KR910005158B1

KR910005158B1 - 진공연속 처리장치

Info

Publication number: KR910005158B1
Application number: KR1019880005390A
Authority: KR
Inventors: 마사이에 도오까이; 미노루 구로이와; 시노부 에자끼
Original assignee: 가부시기가이샤 히다찌세이사꾸쇼; 미다 가쓰시게
Priority date: 1987-06-05
Filing date: 1988-05-10
Publication date: 1991-07-23
Also published as: EP0293929B1; EP0293929A1; US5016561A; KR890000226A; DE3865532D1

Abstract

내용 없음.

Description

진공연속 처리장치

도면은 본 발명에 관한 진공연속 처리장치의 실시예의 설명도로서,

제1도는 진공연속 처리장치의 개략 종단면도.

제2도는 제1도의 개략 평면도.

제3도는 시일장치 부분의 종단면도.

제4도는 제3도의 A-A 단면도.

제5도는 제3도의 B-B 단면도.

제6도는 안내부재의 다른 실시예의 단면도.

제7도는 안내부재의 또다른 실시예의 단면도.

제8도는 장력 부여수단의 실시예의 설명도로서 그 단면도.

제9도는 제8도의 일부 측면도.

제10도는 장력부여 로울의 상세도.

제11도는 피처리물의 장력검출수단의 설명도.

제12도는 장력검출수단의 다른 실시예의 설명도.

제13도는 장력검출수단의 제어계의 블록도.

제14도, 제15도 및 제16도는 또다른 실시예의 설명도로서, 제14도는 제3도의 D-D의 단면도.

제15도는 제14도의 G부 확대도.

제16도는 편심의 설명도.

제17도는 시일장치 부분의 다른 실시예의 종단면도.

제18도는 제17도의 A-A 단면도.

제19도는 제17도의 C 사시도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 진공처리실 2, 3 : 예비진공실

4, 6 : 진공펌프 5, 7 :배기도관

8 : 풀어내기축 9, 10, 25 : 가이드로울

11 : 감아들임축 12a, 12b : DC 모터

13 : 상케이스 14 : 하케이스

15 : 시일블럭 16 : 핸들

17 : 감속기 18 : 기어

19 : 볼나사 20 : 너트

21 : 기둥 22 : 가이드

23 : 0링 26 : 로울

101a, 101b : 에어분출구 102a, 102b : 에어도입경로

26 : 장력부여용아암 27 : 안내판

28 : 안내봉 29 : 에어실린더

30 : 에어피스톤 31 : 회전용아암

32 : 오일시일 33, 34 : 베어링하우징

37 : 장력검출기 42 : 비교기

44 : 편심베어링 66 : 스탭모터

본 발명은 플라스틱 성형품 예를 들면 폴리에틸렌 테레프타레이트(polyethylene terephthalate) (이하 PET라함) 피름, 천연 혹은 합성섬유 또는 도장강판 등의 피처리물을 연속적으로 진공상태에서 처리, 예를 들면 플라즈마처리, 증착등의 처리를 행하는 장치에 관한 것이다.

이 종류의 진공연속 처리장치는 미국특허 제3,057,792호와 같이 슬릿상의 시일장치를 가지는 것이 있다. 이 장치는 슬릿상의 시일장치로 시일하는 장치의 것이고, 피처리물이 시일부분에 접촉하여 피처리물이 손상된다고 하는데에 관해서는 배려되어 있지 않았다. 그러므로 투명도전막등의 고급피처리물의 처리에는 적당하지 못했다. 또 그 외에 일본국 특개소 62-4866호에 개시된 것이 있으나 피처리물의 장력을 검출하는 수단이 없기 때문에, 피처리물이 이완되거나, 주름이 발생하는 것에 대하여 배려되어 있지 않았다. 또한 슬릿의 사이에 먼지가 침입하여 피처리물을 손상시킨다는 점에 관해서도 배려되어 있지 않았다.

본 발명의 목적은 시일부분에 피처리물이 접촉하지 않기 때문에 피처리물을 손상하지 않고 따라서 투명도전막등의 고급피처리물의 처리에도 적합한 진공연속 처리장치를 제공하는데 있다.

또, 본 발명의 목적은 슬릿부분에 먼지가 침입하지 않기 때문에 피처리물을 손상하지 않고 따라서 상기한 고급 피처리물의 처리에도 적합한 진공연속 처리장치를 제공하는데 있다.

본 발명은 예비진공실이 피처리물을 통과시킴과 동시에 진공처리실을 처리실 밖으로부터 시일하는 슬릿상의 시일장치를 가지고, 그 시일장치의 전후 또는 한쪽에 피처리물을 안내하는 안내부재를 설치하고, 그 안내부재를 장력검출수단이 검출하는 피처리물의 장력에 따라 피처리물의 반송방향과 수직인 방향으로 이동 가능하게 설치하고, 상기 시일장치는 슬릿을 형성하는 부재를 피처리물의 반송방향과 수직방향으로 이동 가능하게 설치한 것이다.

상기 구성에 의하여, 피처리물을 슬릿상의 시일부재에 접촉하지 않도록 전후 또는 한쪽에 가이드로울을 배치하고, 피처리물의 두께에 따라 시일간격을 조절할 수 있다.

이에 의하여 피처리물에 다른 수단으로 장력을 가하므로서 피처리물을 시일부분에 접촉하는 일없이 반송할 수가 있다. 또 시일부분에서는 서로 섭동하는 부분이 없기 때문에 마모분말이 발생하여 피처리물에 부착하는 일은 없다. 또, 본원의 다른 발명은 예비진공실이 피처리물을 반송함과 동시에 진공처리실을 처리실밖으로 부터 시일하는 슬릿상의 시일장치를 가지고, 그 시일장치의 전후 또는 한쪽에 피처리물을 안내하는 안내부재를 설치하여 상기 슬릿부 내부에 에어분출구를 설치한 것이다.

상기 구성에 의하여 슬릿상 시일부분에 구비한 에어분출구로 부터 분출한 에어는 시일장치 외부로 부터의 먼지등의 침입물의 시일장치 내에의 침입을 방어한다. 또 피처리물의 시일장치내 반송시에 시일장치 외압과, 시일장치 내압의 차에 의하여 발생하는 난류(亂流)에 기인하는 피처리물의 진동, 이완 및 주름에 의한 피처리물의 위치의 변화로부터 발생하는 피처리물의 시일장치와의 접촉을 에어분출에 의한 피처리물의 에어부동(浮動)기능에 의하여 방지할 수 있다. 또한, 시일장치내에 존재하는 불순물의 시일장치내의 장치요소에의 퇴적을 피처리물 반송정지시에 시일장치 내부의 에어분출구로부터 분출한 에어에 의하여 청소하므로서 방지할 수 있다. 이에 의하여 피처리물의 시일장치내 반송시에 생기는 손상을 방지할 수 있게 된다.

또한, 본원의 다른 발명은 예비진공실이 피처리물을 반송함과 동시에 진공처리실을 처리실 밖으로부터 시일하는 슬릿상의 시일장치를 가지고, 그 시일장치의 전후 또는 한쪽에 피처리물을 안내하는 안내부재를 설치하고, 또 상기 피처리물의 두께를 측정하는 검출수단, 그 검출수단으로 부터의 신호에 의하여 슬릿상 시일장치간극을 제어하는 제어장치를 설치한 것이다.

상기 구성에 의하여, 피처리물두께 검출수단은 피처리물의 두께를 시일장치 앞쪽에서 검출하고, 그 검출수단으로 부터의 신호로 제어수단이 슬릿상 시일장치의 간극을 제어한다. 이에 의하여 슬릿상 시일장치의 간극은 피처리물의 두께에 따른 가장 적합한 것이되어 여러 가지 두께의 피처리물을 반송할 수가 있게 된다.

이하, 본 발명의 일실시예를 도면에 따라 설명한다. 제1도 및 제2도에 있어서, 1은 플라스틱필름 예를 들면 PET 필름과 같은 가요성의 피처리물(F)을 진공상태에서 연속적으로 플라즈마처리하는 진공처리실, 2는 진공처리실(1)의 전방측에 배치되는 예비진공실, 3은 진공처리실(1)의 후방측에 배치되는 예비진공실이고, 상기 진공처리실내에 이것에 접속되는 진공펌프(4)에 의하여 10^-1Torr 정도의 진공압력으로 유지하도록 배기도관(5)을 거쳐 진공배기 된다.

상기 예비진공실(2,3)은 이것에 접속되는 진공펌프(6)에 의하여 상기 진공처리실(1)내의 진공압력 보다 약간 높고, 또 대기압보다 단계적으로 감소되는 진공을 유지하도록 배기도관(7)을 거쳐 진공배기 된다.

처리되는 피처리물(F)은 풀어내기축(8)으로 부터 송출되어 전방측의 예비진공실내의 피처리물(F)의 장력을 제어하는 가이드로울(9)을 거쳐 전방측의 예비진공실(2)을 거쳐 진공처리실(1)에 보내지고, 여기서 프라즈마 처리된다.

그후 후방측의 예비진공실(3)을 거쳐 후방측 예비진공실내의 장력을 제어하는 가이드로울(10)을 거쳐 감아들임축(11)으로 감기여진다. 12a,12b는 피처리물(F)을 반송하기 위한 구동용 DC 모터이고, 상기 가이드로울(9,10)의 장력검출에 의하여 피처리물(F)을 주름을 발생시키는 일없이 반송하고, 또 반송속도를 적절히 조정한다.

제3도, 제4도 및 제5도는 상기 예비진공실(2,3)을 포함하는 시일장치 부분을 나타낸 것으로, 제4도는 제3도의 A-A 단면도이고, 제5도는 제3도의 B-B 단면도이다. 13은 상케이스, 14는 하케이스, 15는 상케이스(13)에 안내지지되는 시일블럭이고, 이들 상케이스(13), 하케이스(14), 시일블럭(15)으로 시일장치가 구성되어 있다. 피처리물(F)은 하케이스(14)와 시일블럭(15)으로 형성되는 슬릿의 사이를 접촉하지 않고 반송된다. 16은 핸들이고, 이것을 회전시키므로서 감속기(17), 기어(18), 볼나사(19) 및 너트(20)를 거쳐 시일블럭(15)과 일체적으로 형성되는 기둥(21) 및 시일블럭(15)을 피처리물(F)의 두께에 따라 상하 방향으로 움직이게 된다. 22는 가이드이고, 시일블럭(15)의 상하방향의 움직임을 안내한다. 23은 0링이고, 상케이스(13)와 시일블럭(15)의 사이의 시일을 한다.

0링(23)은 시일블럭(15)이 상하방향의 이동(최대 2㎜)에도 관계없이 상케이스(13)와 시일블럭(15)간의 시일을 하기 위하여 충분한 탄성체의 것을 사용하고 있다. 상케이스(13)와 시일블럭(15)의 사이드의 간극(24)은 시일블럭(15)이 원활하게 상하 이동하고, 또 공기의 누설량이 작아지도록 가능한 범위로 작게(예를 들면 30미크론)하고 있다. 25는 피처리물(F)을 안내하는 가이드로울이고, 하케이스(14)의 시일면과 피처리물(F)이 접촉하지 않도록 가이드로울(25)의 외주면의 높이를 하케이스(14)보다 높게하고 있다. 통상의 사용에서는 피처리물(F)과 시일블럭(15)의 간격 및 피처리물(F)과 하케이스(14)의 간격이 모두 0.1㎜가 되도록 가이드로울(25)과 시일블럭(15)의 위치를 결정하고 있다. 26은 피처리물(F)을 가이드로울(25)에 대한 감아붙임 각도를 크게함과 동시에 피처리물(F)에 장력을 부여하는 장력부여용 로울로서, 시일부분에서 피처리물(F)이 진동하여 시일부분의 벽면에 접촉하는 것을 방지하고 있다. 예비진공실(2) 또는 예비진공실(3)은 서로 상대하는 시일장치(S)로 구성되어 있고, 배기관(8)을 거쳐 진공펌프(6)으로 배기된다.

피처리물 반송시에 시일장치 외부로부터 침입하는 물질은, 하케이스(14)에 구비된 에어압도입경로(102b)에 의하여 도입된 에어를 10㎜ 피치(pitch)의 에어분출구(101b)로 부터 분출하므로서, 또 시일블럭(15)에 구비된 에어도입경로(102a)에 의하여 도입된 에어를 10㎜ 피치로 60개가 구비된 에어분출구(101a)로부터 분출하여 에어압을 조정하므로서, 시일장치 내부에의 침입을 방지할 수가 있다.

또한 에어도입경로(102a)의 양단은 플러그(P)에 의하여 막혀져 있고, 또 에어분출구(101a,101b)는 하케이스(14) 및 시일블럭(15)의 시일면에 대하여 수직 혹은 대기측에 대하여 에어가 분출하기 위하여 시일면과 경사지게 각도를 이루도록 설치되어 있다. 이에 의하여 시일장치내의 시일장치 외부로부터 내부에의 침입물에 의한 손상을 없고 또한 침입물과 피처리물(F)과의 접촉에 의한 손상은 방지가 가능해진다. 또 피처리물 반송시, 시일장치 내부와 외부의 압력차에 의하여 생기는 난류에 기인하는 피처리물(F)의 진동, 이완 및 주름 등 때문에 피처리물(F)의 시일장치 내에서의 위치는 변화한다. 이것은 상기와 동일한 방법에 의하여 도입된 에어를 에어분출구(101a,101b)에 의하여 에어압을 조정하여 분출시켜 피처리물(F)의 에어부동을 행하므로서 피처리물(F)의 위치를 안정화시킬 수가 있게 된다. 이에 의하여 피처리물(F)이 시일블럭(15) 및 하케이스(14)에 접촉하는 일이 없이 반송할 수가 있게 된다.

또한 피처리물 반송정지시에 에어도입경로(102a,102b)에 의하여 도입된 에어를 10㎜ 피치의 에어분출구(101a)로부터 분출하므로서 미소량 존재한다고 생각되는 불순물의 시일장치내의 시일블럭(15) 및 하케이스(14)에의 퇴적을 방지할 수가 있다. 또한, 102a의 가공구멍은 플러그(P)에 의하여 막혀져 있고, 또 에어분출구(101a)는 하케이스(14) 및 시일블럭(15)의 시일면에 대하여 수직 혹은 고압측으로 에어가 분출하기 때문에 시일면과 비스듬하게 각도를 이루도록 설치되어 있다. 이에 의하여 시일블럭(15), 하케이스(14)의 열화를 방지하고 열화에 의하여 발생하는 피처리물(F)과의 접촉 때문에 발생하는 피처리물(F)의 손상을 방지할 수 있게 된다. 또한, 도면에 나타낸 시일장치(S)에서는 하나의 슬릿상 시일부분에 1열의 에어분출구를 설치하였으나, 시일장치(S)의 규모등에 따라 2,3열로 할 수도 있다.

제6도는 가이드로울 대신 원호상의 안내면을 가지는 안내판(27)을 설치한 것으로, 피처리물(S)이 얇은 경우에, 반송개시시에 피처리물(F)에 걸리는 부담이 적고, 이때문에 피처리물(F)의 절단, 손상을 방지할 수 있다.

제7도는 가이드로울 대신에 원형단면을 가지는 안내봉(28)을 설치한 것으로, 제6도의 실시예와 마찬가지로, 피처리물(F)이 얇은 경우에 피처리물(F)의 절단, 손상을 방지할 수 있다.

제8도, 제9도 및 제10도는 장력부여용 로울의 위치를 상하로 이동 가능하게한 것으로, 제8도는 단면도, 제9도는 제8도의 일부측면도, 제10도는 장력부여용 로울의 상세도이다.

도면에 있어서, 29는 에어실린더, 30은 에어피스톤, 31은 아암샤프트 회전용아암, 32는 아암샤프트용오일시일, 33,34는 베어링하우징, 35는 아암샤프트, 36은 아암샤프트(35)에 설치되어 있는 장력부여용로울(26)의 이동용아암이다.

그 작용을 설명하면, 에어에 의하여 에어실린더(29)에 부수된 피스톤(30)을 운동시키고, 이에 의하여 아암(31)이 이동한다. 이 아암(31)의 움직임은 아암샤프트(35)에 전달되고, 아암샤프트(35)는 아암샤프트(35)의 반경방향의 중심을 축으로 회전한다. 또한 아암샤프트(35)는, 베어링을 거쳐 베어링 하우징(33,34)에 의하여 지지하고, 대기와의 진공의 시일은 오일시일(32)로 행한다.

다음에 아암샤프트(35)의 회전에 의하여 아암(36)이 아암샤프트(35)의 반경방향의 중심을 축으로하여 회전한다. 이에 의하여 아암(36)의 단부에 지지되어 있는 가이드로울(26)은 이 아암(36)의 회전에 따라 이동한다. 이 가이드로울(26)은 초기 피처리물 반송시에는 제3도에 있어서, 시일블럭(15)의 하면보다 높게 위치하고 있어 피처리물 반송의 방해는 되지 않는다. 이 때문에 초기 반송은 용이해진다. 또 피처리물 반송시에는 장력부여용 로울(26)의 최하부는 하케이스(14)의 슬릿부 상면보다 낮게 위치하여 피처리물(F)에 적절한 장력을 가한다. 이에 의하여 시일장치(S)의 슬릿부와의 접촉에 의한 피처리물(F)의 손상은 없다.

상기 실시예에 의하면 피처리물(F)을 초기반송시 시일장치에 용이하게 반송할 수가 있다. 또 적절한 장력을 피처리물(F)에 인가하므로서, 시일부와 피처리물(F)과의 접촉에 의한 손상을 방지할 수가 있게 된다.

다음에 장력검출수단에 의하여 피처리물(F)에 최적의 장력을 부여하는 경우에 대하여 설명한다.

먼저, 장력검출수단을 예비진공실(2) 및 예비진공실(3)의 외부에 설치하는 경우에 대하여 설명하면, 장력검출수단은 전방측가이드로우러(9) 및 후방측가이드로울(10)에 설치한다. 전방측의 피처리물(F)의 장력은 가이드로울(7)을 거쳐 후술하는 검출수단에 의하여 검출되고, 검출수단으로 부터의 신호에 의하여 풀어내기(卷出)축(8)은 피처리물(F)의 장력이 최적이 되도록 제어를 받는다. 또, 후방측의 피처리물(F)의 장력은 가이드로울(10)을 거쳐 검출수단에 의하여 검출되고, 검출수단으로 부터의 신호에 의하여 감아들임축(11)은 피처리물(F)의 장력이 최적이 되도록 제어를 받는다. 이 전방측 검출수단, 제어수단 및 후방측 검출수단, 제어수단에 의하여 피처리물(F)은 최적인 장력을 유지하기 때문에 이완되거나, 혹은 주름이 발생하거나 하는 일이 없기 때문에 하케이스(14) 및 시일블럭(15)에 접촉하는일 없이 반송할 수가 있게 되어 피처리물(F)의 손상은 방지할 수가 있다. 장력검출수단을 예비진공실(2) 및 예비진공실(3)의 내부에 설치하는 경우 장력검출수단은 예비진공실(2,3)을 구성하는 시일장치내의 가이드로울(26)의 하나에 설치된다. 전방측 피처리물(F)의 장력은 전방측 시일장치내의 가이드로울(26)을 거쳐 검출되고, 검출수단으로 부터의 신호에 의하여 풀어내기축(8)은 피처리물(F)의 장력이 최적이 되도록 제어를 받는다. 또 전방측의 피처리물(F)의 장력은 후방측 시일장치내의 가이드로울(26)을 거쳐 검출되고, 검출수단으로 부터의 신호에 의하여 풀어내기축(8)은 피처리물(F)의 장력이 최적이 되도록 제어를 받는다. 또 전방측의피처리물(F)의 장력은 후방측 시일장치내의 가이드로울(26)을 거쳐 검출되고, 검출수단으로 부터의 신호에 의하여 감아들임축(11)은 피처리물(F)의 장력이 최적이 되도록 제어를 받는다. 이 전방측 검출수단 , 제어수단 및 후방측 검출수단, 제어수단에 의하여 피처리물(F)은 최적의 장력을 유지하여 하케이스(14) 및 시일블럭(15)에 접촉하는 일없이 반송할 수가 있게 되어 피처리물(F)의 손상은 방지할 수가 있다.

다음에 제11도 및 제12도에 피처리물(F)의 장력을 검출하는 수단의 일예를 나타낸다. 제11도는 검출수단을 예비진공실(2,3)의 외부에 설치한 것을 나타내고, 제12도는 검출수단을 예비진공실(2,3)의 내부에 설치한 경우를 나타내고 있다. 장력검출기(37)는 제11도의 경우, 피처리물(F)에 대한 가이드로울 9(10), 제12도의 경우, 가이드로울(26)과, 이 가이드로울 9(10) 또는 가이드로울 26의 양단을 지지하는 베어링유닛(38)과, 이 베어링유닛(38)에 연결되는 차동변압기(39) 및 스프링(40)으로 구성되어 있고, 이 장력검출기(37)는 제11도의 경우 2개의 가이드로울(41a,41b), 제12도의 경우 2개의 가이드로울(25,25)의 사이에 설치되어 있다. 이 장력검출기(37)는 예를 들면 피처리물(F)의 장력이 증가하면, 가이드로울 9(10), 또는 26은 스프링(40)에 대항하여 이동하고, 장력이 감소하면, 가이드로울 9(10) 또는 26은 스프링(40)의 신장력에 의하여 이동한다. 또 차동변압기(39)는 가이드로울 9(10), 26의 이동량에 따라 출력전압을 발생하도록 되어있다.

제13도는 장력검출수단이 제어계를 블록도에 의하여 나타낸 것이다. 제13도에 있어서, 42는 비교기이고, 이 비교기(42)는 피처리물(F)의 최적의 장력 즉 설정장력에 상당하는 설정신호(A)와 장력검출기(37)에 의하여 검출된 실제의 장력에 상당하는 검출신호(B)를 비교하여 양신호(A,B)의 편차신호(C)를 풀어내기축의 구동용 DC 모터(12b) 혹은 감아들임축의 구동용 DC 모터(12b)에 공급한다. 상기 장력설정신호(A)는 피처리물(F)의 재질, 두께등에 따라 미리 설정된다.

상기의 구성에 있어서 피처리물(F)의 장력이 증가했을 경우, 장력검출기(37)의 가이드로울 9(10) 또는 26은 스프링(39)에 대항하여 이동함과 동시에, 이 가이드로울 9(10) 또는 26의 이동량은 차동변압기(39)에 의하여 전압으로 변환된다. 비교기(42)는 상기 검출신호(B)와 설정신호(A)를 비교하여 편차신호(C)를 풀어내기축(8), 감아들임축(11)에 공급한다. 이에 의하여 장력이 설정장력이 되도록 제어된다. 또 피처리물(F)의 장력이 감소했을 경우도 상기와 동일한 검출, 제어에 의하여 피처리물(F)의 장력을 설정장력으로 할 수가 있게 된다.

이와 같이 반송중의 피처리물(F)의 장력을 검출하여 이 검출신호에 의하여 피처리물(F)의 장력을 최적으로 제어하므로서 피처리물(F)은 이완, 또는 주름이 발생하지 않고 하케이스 및 시일블럭에 접촉하는일 없이 반송할 수가 있게되어 피처리물(F)의 손상을 방지할 수가 있다.

상기 실시예에 의하면 피처리물(F)을 시일장치에 접촉시키는 일없이 반송을 할 수 있다. 이에 의하여 피처리물(F)의 손상을 방지할 수 있게 된다.

제14도, 제15도 및 제16도는 가이드로울의 다른 실시예의 단면도로서, 가이드로울의 위치를 상하로 이동 가능하게 구성한 것으로 제14도는 제3도의 D-D 단면, 제15도는 제14도의 G부 상세도, 제16도는 제14도의 H-H 단면도이다. 가이드로울(25)은 가이드로울(25)의 축(43)의 단부를 베어링을 거쳐 편심베어링 카아트리지(Catrige)(44)에 의하여 지지된다. 이 편심베어링(44)은 수동, 또는 자동에 의하여 회전 가능하게 되어 있고 중심이 거리(L)만큼 편심되어 있는 가이드로울의 축(43)은 편심베어링 카아트리지(44)의 회전에 따라, 편심베어링 카아트리지(44)의 회전축을 중심으로 회전하여 이동한다.

이에 의하여 가이드로울(25)은 제16도의 일점쇄선으로 나타낸 바와 같이 회전이동을 행하고, 가이드로울(25)의 최상부는 가이드로울(25)의 회전 이동전과 후에서는 임의의 변위(I)만큼 이동한다. 이 가이드로울(25)의 최상부의 이동기구에 의하여 이 가이드로울(25)에 의하여 안내되는 피처리물(F)은 하케이스(14)와 시일블럭간의 최적의 반송위치에 설정할 수가 있게 된다. 즉, 피처리물(F)에, 피처리물(F)과 하케이스(14)와의 접촉에 의한 손상을 주는 일이 없다. 또한 피처리물(F)의 종류에 따라, 피처리물(F)의 위치를 변화시키므로서, 이에 따른 시일블럭의 위치의 변화가 가능하게 되고 따라서 피처리물(F)과 시일블럭과의 접촉도없고, 또 필요최소한도의 하케이스(14)와 시일블럭(15)의 간격을 설정할 수가 있다. 이에 의하여 최적의 시일상태를 유지할 수가 있다.

상기 실시예에 의하면, 피처리물(F)의 위치를 최적의 위치에 설정할 수가 있기 때문에, 피처리물과 슬릿상 시일 부분과의 접촉을 방지하므로서 피처리물(F)의 손상이 없고, 또 최적의 슬릿의 간극을 설정할 수 있다.

제17도, 제18도 및 제19도는 예비진공실(2,3)을 구성하는 시일장치 부분의 또다른 실시예를 나타낸 것으로, 제18도는 제17도의 A-A 단면도, 제19도는 제17도의 C 사시도이다. 13은 상케이스, 14는 하케이스, 15는 상케이스(13)에 안내지지되는 시일블럭이고, 피처리물(F)은 하케이스(14)와 시일블럭(15)으로 형성되는 슬릿의 사이를 접촉하지 않고 반송된다. 66은 스탭핑모터이고, 이것을 회전시키므로서, 볼나사(67) 및 너트(20)을 거쳐 시일블럭(15)과 일체적으로 형성되는 기둥(21) 및 시일블럭(15)을 상하방향으로 이동시킨다. 스탭핑모터(66)의 회전은 피처리물 두께의 검출기(68)에 의하여 피처리물(F)의 두께를 측정하고, 이 검출기(68)로 부터의 신호를 받은 제어장치(69)에 의하여 펄스신호가 스탭핑모터(66)에 전해지고, 이 펄스신호에 따라 작동한다. 또한 스탭핑모터(66)는 고부해능이고 스탭각도는 10^-1분(分)의 정도(order)로 제어할 수가 있다. 따라서 이들에 의하여 피처리물의 두께에 따라서, 시일블럭(15)이 피처리물(F)과 접촉하지 않고, 또 최적의 시일성능을 유지하도록, 시일블럭(15)의 미묘한 위치를 자동적으로 설정할 수가 있게 된다. 구체적인 예를 이하에 나타낸다. 스탭각도 0.532분의 스탭핑모터와 6㎜의 유효길이를 볼나사를 사용했을 경우, 1.2×10^-6㎜/1 스탭의 정밀도로 시일블럭의 위치를 제어할 수가 있다. 이에 이하여 두께 0.1㎜의 피처리물(F)을 반송하는 경우 하케이스(14)와 피일처리물(F)의 간격을 0.1㎜, 시일블럭(15)과 피처리물의 간격을 0.1㎜가 되도록 시일블럭(15)과 하케이스(14)의 시일간격을 미리 0.3㎜로 설정해두면, 시일블럭(15)은 자동적으로 위치를 변경하여 시일간격을 설정된 0.3㎜가 되도록, 높은 위치정밀도로 이동은 행할 수 있게 되다.

본 발명에 의하면 피처리물을 시일장치에 접촉하는 일이 없이 발송할 수 있다. 따라서, 피처리물의 처리후의 특성(예를 들면 스퍼터링 처리에서는 막질(膜質)에 악영향을 주지않고, 또 마모분말이 피처리물에 부착한다는 일도 없다.

Claims

진공처리실(1)의 전후방측에 각각 적어도 1개의 예비진공실(2,3)을 배치한 진공연속 처리장치에 있어서, 상기 예비진공실(2,3)은 피처리물을 통과시킴과 동시에 진공처리실(1)을 처리실 밖으로부터 시일하는 슬릿상의 시일장치(S)를 가지고, 해당시일장치(S)의 전후 또는 한쪽에 피처리물을 안내하는 안내부재(25,26)을 설치하고, 해당 안내부(25,26)를 장력검출기(37)가 검출하는 피처리물의 장력에 따라 피처리물의 반송방향과 수직인 방향으로 이동 가능하게 설치하고, 상기 시일장치(S)는 슬릿을 형성하는 부재(14,15)를 피처리물의 반송방향과 수직방향으로 이동 가능하게 설치한 것을 특징으로 하는 진공연속 처리장치.
제1항에 있어서, 상기 시일장치(S)는 평판형상의 한 쪽의 부재(14)와, 그 한쪽의 다른쪽의 부재(13)와, 그 다른쪽의 부재(13)의 요(凹)부에 수납되어 상기 한쪽의 부재(14)와 대향하는 면에서 피처리물이 통과하는 슬릿을 형성하는 평판부재(15)와, 평판부재(15)를 피처리물의 반송방향과 수직인 방향으로 이동시키는 수단으로 구성한 것을 특징으로 하는 진공연속 처리장치.
진공처리실(1)의 전후방측에 각각 적어도 1개의 예비진공실(2,3)을 배치한 진공연속 처리장치에 있어서, 상기 예비진공실(2,3)은 피처리물을 반송함과 동시에 진공처리실을 처리실 밖으로부터 시일하는 슬릿상의 시일장치(S)를 가지고, 그 시일장치(S)의 전후 또는 한쪽에 피처리물을 안내부재(25,26)를 설치하고, 상기 슬릿장치의 슬릿부 내에서 에어분출구(101a,101b)를 설치한 것을 특징으로 하는 진공연속 처리장치.
제3항에 있어서, 상기 분출구(101a,101b)가 슬릿상 시일면과 수직으로 향하고 있는 것을 특징으로하는 진공연속 처리장치.
진공처리실(1)의 전후방측에 각각 적어도 1개의 예비진공실(2,3)을 배치한 진공연속 처리장치에 있어서, 상기 예비진공실(2,3)은 피처리물을 반송함과 동시에 진공처리실을 처리실 밖으로부터 시일하는 슬릿상의 시일장치(S)를 가지고 해당 시일장치(S)의 전후 또는 한쪽에 피처리물을 안내하는 안내부재(25,26)를 설치하고, 또 상기 피처리물의 두께를 측정하는 검출기(68)와 그 검출기(68)로 부터의 신호에 의하여 슬릿상 시일장치의 간극을 제어하는 제어장치(69)를 설치한 것을 특징으로 하는 진공연속 처리장치.
제5항에 있어서, 상기 슬릿상 시일장치 간극의 제어장치(69)로서 슬릿상 간극을 조정하는 스탭핑모터(66)를 구비한 것을 특징으로 하는 진공연속 처리장치.