KR930023710A - 페브리 페로 공진기를 포함하는 광력변환기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 힘 측정 변환기에 관한 것이다. 이 변환기는 본체부(15)와 상기 본체부(15)에 걸쳐 장착된 감지소자(27,37)로서 상기 활성화된 감지소자는 힘 수용소자로서 작용하고, 그 본체부(15)에 대한 그의 편향이 상기 감지소자에 적용된 힘을 계산하기 위해 설치된 그러한 감지소자(27,37)와; 그리고 상기 감지소자(27,37)의 편향을 결정하기 위한 광학검출제(1,6,8)를 포함한다. 본 발명에 의하면 상기 본체부(15)및 상기 감지부(27,37)는 반사모드에서 동작되는 짧고 광학적인 그리고 반사 모드에서 동작되는, 페브리 페로형 감지공진기(21,23,33)를 형성하고, 그리고 상기 광학 검출제(1,6,8)는 넓은 스펙트럼 광원(1)과 감지 공진기로부터 수신된 빛의 세기를 검출하기 위한 빛의 세기검출기(8)와 광원의 방향을 상기 광원(1)으로부터 상기 공진기(21,23)로 향하게 하고 그리고 다시 검출기(8)로 향하게 하며 그리고 상기 광원(1)및 검출기(8) 사이에 광로를 따라 배치되는 광학 도체(3)와, 감지 공진기(4)의 광학 거리에 걸쳐 순환적으로 제어가능한 광학 거리를 가지며, 그리하여 상기 검출기 최소 또는 최대 빛의 세기에 대한 표시를 제공하게 되는 스위칭 페브리 페로 공진기(41,49,51)와 그리고 감지소자(27)에 적용되는 힘(F,F′)에 비례하는 감지 공진기(4)의 광학 거리를 결정하기 위하여 스위핑 공진기(41,49,51)로부터 최소 또는 최대 세기 신호에서의 위상각을 검출하기 위한 위상 검출소자를 포함하여 구성된다.

Description

페브리 페로 공진기를 포함하는 광력변환기

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 변환기에서 광학 공진기의 기능을 도시한 그래프, 제2도는 본 발명에 따른 변환기를 개략적으로 도시한 도, 제3도는 제1도에 기술된 변환기 구조에 대한 선택적 실시예.

Claims (8)

1. -본체부(15)와, -상기 본체부(15)에 걸쳐 장착된 감지소자(27,37)로서, 상기 활성화된 감지소자는 힘수용소자로서 작용하고, 그 본체부(15)에 대한 그의 편향이 상기 감지소자에 적용된 힘을 계산하기 위해 설치된 그러한 감지소자(27,37)와; 그리고 - 상기 감지소자(27,37)의 편향을 결정하기 위한 광학 검출체 (1,6,8)를 포함하는 공력 측정 변환기에 있어서, - 상기 본체부(15)및 상기 감지부(27,37)는 반사 모드에서 동작되는 짧은 광학적 페브리 페로형 감지 공진기 (21,23,33)를 형성하고, 그리고 -상기 광학 검출체(1,6,8)는 - 상기 감지공진기(21,23,33)과 광학적으로 연결된 넓은 스펙트럼 광원(1)과 -상기 광원(1)과 광학적으로 연결되어 상기 감지공진기(21,23,33)에 의해 변하는 빛의 세기를 검출하기 위해 사용되는 빛의 세기 검출기(8)와 -상기 감지 공진기(21,23,33)와 상기 광원(1)에 광학적으로 연결되어 감지소자(27)에 적용되는 힘(F,F′)에 비례하는 감지공진기 (21,23,33)의 광학 거리를 결정하기 위하여 제어가능한 광학거리를 가지는 스위핑 페브리 페로 공진기 (41,49,51)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 페브리 페로 공진기를 포함하는 광력 변환기.
2. 제1항에 있어서, 상기 스위핑 공진기(41,49,51)는 광선의 투과경로를 따라 감지공진기(4)의 앞에 배치됨을 특징으로 하는 페브리 페로 공진기를 포함하는 광력 변환기.
3. 제1항에 있어서, 상기 스위핑 공진기(41,49,51)는 광선의 투과경로를 따라 감지공진기(4) 다음에 배치됨을 특징으로 하는 페브리 페로 공진기를 포함하는 광력 변환기.
4. 제1항에 있어서, 상기 스위핑 공진기(41,49,51)는 정전기 편향 소자(43,45)와 병합됨을 특징으로 하는 페브리 페로 공진기를 포함하는 광력 변환기.
5. 상기의 항들중 어느 한 항에 있어서 본체(15)는 전체 변환기용 기판으로서 작용함을 특징으로 하는 페브리 페로 공진기를 포함하는 광력 변환기.
6. 제1항에 있어서, 상기 스위칭 공진기(41,49,51)의 광학거리는 감지공진기(21,23,33)의 결과로서 발생하도록 하기 위하여 동시 제어가능함을 특징으로 하는 페브리 페로 공진기를 포함하는 광력 변환기.
7. 제1항에 있어서, 상기 스위핑 공진기(41,49,51)의 광학거리는 순환적으로 제어가능함을 특징으로 하는 페브리 페로 공진기를 포함하는 광력 변환기.
8. 제7항에 있어서, 상기 변환기는 스위핑 공진기(41,49,51)로부터의 세기 신호에서 최소 및 최대점에서의 위상각을 분리할 수 있는 위상 검출 소자를 포함함을 특징으로 하는 페브리 페로 공진기를 포함하는 광력 변환기.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.