KR920001190A

KR920001190A - 표면결함 검사장치

Info

Publication number: KR920001190A
Application number: KR1019910011074A
Authority: KR
Inventors: 가즈모또 다나까; 히데노리 이시이데; 쓰요시 스기하라; 아끼노리 우쓰노미야; 다쓰미 누끼마에
Original assignee: 후루다 노리마사; 마쓰다 가부시끼가이샤
Priority date: 1990-06-28
Filing date: 1991-06-28
Publication date: 1992-01-30

Abstract

내용 없음

Description

표면결함 검사장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제5A도 및 제5B도는, 각각, 본 발명에 관한 표면 결합 검사장치의 제1의 실시예의 작동원리를 설명하기 위한 도면,

제6A도 및 제6B도는, 각각, 피검사면에 볼록형상 및 오목 형상의 결함이 있을때의 카메라 화상의 형성상태를 타나내는 도면.

Claims

거울면으로서 기능하는 피검사면(11)에 대향하여 설치되고, 이 피검사면(11)에 향하여 빛을 조사하는 광조사 수단(13), (50), (60)과 상기한 피검사면(11)에서 반사된 상기의 광조사 수단(13), (50), (60)의 상을 촬영하기 위한 촬영수단(14), (54)과, 이 촬영수단(14), (54)으로 형성된 수광화상(15)에 기초하여, 피검사면(11)의 표면 결함부분을 검출하는 화상처리 수단(33)으로 구성된 표면결함 검사장치에 있어서, 상기한 광조사 수단(13), (50), (60)은, 상기 피검사면(11)에 향하여 소정의 변화모양을 갖는 빛을 조사하며, 상기한 촬영수단(14), (54)은, 상기의 광조사 수단(13), (50), (60)의 변화모양에 대응하는 수광화상(15)을 작성하고, 상기한 화상처리수단(33)은, 상기 촬영수단(14), (54)로 형성된 수광화상(15)에 기초하여, 이것이 변화모양과 크게 다른 곳을 식별하는 것에 의해, 피검사면(11)의 표면결함부분(12)을 검출하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제1항에 있어서, 상기한 광조사수단(13), (60)은, 상기의 피검사면(11)에 대하여 광도 분포에 강약이 부여되어 있는 빛을 조사하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제2항에 있어서, 상기한 광조사수단(13)은, 상기의 피검사면(11)에 향하여 소정의 방향에 따라서 광도가 큰것에서 작은것으로 서서히 변화하도록 설정된 광도분포를 갖는 빛을 조사하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제3항에 있어서, 상기한 촬영수단(14)은, 상기 피검사면(11)에서 반사된 상기의 광조사수단(13)의 상을 촬영하여, 상기한 광조사수단(13)의 광도분포에 대응하는 수광화상(15)을 작성하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제4항에 있어서, 상기한 화상처리 수단(33)은, 상기 촬영수단(14)에서 형성된 수광화상(15)에 기초하여, 광도분포의 변화상태가 주위와 크게 다른곳을 식별하는 것에 의해, 이 식별된 곳을 피검사면(11)의 표면결함부분(12)으로서 검출하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제5항에 있어서, 상기 화상처리 수단(33)은, 상기 표면결함부분(12)으로서 검출된 곳에서의 광도분포의 변화상태가, 주위의 광도분포의 변화 상태와 같은 경우에는, 이 표면결함부분(12)이 볼록형상으로 형성되어 있는 것으로 판별하고, 주위의 광도분포의 변화상태와 반대의 경우에는, 이 표면결함부분(12)이 오목형상으로 형성되어 있는 것으로 판별하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제1항에 있어서, 상기한 촬영수단(14), (54)은, 상기의 피검사면(11)에서 반사된 광조사수단(13), (50), (60)의 상을, 그 수광화상(15)의 형성범위의 전면에 걸쳐 촬영하도록 설정된 시야를 갖은 카메라를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제7항에 있어서, 상기한 촬영수단(14), (54)은, 상기의 수광화상(15)을 비디오 신호로 변환하는 비디오 신호발생수단을 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제8항에 있어서, 상기한 화상처리수단(33)은, 상기한 비디오 신호 발생 수단에서 출력된 비디오 신호를 처리하며, 이 처리된 수치가 미리 설정된 수치를 넘는 시간과, 그 변화상태로부터, 피검사면(11)상에 존재하는 표면결함부분(12)의 위치와 그 오목, 볼록 상태를 식별하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제2항에 있어서, 상기 광주사수단(60)은, 강약이 교대로 변화하도록 규정된 광도분포로 빛을 조사하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제10항에 있어서, 상기한 촬영수단(14)은, 상기의 피검사면(11)에서 반사된 광조사수단(60)의 상을 촬영하여, 이 광조사수단(60)의 광도분포에 대응하는 명암이 있는 수광화상(15)을 작성하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제11항에 있어서, 상기한 화상처리수단(33)은, 상기 촬영수단(14)에서 형성된 수광화상(15)에 기초하여, 이것의 밝은 부분 및 어두운 부분의 각각에 있어서 밝기가 주위와 크게 다른곳을 식별하는 것에의해, 이 식별된 곳을 피검사면(11)의 표면결함부부(12)으로 검출하는 것을 특징으로하는 표면결함 검사장치.
제1항에 있어서, 상기한 광조사수단(50)은, 상기의 피검사면(11)에 향해서 소정의 방향에 따라 간파장에서 짧은 파장으로 파장이 서서히 변화하도록 설정된 파장부포를 갖은 빛을 조사하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제13항에 있어서, 상기한 촬영수단(14)은, 상기의 피검사면(11)에서 반사된 상기 광조사수단(50)의 상을 촬영하여, 이 광조사수단(50)의 파장분포에 대응하는 파장부포를 갖는 수광화상(15)을 작성하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제14항에 있어서, 상기한 화상처리수단(33)은, 상기의 촬영수단(54)에서 형성된 수광화상(15)에 기초하여, 파장분포의 변화상태가 주위와 크게 다른 곳을 식별하는 것에 의해, 이 식별된 곳을 피검사면(11)의 표면결함부분(12)으로서 검출하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제15항에 있어서, 상기한 화상처리수단(33)은, 상기의 표면결함부분(12)으로서 검출된곳에 있어서의 파장분포의 변화상태가, 주위의 파장분포의 변화상태와 같은 경우에는 이 표면결함부분(12)이 볼록형상으로 형성되어 있는 것으로 판별하고, 주위의 파장분포의 변화상태와 반대의 경우에는, 이 표면결함부분(12)이 오목형상으로 형성되어 있는 것으로 판별하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제13항에 있어서, 상기한 광조사수단(50은, 이것을부터 조사되는 빛의 파장을, 가사광영역에 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제1항에 있어서, 상기한 광조사수단(50)은, 상기의 피검사면(11)에 향해여 소정의 방향에 따라 색이 미리 정해진 순서로 변화하는 색모양을 갖은 빛을 조사하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제18항에 있어서, 상기한 촬영수단(54)은, 상기의 피검사면(11)에서 반사된 상기 광조사수단(50)의 상을 촬영하여, 이 광조사수단(50)의 색모양에 대응하는 색모양을 갖은 수광화상(15)을 작성하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제19항에 있어서, 상기한 화상처리수단(33)은, 상기의 촬영수단(54)에서 형성된 수광화상(50)에 기초하여, 이것의 색모양의 변화상태가, 주위와는 크게 다른 곳을 식별하는 것에 의해, 이 식별된 곳을, 피검사면(11)의 표면결함부분(12)으로서 검출하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
제20항에 있어서, 상기한 화상처리수단(33)은, 상기의 표면결함부분(12)으로서 검출된 곳에 있어서의 색모양의 변화상태가, 주위의 색모양의 변화상태와 같은 경우에는, 이 표면결함부분(12)이 볼록형상으로 형성되어 있는 것으로 판별하고, 주위의 색모양의 변화상태와 반대의 경우에는, 이 표면결함부분(12)이 오목형상으로 형성되어 있는 것으로 판별하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.