Claims (35)
1. Трехосевой магнитный датчик, имеющий внутри одной подложки множество элементов с магниторезистивным эффектом, у которых направления чувствительности пересекаются друг с другом, в котором1. A three-axis magnetic sensor having many elements with a magnetoresistive effect inside one substrate, in which the directions of sensitivity intersect each other, in which
по меньшей мере, один из элементов с магниторезистивным эффектом сформирован на плоской поверхности подложки, при этом направление намагниченности зафиксированного слоя находится внутри плоской поверхности; иat least one of the elements with a magnetoresistive effect is formed on a flat surface of the substrate, while the direction of magnetization of the fixed layer is inside the flat surface; and
по меньшей мере, еще один элемент с магниторезистивным эффектом сформирован на наклонной поверхности подложки, при этом направление намагниченности зафиксированного слоя находится внутри поверхности вдоль наклонной поверхности.at least one element with a magnetoresistive effect is formed on the inclined surface of the substrate, while the direction of magnetization of the fixed layer is inside the surface along the inclined surface.
2. Трехосевой магнитный датчик по п.1, в котором2. Three-axis magnetic sensor according to claim 1, in which
элемент с магниторезистивным эффектом имеет зафиксированный слой, намагниченный посредством зафиксированного слоя посредством магнитных полей, сформированных группой постоянных магнитов, в которой фрагменты постоянных магнитов с различной полярностью размещены рядом друг с другом;an element with a magnetoresistive effect has a fixed layer magnetized by a fixed layer by means of magnetic fields formed by a group of permanent magnets in which fragments of permanent magnets with different polarity are placed next to each other;
элемент с магниторезистивным эффектом, сформированный на плоской поверхности подложки, имеет зафиксированный слой, намагниченный посредством магнитного поля, параллельного подложке, из магнитных полей, сформированных посредством фрагментов постоянных магнитов; иan element with a magnetoresistive effect formed on a flat surface of the substrate has a fixed layer magnetized by a magnetic field parallel to the substrate from magnetic fields formed by fragments of permanent magnets; and
элемент с магниторезистивным эффектом, сформированный на наклонной поверхности, предусмотренной на подложке, имеет зафиксированный слой, намагниченный посредством магнитного поля, пересекающегося с подложкой фрагментов постоянных магнитов, из магнитных полей, сформированных посредством фрагментов постоянных магнитов.an element with a magnetoresistive effect formed on an inclined surface provided on a substrate has a fixed layer magnetized by a magnetic field intersecting with the substrate of fragments of permanent magnets from magnetic fields formed by fragments of permanent magnets.
3. Трехосевой магнитный датчик по п.1, в котором наклонной поверхностью является наклонная поверхность паза, сформированного на толстой пленке подложки.3. The three-axis magnetic sensor according to claim 1, wherein the inclined surface is an inclined surface of a groove formed on a thick substrate film.
4. Трехосевой магнитный датчик, имеющий внутри одной подложки X-осевой датчик, в котором множество элементов с усиленным магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, Y-осевой датчик, в котором множество элементов с усиленным магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, и Z-осевой датчик, в котором множество элементов с усиленным магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, при этом4. A three-axis magnetic sensor having an X-axis sensor inside one substrate, in which a plurality of elements with an enhanced magnetoresistive effect are connected by a bridge method, a Y-axis sensor, in which many elements with an enhanced magnetoresistive effect are connected by a bridge method, and a Z-axis sensor, in which many elements with enhanced magnetoresistive effect are connected by a bridge method, while
элемент с магниторезистивным эффектом состоит из одной полосы элементов с магниторезистивным эффектом или множества полос элементов с магниторезистивным эффектом, соединенных последовательно;an element with a magnetoresistive effect consists of one strip of elements with a magnetoresistive effect or a plurality of stripes of elements with a magnetoresistive effect, connected in series;
элементы с магниторезистивным эффектом X-осевого датчика и элементы с магниторезистивным эффектом Y-осевого датчика формируются на плоской поверхности, параллельной подложке, направление чувствительности перпендикулярно продольному направлению каждой из полос элементов с магниторезистивным эффектом, элементы с магниторезистивным эффектом X-осевого датчика и элементы с магниторезистивным эффектом Y-осевого датчика имеют зафиксированный слой, в котором направление намагниченности ортогонально друг другу; иelements with the magnetoresistive effect of the X-axis sensor and elements with the magnetoresistive effect of the Y-axis sensor are formed on a flat surface parallel to the substrate, the direction of sensitivity is perpendicular to the longitudinal direction of each of the stripes of elements with the magnetoresistive effect, elements with the magnetoresistive effect of the X-axis sensor and elements with magnetoresistive the Y-axis sensor effect has a fixed layer in which the direction of magnetization is orthogonal to each other; and
элементы с магниторезистивным эффектом Z-осевого датчика формируются на наклонной поверхности, предусмотренной на подложке, и их зафиксированный слой формируется таким образом, что направление намагниченности находится внутри наклонной поверхности, и их направление чувствительности пересекается с продольным направлением соответствующей полосы элементов с магниторезистивным эффектом.elements with a magnetoresistive effect of the Z-axis sensor are formed on an inclined surface provided on the substrate, and their fixed layer is formed in such a way that the magnetization direction is inside the inclined surface, and their sensitivity direction intersects with the longitudinal direction of the corresponding strip of elements with a magnetoresistive effect.
5. Трехосевой магнитный датчик по п.4, в котором в элементе с магниторезистивным эффектом множество полос элементов с магниторезистивным эффектом размещается параллельно и соседние полосы элементов с магниторезистивным эффектом соединены последовательно с подмагничивающими пленками.5. The three-axis magnetic sensor according to claim 4, in which in an element with a magnetoresistive effect, a plurality of strips of elements with a magnetoresistive effect are arranged in parallel and adjacent strips of elements with a magnetoresistive effect are connected in series with magnetizing films.
6. Трехосевой магнитный датчик по п.4, в котором6. The three-axis magnetic sensor according to claim 4, in which
каждая из полос элементов с магниторезистивным эффектом, составляющих элементы с магниторезистивным эффектом Z-осевого датчика, сформирована на наклонной поверхности, сформированной так, чтобы быть относительно повернутой под тем же углом к Z-оси, перпендикулярной плоской поверхности подложки;each of the strips of elements with a magnetoresistive effect constituting elements with a magnetoresistive effect of a Z-axis sensor is formed on an inclined surface formed so as to be relatively rotated at the same angle to the Z-axis perpendicular to the flat surface of the substrate;
продольное направление связанной полосы элемента с магниторезистивным эффектом сделано совпадающим либо с направлением длинной стороны (ось X) подложки, либо с направлением короткой стороны (ось Y); иthe longitudinal direction of the connected strip of the element with the magnetoresistive effect is made to coincide either with the direction of the long side (X axis) of the substrate, or with the direction of the short side (Y axis); and
элементы с магниторезистивным эффектом, составленные с помощью полос элементов с магниторезистивным эффектом, сформированных на каждой из наклонных поверхностей, размещены так, чтобы быть смежными друг с другом и взаимно параллельными.elements with a magnetoresistive effect, composed by strips of elements with a magnetoresistive effect, formed on each of the inclined surfaces, are placed so as to be adjacent to each other and mutually parallel.
7. Трехосевой магнитный датчик по п.4, в котором7. The three-axis magnetic sensor according to claim 4, in which
каждая из полос элементов с магниторезистивным эффектом, составляющих элементы с магниторезистивным эффектом Z-осевого датчика, сформирована на наклонной поверхности, сформированной так, чтобы быть относительно повернутой в сторону Z-оси, перпендикулярной плоской поверхности подложки; - продольное направление полосы элемента с магниторезистивным эффектом сделано совпадающим либо с направлением длинной стороны (ось X) подложки, либо с направлением короткой стороны (ось Y); и - элементы с магниторезистивным эффектом, составленные с помощью полос элементов с магниторезистивным эффектом, сформированных на каждой из наклонных поверхностей, размещены так, чтобы быть смежными и взаимно параллельными, а также соединенными полномостовым способом.each of the bands of elements with a magnetoresistive effect constituting elements with a magnetoresistive effect of a Z-axis sensor is formed on an inclined surface formed so as to be relatively rotated towards the Z-axis perpendicular to the flat surface of the substrate; - the longitudinal direction of the strip of the element with the magnetoresistive effect is made to coincide either with the direction of the long side (X axis) of the substrate, or with the direction of the short side (Y axis); and - elements with a magnetoresistive effect, composed by strips of elements with a magnetoresistive effect, formed on each of the inclined surfaces, are placed so as to be adjacent and mutually parallel, as well as connected by full-bridge method.
8. Трехосевой магнитный датчик по п.4, в котором подложка сформирована в прямоугольной форме при просмотре сверху, и соотношение сторон составляет 1:2 или 1:1,5.8. The three-axis magnetic sensor according to claim 4, in which the substrate is formed in a rectangular shape when viewed from above, and the aspect ratio is 1: 2 or 1: 1.5.
9. Трехосевой магнитный датчик по п.6, в котором9. The three-axis magnetic sensor according to claim 6, in which
два элемента с магниторезистивным эффектом, составленных с помощью полос элементов с магниторезистивным эффектом, размещены так, чтобы быть смежными и взаимно параллельными; иtwo elements with a magnetoresistive effect, composed using strips of elements with a magnetoresistive effect, are placed so as to be adjacent and mutually parallel; and
два элемента с магниторезистивным эффектом соединены полномостовым способом с двумя немагнитными резисторами, сформированными в области, которая точечно симметрична от центра подложки, которая имеет квадратную форму при просмотре сверху.two elements with a magnetoresistive effect are connected in a full-bridge manner with two non-magnetic resistors formed in a region that is pointwise symmetrical from the center of the substrate, which has a square shape when viewed from above.
10. Трехосевой магнитный датчик по п.4, в котором наклонной поверхностью является наклонная поверхность паза, сформированного на толстой пленке подложки.10. The three-axis magnetic sensor according to claim 4, in which the inclined surface is the inclined surface of the groove formed on a thick substrate film.
11. Способ изготовления трехосевого магнитного датчика, имеющего внутри одной подложки X-осевой датчик, в котором множество элементов с магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, Y-осевой датчик, в котором множество элементов с магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, и Z-осевой датчик, в котором множество элементов с магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, при этом способ изготовления трехосевого магнитного датчика содержит этапы, на которых11. A method of manufacturing a three-axis magnetic sensor having an X-axis sensor inside one substrate, in which a plurality of elements with a magnetoresistive effect are connected by a bridge method, a Y-axis sensor, in which a plurality of elements with a magnetoresistive effect are connected by a bridge method, and a Z-axis sensor, in which many elements with a magnetoresistive effect are connected by a bridge method, while the method of manufacturing a three-axis magnetic sensor comprises the steps of
формируют элемент с магниторезистивным эффектом для формирования на подложке множества элементов с магниторезистивным эффектом, которые будут функционировать в качестве X-осевого датчика, множества элементов с магниторезистивным эффектом, которые будут функционировать в качестве Y-осевого датчика, и множества элементов с магниторезистивным эффектом, которые будут функционировать в качестве Z-осевого датчика; иform an element with a magnetoresistive effect for forming on the substrate a plurality of elements with a magnetoresistive effect that will function as an X-axis sensor, a plurality of elements with a magnetoresistive effect that will function as a Y-axis sensor, and a plurality of elements with a magnetoresistive effect that will function as a Z-axis sensor; and
выполняют термическую обработку для регуляризации, при которой каждый из элементов с магниторезистивным эффектом, сформированных на подложке, нагревается посредством применения магнитного поля к нему, чтобы предоставлять одновременно термическую обработку для регуляризации для каждого из элементов с магниторезистивным эффектом.perform heat treatment for regularization, in which each of the elements with a magnetoresistive effect formed on the substrate is heated by applying a magnetic field to it, to simultaneously provide heat treatment for regularization for each of the elements with a magnetoresistive effect.
12. Способ изготовления трехосевого магнитного датчика по п.11, в котором на этапе термической обработки для регуляризации обработка проводится посредством нагревания, в то время как магнитное поле передается на направление, отклоненное под углом 45° от направления, перпендикулярного наклонной поверхности, на которой сформированы полосы элементов с магниторезистивным эффектом, составляющие множество элементов с магниторезистивным эффектом, выступающих как Z-осевые датчики.12. A method of manufacturing a three-axis magnetic sensor according to claim 11, in which at the stage of heat treatment for regularization, the processing is carried out by heating, while the magnetic field is transmitted to a direction deflected at an angle of 45 ° from the direction perpendicular to the inclined surface on which strips of elements with a magnetoresistive effect, constituting many elements with a magnetoresistive effect, acting as Z-axis sensors.
13. Трехосевой магнитный датчик, имеющий внутри одной подложки X-осевой датчик, в котором множество элементов с усиленным магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, Y-осевой датчик, в котором множество элементов с усиленным магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, и Z-осевой датчик, в котором множество элементов с усиленным магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, в котором13. A three-axis magnetic sensor having an X-axis sensor inside one substrate in which a plurality of elements with an enhanced magnetoresistive effect are connected by a bridge method, a Y-axis sensor in which a plurality of elements with an enhanced magnetoresistive effect are connected by a bridge method, and a Z-axis sensor, in which many elements with enhanced magnetoresistive effect are connected by a bridge method, in which
элемент с усиленным магниторезистивным эффектом составлен с помощью, по меньшей мере, одной или более полос элементов с усиленным магниторезистивным эффектом;an element with an enhanced magnetoresistive effect is composed using at least one or more strips of elements with an enhanced magnetoresistive effect;
элементы с усиленным магниторезистивным эффектом X-осевого датчика сформированы на плоской поверхности, параллельной плоской поверхности подложки, продольное направление полос элементов с усиленным магниторезистивным эффектом находится в направлении оси Y, направление намагниченности зафиксированного слоя связанной полосы элементов с усиленным магниторезистивным эффектом находится под предварительно определенным углом относительно оси X, а направление чувствительности является направлением, перпендикулярным продольному направлению полосы элементов с усиленным магниторезистивным эффектом;elements with an enhanced magnetoresistive effect of the X-axis sensor are formed on a flat surface parallel to the flat surface of the substrate, the longitudinal direction of the bands of elements with an enhanced magnetoresistive effect is in the direction of the Y axis, the magnetization direction of a fixed layer of a connected strip of elements with an enhanced magnetoresistive effect is at a predetermined angle relative to X axis, and the direction of sensitivity is a direction perpendicular to the longitudinal direction eniyu strip elements with power magnetoresistive effect;
элементы с усиленным магниторезистивным эффектом Y-осевого датчика сформированы на плоской поверхности, параллельной плоской поверхности подложки, продольное направление полос элементов с усиленным магниторезистивным эффектом находится в направлении оси X, направление намагниченности зафиксированного слоя связанной полосы элементов с усиленным магниторезистивным эффектом находится под предварительно определенным углом относительно оси Y, а его направление чувствительности является направлением, перпендикулярным продольному направлению каждой из полос элементов с усиленным магниторезистивным эффектом; иthe elements with the enhanced magnetoresistive effect of the Y-axis sensor are formed on a flat surface parallel to the flat surface of the substrate, the longitudinal direction of the strips of elements with the enhanced magnetoresistive effect is in the direction of the X axis, the magnetization direction of the fixed layer of the connected strip of elements with the enhanced magnetoresistive effect is at a predetermined angle relative to Y axis, and its direction of sensitivity is a direction perpendicular to the longitudinal alignment of each of the bands of elements with enhanced magnetoresistive effect; and
элементы с усиленным магниторезистивным эффектом Z-осевого датчика сформированы на наклонной поверхности, предусмотренной на подложке, направление намагниченности сформировано так, чтобы быть внутри наклонной поверхности, а направление чувствительности сформировано так, чтобы пересекаться с продольным направлением связанной полосы элементов с усиленным магниторезистивным эффектом.the elements with the enhanced magnetoresistive effect of the Z-axis sensor are formed on an inclined surface provided on the substrate, the magnetization direction is formed so as to be inside the inclined surface, and the sensitivity direction is formed so as to intersect with the longitudinal direction of the connected strip of elements with the enhanced magnetoresistive effect.
14. Трехосевой магнитный датчик по п.13, в котором предварительно определенный угол в направлении намагниченности зафиксированного слоя полос элементов с усиленным магниторезистивным эффектом, составляющих X-осевой датчик, и предварительно определенный угол в направлении намагниченности зафиксированного слоя полос элементов с усиленным магниторезистивным эффектом, составляющих Y-осевой датчик, равны 45°.14. The three-axis magnetic sensor according to item 13, in which a predefined angle in the direction of magnetization of a fixed layer of bands of elements with enhanced magnetoresistive effect constituting the X-axis sensor, and a predetermined angle in the direction of magnetization of a fixed layer of bands of elements with enhanced magnetoresistive effect, constituting Y-axis sensor equal to 45 °.
15. Трехосевой магнитный датчик по п.13, в котором элемент с усиленным магниторезистивным эффектом имеет множество полос элементов с магниторезистивным эффектом, размещенных параллельно.15. The three-axis magnetic sensor of claim 13, wherein the element with an enhanced magnetoresistive effect has a plurality of stripes of elements with an magnetoresistive effect arranged in parallel.
16. Трехосевой магнитный датчик по п.13, в котором множество полос элементов с усиленным магниторезистивным эффектом, размещенных параллельно, размещаются рядом, и эти полосы элементов с усиленным магниторезистивным эффектом соединены последовательно посредством подмагничивающих пленок.16. The three-axis magnetic sensor of claim 13, wherein a plurality of strips of elements with enhanced magnetoresistive effect arranged in parallel are arranged side by side, and these strips of elements with enhanced magnetoresistive effect are connected in series by magnetizing films.
17. Трехосевой магнитный датчик по п.13, в котором каждая из полос элементов с усиленным магниторезистивным эффектом, составляющих элементы с усиленным магниторезистивным эффектом Z-осевого датчика, сформирована на наклонной поверхности, сформированной так, чтобы быть относительно поверхности под тем же углом к оси Z, перпендикулярной плоской поверхности подложки, продольное направление полосы элементов с усиленным магниторезистивным эффектом является направлением, наклоненным на 45° относительно направления по оси X подложки или направления по оси Y, и элементы с усиленным магниторезистивным эффектом, состоящие из полос элементов с усиленным магниторезистивным эффектом, сформированных на каждой из наклонных поверхностей, размещаются так, чтобы быть взаимно параллельными.17. The three-axis magnetic sensor of claim 13, wherein each of the bands of elements with an enhanced magnetoresistive effect constituting elements with an enhanced magnetoresistive effect of a Z-axis sensor is formed on an inclined surface formed so as to be relative to the surface at the same angle to the axis Z, perpendicular to the flat surface of the substrate, the longitudinal direction of the strip of elements with enhanced magnetoresistive effect is a direction inclined 45 ° relative to the direction along the X axis of the substrate or eniya on Y axis, and elements with power magnetoresistive effect elements consist of strips with increased magnetoresistive effect, formed on each of the inclined surfaces are arranged so as to be mutually parallel.
18. Трехосевой магнитный датчик по п.13, в котором подложка сформирована в прямоугольной форме с соотношением сторон 1:2 или в квадратной форме при просмотре сверху.18. The three-axis magnetic sensor of claim 13, wherein the substrate is formed in a rectangular shape with an aspect ratio of 1: 2 or in a square shape when viewed from above.
19. Трехосевой магнитный датчик по п.13, в котором наклонной поверхностью является наклонная поверхность паза, сформированного на толстой пленке подложки.19. The three-axis magnetic sensor of claim 13, wherein the inclined surface is an inclined surface of a groove formed on a thick substrate film.
20. Способ изготовления трехосевого магнитного датчика, имеющего внутри одной подложки X-осевой датчик, в котором множество элементов с магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, Y-осевой датчик, в котором множество элементов с магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, и Z-осевой датчик, в котором множество элементов с магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, при этом способ изготовления трехосевого магнитного датчика содержит этапы, на которых20. A method of manufacturing a three-axis magnetic sensor having an X-axis sensor inside one substrate in which a plurality of elements with a magnetoresistive effect are connected by a bridge method, a Y-axis sensor in which a plurality of elements with a magnetoresistive effect is connected by a bridge method, and a Z-axis sensor, in which many elements with a magnetoresistive effect are connected by a bridge method, while the method of manufacturing a three-axis magnetic sensor comprises the steps of
формируют элемент с магниторезистивным эффектом для формирования на подложке множества элементов с магниторезистивным эффектом, которые будут функционировать в качестве X-осевого датчика, множества элементов с магниторезистивным эффектом, которые будут функционировать в качестве Y-осевого датчика, и множества элементов с магниторезистивным эффектом, которые будут функционировать в качестве Z-осевого датчика; иform an element with a magnetoresistive effect for forming on the substrate a plurality of elements with a magnetoresistive effect that will function as an X-axis sensor, a plurality of elements with a magnetoresistive effect that will function as a Y-axis sensor, and a plurality of elements with a magnetoresistive effect that will function as a Z-axis sensor; and
выполняют термическую обработку для регуляризации, в которой два элемента с магниторезистивным эффектом в группе с мостовым соединением каждого из элементов с магниторезистивным эффектом, сформированных на подложке, нагреваются посредством применения магнитных полей, взаимно отличающихся по направлению, чтобы предоставлять одновременно термическую обработку для регуляризации для каждого из элементов с магниторезистивным эффектом.perform heat treatment for regularization, in which two elements with a magnetoresistive effect in a group with a bridge connection of each of the elements with a magnetoresistive effect formed on the substrate are heated by applying magnetic fields that are mutually different in direction to provide simultaneously heat treatment for regularization for each of elements with magnetoresistive effect.
21. Способ изготовления трехосевого магнитного датчика по п.20, в котором на этапе термической обработки для регуляризации стержневые магниты в матрице стержневых магнитов, в которой множество стержневых магнитов сформировано параллельно, размещаются так, чтобы задавать 45° относительно подложки таким образом, что соседние стержневые магниты на подложке, на которой сформирован каждый из элементов с усиленным магниторезистивным эффектом, взаимно отличаются по полярности, а затем выполняется нагревание, чтобы провести термическую обработку для регуляризации.21. The manufacturing method of the three-axis magnetic sensor according to claim 20, wherein, in the heat treatment step for regularizing, the bar magnets in the bar magnet matrix, in which the plurality of bar magnets are formed in parallel, are positioned to set 45 ° relative to the substrate so that adjacent rod the magnets on the substrate on which each of the elements with the enhanced magnetoresistive effect is formed are mutually different in polarity, and then heating is performed to conduct heat treatment ku for regularization.
22. Трехосевой магнитный датчик, имеющий внутри одной подложки X-осевой датчик, в котором множество элементов с усиленным магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, Y1-осевой датчик, в котором множество элементов с усиленным магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, и Y2-осевой датчик, в котором множество элементов с усиленным магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, в котором22. A three-axis magnetic sensor having an X-axis sensor inside one substrate, in which a plurality of elements with an enhanced magnetoresistive effect are connected by a bridge method, a Y1-axis sensor, in which many elements with an enhanced magnetoresistive effect are connected by a bridge method, and a Y2-axis sensor, in which many elements with enhanced magnetoresistive effect are connected by a bridge method, in which
элемент с усиленным магниторезистивным эффектом имеет множество полос элементов с усиленным магниторезистивным эффектом, соединенных последовательно;an element with an enhanced magnetoresistive effect has a plurality of bands of elements with an enhanced magnetoresistive effect, connected in series;
элементы с усиленным магниторезистивным эффектом X-осевого датчика сформированы на плоской поверхности, параллельной поверхности подложки, и зафиксированный слой формируется таким образом, что направление намагниченности и направление чувствительности являются перпендикулярными продольному направлению каждой из полос элементов с усиленным магниторезистивным эффектом;elements with an enhanced magnetoresistive effect of the X-axis sensor are formed on a flat surface parallel to the surface of the substrate, and a fixed layer is formed so that the direction of magnetization and the direction of sensitivity are perpendicular to the longitudinal direction of each of the stripes of elements with an enhanced magnetoresistive effect;
Y1-осевой датчик сформирован на первой наклонной поверхности, наклоненной под предварительно определенным углом к поверхности подложки, и зафиксированный слой формируется таким образом, что направление намагниченности и направление чувствительности являются перпендикулярными продольному направлению каждой из полос элементов с усиленным магниторезистивным эффектом, и также идут в направлении вдоль первой наклонной поверхности; иThe Y1-axis sensor is formed on the first inclined surface, inclined at a predetermined angle to the substrate surface, and the fixed layer is formed in such a way that the direction of magnetization and the direction of sensitivity are perpendicular to the longitudinal direction of each of the stripes of elements with enhanced magnetoresistive effect, and also go in the direction along the first inclined surface; and
Y2-осевой датчик сформирован на второй наклонной поверхности, которая наклонена под тем же углом, что и первая наклонная поверхность, но в направлении, противоположном первой наклонной поверхности, и зафиксированный слой формируется таким образом, что направление намагниченности и направление чувствительности являются перпендикулярными продольному направлению каждой из полос элементов с усиленным магниторезистивным эффектом, и также идут в направлении вдоль второй наклонной поверхности.The Y2-axis sensor is formed on the second inclined surface, which is inclined at the same angle as the first inclined surface, but in a direction opposite to the first inclined surface, and the fixed layer is formed so that the magnetization direction and the direction of sensitivity are perpendicular to the longitudinal direction of each from bands of elements with enhanced magnetoresistive effect, and also go in the direction along the second inclined surface.
23. Трехосевой магнитный датчик по п.22, в котором элемент с усиленным магниторезистивным эффектом имеет множество полос элементов с усиленным магниторезистивным эффектом, размещенных параллельно, и соседние полосы элементов с усиленным магниторезистивным эффектом соединены последовательно посредством подмагничивающих пленок.23. The three-axis magnetic sensor according to claim 22, wherein the element with an enhanced magnetoresistive effect has a plurality of bands of elements with an enhanced magnetoresistive effect arranged in parallel, and adjacent bands of elements with an enhanced magnetoresistive effect are connected in series by magnetizing films.
24. Трехосевой магнитный датчик по п.22, в котором первая наклонная поверхность и вторая наклонная поверхность составлены с помощью выступов, сформированных на подложке так, чтобы размещаться вплотную, или первая наклонная поверхность и вторая наклонная поверхность составлены с помощью пазов, сформированных на подложке так, чтобы противостоять друг другу соответственно.24. The three-axis magnetic sensor according to item 22, in which the first inclined surface and the second inclined surface are made using protrusions formed on the substrate so as to fit closely, or the first inclined surface and the second inclined surface are made using grooves formed on the substrate so to confront each other accordingly.
25. Трехосевой магнитный датчик по п.22, в котором первая наклонная поверхность составлена с помощью первого выступа или паза, а вторая наклонная поверхность составлена с помощью второго выступа или паза, который отличается от первого выступа или паза.25. The three-axis magnetic sensor of claim 22, wherein the first inclined surface is formed by the first protrusion or groove, and the second inclined surface is composed by the second protrusion or groove, which is different from the first protrusion or groove.
26. Трехосевой магнитный датчик по п.22, в котором первой и второй наклонной поверхностью являются наклонные поверхности, сформированные на толстой пленке подложки.26. The three-axis magnetic sensor of claim 22, wherein the first and second inclined surface are inclined surfaces formed on a thick substrate film.
27. Способ изготовления трехосевого магнитного датчика, имеющего внутри одной подложки X-осевой датчик, в котором множество элементов с усиленным магниторезистивным эффектом соединен мостовым способом, Y1-осевой датчик, в котором множество элементов с усиленным магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, и Y2-осевой датчик, в котором множество элементов с усиленным магниторезистивным эффектом соединено мостовым способом, при этом способ изготовления трехосевого магнитного датчика содержит этапы, на которых27. A method of manufacturing a three-axis magnetic sensor having an X-axis sensor inside one substrate in which a plurality of elements with an enhanced magnetoresistive effect are connected by a bridge method, a Y1-axis sensor in which a plurality of elements with an enhanced magnetoresistive effect is connected by a bridge method, and a Y2-axis a sensor in which a plurality of elements with an enhanced magnetoresistive effect are connected by a bridge method, the method of manufacturing a three-axis magnetic sensor comprises the steps of
формируют элемент с усиленным магниторезистивным эффектом для формирования на подложке множества элементов с усиленным магниторезистивным эффектом, которые будут функционировать в качестве X-осевого датчика, множества элементов с усиленным магниторезистивным эффектом, которые будут функционировать в качестве Y1-осевого датчика, и множества элементов с усиленным магниторезистивным эффектом, которые будут функционировать в качестве Y2-осевого датчика; иform an element with an enhanced magnetoresistive effect to form on the substrate a plurality of elements with an enhanced magnetoresistive effect that will function as an X-axis sensor, a plurality of elements with an enhanced magnetoresistive effect, which will function as a Y1-axis sensor, and a plurality of elements with an enhanced magnetoresistive an effect that will function as a Y2-axis sensor; and
выполняют термическую обработку для регуляризации, в которой каждый из элементов с усиленным магниторезистивным эффектом, сформированных на подложке, нагревается посредством применения магнитных полей к нему, чтобы предоставлять одновременно термическую обработку для регуляризации для каждого из элементов с усиленным магниторезистивным эффектом.perform heat treatment for regularization, in which each of the elements with an enhanced magnetoresistive effect formed on the substrate is heated by applying magnetic fields to it to simultaneously provide heat treatment for regularization for each of the elements with an enhanced magnetoresistive effect.
28. Магнитный датчик, в котором элементы с магниторезистивным эффектом осей X, Y и Z соответственно сформированы, по меньшей мере, в одну пару на подложке, и зафиксированный слой каждого из этих элементов с магниторезистивным эффектом осей X, Y и Z сформирован таким образом, что направления намагниченности пересекаются друг с другом в трехмерном направлении, причем28. A magnetic sensor in which elements with a magnetoresistive effect of the X, Y, and Z axes are respectively formed into at least one pair on a substrate, and a fixed layer of each of these elements with a magnetoresistive effect of the X, Y, and Z axes is formed in such a way that the directions of magnetization intersect each other in a three-dimensional direction, and
элементы с магниторезистивным эффектом оси X и оси Y сформированы на четырех сторонах камеры подложки, элемент с магниторезистивным эффектом оси Z сформирован в четырех углах камеры; иelements with a magnetoresistive effect of the X axis and axis Y are formed on four sides of the substrate chamber, an element with a magnetoresistive effect of the Z axis is formed in the four corners of the chamber; and
зафиксированный слой элемента с магниторезистивным эффектом оси Z аналогичен в намагниченном состоянии зафиксированному слою элемента с магниторезистивным эффектом оси X или оси Y.the fixed layer of the element with the magnetoresistive effect of the Z axis is similar in a magnetized state to the fixed layer of the element with the magnetoresistive effect of the X axis or Y axis.
29. Магнитный датчик по п.28, в котором одна пара или множество пар наклонных поверхностей сформировано в четырех углах так, чтобы быть взаимно параллельными в направлении хода, и одна или множество пар пазов сформированы взаимно параллельными на одной паре или множестве пар этих наклонных поверхностей, и элементы с магниторезистивным эффектом оси Z сформированы на внутренних поверхностях одной пары или множества пар этих пазов.29. The magnetic sensor of claim 28, wherein one pair or multiple pairs of inclined surfaces are formed at four angles so as to be mutually parallel in the direction of travel, and one or multiple pairs of grooves are formed mutually parallel on one pair or multiple pairs of these inclined surfaces , and elements with a magnetoresistive effect of the Z axis are formed on the inner surfaces of one pair or multiple pairs of these grooves.
30. Магнитный датчик по п.28, в котором направление чувствительности элементов с магниторезистивным эффектом оси X и оси Y находится внутри поверхности подложки, а направление чувствительности элемента с магниторезистивным эффектом оси Z пересекает поверхность подложки.30. The magnetic sensor of claim 28, wherein the sensitivity direction of the elements with the magnetoresistive effect of the X axis and the Y axis is inside the surface of the substrate, and the sensitivity direction of the element with the magnetoresistive effect of the Z axis intersects the surface of the substrate.
31. Магнитный датчик по п.28, в котором наклонной поверхностью является наклонная поверхность паза, сформированного на толстой пленке подложки.31. The magnetic sensor of claim 28, wherein the inclined surface is an inclined surface of a groove formed on a thick substrate film.
32. Способ изготовления магнитного датчика, в котором элементы с магниторезистивным эффектом осей X, Y и Z соответственно сформированы, по меньшей мере, в одну пару на подложке, и эти элементы с магниторезистивным эффектом осей X, Y и Z сформированы таким образом, что соответствующие направления намагниченности пересекаются друг с другом в трехмерном направлении, при этом способ изготовления магнитного датчика содержит этапы, на которых32. A method of manufacturing a magnetic sensor in which elements with a magnetoresistive effect of the X, Y, and Z axes are respectively formed into at least one pair on a substrate, and these elements with a magnetoresistive effect of the X, Y, and Z axes are formed so that corresponding the directions of magnetization intersect each other in a three-dimensional direction, while the method of manufacturing a magnetic sensor comprises the steps of
формируют элементы с магниторезистивным эффектом оси X и оси Y и пленки постоянного магнита, соединенные с ними, на четырех сторонах камеры на подложке и формируют элемент с магниторезистивным эффектом оси Z и пленку постоянного магнита, соединенную с ним;form elements with a magnetoresistive effect of the X axis and the Y axis and a permanent magnet film connected to them on four sides of the camera on the substrate and form an element with a magnetoresistive effect of the Z axis and a permanent magnet film connected to it;
намагничивают пленку постоянного магнита, соединенную с элементом с магниторезистивным эффектом оси Z, используя матрицу магнитов, имеющую множество фрагментов постоянных магнитов, размещенных так, что соседние фрагменты постоянных магнитов взаимно отличаются по полярности, чтобы совместить четыре угла камеры на подложке с промежутком между соседними фрагментами постоянных магнитов в матрице магнитов; иmagnetize a film of a permanent magnet connected to an element with a magnetoresistive effect of the Z axis using a matrix of magnets having many fragments of permanent magnets arranged so that adjacent fragments of permanent magnets are mutually different in polarity to align the four corners of the camera on the substrate with the gap between adjacent fragments of constant magnets in the matrix of magnets; and
намагничивают пленки постоянного магнита, соединенные с элементами с магниторезистивным эффектом оси X и оси Y, посредством перемещения подложки так, чтобы совместить с фрагментами постоянных магнитов матрицы магнитов.Permanent magnet films are magnetized, connected to elements with the magnetoresistive effect of the X axis and Y axis, by moving the substrate so as to align the matrix of magnets with the fragments of the permanent magnets.
33. Способ изготовления магнитного датчика по п.32, в котором мягкая магнитная пластина, имеющая щель в промежутке между соседними фрагментами постоянных магнитов, используется на этапе намагничивания слоев, в том числе соответствующих зафиксированных слоев элементов с магниторезистивным эффектом оси X и оси Y.33. A method of manufacturing a magnetic sensor according to claim 32, in which a soft magnetic plate having a gap in the gap between adjacent fragments of permanent magnets is used at the stage of magnetizing the layers, including the corresponding fixed layers of elements with a magnetoresistive effect of the X axis and Y axis.
34. Способ изготовления магнитного датчика по п.32, в котором мягкая магнитная пластина, имеющая щель в промежутке рядом с соответствующими четырьмя сторонами фрагмента постоянных магнитов, используется на этапе намагничивания слоев, в том числе соответствующих зафиксированных слоев элементов с магниторезистивным эффектом оси X и оси Y.34. The method of manufacturing a magnetic sensor according to claim 32, in which a soft magnetic plate having a gap in the gap next to the corresponding four sides of the fragment of permanent magnets is used at the stage of magnetization of the layers, including the corresponding fixed layers of elements with a magnetoresistive effect of the X axis and axis Y.
35. Способ изготовления трехосевого магнитного датчика по п.32, в котором35. A method of manufacturing a three-axis magnetic sensor according to p, in which
элемент с магниторезистивным эффектом оси Z сформирован на одной паре или множестве пар наклонных поверхностей, направления хода которых параллельны друг другу;an element with a magnetoresistive effect of the Z axis is formed on one pair or a plurality of pairs of inclined surfaces whose travel directions are parallel to each other;
магнитное поле, пересекающееся с подложкой, имеющей фрагменты постоянных магнитов, используется для того, чтобы намагничивать пленку постоянных магнитов, соединенную с элементом с магниторезистивным эффектом оси Z; иa magnetic field intersecting with a substrate having fragments of permanent magnets is used to magnetize a film of permanent magnets connected to an element with a magnetoresistive effect of the Z axis; and
магнитное поле, параллельное подложке, имеющей фрагменты постоянных магнитов, используется для того, чтобы намагничивать пленку постоянных магнитов, соединенную с элементами с магниторезистивным эффектом оси X и оси Y.
a magnetic field parallel to the substrate having fragments of permanent magnets is used to magnetize a film of permanent magnets connected to elements with a magnetoresistive effect of the X axis and Y axis.