[go: up one dir, main page]

RU2007134315A - METHOD FOR COATING USING A PULSE LASER AND OBJECT WITH COATING APPLIED BY THIS METHOD - Google Patents

METHOD FOR COATING USING A PULSE LASER AND OBJECT WITH COATING APPLIED BY THIS METHOD Download PDF

Info

Publication number
RU2007134315A
RU2007134315A RU2007134315/02A RU2007134315A RU2007134315A RU 2007134315 A RU2007134315 A RU 2007134315A RU 2007134315/02 A RU2007134315/02 A RU 2007134315/02A RU 2007134315 A RU2007134315 A RU 2007134315A RU 2007134315 A RU2007134315 A RU 2007134315A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
ablation
laser
coating
metal
target
Prior art date
Application number
RU2007134315/02A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2425908C2 (en
Inventor
Яри РУУТТУ (FI)
Яри РУУТТУ
Original Assignee
Пикодеон Лтд. Ой (Fi)
Пикодеон Лтд. Ой
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from FI20050216A external-priority patent/FI20050216A0/en
Priority claimed from FI20050558A external-priority patent/FI20050558A0/en
Application filed by Пикодеон Лтд. Ой (Fi), Пикодеон Лтд. Ой filed Critical Пикодеон Лтд. Ой (Fi)
Publication of RU2007134315A publication Critical patent/RU2007134315A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2425908C2 publication Critical patent/RU2425908C2/en

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Claims (22)

1. Способ нанесения покрытия на тело из металла, минерала, стекла или пластика, отличающийся тем, что покрытие наносят посредством лазерной абляции при перемещении тела через плазменный факел, возникающий при абляции из движущейся мишени, для получения покрытия с максимально высокой степенью регулярности.1. The method of coating a body of metal, mineral, glass or plastic, characterized in that the coating is applied by laser ablation when moving the body through a plasma torch that occurs during ablation from a moving target, to obtain a coating with the highest degree of regularity. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что лазерную абляцию осуществляют с использованием импульсного лазера.2. The method according to claim 1, characterized in that the laser ablation is carried out using a pulsed laser. 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что для осуществления абляции используют лазерное устройство на основе лазера для холодной абляции, такого как пикосекундный лазер.3. The method according to claim 2, characterized in that for the implementation of ablation using a laser device based on a laser for cold ablation, such as a picosecond laser. 4. Способ по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что лазерную абляцию осуществляют при давлении 98·10-3-98·10-9 Па.4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that laser ablation is carried out at a pressure of 98 · 10 -3 -98 · 10 -9 Pa. 5. Способ по п.1, отличающийся тем, что нанесение покрытия осуществляют при перемещении покрываемого тела последовательно через два или более плазменных факелов.5. The method according to claim 1, characterized in that the coating is carried out by moving the coated body sequentially through two or more plasma torches. 6. Способ по п.5, отличающийся тем, что расстояние между покрываемым телом и мишенью выбирают в интервале 30-100 мм, предпочтительно 35-50 мм.6. The method according to claim 5, characterized in that the distance between the coated body and the target is selected in the range of 30-100 mm, preferably 35-50 mm 7. Способ по п.1 или 6, отличающийся тем, что расстояние между покрываемым телом и мишенью поддерживают, по существу, постоянным на протяжении всего периода абляции.7. The method according to claim 1 or 6, characterized in that the distance between the coated body and the target is maintained substantially constant throughout the ablation period. 8. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала мишени выбирают графит, спеченный углерод, металл, оксид металла или полисилоксан.8. The method according to claim 1, characterized in that the target material is selected graphite, sintered carbon, metal, metal oxide or polysiloxane. 9. Способ по п.8, отличающийся тем, что металл выбирают из алюминия, титана, меди, цинка, хрома, циркония или олова.9. The method of claim 8, wherein the metal is selected from aluminum, titanium, copper, zinc, chromium, zirconium or tin. 10. Способ по п.1 или 8, отличающийся тем, что покрытие из оксида формируют на покрываемом теле путем введения кислорода в газовую среду внутри вакуумной камеры.10. The method according to claim 1 or 8, characterized in that the oxide coating is formed on the body to be coated by introducing oxygen into the gas medium inside the vacuum chamber. 11. Способ по п.10, отличающийся тем, что газовая среда состоит из кислорода и инертного газа, предпочтительно гелия или аргона, наиболее предпочтительно гелия.11. The method according to claim 10, characterized in that the gaseous medium consists of oxygen and an inert gas, preferably helium or argon, most preferably helium. 12. Тело из металла, стекла или пластика, отличающееся тем, что имеет покрытие, нанесенное посредством лазерной абляции при перемещении тела через плазменный факел, возникающий при абляции из движущейся мишени, для получения покрытия с максимально высокой степенью регулярности.12. A body made of metal, glass or plastic, characterized in that it has a coating deposited by laser ablation when moving the body through a plasma torch that occurs when ablation from a moving target, to obtain a coating with the highest degree of regularity. 13. Тело по п.12, отличающееся тем, что выполнено из пластика, а лазерная абляция осуществлена с использованием импульсного лазера.13. The body according to p. 12, characterized in that it is made of plastic, and laser ablation is carried out using a pulsed laser. 14. Тело по п.13, отличающееся тем, что лазерное устройство, использованное для лазерной абляции, выполнено на основе лазера для холодной абляции, такого как пикосекундный лазер.14. The body according to item 13, wherein the laser device used for laser ablation is made on the basis of a laser for cold ablation, such as a picosecond laser. 15. Тело по любому из пп.12-14, отличающееся тем, что лазерная абляция осуществлена при давлении 98·10-3-98·10-9 Па.15. The body according to any one of paragraphs.12-14, characterized in that the laser ablation is carried out at a pressure of 98 · 10 -3 -98 · 10 -9 PA. 16. Тело по п.12, отличающееся тем, что нанесение покрытия осуществлено при перемещении покрываемого тела последовательно через два или более плазменных факелов.16. The body according to p. 12, characterized in that the coating is carried out by moving the coated body sequentially through two or more plasma torches. 17. Тело по п.16, отличающееся тем, что расстояние между телом и мишенью выбрано в интервале 30-100 мм, предпочтительно 35-50 мм.17. The body according to clause 16, wherein the distance between the body and the target is selected in the range of 30-100 mm, preferably 35-50 mm 18. Тело по п.12 или 17, отличающееся тем, что расстояние между мишенью и покрываемым телом, по существу, постоянно на протяжении всего периода абляции.18. The body according to item 12 or 17, characterized in that the distance between the target and the body to be coated is essentially constant throughout the entire ablation period. 19. Тело по п.12, отличающееся тем, что в качестве материала мишени выбран графит, спеченный углерод, металл, оксид металла или полисилоксан.19. The body according to p. 12, characterized in that the target material selected is graphite, sintered carbon, metal, metal oxide or polysiloxane. 20. Тело по п.19, отличающееся тем, что в качестве металла выбран алюминий, титан, медь, цинк, хром, цирконий или олово.20. The body according to claim 19, characterized in that the metal selected is aluminum, titanium, copper, zinc, chromium, zirconium or tin. 21. Тело по п.12 или 19, отличающееся тем, что на теле сформировано покрытие из оксида при введении кислорода в газовую среду внутри вакуумной камеры.21. The body according to item 12 or 19, characterized in that an oxide coating is formed on the body when oxygen is introduced into the gas medium inside the vacuum chamber. 22. Тело по п.21, отличающееся тем, что газовая среда состоит из кислорода и инертного газа, предпочтительно гелия или аргона, наиболее предпочтительно гелия. 22. The body according to item 21, wherein the gaseous medium consists of oxygen and an inert gas, preferably helium or argon, most preferably helium.
RU2007134315/02A 2005-02-23 2006-02-23 Procedure for application of coating by means of pulse laser and object with coating applied by such procedure RU2425908C2 (en)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20050216 2005-02-23
FI20050216A FI20050216A0 (en) 2005-02-23 2005-02-23 The process produces diamonds, other gemstones such as sapphires, rubies, etc. and performs coatings on these, as well as coatings with other substances such as borides, oxides, nitrides, etc.
FI20050558 2005-05-26
FI20050558A FI20050558A0 (en) 2005-05-26 2005-05-26 Method and apparatus for performing laser coating and PLD method
FI20050559 2005-05-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007134315A true RU2007134315A (en) 2009-03-27
RU2425908C2 RU2425908C2 (en) 2011-08-10

Family

ID=40542245

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007134315/02A RU2425908C2 (en) 2005-02-23 2006-02-23 Procedure for application of coating by means of pulse laser and object with coating applied by such procedure

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2425908C2 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2486282C1 (en) * 2011-11-17 2013-06-27 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" Method of producing quartz glass implanted with tin ions
RU2502151C1 (en) * 2012-04-24 2013-12-20 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук (ИОФ РАН) Method of making photocathode and apparatus for making photocathode
EP2781968A1 (en) * 2013-03-19 2014-09-24 Nivarox-FAR S.A. Resonator that is less sensitive to climate variations
RU2556183C2 (en) * 2013-04-24 2015-07-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" Method of producing titanium oxide - titanium silicide heterostructure on monocrystalline silicon substrate coated with nanocrystalline titanium film

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1630154A1 (en) * 1989-08-14 1992-06-15 Предприятие П/Я В-8851 Method of coating a substrate
JP3255469B2 (en) * 1992-11-30 2002-02-12 三菱電機株式会社 Laser thin film forming equipment
AU5179098A (en) * 1996-11-18 1998-06-10 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for directional deposition of thin films using laser ablation
JP4069198B2 (en) * 2001-09-25 2008-04-02 独立行政法人産業技術総合研究所 Method for producing heteroepitaxial thin film of α-SiC and thin film produced by the same method
RU2242532C1 (en) * 2003-09-09 2004-12-20 Гуревич Сергей Александрович Method of production of nanoparticles

Also Published As

Publication number Publication date
RU2425908C2 (en) 2011-08-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Lin et al. Diamond like carbon films deposited by HiPIMS using oscillatory voltage pulses
Ciganovic et al. Surface modification of the titanium implant using TEA CO2 laser pulses in controllable gas atmospheres–Comparative study
TW200726568A (en) Pulsed arc welding method
RU2007134315A (en) METHOD FOR COATING USING A PULSE LASER AND OBJECT WITH COATING APPLIED BY THIS METHOD
MXPA05010170A (en) Substrates coated with mixtures of titanium and aluminum materials, methods for making the substrates, and cathode targets of titanium and aluminum metal.
RU2360032C1 (en) Method of obtaining wear-resisting ultra-hard coatings
TW200704823A (en) Y2O3 spray-coated member and production method thereof
Milovanović et al. Titanium alloy surface modification by excimer laser irradiation
JP2010535624A5 (en)
WO2005090629A3 (en) Refurbishment of sputtering targets
Dou et al. Femtosecond laser ablation of Al-Mg alloy in vacuum and air
EP2133921B8 (en) method to prepare a stable transparent electrode
Razavi et al. Corrosion behaviour of laser gas nitrided Ti–6Al–4V in HCl solution
Wang et al. Influence of electrolyte compositions on structure and high-temperature oxidation resistance of microarc oxidation coatings formed on Ti2AlNb alloy
EP1650324A3 (en) Sputter coating system and method of sputter coating
Marcinauskas et al. Structural and optical properties of doped amorphous carbon films deposited by magnetron sputtering
Trtica et al. Titanium surface modification using femtosecond laser with 1013–1015 W/cm2 intensity in vacuum
RU2018140962A (en) TiCN WITH REDUCED GROWTH DEFECTS WITH HiPIMS
Grevey et al. Gas protection optimization during Nd: YAG laser welding
Zeng et al. Characteristics of Ti (C, N)/TiB composite layer on Ti–6Al–4V alloy produced by laser surface melting
RU2502829C1 (en) Vacuum unit for making nanostructured coats with shape memory effect on part surface
Ohtsu et al. Thickness of titanium nitride layers formed by focused low-power pulsed Nd: YAG laser irradiation in nitrogen atmospheres
RU2562185C1 (en) Modification method of surface of items from titanium alloys in vacuum
RU2009114631A (en) METHOD FOR APPLYING METAL COATINGS ON PRODUCTS FROM CERAMICS
Ahmadi et al. Comparison of auxiliary cathode and conventional plasma nitriding of gamma-TiAl alloy

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20160224