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KR970030239A - 약액 토출노즐 - Google Patents

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KR970030239A
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South Korea
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chemical liquid
liquid discharge
substrate
discharge tube
removing means
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KR1019960055322A
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Inventor
히로시 요시이
Original Assignee
이시다 아키라
다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Abstract

본 발명은 기판(반도체웨이퍼, 액정디스플레이(LCD)의 베이스로 되는 유리기판, 포토마스크용의 유리기판, 광디스크용의 기판 등)의 표면에 약액을 공급하기 위한 약액토출노즐에 관한 것이다. 약액토출노즐에 있어서, 기판에 근접하는 최하부의 형상은 점 또는 선에 의해 구성된다. 기판의 표면에서 튀어 되돌아와 부착된 약액 및/또는 약액토출구멍에서 누출된 약액은 각각의 자신의 중량에 의해 약액토출노즐의 외면을 타고흘러 점 또는 선에 의해 구성된 최하부에 도달하면, 점 또는 선에 의해 구성되어 있는 최하부와 접촉면적이 작게 되어 당해 최하부에서 낙하한다.

Description

약액 토출노즐
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예에 관한 현상액 토출노즐을 구비한 현상장치의 구성을 나타내는 불럭도.

Claims (13)

  1. 기판의 상방에서 당해 기판의 표면을 행해 약액을 토출하기 위한 약액토출 노즐에 있어서, 외부에서 공급된 약액을 소정의 위치로 인도하는 약액유로와, 상기 약액유로에 의해 인도된 약액을 상기 기판표면상에 토출하는 약액토출구멍과, 상기 기판에 근접하는 하단부에 형성되고, 그의 최하부의 형상이 점 또는 선에 의해 구성된 약액제거수단을 구비하는 약액토출노즐.
  2. 제1항에 있어서, 상기 약액제거수단은 거의 최하부의 형상이 원형이고, 당해 원형의 원주에서 중심을 향해 상향으로 경사진 경사면을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
  3. 제1항에 있어서, 상기 약액제거수단은 그의 최하부의 형상이 다각형이고, 당해 다각형의 중심을 향해 동일하게 경사각도를 가지고 경사진 경사면을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
  4. 제1항에 있어서, 상기 약액제거수단은 그의 최하부의 형상이 점이고, 당해 점에서 주위를 향해 원호상으로 경사진 경사면을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
  5. 제1항에 있어서, 상기 약액토출구멍의 최하단은 상기 약액제거수단의 가장 바깥둘레부와 접하고 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
  6. 제1항에 있어서, 상기 약액유로에 의해 인도된 약액을 상기 약액토출구멍까지 인도하는 약액토출관을 더 구비하고, 상기 약액토출관은 상기 약액유로를 구성하는 통체의 측면에서 바깥을 향해 돌출하여 있고, 상기 약액토출구멍을 향해서 하방향으로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
  7. 제2항에 있어서, 상기 약액토출구멍의 최하단은 상기 약액제거수단의 가장 바깥둘레와 접하고 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
  8. 제2항에 있어서, 상기 약액유로에 의해 인도된 약액을 상기 약액토출구멍까지 인도하는 약액토출관을 더 구비하고, 상기 약액토출관은 상기 약액유로를 구성하는 통체의 측면에서 바깥을 향해 돌출하여 있고, 상기 약액토출구멍을 향해서 하방향으로 경사진 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
  9. 제3항에 있어서, 상기 약액토출구멍의 최하단은 상기 약액제거수단의 가장 바깥둘레부와 접하고 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
  10. 제3항에 있어서, 상기 약액유로에 의해 인도된 약액을 상기 약액토출구멍까지 인도하는 약액토출관을 더 구비하고, 상기 약액토출관은 상기 약액유로를 구성하는 통체의 측면에서 바같을 향해 돌출하여 있고, 상기 약액토출구멍을 향해서 하방향으로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
  11. 제4항에 있어서, 상기 약액토출구멍의 최하단은 상기 약액제거수단의 가장 바깥둘레부와 접하고 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
  12. 제4항에 있어서, 상기 약액유로에 의해 인도된 약액을 상기 약액토출구멍까지 인도하는 약액토출관을 더 구비하고, 상기 약액토출관은 상기 약액유로를 구성하는 통체의 측면에서 바깥을 향해 돌출하여 있고, 상기 약액토출구멍을 향해서 하방향으로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 약액토출노즐.
  13. 외부에서 공급된 약액이 약액유로에 의해 소정의 위치로 인도되고, 상기 소정의 위치로 인도된 약액이 약액토출구멍에서 기판의 표면을 향해 토출되도록 한 약액토출노즐에 있어서, 상기 기판의 표면에서 튀어 되돌아와 외면상에 약액이 부착되었을 때 및/또는, 상기 약액토출구멍에서 외면상에 약액이 누출되었을때, 상기 외면상의 약액은 당해 외면상을 타고 흘러 최하부에 도달하고, 상기 최하부에 도달된 약액은 당해 최하부와의 접촉면적이 작아짐으로써, 상기 기판의 표면상으로 이탈하는 약액토출노즐.
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