KR910021571A - 코팅 두께 측정 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3a도는 본 발명의 한 실시예를 수행하는 장치의 구성을 나타내는 도시도, 제3b도는 둘절된 광의 관측된 강도 분포의 주사를 나타내는 도시도, 제3c도는 전송된 광 강도 분포와 카본 코팅 두께사이의 관계를 나타내는 특성 그래프, 제4a도는 본 발명의 다른 실시예를 나타내를 개략적인 다이어그램, 제4b도는 본 발명을 수행하는 동안 처리된 실험적인 예를 나타내는 개략적인 다이어그램, 제4c도는 굴절된 광의 강도와 본 발명의 예에서 형성된 카본 코팅 두께 사이에서의 관계를 나타내는 그래프, 제4d도는 여러 두께의 카본 코팅이 원료 가스의 상태를 변화시킴으로써 형성되는 본 발명의 예에서 굴절된 광 강도의 인-라인 측정 결과를 나타내는 타이밍 챠트도.
Claims (37)
- 원통형 부재 주변에 제공되는 코팅 두께를 측정하는 방법으로써, 측정광으로 상기 원통형 부재를 방사시키는 단계, 상기 코팅으로부터 유발된 광을 수신하는 단계 및, 코팅 두께를 검출하도록 광 강도를 측정하는 단계로 이루어지는 코팅 두께 측정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 코팅 두께는 코팅으로부터 반사된 광 강도를 측정함으로써 검출되는 코팅 두께 측정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 코팅 두께는 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통과하는 광 강도를 측정함으로써 검출되는 코팅 두께 측정 방법.
- 제3항에 있어서, 광학 시스템은 방사광으로부터 상기 원통형 부재를 통과하는 광을 선택하도록 제공되는 코팅 두께 측정 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 광학 시스템은 상기 원통형 부재의 영상이 투사되는 영상 형성 디바이스를 포함하는 코팅 두께 측정 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 광학 시스템은 평행 광선 광원, 제1집속렌즈, 시일드, 부재, 제2집속 렌즈 및, 단일축상에서 이런 순서로 배치된 광 검출기를 포함하며, 상기 평행 광선은 측정될 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통해 0%또는 100%전송도의 어느것도 갖지 않으며, 상기 평행 광선 광원과 상기 제1집속 렌즈사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 촛점 길이보다 길며, 상기 제1집속 렌즈와 상기 시일드 부재사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 촛점 거리와 같으며, 상기 제2집속 렌즈와 상기 광 검출기 사이의 거리는 상기 제2집속 렌즈의 촛점 길이와 같으며, 상기 시일드 부재는 상기 제1집속 렌즈에 의해 집광된 평행 광성 지점을 시일드하기에 충분한 크기를 가지며, 상기 원통형 부재는 거기에 수직인 방향으로 상기 평행 광선 광원에 근접한 측면상의 상기 제1집속 렌즈의 촛점에서 위치되며, 그리고 상기 원통형 부재 주변의 코팅막의 두께는 상기 광 검출기에 의해 수신된 광량에 의해 결정되는 코팅 두께 측정 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 광학 시스템을 평행 광선 광원, 제1집속렌즈, 상기 광원에 발생된 광 강도 및, 입사광 윈도우의 표면의 오염에 의한 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통과하는 광 강도의 변화를 보상하도록 광 강도를 측정하는 광 수신 수단, 제2 집속 렌즈 및, 단일축상에서 이런 순서로 배치된 광 검출기를 포함하며, 상기 평행 광선은 측정될 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통해 0%또는 100%전송도의 어느것도 갖지 않으며, 상기 평행광원과 상기 제1집속 렌즈사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 촛점 길이보다 길며, 상기 제1집속 렌즈와 상기 광 수신 수단 사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 촛점 거리와 같으며, 상기 제2집속 렌즈와 상기 광 검출기 사이의 거리는 상기 제2집속 렌즈의 촛점 길이와 같으며, 상기 원통형 부재는 거기에 수직인 방향으로 상기 평행 광선 광원에 근접한 측면상의 상기 제1집속 렌즈의 촛점에서 위치되며, 그리고 상기 제1집속 렌즈의 촛점에서 위치되며, 그리고 상기 원통형 부재 주변의 코팅막의 두께는 상기 광 검출기에 의해 수신된 광량에 의해 결정되는 코팅 두께 측정 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 광학 시스템은 평행 광선 광원, 제1접속 렌즈, 상기 광원에 의해 발생된 광 강도 및, 입사광 윈도우의 표면의 오염에 의한 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통과하는 광 강도의 변화를 보상하도록 일부광의 광 강도를 검출하는 광 강도 검출 수단으로 지정될 일부의 광의 광학 경로를 변화시키는 반사 수단, 제2집속 렌즈 및 단일축상에서 이런 순서로 배치된 광 검출기를 포함 하며, 상기 평행 광선을 측정될 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통해 0%또는 100%전송도의 어느것도 갖지 않으며, 상기 평행 광선 광원과 상기 제1접속 렌즈사이의 거리는 상기 제1접속 렌즈의 길이보다 길며, 상기 제1접속 렌즈와 상기 반사 수단사이의 거리는 상기 제1접속 렌즈의 촛점 거리와 같으며, 상기 제2접속 렌즈와 상기 광 검출기 사이의 거리는 상기 제2접속 렌즈의 촛점길이와 같으며, 상기 원통형 부재는 거기에 수직인 방향으로 상기 평행 광선 광원에 근접한 측면상의 상기 제1접속 렌즈의 촛점에서 위치되며, 그리고 상기 원통형 부재 주변의 코팅막의 두께는 상기 광 검출기에의해 수신된 광량에 의해 결정되는 코팅 두께 측정 방법.
- 제2항에 있어서, 광학 시스템에 대한 상기 원통형 부재의 위치는 상기 원통형 부재의 검출된 상대 위치에 의해 상기 코팅의 두께를 교정하도록 검출되는 코팅 두께 측정 방법.
- 제3항에 있어서, 광학 시스템에 대한 상기 원통형 부재의 위치는 상기 원통형 부재의 검출된 상대 위치에 의해 상기 코팅의 두께를 교정하도록 검출되는 코팅 두께 측정 방법.
- 제2항에 있어서, 광학 시스템에 대한 상기 원통형 부재의 위치는 상기 광학 시스템의 배치를 조정하도록 검출되는 코팅 두께 측정 방법.
- 제3항에 있어서, 광학 시스템에 대한 상기 원통형 부재의 위치는 상기 광학 시스템의 배치를 조정하도록 검출되는 코팅 두께 측정 방법.
- 원통형 부재 부변에 제공된 코팅 두께 측정 장치로서, 측정광으로 상기 원통형 부재를 방사시키는 방수수단, 상기 코팅으로 부터 유발된 광을 수신하는 광 수신 수단 및, 코팅 두께를 검출하도록 광 강도를 측정하는 측정 수단을 포함하는 코팅 두께 측정 장치.
- 제13항에 있어서, 코팅 두께는 코팅으로부터 반사된 광 강도를 측정함으로써 검출되는 코팅 두께 측정 장치.
- 제13항에 있어서, 코팅 두께는 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통과하는 광 강도를 측정함으로써 검출되는 코팅 두께 측정 장치.
- 제15항에 있어서, 광학 시스템은 방사광으로부터 상기 원통형 부재를 통과하는 광을 선택하도록 제공되는 코팅 두께 측정 장치.
- 제16항에 있어서, 상기 광학 시스템은 상기 원통형 부재의 영상이 투사되는 영상 형성 디바이스를 포함하는 코팅 두께 측정 장치.
- 제16항에 있어서, 상기 광학 시스템은 평향 광선 광원, 제1집속렌즈, 시일드, 부재, 제2집속렌즈 및, 단일축상에서 이런 순서로 배치된 광 검출기를 포함하며, 상기 평행 광선은 측정될 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통해 0% 또는 100% 전송도의 어느것도 갖지 않으며, 상기 평행 광원과 상기 제1집속 렌즈 사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 촛점 길이보다 길며, 상기 제1집속 렌즈와 상기 시일드 부재사이의 거리는 상기 제1집속렌즈의 촛점 거리와 같으며, 상기 제2집속 렌즈와 상기 광 검출기 사이의 거리는 상기 제2집속 렌즈의 촛점 길이와 같으며, 상기 시일드 부재는 상기 제1집속 렌즈에 의해 집광된 평행 광선 지점을 시일드하기에 충분한 크기를 가지며, 상기 원통형 부재는 거기에 수직인 방향으로 상기 평행 광선 광원에 근접한 측면상의 상기 제1집속 렌즈의 촛점에서 위치되며, 그리고 상기 원통형 부재 주변의 코팅막의 두께는 상기 광 검출기에 의해 수신된 광량에 의해 결정되는 코팅 두께 측정 방법.
- 제16항에 있어서, 상기 광학 시스템은 평행 광선 광원, 제1집속렌즈, 시일드, 상기 광원에 의해 발생된 광 강도 및, 입사광 윈도우의 표면의 오염에 의한 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통과하는 광 강도의 변화를 보상하도록 광 강도를 측정하는 광 수신 수단, 제2집속 렌즈 및, 단일축상에서 이런 순서로 배치된 광 검출기를 포함하며, 상기 평행 광선은 측정될 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통해 0% 또는 100% 전송도의 어느것도 갖지 않으며, 상기 평행 광선 광원과 상기 제1집속 렌즈사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 촛점 길이보다 길며, 상기 제1집속렌즈와 상기 광 수신 사단사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 촛점 거리와 같으며, 상기 제2집속 렌즈와 상기 광 검출기 사이의 거리는 상기 제2집속 렌즈의 촛점 길이와 같으며, 상기 원통형 부재는 거기에 수직인 방향으로 상기 평행 광선 광원에 근접한 측면상의 상기 제1집속 렌즈의 촛점에서 위치되며, 그리고 상기 원통형 부재 주변의 코팅막의 두께는 상기 광 검출기에 의해 수신된 광량에 의해 결정되는 코팅 두께 측정 방법.
- 제16항에 있어서, 상기 광학 시스템은 평행 광선 광원, 제1집속 렌즈, 상기 광원에 의해 발생된 광 강도 및, 입사광 윈도우의 표면의 오염에 의한 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통과하는 광 강도의 변화를 보상하도록 광의 일부의 광 강도를 검출하는 광 강도의 검출 수단으로 지정된 광의 일부와 광학 경로를 변화시키는 반사수단, 제2집속렌즈 및, 단일축상에서 이런 순서로 배치된 광 검출기를 포함 하며, 상기 평행 광선은 측정될 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통해 0% 또는 100% 전송도의 어느것도 갖지 않으며, 상기 평행 광선 광원과 상기 제1집속 렌즈 사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 길이보다 길며, 상기 제1집속 렌즈와 상기 반사 수단사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 촛점 거리와 같으며, 상기 제2집속 렌즈와 상기 광 검출기 사이의 거리는 상기 제2집속 렌즈의 촛점 길이와 같으며, 상기 원통형 부재는 거기에 수직인 방향으로 상기 평행 광선 광원에 근접한 측면상의 상기 제1집속 렌즈의 촛점에서 위치되며, 그리고 상기 원통형 부재 주변의 코팅막의 두께는 상기 광 검출기에 의해 수신된 광량에 의해 결정되는 코팅 두께 측정 방법.
- 제14항에 있어서, 광학 시스템에 대한 상기 원통형 부재의 검출된 상대 위치에 의해 상기 코팅의 두께를 교정하도록 검출되는 코팅 두께 측정 장치.
- 제15항에 있어서, 광학 시스템에 대한 상기 원통형 부재의 위치는 상기 원통형 부재의 검출된 상대 위치에 의해 상기 코팅의 두게를 교정하도록 검출되는 코팅 두께 측정 장치.
- 제14항에 있어서, 광학 시스템에 대한 상기 원통형 부재의 위치는 상기 광학 시스템의 배치를 조정하도록 검출되는 코팅 두께 측정 장치.
- 제15항에 있어서, 광학 시스템에 대한 상기 원통형 부재의 위치를 상기 광학 시스템의 배치를 조정하도록 검출되는 코팅 두께 측정 장치.
- 코팅이 제공되는 광섬유 제조를 위한 광섬유 제조 시스템으로서, 노출한(bare)광섬유 제조를 위한 광섬유 제조 수단, 상기 노출한 광섬유 주변에 코팅을 제공하는 코팅 수단 및, 상기 코팅 두께를 광학적으로 측정하는 측정 수단을 포함하며, 상기 코팅 수단에 공급될 많은 코팅 물질은 상기 측정 수단에 의해 검출되는 상기 코팅의 두께의 변화에 따라 제어되는 광섬유 제조 시스템.
- 제25항에 있어서, 상기 측정 수단은, 측정광으로 상기 원통형 부재를 방사시키는 방사 수단, 상기 코팅으로부터 유발된 광을 수신하는 광 수신 수단 및, 코팅의 두께를 검출하도록 광의 강도를 측정하는 측정 수단을 포함하는 광 섬유 제조 시스템.
- 제26항에 있어서, 코팅 두께는 코팅으로부터 반사된 광 강도를 측정함으로써 검출되는 광섬유 제조 시스템.
- 제26항에 있어서, 코팅 두께는 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통과하는 광 강도를 측정함으로써 검출되는 광섬유 제조 시스템.
- 제28항에 있어서, 광학 시스템은 방사광으로부터 상기 원통형 부재를 통과하는 광을 선택하도록 제공되는 광섬유 제조 시스템.
- 제29항에 있어서, 상기 광학 시스템은 상기 원통형 부재의 영상의 투사되는 영상 형성 디바이스를 포함하는 광 섬유 제조 시스템.
- 제29항에 있어서, 상기 광학 시스템은 평행 광선 광원, 제1집속렌즈, 시일드, 부재, 제2집속렌즈 및, 단일 축상에서 이런 순서로 배치된 광 검출기를 포함하며, 상기 평행 광선은 측정될 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통해 0% 또는 100% 전송도의 어느것도 갖지 않으며, 상기 평행 광원과 상기 제1집속 렌즈 사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 촛점 길이보다 길며, 상기 제1집속 렌즈와 상기 시일드 부재사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 촛점거리와 같으며, 상기 제2집속 렌즈와 상기 광 검출기 사이의 거리는 상기 제2집속 렌즈의 촛점 길이와 같으며, 상기 시일드 부재는 상기 제1집속 렌즈에 의해 집광된 평행 광선 지점을 시일드하기에 충분한 크기를 가지며, 상기 원통형 부재는 거기에 수직인 방향으로 상기 평행 광선 광원에 근접한 측면상의 제1집속렌즈의 촛점에서 위치되며, 그리고 상기 원통형 부재 주변의 코팅막의 두께는 상기 광 검출기에 의해 수신된 광량에 의해 수신되는 광섬유 제조 시스템.
- 제29항에 있어서, 상기 광학 시스템은 평행 광선 광원, 제1접속 렌즈, 상기 광원에 의해 발생된 광 강도 및, 입사광 윈도우의 표면의 오염에 의한 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통과하는 광 강도의 변화를 보상하도록 광의 일부의 광 강도를 측정하는 광 수신 수단, 제2집속 렌즈 및, 단일축상에서 이런 순서로 배치된 광 검출기를 포함 하며, 상기 평행 광선을 측정될 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통해 0% 또는 100%전송도의 어느것도 갖지 않으며, 상기 평행 광선 광원과 상기 제1집속 렌즈사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 촛점 길이보다 길며, 상기 제1집속 렌즈와 상기 반사 수단사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 촛점 거리와 같으며, 상기 제2집속 렌즈와 상기 광 검출기 사이의 거리는 상기 제2집속 렌즈의 촛점 길이와 같으며, 상기 원통형 부재는 거기에 수직인 방향으로 상기 평행 광선 광원에 근접한 측면상의 상기 제1집속 렌즈의 촛점에서 위치되며, 그리고 상기 원통형 부재 주변의 코팅막의 두께는 상기 광 검출기에 의해 수신된 광량에 의해 결정되는 광섬유 제조 시스템.
- 제29항에 있어서, 상기 광학 시스템은 평행 광선 광원, 상기 광원에 의해 발생된 광 강도 및, 입사광 윈도우의 표면의 오염에 의한 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통과하는 광 강도의 변화를 보상하도록 광을 일부의 광 강도를 검출하는 광 세기 검출 수단으로지정될 광의 광학 경로를 변화시키는 반사수단, 제2집속렌즈 및, 단일축상에서 이런 순서로 배치된 광 검출기를 포함하며, 상기 평행 광선을 측정될 코팅을 가진 상기 원통형 부재를 통해 0% 또는 100% 전송도의 어느것도 갖지 않으며, 상기 평행 광선 광원과 상기 제1집속 렌즈사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 촛점 길이보다 길며, 상기 제1집속 렌즈와 상기 광 수신 수단사이의 거리는 상기 제1집속 렌즈의 촛점 거리와 같으며, 상기 제2집속 렌즈와 상기 광 검출기 사이의 거리는 상기 제2집속 렌즈의 촛점 길이와 같으며, 상기 원통형 부재는 거기에 수직인 방향으로 상기 평행 광선 광원에 근접한 측면상의 상기 제1집속 렌즈의 촛점에서 위치되며, 그리고 상기 원통형 부재 주변의 코팅막의 두께는 상기 광 검출기에 의해 수신된 광량에 의헤 결정되는 광섬유 제조 시스템.
- 제27항에 있어서, 광학 시스템에 대한 상기 원통형 부재의 위치는 상기 원통형 부재의 검출된 상대 위치에 의해 상기 코팅의 두께를 교정하도록 검출되는 광섬유 제조 시스템.
- 제28항에 있어서, 광학 시스템에 대한 상기 원통형 부재의 위치는 상기 원통형 부재의 검출된 상대 위치에 의해 상기 코팅의 두께를 교정하도록 검출되는 광섬유 제조 시스템.
- 제27항에 있어서, 광학 시스템에 대한 상기 원통형 부재의 위치는 상기 광학 시스템의 배치를 조정하도록 검출되는 광섬유 제조 시스템.
- 제28항에 있어서, 광학 시스템에 대한 상기 원통형 부재의 위치는 상기 광학 시스템의 배치를 조정하도록 검출되는 광섬유 제조 시스템.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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