[go: up one dir, main page]

NL172286C - Ionenbundelbron bestemd voor een elektromagnetische separator. - Google Patents

Ionenbundelbron bestemd voor een elektromagnetische separator.

Info

Publication number
NL172286C
NL172286C NLAANVRAGE7001398,A NL7001398A NL172286C NL 172286 C NL172286 C NL 172286C NL 7001398 A NL7001398 A NL 7001398A NL 172286 C NL172286 C NL 172286C
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
electromagnetic separator
ion bundle
source intended
bundle source
intended
Prior art date
Application number
NLAANVRAGE7001398,A
Other languages
English (en)
Other versions
NL7001398A (nl
Original Assignee
Atomic Energy Authority Uk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Atomic Energy Authority Uk filed Critical Atomic Energy Authority Uk
Publication of NL7001398A publication Critical patent/NL7001398A/xx
Application granted granted Critical
Publication of NL172286C publication Critical patent/NL172286C/nl

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D59/00Separation of different isotopes of the same chemical element
    • B01D59/44Separation by mass spectrography
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/10Ion sources; Ion guns
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/10Ion sources; Ion guns
    • H01J49/12Ion sources; Ion guns using an arc discharge, e.g. of the duoplasmatron type

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
NLAANVRAGE7001398,A 1969-02-05 1970-01-30 Ionenbundelbron bestemd voor een elektromagnetische separator. NL172286C (nl)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB6288/69A GB1280011A (en) 1969-02-05 1969-02-05 Improvements in or relating to ion beam separators
GB6289/69A GB1280012A (en) 1969-02-05 1969-02-05 Improvements in or relating to ion beam sources

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL7001398A NL7001398A (nl) 1970-08-07
NL172286C true NL172286C (nl) 1983-08-01

Family

ID=26240578

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7001397A NL7001397A (nl) 1969-02-05 1970-01-30
NLAANVRAGE7001398,A NL172286C (nl) 1969-02-05 1970-01-30 Ionenbundelbron bestemd voor een elektromagnetische separator.

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7001397A NL7001397A (nl) 1969-02-05 1970-01-30

Country Status (5)

Country Link
US (1) US3705320A (nl)
DE (2) DE2003715B2 (nl)
FR (2) FR2033957A5 (nl)
GB (2) GB1280011A (nl)
NL (2) NL7001397A (nl)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4017403A (en) * 1974-07-31 1977-04-12 United Kingdom Atomic Energy Authority Ion beam separators
DE2621824C2 (de) * 1976-05-17 1982-04-29 Hitachi, Ltd., Tokyo Mikrowellen-Entladungs-Ionenquelle
DE3150156C2 (de) * 1981-12-18 1986-04-30 Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH, 6100 Darmstadt Hochstrom-Ionenquelle
US4847504A (en) * 1983-08-15 1989-07-11 Applied Materials, Inc. Apparatus and methods for ion implantation
US4578589A (en) * 1983-08-15 1986-03-25 Applied Materials, Inc. Apparatus and methods for ion implantation
EP0137649B1 (en) * 1983-08-15 1989-06-21 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for ion implantation
US4761553A (en) * 1983-10-06 1988-08-02 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Gaseous leak detector
US4855602A (en) * 1986-06-20 1989-08-08 Sharma Devendra N Beam deflector
GB8820359D0 (en) * 1988-08-26 1988-09-28 Atomic Energy Authority Uk Charged particle grid
US5262652A (en) * 1991-05-14 1993-11-16 Applied Materials, Inc. Ion implantation apparatus having increased source lifetime
US5723862A (en) * 1996-03-04 1998-03-03 Forman; Leon Mass spectrometer utilizing high energy product density permanent magnets
US6452338B1 (en) 1999-12-13 2002-09-17 Semequip, Inc. Electron beam ion source with integral low-temperature vaporizer
NL1021848C2 (nl) 2002-11-06 2004-05-07 Nedap Nv Beveiligingssysteem gebaseerd op standaard eurocilinder.
EP1830385A1 (en) * 2006-03-01 2007-09-05 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH Ion beam apparatus and method for aligning same
WO2010018639A1 (ja) * 2008-08-15 2010-02-18 株式会社シンクロン 蒸着装置及び薄膜デバイスの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
FR2033957A5 (nl) 1970-12-04
GB1280012A (en) 1972-07-05
DE2003715B2 (de) 1980-11-06
NL7001397A (nl) 1970-08-07
GB1280011A (en) 1972-07-05
DE2003970A1 (de) 1970-08-20
FR2033958A5 (nl) 1970-12-04
US3705320A (en) 1972-12-05
NL7001398A (nl) 1970-08-07
DE2003715A1 (de) 1970-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL160099C (nl) Reinigingsinrichting voor een elektrofotografische inrichting.
BE745710A (fr) Automatische beproevingsinrichting voor een meeraderige elektrische kabel
NO138548C (no) Separeringsanordning.
NL165349C (nl) Rastersynchronisatiestelsel voor een orthogonale decodeereenheid.
FI49962C (fi) Menetelmä valmistaa seerumilipidipitoisuutta alentava 5-fluori-3-pyrid iini-metanoli.
NL172286C (nl) Ionenbundelbron bestemd voor een elektromagnetische separator.
ES160899Y (es) Un separador de huevos.
NL149456B (nl) Afscheidingsschot voor een verpakking.
NL159895C (nl) Elektrostatische stofafscheider.
NL143084B (nl) Aandrijving voor een instelorgaan.
NL151799B (nl) Ondervraag-antwoordstelsel voor verschillende ondervragingscodes.
NL143727B (nl) Ionenbron.
NL159145B (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een elektrode.
NL143941B (nl) Werkwijze voor de bereiding van een adhesief.
NL161295C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een afbuigjuk voor elektromagnetische bundelafbuiging.
NL145815B (nl) Draagverpakking voor een aantal houders.
NL152701B (nl) Voor een elektronenbuis bestemd koelsysteem.
NL143068B (nl) Inrichting voor het afbuigen van een elektronenbundel.
NL167029C (nl) Foelie voor laagchromatografie.
NL150610B (nl) Ionenbron.
NL153346B (nl) Magnetisch afbuigstelsel voor een elektronenstraalbuis.
NL149945B (nl) Schakeling voor een elektromagnetische schakelmatrix.
NL159541B (nl) Gasionenlaser.
NL169073C (nl) Werkwijze voor de bereiding van een oxyranverbinding.
BE746714A (fr) Basisolie voor een meerbereikssmeerolie

Legal Events

Date Code Title Description
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee