[go: up one dir, main page]

KR890011012A - 빔 조사 장치 - Google Patents

빔 조사 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR890011012A
KR890011012A KR1019880015804A KR880015804A KR890011012A KR 890011012 A KR890011012 A KR 890011012A KR 1019880015804 A KR1019880015804 A KR 1019880015804A KR 880015804 A KR880015804 A KR 880015804A KR 890011012 A KR890011012 A KR 890011012A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
beam irradiation
irradiation apparatus
detector
counter
dac
Prior art date
Application number
KR1019880015804A
Other languages
English (en)
Inventor
에드바르트 호르스트만 로베르트
Original Assignee
이반 밀러 레르너
엔.브이.필립스 글로아이람펜파브리켄
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이반 밀러 레르너, 엔.브이.필립스 글로아이람펜파브리켄 filed Critical 이반 밀러 레르너
Publication of KR890011012A publication Critical patent/KR890011012A/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302—Contactless testing
    • G01R31/305—Contactless testing using electron beams

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

빔 조사 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 계수기를 구비한 본 발명에 따른 상기 장치의 블럭선도.
제3도는 전자 개개의 계수에 적당한 상기 장치의 블럭선도.
제4도는 검출기 분광 분석의 블럭선도.

Claims (14)

  1. 방사 소스, 빔 제어 시스템 및 조사될 목적물을 배치하기 위한 측정 공간을 구비하며, 또한 빔과 목적물 사이의 상호 작용으로 목적물에서 방출하는 전자의 검출을 위한 검출기를 구비하는 빔 조사 장치에 있어서, 상기 검출기는 전자 계수기를 구비하는 것을 특징으로 하는 빔 조사 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 방사 소스는 전자 소스인 것을 특징으로 하는 빔 조사 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 방사 소스는 광자 소스인 것을 특징으로 하는 빔 조사 장치.
  4. 제1항, 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 목적물은 집적 반도체 회로인 것을 특징으로 하는 빔 조사 장치.
  5. 제1항, 제2항, 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 장치는 펄스 측정에 대해서 노출 빔 차단기를 포함하는 것을 특징으로 하는 빔 조사 장치.
  6. 선행항중 어느 한 항에 있어서, 상기 장치는 목적물로부터 방출하는 전자의 에너지의 존 측정 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 빔 조사 장치.
  7. 선행항중 어는 한 항에 있어서, 칩 형태인 목적물은 활성화하기 위해 측정 공간에 배열되는 것을 특징으로 하는 빔 조사 장치.
  8. 선행항중 어느 한 항에 있어서, 상기 장치는 직렬 노출 펄스와 빔 차단기를 통해 멀티 샘플 즉정에 적당한 것을 특징으로 하는 빔 조사 장치.
  9. 제8에 있어서, 상기 검출기는 측정 신호의 임시 저장을 위해 빠른 메모리를 구비하는 것을 특징으로 하는 빔 조사 장치.
  10. 선행항중 어느 한 향에 있어서, 상기 장치는 집적 ＲＣ회로 및 아날로그 전자검출용 DAC를 포함하는 것을 특징으로 하는 빔 조사 장치.
  11. 제10항에 있어서, 조정 가능 기준 전압은 계수기를 통해 DAC에 결합된 동작 증폭기에 인가될 수 있으며, 컬럼내의 지연 그리드 전위는 DAC를 통한 검출신호에 의해 제어될수 있는 것을 특징으로 하는 빔 조사 장치.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 디지탈/아날로크 변환기의 출력은 상기 장치 컬럼내의 지연 그리드 전극에 접속된 것을 특징으로 하는 빔 조사 장치.
  13. 제1항 내지 제9항중 어느 한 항에 있어서, 상기 검출기에 의해 차단된 전자를 개개의 계수하기 위해서 주어진 한계 전압이 차동 검출기에 인가되며, 한계를 초과한 검출 신호는 계수기에서 계수되는 것을 특징으로 하는 빔 조사장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 계수기는 관계된 측정 주기의 선택을 위해 케이트 회로에 접속되며, 상기 게이트 회로는 상기 장치의 빔 차단기에 결합된 것을 특징으로 하는 빔 조사 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880015804A 1987-12-01 1988-11-30 빔 조사 장치 KR890011012A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8702874 1987-12-01
NL8702874A NL8702874A (nl) 1987-12-01 1987-12-01 Inspectie apparaat met gedigitaliseerde elektronen detectie.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR890011012A true KR890011012A (ko) 1989-08-12

Family

ID=19851003

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019880015804A KR890011012A (ko) 1987-12-01 1988-11-30 빔 조사 장치

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4985628A (ko)
EP (1) EP0319095A1 (ko)
JP (1) JPH022968A (ko)
KR (1) KR890011012A (ko)
NL (1) NL8702874A (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5210487A (en) * 1991-06-04 1993-05-11 Schlumberger Technologies Inc. Double-gated integrating scheme for electron beam tester
JP3955450B2 (ja) * 2001-09-27 2007-08-08 株式会社ルネサステクノロジ 試料検査方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE401733B (sv) * 1976-12-06 1978-05-22 Atomenergi Ab Forfarande och apparat vid metning av plattjocklek
JPS5472980A (en) * 1977-11-24 1979-06-11 Hitachi Ltd Electron-beam drawing unit
JPS566438A (en) * 1979-06-27 1981-01-23 Fujitsu Ltd Electron beam exposure
US4301366A (en) * 1980-06-06 1981-11-17 Nucleonic Data Systems Chatter detection in thickness measuring gauges and the like
JPS59163506A (ja) * 1983-03-09 1984-09-14 Hitachi Ltd 電子ビ−ム測長装置
SE452526B (sv) * 1984-05-09 1987-11-30 Stiftelsen Inst Mikrovags Forfarande for att inspektera integrerade kretsar eller andra objekt
JPH0775155B2 (ja) * 1985-08-20 1995-08-09 富士通株式会社 ストロボ電子ビーム装置
DE3617044A1 (de) * 1986-05-21 1987-11-26 Siemens Ag Messverarbeitungsanordnung fuer korpuskularstrahlung
US4788426A (en) * 1986-06-11 1988-11-29 Kuehnle Manfred R Interactive image recording method and means
US4721910A (en) * 1986-09-12 1988-01-26 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories High speed circuit measurements using photoemission sampling
JPS63119147A (ja) * 1986-11-07 1988-05-23 Jeol Ltd 荷電粒子線の集束状態を検出する装置
US4818873A (en) * 1987-10-30 1989-04-04 Vickers Instruments (Canada) Inc. Apparatus for automatically controlling the magnification factor of a scanning electron microscope

Also Published As

Publication number Publication date
US4985628A (en) 1991-01-15
JPH022968A (ja) 1990-01-08
NL8702874A (nl) 1989-07-03
EP0319095A1 (en) 1989-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Cherubini et al. Gamma calibration of organic scintillators
Jaklevic et al. Energy dispersive X-ray fluorescence spectrometry using pulsed X-ray excitation
US4460830A (en) Portable radiation measuring device
KR890011012A (ko) 빔 조사 장치
US4788443A (en) Apparatus for measuring particles in a fluid
JP2723215B2 (ja) 動作中に集積回路の機能を監視する方法と装置
Fischer et al. First operation of a pixel imaging matrix based on DEPFET pixels
US4007373A (en) Radiographic apparatus
GB1458113A (en) X-ray fluorescence analysis
Harihar et al. Rise time spectroscopy of nuclear radiations in stilbene
Bushnin et al. Pulse-height encoders for the analysis of a large counter system
SE7809112L (sv) Implicit puls-till-puls hogspenningsdetektor- och regleranordning
Koppel Direct X-ray response of self-scanning photodiode arrays
Kaufman et al. Wire spark chambers for clinical imaging of gamma-rays
Nowak et al. A parallel detection system for a mass spectrometer
Ferrari et al. Nuclear preamplifiers and the pulse pile-up problem
Alberti et al. Optimized readout configuration for PIXE spectrometers based on Silicon Drift Detectors: Architecture and performance
Atkin et al. The read-out ASIC for the Space NUCLEON project
Wilkins et al. Computer-Aided Demonstration of the Photoelectric Effect
JPH11109039A (ja) 並列放射線検出装置
Alberigi-Quaranta et al. Experimental Results on the Information Available from the Rise Time of Pulses Supplied by Semiconductor Particle Detectors
Silva et al. An optocoupler-based method for dosimetry in low energy X-ray beams
JPH02195292A (ja) 半導体放射線検出器
Smith et al. A channel electron multiplier and optically coupled amplifier used as an incident flux monitor
RU1304656C (ru) Устройство дл регистрации ионизирующего излучени

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 19881130

PG1501 Laying open of application
PC1203 Withdrawal of no request for examination
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid