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KR930004082B1 - 감열식 유량 감지기 - Google Patents

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KR930004082B1
KR930004082B1 KR1019900012065A KR900012065A KR930004082B1 KR 930004082 B1 KR930004082 B1 KR 930004082B1 KR 1019900012065 A KR1019900012065 A KR 1019900012065A KR 900012065 A KR900012065 A KR 900012065A KR 930004082 B1 KR930004082 B1 KR 930004082B1
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resistor
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마사노리 이나다
히찌로 오오따니
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미쯔비시 덴끼 가부시끼가이샤
시끼 모리야
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    • G—PHYSICS
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Abstract

내용 없음.

Description

감열식 유량 감지기
제1a 내지 1c도는 본 발명의 실시예에 의한 감열 저항체의 각각의 구성도.
제2도는 감열식 유량 감지기의 동작의 모식도.
제3도는 종래의 감열식 유량 감지기의 구성도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
2 : 기판 3 : 감열 저항체
3a : 세라믹 기판 8 : 감열 저항부
9 : 리드 단자 10 : 통전용 리드
12 : 지지부재 13 : 금속판
본 발명은 감열 저항체(가열 저항체)를 쓴 유체의 유량을 검출하는 감열식 유량 감지기에 관한 것이다.
유체중에 배설된 감열 저항체를 포함하는 브리지의 열평형 상태에서 유량을 검출하는 방식은 예컨대 실개소 61-108930호 공보에 개시되어 있는 유량 감지기가 종래부터 쓰이고 있는데 세라믹 기판상에 백금막 저항체를 형성한 감열 저항체를 가열 저항체로 하는 공기 유량 감지기가 있다.
제2도는 감열식 유량 감지기의 동작의 모식도를 도시하는 것이며, 유체의 주통로로 되는 하우징(1)내의 소정 위치에 기판(2)이 설치되며, 기판(2)에 감열 저항체(3) 및 공기 온 감지기(4)가 배설되며, 각각에 저항 R1, R2를 접속해서 브리지 회로가 구성되어 있다. 또, 차동 증폭기(101)의 양입력은 브리지 회로의 접속점 Db, f 접속되며 차동 증폭기(101)의 출력은 트랜지스터(102)의 베이스에 접속되며 에미터는 브리지 회로의 일단(a)에 접속되며, 콜렉터는 전원(103)의 정극에 접속되어 있다.
또, 제3도는 감열 저항체(3)의 유지 구조를 도시하는 것이며, 지지부재(7)상에 입설된 전기 접속용 리드를 겸하는 도전체로 이루는 1쌍의 계지부재(5)로 평면이 흐를 방향을 따르도록 상기 감열 저항체(3)가 계지부재(6)에서 전기적으로 접속되어 있다.
이상과 같이 구성한 유량 감지기의 동작의 설명은 생략하지만 접속점 b, f의 전압이 동등하게 되었을 때, 이 회로는 평형 상태에 도달하며, 이때, 감열 저항체(3)에는 유량에 대응한 전지 In이 흐르며, b점은 전압 VD는 IH×Ri로 나타내어지며, 이 전압 Ve가 유량신호로서 쓰인다.
상기와 같이 구성된 감열식 유량 감지기에 있어서, 피계측 유체의 유량 변화에 대한 검출 응답성을 높이기 위해 근래, 감열 저항체(3)에는 두께가 얇은 세라믹 기판(예컨대 0.2 내지 0.1mm)이 쓰이고 있는데, 제3도에 도시한 종래 구조인 것에 부착할 때, 또 사용중의 온도변화에 대한 각 부재의 왜곡등의 기계적 외력으로 파손한다는 문제가 있었다. 또, 계지부재(5)의 열전도율이 크기 때문에 감열 저항체(3) 보다 계지부재(5)로의 열손실이 크게되며, 이것에 의해서 계측 감도의 저하 및 계측 응답성의 악화를 초래한다는 문제도 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 이뤄진 것이며, 계측 감도 및 응답성이 양호한 감열식 유량 감지기를 얻는 것을 목적으로 한다. 본 발명에 관계하는 감열식 유량 감지기는 유체 통로중에 배설되며, 기판상에 형성된 감열 저항체와 복수의 저항으로 구성된 브리지 회로와, 상기 감열 저항체로의 통전 전류를 제어하며 상기 브리지 회로가 소정의 열평형을 유지하도록 제어하는 제어 회로로 구성되며, 열평형의 상태에 서 유량을 검출하는 감열식 유량 감지기에 있어서, 상기 감열 저항체의 각부로 되는 세라믹 기판의 기단부에 설치한 리드 단자가 통전용 리드와 접속되며, 상기 기판의 기단부를 통전용 리드와 더불어 열절연성의 지지부재에 배설하고 이 지지부재를 기대에 유지한 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 감열 저항체의 기단부가 지지부재에 매설되고 있으므로 온도 변화에 의한 왜곡에서 생기는 응력이 두께 방향으로 가해지는 일이 없으며, 또, 상기 지지부재가 열절연성 부재로 되기 때문에 지지부재로의 여전달이 근소하고 계측감도나 응답성의 저하도 생기는 일이 없다.
이하, 본 발명의 1실시예를 도면에 대해서 설명한다. 제1a도는 이 발명에 의한 감열식 유량 감지기의 구성도이며, 도면에 있어서 (3)은 감열 저항부(8)를 가지는 감열 저항체이며, 이 감열 저항체(3)의 기단부에 설치한 리드 단자(9)와 통전용 리드(10)가 리드(11)에 의해서 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 상기의 기단부를 통전용 리드(10)와 더불어 열절연성의 지지부재(12)에 매설하고 있다. 이 지지부재(12)는 그 주위를 금속판(13)으로 덮은 상태로 기대(2)에 부착하고 있다. 이같이 형성함으로서 감열 저항체(3)를 기대(2)의 1측면에서 돌출시켜서 지지할 수 있다.
상기와 같이 구성한 것으로 감열 저항체(3)는 그 각부로 되는 기단부만을 지지부재(12)에 매설했으므로 온도 변화에 의한 왜곡에서 생기는 응력이 두께 방향에 가해지는 일이 없으며, 상기 저항체(3)의 파손을 방지할 수 있다. 또, 지지부재(12)를 열절연성 부재로 형성했으므로 지지부재(12)로의 열전달이 미소하며, 계측감도 및 응답성의 저하는 생기지 않는다.
또한, 지지부재(12)에 기판(2)의 열팽창 계수와 동등한 저융점 유리를 쓰면 지지부재(12)의 매설강도가 높고 제조시의 작업성도 향상한다.
또, 이 발명의 실시예는 상기한 구성에 한하는 것은 아니며, 제1b도와 같이 감열 저항체(3)의 리드 단자(9)와 통전용 리드(10)와의 접속부를 지지부재(12)밖으로 노출시켜도 되며 또한, 제1c도와 같이 지지부재(12)와 기판(2)과의 접촉개소를 적게해서 지지부재로의 열전달을 한층 작게 할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이 이 발명에 의하면, 감열 저항체의 각부로 되는 세라믹 기판의 기단부에 설치한 리드 단자가 통전용 리드와 접속되며, 상기 세라믹 기판의 기단부를 상기 통전용 리드와 더불어 절연성의 지지부재에 매설하고, 이 지지부재를 기대로 유지하도록 했으므로 세라믹 기판에 기계적인 외력이 가함이 없고 감열 저항체를 파손없이 조립할 수 있다. 또, 감열 저항체의 기단부를 열절연성의 지지부재로의 열전달이 작고, 따라서, 계측감도 및 응답성이 우수한 감열식 유량 감지기가 얻어진다.

Claims (1)

  1. 유체 통로중에 매설되며 기판상에 형성된 감열 저항체와 복수의 저항으로 구성된 브리지회로와, 상기 감열 저항체로의 통전 전류를 제어하고 상기 브리지 회로가 소정의 열평형을 유지하도록 제어하는 제어회로로 구성되며, 열평형 상태에서 유량을 검출하는 감열식 유량 감지기에 있어서 상기 감열 저항체의 각부로 되는 기판의 기단부에 설치한 리드 단자가 통전용 리드와 접속되며, 상기 기판의 기단부를 통전용 리드와 더불어열절연성의 지지부재에 매설하고, 이 지지부재를 기대로 유지한 것을 특징으로 하는 감열식 유량 감지기.
KR1019900012065A 1989-08-29 1990-08-07 감열식 유량 감지기 Expired - Lifetime KR930004082B1 (ko)

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