зависимости коэффициента отражения, или пренебрежимо малое влияние нелинейности угловой зависимости коэффициента отражения.1. The method of optical measurements for determining the properties of materials, which consists in the fact that modulation spectroscopy measure spectra, characterized in that they measure the spectrum of the angle θ 1 corresponding to the minimum dependence of the reflection coefficient of light radiation on the angle of incidence, and the spectrum of the angle θ 2 corresponding to the point inflection angular dependence of the reflection coefficient, the modulation is performed on the radiation incidence angle of the sample with an amplitude ensuring no distortion θ 1 and θ 2 associated Nonlinearity of the angular dependence of the reflection coefficient or negligible effect of the nonlinearity of the angular dependence of the reflection coefficient. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что выбором частоты модуляции f обеспечивают достаточно высокое отношение сигнал/шум для выделения из шума полезного сигнала, необходимого для измерения характеристических углов при отсутствии искажений θ1 и θ2.2. The method according to claim 1, characterized in that the choice of modulation frequency f provides a sufficiently high signal-to-noise ratio for extracting from the noise a useful signal necessary for measuring characteristic angles in the absence of distortions θ 1 and θ 2 . 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что при измерении спектров углов используют линейно поляризованное излучение, его р-компоненту.3. The method according to claim 1, characterized in that when measuring the spectra of angles using linearly polarized radiation, its p-component. 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что для модуляции угла падения излучения на исследуемый образец с амплитудой, обеспечивающей отсутствие искажений θ1 и θ2, связанных с нелинейностью угловой зависимости коэффициента отражения, амплитуду выбирают от 0,2 до 2 градусов.4. The method according to claim 1, characterized in that for modulating the angle of incidence of radiation on the test sample with an amplitude that ensures the absence of distortions θ 1 and θ 2 associated with the nonlinearity of the angular dependence of the reflection coefficient, the amplitude is selected from 0.2 to 2 degrees. 5. Способ по п.2, отличающийся тем, что при выборе частоты модуляции f, обеспечивающей достаточно высокое отношение сигнал/шум для выделения из шума полезного сигнала, необходимого для измерения характеристических углов при отсутствии искажений θ1 и θ2, используют значения от 5 до 200 Гц. 5. The method according to claim 2, characterized in that when choosing a modulation frequency f providing a sufficiently high signal-to-noise ratio to extract from the noise a useful signal necessary for measuring characteristic angles in the absence of distortions θ 1 and θ 2 , values from 5 are used up to 200 Hz.
RU2009118234/28A 2009-05-13 2009-05-13 Optical measurement method for material RU2423684C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009118234/28A RU2423684C2 (en) 2009-05-13 2009-05-13 Optical measurement method for material

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009118234/28A RU2423684C2 (en) 2009-05-13 2009-05-13 Optical measurement method for material

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009118234A true RU2009118234A (en) 2010-11-20
RU2423684C2 RU2423684C2 (en) 2011-07-10

Family

ID=44058165

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009118234/28A RU2423684C2 (en) 2009-05-13 2009-05-13 Optical measurement method for material

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2423684C2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020146933A1 (en) * 2019-01-14 2020-07-23 Общество С Ограниченной Ответственностью "Эссентоптикс" Spectrophotometer

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1520404A1 (en) * 1988-03-29 1989-11-07 Предприятие П/Я А-3771 Method of measuring refractive index of absorbing media
RU2065148C1 (en) * 1994-04-05 1996-08-10 Производственное объединение "Казанский оптико-механический завод" Method of measurement of refractive index of transparent and absorbing media
US6753961B1 (en) * 2000-09-18 2004-06-22 Therma-Wave, Inc. Spectroscopic ellipsometer without rotating components

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020146933A1 (en) * 2019-01-14 2020-07-23 Общество С Ограниченной Ответственностью "Эссентоптикс" Spectrophotometer
CN113544479A (en) * 2019-01-14 2021-10-22 伊森特光学公司 Spectrophotometer

Also Published As

Publication number Publication date
RU2423684C2 (en) 2011-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102621083A (en) Method and system for measuring rock optical parameters based on Terahertz time-domain spectroscopy
CN104007115B (en) Method and system for detecting jewelry structure by using terahertz time domain spectroscopic technique
NZ703875A (en) Spectroscopic analysis
CN105699317A (en) Terahertz time-domain spectrograph capable of entering at fixed angle and simultaneously detecting transmission and reflection
CN105628642A (en) Method for improving frequency spectrum signal-to-noise ratio of tera-hertz optical detection system
EP2518518A3 (en) Method for automatically setting frequency span in a spectrum analyzer
WO2009137122A3 (en) Methods, devices and kits for peri-critical reflectance spectroscopy
WO2005074525A3 (en) Entangled-photon fourier transform spectroscopy
EA200701744A1 (en) NOISE EVALUATION AT ONE FREQUENCY THROUGH NOISE MEASUREMENT AT OTHER FREQUENCIES
WO2009050830A1 (en) Authentication system and portable medium for authentication
WO2008154349A3 (en) Method and apparatus for localized polarization sensitive imaging
CN104749132A (en) A method for measuring the content of azodicarbonamide in flour
EP2233905A3 (en) Transmitted wavefront measuring method, refractive-index distribution measuring method, method of manufacturing optical element, and transmitted wavefront measuring apparatus
CN110927122B (en) Phase type SPR detection device and method based on interference spectrum
CN106596499A (en) Real-time Raman spectrum calibration method
TW200712480A (en) Unevenness inspecting apparatus and unevenness inspecting method
WO2020130942A1 (en) A non-destructive system and method for determining the quality of chinese herb using terahertz time-domain spectroscopy
CN102087211B (en) Terahertz spectral analysis device and detection method for biofilm
CN106546556B (en) Method for identifying quality of porcelain-like tableware based on terahertz time-domain spectroscopy
RU2009118234A (en) METHOD FOR OPTICAL MEASUREMENTS FOR DETERMINING MATERIAL PROPERTIES
CN104048922A (en) Method for measuring polarization degree and polarization angle of fluorescence spectrum
CN101482504A (en) Test device for detecting material laser space scattering characteristics and its detecting method
JPWO2008099442A1 (en) Spectral analysis apparatus and spectral analysis method
ATE350656T1 (en) DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING THE CHROMATIC DISPERSION OF OPTICAL COMPONENTS
CN101403687B (en) Method for detecting infrared spectrometer stability based on monocrystaline silicon piece

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20140514