RU2005112608A - Интерферометрическое устройство для измерения оптической толщины прозрачного слоя или зазора - Google Patents
Интерферометрическое устройство для измерения оптической толщины прозрачного слоя или зазора Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005112608A RU2005112608A RU2005112608/28A RU2005112608A RU2005112608A RU 2005112608 A RU2005112608 A RU 2005112608A RU 2005112608/28 A RU2005112608/28 A RU 2005112608/28A RU 2005112608 A RU2005112608 A RU 2005112608A RU 2005112608 A RU2005112608 A RU 2005112608A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- optical
- polarizer
- axis
- coincides
- interferometric device
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims 10
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Claims (4)
1. Интерферометрическое устройство для измерения оптической толщины прозрачного слоя или зазора, содержащее источник света, линию задержки и фотоприемник, отличающееся тем, что между источником света и измеряемым объектом установлен поляризатор света, перед фотоприемником установлен анализатор, направление оси которого совпадает или ортогонально направлению оси поляризатора, а линия задержки выполнена в виде фазовой пластинки, разность фаз нормальных волн которой может перестраиваться, и установлена так, что плоскость поляризации ее нормальных волн составляет угол 45° относительно направления оси поляризатора.
2. Интерферометрическое устройство по п.1, отличающееся тем, что оптическая связь между поляризатором и измеряемым объектом, а также между измеряемым объектом и линией задержки осуществляется по отрезкам оптического волокна, сохраняющего поляризацию, установленным так, что направление оптических осей этих волокон совпадает с направлением оптической оси поляризатора.
3. Интерферометрическое устройство по п.1, отличающееся тем, что оптическая связь между поляризатором, измеряемым объектом и линией задержки осуществляется с помощью последовательно установленных светоделителя и отрезка оптического волокна, сохраняющего поляризацию и установленого так, что направление оптической оси волокна совпадает с направлением оптической оси поляризатора.
4. Интерферометрическое устройство по п.1, или 2, или 3, отличающееся тем, что перед анализатором дополнительно установлены оптически связанные неполяризующий светоделитель, фазовая четвертьволновая пластинка, направление оптических осей которой совпадает с направлением оптических осей линии задержки, второй анализатор, направление оси которого совпадает с направлением оси первого анализатора, и второй фотоприемник.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005112608/28A RU2303237C2 (ru) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | Интерферометрическое устройство для измерения оптической толщины прозрачного слоя или зазора |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005112608/28A RU2303237C2 (ru) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | Интерферометрическое устройство для измерения оптической толщины прозрачного слоя или зазора |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2005112608A true RU2005112608A (ru) | 2006-11-10 |
| RU2303237C2 RU2303237C2 (ru) | 2007-07-20 |
Family
ID=37500398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005112608/28A RU2303237C2 (ru) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | Интерферометрическое устройство для измерения оптической толщины прозрачного слоя или зазора |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2303237C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2549211C1 (ru) * | 2013-11-05 | 2015-04-20 | федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-исследовательский радиофизический институт" | Способ удаленного контроля формы поверхности и толщины покрытий, получаемых в процессе магнетронного вакуумного напыления, и устройство для его осуществления |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH471369A (de) * | 1968-01-31 | 1969-04-15 | Bbc Brown Boveri & Cie | Verfahren zur interferometrischen Messung von zwei Längen mit monochromatischen Lichtbündeln |
| DE3825683C1 (ru) * | 1988-07-28 | 1989-12-28 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch, De | |
| RU2141621C1 (ru) * | 1998-02-04 | 1999-11-20 | Иванов Вадим Валерьевич | Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) |
-
2005
- 2005-04-26 RU RU2005112608/28A patent/RU2303237C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2303237C2 (ru) | 2007-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2021017098A1 (zh) | 差动式正弦相位调制激光干涉纳米位移测量装置及方法 | |
| CN102022977B (zh) | 双轴mems扫描的外差干涉系统及方法 | |
| EP2010877A4 (en) | INTERFEROMETRIC DETECTOR BASED ON POLARIZATION | |
| CN102538961B (zh) | 利用组合半波片检测螺旋光束的轨道角动量的方法和装置 | |
| CN104931125B (zh) | 双路线偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪 | |
| JP2014505868A5 (ru) | ||
| CN104897047B (zh) | 双路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪 | |
| CA2628871A1 (en) | Polarizing optical system | |
| CN104897271B (zh) | 单路线偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪 | |
| CN104913838B (zh) | 单路圆偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪 | |
| CN110441032A (zh) | 一种干涉仪及测量保偏光纤及偏振器件偏振耦合的方法 | |
| WO2007059479A3 (en) | Polarization sensitive optical coherence device for obtaining birefringence information | |
| CN104165582A (zh) | 一种基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置及检测方法 | |
| CN206497027U (zh) | 基于光开关的单光谱仪偏振频域光学相干层析成像系统 | |
| JP2004101194A5 (ru) | ||
| CN106338333A (zh) | 基于波片偏航的高鲁棒性零差激光测振仪及四步调整法 | |
| CN104897048B (zh) | 无正交误差的单路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪 | |
| CN104034272B (zh) | 一种宽光谱光干涉法测量薄膜厚度的系统 | |
| CN104930967A (zh) | 正交偏振激光回馈干涉仪 | |
| CN104457559A (zh) | 一种基于反射光栅的同步相移点衍射干涉检测方法 | |
| CN102706461B (zh) | 新型Mach-Zehnder偏振分束干涉仪 | |
| CN101319873A (zh) | 用于同步移相干涉仪的空间移相器 | |
| CN201251428Y (zh) | 同步移相菲索干涉仪 | |
| RU2005112608A (ru) | Интерферометрическое устройство для измерения оптической толщины прозрачного слоя или зазора | |
| CN205581298U (zh) | 一种基于f-p标准具的高精度调频连续波激光测距系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20090427 |