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KR890013713A - 웨이퍼 이동 교체 방법 - Google Patents

웨이퍼 이동 교체 방법 Download PDF

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KR890013713A
KR890013713A KR1019890001984A KR890001984A KR890013713A KR 890013713 A KR890013713 A KR 890013713A KR 1019890001984 A KR1019890001984 A KR 1019890001984A KR 890001984 A KR890001984 A KR 890001984A KR 890013713 A KR890013713 A KR 890013713A
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boat
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wafers
cassette
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Inventor
아사노타카노부
Original Assignee
후세 노보루
테루 사가미 가부시끼 가이샤
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Publication date
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Abstract

내용 없음.

Description

웨이퍼 이동 교체 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명이 실시예에 관한 웨이퍼 이동 교체 방법에 사용된 웨이퍼 이동 교체 장치를 나타낸 사시도,
제2도는 웨이퍼 이동 교체 장치의 하부의 X축 이동기구를 표준 형식적으로 나타낸 사시도,
제3도는, 웨이퍼 이동 교체 장치를 다른쪽에서 본것으로서, 카세트에서 웨이퍼를 리프트하고, 이것을 처크 기구로서 사이에 두고 잡은것을 나타낸 측면도.

Claims (7)

  1. 카세트 내에 수용된 복수매의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 수단에 의하여 사이에 두고 지지하여 카세트에서 빼내는 제 1 공정과, 사이에 두고 지지된 웨이퍼를 보우트 (4) 위에 반송하는 제 2 공정과, 상기 웨이퍼가 상기 보우트 (4) 위의 소정 위치에 배열되도록 상기 사이에 두고 지지하는 수단으로 보우트 (4) 위에 상기 웨이퍼의 전부를 이동하여 얹어놓은 제 3 공정과, 상기 사이에 두고 지지하는 수단과 상기 보우트 (4) 와를 웨이퍼의 1피치의 정수배인 거리만큼 상대적으로 이동시키고, 상기 보우트 (4) 위에 배열된 복수매의 웨이퍼중에 소요 매수 만큼 보우트 (4) 위에 남기고, 상기 사이에 두고 지지하는 수단으로 소요 매수의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하여 상기 보우트 (4) 위에서 위치를 변경하던가 또는 상기 카세트로 되돌리는 제4공정과, 이 제4공정후에 다른 카세트에서 복수매의 웨이퍼를 상기 보우트 (4) 에로 이동교체 하는 제 5 공정과를 갖는 것으로 이루어지는 웨이퍼 이동 교체 방법.
  2. 제1항에 있어서, 제1 공정 내지 제 4 공정에서 취급되는 웨이퍼가 제품검사용의 모니터 웨이퍼(WM)이고, 제 5 공정에서 취급되는 웨이퍼가 최종 제품으로 되는 제품 웨이퍼(W)인 웨이퍼 이동 교체 방법.
  3. 제2항에 있어서, 제4공정에서, 사이에 두고 지지하는 수단 또는 보우트(4) 를 모니터 웨이퍼(WM)의 1피치분인 거리만큼 이동시키고, 보우트(4)위에 배열된 복수매의 모니터 웨이퍼(WM)중에 1매만 보우트(4)위에 남기고, 사이에 두고 지지하는 수단으로 나머지의 모니터 웨이퍼(WM)를 사이에 두고 지지하여 보우트(4)에서들이 올리는 웨이퍼 이동 교체 방법.
  4. 제1항에 있어서, 제 1 공정 내지 제 5 공정에서 취급되는 웨이퍼가 전부 최종제품으로 되는 제품웨이퍼(W)인 웨이퍼 이동 교체 방법.
  5. 제4항에 있어서, 제 4 공정에서, 카세트 내의 제품 웨이퍼 (W)에 빠져 떨어짐이 있는 경우에, 빠져 떨어진 웨이퍼의 피치분 만큼의 거리를, 보우트 (4) 및 사이에 두고 지지 하는 수단을 상대적으로 이동시키는 웨이퍼 이동 교체 방법.
  6. 제1항에 있어서, 사이에 두고 지지 하는 수단 및 보우트(4) 의 이동이, 컴퓨터 시스템에 의하여 제어되도록 형성되어 있는 웨이퍼 이동 교체 방법.
  7. 모니터 웨이퍼만을 수납한 제1의 카세트(2A) 및 제품 웨이퍼(W)만을 수납한 제2의 카세트(2B)를 배치한 카세트부의 제1의 카세트(2A) 내의 전체 모니터 웨이퍼(WM)를 사이에 두고 지지하여 제1의 카세트(2A)에서 빼내는 제1공정과, 사이에 두고 지지된 모니터 웨이퍼(WM)를 보우트(4)의 미리 정해진 위치에 배열하는 제2의 공정과, 상기 사이에 두고 지지하는 수단과 상기 보우트(4)를 웨이퍼의 1피치의 정수배인 거리만큼 상대적으로 이동시켜서 상기 보우트(4)에 배열하고, 상기 보우트(4)에 배열된 모니터 웨이퍼(WM)중에 소요 매수만 보우트(4)에 남기고 상기 사이에 두고 지지하는 수단으로 나머지 모니터 웨이퍼(WM)를 사이에 두고 지지하여 상기 제1 의 카세트(2A)로 되돌리는 공정과, 상기 사이에 두고 지지하는 수단을 상기 제2의 카세트(2B) 위치로 이동시켜서 이 카세트 내의 전 제품 웨이퍼(W)를 사이에 두고 지지하여 상기 보우트(4)에 배열되어 있는 상기 모니터 웨이퍼 열의 다음에 배열하는 공정과를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이동 교체 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890001984A 1988-02-25 1989-02-20 웨이퍼 이동 교체 방법 KR970011656B1 (ko)

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JP4059088 1988-02-25

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KR970011656B1 KR970011656B1 (ko) 1997-07-12

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