NL8200312A - Stofdoek. - Google Patents

Description

κ 9 j.

' Stefdeek

De uitvinding heeft betrekking op een stofdoek, die geschikt is voor gebruik in "schone kamers".

Verbeteringen in de vervaardiging van geavanceerde technologische produkten, zoals mikro-elektronische inrich-5 tingen, hebben het noodzakelijk gemaakt een nagenoeg stofvrije atmosfeer in de bedrijfsruimte te handhaven. Deze inrichtingen zijn in hoofdzaak mikroprocessoren, het equivalent van de centrale verwerkingseenheid van een kleine computer. Zij worden gefabriceerd onder gebruikmaking van "chips", dunne silieiumplaatjes, 10 waarop stroomketens zijn gefabriceerd. De geïntegreerde stroom-ketens brengen de scheiding en onderlinge verbinding van transis-toren en andere stroomketenelementen tot stand, elektrisch gezien. De stroomketenelementen worden onderling verbonden door een geleidende film van opgedampt metaal, dat fotografisch gegraveerd is 15 onder achterlating van het geëigende patroon van verbindingen. Een isolerende laag ia vereist om de onderliggende halfgeleider te scheiden van de metaalfilm, uitgezonderd waar kontakt gewenst is. Deze isolerende laag wordt gevormd op het oppervlak van de chip nadat de chip is verwerkt en voordat het geleidende metaal daarop 20 wordt opgedampt. Verontreiniging, zelfs door stukjes pluis of stof, kunnen deze stroomketens kortsluiten en veroorzaken, dat zulke inrichtingen niet goed werken. Dit is een voorname reden voor afkeuring. Het is derhalve nodig alle oppervlakken en werkstukken zoveel mogelijk vrij te houden van verontreiniging. Dit wordt 25 gewoonlijk ten dele verwezenlijkt door deze oppervlakken af te stoffen en een aantal gespecialiseerde stofdoeken is voor dit doel ontwikkeld. Het is echter kritisch, dat de stofdoek zelf, afgezien daarvan, dat hij in staat moet zijn om op schone wijze af te stoffen, niet bijdraagt tot het probleem van stofvorming 30 of verpluizen. Conventionele stofdoeken en napieren stofdoeken zijn derhalve niet geheel bevredigend. Diverse niet-geweven doeken zijn eveneens voorhanden, maar ofschoon sommige daarvan weinig ver- 8200312 'r , i - 2 - pluizen vereisen zij behandeling voor bevochtigbaarheid ten einde de eigenschappen van absorberend vermogen en schoon afstoffen te verschaffen, die voor deze toepassingen gewenst zijn. Zulke behandelingen zijn het meest effektief geveest onder toepassing van 5 een anionisch bevochtigingsmiddel, zoals Aerosol OT, dat een hoog natriumiongehalte heeft. Deze metaalionen leveren bijzondere problemen op, daar zij, indien aanwezig in voldoende hoge koncentra-ties, de elektrische eigenschappen van metaaloxydehalfgeleiders kunnen veranderen, waardoor de inrichtingen niet goed meer funk-10 tioneren. Derhalve waren zulke stofdoeken eveneens niet geheel bevredigend. Er is derhalve de behoefte aangetoond voor een weinig verpluizende en schoon afstoffende stofdoek met een laag metaal-iongehalte voor deze bijzondere toepassingen en ook voor andere toepassingen.

15 Zoals hierboven aangegeven zijn niet-geweven wegwerpstofdoeken en stofdoeken met beperkt gebruik algemeen bekend. Willekeurig welke van een aantal niet-weef-werkwijzen kan worden gebruikt om basismaterialen voor stofdoeken te vormen. Bijvoorbeeld niet-geweven materialen, gevormd door smeltblazen, 20 spinnen, kaarden en fibrileren, zijn toegepast. Indien gevormd uit synthetische thermoplastische filamenten zijn zulke materialen normaliter hydrofoob en niet bevochtigbaar. Voor de meeste toepassingen is het derhalve noodzakelijk het niet-geweven materiaal te behandelen om het bevochtigbaar te maken. Een grote verschei-25 denheid van anionische en niet-ionische bevochtigingsmiddelen is voor dit doel ontwikkeld en in gebruik. Daaronder is natriumdioc-tylsulfosuccinaat, zoals Aerosol OT, een in sterke mate geprefereerd middel geworden, omdat het een snelle bevochtigbaarheid verschaft. Voor minder veeleisende toepassingen zijn andere bevoch-30 tigingsmiddelen, zoals die welke hieronder worden genoemd, gebruikt .

Voor schone-kaaer-toepassingen zijn zulke niet-geweven stofdoeken niet geheel bevredigend gebleken, omdat de behandelingen voor bevochtigbaarheid een compromis tussen de bevoch-35 tigingskarakteristieken geproduceerd door Aerosol OT en de nood- 8200312 1 t, ' * - 3 - zaak van een laag metaaliongehalte hebben vereist. Andere specia-liteitsstofdoeken zijn ontwikkeld voor deze toepassingen. Bijvoorbeeld zijn geweven textielstofdoeken gebruikt, maar deze zijn duur en pluizen. Langvezelige, nat-gelegde cellulosestofdoeken hebben 5 ook de neiging te verpluizen en hebben weinig absorberend vermogen en volume.

Representatieve beschrijvingen van de produkten en materialen volgens de stand van de techniek vindt men in het Amerikaanse octrooischrift 3·811.957, dat smelt-geblazen materialen 10 en bevochtigbaarheidsbehandelingen beschrijft, het Amerikaanse octrooischrift 2.999.265, gericht op een reinigings- en ontgeu-ringskussen met een behandeling met oppervlakteaktief middel, het Amerikaanse octrooischrift 3.520.016, dat een cellulosestofdoek beschrijft, de Amerikaanse octrooischriften 3.95^.6^2 en 3.956.155, 15 die textielstofdoeken beschrijven en het Amerikaanse octrooischrift 3.978.185, dat een smelt-geblazen materiaal beschrijft, dat bruikbaar is als stofdoek.

De onderhavige uitvinding is gericht op een zeer doeltreffende, weinig verpluizende niet-geweven sotfdoek met 20 een laag natriumiongehalte voor wegwerptoepassingen of toepassingen met beperkt gebruik. Om gewenste afstofeigenschappen te verwezenlijken voor niet-geweven stofdoeken, gemaakt uit hydrofobe thermoplastische synthetische vezels, moeten zulke materialen worden behandeld met een oppervlakteaktief middel om bevochtigbaarheid 25 met waterige materialen te verkrijgen. Ofschoon het bekend is zulke niet-geweven materialen te behandelen met oppervlakteaktieve middelen, waaronder natriumdioctylsulfosuccinaat, zoals Aerosol OT, verhogen zulke behandelingen het metaaliongehalte van de stofdoek. Voor vele toepassingen is dit aanvaardbaar. Voor schone-kamer-30 toepassingen, zoals noodzakelijk bij de vervaardiging van mikro-elektronische inrichtingen, als hierboven vermeld, en dergelijke, kunnen stofdoeken met een hoog metaaliongehalte echter niet worden toegelaten. In zulke gevallen is behandeling met andere oppervlakteaktieve middelen noodzakelijk geweest, welke, ofschoon ze het 35 niveau van het metaaliongehalte binnen aanvaardbare grenzen bren- 8200312 ί t - k - gen, de afstofeigenschappen op beduidende wijze nadelig beïnvloeden. Volgens de uitvinding is gevonden, dat behandeling van zulke niet-geweven materialen met een specifiek mengsel van oppervlakte-aktieve middelen, omvattende natriumdioctylsulfosuccinaat en een 5 niet-ionisch oppervlakteaktief middel, zoals Triton X-100 (alkyl-fenoxyethanol), het metaaliongehalte van de stofdoek vermindert tot binnen aanvaardbare grenzen en toch de zeer doeltreffende af-stofeigenschappen verkregen door het gebruik van een natriumdioc-tylsulfosuccinaat-oppervlakteaktief middel alleen handhaaft of 10 zelfs verbetert. Derhalve verschaft de stofdoeke volgens de uitvinding, in hét bizonder voor schone-kamer-toepassingen in de mikro-elektronika-fabricage, een produkt, dat de eigenschappen van geringe verpluizing, doeltreffende afstoffing en laag metaaliongehalte, die wezenlijk zijn voor deze operaties, bezit.

15 Figuur 1-1* geven bevochtigbaarheidsbepalingen weer voor diverse verhoudingen van de oppervlakteaktieve middelen Triton X-100 en Aerosol OT-75 (75$ vaste stof) lopend van 100$ Triton X-100 tot 75$ Aerosol OT-75.

De figuren 5-8 geven op soortgelijke wijze ter 20 vergelijking verhoudingen weer, die een ander niet-ionisch oppervlakteaktief middel, Igepal COÖ30 (nonylfenoxypoly(ethyleenoxy)-ethanol) omvatten,

De figuren 9-12 geven een soortgelijke vergelijking weer onder gebruikmaking van Sandozin D-100 (alkylfenolpoly-25 glykolether) als niet-ionische oppervlakteaktieve komponent.

Figuur 13 is een grafiek die de toeneming in het natriumiongehalte in delen per millioen weergeeft, resulterend uit de toevoeging van Aerosol 0T,

Ofschoon de uitvinding nu zal worden beschre-30 ven aan de hand van voorkeursuitvoeringsvormen, zal het duidelijk zijn, dat het niet de bedoeling is de uitvinding daartoe te beperken. Integendeel, het is de bedoeling alle alternatieven, mo-difikaties en equivalenten, die binnen het kader van de uitvinding vallen, te omvatten.

35 In verband met deze beschrijving zijn bepaalde 8200312 - 5 - »: * testprocedures gebruikt om bevochtigbaarheid- en verpluizingskarak-teristieken te bepalen. Bevochtigbaarheidsbepalingen werden uitgevoerd door een pan te vullen met gedestilleerd water tot een diepte van ten minste 2,5**· cm. Een vierkant van 10,16 bij 10,16 cm 5 van het te testen materiaal werd voorzichtig op het oppervlak van het water geplaatst en de tijd werd gemeten, die nodig was om ongeveer 90/? van het bovenoppervlak van het materiaal vochtig te laten worden door doorslaan. Visuele waarneming werd toegepast.

Verpluizingsproeven werden uitgevoerd onder ge-10 bruikmaking van een Climet-deeltjesteller. In deze test werd ook gebruik gemaakt van een mechanische deeltjesgenerator, welke buig-, twist- en verbrijzelingskrachten aanlegt op monsters. Monsters van 15 ,2*4- cm x 15,2*4- cm worden in positie geplaatst in een ruimte van 28,3 1. Een bodemhouder komt 10,16 cm omhoog en draait gelijk-15 tijdig 180° en keert daarna terug naar de uitgangspositie, waarbij de cyclus wordt voltooid in iets minder dan 1 sekonde. De ruimte staat via een buis in verbinding met de deeltjesteller, welke de deeltjes onttrekt met 566 1· per uur. Elke telling neemt 37 sekon-den en vertegenwoordigt het aantal deeltjes van 10 /um of groter 20 in 0,283 1 lucht,

Natriumionkoncentraties werden bepaald door extraktie van alle in heet water oplosbare materialen uit een monster van het stofdoekmateriaal. Deze werden daarna onderworpen aan atoomabsorptiespektroskopie, gebruikmakend van een Perkins 25 Elmer atoomabsorptiespektrofotometer, model 305.

Het substraatmateriaal voor de stofdoek volgens de uitvinding is niet kritisch en vele synthetische vezelige doeken kunnen worden gebruikt. Om wille van de kosten hebben niet-geweven materialen vervaardigd door spinnen of smelt-blazen van 30 thermoplastische polyolefine materialen, zoals polypropeen en polyetheen, de voorkeur. De meeste voorkeur in verband met eigenschappen van schoon afstoffen en absorberend vermogen hebben smelt-geblazen polypropeen materialen, bijvoorbeeld beschreven in het Amerikaanse octrooischrift 3.959.**21. Zulke materialen zijn 35 samengesteld uit mikrovezels met een gemiddelde diameter van in 8200312 ί Σ - 6 - het algemeen 10 pm of minder en zijn, indien "behandeld voor be-vochtigbaarheid, zeer doeltreffend in het absorberen van zowel waterige als olieachtige materialen. In het algemeen zal het sub- Λ straatmateriaal een basisgewicht in het trajekt van 8,5 - 20k g/ssr 5 hebben, bij voorkeur '13,6 - 102 g/m , en zal het gebonden zijn om sterkte-eigenschappen van ten minste ongeveer 6b g/g MD-treksterkte en voldoende voor het beoogde afstofdoel te verschaffen. Treksterk-teresultaten werden in hoofdzaak volgens ASTM D-1117-7^ verkregen. Monsters van 10,16 cm x 15cm worden vervaardigd, waarbij tel-10 kens 5 de lengte ervan in de "machine"-richting en de "dwars"-richting hebben. Een Instron-inrichting wordt gebruikt met een houdervlak van 2,5*+ x 2,5*+ cm en het andere 2,5*+ x 5,08 cm of meer, met de grootste afmeting loodrecht op de richting van belasting. Bij een kruiskopsnelheid van 30,1*8 cm/min. werd de volle 15 schaalbelasting geregistreerd en vermenigvuldigd met een faktor als volgt: aflezingen (kg): 0,91, 2,27, *+,5*+, 9,07, 22,7; faktoren (respektievelijk): 0,001*8, 0,012, 0,02l+, 0,0l*8, 0,120. De resultaten worden gerapporteerd in eenheden van kracht (bijvoorbeeld kg) vereist om het vel te breken. Binding kan worden verwezenlijkt door 20 willekeurig welke van de konventionele middelen, zoals het volgens een patroon aanleggen van warmte en druk, bewerken met naalden, kleefmiddelen of het gebruikmaken van de thermoplastische eigenschappen van de filamenten zelf.

De methode van opneming van het oppervlakteak-25 tieve mengsel in overeenstemming met de uitvinding is niet kritisch. Zo kan het oppervlakteaktieve mengsel worden toegevoegd door konventionele technieken, zoals sproeien, dompelen, bekleden, impregneren en drukken. In het algemeen zal de hoeveelheid van het toegevoegde mengsel worden gedikteerd door de verhouding van de kom-30 ponenten, het toelaatbare natriumiongehalteniveau en de gewenste mate van bevochtigbaarheid. Voor de meeste toepassingen zal dit resulteren in de toevoeging van het oppervlakteaktieve mengsel in het trajekt van ongeveer 0,2-0,7 gew.betrokken op het gewicht van het niet-geweven substraat, en bij voorkeur binnen eht trajekt 35 van 0,3-0,5$. Om redenen van kosten en doeltreffendheid wordt het 8200312 ï * - 7 - oppervlakteaktieve mengsel "bij voorkeur toegevoegd door middel van de koel-sproeiïng beschreven in het bovengenoemde Amerikaanse octrooischrift 3.959.421.

De verhouding van de komponenten van het opper-5 vlakteaktieve mengsel moeten liggen binnen bepaalde grenzen om de voordelen van de onderhavige uitvinding te verwezenlijken. De maximale heoveelheid natriumdioctylsulfosuccinaat zal worden bepaald door het toelaatbare niveau van natriumiongehalte in de stofdoek. In het algemeen dient voor schone-kamer-toepassingen, zoals 10 de vervaardiging van mikro-elektronische inrichtingen, het natriumiongehalte niet meer dan 70 delen per millioen en bij voorkeur minder dan 60 delen per millioen te zijn. In overeenstemming met figuur 13 leidt dit tot een gewichtspercentagetoevoeging van Aerosol OT-75 in de stofdoek van ten hoogste 0,20 en bij voorkeur 15 0,16 of minder. Om de meest doeltreffende afstofeigenschappen te verkrijgen is een bevocfatigbaarheid, als bepaald door een zinktijd van minder 5 sekonden en bij voorkeur minder dan 3 sekonden nodig.

Uit de figuren 1-4 blijkt, dat het gebruik van 25$ Aerosol OT-75 in het mengsel een percentagétoevoeging van 20 nagenoeg 1 $ vereist om een zinktijd van 3 sekonden te verwezenlijken. Daarentegen vereist een verhouding van 50/50 minder dan een 1% toevoeging evenals een verhouding van 25$ Triton X-100 en 75$ Aerosol OT-75. Bij het niveau van 75$ Aerosol OT-75 zou de natrium-iontoevoeging echter komen boven het voorkeur verdienende niveau.

25 Dienovereeriomstig is de hoeveelheid Aerosol OT-75 in het mengsel volgens de uitvinding binnen het trajekt van 25-75$ en bij voorkeur binnen het trajekt van 4o-6o$; in het ideale geval zijn de komponenten aanwezig in ongeveer gelijke hoeveelheden.

Voorbeelden I-IV

30 Een reeks stofdoekmaterialen werd vervaardigd bij variërende niveaus van toevoeging gebruikmakend van de volgende samenstellingen van het opnervlakteaktieve middel: 100$

Triton X-100, 75$ Triton X-100 en 25$ Aerosol OT-75 (75$ vaste stof, 50$ Triton X-100 en 50$ Aerosol OT-75, en 25$ Triton X-100 35 en 75$ Aerosol OT-75· Het substraat was een smelt-geblazen niet- 8200312 I ï - 8 - geweven materiaal, zoals in het algemeen wordt beschreven in het

Amerikaanse octrooischrift 3.955.^21, met een basisgewicht van 2 85 g/m . Deze materialen werden beproefd op bevochtigbaarheid door de zinktijdmethode en de resultaten worden weergegeven in de figu-5 ren 1-U.

Voorbeelden V-VIII

Ter vergelijking werden de smelt-geblazen niet-geweven materialen uit de voorbeelden I-IV op soortgelijke wijze behandeld met de volgende oppervlakteaktieve materialen: 1005? 10 SandozinD-100, 75$ Sandozin D-100 en 25% Aerosol OT-75j 50% Sando-zon D-100 en 50% Aersol ΟΤ-75 en 25% Sandozin D-100 en 755? Aerosol 0T-75. Deze materialen werden eveneens beproefd op bevochtig-baarheid door de zinktijdmethode en de resultaten worden weergegeven in de figuren 5-8 i.

15 Voorbeelden IX-XII

Het smelt-geblazen niet-geweven materiaal van de voorbeelden I-IV werd voor vergelijkingsdoeleinden behandeld met de volgende oppervlakteaktieve materialen: 1005? Igepal C0é30, 75% Igepal C0630 en 25% Aerosol OT-75, 50% Igepal C0630 en 505? 20 Aerosol OT-75 en 25$ Igepal C0630 en 75$ Aerosol 0T-75. De materialen werden beproefd op bevochtigbaarheid door de zinktijdmethode en de resultaten worden weergegeven in de figuren 9-12.

Om de uitvinding verder toe te lichten werd het materiaal van de voorbeelden I-IV behandeld met diverse toe-25 voegingsniveaus van Aerosol OT-75 alleen en Triton X-100 alleen. Bevochtigbaarheidsproeven door middel van de zinktijdmethode werden uitgevoerd en de resultaten worden weergegeven in tabel A. Tevens worden voor vergelijkingsdoeleinden de resultaten opgenomen verkregen met het 50/50-mengsel volgens de uitvinding. Zoals men 30 ziet zijn de bevochtigbaarheidsresultaten verkregen met het mengsel nagenoeg gelijk aan die verkregen met Aerosol OT-75 alleen en veel beter dan die, verkregen met Triton X-100 alleen, bij de hogere to'evoegingspercentageniveaus.

8200312 * i - 9 - Η Η 0) <D 03 m

t $ IA

0} 03 J- J 4 \0 N W ^ C C ΛΛ ΛΛΛΛΛ •Hl oooot-j-oo U O r- C\1 1) LA *“

At·^ A

as

IA

t- g

1-HM

0*0 onmONcnoooo eju3 *i«*«»»«**CVIC\l • rIO 000’--^lA'r~T~

Tf A AA

C 03 *""» H <! •

Jtl 03 »3 »0

βΓτ H

•H 4) O

Ei' 03 O

< Λ »- 1) l H 60 >< IA IA _ Λ

O t-C—r--3- ’-VD O O

n CC »»·»**·*0\ΙΟ1 ca ojooo’-c\j-^‘iAr"T' ·Η -P ' Λ Λ -Ö *rt c u

H

H IA 03 C-03 I Λ ÉH

§)° rocnonvooscuono _J A ^ Λ. **· Λ IV Λ Λ· co οοοοο»-οη-ΐ 03 W •H O Tj A C 03 w <!

bO

c

bO

03

O

b.

0) LA A

o o o o t— ia j· m w

Jj Hflflil**"'1 cncviT-ooooo 03 3

P

o

EH

8200312 * * i - 10 -

Ter vergelijking worden hieronder in tabel B de resultaten weergegeven van verpluizingsproeven uitgevoerd op de voorkeursstofdoek volgens de uitvinding, waarin, het mengsel van 50/50 Triton X-100 en Aerosol OT-75 aanwezig is tezamen met diverse 5 in de handel verkrijgbare stofdoekmaterialen, waaronder die gebruikt voor schone-kamer-toepassingen. Ook zijn metingen van het natrium-iongehalte opgenomen. Stofdoek A is een konventionele smelt-gebla-zen, behandelde stofdoek, stofdoek B is representatief voor een schone-kamer-stofdoek van langvezelige cellulose. Stofdoek C is een 10 droge gecrêpte papieren doek. Stofdoek D is een geweven stofdoek bedoeld voor gebruik in de schone kamer. Stofdoek E is een thermisch gebonden gekaard weefsel van polypropeen. Zoals men ziet is de stofdoek volgens de uitvinding uniek onder de geteste stofdoeken in het verschaffen van zowel een laag metaaliongehalte als geringe 15 verpluizing. De uitzondering hierop is stofdoek E, welke echter een geringe bevochtigbaarheid en slechte afstofeigenschappen heeft en derhalve niet zonder meer geschikt is voor schone-kamer-toepassingen.

8200312 * « t ' s - 11 - •rif o ^ a n j co

Hl O J· t- 0\ W *- LA o{ CM -=? *- m Jt w CU vo

• ri 00 LA ,4 CO LA LA

H r r (η J Cl CO

<a· o cu *- <- *=t cu

§>Ï CU LA

Ü

IA

r o v. ·Η ΙΛ CO J· f IA «=t ων h la co t— j· m r1

(UOOO»”VDt--4· CU

•r^ ' 0Π +J O}

H

t) 0) Ό w

•H *H

a H CO CO IA VQ ON IA

H CU O ON t- CO O CU co pH >; ON r-i J· ·“ ü cu

PQ

'al S g & 3 ra

‘r-H J· H· VO O H- O

O Λ Λ #» Λ «v Λ γ- >: Ο Ο Ο la r- ν d u on t— o t— o o frt d) rw r» r« r*

a+3 4 Λ LO W J O

O tö O (O C\ CU -3" + W £ r- Y- CÖ

JS

ÜÜ G t~ O CO ~ ON o p t ^ φ Λ Λ »v I* Λ Λ O -P r- r- J- τ— co o

0)0) NO -4 O CO NO

W ? ^· r- t- m c ra tra tra h c O *rl < pq o « W > ·ΰ ,¾ ίί ,¾ ^ pij Al'rl ra ra ra ra ra ra > o o o o o o -p 'Ö Ό Ό Ό Ό 'O *rl a-i <m <t^ a-t <s-i a-ι g O O o o o o e 4J +3 +5 +3 .p -p aj ca ra to co co tot) 8200312 - 12 -

Het is dus duidelijk dat volgens de uitvinding een verbeterde, weinig verpluÏ2ende, niet-geweven stofdoek wordt verschaft, die gereduceerde metaalionniveaus bevat en volledig voldoet aan de doeleinden, doelstellingen en voordelen als hierboven 5 weergegeven. Ofschoon de uitvinding is beschreven aan de hand van specifieke uitvoeringsvormen daarvan is het duidelijk, dat vele alternatieven, modifikaties en variaties duidelijk zullen zijn aan de deskundige op dit gebied in het licht van de bovenstaande beschrijving. Derhalve is het de bedoeling, dat al zulke alternatie-10 ven, modifikaties en variaties binnen de beschermingsomvang vallen.

8200312

Claims (13)

1. Stofdoek, gekenmerkt door een niet-geweven O substraat met een basisgewicht in het trajekt van 8,5-20^ g/m , dat behandelde, hydrofobe, thermoplastische vezels omvat, waarbij 5 het genoemde substraat 0,2-0,7 gew.% natriumdioctylsulfosuccinaat en een niet-ionisch oppervlakteaktief middel bevat in de vorm van een mengsel, dat 25-75 gew.% natriumdioctylsulfosuccinaat bevat, waarbij de stofdoek een natriumiongehalte van minder dan 100 delen per millioen en een bevochtigbaarheid als bepaald door de zinktijd-10 methode van minder dan 5 sekonden heeft.

2. Stofdoek volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de thermoplastische vezels uit polypropeen bestaan.

3. Stofdoek volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de thermoplastische vezels smelt-geblazen zijn.

15 U. Stofdoek volgens conclusie 1, met het ken merk, dat het niet-ionische oppervlakteaktieve middel een alkyl-fenoxyethanol is.

5. Stofdoek volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat het niet-ioriische oppervlakteaktieve middel een alkyl- 20 fenoxyethanol is.

6. Stofdoek volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat het mengsel ^0-60 gew.% natriumdioctylsulfosuccinaat bevat.

7. Stofdoek volgens conclusie 6, met het ken-25 merk, dat het mengsel ongeveer gelijke hoeveelheden natriumdioctylsulfosuccinaat en alkylfenoxyethanol bevat.

8. Stofdoek volgens conclusie 7, met het ken- p merk, dat het basisgewicht in het trajekt van 13,6-102 g/m is.

9. Stofdoek volgens conclusie 8, met het ken-30 merk, dat het substraat 0,3-0,5% van het oppervlakteaktieve mengsel bevat.

10, Stofdoek volgens conclusie 9, met het kenmerk, dat de bevochtigbaarheid minder dan 3 sekonden is.

11. Stofdoek, gekenmerkt door een smelt-geblazen 35 polypropeen substraat met een gemiddelde vezeldiameter in het tra- 8200312 Λ * < - ïk - jekt opwaarts tot ongeveer 10 /urn en een basisgewicht in het trajekt van ongeveer 13,6-102 g/m^, waarbij het substraat 0,3-0,5 gew.# van een oppervlakteaktief mengsel bevat, dat natriumdioctylsulfosucci-naat en een alkylfenoxyethanol omvat, waarbij het natriumdioctyl-5 sulfosuccinaat aanwezig is in een hoeveelheid van 1*0-60#, waarbij de stofdoek een natriumiongehalte van minder dan 77 delen per millioen en een bevochtigbaarheid van minder dan 3 sekonden heeft.

12. Stofdoek volgens conclusie 11, met het kenmerk, dat het natriumdioctylsulfosuccinaat en het alkylfenoxyethanol 10 in het mengsel aanwezig zijn in nagenoeg gelijke hoeveelheden.

13. Stofdoek, alsmede werkwijze voor de vervaardiging daarvan, in hoofdzaak als beschreven in de beschrijving en/of de voorbeelden. / \ 8200312