Claims (23)
바자성재로 되는 기판(1)과, 해당 기판위에 형성된 링상의 자기회로를 구성하는 자성 박막으로 되는 지기 코어(2,3)과, 해당 자기코어의 헤드 캡을 형성하는 비자성 캡재(5)와, 해당 자기코어의 자기회로에 쇠교하는 권선(7,11)과, 상기 비자성 기판위의, 상기 자기 코어내의 상기 자기회로로 포위되는 내부으로써, 해당 헤드캡의 저부에 마련되는 해당 캡 뎁스를 규제하는 비자성 페턴 재(8)과, 를 가진 박막 자기헤드.A substrate 1 made of a bar magnetic material, a keeper core 2, 3 made of a magnetic thin film constituting a ring-shaped magnetic circuit formed on the substrate, a nonmagnetic cap member 5 forming a head cap of the magnetic core; Windings 7 and 11 which are connected to the magnetic circuit of the magnetic core, and an interior surrounded by the magnetic circuit in the magnetic core on the non-magnetic substrate, the cap depth being provided at the bottom of the head cap. Non-magnetic pattern to regulate the material (8), and having a thin film magnetic head.
특허청구의 범위 제1항에 있어서, 상기 비자성 페턴재는, 해당 자기코어의 테이프 접동면으로 향해서 예리한 각을 이루는 2개의 능선(11,12)를 가진 형상으로 되고, 상기 권선이 실행되는 권선용 구멍(6)이 마련되어서, 해당구멍(6)과 상기 헤드 캡의 구멍사이에, 상기 비자성 페턴재의 적어도 일부가 개재한다.2. The nonmagnetic pattern material according to claim 1, wherein the nonmagnetic pattern material has a shape having two ridges 1 1 and 1 2 formed at sharp angles toward the tape sliding surface of the magnetic core, and the winding is performed. A winding hole 6 is provided so that at least part of the nonmagnetic pattern material is interposed between the hole 6 and the hole of the head cap.
특허청구의 범위 제2항에 있어서, 상기 비자성 페턴재의 형상이 대형이다.The shape of the said nonmagnetic pattern material is large.
특허청구의 범위 제2항에 있어서, 상기 비자성 페턴재는 상기 능선에 교차하고, 또한 상기 자기코어의 테이프 접동면과 대략 평행인 캡뎁스 규제면을 구성하는 능선을 갖는다.The nonmagnetic pattern material of claim 2 has a ridgeline that intersects the ridgeline and constitutes a cap depth regulating surface substantially parallel to the tape sliding surface of the magnetic core.
특허청구의 범위 제4항에 있어서, 상기 캡을 규제하는 능선의 평행부의 길이가 100μm 이하이다.The length of the parallel part of the ridgeline which regulates the said cap is 100 micrometers or less of Claim.
특허청구의 범위 제2항에 있어서, 상기 자기코어는 상기 비자성재의 제1의 캡재(5a)와, 상기 비자성 페턴재의 제1의 캡뎁스 규제재(8a)를 둘러싸도록 해서, 제1의 자기회로를 구성하는 제1,제2의 헤드코어(2a,3)와, 상기 비자성 페턴재의 제2의 캡재(5b)와 상기 바자성 패턴재 제2의 캡뎁스 규제재(8b)를 둘러싸도록 하여 제2의 자기회로를 구성하는 제3, 제4의 헤드코어(2b,3)으로 되고, 상기 제1,제2의 캡뎁스 규제재 및 상기 비자성 기판에는 상기 권선의 제1,제2의 코일(7a,7b)가 두루감아지는 제1,제2의 권선용 구멍(6a,6b)가 마련되어 있다.3. The magnetic core according to claim 2, wherein the magnetic core surrounds the first cap member 5a of the nonmagnetic material and the first cap depth regulating member 8a of the nonmagnetic pattern material. Surrounds the first and second head cores 2a and 3 constituting the magnetic circuit, the second cap material 5b of the nonmagnetic pattern material and the second cap depth regulating material 8b of the bamagnetic pattern material. And the third and fourth head cores 2b and 3 constituting the second magnetic circuit, and the first and second cap depth regulating materials and the nonmagnetic substrate are formed of the first and second windings. First and second winding holes 6a and 6b are formed in which two coils 7a and 7b are wound.
특허청구의 범위 제6항에 있어서, 상기 제1,제2의 캡뎁스 규제재는 상기 제1,제2,제3,제4의 헤드코어의 테이프 접동면으로 행해서 예리한 각을 이루는 2개의 능선을 가진 형상으로 된다.The method according to claim 6, wherein the first and second cap depth regulating materials are formed on the tape sliding surfaces of the first, second, third and fourth head cores to form two sharp ridges. It becomes the shape with
특허청구의 범위 제7항에 있어서, 상기 비자성 페턴재의 형상이 대형이다.The shape of the said nonmagnetic pattern material of Claim 7 is large.
특허청구의 범위 제7항에 있어서, 상기 제1,제2의 캡뎁스 규제재는 상기 능선에 교차하고, 또한 상기 헤드코어의 테이프 접동면과 대략 평행인 캡뎁스 규제면을 구성하는 능선을 갖는다.The said 1st, 2nd cap depth control material has a ridge line which cross | intersects the said ridgeline and comprises the cap depth control surface which is substantially parallel to the tape sliding surface of the said head core.
특허청구의 범위 제9항에 있어서, 상기 캡뎁스를 규제하는 능선의 평행부의 길이가 100μm 이하이다.The length of the parallel part of the ridgeline which regulates the said cap depth is 100 micrometers or less of Claim.
특허청구의 범위 제1항에 있어서, 상기 자기코어는 그 앞부분이 상기 비자성재(캡재)를 사이에 두고 대향하고, 그 후부가 상기 바자성 페턴재에 의해 개로된 제1,제2의 푸론트코어(2,3)과, 해당 푸론트코어의 후부를 자기적으로 결합하는 리어 코어로 되고, 상기 권선이 상기 리어코어의 상기 제1, 제2의 푸론트 코어와의 접합부분을 포위하여, 이에 쇠교(@)하는 박막코일으로 된다.The first and second furon of claim 1, wherein the magnetic core is opposed to the magnetic core with the nonmagnetic material (cap member) interposed therebetween, and the rear portion thereof being opened by the baton pattern material. And a rear core that magnetically couples the cores 2 and 3 with the rear portion of the furon core, and the winding surrounds a junction portion of the rear core with the first and second furon cores, This becomes a thin film coil (@).
특허청구의 범위 제11항에 있어서, 상기 비자성 페턴재의 형상이 대형이다.12. The shape of the nonmagnetic pattern material according to claim 11 is large.
특허청구의 범위 제7항에 있어서, 상기 제1, 제2의 캡뎁스 규제재는 상기 능선에 교차하고, 또한 상기 헤드코어의 테이프 접동면과 대략 평행인 캡뎁스 규제면을 구성하는 능선을 갖는다.The said 1st, 2nd cap depth control material has a ridge line which cross | intersects the said ridgeline and comprises the cap depth control surface which is substantially parallel to the tape sliding surface of the said head core.
특허청구의 범위 제9항에 있어서, 상기 캡뎁스를 규제하는 능선의 평행부의 길이가 100μm 이하이다.The length of the parallel part of the ridgeline which regulates the said cap depth is 100 micrometers or less of Claim.
특허청구의 범위 제1항에 있어서, 상기 자기코어는 그 앞부분이 상기 비자성재의 제1의 캡재를 사이에 두고 대향하고, 그 후부가 상기 비자성 페턴재의 제1의 페턴재에 의해 개로된 제1, 제2의 푸론트 코어와, 해당푸론트 코어의후부를 자기적으로 결합하여 해당푸론트 코어아 함께 제1의 자기회로를 구성하는 제1의 리어코어와, 앞부분이 상기 비자성재에 제2의 캡재를 상이에 두고 대향하고, 그 후부가 상기 비자성 페턴재의 제2의 패턴재에 의해 개로된 제3, 제4의 푸론트 코어와, 해당푸론트 코어의 후부를 자기적으로 결합고, 해당푸론트 코어와 함께 제2의 자기회로를 구성하는 제2의 리어코어으로되며, 상기 권선이 상기 제1, 제2의 이러코어의 상기 제1, 제2 및 제3, 제4의 푸론트 코어의 접합부분을 포위하고, 이에 쇠교(쇠交)하는 제1, 제2의 박막코일로 된다.2. The magnetic core according to claim 1, wherein the magnetic core has a front portion facing the first cap material of the nonmagnetic material, and a rear portion thereof is opened by the first pattern material of the nonmagnetic pattern material. 1, a second furon core, a first rear core which magnetically couples the rear portion of the furon core to form a first magnetic circuit together with the furon core, and a front part of which is made of the nonmagnetic material. The caps of 2 are opposed to each other, and the third and fourth furon cores whose rear portions are opened by the second pattern material of the nonmagnetic pattern material and the rear portions of the furon cores are magnetically joined. And a second rear core constituting a second magnetic circuit together with the corresponding front core, wherein the windings are the first, second, third, and fourth fulcrum of the first and second heterocores. The first and second thin film coils surrounding and joining the joints of the ront cores. do.
특허청구의 범위 제15항에 있어서, 상기 바자성 페턴재의 형상이 대형이다.The shape of the said baton pattern material of Claim 15 is large.
특허청구의 범위 제15항에 있어서, 상기 제1, 제2의 캡뎁스 규제재는 상기 능선에 교차하고, 또한 상기 헤드코어의 테이프 접동면과 대략 평행인 캡뎁스 규제면을 구성하는 능선을 갖는다.The said 1st, 2nd cap depth control material has a ridgeline which cross | intersects the said ridgeline and comprises the cap depth control surface which is substantially parallel to the tape sliding surface of the said head core.
특허청구의 범위 제15항에 있어서, 상기 캡뎁스를 규제하는 능선의 평행부의 길이가 100μm 이하이다.The length of the parallel part of the ridgeline which regulates the said cap depth is 100 micrometers or less of Claim.
특허청구의 범위 제1항에 있어서, 또한 상기 자기호로의 외부에 상기 자기코어를 둘러싸는 것과같은 자기 박막박리 방지용 비자성 페턴재(8a)가 마련되어 있다.The nonmagnetic pattern material 8a for preventing magnetic thin film peeling, such as surrounding the magnetic core, is provided outside the magnetic arc.
비자성기판(1)에 캡뎁스 규제용 비자성 페턴재(8)을 형성하는 공정과, 상기 바자성 기판의 상기 캡뎁스 규제용 비자성 페턴재를 제거하는 전면에 자성박막(2´)를 형성하는 공정과, 상기 자성박막의 반체를 상기 바자성 페턴재의 캡 선위의명이 노출하도록 제거하고, 헤드 캡면(4)을 형성하는 공정과, 해당 자성 박막의 헤드 캡 면에 헤드캡으로 되는 비자성재(캡재 5)를 형성하는 공정과, 상기 비자성 기판의 상기 자성박막의 제거부에 자성박막(3)을 상기 캡재 및 상기 비자성 페턴재의 캡 선상의 면을 덮도록 형성하는 공정과, 상기 비자성 페턴 및 상기 비자성 기판에 권선용 구멍을 형성하는 공정과, 상기 비자성기판, 상기 자성박막 및 상기 캡재로 되는 테이프 접동면을 연통연마하는 공정으로 되는 박막 자기헤드의 제조방법.Forming a non-magnetic pattern material for cap depth regulation 8 on the non-magnetic substrate 1, and a magnetic thin film 2 'on the entire surface of the non-magnetic pattern material for restricting the cap depth of the bazaar substrate. A step of forming, removing the half body of the magnetic thin film so as to expose the cap top position of the baton pattern material, and forming a head cap surface 4; and a non-magnetic material serving as a head cap on the head cap surface of the magnetic thin film. (Capping material 5), forming a magnetic thin film 3 so as to cover the cap lined surfaces of the cap material and the nonmagnetic pattern material on the removal portion of the magnetic thin film of the nonmagnetic substrate; And a step of forming holes for windings in the magnetic pattern and the nonmagnetic substrate, and in the step of communicating and polishing the tape sliding surfaces of the nonmagnetic substrate, the magnetic thin film, and the cap material.
특허청구의 범위 제20항에 있어서, 상기 비자성 페턴재는 알미늄으로 된다.The nonmagnetic pattern material according to claim 20 is made of aluminum.
비자성 기판(1)위에 자기코어(푸론트 코어)를 형성하기 위한 네가상으로 형을 취한 비자성 페턴 재(8)을 형성하는 공정과, 해당 페턴재에 의해 구성된 凹 부에 자성 박막으로 되는 자기코어(2´)를 형성하는 공정과, 상기 자기코어(2´)의 반체를 제거하여, 캡면(4)를 형성하고, 동시에 비자상 자기코어(2)를 형성하는 공정과, 상기 자기코어의 캡면에 캡재(5)를 형성하고, 상기 제거부에 자성박막으로 되는 I형상 자기코어(3)을 형성하는 공정과, 상기 비자성 페턴재, 상기 자기코어 윗면에 절연막을 거쳐서 해당 자기코어의후단부를 포위하도록 와권상의 박막코일(11)을 형성하는 공정과, 상기 박막코일(11) 윗면에 절연막을 마련한 후, 상기 L자상 자기코어(2)와 Ⅱ자상 자기코어(3)의 후단부 사이에 리어코어를 형성하는 자기코어(9)를 형성하는 공정과, 상기 자기코어의 테이프 접동면을 원통 연마하는 공정으로 되는 박막 자기헤드의 제조방법.Forming a non-magnetic patterning material 8 shaped into a four-phase shape for forming a magnetic core (furon core) on the non-magnetic substrate 1, and forming a magnetic thin film on the convex portion formed by the patterning material Forming a magnetic core 2 ', removing a half body of the magnetic core 2', forming a cap surface 4, and simultaneously forming a non-magnetic magnetic core 2, and the magnetic core Forming a cap material (5) on the cap surface of the film, and forming an I-shaped magnetic core (3) which becomes a magnetic thin film on the removal portion, and through the insulating film on the nonmagnetic pattern material and the magnetic core. Forming a spiral winding thin film coil 11 so as to surround a rear end portion, and providing an insulating film on the upper surface of the thin film coil 11, and then forming a rear end portion of the L-shaped magnetic core 2 and the II-shaped magnetic core 3; Forming a magnetic core 9 for forming a rear core therebetween; Method of producing a thin film magnetic head in which the step of grinding the cylindrical tape sliding surface of the control.
특허청구의 범위 제22항에 있어서, 상기 비자성 페턴재는 알미늄으로 된다.23. The nonmagnetic pattern material of claim 22, wherein the nonmagnetic pattern material is made of aluminum.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.