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KR940027049A - 필터장치 - Google Patents

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KR940027049A
KR940027049A KR1019940010664A KR19940010664A KR940027049A KR 940027049 A KR940027049 A KR 940027049A KR 1019940010664 A KR1019940010664 A KR 1019940010664A KR 19940010664 A KR19940010664 A KR 19940010664A KR 940027049 A KR940027049 A KR 940027049A
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filter
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쥰이치 기타노
미사코 사이토
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이노우에 아키라
도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤
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Abstract

레지스트 처리 시스템용의 필터장치는, 외기를 레지스터 처리 시스템내에 넣기 위한 개구부를 가지는 틀체와, 개구부에 외기를 흡인하는 흡인수단과, 이 흡인수단의 적어도 한쪽면쪽에 위치하도록 틀체에 의하여 지지된 필터 엘레멘트를 가지며, 필터 엘레멘트는 알카리성분과 반응흡착할 수 있도록 산성분을 포함하는 다공질체를 가진다.

Description

필터장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 레지스트 처리시스템의 외관을 나타내는 사시도, 제3도는 레지스트 처리시스템의 내부의 개요 레지스터를 나타내는 평면도, 제4도는 레지스트 처리 시스템을 나타내는 외관측면도.

Claims (20)

  1. 외기를 레지스트 처리 시스템에 넣기 위한 개구부를 가지는 틀체와, 상기 개구부에 외기를 흡인하는 흡인수단과, 이 흡인수단의 적어도 한쪽면쪽에 위치하도록 상기 틀체에 의하여 지지된 필터 엘레멘트를 가지며, 상기 필터 엘레멘트를 알카리성분과 반응흡착할 수 있도록 산성분을 포함하는 다공질체를 가지는 레지스트 처리 시스템용의 필터장치.
  2. 제1항에 있어서, 필터 엘레멘트는 산용액중에 침적된 후에 미세구멍중에 침입한 산용액의 일부를 원심력에 의하여 튀어나오고, 그후 프레스하여 플레이트화한 것을 특징으로 하는 필터장치.
  3. 제1항에 있어서, 다공질체는 활성탄으로 할 수 있는 것을 특징으로 하는 필터장치.
  4. 제1항에 있어서, 다공질체는 탄소섬유로 할 수 있는 것을 특징으로 하는 필터장치.
  5. 제1항에 있어서, 다공질체는 제오라이트로 할 수 있는 것을 특징으로 하는 필터장치.
  6. 제1항에 있어서, 다공질체는 이온 교환섬유로 할 수 있는 것을 특징으로 하는 필터장치.
  7. 제1항에 있어서, 다공질체는 오레핀계 섬유로 할 수 있는 것을 특징으로 하는 필터장치.
  8. 제1항에 있어서, 산성분은 인산인 것을 특징으로 하는 필터장치.
  9. 제1항에 있어서, 산성분은 스루혼산인 것을 특징으로 하는 필터장치.
  10. 제6항에 있어서, 스루혼산기가 이온 교환섬유의 베이스 폴리머로 화학결합하고 있는 것을 특징으로 하는 필터장치.
  11. 제7항에 있어서, 스루혼산기가 오레핀계 섬유의 베이스 폴리머로 화학결합하고 있는 것을 특징으로 하는 필터장치.
  12. 제1항에 있어서, 필터 엘레멘트는 다공질체의 시이트를 허니칼구조로 형성한 것을 특징으로 하는 필터장치.
  13. 제1항에 있어서, 필터 엘레멘트는 다공질체의 시이트를 브릿지구조로 형성한 것을 특징으로 하는 필터장치.
  14. 제13항에 있어서, 필터 엘레멘트는 외기의 출구쪽에 스리트를 가지는 브릿지 구조의 다공질체의 시이트를 가지는 것을 특징으로 하는 필터장치.
  15. 제1항에 있어서, 흡인수단의 흡입쪽에 제1필터 엘레멘트를 가지며, 흡인수단의 송출쪽에 제2필터 엘레멘트를 가지는 것을 특징으로 하는 필터장치.
  16. 제15항에 있어서, 더 제1필터 엘레멘트를 통과한 가스에 포함하는 알카리 성분을 측정 검출하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 필터장치.
  17. 제16항에 있어서, 더 측정 검출된 알카리 성분이 문턱값을 넘은때에 알람을 발하는 알람수단을 가지는 것을 특징으로 하는 필터장치.
  18. 제15항에 있어서, 제1필터 엘레멘트가 이단으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 필터장치.
  19. 기판에 레지스트를 도포하는 레지스트 도포수단과, 도포 레지스트를 베니크하는 베이킹수단과, 도포레지스트를 현상하는 현상수단과, 외기중의 불순물을 제거하는 필터수단을 구비하고, 상기 필터수단은, 외기를 레지스트 처리 시스템내에 넣기 위한 개구부를 가지는 틀체와, 상기 개구부에 외기를 흡인하는 흡인수단과, 이 흡인수단의 적어도 한쪽면쪽에 위치하도록 상기 틀체에 의하여 지지된 필터 엘레멘트를 가지며, 상기 필터 엘레멘트는 알카리성분과 반응흡착할 수 있도록 산성분을 포함하는 다공질체를 가지는 레지스트처리 시스템용의 필터장치.
  20. 더 기판에 도포된 레지스트를 노광하는 노광수단을 가지는 것을 특징으로 하는 필터장치.
    ※ 참고사항: 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940010664A 1993-05-18 1994-05-16 필터장치 Expired - Fee Related KR100242530B1 (ko)

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