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LU100594B1 - Piezoelectric device with a sensor and method for measuring the behaviour of said peizoelectric device - Google Patents

Piezoelectric device with a sensor and method for measuring the behaviour of said peizoelectric device Download PDF

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Publication number
LU100594B1
LU100594B1 LU100594A LU100594A LU100594B1 LU 100594 B1 LU100594 B1 LU 100594B1 LU 100594 A LU100594 A LU 100594A LU 100594 A LU100594 A LU 100594A LU 100594 B1 LU100594 B1 LU 100594B1
Authority
LU
Luxembourg
Prior art keywords
electrodes
piezoelectric device
piezoelectric
interdigital
sensor
Prior art date
Application number
LU100594A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Daniele Sette
Emmanuel Defay
Original Assignee
Luxembourg Inst Science & Tech List
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Luxembourg Inst Science & Tech List filed Critical Luxembourg Inst Science & Tech List
Priority to LU100594A priority Critical patent/LU100594B1/de
Priority to PCT/EP2018/086743 priority patent/WO2019122402A1/fr
Priority to EP18826737.1A priority patent/EP3729530A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of LU100594B1 publication Critical patent/LU100594B1/de

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • HELECTRICITY
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    • H10N30/877Conductive materials

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Claims (20)

1) Dispositif piézoélectrique (10, 100) en forme d'objet tridimensionnel avec au moins deux surfaces, dans lequel ledit dispositif piézoélectrique (10, 100) comprend un premier ensemble de deux électrodes ou plus (8a, 8b), caractérisé en ce que au moins une des surfaces qui est dépourvue d'électrodes provenant dudit premier ensemble de deux électrodes ou plus (8a, 8b) est recouverte d'au moins un second ensemble d'électrodes (6, 60).
2) Dispositif piézoélectrique (10, 100) selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit second ensemble d'électrodes est constitué d'au moins deux électrodes interdigitées (6a, 6b).
3) Dispositif piézoélectrique (10, 100) selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit second ensemble d'électrodes est constitué d'au moins deux électrodes réparties le long d'une seule ligne conductrice (60).
4) Dispositif piézoélectrique (10, 100) selon la revendication 2, caractérisé en ce que lesdites électrodes interdigitées (6a, 6b) sont sur deux surfaces distinctes dudit dispositif piézoélectrique (10).
5) Dispositif piézoélectrique (10, 100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que ledit dispositif piézoélectrique (10, 100) est réalisé en un matériau céramique, préférentiellement de la structure pérovskite et encore plus préférentiellement en zirconate de plomb titanate ou en LiNbCh.
6) Dispositif piézoélectrique (10, 100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que ledit second ensemble d'électrodes (6, 60) est constitué d'au moins un conducteur électrique comprenant des nanoparticules électriquement conductrices, préférentiellement des nanoparticules en argent, or, cuivre, aluminium ou oxyde d'indium et d'étain, alias ITO.
7) Dispositif piézoélectrique (10, 100) selon l'une quelconque des revendications 2 ou 4 à 6, caractérisé en ce que lesdites électrodes interdigitées (6a, 6b) sont espacées l'une de l’autre avec un intervalle compris entre 10 pm et 100 pm.
8) Dispositif piézoélectrique (10, 100) selon l'une quelconque des revendications 6 à 7, caractérisé en ce que les conducteurs électriques constituant lesdites électrodes interdigitées (6a, 6b) ont une largeur comprise entre 5 pm et 1 mm, préférentiellement entre 20 pm et 100 pm.
9) Dispositif piézoélectrique (10, 100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que ledit dispositif piézoélectrique (10, 100) est un dispositif pyroélectrique.
10) Dispositif piézoélectrique (100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que ledit dispositif piézoélectrique (100) est un dispositif piézoélectrique multicouche, comportant des couches diélectriques alternées et des couches métalliques, le nombre de couches métalliques étant égal à « et le nombre de couches piézoélectriques étant égal à n + 1, n étant un nombre entier.
11) Dispositif piézo-électrique (100) selon la revendication 10, caractérisé en ce que lesdites couches métalliques sont constituées d'électrodes métalliques, de préférence d'électrodes métalliques interdigitées, plus préférentiellement d'électrodes interdigitées en nickel ou en platine ou en palladium.
12) Dispositif piézoélectrique (10, 100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que lesdites électrodes (6, 60) dudit second ensemble d'électrodes sont planes.
13) Méthode de mesure du comportement d'un dispositif piézoélectrique (10, 100), ladite méthode comprenant les étapes de: a) mise à disposition d’un dispositif piézoélectrique avec un premier ensemble de deux électrodes ou plus, ledit dispositif piézoélectrique étant en forme d’un objet tridimensionnel avec au moins deux surfaces, b) impression d’au moins un second ensemble d'électrodes sur au moins une des faces qui est dépourvue d'électrodes, c) détermination de la variation des charges électriques sur ledit second ensemble d'électrodes.
14) Méthode selon la revendication 13, caractérisée en ce que ledit second ensemble d'électrodes est constitué d'au moins deux électrodes interdigitées (6a, 6b).
15) Méthode selon la revendication 13, caractérisée en ce que ledit second ensemble d'électrodes est constitué d'au moins deux électrodes réparties le long d'une seule ligne conductrice (60).
16) Méthode selon les revendications 13-14, dans laquelle ladite impression est réalisée sur au moins deux surfaces distinctes dudit dispositif piézoélectrique.
17) Méthode selon l'une quelconque des revendications 13 à 16, dans laquelle ladite étape (b) est réalisée par impression jet d'encre.
18) Méthode selon l'une quelconque des revendications 13 à 16, dans laquelle ladite étape (b) est réalisée par impression par aérosol.
19) Méthode selon l'une quelconque des revendications 13 à 18, dans laquelle ladite étape (b) est réalisée avec une encre faite de nanoparticules électriquement conductrices.
20) Méthode selon la revendication 19, dans laquelle ladite encre constituée de nanoparticules électriquement conductrices est une encre faite d'argent, d'or, de cuivre, d'aluminium ou d'oxyde d'indium et d'étain, alias ITO.
LU100594A 2017-12-22 2017-12-22 Piezoelectric device with a sensor and method for measuring the behaviour of said peizoelectric device LU100594B1 (en)

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EP18826737.1A EP3729530A1 (fr) 2017-12-22 2018-12-21 Dispositif piézoélectrique pourvu d'un capteur et procédé destiné à mesurer le comportement dudit dispositif piézoélectrique

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ID=61074479

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EP (1) EP3729530A1 (fr)
LU (1) LU100594B1 (fr)
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