KR940008228Y1 - 유독가스 배기장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

유독가스 배기장치

제1도는 종래의 유독가스 배기장치의 구조를 도시한 개략도.

제2도는 본 고안의 유독가스 배기장치의 구조를 도시한 개략도.

제3도는 종래의 유독가스 배기장치중 1개의 유독가스 상자내의 레이아웃(Lay out)을 도시한 개략도.

제4도는 본 고안의 유독가스 배기장치중 1개의 유독가스 상자내의 레이아웃을 도시한 개략도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 유독가스 용기 2 : 유독가스 상자

3 : 유독가스실 4 : 가스 배기라인

5 : 유독가스 배기관 6 : 펌프 게이지

7 : 진공펌프 8 : 유독가스 세정기

본 고안은 유독가스용기 교환시 발생하는 안전사고를 방지하고 가스 배기라인(4) 전체를 펌핑(pumping)하는데 장시간 소요됨에 따른 시간적 손실과 유독가스가 직접 대기중으로 방출됨으로 인한 환경오염 문제를 개선키 위해 유독가스실(3)로부터 유독가스 배기관(5)에 이르는 가스 배기라인(4)상에 진공펌프(7)를 설치하고, 배출되는 유독가스를 중화시켜 대기중에 배출하게 하는 유독가스 세정기(8)를 설치한 유독가스 배기장치에 관한 것이다.

종래의 유독가스 장치를 사용하는 모든 분야에 있어서 대부분, 유독가스 용기를 교체할 경우, 유독가스 용기(1)로 부터 유독가스를 대기로 방출하는 유독가스 배기관(5)에 이르는 아주 긴 배기라인(4)을 전체적으로 펌핑해야 함으로 시간적 손실이 많고 이에 따라 유독가스 용기 교체시 불완전한 펌핑으로 인해 안전사고가 발생하고 있다. 따라서 본 고안은 유독가스실(3) 근처부위 가스 배기라인(4)상에 진공펌프(7)를 설치하여 상기 진공펌프(7) 설치부에서 유독가스용기(1)에 이르는 가스 배기라인만 펌핑한 상태에서 유독가스용기(1)를 교체함으로 펌핑시간을 단축하고, 상기와 같이 유독가스 배기라인 펌핑실시후에, 잔류가스의 위험성을 고려하여, 질소(N₂) 가스로 중화시키는 단계에서도 펌핑하는 가스 배기라인 길이의 단축으로 시간상의 절약을 얻음과 동시에불완전한 펌핑으로 인한 위험성을 배제할 수 있고 또한 가스 세정기를 설치하여 유독가스를 중화하여 대기로 방출하게 함으로 공해를 방지할 수 있게 하는 유독가스 배기장치이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 고안의 상세한 설명을 하도록 한다.

제1도와 제3도는 종래의 유독가스 배기장치의 구조를 나타낸 개략도 및 종래의 가스 배기장치중 1개의 유독가스 상자(2) 내의 레이아웃을 나타낸 개략도이고, 제2도와 제4도는 본 고안에서의 유독가스 배기장치의 구조를 나타낸 개략도 및 본 고안에서의 가스 배기장치중 1개의 유독가스 상자(2)내의 레이아웃을 나타낸 개략도이다.

종래의 유독가스 배기장치는, 제1도에 도시한 바와같이 유독가스가 담겨져 있는 유독가스 용기(1)를 보관하는 유독가스 상자(2)가 통상 2개 정도의 유독가스 요기(1)를 가지고, 상기 유독가스 상자(2)를 둘러싸고 있는 유독가스실(3)은 그 내부에 약 200개 정도의 유독가스 상자(2)를 포함하고 있다. 유독가스 용기(1)의 각각에 연결되어 유독가스 배기관(5)으로 가스를 배출하는 통로인 가스 배기라인(4)은 그 길이가 약 30m 정도의 아주긴관으로 되어있다. 따라서, 상기와 같은 구조로된 종래의 유독가스 배기장치는 유독가스 용기(1)를 교환할경우 가스 배기라인(4) 전체를 펌핑하고, 무독성 질소(N₂) 가스로 중화시킴에 있어 매우 장시간 소요된 후에라야 교체가 가능해진다.

그러나, 상기와 같이 장시간의 펌핑소요시간을 들여도 유독가스 용기(1) 교체시 가스 배기라인(4)내의 유독가스의 완전한 펌핑이 이루어지지 않음으로 인해 여전히 안전사고가 발생할 우려가 있으며, 또한 장시간의 유독가스 용기 교환시간이 소요됨에 따라 생산성 저하를 초래함과 아울러 유독가스가 직접 대기중으로 방출됨으로써 심각한 환경오염을 발생시키는 문제점이 있다.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 문제점을 고려하여 유독가스 용기(1) 교환시 가스 배기라인(4) 전체를 펌핑하지 않고 유독가스 상자(2) 내의 밸브 조작으로, 가스 배기라인(4) 내로 흐르는 유독가스를 진공펌프(7)가 설치되는 부위로 한 곳으로 집중되어 흐르도록 하여, 진공펌프(7)가 설치된 곳에서 유독가스 용기(1)에 이르는 배기라인만을 펌핑할 수 있도록 하는 진공펌프(7)와, 또한 유독가스 용기(1)로부터 각각 흘러나와 진공펌프(7)를 지난 배출 유독가스는 유독성이 있는 상태로 대기로 배출됨으로, 대기로 배출되기전 상기의 배출 유도가스를 중화시키는 유독가스 세정기(8)를 제공함에 그 목적이 있다.

제3도는 종래의 유독가스 배기장치중 1개의 유독가스 상자 내의 레이아웃을 도시한 개략도로서, 유독가스용기(1) 교환시, 우선 가스 배기라인(4) 전체를 펌핑하기 위해 벨브 V₀, V1, V2, V3, V5를 닫고, 벨브 V3, V2, V6는 연상태에서 펌핑을 한다. 이때, 각 유독가스 용기(1)로 부터 배출되는 유독가스는 가스 배기라인, 즉 제3도의 B와 C의 방향으로 각각 출되어 대기로 이어지는 유독가스 배기관(5)에 이르기까지 30m 정도의 긴 배기관을 따라 이동해야 한다. 또한, 상기와 같이 가스 배기라인(5)내의 유독가스를 펌핑하고 난후, 가스 배기라인(4)내 잔류하고 있는 유독가스를 중화시켜 제거하고, 가스 배기라인(4) 내부로 대기중의 공기가 유입되는 것을 방지하기 위하여 소량의 질소(N₂) 가스를 벨브 V1을 열어 흘려준다. 상기와 같은 조건하에서 밸브V₀, V2, V3를 닥고, 벨브 V1을 열어 유독가스 용기(1)를 교체한다.

그후에 벨브 V3, V2, V6은 열린상태, V1, V2, V4, V5는 닫은 상태에서 가스 배기라인(4) 내부의 가스누설 유무를 확인하고 이상없을 경우 서서히 밸브 V₀를 열어서 교체한 가스를 흘러보내도록 한다.

여기서, 유독가스가 아닌 일반가스는 벨브 V4, V5를 열어 배출가스를 바로 대기로 이어지는 가스 배기라인의 방향 즉, 제3도의 A방향으로 나가게 한다.

이상과 같은 종래의 가스 배기장치의 구조로는 가스 배기라인(4) 전체를 펌핑함과, 펌핑한 후 잔류가스의 중화와 그리고 유독가스 용기(1) 교체후 가스 배기라인(4)의 누설유무등의 점검 총실시 소요시간이 14시간 이상의 과다한 소요시간이 소요됨으로 인해 생산성 저하를 초래하고, 펌핑하는 가스 배기라인의 길이가 너무길음으로 인한 불완전한 펌핑으로 인해 안전성에 있어서도 불안한 요소를 안고 있는 문제점이 있다.

제2도는 본 고안의 가스 배기장치를 도시한 개략도로서, 각각의 유독가스 용기(1)에 연결 설치되어 있는가스 배기라인(4)내로 흐르는 유독가스를 대기로 연결된 유독가스 배기관(5)으로의 아주 긴 배기라인을 흘러가지 않게끔 유독가스 상자(2)내에서의 밸브조작에 의해 각 유독가스 용기(1)로 부터 나오는 가스 배기라인 내로 흐르는 유독가스가 진공펌프(7)가 설치된 부위로의 하나의 배기라인으로 집중되어 흐를 수 있도록 한다. 진공펌프(7)가 설치되는 장소는 유독가스 상자(2)로 부터 나온 가스 배기라인(4) 근처부위에 곧바로 설치하고 가스배기라인(4) 내의 압력을 10^-3Torr의 상태로 유지하게 하여 항상 펌핑상태가 되도록 한다. 이때 상기 가스 배기라인(4) 내의 압력상태를 쉽게 파악할 수 있고, 유지하게 되는 진공펌프 게이지(6)를 펌프설치부의 하단에설치하고, 또한 진공펌프(7)를 지나 대기로 배출되는 유독가스의 중화를 위해 가스 배기라인(4)의 끝단부에 가스 세정기(8)를 설치한다.

제4도는 본 고안의 상기와 같이 설치된 가스 배기장치중 1개의 유독가스 상자(2) 내의 레이아웃을 도시한 개략도로서, 상기와 같이 설치된 진공펌프(7)로 가스 배기라인(4)을 펌핑할 경우, 벨브 V₀, V1, V6은 닫고V2, V3, RV₂, V4, V5은 열어서 각 유독가스 용기(1)로 부터 흐르는 가스들이 펌프게이지(6)를 통해 한개의가스 배기라인으로 흐르도록 한다. 상기와 같은 벨브조건으로 할 경우, 진공펌프(7)가 설치된 부위로부터 유독가스 상자(2) 내 각 유독가스 용기(1)에 이르는 짧은 길이의 가스 배기라인만을 펌핑하면 유독가스 용기(1)의 교체작업이 가능해 짐으로 종래의 가스 배기장치에 있어서 처럼 긴 가스 배기라인을 펌핑하는데 많은 소요시간을 들일 필요가 없게 된다.

상기와 같이 가스 배기라인(4)을 펌핑한 후에는 밸브 V₀와 V3는 닫고 V1과 V2는 열어서 부해한 질소(N₂)가스를 가스 배기라인 내로 흘려서 잔류 유독가스를 중화시키도록 한다. 유독가스용기(1)의 교체시는 벨브 V₀, V2, V3는 닫고 V1은 연상태에서 교체를 실시하고, 교체후에는 가스 배기라인 내의 누설 유무를 확인한 다음서서히 벨브 V₀를 열어 가스를 흘러보낸다.

이상, 상기와 같이 진공펌프(7)를 설치하여 상기 진공펌프(7) 설치로부터 각 유독가스 용기(1)에 이르는 짧은 거리의 가스 배기라인을 펌핑할 수 있도록 함으로, 가스 배기라인의 펌핑, 펌핑후 잔류가스의 중화, 그리고 유독가스 용기(1) 교체후 가스 배기라인(4)의 누설유무점검 등의 총실시 소요시간을 3시간 이내로 단축시킬수 있고, 유독가스 용기 교체시의 안정성에 있어서도 크게 향상되는 효과를 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 배출되는 유독가스를 가스 세정기(8)를 통해 정화시켜 대기로 내보냄으로 환경오염을 방지할 수 있다.

Claims (2)

1. 유독가스를 사용하는 유독가스 배기장치에 있어서, 유독가스 상자(2) 내의 벨브조작으로 유독가스 용기(1)에 연결된 각각의 가스 배기라인(4) 내로 흐르는 유독가스가 진공펌프(7)가 설치된 부위로의 하나의 가스배기라인으로 집중되도록 하고, 상기 유독가스가 하나의 가스 배기라인으로 집중되어 흐르는 가스 배기라인(4)상에 설치된 진공펌프(7)와, 상기 진공펌프(7)의 하단에 부착되어 상기 진공펌프의 일정 압력상태를 파악, 유지케 하는 진공펌프 게이지(6)와, 상기 각각의 유독가스 용기(1)로 부터 나와 상기의 진공펌프(7)를 지나 대기로 방출되는 유독가스의 중화를 위해 상기 유독가스 배기라인(4) 끝단부에 설치된 가스 세정기(8)를 구비한것을 특징으로 하는 유독가스 배기장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 가스 배기라인상에 설치된 진공펌프(7)가 가스 배기라인 내의 압력을 10^-3Torr 상태로 유지하는 것을 특징으로 하는 유독가스 배기장치.