[go: up one dir, main page]

NL1010836C2 - Oven voor het vervaardigen van zonnecellen. - Google Patents

Oven voor het vervaardigen van zonnecellen. Download PDF

Info

Publication number
NL1010836C2
NL1010836C2 NL1010836A NL1010836A NL1010836C2 NL 1010836 C2 NL1010836 C2 NL 1010836C2 NL 1010836 A NL1010836 A NL 1010836A NL 1010836 A NL1010836 A NL 1010836A NL 1010836 C2 NL1010836 C2 NL 1010836C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
oven according
oven
transport
transport rollers
housing
Prior art date
Application number
NL1010836A
Other languages
English (en)
Inventor
Franciscus Cornelius Dings
Original Assignee
O T B Engineering B V
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by O T B Engineering B V filed Critical O T B Engineering B V
Priority to NL1010836A priority Critical patent/NL1010836C2/nl
Priority to EP99204381A priority patent/EP1010960B1/en
Priority to ES99204381T priority patent/ES2197575T3/es
Priority to AT99204381T priority patent/ATE243834T1/de
Priority to US09/466,187 priority patent/US6288366B1/en
Priority to DE69909046T priority patent/DE69909046T2/de
Priority to PT99204381T priority patent/PT1010960E/pt
Application granted granted Critical
Publication of NL1010836C2 publication Critical patent/NL1010836C2/nl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
    • H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/06—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity heated without contact between combustion gases and charge; electrically heated
    • F27B9/062—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity heated without contact between combustion gases and charge; electrically heated electrically heated
    • F27B9/066—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity heated without contact between combustion gases and charge; electrically heated electrically heated heated by lamps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/06—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity heated without contact between combustion gases and charge; electrically heated
    • F27B9/08—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity heated without contact between combustion gases and charge; electrically heated heated through chamber walls
    • F27B9/082—Muffle furnaces
    • F27B9/084—Muffle furnaces the muffle being fixed and in a single piece
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/14—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
    • F27B9/20—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path
    • F27B9/24—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path being carried by a conveyor
    • F27B9/2407—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path being carried by a conveyor the conveyor being constituted by rollers (roller hearth furnace)
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/14—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
    • F27B9/20—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path
    • F27B9/24—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path being carried by a conveyor
    • F27B9/243—Endless-strand conveyor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D1/00—Casings; Linings; Walls; Roofs
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D3/00—Charging; Discharging; Manipulation of charge
    • F27D3/12—Travelling or movable supports or containers for the charge
    • F27D2003/121—Band, belt or mesh
    • F27D2003/122—Band made from longitudinal wires or bars

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Tunnel Furnaces (AREA)
  • Control And Other Processes For Unpacking Of Materials (AREA)
  • Electric Ovens (AREA)
  • Constitution Of High-Frequency Heating (AREA)
  • General Preparation And Processing Of Foods (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Description

Oven voor het vervaardigen van zonnecellen
De uitvinding betreft een oven voor het verhitten van voorwerpen, voorzien van een huis met verhittingsmiddelen alsmede een toevoer en een afvoer waartussen zich 5 een baan uitstrekt voor het verplaatsen van de voorwerpen door de oven, welke verhittingsmiddelen tenminste een bron omvatten die straling met een golflengte liggend in het gebied van lichtstraling afgeeft, zoals een inffaroodbron, en welke baan voor het verplaatsen van de voorwerpen een voor de lichtstraling doorlaatbaar materiaal omvat.
10 Een dergelijke oven is bekend uit DE-U-9205956.
Bij de oven volgens de uitvinding gaat het in het bijzonder om het type dat wordt toegepast voor de vervaardiging van zonnecellen. Zoals gebruikelijk wordt daartoe een uitgangsmateriaal in de vorm van silicumplaatjes allereerst voorzien van een laagje vloeistof dat 50% fosforzuur bevat. Door middel van een convectieve 15 verwarming worden de aldus voorbehandelde plaatjes in de oven verhit.
Doel van de uitvinding is een oven te verschaffen waarbij de verwarming op efficiënte wijze plaatsvindt.
Dat doel wordt bereikt doordat tenminste een deel van de baan is opgenomen in een tunnel uit kwartsplaten. Door middel van een dergelijke tunnel wordt de verhitting 20 geconcentreerd in de ruimte waar zich de te verhitten producten bevinden.
De tunnel kan op verschillende manieren zijn uitgevoerd. Bij voorkeur bezit de tunnel twee verticale alsmede twee horizontale langswanden.
Het huis van de oven omvat een isolerend materiaal. In het bijzonder omvat het huis een in langsrichting lopende bovenwand en onderwand, waarbij de bovenwand 25 en/of onderwand tenminste een verwarmingsbron en ventilatie-inrichting draagt.
De baan kan op verschillende manieren worden uitgevoerd. Volgens een eerste mogelijkheid omvat de baan een aantal dwars in transportrichting achter elkaar geplaatste en in rotatierichting aandrijfbare transportrollen van een voor de lichtstraling :: doorlaatbaar materiaal.
30 De transportrollen kunnen op verschillende manieren worden uitgevoerd en f toegepast. Volgens een eerste mogelijkheid zijn de transportrollen aan beide einden door het huis naar buiten geleid, waarbij die uit het huis geleide einden draaibaar zijn ondersteund.
1 0 1 0 8 3 6 A · — 2
De ondersteuning en aandrijving van de transportrollen bevindt zich in dat geval buiten het hete, inwendige gebied van de oven.
In het bijzonder kunnen de transportrollen aan beide einden telkens zijn opgelegd op een bandvormig transportorgaan, welke transportorganen tegen de 5 transportrichting in aandrijfbaar zijn voor het door wrijving doen roteren van de transportrollen.
De transportorganen kunnen elk een band zonder eind omvatten, die over steunwielen is geleid, zodanig dat de transportrollen zijn ondersteund op het bovenste part van elke band.
10 De transportrollen zijn aan hun buiten de oven geleide einden opgesloten tegen verplaatsing in de transportrichting.
Teneinde de transportrollen nauwkeurig haaks op de transportrichting te kunnen instellen, zijn zij bij voorkeur opgesloten tussen pennen die elk draaibaar zijn rond een excentrische hartlijn dwars op de hartlijn van elke transportrol.
15 Teneinde het via de transportrollen uit het huis naar buiten treden van het licht te verhinderen, zijn de transportrollen nabij hun einden telkens zijn voorzien van een voor de lichtstraling diffuus oppervlaktegebied. Ook kunnen hun kopvlakken zijn voorzien van een spiegelende laag. De transportrollen bestaan bij voorkeur uit kwarts.
Volgens een tweede mogelijkheid omvat de baan een aantal in transportrichting 20 achter elkaar geplaatste steunen die zijn ondersteund in de verticale Iangswanden van de tunnel. In dat geval is over de steunen een soepel transportorgaan zonder eind geleid. Dat transportorgaan kan tenminste twee soepele koorden of banden omvatten.
De producten worden nu door middel van de koorden of banden door de tunnel getransporteerd, waarbij de steunen voor de ondersteuning van die koorden of banden 25 zorgen.
De steunen bestaan bij voorkeur uit kwarts staven. Teneinde het uittreden van lucht te vermijden, kunnen de staven nabij hun einden telkens zijn voorzien van een voor de lichtstraling diffuus oppervlaktegebied. Ook kunnen de staven aan hun kopvlakken zijn voorzien vaneen spiegelende laag.
30 Bij de uitvinding wordt een lichtbron, zoals een infraroodbron, gebruikt voor de verwarming. De golflengte van het betreffende licht kan worden afgestemd op de kleur van het te verhitten product, zodanig dat de gewenste absorptie optreedt ter verhitting van het product. Een dergelijke verwarming met een infraroodbron is zeer effectief 3 voor het verhitten van de overwegend grijze siliciumplaatjes.
De baan wordt zelf echter niet verwarmd door de lichtstraling, waardoor de thermische belasting zeer beperkt blijft en de uitvoering relatief eenvoudig is, zeker in vergelijking met de traditionele transportbanden.
5 Vervolgens zal de uitvinding nader worden toegelicht aan de hand van de in de figuren weergegeven uitvoeringsvoorbeelden van de oven.
Figuur 1 toont een gedeeltelijk opengewerkt aanzicht in perspectief van een eerste uitvoeringsvorm van de oven.
Figuur 2 toont een dwarsdoorsnede van de oven volgens figuur 1.
10 Figuur 3 toont een tweede uitvoeringsvorm, gedeeltelijk opengewerkt in een perspectief, van de oven volgens de uitvinding.
Figuur 4 toont een dwarsdoorsnede van de oven volgens figuur 3.
De in de figuren 1 en 2 weergegeven oven omvat een gestel uit langsliggers 1,2, waarop een aantal achter elkaar geplaatste gesteldelen 3 is opgenomen. Deze 15 gesteldelen 3 dragen een tweetal steunprofielen 4, die zijn bevestigd aan de benen 5 van elk gestelraam 3. De profielen 4 bezitten een L-vormige dwarsdoorsnede.
Aan het in transportrichting voorste en achterste eind van de profielen 4 is een draaibare as 6 bevestigd die door middel van lagers 8 is opgehangen. Elke as 6, 7 draagt verder een tweetal poelies 9.
20 Over elk tweetal poelies van de assen 6, 7 is een soepele band 10 zonder eind geleid, die is ondersteund op het bovenste, horizontale been 11 van elk der profielen 4.
Op elk horizontaal been 11, en wel aan de buitenkant van de soepele banden 10, is een reeks pennen 12 opgenomen (de reeks aan de rechterzijde is in verband met de duidelijkheid weggelaten). Tussen elk tweetal pennen 12 is telkens een eind 25 opgenomen van de transportrollen 13. Deze transportrollen 13 steunen op de bovenzijde van de soepele banden 10.
Zodra de soepele banden 10 synchroon worden aangedreven, worden ook de transportrollen 13 in draairichting aangedreven dankzij hun wrijvende samenwerking met die transportbanden 10. In transportrichting blijven de transportrollen 13 op hun 30 plaats, gezien het feit dat hun beide einden zijn opgenomen tussen de pennen 12.
De transportrollen 13 zijn geleid door de gaten 14 van de verticale wanden 15 van de oven. Tussen deze wanden bevinden zich de verwarmingsinrichtingen 16, dat bijvoorbeeld infrarood verwarmingsinrichtingen kunnen zijn.
1010836 [ 4
Om te vermijden dat de transportrollen 13 verhit worden door de infrarood verwarmingsinrichtingen 16, zijn de transportrollen 13 uitgevoerd in een kwartsmateriaal. Dit kwartsmateriaal is doorlaatbaar met betrekking tot de infraroodstraling van de verwarmingsinrichtingen 16, waardoor geen verhitting 5 optreedt.
Teneinde te vermijden dat de infraroodstraling via de transportrollen naar buiten treedt, zijn zij nabij hun uiteinden voorzien van een diffuus of dof omtreksgedeelte. Ook kan aldaar een spiegelend oppervlak zijn voorzien.
Door de oven strekt zich een uit kwartsplaten opgebouwde tunnel 18 uit. Deze 10 tunnel 18 bezit twee zijwanden 19, een onderwand 20, alsmede een bovenwand 21. De te verhitten producten worden op de transportrollen door de tunnel geleid. Aangezien de wanden 19-21 van de tunnel 18 uit kwarts bestaan, kan de door de verwarmingsinrichtingen 16 geleverde infraroodstraling de tunnel 18 binnentreden. De producten worden daarbij op gelijkmatige wijze verwarmd. Bovendien kunnen de 15 verwarmingsinrichtingen 16 zowel aan de bovenzijde als aan de onderzijde van de tunnel 18 zijn opgesteld. Tevens zijn ventilatie-inrichtingen 30 voorzien voor het doen circuleren van de lucht in de oven.
Aan de buitenzijde is de oven tenslotte bekleed met bekledingsplaten 22,23, waarvan een gedeelte in figuur 1 is weergegeven.
20 De transportrollen kunnen ook bijvoorbeeld door middel van tandwielen individueel worden aangedreven.
De opbouw van de oven volgens de figuren 3 en 4 is in grote lijnen identiek aan die van figuren 1 en 2. Slechts de transportmiddelen en de aandrijving daarvan verschillen van die volgens de figuren 1 en 2. De transportmiddelen omvatten vaste 25 staven 23 die zich slechts in de tunnel 18 uitstrekken, doch niet daar buiten. Zij zijn bevestigd in de gaten 24 van de zijwanden 19 van de tunnel 18. Over de transportrollen 23 is het bovenste part 25 van de transportkoorden of -banden 26 verschuifbaar.
Nabij beide uiteinden van de oven zijn deze transportkoorden of -banden omgeleid over poelies 27 die zijn gemonteerd op de assen 6. Door middel van de 30 soepele banden 10 zijn de rotaties van deze assen 6 gesynchroniseerd.
Zoals weergegeven in figuur 4, zijn de poelies 27 een weinig naar beneden verplaatst, zodanig dat de bovenste parten 25 van de transportkoorden of -banden 26 strak over de staven 23 liggen.
10 10 8 36 5
De producten worden nu liggend op de transportkoorden of -banden 26 door de oven geleid. Deze transportkoorden of -banden 26 zijn daarbij ondersteund door de staven 23.
* ρ ΐ n ' ·' : ;

Claims (24)

1. Oven voor het verhitten van voorwerpen, voorzien van een huis met verhittingsmiddelen (16) alsmede een toevoer en een afvoer waartussen zich een baan 5 (13,23,25) uitstrekt voor het verplaatsen van de voorwerpen door de oven, welke verhittingsmiddelen (16) tenminste een bron omvatten die straling met een golflengte liggend in het gebied van lichtstraling afgeeft, zoals een infraroodbron, en welke baan voor het verplaatsen van de voorwerpen een voor de lichtstraling doorlaatbaar materiaal omvat, met het kenmerk, dat de baan tenminste gedeeltelijk is opgenomen in een tunnel 10 (18) uit kwartsmateriaal (19,21).
2. Oven volgens conclusie 1, waarbij de tunnel twee verticale (19) alsmede twee horizontale langswanden (20, 21) heeft.
3. Oven volgens conclusie 2, waarbij de tunnel (18) zich door het gehele huis uitstrekt.
4. Oven volgens één der voorgaande conclusies, waarbij het huis van de oven isolerend materiaal omvat. 20
5. Oven volgens conclusie 4, waarbij het huis een in langsrichting lopende bovenwand (40) en onderwand (41) heeft.
6. Oven volgens conclusie 5, waarbij de bovenwand (40) en/of onderwand (41) 25 tenminste een verwarmingsbron (16) draagt.
7. Oven volgens conclusie 5 of 6, waarbij de bovenwand (40) en/of onderwand (41) tenminste een ventilatie-inrichting (30) omvat.
8. Oven volgens conclusie 4, 5,6 of 7, waarbij het huis twee in langsrichting lopende zijwanden (15) uit isolerend materiaal omvat.
9. Oven volgens één der voorgaande conclusies, waarbij de baan een aantal 1 0 1 G 8 3 S i dwars in transportrichting achter elkaar geplaatste en in rotatierichting aandrijfbare transportrollen (13,23) van een voor de lichtstraling doorlaatbaar materiaal omvat.
10. Oven volgens conclusie 9, waarbij de transportrollen (13) aan beide einden 5 door het huis naar buiten zijn geleid, en aan die buiten het huis geleide einden draaibaar zijn ondersteund.
11. Oven volgens conclusie 10, waarbij de transportrollen (13) aan beide einden telkens zijn opgelegd op een bandvormig transportorgaan (10), welke transportorganen 10 tegen de transportrichting in aandrijfbaar zijn voor het door wrijving doen roteren van de transportrollen (13).
12. Oven volgens conclusie 11, waarbij de transportorganen elk een band (10) zonder eind omvatten, die over steunwielen (9) is geleid, en de transportrollen (13) zijn 15 ondersteund op het bovenste part van elke band (10).
13. Oven volgens conclusie 12, waarbij de transportrollen (13) aan hun buiten de oven geleide einden zijn opgesloten (12) tegen verplaatsing in de transportrichting.
14. Oven volgens conclusie 13, waarbij de transportrollen zijn opgesloten tussen pennen (12) die elk draaibaar zijn rond een excentrische hartlijn dwars op de hartlijn van elke transportrol (13).
15. Oven volgens conclusie 12,13 of 14, waarbij de transportrollen (13) aan hun 25 buiten het huis geleiden einden zijn voorzien van een steunring.
16. Oven volgens één der conclusies 1-15, waarbij de transportrollen (13) nabij hun einden telkens zijn voorzien van een voor de lichtstraling diffuus oppervlaktegebied (17). 30
17. Oven volgens één der conclusies 9-16, waarbij de transportrollen (13) aan hun kopvlakken zijn voorzien van een spiegelende laag. :: ·; ; ..... :
18. Oven volgens één der conclusies 1-8, waarbij de baan een aantal in transportrichting achter elkaar geplaatste steunen omvat die zijn ondersteund in de verticale langswanden (19) van de tunnel (18).
19. Oven volgens conclusie 18, waarbij over de steunen (23) een soepel transportorgaan (25) zonder eind verschuifbaar is geleid.
20. Oven volgens conclusie 19, waarbij het transportorgaan (25) tenminste twee soepele koorden of banden omvat. 10
21. Oven volgens conclusie 19 of 20, waarbij het transportorgaan (25) aan beide einden van de oven over een omkeerrol (27) is geleid.
22. Oven volgens één der conclusies 18-21, waarbij de steunen (13,23) bestaan 15 uit kwarts staven.
23. Oven volgens conclusie 22, waarbij de staven (13,23) nabij hun einden telkens zijn voorzien van een voor de lichtstraling diffuus oppervlaktegebied (17).
24. Oven volgens conclusie 22 of 23, waarbij de staven aan hun kopvlakken zijn voorzien vaneen spiegelende laag. 1 0 1 0 8 3 6 i
NL1010836A 1998-12-17 1998-12-17 Oven voor het vervaardigen van zonnecellen. NL1010836C2 (nl)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1010836A NL1010836C2 (nl) 1998-12-17 1998-12-17 Oven voor het vervaardigen van zonnecellen.
EP99204381A EP1010960B1 (en) 1998-12-17 1999-12-17 Furnace for heating articles
ES99204381T ES2197575T3 (es) 1998-12-17 1999-12-17 Horno para calentar articulos.
AT99204381T ATE243834T1 (de) 1998-12-17 1999-12-17 Ofen zum erwärmen von gegenständen
US09/466,187 US6288366B1 (en) 1998-12-17 1999-12-17 Furnace for the production of solar cells
DE69909046T DE69909046T2 (de) 1998-12-17 1999-12-17 Ofen zum Erwärmen von Gegenständen
PT99204381T PT1010960E (pt) 1998-12-17 1999-12-17 Forno para o aquecimento de artigos

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1010836 1998-12-17
NL1010836A NL1010836C2 (nl) 1998-12-17 1998-12-17 Oven voor het vervaardigen van zonnecellen.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL1010836C2 true NL1010836C2 (nl) 2000-06-23

Family

ID=19768333

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1010836A NL1010836C2 (nl) 1998-12-17 1998-12-17 Oven voor het vervaardigen van zonnecellen.

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6288366B1 (nl)
EP (1) EP1010960B1 (nl)
AT (1) ATE243834T1 (nl)
DE (1) DE69909046T2 (nl)
ES (1) ES2197575T3 (nl)
NL (1) NL1010836C2 (nl)
PT (1) PT1010960E (nl)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6486401B1 (en) * 1999-02-22 2002-11-26 Tekcel, Inc. Multi well plate cover and assembly
ITMI20012628A1 (it) * 2001-12-13 2003-06-13 Eurosolare Spa Forno di cottura di dispositivi fotovoltaici
US7959395B2 (en) * 2002-07-22 2011-06-14 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
EP1535313B1 (en) * 2002-07-22 2018-10-31 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
US7988398B2 (en) 2002-07-22 2011-08-02 Brooks Automation, Inc. Linear substrate transport apparatus
US8960099B2 (en) * 2002-07-22 2015-02-24 Brooks Automation, Inc Substrate processing apparatus
JP2004286425A (ja) * 2003-03-06 2004-10-14 Ngk Insulators Ltd 線材を用いた搬送機構並びにそれを使用した熱処理炉及び熱処理方法
US8545159B2 (en) * 2003-10-01 2013-10-01 Jusung Engineering Co., Ltd. Apparatus having conveyor and method of transferring substrate using the same
US7514650B2 (en) * 2005-12-08 2009-04-07 Despatch Industries Limited Partnership Continuous infrared furnace
US20090183675A1 (en) * 2006-10-13 2009-07-23 Mustafa Pinarbasi Reactor to form solar cell absorbers
US9103033B2 (en) * 2006-10-13 2015-08-11 Solopower Systems, Inc. Reel-to-reel reaction of precursor film to form solar cell absorber
US20080175993A1 (en) * 2006-10-13 2008-07-24 Jalal Ashjaee Reel-to-reel reaction of a precursor film to form solar cell absorber
US20090050208A1 (en) * 2006-10-19 2009-02-26 Basol Bulent M Method and structures for controlling the group iiia material profile through a group ibiiiavia compound layer
DE102008061537A1 (de) 2008-12-03 2010-06-10 Aci-Ecotec Gmbh & Co. Kg Aushärtevorrichtung für photovoltaische Dünnschicht-Solarzellen
US8602706B2 (en) * 2009-08-17 2013-12-10 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
WO2011130518A1 (en) * 2010-04-14 2011-10-20 Babcock & Wilcox Technical Services Y-12, Llc Heat treatment furnace
CN102062533A (zh) * 2010-10-29 2011-05-18 常州亿晶光电科技有限公司 无网带硅电池片烧结炉的炉膛温区气流隔热装置
US8816253B2 (en) * 2011-01-21 2014-08-26 Tp Solar, Inc. Dual independent transport systems for IR conveyor furnaces and methods of firing thin work pieces
US9915475B2 (en) * 2011-04-12 2018-03-13 Jiaxiong Wang Assembled reactor for fabrications of thin film solar cell absorbers through roll-to-roll processes
US9589817B2 (en) 2011-04-15 2017-03-07 Illinois Tool Works Inc. Dryer
CN103560179B (zh) * 2013-11-18 2015-10-28 北京金晟阳光科技有限公司 具有se功能的水平辊道式连续扩散设备
CN111238229B (zh) * 2020-01-09 2021-07-09 济南麦哈勃冶金技术开发有限公司 锆芯烧结隧道窑连续出料系统
CN111238226B (zh) * 2020-01-09 2021-07-02 济南麦哈勃冶金技术开发有限公司 锆芯自动烧结隧道窑系统
CN112563371B (zh) * 2020-12-11 2022-10-14 常州时创能源股份有限公司 N型晶硅电池硼发射极的制备方法及应用

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3452408A (en) * 1965-12-21 1969-07-01 Adriano Bossetti Continuous tunnel kilns having a rotary roller sole for firing ceramic materials
US4526537A (en) * 1982-05-06 1985-07-02 Agrob Anlagenbau Gmbh Apparatus for heat treatment of material in pieces at high temperature
FR2607232A1 (fr) * 1986-11-21 1988-05-27 Palomares Jean Four pour le traitement thermique de pieces
DE3822883A1 (de) * 1988-07-06 1990-01-11 Smt Maschinengesellschaft Mbh Durchlaufofen
EP0437913A1 (en) * 1989-06-20 1991-07-24 Casso-Solar Corporation Glass treating furnace with roller conveyor
US5044920A (en) * 1988-08-04 1991-09-03 Gerlach Juergen Heat treatment apparatus for continuously advanced material
DE9205956U1 (de) * 1991-06-10 1992-07-30 Kontakt-Systeme AG, Egg Durchlaufofen, insbesondere zum Konvektions-/Reflowlöten von auf Leiterplatten montierten elektronischen Bauteilen
DE4218705A1 (de) * 1992-06-06 1994-02-24 Schwartz Gmbh Rollenherdofen

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3662512A (en) * 1968-01-24 1972-05-16 Weldotron Corp Method and apparatus for shrink-film wrapping a pallet load
US3881089A (en) * 1973-02-20 1975-04-29 Kenneth Harkness A K A Ideanam Heatshrink apparatus for automatically packaging grocery articles
US4479776A (en) * 1981-07-22 1984-10-30 Smith Donald P Thermal treatment of food products
US4169007A (en) * 1977-10-26 1979-09-25 Flynn Drying System, Inc. Dryer-cooling machine for producing corrugated doubleface corrugated board
US4366177A (en) * 1981-01-26 1982-12-28 Pet Incorporated Method of flameless broiling or baking greasy meat products
US4517448A (en) * 1981-03-23 1985-05-14 Radiant Technology Corporation Infrared furnace with atmosphere control capability
US4565917B1 (en) * 1984-01-18 1999-06-08 Vitronics Corp Multi-zone thermal process system utilizing nonfocused infared panel emitters
US4833301B1 (en) * 1984-01-18 2000-04-04 Vitronics Corp Multi-zone thermal process system utilizing non-focused infrared panel emitters
US4554437A (en) * 1984-05-17 1985-11-19 Pet Incorporated Tunnel oven
DE3915278A1 (de) * 1989-05-10 1990-11-15 Hoechst Ag Verfahren und vorrichtung zur durchlauftrocknung von beidseitig beschichteten platten
US6041398A (en) * 1992-06-26 2000-03-21 International Business Machines Corporation Massively parallel multiple-folded clustered processor mesh array
US5239917A (en) * 1991-06-06 1993-08-31 Genie Tech, Inc. Oven
US5180898A (en) * 1991-07-25 1993-01-19 G. S. Blodgett Corporation High velocity conveyor oven
US5289759A (en) * 1992-03-03 1994-03-01 Key Technology, Inc. Forced steam bulk food cooker/blancher
US5352863A (en) * 1992-04-03 1994-10-04 Minnesota Mining And Manufacturing Company Flat bed thermophotographic film processor
US5196676A (en) * 1992-04-27 1993-03-23 Billco Manufacturing, Inc. Oven unit for heat treating sealant material
US5449883A (en) * 1992-08-07 1995-09-12 Mitsubishi Materials Corporation Continuous heat treatment system of semiconductor wafers for eliminating thermal donor
US5440101A (en) * 1993-04-19 1995-08-08 Research, Incorporated Continuous oven with a plurality of heating zones
US5593713A (en) * 1993-10-12 1997-01-14 De La Luz-Martinez; Jose Method for cooking tortillas using very low and low frequency radio waves
US5440102A (en) * 1994-03-03 1995-08-08 Pena; Norberto C. System for the protection of luggage
US5512312A (en) * 1994-06-15 1996-04-30 Forney; Robert B. Radiant wall oven and method of using the same

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3452408A (en) * 1965-12-21 1969-07-01 Adriano Bossetti Continuous tunnel kilns having a rotary roller sole for firing ceramic materials
US4526537A (en) * 1982-05-06 1985-07-02 Agrob Anlagenbau Gmbh Apparatus for heat treatment of material in pieces at high temperature
FR2607232A1 (fr) * 1986-11-21 1988-05-27 Palomares Jean Four pour le traitement thermique de pieces
DE3822883A1 (de) * 1988-07-06 1990-01-11 Smt Maschinengesellschaft Mbh Durchlaufofen
US5044920A (en) * 1988-08-04 1991-09-03 Gerlach Juergen Heat treatment apparatus for continuously advanced material
EP0437913A1 (en) * 1989-06-20 1991-07-24 Casso-Solar Corporation Glass treating furnace with roller conveyor
DE9205956U1 (de) * 1991-06-10 1992-07-30 Kontakt-Systeme AG, Egg Durchlaufofen, insbesondere zum Konvektions-/Reflowlöten von auf Leiterplatten montierten elektronischen Bauteilen
DE4218705A1 (de) * 1992-06-06 1994-02-24 Schwartz Gmbh Rollenherdofen

Also Published As

Publication number Publication date
DE69909046T2 (de) 2004-01-15
US6288366B1 (en) 2001-09-11
EP1010960B1 (en) 2003-06-25
DE69909046D1 (de) 2003-07-31
ATE243834T1 (de) 2003-07-15
ES2197575T3 (es) 2004-01-01
PT1010960E (pt) 2003-10-31
EP1010960A1 (en) 2000-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL1010836C2 (nl) Oven voor het vervaardigen van zonnecellen.
EP0470227B1 (en) Furnace and conveyor method for heating glass sheets
EP2366268B1 (en) Package conveyor for continuous process microwave applicator
US2487354A (en) Conveyer for changing course of articles from single to plural rows
FI72959C (fi) Rulldrivningsmekanism till en behandlingsanordning foer glasskivor.
US1865596A (en) Conveyer
US4686895A (en) Apparatus for producing boiled eggs
US4655126A (en) Cooking apparatus
US2114146A (en) Conveyer
NL1012244C2 (nl) Spiraaloven met verbeterde bandaandrijving.
US3418727A (en) Veneer dryer
KR102098471B1 (ko) 이송장치
US3054499A (en) Conveyors
US1696900A (en) baily
AU776734B2 (en) Product transport system
US3799736A (en) Apparatus and method for browning and baking pies
KR101295728B1 (ko) 핫멜트 합지형 라미네이팅 장치
JPS6126242Y2 (nl)
SU874502A1 (ru) Роликовый конвейер дл транспортировани и вращени изделий цилиндрической формы
US1894571A (en) Apparatus for heat treating materials
US1397656A (en) Multiple-guide-row stacked-cake receiving and assembling machine
SU879215A1 (ru) Установка дл термообработки листовых изделий
SU553168A1 (ru) Рольганг дл транспортировки грузов различной ширины
JPWO2019066008A1 (ja) 搬送装置
SU943150A1 (ru) Устройство дл термической обработки изделий

Legal Events

Date Code Title Description
PD2B A search report has been drawn up
SD Assignments of patents

Owner name: OTB GROUP B.V.

VD1 Lapsed due to non-payment of the annual fee

Effective date: 20050701