KR960015670A - 향상된 해상도의 새도우 마스크를 가지는 디스플레이 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

디스플레이 장치(8)는 네크(14)에 의해 한쪽 단부가 폐쇄된 펀넬(15)의 다른 한쪽 단부에 밀봉해진 판관 패널(12)을 구비하는 중공 엔벨로프(11)를 가지는 칼라 음극선관(10)으로 구성된다. 면판 패널은 내면에 있는 형광 스크린(22)을 갖는다. 새도우 마스크(25)는 스크린에 근접해 위치한다. 새도우 마스크는 복수개의 구멍(40,43)을 가진 중심부(36)와 외측부(38)가 있는 금속시트(39)로 구성된다. 전자총(26)은 스크린쪽으로 전자 빔(28)을 생성하고 향하게 하기 위해 네크안에 위치한다. 편향 요크(30)는 네크와 펀넬의 접하부의 엔벨로프 둘레에 위치한다. 요크는 스크린을 가로지르는 래스터를 스캔하기 위해 빔을 편향한다. 디스플레이 장치는, 스크린쪽 면상의 마스크의 외측부에 있는 구멍(43)이 입사 전자 빔의 방향으로 신장된 개구(45)를 가지며, 마스크의 전자 층쪽 면상의 대응하는 개구(44)에 대해 오프 셋하다는 점에서 선행 기술보다 향상되었다. 마스크를 제조하는 방법은 포토 에칭을 채택한다.

Description

향상된 해상도의 새도우 마스크를 가지는 디스플레이 장치 및 그 제조 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 본 발명을 실시한 칼라 디스플레이 장치의 부분적인 축 단면도 및 평면도,

제3도는 제2도에 도시된 음극선 관의 스크린을 나타낸 단면도,

제4도는 본 발명에 따른 신규한 새도우 마스크의 평면도,

제5도는 대각선을 따라 취해진 신규한 마스크의 단면도,

제6도는 바람직한 에칭 패턴을 나타내는 대각선에 따른 신규한 마스크의 일부를 보여주는 횡 단면도,

제7도는 신규한 마스크에 대한 에칭 패턴의 제2의 실시예를 나타내는 대각선에 따른 신규한 마스크의 일부 단면도,

제8도는 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 새도우 마스크의 세그먼트를 나타내는 도면.

Claims (21)

1. 네크에 의해 한쪽 단부가 폐쇄된 펀넬의 다른 한쪽 단부에 밀봉된 면판 패널을 포함하는 중공 엔벨로프를 구비하는데, 상기 면판 패널은 내부표면상에 형광 스크린을 가지고, 상기 형광 스크린에 근접하여 새도우 마스크가 위치되고, 상기 새도우 마스크는 다수의 구멍이 형성된 중심부와 외측부가 있는 금속 시트를 가지고; 상기 네크안에 위치하며 전자 빔을 생성하여 상기 스크린 쪽으로 향하게 하는 전자 층과; 상기 네크와 상기 펀넬의 접합부의 상기 엔벨로프 둘레에 위치하며 상기 스크린을 가로지는 래스터를 스캔하기 위해 상기 빔을 편향하는 편향요크를 구비하는 칼라 음극선관을 포함하는 디스플레이 장치에 있어서, 스크린쪽 면상의 상기 마스크(25,125)의 외측부에 있는 상기 구멍(43,143,190)은 입사 전자 빔(28)의 방향으로 신장되어 있고, 상기 마스크의 전자총쪽 면상의 대응하는 개구(44,144,170,270)에 대해 오프셋되어 있는 개구(45,145,172,272)를 갖는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
2. 제1항에 있어서, 전자총쪽 면상의 상기 마스크(25,125)의 외측부(38)에 있는 상기 개구(44,170,270)는 원형인 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
3. 제2항에 있어서, 스크린쪽 면상의 상기 마스크(25)의 중심부(36)에 있는 상기 구멍(40)은 원형이며 상기 전자총쪽 면상의 대응하는 원형 개구(41)와 함께 정렬된 개구(42)를 가지고, 스크린쪽 면상의 상기 마스크의 외측부에 있는 신장된 개구(45)는 거의 타원형인 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
4. 제3항에 있어서, 스크린쪽 면상의 상기 마스크(25)의 중심부(36)에 있는 원형 개구(42)는 상기 마스크의 전자총쪽 면상의 대응하는 원형 개구(41)보다 직경이 긴 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
5. 제3항에 있어서, 스크린쪽 면상의 상기 마스크(25)의 외측부(38)에 있는 상기 거의 타원형인 개구(45)는 전자빔(28)이 상기 마스크의 상기 타원형 개구와 접하는 금속시트(39)에 침범하지 않고 통과할 수 있도록 보장하기 위한 충분한 치수(A)인 장축을 가지며, 상기 스크린(22)에 입사하는 거의 원형인 전자빔을 제공하는 것을 특징으로 하는 디스클레이 장치.
6. 제5항에 있어서, 스크린쪽 면상의 상기 마스크(25)의 외측부(38)에 있는 상기 거의 타원형인 개구(45)는 상기 마스크의 전자총쪽 면상의 대응하는 원형개구(41)의 직경보다 조금 큰 치수(E)인 단축을 가지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
7. 제1방에 있어서, 전자총쪽 면상의 상기 마스크(125)에 있는 상기 개구(141,144,170,270)는 거의 사각형인 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
8. 제7항에 있어서, 스크린쪽 면상의 상기 마스크(125)의 중심부에 있는 상기 개구(142)는 거의 사각형이고, 스크린쪽 면상의 상기 마스크의 외부에 있는 개구(145,172,272)는 다각형이며 상기 마스크의 전자총쪽 면상의 사각 개구(144,170,270)에 대해 오프 셋되고, 상기 마스크의 외측부에 있는 사각 개구는 전자빔(28)이 상기 다각형 개구와 접하는 금속 시트(139)에 침범하지 않고 통과하도록 보장하기 위한 입사 전자 빔의 방향으로 충분한 치수를 가지게 됨으로서, 상기 스크린(22)에 입사하는 거의 사각형인 전자빔을 제공하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치.
9. 중공 엔벨로프와; 면판 패널의 내부 표면상에 형광 스크린쪽으로 복수개의 전자 빔을 생성하기 위반 전자층과; 상기 스크린에 인접해 위치하며 입사 전자 빔이 통과하도록 하기 위한 복수개의 구멍이 있는 중심부와 외측부를 가진 금속 시트로 구성된 새도우 마스크를 포함하는 음극선관에 있어서, 상기 마스크(25,125)의 외측부(38)에 있는 상기 구멍(43,143,190)은 입사 전자 빔(28)의 방향으로 신장되고 상기 마스크의 전자총쪽 면상의 대응하는 개구(44,144,170,270)에 대해 오프셋 되어 있는 개구(45,145,172,272)를 갖는 것을 특징으로 하는 음극선 관.
10. 제9항에 있어서, 전자총쪽 면상의 상기 마스크(25,l25)의 외측부(38)에 있는 개구(44,170,270)는 원형인 것을 특징으로 하는 음극선 관.
11. 제10항에 있어서, 스크린쪽 면상의 상기 마스크(25)의 중심부(36)에 있는 상기 구멍(40)은 원형인 개구(42)를 가지며, 상기 마스크의 전자총쪽 면상의 대응하는 원형개구(41)와 함께 정렬되고, 스크린쪽 면상의 상기 마스크의 외측부(38)에 있는 신장된 개구(45)는 거의 타원형인 것을 특징으로 하는 음극선 관.
12. 제11항에 있어서, 스크린쪽 면상의 상기 마스크(25)의 중심부(36)에 있는 상기 개구(42)는 상기 마스크의 전자총쪽 면상의 대응하는 원형개구(41)보다 직경이 긴 것을 특징으로 하는 음극선 관.
13. 제11항에 있어서, 스크린쪽 면상의 상기 마스크(25)의 외측부(38)에 있는 상기 거의 타원형인 개구(45)는 전자 빔(28)이 상기 마스크의 상기 타원형인 개구에 접하는 금속시드(39)에 침범하지 않고 통과하도록 보장하기 위반 충분한 치수(A)를 가진 장축을 가지게 됨으로써 상기 스크린(22)에 입사하는 거의 원형인 전자 빔을 제공하는 것을 특징으로 하는 음극선 관.
14. 제13항에 있어서, 스크린쪽 면상의 상기 마스크(25)의 외측부(38)에 있는 상기 거의 타원형인 개구(45)는 상기 마스크의 전자총쪽 면상의 대응하는 원형 개구(41)의 직경보다 조금 큰 치수(E)를 갖는 단축을 가지는 것을 특징으로 하는 음극선 관.
15. 제9항에 있어서, 전자총(26)쪽 면상의 상기 마스크(125)에 있는 상기 개구(141,144,170,270)는 거의 사각형인 것을 특징으로 하는 음극선 관.
16. 제15항에 있어서, 스크린쪽 면상의 상기 마스크(125)의 중심부에 있는 상기 개구(142)는 또한 거의 사각형이고, 스크린쪽 면상의 상기 마스크의 외측부에 있는 개구(145,172,272)는 다각형이며, 상기 마스크의 전자총쪽 면상의 사각 개구(144,170,270)에 대해 오프셋 되어 있고, 상기 마스크의 외측부에 있는 다각형 개구는 전자 빔(28)이 상기 다각형 개구와 접하는 금속 시트(139)에 침범하지 않고 통과하도록 보장하기 위해 입사 전자 빔의 방향으로 충분한 치수를 가짐으로서 상기 스크린(22)에 입사하는 것의 사각형인 전자 빔을 제공하는 것을 특징으로 하는 음극선 관.
17. 중심부(36)와 외측부(38)를 가진 금속 시트(39,139)에서 복수개의 구멍(40,43,140,143,190)을 포함하는 새도우 마스크를 제조하는 방법에 있어서, 상기 금속 시트의 제1면과 제2면 각각에 중심부(36)와 외측부(38)를 각각 가진 제1포토 레지스트 층(52,152)과 제2포토 레지스트 층(53,153)을 형성하기 위해 상기 금속 시트(39,139)의 대향 표면에 포토 레지스트 재료를 코팅하는 단계; 상기 제1층의 외측부와 중심부에 같게 형성된 상기 제1포토레지스트층에 있는 개구(60,160)의 패턴을 제공하는 단계; 상기 제2층의 외측부와 중심부에서 다르게 형성된 상기 제2층에 있는 개구(62,162)의 패턴을 제공하는 단계; 상기 제1 및 재2패턴의 개구에 대응하는 개구를 가지는 상기 새도우 마스크의 구멍(40,43,140,143,190)을 형성하기 위해, 포토 레지스트층에 있는 개구를 통하여 금속 시트를 에칭하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 새도우 마스크를 제조하는 방법.
18. 제17항에 있어서, 상기 제1층(52,152)에 있는 상기 개구(60,160)는 원형인 것을 특징으로 하는 새도우 마스크를 제조하는 방법.
19. 제17항에 있어서, 상기 제2층(53,153)에 있는 상기 개구(62,162)는 중심부(36)에서는 원형이며 외측부(38)에서는 타원형이고, 제2층의 중심부에 있는 원형 개구는 상기 제1층(52,152)에 있는 대응하는 개구(60,160)보다 크며 함께 정렬되어 있고, 상기 제2층의 외측부에 있는 타원형 개구는 상기 제1층의 대응하는 원형 개구에 비해 오프셋되어 있으며, 장축인 타원형 개구는 상기 제2층의 중심부로 부터 바깥쪽으로 방사하는 것을 특징으로 하는 새도우 마스크를 제조하는 방법.
20. 제17항에 있어서, 제1층(152)에 있는 패턴의 상기 개구(160)는 사각형이며, 제2층(153)에 있는 패턴에 개구(l62)는 상기 제2층의 중심부에서 사각형이며, 상기 제2층의 외부에서 다각형이고, 상기 다각형 개구는 상기 제2층의 중심부로부터 바깥쪽으로 방사하는 것을 특징으로 하는 새도우 마스크를 제조하는 방법.
21. 제17항에 있어서, 상기 금속 시트(139)는 상기 금속 시트안에 단지 부분적으로 연장된 개구(170,172)를 형성하기 위해 상기 제1 및 제2포토 레지스트층(152,153)에 있는 개구(160,162)를 통하여 에칭되어지며, 상기 금속 시트에 있는 상기 개구는 상기 재1 및 제2패턴의 개구에 형태상으로 충분히 대응하고; 포토 레지스트 재료의 제2코팅이 각각 중심부와 외측부를 가지는 추가의 포토 레지스트층(252,253)을 형성하기 위해, 상기 금속 시트의 제1 및 제2면에 가해지고; 개구의 추가의 패턴이 상기 금속 시트의 제2면에 있는 적어도 추가의 포토 레지스트층(253)에 제공되어지며, 상기 층의 외측부에 있는 개구의 상기 추가의 패턴은 상기 층의 내부에 있는 개구의 패턴과 다르고; 상기 금속 시트는 상기 새도우 마스크(125)에 있는 구멍(190)을 형성하는 전달 개구(270,272)를 형성하기 위해 추가의 포토 레지스트 층에 있는 개구를 통하여 에칭되어지는 것을 특징으로 하는 새도우 마스크를 제조하는 방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.