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KR930011106B1 - Word Line Decoder in Semiconductor Memory Devices - Google Patents

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KR930011106B1
KR930011106B1 KR1019890016428A KR890016428A KR930011106B1 KR 930011106 B1 KR930011106 B1 KR 930011106B1 KR 1019890016428 A KR1019890016428 A KR 1019890016428A KR 890016428 A KR890016428 A KR 890016428A KR 930011106 B1 KR930011106 B1 KR 930011106B1
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KR
South Korea
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word line
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semiconductor memory
memory device
selecting
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황보준식
최정달
임형규
Original Assignee
삼성전자 주식회사
김광호
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  • Read Only Memory (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)

Abstract

내용 없음.No content.

Description

반도체 메모리장치의 워드라인 디코더Word Line Decoder in Semiconductor Memory Devices

제1a도는 NAND형 마스크 ROM의 평면도.1A is a plan view of a NAND type mask ROM.

제1b도는 제1a도의 등가회로도.FIG. 1B is an equivalent circuit diagram of FIG. 1A. FIG.

제1c도는 제1도에 따른 동작상태.1c is an operating state according to FIG.

제2도는 본 발명에 따른 워드라인 선택과정을 보여주는 블럭구성도.2 is a block diagram showing a word line selection process according to the present invention.

제3도는 제2도의 상세 회로도.3 is a detailed circuit diagram of FIG.

제4a도는 본 발명에 따른 S프리디코더의 실시예.Figure 4a is an embodiment of an S predecoder according to the present invention.

제4b도는 본 발명에 따른 SS프리디코더의 실시예.Figure 4b is an embodiment of the SS predecoder according to the present invention.

제5도는 제3도의 동작타이밍도.5 is an operation timing diagram of FIG.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

11 : 비트선 알루미늄 21 : 확산영역11 bit line aluminum 21 diffusion region

31 : 폴리실리콘층 41 : 접촉구멍31 polysilicon layer 41 contact hole

51 : 이온주입영역 100 : 메모리셀 어레이들51 ion implantation region 100 memory cell arrays

200 : 컬럼 어드레스 디코더들 300 : Y게이팅들200: column address decoders 300: Y gates

400 : 워드라인 디코더들 500 : 프리디코더400: word line decoders 500: predecoder

600 : 로우 어드레스 디코더 30, 50, 70, 90 : NOR게이트들600: row address decoder 30, 50, 70, 90: NOR gates

10, ND41-ND4n, ND51-ND54 : NAND게이트들10, ND41-ND4n, ND51-ND54: NAND gates

11, 13, I4l1-I4n1, I4l2-I4n2, I511-I541, I512-I542 : 인버터들11, 13, I4l1-I4n1, I4l2-I4n2, I511-I541, I512-I542: Inverters

SSL1, SSL4 : 스트링 선택라인들SSL1, SSL4: String Selection Lines

ST11, ST42 : 스트링 선택 트랜지스터들ST11, ST42: String Select Transistors

MC111, MC12nm : 메모리셀들 WL1, WL2n : 워드라인들MC111, MC12nm: memory cells WL1, WL2n: word lines

PT1, PTn : 패스 트랜지스터들PT1, PTn: pass transistors

PCT1, PCTn : 프리차아지 트랜지스터들PCT1, PCTn: precharge transistors

S1, Sn : S프리디코딩 신호들 SS1, SS4 : SS프리디코딩 신호들S1, Sn: S predecoded signals SS1, SS4: SS predecoded signals

본 발명은 독출 전용메모리(Read Only Memory : 이하 ROM이라 함)장치의 워드라인 디코더에 관한 것으로, 특히 고집적 NAND형 마스크 ROM의 워드라인 디코더에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a wordline decoder of a read only memory (ROM) device, and more particularly to a wordline decoder of a highly integrated NAND mask ROM.

마스크 ROM은 기억정보를 LSI(대규모 집적회로) 공정도중에서 포토리소그래피 기술을 이용하여 구워붙여 고정하는 메모리 소자를 말한다. 상기 마스크 ROM은 회로구성이 단순하고, 특별한 제조공정을 필요로 하지 않으므로 프로세스 경제성등이 우수하여 메모리소자들 중에서는 대용량화에 적합하며, 대표적으로 구성방식들로는 컨택트 마스크방식, 확산층 마스크방식, NAND형 방식등이 있다. 마스크 ROM메모리셀에 있어서는 생산자로부터 마지막 사용자에게 제품이 공급되기까지의 시간(TAT)을 고려하여야 하는데, 그 이유는 마스크 ROM이 코드수주생산(semi-custom)이기 때문이다. 예를 들어 상기 마스크 ROM들중 컨택트 마스크방식은 코드형성공정이 최종공정에 가까워 TAT가 짧으나, 확산층 마스크방식은 코드형성공정이 초기공정에 가깝기 때문에 TAT가 길어진다. 그리고 정보를 기억시키는 방식은 상기 컨택트 마스크 방식은 컨택트홀(contact hle)의 유무로써, 상기 확산층 마스크방식은 셀부위에 트랜지스터의 형성유무로써, 각각 데이타 "1"과 "0"을 대응시킨다. 한편 NAND형 방식을 셀면적을 최소한으로 억제하고 또한 TAT도 그리 길지 않도록 고안된 방식으로 메모리셀 트랜지스터들은 직렬로 접속하는 것이 특징이다.The mask ROM refers to a memory device which bakes and fixes memory information using photolithography technology during LSI (large scale integrated circuit) process. Since the mask ROM has a simple circuit configuration and does not require a special manufacturing process, it is excellent in process economical efficiency and is suitable for large capacity among memory devices. Representative methods include a contact mask method, a diffusion layer mask method, and a NAND type method. Etc. In a mask ROM memory cell, the time from the manufacturer to the end user (TAT) must be taken into account, since the mask ROM is semi-custom. For example, the contact mask method of the mask ROMs has a short TAT because the code forming process is close to the final process, while the TAT is long because the diffusion layer mask method is close to the initial process. In the method of storing information, the contact mask method corresponds to the presence or absence of a contact hole, and the diffusion layer mask method corresponds to data # 1 'and' 0 ', respectively, with or without the formation of a transistor in the cell region. On the other hand, the NAND type is designed in such a way that the cell area is minimized and the TAT is not too long. The memory cell transistors are connected in series.

상기 NAND형의 마스크 ROM은 제1a도에 평면도로서 도시되어 있는 바와 같이, 확산영역(21)과, 스트링 선택라인들(SSL1, SSL2) 및 워드라인들(WL1-WLn)이 되는 폴리실리콘층(31)과, 비트선 알루미늄층(11)과, 접촉구멍(41) 및 이온주입영역(51)으로 형성되어 있다. 상기 이온주입영역(51)의 셀부에 있는 트랜지스터는 디플리션형이 되고, 그렇지 않은 부분은 인한스먼트형 트랜지스터가 되어 각각 정보 "1"과 "0"에 대응한다. 따라서 NAND형 마스크 ROM은 이온주입의 유무로써 정보를 기억시킬 수 있음을 알 수 있다.The mask ROM of the NAND type has a polysilicon layer which becomes a diffusion region 21, string select lines SSL1, SSL2 and word lines WL1-WLn, as shown in plan view in FIG. 31, a bit line aluminum layer 11, a contact hole 41 and an ion implantation region 51. As shown in FIG. The transistors in the cell portion of the ion implantation region 51 are depleted, and the other portions are fragmented transistors corresponding to the information # 1 and # 0, respectively. Therefore, it can be seen that the NAND type mask ROM can store information with or without ion implantation.

제1b도는 상기 제1a도의 등가회로도로서, 임의적으로 2개의 메모리 스트링만을 도시하고 있다.FIG. 1B is an equivalent circuit diagram of FIG. 1A, which arbitrarily shows only two memory strings.

제1c도는 상기 제1b도의 NAND형 마스크 ROM의 동작상태를 나타낸 것이다.FIG. 1C shows an operating state of the NAND mask ROM of FIG. 1B.

NAND형 마스크 ROM의 기본적인 구성은 상기 제1b도에 도시한 바와 같이 비트라인 BLi로부터 접지선 GLi 사이에 2개의 스트링 선택 트랜지스터들(STi1, ST(i+1)1)과 소정갯수의 단위 메모리셀에 해당하는 전계효과 트랜지스터들(MCi1-MCo1)이 직렬로 연결되어 하나의 단위 메모리스트링 MSi1을 구성하고 있으며, 상기 트랜지스터들의 게이트들은 또다른 메모리스트링 MSi2를 구성하고 있는 트랜지스터들(STi2, ST(i+1)2, MCi2-mCo2)의 게이트들과 각각 동일한 행끼리 공통 접속되어 있다.As shown in FIG. 1B, the basic structure of the NAND type mask ROM includes two string select transistors STi1 and ST (i + 1) 1 and a predetermined number of unit memory cells between the bit line BLi and the ground line GLi. Corresponding field effect transistors MCi1-MCo1 are connected in series to form one unit memory string MSi1, and the gates of the transistors constitute another memory string MSi2 (STi2, ST (i +). 1) 2 and the same rows as the gates of MCi2-mCo2 are commonly connected to each other.

상기 스트링 선택 트랜지스터들(STi1, Sti2) 및 (ST(i+1), ST(i+1)2)의 게이트에는 스트링 선택라인 SSLi 및 SSLi+1이 각각 연결되어 있고, 각 메모리셀들(MCi1+MCo2)의 게이트들에는 워드라인들(WLi-Wo)이 접속되어 있다. 그리고 전체 메모리셀 어레이에서는 상기 제1b도의 구조들이 배열되어 있다. 상기 제1b도에서 디플리션형 트랜지스터들(STi2,ST(i+1)1, MC(i+1)1)은 제1a도의 이온주입영역들(51, 52, 53)에 각각 대응한다.String select lines SSLi and SSLi + 1 are connected to gates of the string select transistors STi1 and Sti2 and ST (i + 1) and ST (i + 1) 2, respectively. Word lines WLi-Wo are connected to gates of + MCo2. In the entire memory cell array, the structures of FIG. 1b are arranged. In FIG. 1B, the depletion transistors STi2, ST (i + 1) 1 and MC (i + 1) 1 correspond to the ion implantation regions 51, 52, and 53 of FIG. 1a, respectively.

그러면 상기 제1b도의 NAND형 마스크 ROM의 기본동작은 도표 1을 참조하면서 설명하기로 한다. 각 메모리셀에 기억된 정보를 읽어내기 위해서, 상기 비트라인 BLi가 선택되면 상기 비트라인 BLi에 1-2V의 독출전압을 인가한다. 스트링 선택라인(SSLi, SSLi+1)에는 메모리 스트링(MSi1, MSi2)을 선택하기 위해 VCC 또는 OV가 인가되는데, 예를 들어 메모리 스트링 MSi1을 선택할 경우에는 SSLi가 VCC, SSLi+1이 OV가 되어야 하며, 메모리 스트링 MSi2를 선택할 경우에는 SSLi가 OV, SSLi+1이 VCC가 되어야 할 것이다. 그리고 선택된 워드라인에는 OV, 비선택된 워드라인에는 VCC가 인가되는데, 그 이유는 선택된 메모리셀에 기억된 정보를 독출하기 위해서는 상기 선택된 메모리셀의 드레인-소오스전압이 비트라인상에서 감지될 수 있어야 하기 때문이다.The basic operation of the NAND type mask ROM of FIG. 1B will be described with reference to Table 1 below. In order to read the information stored in each memory cell, when the bit line BLi is selected, a read voltage of 1-2V is applied to the bit line BLi. The VCC or OV is applied to the string select lines SSLi and SSLi + 1 to select the memory strings MSi1 and MSi2. For example, when the memory string MSi1 is selected, SSLi must be VCC and SSLi + 1 to be OV. If the memory string MSi2 is selected, SSLi should be OV and SSLi + 1 should be VCC. OV is applied to the selected word line, and VCC is applied to the unselected word line, because the drain-source voltage of the selected memory cell must be sensed on the bit line in order to read information stored in the selected memory cell. to be.

상기 동작의 한 예로서 도표 1에 나타낸 바와 같이 메모리셀 MC(ci+1)1(디플리션형)을 선택한 경우에는 메모리 스트링 MSi1에 있는 트랜지스터들이 모두 도통되므로 비트라인 BLi상에 가해진 전압이 접지선 GLi로 방전되어 데이타 "1"이 감지되고, 메모리셀 MC(o-1)2를 선택한 경우에는 비트라인 BLi상의 전압이 상기 메모리셀 MC(o-1)2의 "오프"상태에 의해 접지선 GLi로 방전되지 않으므로 데이타 "0"이 감지되는 것이다. 상기와 같은 NAND형 마스크 ROM셀에 있어서 워드라인은 로우어드레스 디코더로부터 나오는 신호를 단순한 논리게이트로 구성된 워드라인 디코더에 의해 선택되는데, 이러한 종래의 방법에 있어서는 마스크 ROM이 대용량화 및 저가격화에 의해 미세화됨에 따라 기판상의 큰 래이아웃 면적을 필요로 한다. 또한 상기 면적의 증가는 선로의 길어짐도 수반하게 되어 워드라인의 지연시간이 길어져 고속의 독출동작에 큰 장애가 된다.As an example of the above operation, when the memory cell MC (ci + 1) 1 (depletion type) is selected as shown in Table 1, since the transistors in the memory string MSi1 are all conducted, the voltage applied to the bit line BLi is connected to the ground line GLi. Is discharged to sense the data # 1 ', and when the memory cell MC (o-1) 2 is selected, the voltage on the bit line BLi goes to the ground line GLi due to the off state of the memory cell MC (o-1) 2. Since it is not discharged, data # 0 is detected. In the NAND mask ROM cell as described above, the word line is selected by a word line decoder composed of simple logic gates for the signal from the low address decoder. In this conventional method, the mask ROM is miniaturized due to the large capacity and low cost. This requires a large layout area on the substrate. In addition, the increase of the area is accompanied by the length of the line, the delay time of the word line is long, which is a major obstacle to the high-speed read operation.

따라서 본 발명의 목적은 NAND형 마스크 ROM셀 어레이의 대용량화 및 미세화에 맞추어 작은 면적내에 레이아웃이 가능한 워드라인 디코더회로를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a word line decoder circuit that can be laid out in a small area in accordance with the increase in size and size of a NAND type mask ROM cell array.

본 발명의 또다른 목적은 워드라인의 시간지연을 최소화하여 적절한 워드라인 선택동작이 가능한 워드라인 디코더회로를 제공함에 있다.It is another object of the present invention to provide a word line decoder circuit capable of appropriate word line selection operation by minimizing time delay of a word line.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 워드라인 디코더는 외부 입력어드레스 신호들의 변화를 감지하여 메모리 스트링과 워드라인을 선택할 수 있는 소정 신호들을 발생하는 어드레스 입력수단과, 상기 어드레스 입력수단의 소정 출력신호와 외부에서 프리디코딩된 소정의 신호를 입력하여 상기 메모리 스트링을 선택하는 메모리 스트링 선택수단과, 상기 어드레스 입력수단의 소정 출력신호와 외부에서 프리디코딩된 소정의 신호를 입력하여 상기 워드라인을 선택하는 워드라인 선택수단으로 구성됨을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the word line decoder of the present invention detects changes in external input address signals and generates address input means for generating a predetermined signal for selecting a memory string and a word line, and a predetermined output signal of the address input means. Memory string selecting means for selecting the memory string by inputting a predetermined signal pre-decoded externally, and a word for selecting the word line by inputting a predetermined output signal of the address input means and a predetermined signal pre-decoded externally Characterized in that the line selection means.

본 발명의 또다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 상기 워드라인들 각각의 선로상에 전원전압 레벨의 프리차아지를 할 수 있는 프리차아지용 트랜지스터들을 구비함을 특징으로 한다.In order to achieve another object of the present invention, the present invention is characterized by including precharge transistors capable of precharging a power supply voltage level on each of the word lines.

이하 본 발명의 바람직한 실시예가 첨부된 도면들의 참조와 함께 상세히 설명될 것이다.Preferred embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제2도는 본 발명의 워드라인 디코더가 내장된 마스크 ROM의 구성도이다. 상기 제2도에서는 메모리셀(100)와, 외부 입력어드레스 신호를 받는 컬럼 어드레스디코더(200)와, Y게이팅부(300)와, 상기 메모리셀 어레이(100)의 외부에 위치한 워드라인 디코더(400)와, 외부 입력 어드레스 신호를 받는 로우어드레스 디코더(600)와, 상기 로우어드레스 디코더(600)의 출력을 입력하여 상기 워드라인디코더(400)로 프리디코딩된 신호를 출력하는 프리디코더(500)가 도시되어 있다.2 is a block diagram of a mask ROM in which the word line decoder of the present invention is incorporated. 2 illustrates a memory cell 100, a column address decoder 200 receiving an external input address signal, a Y gating unit 300, and a word line decoder 400 located outside the memory cell array 100. ), A low address decoder 600 receiving an external input address signal, and a predecoder 500 for inputting the output of the low address decoder 600 to output a predecoded signal to the word line decoder 400. Is shown.

제3도는 상기 제2도의 워드라인 디코더(400)의 내부회로와 이와 연결된 메모리셀 어레이(100)를 나타낸 것이다. 상기 메모리셀 어레이(100)는 제1b도와 같이 단위셀에 해당하는 n개(보통 n은 8개 또는 16개)의 직렬 연결된 트랜지스터들(MC111, MC121, ……, MC1(n-1), MC1n1)이 두개의 스트링 선택 트랜지스터 ST111, ST121과 직렬로 연결되어 하나의 메모리스트링을 구성하고, 스트링 선택트랜지스터 ST111의 드레인 또는 소오스에는 비트라인이 접속되고, 하단의 메모리셀 MC1n1의 소오스 또는 드레인에는 접지라인 GL1이 접속되어 있다. 상기 단위 메모리 스트링은 행방향으로 배열된 각각의 비트라인들(BL1-BLm)을 중심으로 대칭되고, 각각의 접지라인들(GL1-GLm)을 중심으로 또한 대칭되어 반복적인 구조로써 전체 메모리셀 어레이(100)를 구성하고 있다.3 illustrates an internal circuit of the word line decoder 400 of FIG. 2 and a memory cell array 100 connected thereto. The memory cell array 100 includes n series transistors MC111, MC121,..., MC1 (n-1), MC1n1 corresponding to unit cells as shown in FIG. ) Are connected in series with two string select transistors ST111 and ST121 to form a memory string, a bit line is connected to the drain or source of the string select transistor ST111, and a ground line is connected to the source or drain of the memory cell MC1n1 at the bottom. GL1 is connected. The unit memory string is symmetric about each of the bit lines BL1-BLm arranged in a row direction, and is also symmetrical around each of the ground lines GL1-GLm and has an iterative structure. It constitutes 100.

이때 각 메모리 스트링들의 스트링 선택트랜지스터들은 비트라인을 중심으로, 한쪽이 디플리션형이면 다른 한쪽이 인한스먼트형이고 또한 한쪽이 인한스먼트형이 면 다른 한쪽은 디플리션형으로 대응하고 있다. 따라서 상기 메모리셀 어레이(100)에서 하나의 비트라인에는 4개의 메모리스트링들이 연결되어 있는 것이다.At this time, the string select transistors of the memory strings correspond to bit lines, and if one side is a depletion type, the other is a segment type. Therefore, four memory strings are connected to one bit line in the memory cell array 100.

한편 상기 제3도에서는 메모리 스트링들과 워드라인 디코더와의 관계가 하나의 워드라인 디코더가 하나의 비트라인에 의해 선택된 4개의 메모리 스트링에 대응함을 알 수 있다. 상기 워드라인 디코더(400)는 크게 로우어드레스 디코더(600)의 소정 출력을 입력하여 이를 디코딩한 후 신호레벨을 조정하여 출력하는 어드레스 입력수단(411)과, 상기 어드레스 입력수단(411)의 출력을 각각 분기하여 인가받고 소정의 프리디코딩신호들(SS1-SS4)을 입력하는 메모리 스트링 선택수단(422)(423)과, 상기 어드레스 입력수단(411)의 소정 출력을 인가받고 소정의 프리디코딩신호들(S1-Sn)을 입력하여 해당 메모리스트링의 워드라인을 실질적으로 선택하는 워드라인 선택수단(433)으로 구성되어 있다. 상기 어드레스 입력수단(411)은 제2도의 로우 어드레스 디코더(600)으로부터 출력되는 어드레스 신호들(Ai, Aj, Ak)중 하나만 변하더라도 "하이"상태의 신호를 출력하는 NAND형 논리게이트(10)와, 상기 논리게이트(10)의 출력을 지연 또는 버퍼링하기 위한 인버터(11)(13)들로 구성되어 있다.Meanwhile, in FIG. 3, it can be seen that the relationship between the memory strings and the word line decoder corresponds to four memory strings selected by one bit line. The word line decoder 400 inputs a predetermined output of the low address decoder 600, decodes it, and adjusts a signal level and outputs the address input means 411, and outputs the output of the address input means 411. Memory string selecting means 422 and 423 for branching and inputting predetermined predecoding signals SS1-SS4, and predetermined outputs of the address input means 411 and receiving predetermined predecoding signals, respectively. And word line selecting means 433 for inputting (S1-Sn) to substantially select the word line of the memory string. The NAND type logic gate 10 which outputs a high voltage signal even if only one of the address signals Ai, Aj, and Ak output from the row address decoder 600 of FIG. 2 changes. And inverters 11 and 13 for delaying or buffering the output of the logic gate 10.

상기 메모리 스트링 선택수단(422)은 상기 어드레스 입력수단(411)의 출력신호와 외부에서 프리디코딩된 신호들(SS1-SS4)중의 하나인 신호 SS1을 입력하여 상기 두입력중 최소한 하나가 "하이"레벨일때 "로우"를 스트링 선택트랜지스터 ST111의 게이트로 출력하는 NOR형 논리게이트(30)와, 상기 어드레스 입력수단(411)의 출력신호와 외부의 프리디코딩신호 SS2를 입력하여 상기 두 입력중 최소한 하나가 "하이"레벨일때 "로우"를 스트링 선택트랜지스터 ST121의 게이트로 출력하는 NOR형 논리게이트(50)로 구성되어 있다. 또한 또하나의 상기 메모리 스트링 선택수단(423)은 상기 어드레스 입력수단(411)의 출력을 공통으로 입력하고 각각 외부 프리디코딩신호 SS3 및 SS4를 입력하여 각각 두개의 입력들중 최소한 하나가 "하이"일때 "로우"상태의 신호를 각각 스트링 선택트랜지스터 ST131 및 ST141의 게이트로 출력하는 두개의 NOR형 논리게이트(70)(90)으로 구성되어 있다. 상기 워드라인 선택수단(433)은 게이트들이 상기 어드레스 입력수단(411)의 인버터(11)의 출력신호를 동시에 인가받고 각각의 채널통로들이 외부의 프리디코딩 신호들(S1-Sn)과 각각 두개씩 공통 접속된 워드라인들(WL1/WL2n, WL2/WL2n-1, WL3/WL2n-3…WLn-1/WLn+2, WLn/WLn+1)각 공통접속점들 사이에 연결된 패스트랜지스터들 (PT1-PTn)과, 전원전압에 드레인들 또는 소오스들이 연결되고 게이트들과 소오스들 또는 드레인들이 상기 패스트랜지스터들(PT1-PTn)의 워드라인 연결선로들상에 공통접속된 디플리션형 프리차아지 트랜지스터들(PCT1-PCTn)로 구성되어 있다.The memory string selecting means 422 inputs a signal SS1, which is one of an output signal of the address input means 411 and externally decoded signals SS1-SS4, so that at least one of the two inputs is “high”. Level NOR logic gate 30 which outputs the low level to the gate of the string select transistor ST111, and the output signal of the address input means 411 and the external pre-decoding signal SS2 at the level. Is a NOR logic gate 50 which outputs the low to the gate of the string select transistor ST121 when the high level is. In addition, the memory string selecting means 423 inputs the output of the address input means 411 in common and inputs the external predecoding signals SS3 and SS4, respectively, so that at least one of the two inputs is “high”. Is composed of two NOR logic gates 70 and 90 for outputting the low-state signal to the gates of the string select transistors ST131 and ST141, respectively. The word line selecting means 433 has gates simultaneously receiving the output signal of the inverter 11 of the address input means 411, and each of the channel paths is common to the external predecoding signals S1-Sn. Connected word lines WL1 / WL2n, WL2 / WL2n-1, WL3 / WL2n-3… WLn-1 / WLn + 2, WLn / WLn + 1 Fast transistors PT1-PTn connected between common connection points And depleted precharge transistors having drains or sources connected to a power supply voltage, and gates and sources or drains commonly connected on word line connection lines of the fast transistors PT1 -PTn. PCT1-PCTn).

상기 워드라인 디코더(400)의 구성상에서 주목할 것은 상기 열방향으로 배열된 2개의 메모리 스트링에 걸치는 2n개의 워드라인들(WL1-WL2n)이 서로 각각의 메모리 스트링의 상단에 있는 워드라인(WL1, WL2n)부터 각 메모리 스트링의 하단에 있는 워드라인(WLn, WLn+1)까지 2개의 워드라인까지 대칭적으로 공통접속되어 있고, 상기 공통접속된 n개의 라인들이 상기 n개의 패스트랜지스터들(PT1-PTn)의 채널통로와 연결되어 있다는 점이다.Note that in the configuration of the word line decoder 400, word lines WL1 and WL2n in which 2n word lines WL1-WL2n that span two memory strings arranged in the column direction are located on top of each memory string. ) Are symmetrically connected to two word lines from the word lines WLn and WLn + 1 at the bottom of each memory string, and the n connected lines are the n fast transistors PT1 -PTn. Is connected to the channel channel of).

상기 제3도에 두가지 종류의 프리디코딩 신호들이 도시되어 있는데 이들은 모두 상기 제2도의 프리디코더(500)로부터 출력되는 신호로서, SS1-SS4는 네개의 메모리 스트링들(MS11, MS12, MS21, MS22)을 선택하기 위한 것이고, S1-Sn은 두개씩 공통 접속된 워드라인들(WL1/WL2n, WL2/WL2n-1, …, WLn/WLn+1)을 각각 선택하기 위한 것들이다. 상기 프리디코딩 신호들(SS1-SS4, S1-S4)을 출력하는 프리디코더(500)의 내부 구성은 제4a도 및 b도에 도시되어 있다.Two types of predecoding signals are shown in FIG. 3, which are signals output from the predecoder 500 of FIG. 2, and SS1-SS4 is four memory strings MS11, MS12, MS21, and MS22. S1-Sn are used to select two commonly connected word lines WL1 / WL2n, WL2 / WL2n-1, ..., WLn / WLn + 1, respectively. An internal configuration of the predecoder 500 for outputting the predecoding signals SS1-SS4 and S1-S4 is illustrated in FIGS. 4A and 4B.

제4a도는 프리디코딩신호 S1-Sn을 출력하기 위한 제2프리 디코더(또는 제2디코딩수단)(520)회로로서, 상기 제4a도에는 각각의 반전신호를 가지는 어드레스신호 Af-Ah가 있는 소정갯수의 데이타 라인들이 배열되어 있고, 상기 어드레스신호들(Af, Af, ……, Ah, Ah)중 소정갯수를 입력하는 n개의 NAND게이트들(ND41-ND4n)이 각각 두개의 직렬연결된 인버터들(I411-I4n1, I412-I4n2)과 직렬로 연결되어 하나의 NAND게이트와 두개의 인버터가 하나의 신호만을 출력하고 있다. 여기서 단위 메모리 스트링내의 메모리셀의 갯수 n이 8일 경우에는, 상기 NAND게이트들(ND41-4D4n)의 입력수는 3개가 될 것이다. 즉 S신호의 갯수가 8개이므로 필요한 어드레스신호는 log28=M에 의해 3개(M=3)가 필요한 것이다.FIG. 4A is a second pre-decoder (or second decoding means) 520 circuit for outputting pre-decoded signals S1-Sn, wherein the predetermined number of address signals Af-Ah having respective inverted signals are shown in FIG. Inverters I411 in which data lines are arranged, and n NAND gates ND41-ND4n for inputting a predetermined number of the address signals Af, Af, ..., Ah, Ah are respectively connected in series. -I4n1 and I412-I4n2) are connected in series and one NAND gate and two inverters output only one signal. If the number n of memory cells in the unit memory string is 8, the number of inputs of the NAND gates ND41-4D4n will be three. That is, since the number of S signals is eight, three (M = 3) are required by log 2 8 = M.

제4b도는 상기 네개의 메모리 스트링들(MS11-MS22)을 선택하기 위한 SS신호들(SS1-SS4)를 출력하는 제1프리디코더 회로(또는 제1디코딩수단)(510)로서, NAND게이트들(ND51-ND54)과 각 4개의 인버터들(I511-I541, I512-I542)이 상기 제4a도와 같이 구성되고, 각각의 반전신호를 가지는 어드레스신호 At, Au를 디코딩하여 네개의 SS신호를 출력한다. 상기 어드레스 신호들(Af(Af), ……, Ah(Ah), At(At), Au(Au))은 모두 입력 어드레스버퍼(도시되지 않음)로부터 나온 신호들이다.4B illustrates a first predecoder circuit (or first decoding means) 510 for outputting SS signals SS1-SS4 for selecting the four memory strings MS11-MS22. ND51-ND54 and four inverters I511-I541 and I512-I542 are configured as shown in FIG. 4A and decode address signals At and Au having respective inverted signals to output four SS signals. The address signals Af (Af), ..., Ah (Ah), At (At), Au (Au) are all signals from an input address buffer (not shown).

제5도는 상기 제3도의 회로에서 메모리 스트링 MS11을 선택하기 위한 워드라인을 선택하는 동작을 나타낸 타이밍도로서, 상기 제5도에서(1)은 상기 어드레스 입력수단(411)의 논리게이트(10)에 입력되는 입력 어드레스신호들(Ai, Aj, Ah)을 나타내며, (2)는 상기 인버터(11)의 출력노드(15)의 전압레벨은, (3)은 인버터(13)의 출력노드(17)의 전압레벨을, (4)는 메모리 스트링 MS11을 선택하기 위한 프리디코딩신호 SS1을, (5)는 나머지 SS프리디코딩 신호들(SS2, SS3, SS4)을, (6)은 스프링 선택라인들(SSL2, SSL3, SSL4)상의 전압레벨을, (7)은 메모리스트링 MS11 또는 MS12를 선택할 수 있는 스트링 선택라인 SSL1상의 전압레벨을, (8)은 한쌍의 워드라인(WL1/WL2n)을 선택할 수 있도록 하는 S프리딩코디신호 S1의 전압레벨을, (9)는 나머지 S프리디코딩 신호들(S2-Sn)의 상태를, (10)은 선택된 워드라인 WL1/WL2n)상의 전압레벨을, (11)은 나머지 워드라인들(WL2-WLn, WLn+1-WL2n-1)상의 전압레벨을 각각 나타낸다. 상기 타이밍도에서의 참조번호들(51-57)은 상기 신호들(1), ……(11)의 동작 상관관계를 나타낸 것으로 하기하는 본 발명의 동작설명에서 참조될 것이다.FIG. 5 is a timing diagram illustrating an operation of selecting a word line for selecting memory string MS11 in the circuit of FIG. 3. In FIG. 5, reference numeral 1 denotes a logic gate 10 of the address input means 411. Referring to FIG. Input address signals Ai, Aj, Ah, which are input to the input signal, are denoted by (2), the voltage level of the output node 15 of the inverter 11, and (3) the output node 17 of the inverter 13. Is the predecoding signal SS1 for selecting memory string MS11, (5) the remaining SS predecoding signals SS2, SS3, SS4, and (6) the spring select lines. Voltage level on (SSL2, SSL3, SSL4), (7) selects the voltage level on the string select line SSL1 to select memory strings MS11 or MS12, and (8) selects the pair of word lines (WL1 / WL2n). The voltage level of the S precoding signal S1, 9 is the state of the remaining S precoding signals S2-Sn, and 10 is the selected word. Voltage levels on the lines WL1 / WL2n and 11 denote voltage levels on the remaining word lines WL2-WLn and WLn + 1-WL2n-1, respectively. Reference numerals 51-57 in the timing diagram indicate the signals 1,... … Reference will be made to the operation description of the present invention which shows the operation correlation of (11) below.

이하 상술한 참조도면들 제2도 내지 제5도를 참조하여 본 발명의 동작을 상세히 설명한다. 설명에 앞서 상기 제3도의 회로도는 워드라인 선택을 위한 기본구성으로서 상기 구성에서 워드라인 디코더의 갯수(이하 P라함)와 워드라인의 갯수(이하 q라함), 직렬 연결된 메모리셀의 갯수(이하 n이라함) 및 스트링 선택라인의 갯수(이하 1이라함) 사이에는 일정한 관계가 있다. 즉 상기 제3도의 구성에서 알 수 있는 바와 같이 n=8이면 이에 해당하는 p는 1, q=16, 1=4이다. 이는 하기하는 식(1)로써 그 구성관계를 정립할 수 있다.Hereinafter, the operation of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 5. Prior to the description, the circuit diagram of FIG. 3 is a basic configuration for word line selection. In this configuration, the number of word line decoders (hereinafter referred to as P) and the number of word lines (hereinafter referred to as q) and the number of serially connected memory cells (hereinafter n) ) And the number of string selection lines (hereinafter referred to as 1). That is, as can be seen in the configuration of FIG. 3, if n = 8, p corresponds to 1, q = 16, and 1 = 4. This can be established by the following equation (1).

Figure kpo00002
Figure kpo00002

그러면 상기 제5도의 타이밍도와 비교하면서 상기 제3도의 워드라인디코더의 동작을 설명한다. 이하 설명은 메모리 스트링 MS11에 있는 워드라인 WL1을 선택하는 동작에 관한 것이다.Next, the operation of the word line decoder of FIG. 3 will be described in comparison with the timing diagram of FIG. The following description relates to selecting word line WL1 in memory string MS11.

상기 워드라인 WL1을 선택하기 위해서는 제1b도의 NAND형 마스크 RO동작에서 설명한 바와 같이 선택된 워드라인만을 접지상태로 만들어야 하며 선택된 비트라인 BL1에는 소정전압이 인가되어 있다. 먼저, 어드레스 입력수단(411)의 NAND형 논리게이트(이하 NAND게이트)(10)으로 입력되는 소정의 입력어드레스신호 Ai, Aj, Ah, 모두가 "하이"상태가 되면 상기 NAND게이트(10)의 출력은 "로우"상태가 되고 이는 노드(15)와 노드(17)의 전위를 각각 "하이" 및 "로우"상태로 만든다(51).In order to select the word line WL1, only the selected word line should be grounded as described in the NAND mask RO operation of FIG. 1B, and a predetermined voltage is applied to the selected bit line BL1. First, when all of the predetermined input address signals Ai, Aj, Ah, which are input to the NAND type logic gate (hereinafter referred to as NAND gate) 10 of the address input means 411 are in a high state, The output is in a low state, which causes the potentials of nodes 15 and 17 to be in high and low states, respectively (51).

상기 "하이"상태의 노드(51)의 신호는 워드라인 선택수단(433)의 패스트랜지스터들(PT1-PTn)의 게이트들에 인가되어 상기 패스트랜지스터들(PT1-PTn)을 "온"시킨다. 또한 상기 "로우"상태의 노드(17)의 신호는 메모리 스트링 선택수단(422)에 있는 NOR형 논리게이트들(30, 50, 70, 90 : 이하 NOR게이트)의 각각에 일입력으로 인가된다. 여기서 전제한 바와 같이 메모리 스트링 MS11의 워드라인 WL1을 선택하기 위해서는 SS프리디코딩 신호들(SS1-SS4)중 SS1이 "로우", S프리디코딩신호들(S1-Sn)중 S1이 "로우"상태가 되어야 한다. 상기 SS프리디코딩신호 SS1 및 S프리디코딩신호 S1의 출력들은 각각 제4a도 및 제4b도의 프리디코더 회로들이 디코딩 동작에 의해 발생됨은 전술한 바 있다.The signal of the node 51 in the 'high' state is applied to the gates of the fast transistors PT1 -PTn of the word line selecting means 433 to turn on the fast transistors PT1 -PTn. In addition, the signal of the node 17 in the blown state is applied as one input to each of the NOR logic gates 30, 50, 70 and 90 in the memory string selector 422. As assumed herein, in order to select the word line WL1 of the memory string MS11, SS1 of the SS predecoding signals SS1-SS4 is low and S1 of the S predecoding signals S1-Sn is low. Should be The outputs of the SS pre-decode signal SS1 and the S-predecode signal S1 are generated by the decoding operation of the predecoder circuits of FIGS. 4A and 4B, respectively.

따라서 상기 패스트랜지스터(PT1)은 "로우"상태의 S1신호를 워드라인 WL1 및 WL2n에 전달함과 동시에(52), 상기 NOR게이트(30)은 "로우"상태의 상기 노드(17)의 신호와 "로우"상태의 상기 SS1신호를 입력하여 "하이"상태의 신호를 출력함으로써 스트링 선택라인 SSL1을 "하이"로 만든다(53)(54).Accordingly, the fast transistor PT1 transmits the S1 signal in the low state to the word lines WL1 and WL2n (52), and the NOR gate 30 is connected to the signal of the node 17 in the low state. The string select line SSL1 is made high by inputting the SS1 signal in the low state to output the high state signal (53) (54).

즉 상기 스트링 선택라인 SSL1의 "하이"상태에 의해 비트라인 BL1에서는 스트링 선택트랜지스터 ST111만이 "온"하므로 메모리 스트링 MS11이 선택된다. 한편 SS1을 제외한 나머지 SS프리디코딩 신호들(SS2, SS3, SS4)은 모두 "하이"상태이므로 상기 메모리 스트링 선택수단(422)의 NOR게이트(30)을 제외한 나머지 NOR게이트들(50, 70, 90)의 출력이 "로우"상태이므로 스트링 선택라인들(SSL2, SSL3, SSL4)상의 전위는 모두 "로우 상태이다(55).That is, since only the string select transistor ST111 is turned on in the bit line BL1 due to the " high state " of the string select line SSL1, the memory string MS11 is selected. On the other hand, since all of the SS predecoding signals SS2, SS3, and SS4 except for SS1 are in a high state, the remaining NOR gates 50, 70, and 90 except for the NOR gate 30 of the memory string selecting unit 422 are used. ), The potential of the string select lines SSL2, SSL3, and SSL4 is all in the low state because the output of the low frequency is low (55).

또한 S1을 제외한 나머지 S프리디코딩 신호들(S2-Sn)이 모두 "하이"상태이므로 워드라인 WL1에 게이트가 연결된 메모리셀 MC111외의 다른 메모리셀들(MC121-MC1n1)은 "온"상태이다(57).In addition, since all of the S predecoding signals S2-Sn except for S1 are in a high state, the memory cells MC121 to MC1n1 other than the memory cells MC111 having a gate connected to the word line WL1 are in the on state. ).

따라서 상기 선택된 메모리 스트링 MS11의 선택된 메모리셀 MC111의 정보가 상기 비트라인 BL1에 나타나므로 읽기 동작이 이루어지는 것이다. 상기 제3도의 회로에서 패스트랜지스터들(PT1-PTn)과 워드라인들(WL1-WL2n) 사이의 각 선로들상에 게이트들과 소오스 또는 드레인 단자들이 접속되고 각 드레인 또는 소오스단자들에 전원전압 VCC가 연결된 프리차아지 트랜지스터(PCT1-PCTn)은 워드라인 선택동작을 고속화하기 위해 비선택된 S프리디코딩 신호가 "하이"레벨로 가기전에 먼저 VCC레벨로 유지시켜 주는 역할을 한다. 예를 들어 워드라인 WL1이 선택되고나서 워드라인 WL2가 선택될 경우에는 S프리디코딩신호 S1이 "하이"상태로 되고 S프리디코딩신호 S2는 "로우"상태로 된다. 이때 상기 S1의 "하이"레벨로의 상승이 늦어지면 상기 워드라인 WL2의 선택동작이 자연히 늦어지고 동작상에도 오류가 발생할 수 있는 것이다.Therefore, since the information of the selected memory cell MC111 of the selected memory string MS11 appears on the bit line BL1, a read operation is performed. In the circuit of FIG. 3, gates and source or drain terminals are connected on respective lines between the fast transistors PT1 -PTn and the word lines WL1 -WL2n, and a power supply voltage VCC is connected to each drain or source terminal. The precharge transistors PCT1-PCTn connected to the first precharge transistors PCT1-PCTn maintain the VCC level before the unselected S predecoding signal goes to the high level to speed up the word line selection operation. For example, when the word line WL2 is selected after the word line WL1 is selected, the S pre decoding signal S1 is in a high state and the S pre decoding signal S2 is in a low state. At this time, if the rising to the high level of S1 is delayed, the selection operation of the word line WL2 is naturally delayed and an error may occur in operation.

그러나 상기 선로(1)상에 접속된 프리차아지 트랜지스터 PCT1은 이전의 "로우"상태에 의해 "하이"상태로 된 S1신호가 상기 선로(1)를 통과하기 전에 상기 선로(1)을 VCC레벨로 만들어 주기 때문에 상기한 동작상의 문제점을 방지할 수 있는 것이다.However, the precharge transistor PCT1 connected on the line 1 has the VCC level before the S1 signal, which is in a high state due to a previous low state, passes through the line 1. Since the above problems can be prevented.

상기한 프리차아지 트랜지스터들(PCT1-PCTn)의 존재가 워드라인 선택동작은 물론 독출동작을 보다 고속화시킬 수 있음을 이 분야에서 통상의 지식을 가진자는 쉽게 이해할 수 있을 것이다.Those skilled in the art will readily understand that the presence of the precharge transistors PCT1-PCTn can speed up the read operation as well as the word line selection operation.

상술한 본 발명의 실시예에 있어서는 두개의 워드라인만을 묶은 구조를 보였으나 전체 메모리장치의 크기와 동작상에 문제가 없는 범위내에서 여러개의 워드라인을 묶는 방법등, 다른 방법들도 가능할 것이다. 또한 상기 실시예에 있어서는 프리차아지용 트랜지스터로 디플리션형 NMOS전계효과 트랜지스터를 사용하였으나 상기 트랜지스터와 동일한 동작이 가능한 다른 구성수단 및 소자들도 가능한 것이다. 또한 상기 실시예에서는 패스용 트랜지스터로 NMOS전계효과를 트랜지스터를 사용하고 있으나, 상기 트랜지스터와 동일한 동작 및 효과가 가능한 다른 구성수단 및 소자들도 가능할 것이다.In the above-described embodiment of the present invention, a structure in which only two word lines are bundled, but other methods, such as a method of tying a plurality of word lines within a range where there is no problem in the size and operation of the entire memory device, may be possible. In the above embodiment, a depletion-type NMOS field effect transistor is used as the precharge transistor, but other constituent means and elements capable of the same operation as the transistor are also possible. In addition, in the above embodiment, the NMOS field effect transistor is used as the pass transistor, but other constituent means and elements capable of the same operation and effect as the transistor may be possible.

상술한 바와 같이 본 발명은 복수개의 메모리 스트링마다 워드라인을 묶고 외부에서 프리디코딩 되어 들어오는 신호를 받아 워드라인들을 디코딩함으로써 메모리셀의 미세화에 따른 레이아웃상의 제한요소를 줄이고 전체칩의 크기를 줄일 수 있는 잇점이 있다. 또한 본 발명은 포화영역에서 동작하는 디플리션형 트랜지스터를 이용하여 작은 크기의 트랜지스터에서도 전원전압 VCC레벨로의 프리차아지가 가능하도록 함으로써 고속의 독출동작이 이루어지도록 하는 효과가 있다.As described above, the present invention binds word lines to a plurality of memory strings and receives a pre-decoded signal from the outside to decode word lines, thereby reducing layout limitations due to miniaturization of memory cells and reducing the size of the entire chip. There is an advantage. In addition, the present invention has the effect of enabling a high speed read operation by enabling precharging to a power supply voltage VCC level even in a small transistor using a depletion transistor operating in a saturation region.

Claims (20)

하나의 비트라인과 소정 갯수의 워드라인들과, 상기 비트라인과 워드라인들에 의해 선택되는 낸드형 메모리셀들로 각각 구성된 다수의 메모리 스트링들과, 워드라인 디코더들을 구비하는 반도체 메모리장치에 있어서, 상기 워드라인 디코더들이 서로다른 메모리 스트링내에 있는 복수개의 워드라인들에 각각 연결되어, 임의의 워드라인디코더가 복수개의 워드라인을 선택할 수 있음을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.A semiconductor memory device comprising one bit line and a predetermined number of word lines, a plurality of memory strings each consisting of NAND memory cells selected by the bit lines and word lines, and word line decoders. And the word line decoders are respectively connected to a plurality of word lines in different memory strings so that any word line decoder can select the plurality of word lines. 제1항에 있어서, 상기 임의의 워드라인 디코더에 의해 선택되는 복수개의 워드라인들이 복수개의 메모리 스트링들 사이에서 상기 비트라인으로부터 동등한 위치에 있는 메모리 셀들에 각각 하나씩 접속됨을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein a plurality of word lines selected by the word line decoder are connected to memory cells at equal positions from the bit lines among the plurality of memory strings. 로우어드레스 디코더(600)와 컬럼 어드레스 디코더(200)와 메모리셀 어레이(100)를 구비한 반도체 메모리장치에 있어서, 워드라인 디코더(400)가 상기 로우어드레스 디코더(600)로부터 소정의 외부 어드레스 신호들을 입력하여 메모리 스트링 및 워드라인을 선택하기 위한 소정 신호들을 출력하는 어드레스 입력수단(411)과, 소정의 외부 어드레스신호들을 프리디코딩하여 상기 메모리 스트링을 선택하기 위한 신호들을 출력하는 제1디코딩수단(510)과, 소정의 외부 어드레스 신호들을 프리디코딩하여 워드라인들을 선택하기 위한 신호들을 출력하는 제2디코딩수단(520)과, 상기 어드레스 입력수단(411)의 소정 출력신호와 상기 제1디코딩수단(510)의 출력신호들을 입력하여 메모리 스트링을 선택하는 신호를 출력하는 메모리 스트링 선택수단(422)과, 상기 어드레스 입력수단(411)의 소정 출력신호와 상기 제2디코딩수단의 출력신호들을 입력하여 워드라인을 선택하는 신호를 출력하는 워드라인 선택수단(433)으로 구성되어 서로다른 메모리 스트링내에 있는 복수개의 워드라인들을 선택할 수 있음을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.In a semiconductor memory device including a low address decoder 600, a column address decoder 200, and a memory cell array 100, a word line decoder 400 receives predetermined external address signals from the low address decoder 600. Address input means 411 for inputting and outputting predetermined signals for selecting a memory string and a word line, and first decoding means 510 for outputting signals for selecting the memory string by predecoding predetermined external address signals. Second decoding means 520 for pre-decoding predetermined external address signals and outputting signals for selecting word lines, and a predetermined output signal of the address input means 411 and the first decoding means 510. Memory string selecting means 422 for outputting a signal for selecting a memory string by inputting output signals of A plurality of word lines in different memory strings comprising word line selecting means 433 for inputting a predetermined output signal of the input means 411 and output signals of the second decoding means to output a signal for selecting a word line. The semiconductor memory device, characterized in that can be selected. 제3항에 있어서, 상기 어드레스 입력수단(411)이 서로 반전된 두개의 출력신호들을 가짐을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.4. The semiconductor memory device according to claim 3, wherein said address input means (411) has two output signals inverted from each other. 제3항에 있어서, 상기 어드레스 입력수단(411)이 외부 입력어드레스 신호들의 변화를 감지할 수 있는 신호를 출력할 수 있음을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.4. The semiconductor memory device according to claim 3, wherein the address input means (411) can output a signal capable of detecting a change in external input address signals. 제3항에 있어서, 상기 제1 및 제2디코딩수단(520)의 출력신호들이 메모리칩의 외부에서 공급될 수 있음을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.4. The semiconductor memory device according to claim 3, wherein the output signals of the first and second decoding means (520) can be supplied from the outside of the memory chip. 제3항에 있어서, 상기 메모리 스트링 선택수단(422)이 상기 제1디코딩수단(510) 출력신호들의 상태에 따라 메모리 스트링을 선택함을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.4. The semiconductor memory device according to claim 3, wherein the memory string selecting means (422) selects the memory string according to the states of the output signals of the first decoding means (510). 제3항에 있어서, 상기 워드라인 선택수단(433)이 상기 제2디코딩수단(520)의 각 출력신호 단자들과 소오스 또는 드레인들이 연결되고 게이트들이 상기 어드레스 입력수단(411)의 소정 출력신호 단자와 연결되고 드레인 또는 소오스들이 복수개로 묶여진 워드라인들의 접속점에 각각 연결된 패스용 트랜지스터들과, 소오스 또는 드레인들이 전원전압 단자에 연결되고 게이트들과 드레인 또는 소오스들이 상기 워드라인들의 접속점과 상기 패스용 트랜지스터들의 각 선로들상에 공통으로 연결된 프리차아지용 트랜지스터들을 구비함을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.4. The word line selecting means 433 of claim 3, wherein the word line selecting means 433 is connected to each output signal terminal of the second decoding means 520 and a source or a drain thereof, and gates thereof are predetermined output signal terminals of the address input means 411. Pass transistors connected to the connection points of the word lines having a plurality of drains or sources connected to each other, source or drains connected to a power supply voltage terminal, and gates and drains or sources connected to the connection points of the word lines and the pass transistors. And precharge transistors commonly connected to respective lines of the plurality of lines. 제8항에 있어서, 상기 패스용 트랜지스터들이 상기 제2디코딩수단(520)의 출력신호들을 워드라인들로 게이팅함을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.9. The semiconductor memory device according to claim 8, wherein the pass transistors gate the output signals of the second decoding means (520) to word lines. 제9항에 있어서, 상기 패스용 트랜지스터들이 N형의 절연게이트 전계효과 트랜지스터들로 될 수 있음을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.10. The semiconductor memory device according to claim 9, wherein the pass transistors may be N-type insulated gate field effect transistors. 제8항에 있어서, 상기 프리차아지용 트랜지스터들의 드레쉬홀드전압이 OV 이하임을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.10. The semiconductor memory device according to claim 8, wherein the threshold voltage of the precharge transistors is equal to or less than OV. 제11항에 있어서, 상기 프리차이지용 트랜지스터들이 포화영역에서 동작하는 절연게이트 전계효과 트랜지스터들로 될 수 있음을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.12. The semiconductor memory device according to claim 11, wherein the precharge transistors may be insulated gate field effect transistors operating in a saturation region. 반도체 메모리장치의 워드라인 디코더에 있어서, 외부 입력어드레스 신호들의 변화를 감지하여 메모리 스트링과 워드라인을 선택할 수 있는 소정 신호들을 발생하는 어드레스 입력수단과, 상기 어드레스 입력수단의 소정 출력신호와 외부에서 프리디코딩된 소정의 신호를 입력하여 상기 메모리 스트링을 선택하는 메모리 스트링 선택수단과, 상기 어드레스 입력수단의 소정 출력신호와 외부에서 프리디코딩된 소정의 신호를 입력하여 상기 워드라인을 선택하는 워드라인 선택수단으로 구성됨을 특징으로 하는 워드라인 디코더.A word line decoder of a semiconductor memory device, comprising: address input means for detecting a change in external input address signals to generate predetermined signals for selecting a memory string and a word line, a predetermined output signal of the address input means, and an external free signal; Memory string selecting means for selecting the memory string by inputting a predetermined signal decoded, and word line selecting means for selecting the word line by inputting a predetermined output signal of the address input means and a predetermined signal externally decoded Word line decoder, characterized in that consisting of. 제13항에 있어서, 상기 워드라인 선택수단이 상기 외부에서 프리디코딩된 소정 신호들의 각 단자들과 소오스 또는 드레인들이 연결되고 각각의 게이트들이 상기 어드레스 입력수단의 소정 출력신호단자와 연결되고 드레인 또는 소오스들이 워드라인들과 각각 연결된 패스용 트랜지스터들과, 소오스 또는 드레인들이 전원전압 단자에 연결되고 게이트들과 드레인 또는 소오스들이 상기 워드라인들과 상기 패스트랜지스터들 사이의 각 선로들상에 공통으로 연결된 프리차아지용 트랜지스터들을 구비함을 특징으로 하는 워드라인 디코더.The method of claim 13, wherein the word line selecting means is connected to a source or a drain of each of the predetermined signals pre-decoded from the outside, and each of the gates is connected to a predetermined output signal terminal of the address input means and is connected to a drain or source. Pass transistors connected to word lines, and a source or drain connected to a power supply voltage terminal, and gates and drains or sources connected to each other between the word lines and the fast transistors. A word line decoder comprising charge transistors. 제14항에 있어서, 상기 패스용 트랜지스터들이 상기 외부에서 프리디코딩된 신호들을 상기 워드라인들로 게이팅함을 특징으로 하는 워드라인 디코더.15. The wordline decoder of claim 14, wherein the pass transistors gate the externally predecoded signals to the wordlines. 제15항에 있어서, 상기 패스용 트랜지스터들이 N형의 절연게이트 전계효과 트랜지스터들로 될 수 있음을 특징으로 하는 워드라인 디코더.16. The word line decoder of claim 15, wherein the pass transistors may be N-type insulated gate field effect transistors. 제14항에 있어서, 상기 프리차아지용 트랜지스터들의 드레쉬홀드전압이 OV 이하임을 특징으로 하는 워드라인 디코더.15. The word line decoder of claim 14, wherein the threshold voltage of the precharge transistors is equal to or less than OV. 제17항에 있어서, 상기 프리차아지용 트랜지스터들이 포화영역에서 동작하는 절연게이트 전계효과 트랜지스터들로 될 수 있음을 특징으로 하는 워드라인 디코더.18. The word line decoder of claim 17, wherein the precharge transistors may be insulated gate field effect transistors operating in a saturation region. 하나의 비트라인과 소정 갯수의 워드라인들과 상기 비트라인과 워드라인들에 의해 선택되는 낸드형 메모리셀들로 각각 구성된 다수의 메모리 스트링들을 가지는 반도체 메모리장치에 있어서, 상기 다수의 메모리 스트링들중 서로다른 메모리 스트링내에 있는 복수개의 워드라인들에 각각 연결되어 임의의 워드라인 디코더가 복수개의 워드라인을 선택하는 워드라인 디코더와, 상기 워드라인들 각각에 전원전압레벨의 프리차아지를 할 수 있는 프리차아지용 트랜지스터를 구비함을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.A semiconductor memory device having one bit line, a predetermined number of word lines, and a plurality of memory strings each consisting of NAND type memory cells selected by the bit lines and word lines, wherein: A word line decoder connected to a plurality of word lines in different memory strings so that any word line decoder selects a plurality of word lines, and a precharge for precharging a power supply voltage level to each of the word lines; A semiconductor memory device comprising a charge transistor. 제19항에 있어서, 상기 프리차아지용 트랜지스터가, 상기 워드라인에 게이트가 접속되고 상기 워드라인과 전원전압단과의 사이에 채널이 형성되는 디플리션형 트랜지스터로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.20. The semiconductor memory device according to claim 19, wherein the precharge transistor comprises a depletion transistor in which a gate is connected to the word line and a channel is formed between the word line and a power supply voltage terminal.
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