NL8101440A - Methode en inrichting voor het aanbrengen van een film vloeibaar medium op een substraat. - Google Patents

Description

* * ·*

Methode en inrichting voor het aanbrengen van een film vloeibaar medium op een substraat.

De uitvinding heeft betrekking op een methode en inrichting voor het aanbrengen van een film van vloeibare substantie op een oppervlak.

5 Meer in het bijzonder heeft de uitvinding betrekking op het aan- brengen van een foto-gevoelige lak of vernis op daartoe geschikte substraten, zoals glas, metal en plastic.

Daarbij vindt de gebruikmaking van een micro-gefilterde gasvormige omgeving voor de substraat tijdens het opbrengen erop van deze film plaats.

10 De aldus van een film voorziene substraten kunnen bijvoorbeeld worden toegepast in de micro-electronica bij het verwerken van silicon "wafers” en dergelijks producten.

De momenteel toegepasfe methoden van het aanbrengen van een micro- laag zijn: 15 1, Een draaitafel, waarop de aangebrachte substraat met een zeer hoge snelheid draait ( 10 000 toeren per minuut ) en waarbij druppels van het vloeibare medium op het midden van de substraat worden neergelaten. Daarbij is ^echter de dikte van de opgebrachte film niet gelijk en vooral is dit het geval, indien het oppervlak van deze substraat voorzien is 20 van micro-profileringen.

Vooral voor de.toekomstige micro—techniek met op te brengen laagdikten van minder dan êên micrometer en micro-oneffenheden in het oppervlak is deze methode van aanbrenging van een film dan ook ongeschikt.

2. Inrichtingen, waarbij gebruik wordt gemaakt van een laminaire stroom van 25 een vloeibaar medium over een horizontaal schot, waarover in tegengestelde richting de substraat wordt bewogen, zie U.S.A. Octrooi Wo.

4 004 046 van Manfred K. Stelter.

Ook hier is het onmogelijk om met de film micro-profileringen van de substraat te volgen. Daarbij is de negatieve invloed van de opstaande 30 wanden van de profileringen zodanig, dat in kuilen door toenemende adhesie en cohesie de laagdikte aanzienlijk groter is dan op de aangrenzende top.

Met de methode en inrichting volgens de uitvinding wordt nu beoogd om deze bezwaren te niet te doen en wordt speciaal beoogd om een 35 film met een laagdike in de orde van een micrometer en minder aan te brengen op de substraten.

Daarbij wordt gebruik gemaakt van de navolgende gunstige condities, dia de substraten, welke in de micro-electronica worden toegepast, 8101440 * ί Η - 2 - bieden; 1. beperkte omvang en zeer gering gewicht, 2* grata vlakheid en geringe; oneffenheid van het oppervlak, kleiner dan bijvoorbeeld) ên micrometer, 5 3. een zeer hoge· kostprijs van de substraat, waardoor een toelaatbaar hoge kostprijs van de aangebrachte film per cm2 en een toelaatbaar dure aanbreng-inrichting, en 4. als massa product toch slechts zeer geringe afwijkingen in de afmetingen·

De methode van aanbrenging is daarbij in hoofdzaak gekenmerkt, dat 10 deze bestaat uit een via een mondstuk toevoeren van een vloeibaar medium naar de substraat, waarbij dit mondstuk zich op zeer geringe afstand van deze substraat bevindt, een toevoer van gasvormig medium over deze substraat in de richting van dit mondstuk voor het ervan af verwijderen van overtollig vloeibaar medium en een gecombineerde afvoer voor dit overtoils lig. vloeibaar medium en het gasvormige medium*

Verder wordt de inrichting, waarin deze methode wordt toegepast, in hoofdzaak daardoor gekenmerkt, dat deze onder meer een opbrengblok omvat, waarin tenminste het toevoerkanaal voor het vloeibare medium en het gecombineerde afvoerkanaal zijn opgenomen en waarbij een zijwand-gedeelte van 20 dit afvoerkanaal als afscheidingswanct zich tot op geringe afstand! van de substraat uitstrekt, tussen het einde van deze scheidingswand en de substraat vanuit het toevoerkanaal vloeibaar medium over deze substraat wordt gestuwd en het gasvormige medium over het met vloeibaar medium bedekt oppervlak van de substraat naar deze afscheidingswand wordt geleid· 25 Door de micro-afmetingen van de toevoerkanalen voor de media is een doorlopende stroom van vloeibaar - en gasvormig medium mogelijk zonder een ontoelaatbaar hoog verbruik ervan· .· Doordat de zijwand van de -uitmonding van het toevoerkanaal voor het vloeibare medium voor een gedeelte ervan gevormd wordt door het van een 30 film te voorziene oppervlak van de substraat als tijdelijk verlengde van het geleidingsvlak van het opbrengblok voor deze substraat is het een vereiste, dat deze substraat tenminste nabij deze uitmonding onder krachtwerking tegen deze geleidingswand ligt.

Verder is het van belang, dat de substraat tenminste na het passe-35 ren van deze uitmonding niet over het opbrengblok-gedeelte voorbij de toe-en afvoeren komt te bewegen, omdat dan op dit oppervlak vloeibaar medium vanaf de substraat wordt overgebracht, waardoor na enige tijd het correct functionneren van de inrichting wordt teniet gedaan· 8101 440

• * A

- 3 -

Een gunstig kenmerk van de inrichting is nu, dat in de geleidings-wand van het opbrengblok nabij de uitmonding van de toevoer van het vloeibars medium tenminste één vacuumkanaal uitmondt met zodanige afmetingen van de uitmonding ervan en hoogte van de onderdruk, dat in combinatie met 5 de zuigkracht van de onderdruk in het gecombineerde afvoerkanaal de verkregen totaal-zuigkracht de aantrekkingskracht van de transportinrichting en al dan niet van de plaatselijke zwaartekracht van de substraat overtreft.

Een volgend gunstig kenmerk is daarbij, dat het opbrengblok boven de 10 transportinrichting voor de substraat is opgesteld.

Hierdoor werkt het eigen gewicht van deze substraat mede om, indien een sectie van deze substraat het gecombineerde afvoerkanaal is gepasseerd, deze sectie door het opbrengblok wordt losgelaten.

Omdat de in de richting van het denkbeeldige· verlengde van da 15 geleidingswand uitstrekkende zijwanden van het gecombineerde afvoerkanaal met behulp van de erlangs verplaatsende substraatwand de ultra nauwe tijdelijke verlengingen van de beide toevoerkanalen voor enerzijds het vloeibare medium en anderzijds het gas vormige medium vormen, kunnen de beide toevoerkanaal-secties, welke in het opbrengblok zelf zijn opgenomen, 20 een relatief grote breedte hebben.

De toelaatbare spleetbreedte van de uitmondingssecties van deze kanalen in het einde van het opbrengblok kan nu 25-50 micrometer bedragen, terwijl verder de spleatwijdte van deze kanalen boven deze uitmondingssecties nog aanzienlijk groter kunnen zijn.

25 Hierdoor is zulk een opbrengblok met de reeds bestaande ultra-fijn mechanische fabricage-techniek te vervaardigen.

Verder wordt het vloeibare medium mede door de hoog capillairs werking van deze ultra nauwe kanaal-verlenging naar de substraat getrokken en is slechts een zeer geringe stuwdruk voor dit medium vereist, 30 waardoor in samenwerking met de zuigkracht van het gecombineerde afvoerkanaal een ontsnappen ervan van het opbrengblok af naar vooral de transportinrichting wordt tegengegaan.

Het is mogelijk, dat in het tijdelijke kanaal-verlengde voor het gasvormige medium tijdens het over het met een film vloeibaar medium bedekte 35 oppervlak van de substraat verplaatsen ervan door optredende wervelingen in de gasstroom deeltjes van deze film worden losgelaten en terecht komen op de wandsectie van het opbrengblok als deel van de zijwand van dit kanaal-verlengde.

8101440 - 4 -

. « V

Deze deeltjes kunnen door opdroging ervan een zodanig massieve, laag op deze wand ophouwen, dat deze na enige tijd het correct functionneren van het systeem kan teniet doen»

Een volgend gunstig kenmerk van de inrichting is nu, dat deze een 5 opstelling heeft, waarmede tenminste periodiek een toevoer van verdunning van het op de substraat aan te brengen vloeibare medium in tenminste vernevelde toestand naar tenminste de uitmondingen in het opbrengblok van het toevoerkanaal voor het gasvormige medium, het gecombineerde afvoerkanaal en het tussenliggende wandgedeelte van het opbrengblok kan plaats 10 vinden.

Hierdoor kunnen de op deze wand van het opbrengblok en ook op da zijwand van het gecombineerde afvoerkanaal opgebrachte, film vloeibaar medium zodanig dunvloeibaar blijven, dat deze als vloeistofstroom door de er over strijkende gasstroom zelfs via een wandsectie van dit gecombineerde 15 afvoerkanaal wordt medegenomen haar een vergaarinrichting.

Het weglekken van gasvormig medium via de spleet tussen de uitmonding van het toevoerkanaal voor dit gasvormige medium en de substraat naar het inwendige van de cabine is onvermijdelijk.

Daarbij kan tijdens dit weglekken van gasvormig medium via een te 20 nauwe spleet door de.plaats vindende wervelingen deeltjes van de op de substraat bevindende film vloeibaar medium op deze uitmonding terecht komen. Deze deeltjes zullen door het vormen van een massieve droge laag tenslotte resulteren in een niet correct functionneren van de inrichting.

Tevens kunnen door mechanische oorzaken een met een film vloei-25 baar medium bedekte substraat tegen de uitmonding komen te liggen met aldus een ongewenste overdraging van dit medium naar deze uitmonding.

Een volgend gunstig kenmerk van de inrichting is nu, dat daarbij het meest nabij het denkbeeldige verlengde van de geleidingswand van het opbrengblok gelegen gedeelte van de uitmonding van het toevoerkanaal van 30 het gasvormige medium in het einde van dit blok gevormd wordt door het ëinde van de wand tussen dit kanaal en het gecombineerde afvoerkanaal met de afvoer van deze deeltjes naar dit gecombineerde afvoerkanaal

Deze met een vloeistoffilm bedekte wand, welke op micro-afstand van de substraat is gelegen, is daarbij bij voorkeur zodanig hellend, dat 35 de afstand, van deze wand tot deze substraat toeneemt in de richting van het gecombineerde afvoerkanaal.

Nagenoeg alle door de substraat losgelaten filmdeeltjes worden door deze vloeistoffilm opgevangen en kunnen niet naar de substraat te- 8101440 - 5 - i « rugkeren onder de mogelijke insluiting van gasvormige deeltjes.

Een volgend gunstig kenmerk is, dat in het toevoerkanaal voor het gasvormige medium een doorstroomweerstand voor dit medium is opgenomen, welke groter is dan de maximale doorstroomweerstand voor dit medium in 5 het tijdelijke kanaal-verlengde, dat gevormd wordt door de wand van het opbrengblok en de substraat.

Hierdoor is de toevoer van dit gasvormige medium in voldoende mate onafhankelijk van de al dan niet plaatselijke aanwezigheid van een substraat, zodat ontoelaatbaar grote fluctuaties in de toevoer ervan vermeden worden, 10 Aldus kan eveneens een ononderbroken af voer van dit medium uit zijn uitmonding plaats vinden.

Hst gasvormige medium grijpt ook de opgebrachte film in de micro-dalen van het oppervlak van de substraat aan zonder dat de zijwand van dit dal zulk een aangrijping in zodanig sterke mate bemoeilijkt, dat de dikte 15 van de verkregen laag ter plaatse ontoelaatbaar uniform is-j

Verder kan het van groot belang zijn, dat onmiddellijk voor het aanbrengen van de eindlaag op de substraat het betreffende oppervlak van deze substraat grondig wordt gereinigd.

Een volgend gunstig kenmerk van de inrichting is nu, dat in een 20 reinigingsstation met gebruikmaking van dezelfde aanbreng-methode op deze substraat een overmaat aan reinigingsvloeistof wordt aangebracht, deze vloeistof vervolgens door een overmaat aan gasvormig medium wervelend over het substraat-oppervlak wordt verplaatst naar het gecombineerde afvoerkanaal en deze substraat daarna wordt gedroogd.

25 Verder kan in plaats van een reinigingsvloeistof of daarop aanvul lend in een spoelstation sen verdunning van het uiteindelijk op te brengen vloeibare medium op de substraat worden aangebracht en eveneens met behulp van een overmaat aan gasvormig medium over de substraat wervelen om vervolgens tezamen met het gasvormige medium te worden afgevoerd. Daarna kan 30 deze substraat nog met behulp van overstrijkend droog gasvormig medium worden gedroogd.

Daarbij is een zeer gunstige uitvoering van de inrichting die, waarbij het van een film te voorziene oppervlak van de substraat tijdens en tussen het opbrengen van de verschillende vloeibare media door een bewerk-35 stelligde overdruk van toegevoerd hoog gefilterd gasvormig medium nagenoeg is afgesloten van de verdere delen van de inrichting, zoals de cabine met de transport-inrichting voor de substraten.

De op de substraat aangebrachte micro-film maakt een hoge snelheid voor zowel de opbrenging van deze film als het vervolgens in een oven 8101440 1 '« - 6 - drogen en harden v/an de opgebrachte film mogelijk.

Hierdoor kan doeltreffend gebruik worden gemaakt van een draaitafel als transport-inrichting, waarbij een in het toevoerstation naar deze tafel toegevoerde substraat de verschillende stations kan doorlopen, 5 deze substraat vervolgens kan worden omgekeerd en de omgekeerde substraat dan wederom deze types stations kan passeren naar het afvoerstation.

Een volgend gunstig kenmerk is, dat de draaitafel ter plaatse Van de ligplaatsen voor de substraten wordt gekoeld, waardoor deze tafelsec-tie mede door de oven van de inrichting kan worden gevoerd.

10 Verdere bijzonderheden en kenmerken van de inrichting volgen uit de hieronder aangegeven Figuren.

Figuur 1 is een sterk vergrootte perspectieve doorsnede van het ondergedeelte van het opbrengblok voor het aanbrengen van het vloeibare medium op een substraat.

15 Figuur 2 is een sterk vergootte dwarsdoorsnede van het ondergedeel te. van het blok volgens Figuur 1, waarbij op de substraat een film vloeibaar medium wordt aangebracht.

Figuur 3 is een dwarsdoorsnede van het blok volgens de Figuur 2, waarbij de substraat over enige afstand is verplaatst.

20 Figuur & is een dwarsdoorsnede van het blok volgens de Figuur 2, waarbij het einde van de substraat zojuist de in het blok opgenomen kanaal-uitmondingen is gepasseerd.

Figuur 5 is een dwarsdoorsnede van het ondergedeelte van het blok volgens de Figuur 1 met een gewijzigde uitmonding van het toevoerkanaal 25 voor het gasvormige medium.

Figuur 6 is een dwarsdoorsnede van het ondergedeelte van het blok volgens Figuur 1 met een gewijzigde uitmonding van het toevoerkanaal voor het vloeibare medium.

Figuur 7 is een dwarsdoorsnede van het ondergedeelte van het blok 30 volgens de Figuur 1 met een gewijzigde uitmonding van het gecombineerde afvoerkanaal.

Figuur 8 is een sterk vergrootte doorsnede van een op een substraat aangebrachte film voor vereffening ervan.

Figuur 9 is de sterk vergrootte doorsnede van de op een substraat 35 aangebrachte film volgens de Figuur 8 na vereffening ervan.

Figuur 10 is een dwarsdoorsnede van het opbrengblok, waalin het ondergedeelte volgens de Figuur 1 is opgenomen.

Figuur 11 is een langsdoorsnede over een toevoerkanaal, welke is 81014 40 ( £ t opgenomen in het blok volgens de Figuur 10.

Figuur 12 is een gedeeltelijke dwarsdoorsnede over de lijn 12-12 van het kanaal volgens de Figuur 11, waarbij de wanden nog niet tegen elkaar zijn getrokken.

5 Figuur 13 is de gedeeltelijke dwarsdoorsnede volgens de Figuur 12, waarbij de wanden onder veerspanning tegen elkaar zijn getrokken.

Figuur 14 is een dwarsdoorsnede over de lijn 14-14 van het kanaal volgens de Figuur 11.

Figuur 15 is een verkleinde langsdoorsnede van de inrichting, 10 waarin het opbrengblok volgens de Figuur 1 is opgenomen.

Figuur 16 is een doorsnede over de lijn 16-16 van de inrichting volgens de Figuur 15.

Figuur 17 is een bovenaanzicht en gedeeltelijke doorsnede van een gewijzigde draai taf el-ops telling.

15 Figuur 18 is een doorsnede over de lijn 18-18 van de draaitafel volgens de Figuur 17.

Figuur 19 is een detail van een meeneemnok, welke in de draaitafel volgens de Figuur 17 is opgenomen.

Figuur 20 is een bovenaanzicht van het inwendige van de inrichting 20 volgens de Figuur 15, met een toe- en afvoerinrichting voor substraten.

Figuur 21 is een doorsnede en aanzicht over de lijn 21-21 van de inrichting volgens Figuur 20, -22

Figuur 22 is een doorsnede over de lijn 22 van de inrichting volgens de Figuur 20.

25 Figuur 23 is een aanzicht over de lijn 23-23 van de inrichting volgens de Figuur 20.

Figuur 24 is een detail van een drukstuk, welks in de inrichting volgens Figuur 21 is opgenomen.

Figuur 25 is een schematische voorstelling van de inrichting vol-30 gens de Figuur 20.

Figuur 26 is een gewijzigde schematische voorstelling van de inrichting volgens Figuur 20.

Figuur 27 is nog een andere uitvoering van de inrichting volgens Figuur 20 in een schematische voorstelling ervan.

35 Figuur 28 toont een opstelling van een op een transport-inrichting gemonteerd vacuumblok met daartegen gezogen substraat.

Figuur 29 is de opstelling volgens de Figuur 28, waarbij de substraat op het opbrengblok voor het vloeibare medium is gedrukt.

8101440 * ί . t - a -

In de Figuur 1 is een sterk vergroot uitmondings-detail van het opbrengblak 10, zie tevens de Figuur 10, aangegeven.

In dit blok zijn het toevoerkanaal 12 voor het vloeibare medium 14, het toevoerkanaal 16 voor het gasvormige medium 18 en het gecombineerde; 5 afvoerkanaal 20 voor beide media opgenomen.

Het kanaal 12 mondt daarbij uit in de geleidingswand 22, waarlangs de substraat 24 verplaatsbaar is. Deze substraat wordt tijdens het verplaatsen ervan met behulp van de meeneeminrichting 26 in hoofdzaak door de onderdruk in het vacuumkanaal 28, welke eveneens in deze geleidings-10 wand 22 uitmondt, tegen deze wand getrokken.

De substraten hebben een zeer grote vlakheid, zijn dunwandig en hebben een zeer geringe ruwheid van het oppervlakte, welke zelfs een fractie van een micrometer kan bedragen.

Doordat de geleidingswand 22 eveneens zulk een maximale precisie 15 in vlakheid en geringe ruwheid heeft, is daardoor een aanliggen van de substraat tegen de wandsectie 30 van deze geleidingswand nabij de uitmonding 32 van het kanaal 12 binnen een micrometer-afstand mogelijk en zulks over de gehele breedte van ds geleidingswand, welke breedte groter is dan de diameter of breedte van de substraat.

20 Het oppervlak van zulk een substraat kan reeds voorzien zijn van een daarop gebrachte harde laag, waarvan het grootste gedeelte is wegge— etst onder de vorming van opstaande ruggen 34, toppen 36 en dalen 38.

Bij de verplaatsing van de substraat bewegen deze toppen 36 dus langs de geleidingswand 22.

25 Tussen de kanalen 12 en 20 bevindt zich de afscheidingswand 40, waarvan het ondereinde 42 op zodanige afstand van het denkbeeldige verlengde van de geleidingswand is gelegen, dat daardoor een toevoerkanaal-verlengde 44 voor het vloeibare medium is gevormd.

Tevens bevindt zich tussen de kanalen 16 en 20 de wand 46, waarvan 30 het ondereinde 48 ook op geringe afstand van het denkbeeldige verlengde van de geleidingswand ligt.

De werking van het opbrengblok, zie tevens de Figuren 2, 3 en 4, is als volgt:

Ulordt vloeibaar medium 14 via het kanaal 12 en zijn uitmonding 32 35 op de substraat 24 gebracht, dan vindt gelijktijdig toevoer van het gasvormige medium 18 via het toevoerkanaal 16 naar het oppervlakte van deze substraat plaats.

Bij de aangegeven bewegingsrichting van de substraat beweegt deze substraat via de uitmonding 32 van het toevoerkanaal 12 langs het 8101440 t « * - 9 - gecombineerde afvoerkanaal 20 en vervolgens langs het toevoerkanaal 16 voor het gasvormige medium 18.

De op deze substraat aangebrachte film 50 wordt door de erover strijkende stroom gasvormig medium 18 voor een groot gedeelte ervan afge-5 stroopt, het losgelaten vloeibaar medium wordt verplaatst naar de af-scheidingswand 40 en waarbij dit overtollig vloeibaar medium als vloeistof film 52 door het erlangs strijkende gasvormige medium langs deze wand in opwaartse richting wordt verplaatst naar een niet aangegeven vergaar-inrichting.

10 In de Figuur 2 bevindt het dal 38A zich juist voorbij de afschei- dingswand 40 en heeft de stroom gasvormig medium 18 nog niet alle uit dit dal verwijderbare vloeibare medium verwijderd.

Bij een verdere verplaatsing van deze substraat, zie Figuur 3, wordt echter het in dit dal aanwezige vloeibare medium in versterkte mate 15 aangegrepen door de gasstroom, waarbij de door de verandering in stromings-richting verkregen wervelingen van deze gasstroom het verwijderen van het vloeibare medium langs de rug 34A en daarover heen zelfs versterkt.

Ma het passeren van de uitmonding 54 voor het gasvormige medium 18 wordt de in deze kuil 38A en op de rug 34A aanwezige film vloeibaar me-20 dium wederom aangegrepen door de stroom gasvormig medium, welke via het kanaal 56 tussen het ondereinde 58 van de wand 60 van het blok 10 en de substraat naar de cabine, waarin het blok is opgenomen, stroomt, zie. tevens de Figuren 8 en 9.

Doordat in de cabine een overdruk voor het daarin aanwezige gas-25 vormige medium wordt onderhouden, is de snelheid van het ontsnappende gasvormige medium gering, maar kan toch in combinatie met een voldoende lengte van dit kanaal en geringe kanaalhoogte een ideale vereffening van de op de substraat aangebrachte laag 50 plaats vinden.

De dikte van de film 50, welke uiteindelijk op de substraat 24 ach-30 terblijft, wordt bepaald door de viscositeit van het vloeibare medium 14, de daarop werkzame cohesie- en adhesie krachten, de snelheid en opgebouwde wervelingen van het gas vormige medium 18, de lengte van aangrijping van de langs de film 50 strijkende gassen, de bewegingssnelheid van de substraat 24 en de aard en omvang van de kanalen en wanden van het blok 10, 35 welke deze wervelingen van de gasstroom veroorzaken.

Verder is het van groot belang, dat het ondereinde 42 van de af-scheidingswand 40 op micro-afstand van deze substraat ligt en deze afstand slechts in geringe mate groter is dan de dikte van de uiteindelïjk op deze substraat achterblijvende film 50. Hierdoor is het enerzijds mogelijk om de 8101440 - 10 - via het kanaal 12 toegevoerde vloeibaar medium 14 te beperken of anderzijds kan met behulp van een overmaat aan vloeibaar medium dit medium over deze substraat u/orden verplaatst.

Daardoor kunnen door middel van deze langs de substraat bewegende 5 vloeistofstroom eventuele verontreiningen, welke nog op het oppervlak van de substraat zijn achtergebleven, doeltreffend worden verwijderd.

In de Figuur 4 is het einde 62 van de substraat 24 de uitmonding 32 gepasseerd en heeft het in de cabine aanwezige gasvormige medium gelegenheid gekregen over de meeneemnok 64 van de transportinrichting naar de 1Ö uitmonding van het gecombineerde kanaal 20 te stromen.

Mede met behulp van deze gasstroom wordt het vloeibare medium 14, welke uit de uitmonding 32 stroomt, dan in zijn geheel langs de afschei-dingswand 40 geleid en afgevoerd naar de vergaarinrichting.

Hierdoor is het mogelijk, om de stroom vloeibaar medium ook tijdens 15 het niet aanwezig zijn van een substraat onder deze uitmonding 32, niet te onderbreken.

Tevens kan dan ook de achterzijde 62 van de substraat en de meeneemnok 64 niet bedekt geraken met dit vloeibare medium.

Aldus is het mogelijk geworden, dat deze meeneeminrichtino vervol-20 gens gelijk met de van een vloeistoffilm voorziene substraat door een oven wordt geleid, waarin deze film gedroogd en gehard wordt.

In de Figuur 5 wordt het ondereinde 48' van de wand tussen het gecombineerde afvoerkanaal 20' en het toevoerkanaal 16' voor het gasvormige medium gevormd door de geleidingswand 68 voor het gasvormige medium tijdens 25 het ontsnappen ervan naar dit gecombineerde afvoerkanaal.

Doordat deze wand op zeer geringe afstand is gelegen van de substraat 24, is het aldus gevormde kanaal 70 als verlengde van het toevoerkanaal 16' zeer nauw en kan de spleetwijdte van dit kanaal 16’ in verhouding groot zijn zonder dat daardoor het verbruik aan gasvormig medium vergroot 30 wordt. Zulks mede door het inbouwen van een niet aangegeven doorstroom-weerstand in dit kanaal.

Vloeistofdeeltjes 14A, welke door de wemelingen in de gasstroom terugkeren naar de film 50, komen op de top van deze film terecht en worden in combinatie met mogelijk ingesloten gasdeeltjes als verwijderbaar topge-35 deelte van de film wederom verwijderd door de gasstroom 18’, welke in de richting van het kanaal 16’ daarop in toenemende mate aangrijpt. Zulks doordat het kanaalverlengde 70 in de richting van het gecombineerde afvoerkanaal 20 'zich verwijdt.

81014 40 » - 11- r 4

Oe in dit kanaal-verlengde 70 optredende wervelingen van de gasstroom worden nog versterkt door de golvingen 72 in de wand 68« Deze golvingen kunnen in een andere uitvoering van de wand zijn weggelaten.

Door de optredende wervelingen in de gasstroom worden vloeistof-5 deeltjes van de film 50 losgelaten, waarbij deze grotendeels op de film vloeibaar medium 74, welke aldus op deze wand 68 wordt gevormd en onderhouden, kunnen neerslaan. Deze film 74 wordt door het erlangs strijkende gasvormige medium verplaatst naar het gecombineerde afvoerkanaal en daarin langs de wand 76 naar de vergaarinrichting worden afgevoerd· 10 l/anuit de cabine kan tijdens het niet aanwezig zijn van een substraat onder de opbreng-inrichting verstoven verdunning van het vloeibare medium naar deze wand worden gestuwd en daarop worden neergeslagen, zie tevens de Figuur 17. Aldus wordt verkregen, dat de film 74 zodanig in voldoende mate dun vloeibaar blijft, dat verplaatsing ervan is gewaarborgd.

15 Binnen het kader van de uitvinding kan deze verstoven verdunning ook periodiek aan de gasstroom worden toegevoegd en zulks bij voorkeur in kanaal 16'.

In de Figuur 6 wordt het ondereinde 42* van de afscheidingswand 40' gevormd door de geleidingswand 78.

20 Doordat deze wand op zeer geringe afstand is gelegen van de sub straat 24, is het aldus gevormde kanaal 80 als verlengde van het toevoer-kanaal 12* zeer nauw en kan de spleetwijdte van kanaal 12*in verhouding groot zijn zonder dat daardoor het verbruik aan vloeibaar medium wordt vergroot, 25 Tevens beweegt het vloeibare medium zich over een relatief grote lengte over de substraat 24, waarbij de op deze substraat bevindende ruggen 34* voor wervelingen in deze stroom zorg dragen. Hierdoor wordt het met behulp van dit vloeibare medium reinigen van de substraat in belangrijke mate versterkt.

van.

30 In de Figuur 7 maakt de onderste sectie 82''afscheidingswand 40' een hoek kleiner dan 90^ met deze substraat 24, waardoor ter plaatse van de uitmonding 84 van het kanaal 30 de wervelingen in de gasstroom worden versterkt met zodoende een verbeterde verwijdering van overtollig vloeibaar medium van deze substraat, zelfs bij een grote uitmondings—hoogte, 35 In de Figuur 8 is nog'aangegeven, hoe op de vlakke substraatsectie de film 50 als gevolg van de overstrijkende, wervelende gasstroom 38 in geringe mate gegolfd is, terwijl in Figuur 9 door de via kanaal 56, zie Figuur 3, naar de cabine bewegende gasstroom vereffening van deze film 81 01440 - 12 - heeft plaats gevonden.

In de Figuur 10 is de constructieve opbauw van het blok 10 aangegeven. Deze bestaat daarbij in hoofdzaak uit het eerste montageblok 90 en het daarop met behulp van de schroelöraad-verbindingen 92 vastgezette 5 tweede montageblok 94.

Het ondereinde van het blok 90 bevat de V-vormige sponning 96, waarin de conische strip 98 met behulp van de schroefdraad-verbindingen 100 is vastgezet onder de vorming van het toevoerkanaal 12, welke is verbonden met de koppeling 102 van de toevoerleiding voor het vloeibare me-, 10 dium 14.

Het ondereinde van deze strip vormt de geleidingswand 22 voor de substraat 24. In dit ondereinde monden de vacuumkanalen 28 en 104 uit, welke: van elkaar gescheiden zijn aangesloten op een niet aangegeven va-cuum-inrichting, In deze geleidingswand bevinden zich verder de in de be-15 wegingsrichting van de substraat uitstrekkende vacüumgroeven 106 en 108.

Doordat deze kanalen zich in dwarsrichting van het blok over een grote lengte uitstrekken met een groot aantal daarop aangesloten groeven, is een goed aanzuigen van de substraat door deze wand gewaarborgd waarbij, indien de substraat het vacuumkanaal 104 gepasseerd is, dit kanaal door een 20 commando wordt afgesloten.

De vacuumgroeven 106 bevinden zich daarbij op zulk een afstand van het toevoerkanaal 12, dat daardoorheen aanzuigen van vloeibaar medium, ook bij verwijderde substraat, vermeden wordt.

Tussen de beide blokken 90 en 92 bevindt zich het gecombineerde 25 afvoerkanaal 20 met de aansluiting ervan op de koppeling 110 van de af-voerleiding naar een vergaarinrichting.

Het ondereinde van het blok 94 bevat eveneens een V-vormige sponning 112, waarin de conische strip 114 met behulp van de schroefdraad-verbindingen 116 is vastgezet onder de vorming van het toevoerkanaal 16.

30 Dit kanaal is verbonden met de koppeling 118 van de toevoerleiding van het gasvormige medium.

In het blok 94 en de strip 114 kunnen de verwarmings-elementen 120 en 122 zijn opgenomen om het gasvormige medium op een hoge temperatuur te brengen of te houden.

35 In de Figuren 11 tot en met 14 is het toevoerkanaal T6 sterk ver groot aangegeven. Daarbij is de coniciteit van de strip 114 iets groter dan die van de V-vormige spanning 112.

In de Figuren 11 en 12 is deze combinatie van sponning en strip 8101440 - 13 - g nog niet aangetrokkén door de schrofdraad-verbinding 116, waardoor bij tegen elkaar liggende wandsecties 124 en 126 de wandsecties 128 en 130 in de top nog van elkaar af liggen.

Bij aangetrokken schroefdraad-verbindingen 116 worden deze wanden 5 128 en 130 onder veerspanning van strip en blok tegen elkaar aan getrokken, hetgeen in de Figuur 13 is aangegeven# Hierdoor wordt bewerkstelligd, dat bij doorvoer van een warm medium of bij opwarming van het blok 94 en de strip 114 met behulp van de elementen 120 en 122 de wanden 124 en 126 tegen elkaar aan blijven liggen.

10 In de wandsecties 126 en 130 zijn de respectievelijke series naast elkaar liggende uitsparingen 132 en 134 opgenomen, welke met elkaar in open verbinding staan. Hierdoor is in vastgezette toestand van de strip 114 het toevoerkanaal 16 verkregen.

In de Figuur 15 is een langsdoorsnede van de cabine 140 aangegeven. 15 Deze bestaat daarbij in hoofdzaak uit het draagframe 142, de draaitafel 144, welke met zijn as gelagerd is in het lagerblok 146 van het frame, de aandrijving 148 voor deze tafel, de serie ligplaatsen 150 op deze tafel voor de substraten en de boven deze tafel opgenomen serie blokken, zie tevens de Figuren 20 en 25, welke in samenwerking met elkaar een systeem voor het 20 aanbrengen van een film op toegevoerde substraten geven.

De precisie-lagers 152 en 154 worden doorlopen door een gasvormig medium, waardoor minimale slingeringen van deze tafel optreden ter plaatse van de blokken.

Figuur 16 toont zulk een ligplaats 150 nog weer in een bovenaan-25 zicht. Daarbij heeft de draaitafel 144 de draagribben 156 en 158 en zijn met behulp van schroefdraad-verbindingen 160 de draagstrippen 162 en 164 voor de substraat 24 vastgezet. Deze strippen hebben daarbij aan hun einde de respectievelijke nokken 166 en 168 voor het meenemen van deze substraat.

Deze draagribben en strippen kunnen door de in de cabine opgenomen 30 oven-opstelling worden geleid, zonder dat de bewerkstelligde hoge temperatuur een nadelige invloed heeft op de draaitafel.

In de Figuren 17 en 18 is de draaitafel 144* en een daartoe aangepaste draagframe 142’ aangegeven. Deze tafel bevat de uitstekende, van elkaar gescheiden draagstukken 170 voor de substraten 24.

35 In de tafel is een koelkanaal 172 opgenomen, waarvan de inlaatzijde via de tafel-as 174 verbonden is met een niet aangegeven koppeling voor de toevoerleiding, terwijl de uitlaatzïjde aangesloten is op de koppeling 176 voor de afvoerleiding.

8101440 - 14 -

Dit kanaal doorloopt vanaf de splitsing 178 ervan elk draagstuk tot op de samenkomst 18D. Net behulp van koelvloeistof is het nu mogelijk om de draaitafel inclusief deze draagstukken op een nagenoeg constante lage temperatuur te houden en zulks ook tijdens het bewegen van zulke draag-5 stukken door de oven-opstelling.

De draagstukken bevatten elk zodanige draagribben 182, 184 en 186, dat deze zich over enige afstand aan weerszijden van de er op geplaatste substraat kunnen uitstrekken. Daarbij zijn op het achtereinde van deze ribben de meeneemnokken 188, 190 en 192 aangebracht, zie tevens de Figuur 19, wel-10 ke zich in opwaartse1 richting tot op enige afstand van het bovenvlak van zulk een substraat uitstrekken.

Zoals in het draagframe ter plaatse van het opbrengblok voor het vloeibare medium een aantal mondstukken 194 voor het verstuiven van verdunning zijn aangebracht, kan deze verstoven verdunning via de openingen 196 15 tussen de opvolgende draagstukken 170 naar zulk een blok worden gebracht.

Een aantal van 2 of 3 draagribben en -strippen zijn aangegeven. Binnen het kader van de uitvinding kan dit aantal groter zijn in afhankelijkheid van de constructie van de substraat.

Door toepassing van precisie—fabricage methoden is de slingering 20 van de draaitafel ter plaatse van de secties minimaal. Tevens is de variatie in dikte van de substraten ook gering.

Hierdoor kan de afstand tussen de op de ligplaatsen van de draaitafel geplaatste substraten naar de geleidingswand van de verschillende op-brengblokken zeer gering zijn en minder dan 0.1 mm bedragen.

25 Ligt aldus een substraat-sectie aangetrokken tegen deze wand 22, dan bevindt de rest van het substraat-oppervlak zich in nagenoeg het verlengde van deze wand, waardoor een goede spleetafstand tussen het opbrengblok 10 en deze substraat ter plaatse van de daarin opgenomen kanaal-uitmondingen verzekerd is.

30 Tevens behoeft de substraat zich slechts over een zeer geringe af stand in opwaartse richting te verplaatsen, waardoor de meeneemnokken nog met een voldoende drukwand-hoogte ervan tegen de achterzijde van deze substraat drukken- en is aldus een goed functionneren van de meeneeminrich-ting gewaarborgd.

35 Ook kan de afstand van de meeneemnokken naar zulk een opbrengblok nog zodanig voldoende zijn, dat tijdens het bewegen van zo’n nok over de uitmonding van de toevoer van het vloeibare medium dit medium niet op de nok wordt overgebracht.

8101440 - 15 -

In de Figuur· 20 is het bovenaanzicht van de cabine 140 aangegeven.

In de toevoerinrichting 200 vindt toevoer van de substraten 24 plaats.

De substraat doorloopt allereerst het opbrengblok 202, waarin al dan niet warme reinigingsvlaeistof via het toevoerkanaal naar deze substraat wordt doof . .

5 gestuwd en waarbij met behulp van toegevoerd gas vormig medium''deze rexni-gingsvloeistof door bewerkstelligde wervelingen een doeltreffende reiniging van deze substraat wordt verkregen. De combinatie van vloeistof en gasvormig medium wordt afgevoerd via het gecombineerde afvoerkanaal.

De gereinigde substraat doorloopt vervolgens een droogsectie 204, 10 waarin over deze substraat warm,droog gasvormig medium wordt geleid, zie tevens de Figuur 22. Dit medium wordt daarbij centraal via het toevoerkanaal 206 aangevoerd en door een nauw kanaal gestuwd. Dit kanaal wordt gevormd door een in de onderzijde van het blok 208 aangebrachte groef en de substraat en strekt zich vanuit het midden tot over de zijkanten 210 en 212 15 van de substraat uit. Afvoer van dit gasvormiga medium kan vervolgens plaats vinden via het afvoerkanaal 214, welke in het draagframe 142 is opgenomen.

De gedroogd substraat doorloopt vervolgens de spoelsectie 216, waarin al dan niet warme verdunning van de uiteindelijk aan te brengen film 20 vloeibaar medium via het toevoerkanaal naar deze substraat wordt gestuwd en waarbij met behulp van gasvormig; medium deze verdunning daarop kan inwerken. De combinatie van vloeistof en het gasvormige medium wordt ook hier via een gecombineerde afvoer afgevoerd.

De substraat wordt daarna gevoerd door een droogsectie 218, welke 25 gelijk is aan de droogsectie 204.

l/ervolgens komt deze substraat terecht in de sectie 220, waarin het opbrengblok 10 is opgenomen en waarbij op deze substraat op de reeds omschreven wijze een vloeibaar medium wordt aangebracht.

l/ervolgens doorloopt de substraat een droogsectie 222, welke gelijk 3Q is aan de droogsecties 204 en 218 en waarbij verdunning aan de opgebrachte film wordt onttrokken.

Daarna komt deze substraat terecht in een oven-sectie 224, waarbij met behulp van infra rode stralen of een andere warmtebron de film wordt uitgehard.

35 De gedroogde substraat komt vervolgens terecht in de omkeer- inrichting 226, zie tevens de Figuur 23. Daarbij is ftp de arm 228 een va-cuumblok 230 vastgezet. De arm scharniert om de as 232, welke op het draagframe 142 is vastgezet en waarbij de verdraaiing wordt bewerkstelligd 8101440 - 16 - door da inrichting 234.

Hat vacuumblok 230 grijpt de substraat 24 aan op da zijsectie 236 ervan, waaronder zich gean draagstrip of -rib van de draaitafel bevindt.

Is de substraat op de juiste plaats voor omkering ervan aangekomen, 5 dan vindt via een commando aanzuiging door het vacuumblok 230 van deze substraat plaats en vervolgens wordt da arm 228 door d8 inrichting 234 over 1S0U verdraaid. In deze positie bevindt de substraat zich op een voorliggende ligplaats 150', welke- daartoe reeds vrij is gemaakt.

Door het vervolgens opheffen van de vacuumkracht komt de substraat 10 geheel vrij van deze; omkeerinrichting en wordt deze vervolgens door de meeneemnokken van deze ligplaats 150’ medegenomen. De arm kan dan tevens naar zijn oorspronkelijke positie terug worden gedraaid.

Vervolgens doorloopt de substraat wederom een serie secties, die gelijk zijn aan de eerder omschreven secties, waarna deze in de afvoer-15 inrichting 238 kan worden afgevoerd.

In Figuur 21 is zulk een afvoer-inrichting aangegeven.

De draaitafel 240 is gelagerd draaibaar met behulp van de aandrijving 242 opgesteld op het frame 244, welke op zijn beurt op het draagframe 142 is vastgazet. Deze draaitafel bevat een achttal ligplaatsen voor 20 cassettes 246, welke, in het afvoerstation met behulp van een transporteur 248 in hoogterichting verplaatsbaar is.

In het draagframe 142 is een meeneeminrichting 250 voor de substraat opgenomen, welke een vacuumblok 252 bevat en waarbij dit blok door een met behulp van drukstuk 254 over geringe afstand verplaatsen ervan op 25 de substraat komt te rusten, zie tevens de Figuur 24.

Door vervolgens de substraat tegen dit vacuumblok te laten zuigen en dit blok vervolgens naar boven te verplaatsen is deze substraat vrij gekomen van de meeneemnokken 166 van de draaitafel 144 en kan deze daarna mat behulp van de meeneeminrichting 250 in de corresponderende groeven 30 van de cassette worden geschoven, zoals in de Figuur is aangegeven.

Na het verwijderen van deze meeneeminrichting uit de cassette kan deze cassette naar beneden verplaatsen, waarbij een volgende substraat inde volgende groeven geschoven kan worden.

Na het gevuld zijn van de cassette wordt deze door de transporteur 35 naar zijn onderste ligplaats getrokken of is deze casette reeds op deze ligplaats gearriveerd, en kan door verdraaiing van de tafel 240 een nieuwe; lege cassette gevuld worden.

De opening 256 in de wand' 258 van de cabine is zo klein mogelijk 81014 40 -17- gehouden en waarbij in teruggekeerde positie van de meeneeminrichting 250 naar de cabine 140 het eindstuk 260 van deze inrichting de opening 256 nagenoeg geheel afsluit. Aldus is slechts een zeer beperkt ontsnappen van gasvormig medium uit de cabine via dezedoortocht magelijk.

5 De lege cassette is afkomstig van de toevoerinrichting 200 en waarbij de toevoer van substraten vanuit de cassette naar de cabine op dezelfde wijze geschiedt als de afvoer van de substraten uit deze cabine.

Daarbij wordt de in het toevoerstation 200 geledigde cassette door de verdraaiing van de tafel naar de afvoerinrichting worden gebracht voor 1Q het wederom vullen ervan met gereed gekomen substraten.

Aldus is een eenvoudig toe- en afvoer systeem voor de substraten verkregen, waarbij slechts periodiek een aantal nieuwe cassettes op de tafel 240 kunnen worden geplaatst en de cassettes met de van een film voorziene substraten behoeven te worden afgevoerd.

15 Binnen het kader van de uitvinding kunnen de secties voor het dro gen geheel of gedeeltelijk zijn weggelaten en kan zulk een drogen ook in vodoende mate door het dan bij voorkeur warme, uit de opbrengblokken via de kanalen 56 naar de cabine ontsnappende gasvormige medium plaats vinden.

Verder kunnen de substraten in plaats van cirkelvormig elke andere 20 vormgeving hebben.

In de opvolgende secties wordt een iets hogers overdruk dan in de rest can de cabine onderhouden en waarbij de in deze secties toegevoerda gasvormige media en zeer hoge mate gefilterd zijn. Tevens liggen de secties nagenoeg tegen elkaar en wordt aldus bewerkstelligd, dat geen of nagenoeg 25 geen hernieuwde verontreiniging van de in de secties verkregen schone substraten kan plaats vinden.

De mogelijk continue verwerking van de substraten op hoge snelheid, welke op kan lopen tot 1 meter per minuut, maakt het ook mogelijk, dat de omvang van de substraten zeer gering kan zijn. Bij een diameter van 20 mm 3Q voor zulk een substraten kan dan de omvang van de mini-cabine nog slechts circa 250 mm bedragen.

In de Figuur 26 is de inrichting 140* aangegevsn, waarbij op de substraat 24 meerdere lagen vloeibaar medium wordt aangebracht.

Na het in de sectie 2021 en 216 * reinigen en schoen spoelen van het 35 bovenvlak van de substraat, het in sectie 220' erop aanbrsngen van een eerste film en het uitharden van deze film in de ovensectie 224' vindt vervolgens in sectie 262 het aanbrengen van een tweede film op de eerste film plaats.

8101440 — 18 —

Ma het uitharden van deze tweede film in de ovensectie 264· vindt vervolgens in sectie 266 het aanbrengen van een derde film op de tweede film plaats, terwijl na het in de ovensectie 268 drogen van deze film de substraat wordt afgevoerd, 5 Binnen het kader van de uitvinding kan het aantal opgebrachte lagen variëren, terwijl ook na het passeren van een omkeerinrichting de andere zijde van de substraat van zulk een aantal lagen kan worden voorzien,

In de Figuur 27 is de inrichting 140" aangegeven, waarbij na het reinigen en spoelen van het bovenvlak van de substraat in het plasma-10 station 270 nog wederom een oxydatie-reiniging van dit oppervlak plaats vindt, De warme plasma stroom wordt verkregen door het in de toevoer ervan onder hoge druk stuwen van een mengsel van inert gassen, zoals argon en helium, door een electrische vonkenbrug#

De warme plasma wordt dan via het toevoerkanaal van een opbreng-15 blok naar de substraat gevoerd.

Ma het vervolgens opbrengen van de film, het in de oven drogen en uitharden en het omkeren van de substraat wordt de cyclus herhaald, waarna de substraat wordt afgevoerd.

Binnen het kader van de uitvinding zijn ook in deze inrichting varia— 20 ties mogelijk.

Verder kunnen in een gewijzigde uitvoering van de inrichting de· opvolgende secties onder de draaitafel of een andere transportinrichtingg zijn gelegen en waarbij zulk een substraat dan tegen een op deze inrichting gemonteerd vacuumblok is gezogen, 25. In de Figuren 28 en 29 is zulk een opstelling aangegeven.

De bevestigingsplaat 272 van het vacuumblok 274 is met behulp van de op de onderzijde van de transportinrichting 276 vastgezette geleidings— stukken 278 en 280 in verticale richting verplaatsbaar.

In Figuur 28 is onder werking van de drukveren 282 en 284 de plaat 30 272 tegen de aanslagen 286 en 288 van de transportinrichting 276 gedrukt en waarbij de substraat 24 nog juist vrij is van de geleidingswand 22 van het opbrengblok 10,

In Figuur 29 is door een commando naar de drukstukken 290 en 292 de plaat 272 tegen de werking van de veren 282 en 284 in in benedenwaartse 35, richting verplaatst. Daarbij is het achtergedeelte van de substraat 24 op de geleidingswand 22 gedrukt en is de plaat 272 nog juist vrij van de aanslag 294 van het geleidingsstuk 278,

Het voorgedeelte van de plaat 272 is echter tegen de aanslag 296 8101 440 - 19 - van het geleidingsstuk 280 gedrukt.

Het vacuumblok 274 bevat de verlenging 296 van zijn zuigplaat 298 en waarbij dat verlengde de meeneemnok 300 voor de substraat bevat.

Zodra het achtereinde van de substraat nabij de uitmonding van de 5 kanalen in het opbrengblok is terecht gekomen, wordt door het beëindigen van de drukkracht op de substraat deze substraat van dit blok af bewogen.

Aldus wordt vermeden, dat vloeibaar medium vanaf de substraat terecht kan komen op de blok-sectie voorbij de uitmonding van het toevoerka-naal voor het gasvormige medium.

10 Daarbij zijn de toe- en afvoerinrichtingen voor de substraten over 180° verdraaid en worden de cassettes in benedenwaartse richting verplaatst voor opvolgende afname daaruit van nieuwe substraten en opvolgende toevoer daar naar toe van gerede substraten. Tevens is dan ook de ómkeerinrichting voor de substraten over 180° verdraaid·.

15 Bij toepassing van een transportband vindt een rechtlijnige verplaat sing van de op of onder deze band vastgezette vacuumblokken plaats vanaf de toevoerinrichting van de substraten via de opvolgende secties naar de af-voerinrichting van de substraten en kunnen daarbij deze secties bij voorkeur £én gesloten keten vormen , Vervolgens kan zulk een blok zonder sub-20 straat terugkeren naar de toevoerinrichting voor de substraten.

Binnen het kader van de uitvinding zijn andere uitvoeringen van de inrichting mogelïjk.

Zo is het mogelijk, dat de in Figuur 9 aangegeven vereffening van het oppervlak van de film 50 mede verkregen wordt met behulp van de in droog-25 station 222, zie tevens Figuur 20, er langs geleide verwarmde gasstroom.

De twee aangegeven kanalen kunnen daarbij in afhankelijkheid van de positie van de substraat 24 al dan niet geopend zijn.

Verder kan in de ómkeerinrichting 226, zie eveneens Figuur 20, ook door een meeneemstuk de substraat 24 eerst over enige afstand naar buiten 30 toe zijn bewogen alvorens door het vacuumblok 230 te worden aangezogen en wordt de omgekeerde substraat dan door een tweede meeneemstuk naar binnen naar de ligplaats ervoor op de draaitafel verplaatst.

De substraten kunnen binnen bepaalde toleranties onvlak zijn, bijvoorbeeld maximaal 15 micrometer, waarbij toch door het onderhouden van een vol-35 doende toevoer van vloeibaar medium en het met behulp van de stroom gasvormig medium verwijderen van het overtollige vloeibare medium van de substraat een film met binnen de tolerantie vallende hoogte-verschillen wordt verkregen, zie bijvoorbeeld de Figuur 7.

81 01 440

Claims (79)

1. Methode voor het aanbrengen van een vloeibaar medium op een substraat, bestaande uit: een via een mondstik brengen van een vloeibaar medium op een 5 substraat, welke zich relatief ten opzichte van dit mondstuk verplaatst en waarbij dit mondstuk op zeer geringe afstand van deze substraat is gelegen, een stroom van gasvormig medium over deze substraat in de richting van dit mondstuk voor het ervan af verwijderen van overtol— 1Q lig vloeibaar medium; en een gecombineerde afvoer voor dit overtollig vloeibaar medium en deze stroom van gasvormig medium. 2* Methode volgens de Conclusie 1, met het kenmerk, dat ten opzichte van de relatieve bewegingsrichting van de substraat tenminste een deel van 15 het gasvormige medium vanuit het toevoerkanaal ervan in een daaraan tegengestelde richting stroomt naar de gecombineerde afvoer.

3. Methode volgens de Conclusie 2, met het kenmerk, dat een ander deel van het gasvormige medium vanuit dit toevoerkanaal stroomt in een richting, welke overeenkomt met de relatieve bewegingsrichting van de sub- 20 straat.

4. Inrichting voor het aanbrengen van een vloeibaar medium op een substraat, met het kenmerk, dat daarin de methode volgens één der voorgaande Conclusies wordt toegepast·

5. Inrichting volgens de Conclusie 4, met het kenmerk, dat deze 25 onder meer een opbrengblok omvat, waarin tenminste het toevoerkanaal voor het vloeibare medium en het gecombineerde afvoerkanaal zijn opgenomen en waarbij een zijwandgedeelte van het gecombineerde afvoerkanaal als afschei-dingswand zodanig is uitgevoerd, dat tijdens het aanbrengen van het vloeibare medium deze wand zich tot op geringe afstand van de substraat uit-30 strekt, tussen het einde van deze scheidingswand en de substraat vanuit het toevoerkanaal vloeibaar medium over deza substraat wordt gebracht en door de relatieve onderdruk in het gecombineerde afvoerkanaal over het met vloeibaar medium bedekte oppervlak van de substraat naar deze afschei— dingswand wordt getrokken.

6. Inrichting volgens de Conclusie 5, met het kenmerk, dat de toe- en afvoerkanalen zodanig zijn gegroepeerd, dat gezien in de bewegingsrichting van de substraat de rangschikking is als volgt: toevoerkanaal voor het vloeibare medium, gecombineerd afvoerkanaal voor het overtollig vloeibaar medium en 8101440 - 21 - gasvormig medium; en het toevoerkanaal van het gasvormige medium.

7. Inrichting volgens de Conclusie 6, met het kenmerk, dat het toevoerkanaal voor het vloeibare medium en het gecombineerde afvoerkanaal 5 uitmonden in één zijde van dit aanbrengblok, deze zijde tevens een geleidingswand bevat, waarlangs de substraat verplaatsbaar is en de afscheidingswand zich tot op geringe afstand van het denkbeeldige verlengde van deze geleidingswand uitstrekt.

8. Inrichting volgens de Conclusie 7, met het kenmerk, dat in het 10 aanbrengblok tevens het toevoerkanaal voor het gasvormige medium is opgenomen, u/elke eveneens in deze zijde uitmondt en deze uitmonding zich op enige afstand bevindt van het denkbeeldige verlengde van de geleidingswand en welke afstand groter is dan die van de afscheidingswand naar dit denkbeeldige verlengde.

9. Inrichting volgens de Conclusie 8, met het kenmerk, dat daarbij de hartlijn van de uitmonding voor het gasvormige medium zich onder een hoek bevindt met de geleidingswand met de grootste hoek in de richting van het gecombineerde afvoerkanaal,

10. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken-20 dat het einde van de afscheidingswand tot het denkbeeldige verlengde van de geleidingswand kleiner is dan 10 micrometer.

11. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat het opbrengblok en de daarin opgenomen toe- en afvoerkanalen zich over tenminste nagenoeg de gehele breedte van de substraat uitstrekken.

12. Inrichting volgens de Conclusie 11, met het kenmerk, dat de scheidingswand-sectie nabij de uitmonding van het vloeibare medium een hoek kleiner dan 90° maakt met het verlengde van de geleidingswand voorbij deze uitmonding.

13. Inrichting volgens de Conclusie 11, met het kenmerk, dat het 30 einde van het toevoerkanaal voor het vloeibare medium in het blok op enige afstand is gelegen van het einde van de scheidingswand zodanig, dat tijdens het opbrengen van het vloeibare medium een zijwand-sectie van het tijdelijka verlengde van dit toevoerkanaal gevormd wordt door de substraat.

14. Inrichting volgens de Conclusie 13, met het kenmerk, dat in het 35 opbrengblok zich voorbij het daarin opgenomen toevoerkanaal voor het vloeibare medium een vloeistoftoevoerwand is opgenomen, waarvan de afstand tot het denkbeeldige verlengde van de geleidingswand geringer is dan de breedte van de spleet van dit toevoerkanaal. 81 01 440 - 22 -

15. Inrichting volgens de Conclusie 11, met het kenmerk, dat in het blok tussen het toevoerkanaal voor het gasvormige medium en het afvoerkanaal voor zowel vloeibaar- als gasvormig medium een wand is opgenomen, welke zich tot nabij het denkbeeldige verlengde van de geleidingswand uit- 5 strekt tot op een wandsectie, en dez.e sectie tenminste ongeveer evenwijdig is met het denkbeeldige verlengde·· van de geleidingswand.

16. Inrichting volgens de Conclusie 15, met het kenmerk, dat deze wandsectie zodanig is uitgevoerd, dat tijdens het passeren van een substraat in combinatie met deze substraat een tijdelïjk kanaal-verlengde wordt ge— 10 vormd, welke zich in de richting van het gecombineerde, afvoerkanaal verwijdt.

17. Inrichting volgens de Conclusie 16, met het kenmerk, dat deze wandsectie zodanige profileringen bevat, dat daardoor in dit tijdelijke kanaal-verlengde de wervelingen in de gasstroom worden versterkt.

18. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken merk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd·, dat tenminste- tijdens het aanbrengen van het vloeibare: medium cte toevoer van dit med-Lum ononderbroken over de gehele doorvoerbreedte van de substraat plaats vindt en tenminste nagenoeg alia van deze substraat afgescheiden vloeibare medium; door het 20 gecombineerde afvoerkanaal wordt afgezogen.

19. Inrichting volgens de Conclusie 18, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat daarbij de toe!- en afvoer van het vloeibare- en gasvormige medium ook bij de verwerking van niet op elkaar aansluitende substraten gedurende het niet ter plaatse van de uitmondingen van 25 deze kanalen aanwezig zijn van een substraat blijft gehandhaafd,

20. Inrichting volgens de Conclusie 19, met het kenmerk, dat daartoe de afvoercapaciteit van het gecombineerde; afvoerkanaal zodanig groter is dan de toevoercapaciteit van zowel het vloeibare- als het gasvormige medium, dat eveneens bij geheel of gedeeltelijk verwijderd zijn van de substraat van de 30 uitmondingen van deze kanalen, de uit de toevoerkanalen gestroomde media tenminste nagenoeg geheel worden aangezogen.

21. Inrichting volgens de Conclusie 20, met het kenmerk, dat daartoe in het toevoerkanaal voor het gasvormige medium een doorstroomweerstand' voor dit medium is opgenomen, welke groter is dan de maximum doorstroom- X* 35 weestand voor dit medium in het tijdelijke kanaal-verlengde, welke gevormd wordt door de wandsectie van het blok en de aangrenzende substraat.

22. Inrichting volgens de Conclusie 21, met het kenmerk, dat deze doorstroomweerstand bestaat uit een plaatselijke verkleining van de spleet- 8101440 - 23 - wijdte van dit kanaal en waarbij de lengte van deze vernauwing, gezien in de stroomrichting van dit medium, zeer groot is in vergelijking tot de micro-lengte van dit tijdelijke kanaal-verlengde.

23. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken-5 merk, dat deze een opstelling heeft, waarmede tenminste tijdelijk een toevoer van verdunning van het op de substraat aan te brengen vloeibare medium in tenminste vernevelde toestand naar tenminste de uitmondingen in het opbrengblok van het toevoerkanaal voor het gasvormige medium, het gecombineerde afvoerkanaal en het tussengelegen wandgedeelte van het opbrengblok. 10 kan plaats vinden.

24. Inrichting volgens de Conclusie 23, met het kenmerk, dat de hoeveelheid naar deze uitmondingen en wand gebrachte verdunning zodanig groot is, dat daardoor de zowel op daze wandsectie als op de binnenwand van het gecombineerde afvoerkanaal terechtgekomen film vloeibaar medium zodanig 15 dun vloeibaar blijft, dat deze als vloeistof stroom door de er langs strijkende stroom gasvormig medium wordt medegenomen naar een vergaar-inrichting. 25* Inrichting volgens de Conclusie 23, met het kenmerk, dat het gasvormige medium verwarmd is.

26. Inrichting volgens de Conclusie 25, met het kenmerk, dat daartoe 20 in het opbrengblok ter plaatse van dit toevoerkanaal voor het gasvormige medium een verwarmingselement-opstelling is opgenomen.

27. Inrichting volgens de Conclusie 26, met het kenmerk, dat het gas— vormige medium een plasma is.

28. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ksn-25 merk, dat het toevoerkanaal voor het gasvormige medium door een tweede wandsectie is gescheiden van het inwendige van de cabine en waarbij deze wand zich tot nabij het denkbeeldige verlengde van de geleidingswand uitstrekt.

29. Inrichting volgens de Conclusie 28, met het kenmerk, dat daarbij 30 de eerste wandsectie van het opbrengblok, welke zich bevindt tussen dit toevoerkanaal voor het gasvormige medium en het gecombineerde afvoerkanaal, zich tot dichter bij het denkbeeldige verlengde van het geleidingswand-gedeelte uitstrekt dan deze tweede wandsectie. 30* Inrichting volgens de Conclusie 29, met het kenmerk, dat de 35 lengte van deze tweede wandsectie geringer is dan 1 mm en deze wandsectie tezamen met de substraat een zodanig nauwe doorlaat vormt, dat door het er door stromende gasvormige medium een afvlakking van de op de substraat aangebrachte film vloeibaar medium wordt bewerkstelligd. 8101440 - 24 -

31. Inrichting volgens de Conclusie 23, met het kenmerk, dat deze zodanig is uitgevoerd, dat aan het gasvormige medium tenminste periodiek een vernevelde verdunning van het op de substraat aan te brengen vloeibare medium wordt toegevoegd.

32. Inrichting volgens één de voorgaande Conclusies, met het ken merk, dat de inrichting een drukcabine bevat, waarin tenminste het transportsysteem voor de substraten is opgenomen en in deze cabine een zodanige overdruk van het daarin aanwezige gasvormige medium wordt onderhouden, dat bij geheel of gedeeltelijk verwijderd zijn van een substraat van de toe- en 10 afvoerkanalen, door het gecombineerde afvoerkanaal tevens gasvormig medium uit deze cabine wordt aangezogen*

33, Inrichting volgens de Conclusie 32, met het kenmerk, dat verder daartoe in het opbrengblok de uitmonding van het toevoerkanaal voor het vloeibare medium op minder dan 0.1 mm gelegen is van de uitmonding van het 15 gecombineerde afvoerkanaal.

34. Inrichting volgens de Conclusie 33, met het kenmerk, dat deze verder zodanig is uitgevoerd, dat daarbij de uittrede-snelheid van het vloeibare medium uit de uitmonding van het toevoerkanaal ervan zodanig gering is, dat dit medium niet door het opbrengblok wordt losgelaten.

35. Inrichting volgens êên der voorgaande Conclusies, met het ken merk, dat daarbij in de geleidingswand van het opbrengblok nabij de uitmonding van de toevoer van het vloeibare medium tenminste: êén vacuumkanaal uitmondt, welke zich in dwarsrichting van het blok uitstrekt met zodanige afmetingen van de uitmonding ervan, dat de substraat tijdens het langs de geleidewand ~ 25 verplaatsen ervan tegen deze wand is getrokken.

36. Inrichting volgens de Conclusie 35, met het kenmerk, dat in deze kanalen afsluitinrichtingen zijn opgenomen, welke opvolgend in afhankelijkheid. van de positie van de substraat worden gecommandeerd.

37. Inrichting volgens de Conclusie 35, met het kenmerk, dat in de ge-30 leidingswand groeven zijn aangebracht met tussenliggende geleidingsribben en waarbij tenminste een deel van deze groeven uitmonden in zulk een vacuumkanaal zonder dat deze groeven verbonden zijn met de uitmonding van het toevoerkanaal voor het vloeibare medium,

38. Inrichting volgens de Conclusie 37, met het kenmerk, dat de af- 35 stand van de uitmonding van zulk een vacuumkanaal of groef in de geleidingswand tot de uitmonding van deze toevoer van het vloeibare medium zodanig groot is, dat geen vloeibaar medium in zulk een vacuumkanaal kan worden gezogen, indien de substraat voorbij deze toevoer van vloeibaar medium is 81014 40 - 25 - gekomen.

39. Inrichting volgens de Conclusie 38, met het kenmerk, dat daartoe in het apbrengblok de afstand van de uitmonding van het toevoerkanaal voor het vloeibare medium tot de uitmonding van het gecombineerde afvoerkanaal 5 kleiner is dan 50 micrometer en de afstand van de uitmonding van het va— cuumkanaal of vacuumgroef in de geleidingswand tot deze uitmonding voor het vloeibare medium groter is dan 100 micrometer.

40. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de transportinrichting voor de substraat zodanig is uitgevoerd, 10 dat deze substraat door een erop uitgeoefende krachtwerking over een geringe afstand naar het apbrengblok verplaatsbaar is en waarbij deze substraat toch door deze transportinrichting kan worden verplaatst.

41. Inrichting volgens de Conclusie 40, met het kenmerk, dat daartoe de transportinrichting zodanig is uitgevoerd, dat de zich erop bevindende 15 substraat in de richting van de geleidingswand van het opbrengblok verplaatsbaar is langs tenminste één meeneemnok.

42. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de afstand tussen de uitmonding van het in het opbrengblok opgenomen toevoerkanaal voor het vloeibare medium en het denkbeeldige verleng— 20 de van de geleidingswand ongeveer gelijk is aan de dikte van de op de substraat aan te brengen film vloeibare medium.

43. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat het daarin opgenomen aanbrengblok bestaat uit een bevestigings-blok, de ene helft van het ondergedeelte ervan in dwarsrichting een V-vor- 25 mige sponning heeft, in deze eerste spanning een daarmede corresponderend eerste U-vormige strip vaszetbaar is onder de vorming van een toevoerka— naai , welke nabij het midden van het bevestigingsblok uitmondt, tegen de andere helft van het ondergedeelte een blok vastzetbaar is onder de vorming van een centraal afvoerkanaal, in dit blok een tweede V—vormige groef 30 is opgenomen en in deze sponning een tweede, daarmede corresponderende V-vormige strip vastzetbaar is onder de vorming van een tweede toevoerkanaal, welke eveneens nabij het midden van het bevestigingsblok uitmondt.

44. Inrichting volgens de Conclusie 43, met het kenmerk, dat daarbij de hoek van zulk een sponning in geringe mate kleiner is dan de hoek van 35 de daarmede corresponderende strip.

45. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat deze, gezien in de bewegingsrichting van het transportsysteem, na een toevoerstation voor de substraten een reinigingsstation bevat, 8101 440 - 26 - welke zodanig is uitgevoerd, dat daarin een reinigingsvloeistof in overmaat met de opbreng-methode volgens één der Conclusies 1,2 of 3 over het oppervlak van de substraat wordt gestuwd, deze vloeistof vervolgens door een overmaat aan gasvormig medium over dit oppervlak wervelt en daarna tenmin-5 ste nagenoeg geheel van het substraat-oppervlak via het gecombineerde afvoerkanaal wordt verwijderd.

46. Inrichting volgens de Conclusie 45, met het kenmerk, dat deze een zodanig droogstation bevat, dat daarin droging wordt verkregen door het stuwen van een droog gasvormig medium over het gereinigde substraat- 10 oppervlak.

47. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat deze tevens een zodanig plasma-station bevat voor oxydatis-reini— ging van het substraat-oppervlak, dat daarbij gebruik wordt gemaakt van het toevoerkanaal voor het gasvormige medium voor de aanvoer van de. gas-15 vormige plasma en het afvoerkanaal voor dit gasvormige medium,

48. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat deze tevens βθπ zodanig spoelstation bevat, dat een verdunning van de in een later stadium aan te brengen film op de substraat in overmaat met de opbreng-methode volgens één der Conclusies 1,2 of 3 over het opper- 20 vlak van deze substraat wordt gestuwd , deze vloeistof vervolgens door een overmaat aan gasvormig medium over dit oppervlak wervelt en tenminste nagenoeg geheel van het substraat-oppervlak via het gecombineerde afvoerkanaal wordt verwijderd.

49. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken-25 merk, dat deze meerdere stations met opbrengblokken bevat voor het opbrengen van meerdere film-lagen op hetzelfde oppervlak van de: substraat.

50. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken— . merk, dat deze tevens een oven bevat voor het drogen en uitharden van de op de substraat aangebrachte film.

51. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken merk, dat de opvolgende stations boven de transportinrichting voor de substraat zijn opgesteld.

52. Inrichting volgens de Conclusie 51, met het kenmerk, dat daarbij een draaitafel als transportinrichting voor de substraten wordt toegepast 35 en de verschillende stations in een cirkelvorm in opvolging boven de sub-straat-sectie van de tafel zijn geplaatst. 53* Inrichting volgens éen der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de opvolgende stations onder de transportinrichting voor de 8101440 - 27 - substraten zijn opgesteld·

54. Inrichting volgens de Conclusie 53, met het kenmerk, dat daarbij een draaitafel als transpcrtinrichting voor de substraten wordt toegepast en de verschillende stations in een cirkelvorm in opvolging onder de sub- 5 straat-sectie van de tafel zijn geplaatst,

55. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat deze tevens een omkeerinrichting bevat voor het omkeren van de substraat na het erop in de eerste station-serie aangebracht zijn van een gedroogde film en vervolgens in een tweede serie stations de andere zijde 10 van de substraat van een gedroogde film kan worden voorzien.

56. Werkwijze van de inrichting volgens Conclusie 55, met het kenmerk, dat in een bepaalde radiale positie van de op de draaitafel aangebrachte substraat het buitengedeelte van het van een film voorziene oppervlak van deze substraat onder het vacuumblak van de meeneeminrichting terecht komt, 15 deze substraat vervolgens door dit blok wordt aangezogen, de arm met het eraan bevestigde vacuumblok over 180° wordt verdraaid, de substraat daardoor gebracht wordt op de voorgaande ligplaats van de draaitafel voor een substraat, daarna de vacuumkracht van het vacuumblok wordt opgeheven en de substraat los komt van dit blok, de substraat door de draaitafel wordt mede- 20 genomen tot voorbij de omkeerinrichting, daardoor de arm en het vacuumblok vrij komt en deze arm vervolgens over 180° terug verdraait naar zijn oorspronkelijke positie voor de ontvangst van een volgende substraat.

57. Werkwijze volgens de Conclusie 56, met het kenmerk, dat aanvullend daarop de substraat eerst in verticale en over enige afstand in zijwaartse 25 richting naar een eerste tussenliggende ligplaats ervoor wordt verplaatst voor overname ervan door de eigenlijke omkeerinrichting, na het omkeren deze substraat terecht komt op een tweede tuusen—ligplaats ervoor en vervolgens na opheffing van de vacuumkracht van het vacuumblok van de omkeerinrichting in zijwaartse en verticale richting wordt verplaatst naar de voorliggende 30 ligplaats op de draaitafel.

58. Inrichting volgens de Conclusie 52 of 54, met het kenmerk, dat in de draaitafel tussen aangrenzende ligplaatsen voor substraten een opening is aangebracht en tenminste één verstuiver van verdunning zodanig is aangebracht, dat indien de uitmondingen van de kanalen in het opbrengblok niet 35 bedekt zijn door een substraat, verstoven verdunning vanuit zulk een verstuiver naar deze uitmondingen kan worden gestuwd.

59. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de draaitafel ter plaatse van de ligplaatsen voor de substraten 8101440 f r- - 28 - voorzien is van tenminste één draagstuk, welke zich in de bewegingsrichting van deze ligplaats uitstrekt en waarbij zulk een draagstuk aan zijn achtereinde voorzien is van een meeneemnok voor de substraat,

60, Inrichting volgens de Conclusie 59, met het kenmerk, dat de hoog-5 te van zulk een nok geringer is dan de hoogte van de substraat,

61· Inrichting volgens de Conclusie 60, met het kenmerk, dat zulk een draagstuk ziq|, gezien in de draairichting van de tafel, over een zodanige afstand voortzet, dat de substraat tijdens het opbrengen of omkeren ervan op de tafel niet onmiddellijk tegen de drukwand van dit draagstuk komt te liggen. 10 52, Inrichting volgens de Conclusie 59, met het kenmerk, dat het draagstuk een zodanig vacuumblok is, dat daartegen de substraat vastzuigbaar is en al dan niet ter aanvulling ervan voorzien is van een meeneemnok.

63. Werkwijze van de inrichting volgens de Conclusie 62, met het kenmerk, dat het vacuumblok met behulp van een daartoe gecommandeerde kracht-15 weking vanaf een eerste aanslag-serie tegen de werking van een veer of dergelijke kracht in over een zeer geringe afstand kan verplaatsen tot tegen een tweede aanslag-serie en waarbij deze verplaatsing voldoende is om de tegen dit vacuumblok gezogen substraat tegen de geleidingswand van het opbreng-blok te drukken,

64. Werkwijze volgens de Conclusie 63, met het kenmerk, dat de kracht werking via dit blok op de substraat in de richting van het opbrengblok wordt beëindigd, zodra het achtereinde van de substraat tenminste nabij de uitmonding van de kanalen in dit blok is terechtgekomen.

65. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het ken-25 merk, dat deze zodanig is uitgevoerd, dat de draaitafel gekoeld wordt.

66. Inrichting volgens de Conclusie 65, met het kenmerk, dat daartoe een ringvormig koelkanaal is opgenomen in deze tafel, welk kanaal zich tot in de tafelsectie uitstrekt, die de ligplaatsen biedt voor de substraten en dit kanaal via een toevoer- en een afvoerkanaal verbonden is met de op de 30 twee uiteinden van de tafelas aangesloten toe- en afvoerleiding,

67. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat de transportinrichting een eindloze transportband is met daarop gemonteerd een aantal draagstukken voor het erop aanbrengen van de substraten,

68. Werkwijze van de inrichting volgens de Conclusie 67, met het ken-35 merk, dat in het toevoerstation voor de substraten een substraat op het draagstuk wordt gebracht, dit draagstuk met substraat in een rechtlijnige richting via de opvolgende secties naar het afvoerstation wordt verplaatst, daarin de substraat van het draagstuk wordt gevoerd en het draagstuk ver- 81014 40 -29- volgens terugkeert naar het toevoerstation.

69. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat het toe- en afvoerstation gecombineerd zijn in één unit en deze unit een draaitafel bevat met ligplaatsen voor een aantal cassettes, die 5 substraten bevatten,

70. Werkwijze van de inrichting volgens de Conclusie 69, met het kenmerk, dat daarbij door verdraaiing van deze tafel de geledigde cassette van het toevoerstation terecht komt in het afvoerstation.

71. Inrichting volgens de Conclusie 69, met het kenmerk, dat het 10 toe- en afvoerstation voor de substraten elk een meeneeminrichting voor deze substraten bevat, welke bestaat uit een op een meeneemblok geplaatst vacuumblok en transportmiddelen voor beide blokken.

72. Werkwijze van de inrichting volgens de Conclusie 71, met het kenmerk, dat deze voor het afvoerstation bestaat uit: 15 het brengen van het meeneemblok naar zijn uitgangspositie in de cabine boven de draaitafel, een verticale verplaatsing van het met dit meeneemblok verbonden vacuumblok naar de op de draaitafel aanwezige gerede substraat, en/of een vacuumzuigen van de substraat tegen dit blok, 20 een al dan niet terugverplaatsen van dit vacuumblok met substraat in verticale richting, een verplaatsen van het meeneemblok met vacuumblok en substraat naar de cassette, een schuiven van de substraat in opname-groeven van deze cassette, 25 een terugkeren van dit meeneemblok naar zijn uitgangspositie, en een ten opzichte van de meeneeminrichting verticaal verplaatsen van de cassette naar de ontvangst-positie voor de volgende substraat.

73. Werkwijze van de inrichting volgens de Conclusie 71, met het kenmerk, dat dat deze voor het toevoerstation bestaat uit: 30 in de uitgangspositie van het meeneemblok het zich in de cassette bevinden van het daarmede verbonden vacuumblok boven een substraat, het vacuumzuigen van de substraat tegen dit blak, een verplaatsen van het meeneemblok met vacuumblok en substraat naar de cabine tot de substraat zich bij zijn toekomstige ligplaats op de draaitafel 35 bevindt, een tussentijds ten opzichte van de meeneeminrichting verticaal verplaatsen van de cassette voor afname eruit van een volgende substraat, een al dan niet verticaal verplaatsen van het vacuumblok tot de substraat 8101440 - 30 - 5 * * , * * zich tegen zijn ligplaats bevindt, een overname door deze ligplaats van deze substraat, een opheffen van het vacuum in het vacuumblok en al dan niet in verticaal terugkeren van dit blok, en 5 een verplaatsing van het meeneemblok naar de cassette als uitgangspositie. 74. liJerkuijze van de inrichting volgens de Conclusie 30, met het kenmerk, dat de viscositeit van het vloeibare medium zodanig hoog is en het gasvormige medium in zodanige mate op de vloeistoffilm aangrijpt, dat bij verwerking van substraten met een geprofileerd oppervlak de dalen van dit 10 oppervlak tot tenminste de hoogte van de omliggende toppen gevuld blijven met dit vloeibare medium,

75, Werkwijze volgend de Conclusie 74, met het kenmerk, dat daartoe het vanuit zijn toevoerkanaal in een tegengesteld aan de bewegingsrichting van de substraat stromend gasvormig medium naar de afscheidingswand van het 15 opbrengblok uitsluitend dient voor het daarmede verwijderen en afvoeren van het overtollig vloeibaar medium van het substraat-oppervlak, terwijl met behulp van de stroom gasvormig medium vanuit het toevoerkanaal van het gasvormige medium in de bewegingsrichting van de substraat vereffening van de op deze substraat gebrachte film vloeibaar medium plaats vindt.

76. Werkwijze van de inrichting volgens de Conclusie 32, met het ken merk, dat de overdruk van het gasvormige medium in de cabine slechts in geringe mate lager is dan de overdruk in het toevoerkanaal voor het gasvormige medium.

77. Werkwijze volgens de Conclusie 76, met het kenmerk, dat dit ver- 25 tijdens de werking van de inrichting maximaal 0,2 bar bedraagt.

78. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat gezien in de draairichting van de draaitafel, voorbij het eerste opbrengblok, waarin de film vloeibare medium op de substraat wordt aangebracht, een tweede opbrengblok is opgenomen, welke zich in verticale rich- 30 ting tot op een geringe afstand van het denkbeeldige verlengde van de ge-leidingswand van het eerste opbrengblok uitstrekt onder de vorming van een wand, welke tenminste nagenoeg evenwijdig is met dit wand-verlengde en in dit blok tenminste één toevoerkanaal voor gasvormig medium is opgenomen, waarvan de uitmonding, gezien in dwarsrichting van de ligplaats van de 35 substraat, centraal ten opzichte van deze ligplaats is gelegen.

79. Inrichting volgens de Conclusie 78, met het kenmerk, dat het tweede blok een zodanige omvang heeft, dat de substraat daardoor in dwarsrichting van de ligplaats ervan tenminste nagenoeg bedekt is, 81014 40 « * - 31 -

80. Inrichting volgens de Conclusie 79, met het kenmerk, dat tenminste de uitmonding van zulk een kanaal spieetvormig is en zich ongeveer dwars op de bewegingsrichting van de substraat uitstrekt.

81· Inrichting volgens de Conclusie 80, met het kenmerk, dat het blok 5 uit tenminste twee hoofddelen bsstaat en waarbij in gemonteerde toestand ervan zulk een kanaal zich tussen aangrenzende delen bevindt.

82. Inrichting volgens één der voorgaande Conclusies, met het kenmerk, dat gezien in dwarsrichting van het tweede opbrengblok aan weerszijden van dit blok afvoerkanalen voor het gasvormige medium zijn opgenomen. 10 83, Inrichting volgens de Conclusie 82, met het kenmerk, dat deze kanalen cabine-secties zijn aan weerszijden van de ligplaatssectie van de transportinrichting en deze secties verbonden zijn met tenminste één centraal afvoerkanaal.

84. Werkwijze van de inrichting volgens de Conclusie 82, met het ken-15 merk, dat tenminste gedurende het zich langs dit tweede opbrengblok bewegen van de substraat het verwarmde gasvormige medium onder een zodanige overdruk over deze met een film vloeibaar medium bedekte substraat wordt gestuwd dat door deze stroom warm gasvormig medium een verdere vereffening daarvan plaats vindt.

85. Inrichting volgens de Conclusie 82, met het kenmerk, dat bij toe passing van meerders toevoerkanalen in dit opbrengblok deze kanalen van elkaar zijn gescheiden. 86* Werkwijze van de inrichting volgens de Conclusie 85, met het kenmerk, dat in afhankelijkheid van een daarlangs verplaatsende substraat-sectie, 25 de toevoer van gasvormig medium via zulk een kanaal plaats vindt.

87. Inrichting, waarin de werkwijze volgens de Conclusie 84 is opgenomen, met het kenmerk, dat het toevoerkanaal voor het in het eerste opbreng— blok gebruikte gasvormig medium gevormd wordt door het cabine-gedeelte buiten dit opbrengblok en waarbij het tijdelijke einde van dit kanaal gevormd 30 wordt door een eindgedeelte van het opbrengblok opzij van het gecombineerde afvoerkanaal en de substraat. 8101440