NL7605002A - Werkwijze voor het afzetten van ruthenium op een heet substraat. - Google Patents

Werkwijze voor het afzetten van ruthenium op een heet substraat.

Info

Publication number: NL7605002A
Authority: NL; Netherlands
Prior art keywords: hot substrate; depositing ruthenium; ruthenium; depositing; hot
Prior art date: 1975-05-20

Application number

NL7605002A

Other languages

English (en)

Dutch (nl)

Original Assignee

Int Nickel Ltd

Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)

1975-05-20

Filing date

1976-05-11

Publication date

1976-11-23

1976-05-11 Application filed by Int Nickel Ltd filed Critical Int Nickel Ltd

1976-11-23 Publication of NL7605002A publication Critical patent/NL7605002A/xx

Classifications

- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/06—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material
- C23C16/18—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material from metallo-organic compounds

Landscapes

Chemical & Material Sciences (AREA)
Metallurgy (AREA)
Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
Engineering & Computer Science (AREA)
Materials Engineering (AREA)
Mechanical Engineering (AREA)
General Chemical & Material Sciences (AREA)
Organic Chemistry (AREA)
Chemical Vapour Deposition (AREA)
Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Physical Vapour Deposition (AREA)
Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Electrolytic Production Of Metals (AREA)
Contacts (AREA)

NL7605002A 1975-05-20 1976-05-11 Werkwijze voor het afzetten van ruthenium op een heet substraat. NL7605002A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number	Priority Date	Filing Date	Title
GB21497/75A GB1499549A (en)	1975-05-20	1975-05-20	Deposition of ruthenium

Publications (1)

Publication Number	Publication Date
NL7605002A true NL7605002A (nl)	1976-11-23

Family

ID=10163942

Family Applications (1)

Application Number	Title	Priority Date	Filing Date
NL7605002A NL7605002A (nl)	1975-05-20	1976-05-11	Werkwijze voor het afzetten van ruthenium op een heet substraat.

Country Status (14)

Country	Link
JP (1)	JPS51141738A (sv)
AT (1)	ATA366276A (sv)
AU (1)	AU1369576A (sv)
BE (1)	BE842027A (sv)
CA (1)	CA1087040A (sv)
CH (1)	CH603809A5 (sv)
DE (1)	DE2622181A1 (sv)
DK (1)	DK220776A (sv)
ES (1)	ES448043A1 (sv)
FR (1)	FR2311859A1 (sv)
GB (1)	GB1499549A (sv)
NL (1)	NL7605002A (sv)
SE (1)	SE7605668L (sv)
ZA (1)	ZA762641B (sv)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number	Priority date	Publication date	Assignee	Title
JPH01301865A (ja) *	1988-05-30	1989-12-06	Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt>	薄膜成長方法および薄膜成長装置
JP2799763B2 (ja) *	1990-07-11	1998-09-21	同和鉱業株式会社	有機金属錯体を用いる薄膜の製造法
JP2802676B2 (ja) *	1990-07-13	1998-09-24	同和鉱業株式会社	１，３―ジケトン系有機金属錯体を用いる薄膜の製造方法
AT410757B (de) *	1993-12-10	2003-07-25	Tyrolia Freizeitgeraete	Skibremse
JP5792438B2 (ja) *	2010-08-12	2015-10-14	東京エレクトロン株式会社	成膜装置及び成膜方法
US9725794B2 (en)	2014-12-17	2017-08-08	Kennametal Inc.	Cemented carbide articles and applications thereof

1975
- 1975-05-20 GB GB21497/75A patent/GB1499549A/en not_active Expired
1976
- 1976-05-03 ZA ZA762641A patent/ZA762641B/xx unknown
- 1976-05-06 AU AU13695/76A patent/AU1369576A/en not_active Expired
- 1976-05-11 NL NL7605002A patent/NL7605002A/xx unknown
- 1976-05-11 CA CA252,239A patent/CA1087040A/en not_active Expired
- 1976-05-12 CH CH594476A patent/CH603809A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1976-05-18 FR FR7614916A patent/FR2311859A1/fr not_active Withdrawn
- 1976-05-18 ES ES448043A patent/ES448043A1/es not_active Expired
- 1976-05-19 DK DK220776A patent/DK220776A/da unknown
- 1976-05-19 DE DE19762622181 patent/DE2622181A1/de active Pending
- 1976-05-19 AT AT763662A patent/ATA366276A/de not_active IP Right Cessation
- 1976-05-19 SE SE7605668A patent/SE7605668L/sv unknown
- 1976-05-20 BE BE167182A patent/BE842027A/xx unknown
- 1976-05-20 JP JP51057340A patent/JPS51141738A/ja active Pending

Also Published As

Publication number	Publication date
CA1087040A (en)	1980-10-07
FR2311859A1 (fr)	1976-12-17
AU1369576A (en)	1977-11-10
JPS51141738A (en)	1976-12-06
CH603809A5 (sv)	1978-08-31
SE7605668L (sv)	1976-11-21
ATA366276A (de)	1977-12-15
BE842027A (fr)	1976-11-22
DE2622181A1 (de)	1976-12-09
GB1499549A (en)	1978-02-01
ZA762641B (en)	1977-04-27
DK220776A (da)	1976-11-21
ES448043A1 (es)	1977-07-01

Similar Documents

Publication	Publication Date	Title
NL185690C (nl)	1990-06-18	Werkwijze voor het vervaardigen van een vlakdrukvorm.
NL7613472A (nl)	1977-06-14	Werkwijze voor het bereiden van een brij.
NL7613204A (nl)	1977-06-01	Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL177094C (nl)	1985-08-01	Werkwijze voor het vervaardigen van een verpakking.
NL7602760A (nl)	1976-09-21	Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL178088B (nl)	1985-08-16	Werkwijze voor het vormen van een hoogglanzende bekleding op een substraat.
NL7603446A (nl)	1976-10-05	Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL184694C (nl)	1989-10-02	Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL7613487A (nl)	1977-06-21	Werkwijze voor het vervaardigen van een buig- zame lamellaire tussenlaag.
NL182818C (nl)	1988-05-16	Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL7602264A (nl)	1976-10-20	Werkwijze voor het aanbrengen van een metaalbe- kleding op een metaalsubstraat.
NL180707C (nl)	1987-04-01	Werkwijze voor het vervaardigen van een positieve fotoresistlaag.
NL7611339A (nl)	1977-04-18	Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL7704092A (nl)	1977-10-21	Werkwijze voor het afzetten van een metaal op een oppervlak.
NL7601487A (nl)	1976-08-17	Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL7600026A (nl)	1976-07-06	Werkwijze voor het omzetten van een koolwater- stof.
NL7601671A (nl)	1976-08-31	Werkwijze voor het omzetten van een koolwater- stof.
NL7605002A (nl)	1976-11-23	Werkwijze voor het afzetten van ruthenium op een heet substraat.
NL186524C (nl)	1990-12-17	Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL7612483A (nl)	1977-05-13	Werkwijze voor het vervaardigen van een metal- lisering op een substraat.
NL184911C (nl)	1989-12-01	Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL186523C (nl)	1990-12-17	Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL184912C (nl)	1991-12-16	Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL7601735A (nl)	1976-08-24	Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL7602087A (nl)	1976-09-14	Werkwijze voor het bereiden van een copolymeer.