KR950021003A - 대면적 화학기상 증착장치 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 6
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Abstract
본 발명은 화학기상증착장치에 관한 것으로, 특히 종래 증착장치의 챔버 크기가 한정되어 대면적 증착 및 복수기판 증착이 곤란한 문제점을 해결하기 위한 대면적용 화학기상증착장치를 제공하기 위한 것이다. 이와같은 본 발명의 목적은 증착챔버의 상측 양단부에 방전챔버를 구성하여 상기 방전챔버의 몸체를 구성하는 전극간의 내측 간격을 2cm 이하로 하고, 상기 방전챔버와 증착챔버가 접하는 입구측 높이는1cm 이하로 구성하므로서 달성될 수 있다. 본 발명의 또다른 목적은 증착챔버의 상하 양단부에 좌우 쌍으로 4개의 방전 챔버를 구성하여 상기 방전 챔버의 몸체를 구성하는 전극간의 내측 간격을 2cm 이하로 하고, 상기 방전쳄버와 증착챔버가 접하여 여기된 방전개스가 유출되는 증착챔버의 입구측 높이를 2cm 이하로 하며 상기 증착챔버의 상부에는 좌우 양측으로 기판을 지지하는 좌우 이동가능한 기판 홀더를 포함하여 구성함으로서 달성될 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래 화학기상증착장치의 구성도
제2도는 본 발명 대면적용 화학기상증착장치의 구성도
제3도는 본 발명의 타실시 예시도.
Claims (2)
- 증착챔버의 상측 양단부에 방전챔버를 구성하여 상기 방전챔버의 몸체를 구성하는 전극간의 내측간격을 2cm이하로 하고, 상기 방전챔버와 증착챔버가 접하는 곳의 높이는 1cm이하로 구성하는 것을 특징으로 하는 대면적 화학 기상증착장치.
- 증착챔버의 상하 양단부에 좌우 쌍으로 4개의 방전챔버를 구성하여 상기 방전챔버의 몸체를 구성하는 전극간의 내측간격을 2cm이하로 하고, 상기 방전챔버와 증착챔버가 접하여 여기된 방전개스가 유출되는 증착챔버의 입구측 높이를 2cm 이하로 하며 상기 증착챔버의 상부에는 좌우 양측으로 기판을 지지하는 좌우 이동가능한 기판 홀더를 포함하여 구성한 것을 특징으로 하는 대면적 화학기상증착장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930031361A KR950021003A (ko) | 1993-12-30 | 1993-12-30 | 대면적 화학기상 증착장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930031361A KR950021003A (ko) | 1993-12-30 | 1993-12-30 | 대면적 화학기상 증착장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950021003A true KR950021003A (ko) | 1995-07-26 |
Family
ID=66853697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019930031361A KR950021003A (ko) | 1993-12-30 | 1993-12-30 | 대면적 화학기상 증착장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR950021003A (ko) |
-
1993
- 1993-12-30 KR KR1019930031361A patent/KR950021003A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 19931230 |
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| PG1501 | Laying open of application | ||
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| WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |