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KR880000784A - 압력감지기 - Google Patents

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KR880000784A
KR880000784A KR1019870006376A KR870006376A KR880000784A KR 880000784 A KR880000784 A KR 880000784A KR 1019870006376 A KR1019870006376 A KR 1019870006376A KR 870006376 A KR870006376 A KR 870006376A KR 880000784 A KR880000784 A KR 880000784A
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KR
South Korea
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chip
sensing element
transducer
pressure
closure member
Prior art date
Application number
KR1019870006376A
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English (en)
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KR910001841B1 (ko
Inventor
제임스 호지스 로버트
레오나드 아담스 그라함
미첼 크릭 어브레이
Original Assignee
마아크 차알즈 데니스
에쓰티씨 피엘씨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 마아크 차알즈 데니스, 에쓰티씨 피엘씨 filed Critical 마아크 차알즈 데니스
Publication of KR880000784A publication Critical patent/KR880000784A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR910001841B1 publication Critical patent/KR910001841B1/ko

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    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • GPHYSICS
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    • G01L9/0073Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a semiconductive diaphragm

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Abstract

내용 없음

Description

압력감지기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1도는 피에조-레지스터(Piezo-resistors)상에 작용하는 압축변형한 본 발명에 따른 만곡모우드의 두꺼운 실리콘압력감지를 도식적으로 보인 도면. 제 2도는 제 1도에 유사하지만 피에조-레지스터상의 긴장상태로 작용하는 변형을 가진 제 2 실시예의 도면. 제 9도는 본 발명의 실시예에 따라 내연기관의 작동실린더내의 압력을 감지하기 위한 입력 감지기의 축 가로-단면을 보여주는 도면.

Claims (10)

  1. 내연기관의 연소실 같은 고온고압 대기의 압력을 감지하기 위한 고압감지기에 있어서, 강체의 하우징과 하우징내의 감지기칩(sensor chip)과 폐쇄부와 감지기칩 사이를 결합하여 폐쇄부재로부터 상기칩으로 힘을 전달하는 힘전달부재를 포함하고, 전술한 칩이 상기 폐쇄부재의 외부로 공급되는 압력을 대표하는 압력신호를 구비하도록 반응함을 포함하는 고압감지기.
  2. 제 1항에 있어서, 전술한 칩이 급힘모우드에서 작동하도록 배열되고, 전술한 칩이 전술한 출력신호를 구비하는 긴장모우드(tensile mode) 혹은 압축모우드(compressive mode)에서 작동하는 변형게이지 저항을 가지는 감지기.
  3. 제 1항에 있어서, 폐쇄부재는 하우징상의 환상력 넘어로 뒤집어진 후방림을 가진 벨로우즈형상인 감지지.
  4. 제 1항에 있어서, 폐쇄부재의 미리 설정된 사전 변형을 구비하는 탄성요소를 포함하는 감지기.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 탄성요소가 폐쇄부재의 일체부분에 의해 형성되는 감지기.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 폐쇄부재가 일체의 환상주름을 가지는 디스크-형상의 다이아프램을 포함하고, 상기 환상주름은 다이아프램의 현수(suspension)를 구비하고 또한 탄성요소를 구비하여 폐쇄부재의 사전변형을 조화시킴을 포함하는 감지기.
  7. 제 6항에 있어서, 전술한 힘전달부재가 로드의 단부와 다이아프램 사이에서 디스크-형상부재를 가지는 로드를 포함하며, 이 부재가 그의 주부품 위의 다이아프램을 전술한 환상주름내에서 지지하는 감지기.
  8. 제 1항에 있어서, 폐쇄부재가 비교적 고강성도(stiffness)인 감지기칩에 비해 비교적 낮은 강성도를 가지는 감지기.
  9. 제 1 및 제 2 하우징부품이 한데 정합되어 있고, 상기 제 1하우징부품은 가요성 압력감지요소와 푸쉬-로드 어셈블리(push rod assembly)를 지지하며, 상기 제2부품은 하나의 변환기(transducer)를 지지하며, 전술한 변환기는 낮은 강성도의 압력 감지요소에 비해 강성도를 가지며, 제 1 및 제 2부품은 한데연결되어 상기 푸쉬-로드가 힘을 감지요소와 변환기 사이에서 전달하게 하고 감지요소의 영구 탄성변형을 결정하도록 되어 있음을 특징으로 하는 고압력 감지기.
  10. 압력감지요소와 푸쉬-로드 어셈블리를 지지하는 제 1 하우징부품을 구비하고, 변환기를 지지하는 제 2 하우징부품을 구비하고, 전술한 변환기는 낮은 강성도(low stiffness)를 가지는 감지요소에 비해 고강성도(high stiffness)를 가지며, 제 1 및 제 2 하우징부품을 한데 정합시켜 푸쉬-로드가 힘을 감지요소로부터 변환기로 전달하여 감지요소의 영구탄성 변형을 판정하도록 구성함을 포함하는 압력감지기 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019870006376A 1986-06-23 1987-06-23 압력감지기 KR910001841B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB8615305 1986-06-23
GB868615305A GB8615305D0 (en) 1986-06-23 1986-06-23 Pressure sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR880000784A true KR880000784A (ko) 1988-03-29
KR910001841B1 KR910001841B1 (ko) 1991-03-28

Family

ID=10599954

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Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019870006376A KR910001841B1 (ko) 1986-06-23 1987-06-23 압력감지기

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EP (1) EP0251592A3 (ko)
JP (1) JPS6388418A (ko)
KR (1) KR910001841B1 (ko)
BR (1) BR8703143A (ko)
GB (1) GB8615305D0 (ko)

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JPS6388418A (ja) 1988-04-19
EP0251592A2 (en) 1988-01-07
BR8703143A (pt) 1988-03-08
GB8615305D0 (en) 1986-07-30
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