KR20250078489A - Package-on-package (PoP) interconnect area with reduced capacitance to reduce impedance discontinuities. - Google Patents
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Abstract
본 문서는 패키지들 사이의 신호 손실을 감소시키기 위해 패키지-온-패키지(PoP) 상호접속 구역들에서 임피던스 불연속성을 제한하도록 패키지들 사이에 상호접속을 제공하기 위한 장치 및 기법을 설명한다. 장치 및 기법은 상호접속에서 커패시턴스 및 임피던스 불연속성을 감소시키기 위해 PoP 전기적 및 물리적 상호접속 구역들을 구성한다.This paper describes devices and techniques for providing interconnections between packages to limit impedance discontinuities in the package-on-package (PoP) interconnect regions to reduce signal losses between the packages. The devices and techniques configure the PoP electrical and physical interconnect regions to reduce capacitance and impedance discontinuities in the interconnect.
Description
반도체 패키지들 및 다른 전자 디바이스들 내의 및/또는 패키지들 사이의 접속에서의 신호 송신은 삽입 손실(insertion loss), 반사 손실(return loss), 및/또는 크로스토크(cross-talk)에 의해 야기되는 임피던스 불연속성에 의해 손상될 수 있다. 임피던스 불연속성은 패키지들 내에서 또는 패키지들 사이의 인터페이스에서 모두 발생할 수 있다. 패키지 내에서, 신호 라인 기하학적 구조 및 간격은 패키지 내의 임피던스 불연속성을 감소시키기 위해 조정될 수 있다. 그러나, 패키지들 사이의 상호접속에서의 임피던스 불연속성이 동일한 방식으로 감소되지 않을 수 있다. 상호접속 지점들에 인접한 신호 라인에 트레이스 인덕턴스 코일(trace inductance coil)을 형성하는 것은 패키지들 사이의 임피던스 불연속성을 감소시키는 데 사용될 수 있다. 그러나, 인덕턴스 코일의 형성은 패키지 공간을 소비하고, 따라서 비용을 증가시키거나 비실용적일 수 있다.Signal transmission within and/or between semiconductor packages and other electronic devices can be impaired by impedance discontinuities caused by insertion loss, return loss, and/or cross-talk. Impedance discontinuities can occur either within the packages or at the interfaces between the packages. Within a package, signal line geometry and spacing can be adjusted to reduce impedance discontinuities within the package. However, impedance discontinuities at interconnections between packages may not be reduced in the same manner. Forming trace inductance coils in the signal lines adjacent to interconnection points can be used to reduce impedance discontinuities between packages. However, forming inductance coils consumes package space and may therefore increase cost or be impractical.
본 문서는 패키지들 사이의 신호 손실을 감소시키기 위해 패키지-온-패키지(PoP) 상호접속 구역에서 임피던스 불연속성을 제한하도록 패키지들 사이에 상호접속을 제공하기 위한 장치들 및 기법들을 설명한다. 장치들 및 기법들은 상호접속에서 임피던스 불연속성을 감소시키기 위해 이들 상호접속에서 커패시턴스를 감소시키도록 PoP 전기적 및 물리적 상호접속 구역들을 구성한다. This paper describes devices and techniques for providing interconnections between packages to limit impedance discontinuities in the package-on-package (PoP) interconnection region to reduce signal losses between packages. The devices and techniques configure the PoP electrical and physical interconnection regions to reduce capacitance at these interconnections to reduce impedance discontinuities at the interconnection.
다양한 구현예들에서, 패키지 상의 PoP 전기적 및 물리적 상호접속 구역은 전도성 영역 및 비전도성 영역을 포함한다. 패키지들이 상호접속 구조체(예컨대, 비전도성 코어를 갖는 솔더 볼(solder ball))에 의해 결합될 때, 상호접속 구조체는 패키지들을 물리적으로 그리고 전기적으로 상호접속한다. 동시에, PoP 상호접속 구역에 비전도성 영역을 포함시키는 것은 PoP 상호접속 구역과 상호접속 구조체 사이의 전기적 접속에서 커패시턴스를 감소시키며, 이에 따라 임피던스 불연속성을 감소시킨다.In various implementations, the PoP electrical and physical interconnection region on the package includes a conductive region and a non-conductive region. When the packages are joined by an interconnection structure (e.g., a solder ball having a non-conductive core), the interconnection structure physically and electrically interconnects the packages. At the same time, including the non-conductive region in the PoP interconnection region reduces the capacitance in the electrical connection between the PoP interconnection region and the interconnection structure, thereby reducing impedance discontinuities.
예를 들어, PoP 장치는 상부 패키지, 하부 패키지 및 상호접속 구조를 포함할 수 있다. 상부 패키지는 상호접속 구조체를 통해 상부 패키지와 하부 패키지 사이의 상부 물리적 접속 및 상부 전기적 접속을 가능하게 하도록 구성된 제1 PoP 전기적 및 물리적 상호접속 구역을 포함한다. 제1 PoP 상호접속 구역은 상부 전도성 영역 및 상부 비전도성 영역을 갖는다. 상부 전도성 영역은 상부 패키지와 하부 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하도록 구성된다. 상부 비전도성 영역은 상부 전기 접속에서 제1 감소된 커패시턴스를 제공하도록 구성된다. 하부 패키지는 상호접속 구조체를 통해 하부 패키지와 상부 패키지 사이의 하부 물리적 접속 및 하부 전기적 접속을 가능하게 하도록 구성된 제2 PoP 전기적 및 물리적 상호접속 구역을 포함한다. 제2 PoP 상호접속 구역은 하부 전도성 영역 및 하부 비전도성 영역을 갖는다. 하부 전도성 영역은 하부 패키지와 상부 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하도록 구성된다. 하부 비전도성 영역은 하부 전기 접속에서 제2 감소된 커패시턴스를 제공하도록 구성된다. 상호접속 구조체는 제1 PoP 상호접속 구역과 제2 PoP 상호접속 구역 사이의 물리적 접속 및 전기적 접속을 지원하도록 구성된다. 제1 감소된 커패시턴스 및 제2 감소된 커패시턴스는 그들 사이를 통과하는 신호들의 임피던스 불연속성을 제한한다.For example, a PoP device may include a top package, a bottom package, and an interconnection structure. The top package includes a first PoP electrical and physical interconnection region configured to enable top physical connection and top electrical connection between the top package and the bottom package through the interconnection structure. The first PoP interconnection region has a top conductive region and a top non-conductive region. The top conductive region is configured to enable signal transmission between the top package and the bottom package. The top non-conductive region is configured to provide a first reduced capacitance at the top electrical connection. The bottom package includes a second PoP electrical and physical interconnection region configured to enable bottom physical connection and bottom electrical connection between the bottom package and the top package through the interconnection structure. The second PoP interconnection region has a bottom conductive region and a bottom non-conductive region. The bottom conductive region is configured to enable signal transmission between the bottom package and the top package. The bottom non-conductive region is configured to provide a second reduced capacitance at the bottom electrical connection. The interconnect structure is configured to support physical and electrical connections between the first PoP interconnect region and the second PoP interconnect region. The first reduced capacitance and the second reduced capacitance limit impedance discontinuities of signals passing therebetween.
다른 예로서, 상부 패키지와 하부 패키지를 상호접속하는 방법은 상부 물리적 접속 및 상부 전기적 접속을 가능하게 하기 위해 상부 패키지 상에 제1 PoP 전기적 및 물리적 상호접속 구역을 형성하는 단계를 포함한다. 상부 패키지와 하부 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하고 상부 전기 접속에서 제1 감소된 커패시턴스를 제공하도록 구성된 상부 전도성 영역이 형성된다. 제2 PoP 전기적 및 물리적 상호접속 구역이 하부 물리적 접속 및 하부 전기적 접속을 가능하게 하기 위해 하부 패키지 상에 형성된다. 하부 패키지와 상부 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하도록 구성된 하부 전도성 영역이 형성되고, 하부 전기 접속에서 제2 감소된 커패시턴스를 제공하도록 하부 비전도성 영역이 형성된다. 제1 PoP 상호접속 구역은 비전도성 부분 및 전도성 부분을 포함하는 상호접속 구조체로 제2 PoP 상호접속 구역과 결합된다. 상호접속 구조체는 제1 PoP 상호접속 구역과 제2 PoP 상호접속 구역 사이에 배치되고, 상호접속 구조체의 적어도 전도성 부분으로 하여금 제1 PoP 상호접속 구역 및 제2 PoP 상호접속 구역 둘 모두와 결합하도록 유동하게 하기 위해 열이 인가된다. 상호접속 구조체를 통한 PoP 상호접속 구역들의 결합은 제1 감소된 커패시턴스 및 제2 감소된 커패시턴스로 신호 송신의 임피던스 불연속성이 감소되어 상부 패키지와 하부 패키지 사이의 신호 송신이 가능해진다.As another example, a method of interconnecting an upper package and a lower package includes forming a first PoP electrical and physical interconnection region on the upper package to enable upper physical connection and upper electrical connection. An upper conductive region is formed configured to enable signal transmission between the upper package and the lower package and to provide a first reduced capacitance at the upper electrical connection. A second PoP electrical and physical interconnection region is formed on the lower package to enable lower physical connection and lower electrical connection. The lower conductive region is formed to enable signal transmission between the lower package and the upper package, and a lower non-conductive region is formed to provide a second reduced capacitance at the lower electrical connection. The first PoP interconnection region is coupled to the second PoP interconnection region by an interconnection structure including a non-conductive portion and a conductive portion. An interconnection structure is disposed between the first PoP interconnection region and the second PoP interconnection region, and heat is applied to cause at least a conductive portion of the interconnection structure to fluidly couple with both the first PoP interconnection region and the second PoP interconnection region. Coupling of the PoP interconnection regions through the interconnection structure reduces impedance discontinuities of signal transmission with the first reduced capacitance and the second reduced capacitance, thereby enabling signal transmission between the upper package and the lower package.
이 요약은 상세한 설명 및 도면들에서 하기에 더 설명되는 바와 같이 전도성 및 비전도성 영역들을 갖는 PoP 상호접속 구역들을 도입하기 위해 제공된다. 이 요약은 청구된 주제의 필수 특징들을 식별하기 위한 것이 아니며, 청구된 주제의 범위를 결정하는 데 사용하기 위한 것도 아니다. This summary is provided to introduce PoP interconnect regions having conductive and non-conductive regions as further described below in the detailed description and drawings. This summary is not intended to identify essential features of the claimed subject matter, nor is it intended to be used in determining the scope of the claimed subject matter.
전도성 및 비전도성 영역들을 갖는 패키지-온-패키지(PoP) 상호접속 구역들을 제공하기 위한 장치들 및 기법들의 하나 이상의 양태들의 세부사항들은 다음의 도면들을 참조하여 본 문서에서 설명된다. 도면 전체에 걸쳐 동일한 번호가 사용되어 유사한 특징 및 구성요소를 참조한다.
도 1은 상호접속 구조체를 통해 결합될 상부 및 하부 패키지들 상에 형성된 PoP 상호접속 구역들의 단면도이고;
도 2는 상호접속 구조체에 의해 결합된 도 1의 PoP 상호접속 구역들의 단면도이고;
도 3은 도 1의 PoP 상호접속 구역들 및 상호접속 구조체의 부분 절개 사시도이고;
도 4는 다수의 상호접속 구조체와 결합될 다수의 PoP 상호접속 구역을 갖는 상부 및 하부 패키지의 부분 절개 사시도이고;
도 5는 PoP 상호접속 구역들 및 상호접속 구조체들을 통해 함께 결합된 도 4의 상부 및 하부 패키지들의 사시도이고;
도 6a 내지 도 6c, 도 7a 내지 도 7d, 도 8a 내지 도 8c, 및 도 9a 내지 도 9c는 전도성 및/또는 비전도성 영역들을 갖는 PoP 상호접속 구역들의 상이한 구성들의 개략도이고;
도 10a 내지 도 10c, 도 11a 및 도 11b, 및 도 12a 내지 도 12c는 상호접속 구조체들의 구현예에 의해 결합되는 PoP 상호접속 구역들의 구현예의 단면도들이고;
도 13은 도 1 내지 도 12c를 참조하여 설명된 바와 같이 PoP 상호접속 구역들 및 상호접속 구조체들을 사용하여 상부 및 하부 패키지들을 결합하는 예시적인 방법의 흐름도이고; 및
도 14는 도 1 내지 도 12c를 참조하여 설명된 바와 같은 PoP 상호접속 구역을 형성하는 예시적인 방법의 흐름도이다.Details of one or more aspects of devices and techniques for providing package-on-package (PoP) interconnect regions having conductive and non-conductive regions are described herein with reference to the drawings. Like numbers are used throughout the drawings to refer to similar features and components.
FIG. 1 is a cross-sectional view of PoP interconnect regions formed on upper and lower packages to be joined via an interconnect structure;
FIG. 2 is a cross-sectional view of the PoP interconnection regions of FIG. 1 joined by an interconnection structure;
FIG. 3 is a partial cutaway perspective view of the PoP interconnection regions and interconnection structures of FIG. 1;
FIG. 4 is a partial cutaway perspective view of the upper and lower packages having a plurality of PoP interconnect regions to be joined with a plurality of interconnect structures;
FIG. 5 is a perspective view of the upper and lower packages of FIG. 4 joined together via PoP interconnect regions and interconnect structures;
FIGS. 6A through 6C, FIGS. 7A through 7D, FIGS. 8A through 8C, and FIGS. 9A through 9C are schematic illustrations of different configurations of PoP interconnect regions having conductive and/or non-conductive regions;
FIGS. 10A to 10C, FIGS. 11A and 11B, and FIGS. 12A to 12C are cross-sectional views of examples of implementations of PoP interconnect regions joined by examples of interconnect structures;
FIG. 13 is a flow diagram of an exemplary method of joining upper and lower packages using PoP interconnect regions and interconnect structures as described with reference to FIGS. 1 to 12c; and
FIG. 14 is a flow diagram of an exemplary method for forming a PoP interconnection region as described with reference to FIGS. 1 to 12c.
개요outline
컴퓨팅 디바이스들 및 다른 전자 디바이스들은 지속적으로 더 강력하고 소형화되고 있다. 반도체 디바이스들 및 다른 패키지들의 계속 증가하는 성능 및 계속 감소하는 크기는 개선된 디바이스 전력 및 감소된 크기를 제공하는 것을 돕는다. 그러나, 디바이스 전력을 개선하고 사이즈를 감소시키는 능력은 또한 더 많은 패키지들을 콤팩트한 볼륨에 피팅하는 능력 및 디바이스들을 효과적으로 상호접속하는 능력 둘 모두에 의존한다. Computing devices and other electronic devices are continually becoming more powerful and smaller. The ever-increasing performance and ever-decreasing size of semiconductor devices and other packages help provide improved device power and reduced size. However, the ability to improve device power and reduce size also relies on both the ability to fit more packages into a compact volume and the ability to efficiently interconnect devices.
이전에 설명된 바와 같이, 패키지들 내에서 그리고 패키지들 사이에서 신호 손실을 방지하기 위해 임피던스 불연속성을 제한하는 것이 중요할 수 있다. 또한 이전에 설명된 바와 같이, 디바이스들 사이의 접속에서 임피던스 불연속성을 감소시키기 위해 사용되는 하나의 기법은 인덕턴스 코일(inductance coil)을 사용하는 것이다. 이들 인덕턴스 코일은 신호 라인을 중심으로 다수 회 감김을 포함할 수 있고, 따라서 패키지의 표면 상의 상당한 양의 공간을 소비할 수 있다. 따라서, 인덕턴스 코일들이 유용하지만, 점점 더 콤팩트하고 조밀하게 패킹된 디바이스들에서, 인덕턴스 코일들을 포함하도록 패키지 공간을 할당하는 것이 항상 실용적인 것은 아니다.As previously described, it can be important to limit impedance discontinuities within and between packages to prevent signal loss. Also, as previously described, one technique used to reduce impedance discontinuities in connections between devices is to use inductance coils. These inductance coils can include multiple turns around the signal line and thus can consume a significant amount of space on the surface of the package. Thus, while inductance coils are useful, in increasingly compact and densely packed devices, it is not always practical to allocate package space to include inductance coils.
한편, 패키지들 사이의 상호접속 구역들에서의 커패시턴스를 감소시킴으로써 패키지들 사이의 상호접속에서의 임피던스 불연속성은 감소될 수 있다. 본 명세서에 설명된 바와 같은 구현예에 따르면, 패키지들 상의 전기적 및 물리적 상호접속 구역들을 선택적으로 구성함으로써 패키지들 사이의 상호접속에서의 커패시턴스가 감소될 수 있다.Meanwhile, the impedance discontinuity in the interconnection between the packages can be reduced by reducing the capacitance in the interconnection regions between the packages. According to the implementation examples described herein, the capacitance in the interconnection between the packages can be reduced by selectively configuring the electrical and physical interconnection regions on the packages.
하나의 예시적인 구현예에서, 패키지의 패키지-온-패키지 전기적 및 물리적 상호접속 구역들(PoP 상호접속 구역들)은 상호접속 구조체를 통해 다른 패키지와의 물리적 접속 및 전기적 접속을 가능하게 하도록 구성된다. PoP 상호접속 구역들은 각각 전도성 영역 및 비전도성 영역을 포함한다. 전도성 영역은 패키지와 다른 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하도록 구성된다. 전도성 구조체 및 비전도성 구조체를 또한 포함할 수 있는 상호접속 구조체는 PoP 상호접속 구역들에 결합하여, 임피던스 불연속성을 감소시키기 위해 PoP 상호접속 구역들에서 감소된 커패시턴스를 초래한다. In one exemplary implementation, package-on-package electrical and physical interconnect regions (PoP interconnect regions) of the package are configured to enable physical connection and electrical connection with another package via interconnect structures. The PoP interconnect regions each include a conductive region and a non-conductive region. The conductive region is configured to enable signal transmission between the package and another package. The interconnect structure, which may also include conductive structures and non-conductive structures, is coupled to the PoP interconnect regions to result in reduced capacitance in the PoP interconnect regions to reduce impedance discontinuities.
본 문서는 임피던스 불연속성을 감소시키기 위해 커패시턴스를 감소시키는 PoP 상호접속 구역들을 포함하는 장치들 및 감소된 커패시턴스를 갖는 PoP 상호접속 구역들을 형성 및/또는 결합하기 위한 기법들을 설명한다. 장치들 및 기법들은 시스템-온-칩(SoC) 디바이스들 내의 패키지들을 메모리 디바이스들과 상호접속시키고, 다수의 메모리 및/또는 로직 디바이스들을 함께 결합시키고, 다른 애플리케이션들에서 이들 디바이스들 사이의 효과적인 신호 송신을 용이하게 하는 데 유용성을 가질 수 있다.This document describes devices including PoP interconnect regions that reduce capacitance to reduce impedance discontinuities and techniques for forming and/or joining PoP interconnect regions having reduced capacitance. The devices and techniques may be useful for interconnecting packages within system-on-chip (SoC) devices with memory devices, for joining multiple memory and/or logic devices together, and for facilitating efficient signal transmission between these devices in other applications.
예시적인 장치들 Exemplary devices
도 1은 상호접속 구조체(150)에 의해 결합될 수 있는 PoP 상호접속 구역들(120 및 140)을 포함하는 시스템(100)을 예시한다. 도 1의 예에서, PoP 상호접속 구역들(120 및 140)은 각각 전도성 영역들(122 및 142)와 비전도성 영역들(124 및 144)를 포함한다. PoP 상호접속 구역들(120 및 140)은 전도성 구조체(152) 및 비전도성 구조체(154)를 포함하는 상호접속 구조체(150)에 의해 결합될 수 있다. 도 2를 참조하여 하기에 설명된 바와 같이 상호접속될 때, 상호접속 구조체(150)는 PoP 상호접속 구역들(120 및 140)을 전기적으로 및 물리적으로 접속한다.FIG. 1 illustrates a system (100) including PoP interconnect regions (120 and 140) that can be joined by interconnect structures (150). In the example of FIG. 1, the PoP interconnect regions (120 and 140) include conductive regions (122 and 142) and non-conductive regions (124 and 144), respectively. The PoP interconnect regions (120 and 140) can be joined by an interconnect structure (150) that includes a conductive structure (152) and a non-conductive structure (154). When interconnected as described below with reference to FIG. 2, the interconnect structure (150) electrically and physically connects the PoP interconnect regions (120 and 140).
보다 구체적으로, 메모리 디바이스 또는 로직 디바이스와 같은 반도체 디바이스를 포함할 수 있는 상부 패키지(110)는 제1 PoP 상호접속 구역(120)이 형성되는 하부-대면 표면(112)을 포함한다. 제1 PoP 상호접속 구역(120)은 상부 패키지(110)의 생성의 일부로서 형성되는 상부 전도성 재료(126)의 면 상에 상부 전도성 영역(122)을 포함한다. 제1 PoP 상호접속 구역(120)은 또한 하부-대면 표면(112) 상에 상부 비전도성 영역(124)을 포함한다. 비전도성 영역(124)은 상부 패키지(110)의 본체 또는 기판을 포함할 수 있는 상부 비전도성 재료(128)의 면 상에 있을 수 있다. 상부 전도성 재료(126)는 상부 패키지(110) 내에서, 상부 전도성 영역(122)에 의해 수신되거나 그로부터 송신되는 신호들이 전도되는 제1 신호 전도체(125)에 전기적으로 및 물리적으로 커플링될 수 있다.More specifically, the upper package (110), which may include a semiconductor device, such as a memory device or a logic device, includes a bottom-facing surface (112) on which a first PoP interconnection region (120) is formed. The first PoP interconnection region (120) includes an upper conductive region (122) on a side of an upper conductive material (126) that is formed as part of the creation of the upper package (110). The first PoP interconnection region (120) also includes an upper non-conductive region (124) on the bottom-facing surface (112). The non-conductive region (124) may be on a side of an upper non-conductive material (128), which may include a body or substrate of the upper package (110). The upper conductive material (126) can be electrically and physically coupled to a first signal conductor (125) within the upper package (110) through which signals received by or transmitted from the upper conductive region (122) are conducted.
메모리 디바이스 또는 로직 디바이스와 같은 반도체 디바이스를 또한 포함할 수 있는 하부 패키지(130)는 제2 패키지-온-패키지 상호접속 구역(140)(제2 PoP 상호접속 구역(140))이 위에 형성되는 상부-대면 표면(132)을 포함한다. 제2 PoP 상호접속 구역(140)은 하부 패키지(130)의 생성의 일부로서 형성되는 하부 전도성 재료(146)의 면 상의 하부 전도성 영역(142)을 포함한다. 제2 PoP 상호접속 구역(140)은 또한 하부 패키지(130)의 기판 또는 본체를 포함할 수 있는 상부 비전도성 재료(148)의 면 상의 하부 비전도성 영역(144)을 포함한다. 하부 전도성 재료(146)는 하부 패키지(130) 내에서, 하부 전도성 영역(142)에 의해 수신하거나 그로부터 송신하는 신호들이 전도되는 제2 전도체(145)에 전기적으로 및 물리적으로 커플링될 수 있다.A lower package (130), which may also include a semiconductor device, such as a memory device or a logic device, includes a top-facing surface (132) having a second package-on-package interconnection region (140) (second PoP interconnection region (140)) formed thereon. The second PoP interconnection region (140) includes a lower conductive region (142) on a side of a lower conductive material (146) that is formed as part of the formation of the lower package (130). The second PoP interconnection region (140) also includes a lower non-conductive region (144) on a side of a upper non-conductive material (148), which may include a substrate or body of the lower package (130). The lower conductive material (146) may be electrically and physically coupled to a second conductor (145) within the lower package (130) through which signals received by or transmitted from the lower conductive region (142) are conducted.
패키지 제조의 당업자에 의해 이해되는 바와 같이, 전도성 영역(122 및 142)과 같은 전도성 영역은 비전도성 기판 상에 전도성 재료를 증착함으로써 형성될 수 있다. 유사하게, 비전도성 영역들(124 및 144)과 같은 비전도성 영역은 기판 상에 이전에 증착된 전도성 재료의 일부를 제거함으로써 형성될 수 있다. As will be appreciated by those skilled in the art of package fabrication, conductive regions, such as conductive regions (122 and 142), may be formed by depositing a conductive material on a non-conductive substrate. Similarly, non-conductive regions, such as non-conductive regions (124 and 144), may be formed by removing a portion of conductive material previously deposited on a substrate.
PoP 상호접속 구역들(120, 140)을 접속하는 상호접속 구조체(150)는 솔더 볼(solder ball)의 성질을 가질 수 있다. 도 1의 예에서, 전도성 구조체(152)는 비전도성 구조체(154) 위에 또는 주위에 배치된 전도성 층을 포함한다. 비전도성 구조체(154)는 상호접속 구조체(150)의 코어를 포함할 수 있다. 다양한 구현예에서, 비전도성 구조체(154)는 플라스틱과 같은 엘라스토머로 형성될 수 있다. 이러한 엘라스토머 및 플라스틱 코어의 사용은, 하기에서 더 설명되는 바와 같이, 전도성 구조체(152)를 지지하고 상부 패키지(110)와 하부 패키지(130)의 물리적 접속을 용이하게 하는 물리적 구조체를 제공한다.The interconnect structure (150) connecting the PoP interconnect regions (120, 140) may have the properties of a solder ball. In the example of FIG. 1, the conductive structure (152) includes a conductive layer disposed over or around a non-conductive structure (154). The non-conductive structure (154) may include a core of the interconnect structure (150). In various implementations, the non-conductive structure (154) may be formed of an elastomer, such as a plastic. The use of such an elastomer and a plastic core provides a physical structure that supports the conductive structure (152) and facilitates physical connection of the upper package (110) and the lower package (130), as described further below.
도 2는 PoP 상호접속 구역들(120 및 140)이 상호접속 구조체(250)에 의해 그의 어셈블리된 형태로 결합된 시스템(200)을 예시한다. 상호접속 구조체(250)의 어셈블리된 형태에서, 전도성 구조체(252) 및 비전도성 구조체(254)는 도 1의 상호접속 구조체(150)의 전도성 구조체(152) 및 비전도성 구조체(154)의 형태에 비해 어셈블리 공정의 일부로서 변형되었다. 어셈블리 공정의 일부로서, 열(도 1 또는 도 2에 도시되지 않음)이 상부 패키지(110), 하부 패키지(130), 및 상호접속 구조체(150)에 인가되어 상호접속 구조체(150)의 전도성 구조체(152) 및 비전도성 구조체(154)의 유동을 유도할 수 있다. 열이 인가됨에 따라, 상부 패키지(110)는 하부 패키지(130)에 대해 이동되며(예를 들어, 상부 패키지(110)는 하부 패키지(130)를 향해 이동되며), 상호접속 구조체(150)는 제1 PoP 상호접속 구역(120)과 제2 PoP 상호접속 구역(140) 사이에 위치된다. 상부 패키지(110) 및 하부 패키지(130)를 함께 이동시키는 것은 도 1의 상호접속 구조체(150)가 그 사이에 가압되고, 상호접속 구조체(150)의 전도성 구조체(152) 및 비전도성 구조체(154)를 도 2에 도시된 상호접속 구조체(250)의 어셈블리된 형태의 전도성 구조체(252) 및 비전도성 구조체(254)의 형태로 변형시킨다. 결과적으로, 상호접속 구조체(250)의 전도성 구조체(252) 및 비전도성 구조체(254)는 제1 PoP 상호접속 구역(120) 및 제2 PoP 상호접속 구역(140)을 결합시킨다. FIG. 2 illustrates a system (200) in which PoP interconnect regions (120 and 140) are joined in their assembled form by an interconnect structure (250). In the assembled form of the interconnect structure (250), the conductive structure (252) and the non-conductive structure (254) have been deformed as part of the assembly process compared to the forms of the conductive structure (152) and the non-conductive structure (154) of the interconnect structure (150) of FIG. 1. As part of the assembly process, heat (not shown in FIG. 1 or FIG. 2) may be applied to the upper package (110), the lower package (130), and the interconnect structure (150) to induce flow of the conductive structure (152) and the non-conductive structure (154) of the interconnect structure (150). As heat is applied, the upper package (110) is moved relative to the lower package (130) (e.g., the upper package (110) is moved toward the lower package (130)), and the interconnect structure (150) is positioned between the first PoP interconnect region (120) and the second PoP interconnect region (140). Moving the upper package (110) and the lower package (130) together causes the interconnect structure (150) of FIG. 1 to be pressed therebetween, deforming the conductive structure (152) and the non-conductive structure (154) of the interconnect structure (150) into the form of the assembled form of the conductive structure (252) and the non-conductive structure (254) of the interconnect structure (250) as shown in FIG. 2. As a result, the conductive structure (252) and the non-conductive structure (254) of the interconnection structure (250) connect the first PoP interconnection region (120) and the second PoP interconnection region (140).
보다 구체적으로, 상호접속 구조체(250)의 전도성 구조체(252)는 상부 패키지(110)의 제1 PoP 상호접속 구역(120)의 상부 전도성 영역(122)과 제2 PoP 상호접속 구역(140)의 하부 전도성 영역(142) 사이에 전기적 및 물리적 접속들을 형성한다. 상호접속 구조체(150)의 비전도성 구조체(254)는 또한 상부 패키지(110)의 제1 PoP 상호접속 구역(120)의 상부 비전도성 영역(124)과 제2 PoP 상호접속 구역(140)의 하부 비전도성 영역(144) 사이에 물리적 접속들을 형성한다. 상부 비전도성 영역(124), 하부 비전도성 영역(144) 및 비전도성 구조체(254)를 포함하는 것은 상부 비전도성 영역(124)과 하부 비전도성 영역(144) 사이의 전기 접촉 영역의 크기가 감소되어 이로써 이러한 영역의 캐패시턴스가 감소한다. 커패시턴스를 감소시키는 것은, 다른 효과들 중에서도, 신호들이 이들 영역들에 걸쳐 송신될 때 반사 손실을 감소시킬 수 있고, 이에 의해 임피던스 불연속성을 감소시키고 신호 송신을 개선시킨다.More specifically, the conductive structure (252) of the interconnection structure (250) forms electrical and physical connections between the upper conductive region (122) of the first PoP interconnection region (120) of the upper package (110) and the lower conductive region (142) of the second PoP interconnection region (140). The non-conductive structure (254) of the interconnection structure (150) also forms physical connections between the upper non-conductive region (124) of the first PoP interconnection region (120) of the upper package (110) and the lower non-conductive region (144) of the second PoP interconnection region (140). Including an upper non-conductive region (124), a lower non-conductive region (144), and a non-conductive structure (254) reduces the size of the electrical contact region between the upper non-conductive region (124) and the lower non-conductive region (144), thereby reducing the capacitance of this region. Reducing the capacitance can, among other effects, reduce reflection loss when signals are transmitted across these regions, thereby reducing impedance discontinuities and improving signal transmission.
도 3은 상부 패키지(310) 및 하부 패키지(330)의 제1 PoP 상호접속 구역(320) 및 제2 PoP 상호접속 구역(340)의 제1 표면 (315) 및 제2 표면(335)을 각각 예시하기 위한 시스템(300)의 사시도 및 부분 절개도를 예시한다. 도 1의 예와 유사하게, PoP 상호접속 구역들(320 및 340)은 각각 전도성 영역들(322 및 342) 및 비전도성 영역들(324 및 344)을 포함한다. 도 3의 예에서, 제1 PoP 상호접속 구역(320)의 제1 표면(315)은 상부 패키지(310)의 하부-대면 표면(312) 상에 위치된다. 제1 PoP 상호접속 구역(320)의 상부 전도성 영역(322)은 상부 패키지(310)에 배치된 상부 전도성 재료(326)의 면이다. 도 3의 예에서, 상부 전도성 영역(322)은 상부 패키지(310)에 포함된 상부 비전도성 영역(324)을 둘러싼다. 대응하게, 제2 PoP 상호접속 구역(340)의 제2 표면(335)은 하부 패키지(330)의 상부-대면 표면(332) 상에 위치된다. 제2 PoP 상호접속 구역(340)의 하부 전도성 영역(342)은 하부 패키지(330)에 배치된 하부 전도성 재료(346)의 면이다. 도 3의 예에서, 하부 전도성 영역(342)은 하부 패키지(330)에 포함된 하부 비전도성 영역(344)을 둘러싼다. FIG. 3 illustrates a perspective view and a partial cut-away view of a system (300) to illustrate first surfaces (315) and second surfaces (335) of a first PoP interconnection region (320) and a second PoP interconnection region (340) of an upper package (310) and a lower package (330), respectively. Similar to the example of FIG. 1, the PoP interconnection regions (320 and 340) include conductive regions (322 and 342) and non-conductive regions (324 and 344), respectively. In the example of FIG. 3, the first surface (315) of the first PoP interconnection region (320) is located on the bottom-facing surface (312) of the upper package (310). The upper conductive region (322) of the first PoP interconnection region (320) is a surface of the upper conductive material (326) disposed in the upper package (310). In the example of FIG. 3, the upper conductive region (322) surrounds the upper non-conductive region (324) included in the upper package (310). Correspondingly, the second surface (335) of the second PoP interconnection region (340) is located on the upper-facing surface (332) of the lower package (330). The lower conductive region (342) of the second PoP interconnection region (340) is a surface of the lower conductive material (346) disposed in the lower package (330). In the example of FIG. 3, the lower conductive region (342) surrounds the lower non-conductive region (344) included in the lower package (330).
도 3의 예에서, 상부 전도성 영역(322) 및 하부 전도성 영역(342)은 각각 상부 비전도성 영역(324) 및 하부 비전도성 영역(344)을 둘러싸는 링의 형상이다. 이러한 방식으로, 패키지들(310 및 330)이 함께 어셈블리될 때, 상호접속 구조체(350)의 전도성 외측 구조체(352)는 상부 전도성 영역(322)과 하부 전도성 영역(342)의 링들을 전기적으로 및 물리적으로 커플링한다. 상호접속 구조체(350)의 비전도성 구조체(354)는 링의 대략 중심에서 상부 비전도성 영역(324)과 하부 비전도성 영역(344)을 물리적으로 결합한다.In the example of FIG. 3, the upper conductive region (322) and the lower conductive region (342) are shaped like rings that surround the upper non-conductive region (324) and the lower non-conductive region (344), respectively. In this manner, when the packages (310 and 330) are assembled together, the conductive outer structure (352) of the interconnect structure (350) electrically and physically couples the rings of the upper conductive region (322) and the lower conductive region (342). The non-conductive structure (354) of the interconnect structure (350) physically couples the upper non-conductive region (324) and the lower non-conductive region (344) approximately at the center of the ring.
도 3에 도시된 바와 같은 상부 전도성 재료(326), 상부 비전도성 재료(328), 하부 전도성 재료(346), 및 하부 비전도성 재료(348)의 깊이가 예시의 목적을 위한 것이며 축척에 맞지 않을 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 상부 전도성 재료(326), 상부 비전도성 재료(328), 하부 전도성 재료(346), 및 하부 비전도성 재료(348) 각각은 그들의 기능을 용이하게 하기 위해 제로가 아닌 깊이를 갖지만, 그들 각 패키지들(310 및 330) 내에서 임의의 특정 깊이까지 연장될 필요는 없다. It should be understood that the depths of the upper conductive material (326), the upper non-conductive material (328), the lower conductive material (346), and the lower non-conductive material (348) as illustrated in FIG. 3 are for illustrative purposes and may not be to scale. Each of the upper conductive material (326), the upper non-conductive material (328), the lower conductive material (346), and the lower non-conductive material (348) have non-zero depths to facilitate their function, but need not extend to any particular depth within their respective packages (310 and 330).
도 4는 상부 패키지(410)의 하부-대면 표면(412) 상에 제1 PoP 상호접속 구역들(420 및 421)의 세트들을 갖는 상부 패키지(410) 및 하부 패키지(430)의 상부-대면 표면(432) 상에 제2 PoP 상호접속 구역들(440 및 441)의 세트들을 갖는 하부 패키지(430)를 포함하는 시스템(400)을 도시한다. 다수의 상호접속 구조체(450)는 제1 PoP 상호접속 구역들(420 및 421)의 세트들과 제2 PoP 상호접속 구역들(440 및 441)의 세트들의 각각 사이에 위치된다. 시스템(400)을 어셈블링하기 위해, 상부 패키지(410) 및 하부 패키지(430)는 상호접속 구조체(450) 내에 유동을 유도하기 위해 열(490)이 도입되는 동안, 각각, 상대적 방향들(405 및 415)에서 서로를 향해 이동된다. FIG. 4 illustrates a system (400) including an upper package (410) having sets of first PoP interconnection regions (420 and 421) on a bottom-facing surface (412) of the upper package (410) and a lower package (430) having sets of second PoP interconnection regions (440 and 441) on a top-facing surface (432) of the lower package (430). A plurality of interconnect structures (450) are positioned between each of the sets of first PoP interconnection regions (420 and 421) and the sets of second PoP interconnection regions (440 and 441). To assemble the system (400), the upper package (410) and the lower package (430) are moved toward each other in relative directions (405 and 415), respectively, while heat (490) is introduced to induce flow within the interconnect structure (450).
도 5는 이제 변형된 상호접속 구조들(550)에 의해 하부 패키지(430)에 결합된 상부 패키지(410)를 갖는 어셈블리된 시스템(500)을 도시한다. 변형된 상호접속 구조들(550)은 도 2를 참조하여 이전에 설명된 바와 같이, 열(490)(도 4)이 인가되는 동안 하부-대면 표면(412)과 상부-대면 표면(432) 사이에서 상호접속 구조들(550)을 압축하기 위해 상부 패키지(410)와 하부 패키지(430)를 함께 가압한 결과로서 적어도 부분적으로 변형된다. 도 10a 및 도 10b를 참조하여 하기에서 추가로 설명되는 바와 같이, 상호접속 구조체(550)가 변형되는 정도는 비전도성 구조체(254)(도 2)의 변형가능성에 의존할 수 있다. 따라서 상부 패키지(410) 및 하부 패키지(430)는 제1 PoP 상호접속 구역들(420 및 421)의 세트들과 제2 PoP 상호접속 구역들(440 및 441)의 세트들 사이의 상호접속 구조체(550)에 의해 전기적으로 및 물리적으로 결합되며, 세트들(420, 421, 440, 및 441) 내의 상호접속 구조체 각각은 도 3을 참조하여 설명된 바와 같이 결합된다. 세트들(420, 421, 440, 및 441) 내의 상호접속 구조체는 그룹들(420, 421, 440, 및 441) 내의 PoP 상호접속 구조체들 사이에 형성된 전기 접속들 각각에 대해 이전에 설명된 바와 같이 임피던스 불연속성을 감소시키기 위해 인터페이스에서 커패시턴스를 감소시키는 방식으로 결합된다.FIG. 5 now illustrates an assembled system (500) having an upper package (410) coupled to a lower package (430) by deformed interconnect structures (550). The deformed interconnect structures (550) are at least partially deformed as a result of pressurizing the upper package (410) and the lower package (430) together to compress the interconnect structures (550) between the lower-facing surface (412) and the upper-facing surface (432) while heat (490) (FIG. 4) is applied, as previously described with reference to FIG. 2. The extent to which the interconnect structure (550) is deformed may depend on the deformability of the non-conductive structure (254) (FIG. 2), as further described below with reference to FIGS. 10A and 10B. Accordingly, the upper package (410) and the lower package (430) are electrically and physically coupled by interconnect structures (550) between the sets of first PoP interconnect regions (420 and 421) and the sets of second PoP interconnect regions (440 and 441), each of the interconnect structures within the sets (420, 421, 440, and 441) being coupled as described with reference to FIG. 3. The interconnect structures within the sets (420, 421, 440, and 441) are coupled in a manner that reduces capacitance at the interface to reduce impedance discontinuities for each of the electrical connections formed between the PoP interconnect structures within the groups (420, 421, 440, and 441).
도 6a 내지 도 6c는 상이한 크기의 전도성 영역들(602, 612, 및 622) 및 비전도성 영역들(604, 614, 및 624)을 각각 갖는 대안적인 PoP 상호접속 구역들(600, 610, 및 620)을 도시한다. 대안적인 PoP 상호접속 구역들(600, 610, 및 620) 각각은 도 1 내지 도 3의 상부 패키지(110)의 제1 PoP 상호접속 구역(120) 또는 하부 패키지(130)의 제2 PoP 상호접속 구역(140)을 나타낼 수 있다. PoP 상호접속 구역(600, 610 및 620)은 각각 전도성 링(605, 615 또는 625)을 포함할 수 있습니다. 각 전도성 링(605, 615, 및 625)에서, 링은 비전도성 영역(604, 614, 및 624)을 둘러싸는 전도성 영역(602, 612, 및 622)으로 이루어진다. FIGS. 6A-6C illustrate alternative PoP interconnection regions (600, 610, and 620) having different sized conductive regions (602, 612, and 622) and non-conductive regions (604, 614, and 624), respectively. Each of the alternative PoP interconnection regions (600, 610, and 620) may represent a first PoP interconnection region (120) of the upper package (110) or a second PoP interconnection region (140) of the lower package (130) of FIGS. 1-3 . Each of the PoP interconnection regions (600, 610, and 620) may include a conductive ring (605, 615, or 625). In each conductive ring (605, 615, and 625), the ring consists of a conductive region (602, 612, and 622) surrounding a non-conductive region (604, 614, and 624).
특히 도 6a를 참조하면, 전도성 링(605)은 일반적으로 원형 모양이기 때문에, 전도성 영역(602) 및 비전도성 영역(604) 각각의 반경(606, 608)의 상대적인 크기는 전도성 영역(602) 및 비전도성 영역(604) 각각의 상대적인 크기를 결정한다. 전도성 영역(602) 및 비전도성 영역(604) 각각의 상대적인 크기들은 PoP 상호접속 구역(600)의 커패시턴스를 변화시키도록 조정될 수 있다. In particular, referring to FIG. 6A, since the conductive ring (605) is generally circular in shape, the relative sizes of the radii (606, 608) of the conductive region (602) and the non-conductive region (604), respectively, determine the relative sizes of the conductive region (602) and the non-conductive region (604), respectively. The relative sizes of the conductive region (602) and the non-conductive region (604), respectively, can be adjusted to change the capacitance of the PoP interconnection area (600).
예를 들어, 도 6b를 참조하면, PoP 상호접속 구역(610)의 전도성 영역(612)은 도 6a의 PoP 상호접속 구역(600)의 전도성 영역(602)과 동일한 반경(606)을 가질 수 있다. 대조적으로, PoP 상호접속 구역(610)의 비전도성 영역(614)은 PoP 상호접속 구역(600)의 비전도성 영역(604)의 반경(608)보다 더 큰 반경(618)을 가질 수 있다. 결과적으로, PoP 상호접속 구역(610)의 전도성 링(615)은 도 6a의 PoP 상호접속 구역(600)의 전도성 링(605)보다 더 좁다. 더 좁은 전도성 링(615)의 더 작은 영역은 도 6a의 PoP 상호접속 구역(600)의 전도성 링(605)보다 더 작은 커패시턴스를 갖는 PoP 상호접속 구역(610)을 초래할 것이다.For example, referring to FIG. 6b, the conductive region (612) of the PoP interconnection region (610) can have the same radius (606) as the conductive region (602) of the PoP interconnection region (600) of FIG. 6a. In contrast, the non-conductive region (614) of the PoP interconnection region (610) can have a larger radius (618) than the radius (608) of the non-conductive region (604) of the PoP interconnection region (600). As a result, the conductive ring (615) of the PoP interconnection region (610) is narrower than the conductive ring (605) of the PoP interconnection region (600) of FIG. 6a. A smaller area of the narrower conductive ring (615) will result in a PoP interconnect region (610) having a smaller capacitance than the conductive ring (605) of the PoP interconnect region (600) of FIG. 6a.
다른 예를 들어, 도 6c를 참조하면, PoP 상호접속 구역(620)의 전도성 영역(622)은 도 6a의 PoP 상호접속 구역(600)의 전도성 영역(602)의 반경(606)보다 더 큰 반경(626)을 가질 수 있다. 대조적으로, PoP 상호접속 구역(620)의 비전도성 영역(624)은 도 6a의 PoP 상호접속 구역(600)의 비전도성 영역(604)의 반경(608)보다 더 작은 반경(628)을 가질 수 있다. 결과적으로, PoP 상호접속 구역(620)의 전도성 링(625)은 도 6a의 PoP 상호접속 구역(600)의 전도성 링(605)보다 더 넓다. 더 넓은 전도성 링(625)에 의해 제시되는 더 큰 영역은 상호접속 구조체(도 6c에 도시되지 않음)와 PoP 상호접속 구역(620)의 접속에서의 저항을 감소시킬 수 있다. 그러나 PoP 상호접속 구역(620)의 더 넓은 전도성 링(625)은 또한 도 6a의 PoP 상호접속 구역(600)보다 더 큰 캐퍼시턴스를 초래할 수 있다. 따라서, PoP 상호접속 구역들(600, 610, 및 620)의 전도성 영역들(602, 612, 및 622) 및 비전도성 영역들(604, 614, 및 624)의 상대적인 크기들은 각각 상호접속 패키지들(도 6a 내지 도 6c에 도시되지 않음)에서 원하는 전기적 특성들을 제공하도록 조정될 수 있다.For another example, referring to FIG. 6c, the conductive region (622) of the PoP interconnection region (620) can have a larger radius (626) than the radius (606) of the conductive region (602) of the PoP interconnection region (600) of FIG. 6a. In contrast, the non-conductive region (624) of the PoP interconnection region (620) can have a smaller radius (628) than the radius (608) of the non-conductive region (604) of the PoP interconnection region (600) of FIG. 6a. As a result, the conductive ring (625) of the PoP interconnection region (620) is wider than the conductive ring (605) of the PoP interconnection region (600) of FIG. 6a. The larger area presented by the wider conductive ring (625) can reduce the resistance at the connection of the interconnect structure (not shown in FIG. 6c) and the PoP interconnect region (620). However, the wider conductive ring (625) of the PoP interconnect region (620) can also result in a larger capacitance than the PoP interconnect region (600) of FIG. 6a. Accordingly, the relative sizes of the conductive regions (602, 612, and 622) and the non-conductive regions (604, 614, and 624) of the PoP interconnect regions (600, 610, and 620), respectively, can be adjusted to provide desired electrical characteristics in the interconnect packages (not shown in FIGS. 6a-6c).
본 명세서에 설명된 바와 같은 PoP 상호접속 구역들은 그들의 전도성 영역과 비전도성 영역 사이에 상이한 비율들을 가질 수 있을 뿐만 아니라, 상이한 형상들로 제시될 수 있다. 도 6a 내지 도 6c를 참조하여 설명된 바와 같이, PoP 상호접속 구역들(600, 610, 및 620)은 원형 형상일 수 있다. 또한, 도 7a 내지 도 7d를 참조하면, PoP 상호접속 구역들은 다양한 다면 형상들을 포함할 수 있다. 도 7a를 참조하면, PoP 상호접속 구역(700)은 직사각형 또는 정사각형 형상일 수 있고, 전도성 영역(702) 및 비전도성 영역(704) 둘 모두는 4개의 측면들을 갖는다. 도 7b를 참조하면, PoP 상호접속 구역(710)은 삼각형 형상일 수 있고, 전도성 영역(712) 및 비전도성 영역(714) 둘 모두는 3개의 측면들을 갖는다. 도 7c를 참조하면, PoP 상호접속 구역(720)은 육각형 형상일 수 있으며, 전도성 영역(722) 및 비전도성 영역(724) 둘 모두는 6개의 측면들을 갖는다. 전도성 영역(702, 712, 722) 및/또는 비전도성 영역(704, 714, 724)이 포함할 수 있는 측면의 수에는 제한이 없음을 이해해야 한다. The PoP interconnect regions as described herein may not only have different ratios between their conductive and non-conductive areas, but may also be presented in different shapes. As described with reference to FIGS. 6A-6C , the PoP interconnect regions (600, 610, and 620) may be circular in shape. Further, referring to FIGS. 7A-7D , the PoP interconnect regions may include various multi-faceted shapes. Referring to FIG. 7A , the PoP interconnect region (700) may be rectangular or square in shape, and both the conductive region (702) and the non-conductive region (704) have four sides. Referring to FIG. 7B , the PoP interconnect region (710) may be triangular in shape, and both the conductive region (712) and the non-conductive region (714) have three sides. Referring to FIG. 7c, the PoP interconnect region (720) may have a hexagonal shape, and both the conductive region (722) and the non-conductive region (724) have six sides. It should be understood that there is no limitation to the number of sides that the conductive regions (702, 712, 722) and/or the non-conductive regions (704, 714, 724) may include.
또한, 도 7d를 참조하면, PoP 상호접속 구역(730)의 전도성 영역(732) 및 비전도성 영역(734)은 상이한 형상들일 수 있다는 것이 인식되어야 한다. 예를 들어, 전도성 영역(732)은 직사각형 또는 정사각형 형상일 수 있는 반면, 비전도성 영역(734)은 (도 7d에 도시된 바와 같이) 원형 형상일 수 있거나 상이한 다면 형상을 포함할 수 있다. PoP 상호접속 구역(730)의 커패시턴스 및 다른 물리적 및 전기적 특성들은, 전도성 영역(732) 및 비전도성 영역(734)의 형상들이 동일하지 않더라도, 전도성 영역(732) 및 비전도성 영역(734)의 상대적인 영역들과 상관관계를 가질 수 있다.Also, referring to FIG. 7d , it should be appreciated that the conductive region (732) and the non-conductive region (734) of the PoP interconnection region (730) may have different shapes. For example, the conductive region (732) may be rectangular or square in shape, while the non-conductive region (734) may be circular in shape (as shown in FIG. 7d ) or may include different multi-faceted shapes. The capacitance and other physical and electrical properties of the PoP interconnection region (730) may correlate with the relative areas of the conductive region (732) and the non-conductive region (734), even if the shapes of the conductive region (732) and the non-conductive region (734) are not identical.
도 8a 내지 도 8c를 참조하면, 도 6a 내지 도 6c의 PoP 상호접속 구역들(600, 610, 및 620) 및 도 7a 내지 도 7d의 PoP 상호접속 구역들(700, 710, 720, 및 730)과 대조적으로, PoP 상호접속 구역들(800, 810, 및 820)은 비전도성 영역들(804, 814, 및 824)에 의해 둘러싸인 전도성 영역들(802, 812, 및 822)을 포함할 수 있다. 도 8a 내지 도 8c에 도시된 바와 같이 PoP 상호접속 구역들(800, 810 및 820)의 예를 고려할 때, 도 6a 내지 도 6c를 참조하여 설명된 바와 같이, PoP 상호접속 구역들(800, 810 및 820)의 커패시턴스는 각각의 반경(806, 816 및 826)에 의해 결정되는 전도성 영역들(802, 812 및 822)의 크기와 상관관계를 가질 수 있다.Referring to FIGS. 8A-8C , in contrast to the PoP interconnection regions (600, 610, and 620) of FIGS. 6A-6C and the PoP interconnection regions (700, 710, 720, and 730) of FIGS. 7A-7D , the PoP interconnection regions (800, 810, and 820) may include conductive regions (802, 812, and 822) surrounded by non-conductive regions (804, 814, and 824). Considering examples of PoP interconnect regions (800, 810, and 820) as illustrated in FIGS. 8A-8C , the capacitance of the PoP interconnect regions (800, 810, and 820) may be correlated to the size of the conductive regions (802, 812, and 822) determined by their respective radii (806, 816, and 826), as described with reference to FIGS. 6A-6C .
비전도성 영역들에 의해 둘러싸인 전도성 영역들을 갖는 PoP 상호접속 구역들은 도 8a 내지 도 8c의 예들을 참조하여 설명된 바와 같이 형상이 원형인 전도성 영역들만을 포함할 필요는 없다. 도 9a 내지 도 9c를 참조하면, PoP 상호접속 구역들(900, 910 및 920)은 각각 다면의 전도성 영역들(902, 912 및 922)을 포함할 수 있다. 예를 들어, PoP 상호접속 구역(900)은 4개의 측면들을 갖는 직사각형 또는 정사각형 전도성 영역(902)을 포함한다. 도 9b를 참조하면, PoP 상호접속 구역(910)은 3개의 측면들을 갖는 삼각형 전도성 영역(912)을 포함한다. 도 9c를 참조하면, PoP 상호접속 구역(920)은 육각형 전도성 영역(922)을 포함한다. 전도성 구역들(902, 912, 및 922)이 포함할 수 있는 측면의 수에 제한이 없다는 것을 이해해야 한다. The PoP interconnect regions having conductive regions surrounded by non-conductive regions need not include only circular conductive regions as described with reference to the examples of FIGS. 8A-8C . Referring to FIGS. 9A-9C , the PoP interconnect regions (900, 910, and 920) can include multi-sided conductive regions (902, 912, and 922), respectively. For example, the PoP interconnect region (900) includes a rectangular or square conductive region (902) having four sides. Referring to FIG. 9B , the PoP interconnect region (910) includes a triangular conductive region (912) having three sides. Referring to FIG. 9C , the PoP interconnect region (920) includes a hexagonal conductive region (922). It should be understood that there is no limitation on the number of sides that the conductive regions (902, 912, and 922) may include.
PoP 상호접속 구역들 및 상호접속 구조체들의 다양한 구성들은, 도 10a 내지 도 12b를 참조하여 설명된 바와 같이, 상호접속 패키지들에서 바람직한 레벨들의 커패시턴스 및 다른 전기적 특성들을 결정하도록 선택될 수 있다. Various configurations of PoP interconnect regions and interconnect structures can be selected to determine desirable levels of capacitance and other electrical characteristics in the interconnect packages, as described with reference to FIGS. 10a through 12b.
도 10a 내지 도 10c를 참조하면, 시스템들(1000, 1002, 및 1004)은 도 1 내지 도 4 및 도 6a 내지 도 7c를 참조하여 이전에 설명된 바와 같이 비전도성 영역들(1024 및 1044) 주위에 전도성 영역들(1022 및 1042)을 갖는 PoP 상호접속 구역들(1020 및 1040)을 포함한다. 특히 도 10a를 참조하면, 앞서 설명한 바와 같이, PoP 상호접속 구역들(1020 및 1040)과 상호접속 구조체(1050) 사이에 각각 형성된 전기적 접속에서의 PoP 상호접속 구역들(1020 및 1040)의 커패시턴스는 상부 패키지(1010) 및 하부 패키지(1030) 상의 개별 전도성 영역들(1022 및 1042)과 비전도성 영역들(1024 및 1044)의 상대적인 크기와 상관관계를 가진다. 상호접속 구조체(1050)가 (예를 들어, 비전도성 코어 없이) 전도성 본체를 포함하는 경우, 비전도성 영역들(1024 및 1044)의 상대적인 크기는 상호접속 구조체(1050)와의 전기적 접속에서의 커패시턴스와 상관관계를 가진다. 유사하게, 특히 도 10b를 참조하면, 상호접속 구조체(1051)가 전도성 층(1052) 및 비전도성 코어(1054) 둘 모두를 포함하는 경우, 비전도성 코어(1054)는 상호접속 구조체(1051)의 전도성 영역들(1022, 1042)과 전도성 층(1052) 사이의 접촉을 차단하거나 간섭하지 않도록 강성 재료로 구성 및/또는 크기가 조정될 수 있다. Referring to FIGS. 10A-10C , systems (1000, 1002, and 1004) include PoP interconnect regions (1020 and 1040) having conductive regions (1022 and 1042) around non-conductive regions (1024 and 1044) as previously described with reference to FIGS. 1-4 and 6A-7C . In particular, referring to FIG. 10A, as described above, the capacitance of the PoP interconnect regions (1020 and 1040) in the electrical connection formed between the PoP interconnect regions (1020 and 1040) and the interconnect structure (1050) respectively is correlated to the relative sizes of the individual conductive regions (1022 and 1042) and the non-conductive regions (1024 and 1044) on the upper package (1010) and the lower package (1030). When the interconnect structure (1050) includes a conductive body (e.g., without a non-conductive core), the relative sizes of the non-conductive regions (1024 and 1044) are correlated to the capacitance in the electrical connection with the interconnect structure (1050). Similarly, and particularly with reference to FIG. 10b, where the interconnect structure (1051) includes both a conductive layer (1052) and a non-conductive core (1054), the non-conductive core (1054) may be constructed and/or sized from a rigid material so as not to block or interfere with contact between the conductive regions (1022, 1042) of the interconnect structure (1051) and the conductive layer (1052).
도 10c를 참조하면, 다른 한편으로, 상호접속 구조체(1053)는 크기 및/또는 변형성을 가지는 비전도성 코어(1055)를 포함할 수 있으며, 이로써 비전도성 코어(1055)는 상호접속 구조체(1053)의 전도성 영역들(1022 및 1042)과 전도성 층(1052) 사이의 전기적 상호접속 영역을 부분적으로 차단할 수 있다. 비전도성 코어(1055)는 상부 패키지(1010)와 하부 패키지(1030) 사이에서 가압될 때 부분적으로 변형되도록 구성된 반-강성 재료를 포함할 수 있다. 상호접속 구조체(1053)의 전도성 영역들(1022 및 1042)과 전도성 층(1052) 사이의 전기적 상호접속 영역을 부분적으로 차단함으로써, 비전도성 코어(1055)는 상호접속 구조체(1053)의 전도성 영역들(1022 및 1042)과 전도성 층(1052) 사이의 접촉 영역을 감소시킬 수 있고, 따라서, PoP 상호접속 구역들(1020 및 1040) 사이의 접속에서 커패시턴스 또는 다른 전기적 특성들을 변화시킬 수 있다.Referring to FIG. 10c, on the other hand, the interconnect structure (1053) may include a non-conductive core (1055) having a size and/or deformability such that the non-conductive core (1055) may partially block the electrical interconnection region between the conductive regions (1022 and 1042) of the interconnect structure (1053) and the conductive layer (1052). The non-conductive core (1055) may include a semi-rigid material configured to partially deform when pressed between the upper package (1010) and the lower package (1030). By partially blocking the electrical interconnection area between the conductive regions (1022 and 1042) of the interconnection structure (1053) and the conductive layer (1052), the non-conductive core (1055) can reduce the contact area between the conductive regions (1022 and 1042) of the interconnection structure (1053) and the conductive layer (1052), and thus change the capacitance or other electrical characteristics at the connection between the PoP interconnection regions (1020 and 1040).
상호접속 구조체의 상대적인 구성은 또한 PoP 상호접속 구역들이 비전도성 구역들 주위의 전도성 구역들을 포함하지 않는 전기적 특성들에 영향을 미칠 수 있다. 도 11a 및 도 11b를 참조하면, 상부 및 하부 패키지들(1110 및 1130)의 시스템들(1100 및 1102)은, 도 8a 내지 도 9c를 참조하여 설명된 바와 같이, 비전도성 영역들을 둘러싸지 않는 전도성 영역들(1122 및 1142)을 포함하는 PoP 상호접속 구역들(1120 및 1140)을 포함한다. 도 11a 및 도 11b의 상호접속 구조체들(1150 및 1151)의 구성은 커패시턴스 또는 기타 전기적 특성에 영향을 주도록 변경될 수 있다. 도 11a를 참조하면, 상호접속 구조체(1150)는 (예를 들어, 비전도성 코어 없이) 전도성 본체를 포함하고; 따라서, 전도성 영역들(1122 및 1142)과 상호접속 구조체(1150) 사이의 상호접속에서의 커패시턴스는 전도성 영역들(1122 및 1142) 및 상호접속 구조체(1150)의 크기와 상관관계를 가질 수 있다.The relative configuration of the interconnect structures can also affect electrical characteristics of the PoP interconnect regions that do not include conductive regions surrounding non-conductive regions. Referring to FIGS. 11A and 11B , the systems (1100 and 1102) of the upper and lower packages (1110 and 1130) include PoP interconnect regions (1120 and 1140) that include conductive regions (1122 and 1142) that do not surround non-conductive regions, as described with reference to FIGS. 8A-9C . The configuration of the interconnect structures (1150 and 1151) of FIGS. 11A and 11B can be varied to affect capacitance or other electrical characteristics. Referring to FIG. 11A , the interconnect structure (1150) includes a conductive body (e.g., without a non-conductive core); Therefore, the capacitance at the interconnection between the conductive regions (1122 and 1142) and the interconnection structure (1150) may be correlated with the sizes of the conductive regions (1122 and 1142) and the interconnection structure (1150).
대조적으로, 도 11b를 참조하면, 상호접속 구조체(1151)는 전도성 층(1152) 및 비전도성 코어(1154)를 포함한다. 비전도성 코어(1154)는 반강성의 변형가능한 재료로 구성 및/또는 크기가 조정될 수 있어서, 비전도성 코어(1154)는 상호접속 구조체(1151)의 전도성 영역(1122, 1142)과 전도성 층(1152) 사이의 전기 상호접속 영역을 부분적으로 차단한다. 상호접속 구조체(1151)의 전도성 영역(1122 및 1142)과 전도성 층(1152) 사이의 전기 상호접속 영역을 부분적으로 차단함으로써, 비전도성 코어(1154)는 전도성 영역(1122 및 1142)과 상호접속 구조체(1151)의 전도성 층(1152) 사이의 접촉 영역을 감소시킬 수 있으며, 따라서 PoP 상호접속 구역(1120 및 1140) 사이의 접속에서 커패시턴스 또는 기타 전기적 특성을 변화시킬 수 있다.In contrast, referring to FIG. 11B, the interconnect structure (1151) includes a conductive layer (1152) and a non-conductive core (1154). The non-conductive core (1154) may be composed and/or sized of a semi-rigid, deformable material such that the non-conductive core (1154) partially blocks the electrical interconnection region between the conductive regions (1122, 1142) of the interconnect structure (1151) and the conductive layer (1152). By partially blocking the electrical interconnection area between the conductive regions (1122 and 1142) of the interconnection structure (1151) and the conductive layer (1152), the non-conductive core (1154) can reduce the contact area between the conductive regions (1122 and 1142) and the conductive layer (1152) of the interconnection structure (1151), thereby changing the capacitance or other electrical characteristics at the connection between the PoP interconnection regions (1120 and 1140).
도 12a 내지 도 12c를 참조하면, 본 명세서에 설명된 PoP 상호접속 구역들 및 상호접속 구조체들의 구현예들은 대칭 구성들로 제한되지 않는다는 것이 강조되어야 한다. 예를 들어, 도 12a의 시스템(1200)에서, 상부 패키지(1210)는 하부 패키지(1230)의 제2 PoP 상호접속 구역(1240)의 전도성 영역(1242)과 상이한 크기의 전도성 영역(1222)을 포함하는 제1 PoP 상호접속 구역(1220)을 포함할 수 있다(잠재적으로, 각각, PoP 상호접속 구역들(1220 및 1240)의 전도성 영역들(1222 및 1242) 내의 중심 비전도성 영역들(1224 및 1244)의 상이한 크기들의 결과로서). 그 결과로서, 상호접속 구조체(1250)에 걸친 PoP 상호접속 구역들(1220 및 1240) 사이의 전기 접촉의 면적은 상이할 수 있어서, PoP 상호접속 구역들(1220 및 1240) 각각과의 접속에서 상이한 커패시턴스 및/또는 다른 전기 특성들을 초래할 수 있다. 또한, 상호접속 구조체(1250)가 전도성 층(1252)과 비전도성 코어(1254)를 포함하는 경우, 비전도성 코어(1254)는 전도성 층(1252)과 전도성 영역(1222 및 1242) 사이의 전기적 접속 영역에 서로 상이하게 영향을 미칠 수 있다.With reference to FIGS. 12A-12C , it should be emphasized that implementations of the PoP interconnection regions and interconnection structures described herein are not limited to symmetrical configurations. For example, in the system (1200) of FIG. 12A , the upper package (1210) may include a first PoP interconnection region (1220) that includes a conductive region (1222) that is different in size from a conductive region (1242) of a second PoP interconnection region (1240) of the lower package (1230) (potentially as a result of different sizes of the central non-conductive regions (1224 and 1244) within the conductive regions (1222 and 1242) of the PoP interconnection regions (1220 and 1240), respectively). As a result, the area of electrical contact between the PoP interconnect regions (1220 and 1240) across the interconnect structure (1250) may be different, resulting in different capacitances and/or different electrical characteristics in the connection with each of the PoP interconnect regions (1220 and 1240). Furthermore, when the interconnect structure (1250) includes a conductive layer (1252) and a non-conductive core (1254), the non-conductive core (1254) may affect the electrical connection area between the conductive layer (1252) and the conductive regions (1222 and 1242) differently.
도 12b를 참조하면, PoP 상호접속 구역들(1221 및 1241)이 그들의 전도성 영역들(1223 및 1243) 내에 비전도성 영역들을 포함하지 않는 시스템(1202)에서, 전도성 영역들(1223 및 1243)은 또한 PoP 상호접속 구역들(1221 및 1241) 각각에서 커패시턴스 또는 다른 전기적 특성들을 변경하기 위해 상이한 크기일 수 있다. 예를 들어, 상부 패키지(1212)의 도전성 영역(1223)은 하부 패키지(1232)의 도전성 영역(1243)보다 작을 수 있다.Referring to FIG. 12b, in a system (1202) where the PoP interconnect regions (1221 and 1241) do not include non-conductive regions within their conductive regions (1223 and 1243), the conductive regions (1223 and 1243) may also be of different sizes to vary the capacitance or other electrical characteristics within each of the PoP interconnect regions (1221 and 1241). For example, the conductive region (1223) of the upper package (1212) may be smaller than the conductive region (1243) of the lower package (1232).
도 12c를 참조하면, 시스템(1204)은 상이한 유형의 PoP 상호접속 구역들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상부 패키지(1214)의 제1 PoP 상호접속 구역(1225)은 도 1 내지 도 4 및 도 6a 내지 도 7d를 참조하여 설명된 바와 같이, 비전도성 영역(1229) 주위에 전도성 영역(1227)을 포함할 수 있다. 대조적으로, 하부 패키지(1234)의 제2 PoP 상호접속 구역(1245)은 도 8a 내지 도 9c를 참조하여 설명된 바와 같이, 전도성 영역(1247) 내에 비전도성 영역을 포함하지 않을 수 있다. 상이하게 구성된 PoP 상호접속 구역(1225 및 1245)은 각 PoP 상호접속 구역(1225 및 1245)에서 상이한 커패시턴스 및/또는 기타 전기적 특성을 초래할 수 있다.Referring to FIG. 12C, the system (1204) may include different types of PoP interconnection regions. For example, the first PoP interconnection region (1225) of the upper package (1214) may include a conductive region (1227) around a non-conductive region (1229), as described with reference to FIGS. 1-4 and 6A-7D. In contrast, the second PoP interconnection region (1245) of the lower package (1234) may not include a non-conductive region within the conductive region (1247), as described with reference to FIGS. 8A-9C. The differently configured PoP interconnection regions (1225 and 1245) may result in different capacitances and/or other electrical characteristics in the respective PoP interconnection regions (1225 and 1245).
예시 방법 Example method
예시적인 방법(1300 및 1400)은 임피던스 불연속성을 감소시키기 위해 PoP 상호접속 구역에서 커패시턴스를 감소시키기 위해 상호접속 구조체로 서로 접합가능한 전도성 및 비전도성 영역들을 갖는 PoP 상호접속 구역들을 제공하는 하나 이상의 양태들에 따라, 각각 도 13 및 도 14를 참조하여 설명된다. 일반적으로, 방법(1300 및 1400)은 동작들이 본 명세서에 도시된 순서 또는 조합들로 수행될 수 있지만 반드시 이에 제한되는 것은 아닌 동작들(또는 액션들)의 세트들을 예시한다. 또한, 동작들 중 하나 이상의 임의의 동작은 반복되거나, 조합되거나, 재구성되거나, 생략되거나, 연결되어 추가적인 및/또는 대안적인 방법들을 광범위하게 제공할 수 있다. 다음의 논의의 일부에서, 도 1 내지 도 12c의 장치들 또는 구성들에 대한 참조가 이루어질 수 있으며, 이는 단지 예를 들어 이루어진다. 본 개시에서 설명된 기법들 및 장치들은 하나의 디바이스 상에서 동작하는 하나의 엔티티 또는 다수의 엔티티들 또는 도면들을 참조하여 설명된 것들에 의한 구현 또는 성능으로 제한되지 않는다.Exemplary methods (1300 and 1400) are described with reference to FIGS. 13 and 14 , respectively, in accordance with one or more aspects of providing PoP interconnect regions having conductive and nonconductive regions that are bondable to each other as an interconnect structure to reduce capacitance in the PoP interconnect region to reduce impedance discontinuities. In general, methods (1300 and 1400) illustrate sets of operations (or actions) that may be performed in the order or combinations shown herein, but are not necessarily limited thereto. Furthermore, any one or more of the operations may be repeated, combined, reconfigured, omitted, or connected to provide a wide range of additional and/or alternative methods. In some of the following discussion, reference may be made to the devices or configurations of FIGS. 1-12C , by way of example only. The techniques and devices described in this disclosure are not limited to implementation or performance by one entity or multiple entities operating on one device or by those described with reference to the drawings.
도 13은 도 1 내지 도 12c를 참조하여 이전에 설명된 바와 같이 패키지들 상의 PoP 상호접속 구역들을 사용하여 상부 패키지와 하부 패키지를 상호접속하는 예시적인 방법(1300)을 예시한다. 블록(1302)에서, 제1 패키지-온-패키지 전기적 및 물리적 상호접속 구역(제1 PoP 상호접속 구역)이 상부 패키지 상에 형성되어, 상부 물리적 접속 및 상부 전기적 접속을 가능하게 한다. 상부 전기 접속을 형성하는 단계는 상부 패키지와 하부 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하도록 구성된 상부 전도성 영역을 형성하는 단계를 포함한다. 상부 물리적 접속을 형성하는 단계는 상부 전기 접속에서 제1 감소된 커패시턴스를 가능하게 하도록 구성된 상부 비전도성 영역을 형성하는 단계를 포함한다. 예를 들어, 상부 패키지는 상부 전기 접속을 형성하기 위한 상부 전도성 영역(122) 및 상부 물리적 접속의 일부를 형성하기 위한 상부 비전도성 영역(124)을 갖는 제1 PoP 상호접속 구역(120)이 형성되는 도 1의 상부 패키지(110)를 포함할 수 있다. FIG. 13 illustrates an exemplary method (1300) of interconnecting a top package and a bottom package using PoP interconnection regions on the packages as previously described with reference to FIGS. 1-12c. At block (1302), a first package-on-package electrical and physical interconnection region (a first PoP interconnection region) is formed on the top package to enable a top physical connection and a top electrical connection. Forming the top electrical connection includes forming a top conductive region configured to enable signal transmission between the top package and the bottom package. Forming the top physical connection includes forming a top non-conductive region configured to enable a first reduced capacitance in the top electrical connection. For example, the top package may include the top package (110) of FIG. 1 having a first PoP interconnection region (120) formed therein having a top conductive region (122) for forming the top electrical connection and a top non-conductive region (124) for forming a portion of the top physical connection.
블록(1304)에서, 제2 패키지-온-패키지 전기적 및 물리적 상호접속 구역(제1 PoP 상호접속 구역)이 하부 패키지 상에 형성되어 하부 물리적 접속 및 하부 전기적 접속을 가능하게 한다. 하부 전기 접속을 형성하는 단계는 하부 패키지와 상부 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하도록 구성된 하부 전도성 영역을 형성하는 단계를 포함한다. 하부 물리적 접속을 형성하는 단계는 하부 전기 접속에서 제2 감소된 커패시턴스를 가능하게 하도록 구성된 하부 비전도성 영역을 형성하는 단계를 포함한다. 예를 들어, 하부 패키지는 도 1의 하부 패키지(130)를 포함할 수 있고, 그 위에 하부 전기 접속을 형성하기 위한 하부 전도성 영역(142) 및 하부 물리적 접속의 일부를 형성하기 위한 하부 비전도성 영역(144) 및 하부 물리적 접속의 일부를 갖는 제2 PoP 상호접속 구역(140)이 형성된다.At block (1304), a second package-on-package electrical and physical interconnection region (a first PoP interconnection region) is formed on the lower package to enable a lower physical connection and a lower electrical connection. The step of forming the lower electrical connection includes the step of forming a lower conductive region configured to enable signal transmission between the lower package and the upper package. The step of forming the lower physical connection includes the step of forming a lower non-conductive region configured to enable a second reduced capacitance in the lower electrical connection. For example, the lower package may include the lower package (130) of FIG. 1, and a second PoP interconnection region (140) is formed thereon, including a lower conductive region (142) for forming a lower electrical connection, a lower non-conductive region (144) for forming a portion of the lower physical connection, and a portion of the lower physical connection.
블록(1306)에서, 제1 PoP 상호접속 구역은 비전도성 부분 및 전도성 부분을 포함하는 상호접속 구조체로 제2 PoP 상호접속 구역과 결합된다. 제1 및 제2 PoP 상호접속 구역들을 결합하는 단계는, 제1 PoP 상호접속 구역과 제2 PoP 상호접속 구역 사이에 상호접속 구조체를 배치하는 단계, 및 상호접속 구조체의 적어도 전도성 부분을 유동하게 하여 제1 PoP 상호접속 구역 및 제2 PoP 상호접속 구역 둘 모두와 결합하도록 열을 가하는 단계를 포함한다. 상호접속 구조체를 통한 PoP 상호접속 구역들의 결합은, 상부 전기 접속에서의 제1 감소된 커패시턴스 및 하부 전기 접속에서의 제2 감소된 커패시턴스를 갖는 상부 패키지와 하부 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하여, 신호 송신에서의 임피던스 불연속성을 감소시킨다. 예를 들어, 도 4 및 도 5는 다수의 상호접속 구조체들(450)을 통해 상부 패키지 상의 PoP 상호접속 구역들(420 및 421)을 하부 패키지 상의 PoP 상호접속 구역들(440 및 441)과 전기적으로 및 물리적으로 상호접속함으로써 상부 패키지(310)와 하부 패키지(330)의 결합을 도시한다. 상호접속 구조체(450) 내에서 유동을 유도하기 위해 열(490)을 가하면서 상부 패키지(410)와 하부 패키지(430)를 서로를 향해 이동시키는 것은 패키지(410 및 430)를 조합시켜 도 5의 결합된 시스템(500)을 형성한다.In block (1306), the first PoP interconnection region is coupled to the second PoP interconnection region by an interconnection structure including a non-conductive portion and a conductive portion. The step of coupling the first and second PoP interconnection regions includes the steps of disposing the interconnection structure between the first PoP interconnection region and the second PoP interconnection region, and applying heat to fluidize at least the conductive portion of the interconnection structure to couple with both the first PoP interconnection region and the second PoP interconnection region. The coupling of the PoP interconnection regions via the interconnection structure enables signal transmission between the upper package and the lower package having a first reduced capacitance at the upper electrical connection and a second reduced capacitance at the lower electrical connection, thereby reducing impedance discontinuities in the signal transmission. For example, FIGS. 4 and 5 illustrate joining the upper package (310) and the lower package (330) by electrically and physically interconnecting the PoP interconnect regions (420 and 421) on the upper package with the PoP interconnect regions (440 and 441) on the lower package via a plurality of interconnect structures (450). Moving the upper package (410) and the lower package (430) toward each other while applying heat (490) to induce flow within the interconnect structures (450) combines the packages (410 and 430) to form the combined system (500) of FIG. 5.
도 14는 제2 패키지와의 상호접속을 위해 제1 패키지 상에 패키지-온-패키지 전기적 및 물리적 상호접속 구역(PoP 상호접속 구역)을 형성하는 예시적인 방법(1400)을 도시한다. 블록(1402)에서, PoP 상호접속 구역에서, 비전도성 영역이 제1 패키지 상에 포함되고 제1 패키지와 제2 패키지 사이의 상호접속 구조체를 통해 제1 패키지와 제2 패키지 사이의 물리적 접속을 지원하도록 구성된다. 예를 들어, 도 3은 상부 패키지(310)를 하부 패키지(330) 형태의 제2 패키지에 접속하기 위해 상호접속 구조체(350)를 결합 및 지지하도록 상부 패키지(310) 형태의 제1 패키지 상에 상부 비전도성 영역(324)을 포함하는 것을 도시한다.FIG. 14 illustrates an exemplary method (1400) for forming a package-on-package electrical and physical interconnect region (PoP interconnect region) on a first package for interconnection with a second package. At block (1402), in the PoP interconnect region, a non-conductive region is included on the first package and configured to support a physical connection between the first package and the second package via an interconnect structure between the first package and the second package. For example, FIG. 3 illustrates including an upper non-conductive region (324) on a first package in the form of an upper package (310) to couple and support an interconnect structure (350) to connect the upper package (310) to a second package in the form of a lower package (330).
블록(1404)에서, 전도성 영역이 비전도성 영역 주위의 제1 패키지 상에 형성된다. 전도성 영역은, 제1 신호 전도체(125) 및 제2 신호 전도체(145)가 PoP 상호접속 구역들(120 및 140)의 전도성 영역들(122 및 142)과 각각 전기적으로 접촉하는 것으로 도시된 바와 같이, 제1 패키지의 제1 신호 전도체와 제2 패키지의 제2 신호 전도체 사이의 신호 송신을 가능하게 하기 위한 전기적 접속을 제공하도록 구성된다. 제1 패키지와 상호접속 구조체 사이의 감소된 커패시턴스는, 이전에 설명된 바와 같이, 상호접속 구조체가 PoP 상호접속 구역과 결합될 때 전도성 영역 및 비전도성 영역의 구성과 상관관계를 갖는다.In block (1404), a conductive region is formed on the first package around the non-conductive region. The conductive region is configured to provide an electrical connection to enable signal transmission between the first signal conductor of the first package and the second signal conductor of the second package, as illustrated by the first signal conductor (125) and the second signal conductor (145) being in electrical contact with the conductive regions (122 and 142) of the PoP interconnect regions (120 and 140), respectively. The reduced capacitance between the first package and the interconnect structure is correlated with the configuration of the conductive region and the non-conductive region when the interconnect structure is coupled with the PoP interconnect region, as previously described.
이전의 논의는 패키지-온-패키지(PoP) 상호접속에서 커패시턴스를 감소시켜 패키지들 사이의 임피던스 불연속성 및 그에 따른 신호 손실을 감소시키기 위한, 패키지들 사이에 상호접속을 제공하기 위한 장치들 및 기법들을 설명한다. 이들 장치들 및 기법들은 도 1 내지 도 14에 도시된 엔티티들 또는 컴포넌트들 중 하나 이상을 사용하여 실현될 수도 있으며, 이는 더 분할되거나 조합되거나 기타 방식일 수 있다. 따라서, 이들 도면들은 설명된 기법들을 채용할 수 있는 많은 가능한 시스템들 또는 장치들 중 일부를 예시한다.The preceding discussion describes devices and techniques for providing interconnections between packages to reduce capacitance in package-on-package (PoP) interconnections, thereby reducing impedance discontinuities and resulting signal losses between packages. These devices and techniques may be realized using one or more of the entities or components illustrated in FIGS. 1 through 14, which may be further segmented, combined, or otherwise. Thus, these drawings illustrate some of the many possible systems or devices that may employ the described techniques.
문맥이 달리 지시하지 않는 한, 본 명세서에서 단어 "또는"의 사용은 "포괄적 또는", 또는 단어 "또는"에 의해 연결되는 하나 이상의 항목의 포함 또는 적용을 허용하는 용어의 사용으로 간주될 수 있다(예를 들어, 문구 "A 또는 B"는 단지 "A"만을 허용하는 것으로, 단지 "B"만을 허용하는 것으로, 또는 "A" 및 "B" 둘 모두를 허용하는 것으로 해석될 수 있다). 또한, 본 명세서에서 사용되는 바와 같이, 항목들의 리스트 "중 적어도 하나"를 지칭하는 문구는 단일 멤버를 포함하는, 이들 항목들의 임의의 조합을 지칭한다. 예를 들어, "a, b, 또는 c 중 적어도 하나"는 a, b, c, a-, a-c, b-c, 및 a-b-c뿐만 아니라 동일한 요소의 복수 개의 임의의 조합(예를 들어, a-a, a-a, a-a-b, a-a-c, a-b-b, a-c-c, b-b, b-b-b, b-b-c, c-c, 및 c-c-c, 또는 a, b, 및 c의 임의의 다른 순서화)을 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 논의된 첨부 도면들 및 용어들에 표현된 항목들은 하나 이상의 항목들 또는 용어들을 나타낼 수 있고, 따라서 본 명세서에 기재된 설명에서 항목들 및 용어들의 단일 또는 복수의 형태들과 상호교환가능하게 참조될 수 있다.Unless the context dictates otherwise, the use of the word "or" herein may be construed as an "inclusive or," or the use of the term permitting the inclusion or application of more than one item joined by the word "or" (e.g., the phrase "A or B" could be interpreted to allow for just "A," just "B," or both "A" and "B"). Additionally, as used herein, the phrase referring to "at least one of" a list of items refers to any combination of those items, including a single member. For example, “at least one of a, b, or c” can include a, b, c, a-, a-c, b-c, and a-b-c, as well as any combination of multiple of the same elements (e.g., a-a, a-a-b, a-a-c, a-b-b, a-c-c, b-b, b-b-b, b-b-c, c-c, and c-c-c, or any other ordering of a, b, and c). Additionally, items depicted in the accompanying drawings and terminology discussed herein may represent one or more of the items or terms, and thus may be referenced interchangeably in the description herein with single or multiple forms of the items and terms.
추가 예Additional examples
다음 절에서 추가 예가 제공된다.Additional examples are provided in the following sections.
예 1: 패키지-온-패키지 장치로서, 상부 패키지; 하부 패키지; 및 상호접속 구조체를 포함하고, 상부 패키지는 제1 패키지-온-패키지 전기적 및 물리적 상호접속 구역(제1 PoP 상호접속 구역)을 포함하고, 제1 PoP 상호접속 구역은 상호접속 구조체를 통해 상부 패키지와 하부 패키지 사이의 상부 물리적 접속 및 상부 전기적 접속을 가능하게 하도록 구성되고, 제1 PoP 상호접속 구역은 상부 전도성 영역 및 상부 비전도성 영역을 갖고, 상부 전도성 영역은 상부 패키지와 하부 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하도록 구성되고, 상부 비전도성 영역은 상부 전기적 접속에서 제1 감소된 커패시턴스를 가능하게 하도록 구성되고; 하부 패키지는, 제2 패키지-온-패키지 전기적 및 물리적 상호접속 구역(제2 PoP 상호접속 구역)을 포함하고, 제2 PoP 상호접속 구역은 상호접속 구조체를 통해 하부 패키지와 상부 패키지 사이의 하부 물리적 접속 및 하부 전기적 접속을 가능하게 하도록 구성되고, 제2 PoP 상호접속 구역은 하부 전도성 영역 및 하부 비전도성 영역을 갖고, 하부 전도성 영역은 하부 패키지와 상부 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하도록 구성되고, 하부 비전도성 영역은 하부 전기적 접속에서 제2 감소된 커패시턴스를 가능하게 하도록 구성되고; 및 상호접속 구조체는 제1 PoP 상호접속 구역과 제2 PoP 상호접속 구역 사이의 물리적 접속 및 전기적 접속을 지원하도록 구성되고, 제1 감소된 커패시턴스 및 제2 감소된 커패시턴스는 그들 사이를 통과하는 신호들의 임피던스 불연속성을 제한한다.Example 1: A package-on-package device, comprising: an upper package; a lower package; and an interconnection structure, wherein the upper package comprises a first package-on-package electrical and physical interconnection region (a first PoP interconnection region), the first PoP interconnection region configured to enable upper physical connection and upper electrical connection between the upper package and the lower package through the interconnection structure, the first PoP interconnection region having an upper conductive region and an upper non-conductive region, the upper conductive region configured to enable signal transmission between the upper package and the lower package, and the upper non-conductive region configured to enable a first reduced capacitance in the upper electrical connection; The lower package includes a second package-on-package electrical and physical interconnection region (the second PoP interconnection region), the second PoP interconnection region is configured to enable a lower physical connection and a lower electrical connection between the lower package and the upper package via an interconnection structure, the second PoP interconnection region has a lower conductive region and a lower non-conductive region, the lower conductive region is configured to enable signal transmission between the lower package and the upper package, and the lower non-conductive region is configured to enable a second reduced capacitance in the lower electrical connection; and the interconnection structure is configured to support a physical connection and an electrical connection between the first PoP interconnection region and the second PoP interconnection region, the first reduced capacitance and the second reduced capacitance limiting impedance discontinuities of signals passing therebetween.
예 2: 예 1의 장치로서, 상부 전도성 영역은 상부 비전도성 영역을 둘러싸고 하부 전도성 영역은 하부 비전도성 영역을 둘러싼다. Example 2: The device of Example 1, wherein the upper conductive region surrounds the upper non-conductive region and the lower conductive region surrounds the lower non-conductive region.
예 3: 예 2의 장치로서, 상부 전도성 영역은 상부 비전도성 영역을 둘러싸는 상부 링을 정의하고, 하부 전도성 영역은 하부 비전도성 영역을 둘러싸는 하부 링을 정의한다.Example 3: The device of Example 2, wherein the upper conductive region defines an upper ring surrounding the upper non-conductive region, and the lower conductive region defines a lower ring surrounding the lower non-conductive region.
예 4: 예 2의 장치로서, 상부 전도성 영역은 상부 비전도성 영역을 둘러싸는 제1 다면 형상을 정의하고, 하부 전도성 영역은 하부 비전도성 영역을 둘러싸는 제2 다면 하부 형상을 정의한다.Example 4: The device of Example 2, wherein the upper conductive region defines a first polyhedral shape surrounding the upper non-conductive region, and the lower conductive region defines a second polyhedral lower shape surrounding the lower non-conductive region.
예 5: 예 1의 장치로서, 상부 비전도성 영역은 상부 전도성 영역을 둘러싸고 하부 비전도성 영역은 하부 전도성 영역을 둘러싼다. Example 5: The device of Example 1, wherein the upper non-conductive region surrounds the upper conductive region and the lower non-conductive region surrounds the lower conductive region.
예 6: 예 5의 장치로서, 상부 비전도성 영역은 상부 전도성 영역을 둘러싸는 상부 링을 정의하고, 하부 비전도성 영역은 하부 전도성 영역을 둘러싸는 하부 링을 정의한다.Example 6: The device of Example 5, wherein the upper non-conductive region defines an upper ring surrounding the upper conductive region, and the lower non-conductive region defines a lower ring surrounding the lower conductive region.
예 7: 예 5의 장치로서, 상부 비전도성 영역은 상부 전도성 영역을 둘러싸는 제1 다면 형상을 정의하고, 하부 비전도성 영역은 하부 전도성 영역을 둘러싸는 제2 다면 하부 형상을 정의한다.Example 7: The device of Example 5, wherein the upper non-conductive region defines a first polyhedral shape surrounding the upper conductive region, and the lower non-conductive region defines a second polyhedral lower shape surrounding the lower conductive region.
예 8: 예 1 내지 예 7 중 어느 하나의 장치로서, 상부 전기 접속에서의 제1 감소된 커패시턴스는 상부 전도성 영역 및 상부 비전도성 영역의 상대적 크기와 상관된다. Example 8: A device according to any one of Examples 1 to 7, wherein the first reduced capacitance at the upper electrical connection is correlated to the relative sizes of the upper conductive region and the upper non-conductive region.
예 9: 예 1 내지 예 7 중 어느 하나의 장치로서, 하부 전기 접속에서의 제2 감소된 커패시턴스는 하부 전도성 영역 및 하부 비전도성 영역의 상대적 크기와 상관된다.Example 9: A device according to any one of Examples 1 to 7, wherein the second reduced capacitance at the lower electrical connection is correlated to the relative sizes of the lower conductive region and the lower non-conductive region.
예 10: 예 1의 장치로서, 상호접속 구조체는 비전도성 구조체 및 전도성 구조체를 포함한다. Example 10: The device of Example 1, wherein the interconnect structure includes a non-conductive structure and a conductive structure.
예 11: 예 10의 장치로서, 비전도성 구조체는 전도성 구조체와 상부 전기 접속 사이의 제1 전기 상호접속 영역 및 전도성 구조체와 하부 전기 접속 사이의 제2 전기 상호접속 영역을 제한하도록 구성된다.Example 11: The device of Example 10, wherein the non-conductive structure is configured to limit a first electrical interconnection region between the conductive structure and the upper electrical connection and a second electrical interconnection region between the conductive structure and the lower electrical connection.
예 12: 예 10 및 예 11 중 어느 하나의 장치로서, 비전도성 구조체는 비전도성 코어를 포함하고, 전도성 구조체는 전도성 외부 층을 포함한다. Example 12: A device according to any one of Examples 10 and 11, wherein the non-conductive structure comprises a non-conductive core and the conductive structure comprises a conductive outer layer.
예 13: 예 12의 장치로서, 비전도성 코어는 강성 재료를 포함한다.Example 13: The device of Example 12, wherein the non-conductive core comprises a rigid material.
예 14: 예 12의 장치로서, 비전도성 코어는 엘라스토머를 포함한다.Example 14: The device of Example 12, wherein the non-conductive core comprises an elastomer.
예 15: 예 14의 장치로서, 엘라스토머는 플라스틱을 포함한다.Example 15: The device of Example 14, wherein the elastomer comprises a plastic.
예 16: 예 10의 장치로서, 상호접속 구조체는 솔더 볼을 포함한다.Example 16: The device of Example 10, wherein the interconnect structure includes solder balls.
예 17: 패키지-온-패키지 전기적 및 물리적 상호접속 구역(PoP 상호접속 구역) 장치로서, 제1 패키지 상에 형성되고, 제1 패키지와 제2 패키지 사이에 수용 가능한 상호접속 구조체를 통해 제1 패키지와 제2 패키지 사이의 물리적 접속을 지지하도록 구성된 비전도성 영역; 및 비전도성 영역에 인접한 제1 패키지 상에 형성되고, 제1 패키지의 제1 전도체와 제2 패키지의 제2 전도체 사이의 신호 송신을 가능하게 하기 위한 전기적 접속을 제공하도록 구성된 전도성 영역을 포함하고, 상호접속 구조체가 PoP 상호접속 구역과 결합될 때 제1 패키지와 상호접속 구조체 사이의 감소된 커패시턴스는 전도성 영역 및 비전도성 영역의 구성과 상관된다.Example 17: A package-on-package electrical and physical interconnection area (PoP interconnection area) device, comprising: a non-conductive region formed on a first package and configured to support a physical connection between the first package and the second package via an interconnection structure acceptable between the first package and the second package; and a conductive region formed on the first package adjacent the non-conductive region and configured to provide an electrical connection to enable signal transmission between a first conductor of the first package and a second conductor of the second package, wherein when the interconnection structure is coupled with the PoP interconnection area, reduced capacitance between the first package and the interconnection structure is correlated to the configurations of the conductive region and the non-conductive region.
예 18: 예 17의 장치로서, 전도성 영역은 비전도성 영역을 둘러싼다.Example 18: The device of Example 17, wherein the conductive region surrounds the non-conductive region.
예 19: 예 18의 장치로서, 전도성 영역은 비전도성 영역을 둘러싸는 링을 정의한다.Example 19: The device of Example 18, wherein the conductive region defines a ring surrounding the non-conductive region.
예 20: 예 18의 장치로서, 전도성 영역은 비전도성 영역을 둘러싸는 다면 형상을 정의한다.Example 20: The device of Example 18, wherein the conductive region defines a polyhedral shape surrounding the non-conductive region.
예 21: 예 17 내지 예 20 중 어느 하나의 장치로서, 전도성 영역은 전도성 층을 지지하는 비전도성 코어를 포함하는 솔더 볼과 맞물리도록 구성되고, 전도성 영역은 전도성 층과 전기적으로 맞물리도록 구성된다.Example 21: A device according to any one of Examples 17 to 20, wherein the conductive region is configured to mate with a solder ball comprising a non-conductive core supporting the conductive layer, and the conductive region is configured to be electrically interlocked with the conductive layer.
예 22: 상부 패키지와 하부 패키지를 상호접속하는 방법으로서, 방법은, 상부 물리적 접속 및 상부 전기적 접속을 가능하게 하기 위해 상부 패키지 상에 제1 패키지-온-패키지 전기적 및 물리적 상호접속 구역(제1 PoP 상호접속 구역)을 형성하는 단계 - 상부 패키지와 하부 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하도록 구성된 상부 전도성 영역 및 상부 전기적 접속에서 제1 감소된 커패시턴스를 가능하게 하도록 구성된 상부 비전도성 영역을 형성하는 단계를 포함함 -; 하부 물리적 접속 및 하부 전기적 접속을 가능하게 하기 위해 하부 패키지 상에 제2 패키지-온-패키지 전기적 및 물리적 상호접속 구역(제2 PoP 상호접속 구역)을 형성하는 단계 - 하부 패키지와 상부 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하도록 구성된 하부 전도성 영역 및 하부 전기적 접속에서 제2 감소된 커패시턴스를 가능하게 하도록 구성된 하부 비전도성 영역을 형성하는 단계를 포함함 -; 및 비전도성 부분 및 전도성 부분을 포함하는 상호접속 구조체를 이용하여 제1 PoP 상호접속 구역과 제2 PoP 상호접속 구역을 결합하는 단계 - 제1 PoP 상호접속 구역 및 제2 PoP 상호접속 구역 사이에 상호접속 구조체를 배치하는 단계 및 열을 가하여, 상호접속 구조체의 적어도 전도성 부분을 유동하게 하여 제1 PoP 상호접속 구역 및 제2 PoP 상호접속 구역 둘 모두와 결합하도록 하여, 상부 전기 접속에서의 제1 감소된 커패시턴스 및 하부 전기 접속에서의 제2 감소된 커패시턴스를 갖는 상부 패키지와 하부 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하여 신호 송신에서의 임피던스 불연속성을 감소시키는 단계를 포함함 -를 포함한다.Example 22: A method of interconnecting an upper package and a lower package, the method comprising: forming a first package-on-package electrical and physical interconnection region (first PoP interconnection region) on the upper package to enable upper physical connection and upper electrical connection; forming an upper conductive region configured to enable signal transmission between the upper package and the lower package and an upper non-conductive region configured to enable a first reduced capacitance in the upper electrical connection; forming a second package-on-package electrical and physical interconnection region (second PoP interconnection region) on the lower package to enable lower physical connection and lower electrical connection; forming a lower conductive region configured to enable signal transmission between the lower package and the upper package and a lower non-conductive region configured to enable a second reduced capacitance in the lower electrical connection; and a step of joining a first PoP interconnection region and a second PoP interconnection region using an interconnection structure including a non-conductive portion and a conductive portion; - a step of disposing the interconnection structure between the first PoP interconnection region and the second PoP interconnection region; and a step of applying heat to fluidize at least the conductive portion of the interconnection structure to join both the first PoP interconnection region and the second PoP interconnection region, thereby enabling signal transmission between the upper package and the lower package having a first reduced capacitance at the upper electrical connection and a second reduced capacitance at the lower electrical connection, thereby reducing impedance discontinuities in the signal transmission.
예 23: 예 22의 방법으로서, 상부 비전도성 영역 주위의 상부 패키지 상의 제1 구역에 상부 전도성 영역을 형성하는 단계, 및 하부 비전도성 영역 주위의 하부 패키지 상의 제2 구역에 하부 전도성 영역을 형성하는 단계를 더 포함한다. Example 23: The method of Example 22, further comprising the steps of forming an upper conductive region in a first region on the upper package around the upper non-conductive region, and forming a lower conductive region in a second region on the lower package around the lower non-conductive region.
예 24: 예 23의 방법으로서, 상부 비전도성 영역을 둘러싸는 제1 링 형상으로 상부 전도성 영역을 형성하는 단계, 및 하부 비전도성 영역을 둘러싸는 제2 링 형상으로 하부 전도성 영역을 형성하는 단계를 더 포함한다.Example 24: The method of Example 23, further comprising the steps of forming an upper conductive region in a first ring shape surrounding an upper non-conductive region, and forming a lower conductive region in a second ring shape surrounding a lower non-conductive region.
예 25: 예 23의 방법으로서, 상부 비전도성 영역을 둘러싸는 제1 다면 형상으로 상부 전도성 영역을 형성하는 단계, 및 하부 비전도성 영역을 둘러싸는 제2 다면 형상으로 하부 전도성 영역을 형성하는 단계를 더 포함한다.Example 25: The method of Example 23, further comprising the steps of forming an upper conductive region with a first polyhedral shape surrounding an upper non-conductive region, and forming a lower conductive region with a second polyhedral shape surrounding a lower non-conductive region.
예 26: 예 22 내지 예 25 중 어느 하나의 방법으로서, 전도성 구조체 및 비전도성 구조체를 포함하는 솔더 볼로서 상호접속 구조체를 제공하는 단계를 더 포함하는, 방법.Example 26: A method according to any one of Examples 22 to 25, further comprising the step of providing an interconnection structure as a solder ball including a conductive structure and a non-conductive structure.
예 27: 예 26의 방법으로서, 비전도성 구조체 주위에 형성된 층을 포함하는 전도성 구조체를 갖는 솔더 볼을 제공하는 단계를 더 포함한다.Example 27: The method of Example 26, further comprising the step of providing a solder ball having a conductive structure including a layer formed around a non-conductive structure.
예 28: 예 27의 방법으로서, 비전도성 구조체를 솔더 볼의 엘라스토머 코어로서 제공하는 단계를 더 포함한다.Example 28: The method of Example 27, further comprising the step of providing the non-conductive structure as an elastomeric core of the solder ball.
예 29: 예 28의 방법으로서, 엘라스토머 코어를 플라스틱 코어로서 제공하는 단계를 더 포함한다.Example 29: The method of Example 28, further comprising the step of providing the elastomeric core as a plastic core.
예 30: 제2 패키지와의 상호접속을 위한 제1 패키지 상의 패키지-온-패키지 전기적 및 물리적 상호접속 구역(PoP 상호접속 구역)을 형성하는 방법으로서, 제1 패키지와 제2 패키지 사이의 상호접속 구조체를 통해 제1 패키지와 제2 패키지 사이의 물리적 접속을 지지하기 위해 제1 패키지 상의 PoP 상호접속 구역 내에 비전도성 영역을 포함하는 단계; 및 비전도성 영역 주위의 제1 패키지 상에 전도성 영역을 형성하는 단계 - 전도성 영역은 제1 패키지의 제1 신호 전도체와 제2 패키지의 제2 신호 전도체 사이의 신호 송신을 가능하게 하는 전기적 접속을 제공하도록 구성됨 - 를 포함하고, 상호접속 구조체가 PoP 상호접속 구역과 결합될 때 제1 패키지와 상호접속 구조체 사이의 감소된 커패시턴스는 상호접속 구조체가 PoP 상호접속 구역과 결합될 때 전도성 영역 및 비전도성 영역의 구성과 상관관계를 가진다. Example 30: A method of forming a package-on-package electrical and physical interconnection region (PoP interconnection region) on a first package for interconnection with a second package, the method comprising: including a non-conductive region within the PoP interconnection region on the first package to support a physical connection between the first package and the second package via an interconnection structure between the first package and the second package; and forming a conductive region on the first package around the non-conductive region, the conductive region configured to provide an electrical connection enabling signal transmission between a first signal conductor of the first package and a second signal conductor of the second package, wherein a reduced capacitance between the first package and the interconnection structure when the interconnection structure is coupled with the PoP interconnection region is correlated with the configuration of the conductive region and the non-conductive region when the interconnection structure is coupled with the PoP interconnection region.
결론conclusion
패키지-온-패키지(PoP) 상호접속에서 커패시턴스를 감소시켜 패키지들 사이의 임피던스 불연속성 및 그에 따른 신호 손실을 감소시키기 위한 패키지들 사이의 상호접속에 대한 구현예들이 특정 특징들 및/또는 방법들에 특정한 언어로 설명되었지만, 첨부된 청구항들의 주제는 설명된 특정 특징들 또는 방법들로 반드시 제한되는 것은 아니다. 오히려, 특정 특징들 및 방법들은 PoP 상호접속에서 커패시턴스를 감소시키기 위해 패키지들 사이의 상호접속을 구현하기 위한 예시적인 구현예들로서 개시된다. Although embodiments of interconnections between packages to reduce capacitance in a package-on-package (PoP) interconnection and thereby reduce impedance discontinuities and resulting signal losses between packages have been described in specific language with respect to specific features and/or methods, the subject matter of the appended claims is not necessarily limited to the specific features or methods described. Rather, the specific features and methods are disclosed as exemplary embodiments of implementing interconnections between packages to reduce capacitance in a PoP interconnection.
Claims (15)
상부 패키지;
하부 패키지; 및
상호접속 구조체를 포함하며,
상기 상부 패키지는,
제1 패키지-온-패키지 전기적 및 물리적 상호접속 구역(제1 PoP 상호접속 구역) - 상기 제1 PoP 상호접속 구역은 상기 상호접속 구조체를 통해 상기 상부 패키지와 상기 하부 패키지 사이의 상부 물리적 접속 및 상부 전기적 접속을 가능하게 하도록 구성되고, 상기 제1 PoP 상호접속 구역은 상부 전도성 영역 및 상부 비전도성 영역을 갖고, 상기 상부 전도성 영역은 상기 상부 패키지와 상기 하부 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하도록 구성되고, 상기 상부 비전도성 영역은 상기 상부 전기적 접속에서 제1 감소된 커패시턴스를 가능하게 하도록 구성됨 -을 포함하고;
상기 하부 패키지는,
제2 패키지-온-패키지 전기적 및 물리적 상호접속 구역(제2 PoP 상호접속 구역) - 상기 제2 PoP 상호접속 구역은 상기 상호접속 구조체를 통해 상기 하부 패키지와 상기 상부 패키지 사이의 하부 물리적 접속 및 하부 전기적 접속을 가능하게 하도록 구성되고, 상기 제2 PoP 상호접속 구역은 하부 전도성 영역 및 하부 비전도성 영역을 갖고, 상기 하부 전도성 영역은 상기 하부 패키지와 상기 상부 패키지 사이의 신호 송신을 가능하게 하도록 구성되고, 상기 하부 비전도성 영역은 상기 하부 전기적 접속에서 제2 감소된 커패시턴스를 가능하게 하도록 구성됨 - 을 포함하고, 및
상기 상호접속 구조체는 상기 제1 PoP 상호접속 구역과 상기 제2 PoP 상호접속 구역 사이의 물리적 접속 및 전기적 접속을 지원하도록 구성되고, 상기 제1 감소된 커패시턴스 및 상기 제2 감소된 커패시턴스는 그들 사이를 통과하는 신호들의 임피던스 불연속성을 제한하는, 패키지-온-패키지 장치.As a package-on-package device,
upper package;
subpackages; and
Contains an interconnection structure,
The above upper package,
A first package-on-package electrical and physical interconnection region (a first PoP interconnection region), wherein the first PoP interconnection region is configured to enable a top physical connection and a top electrical connection between the upper package and the lower package through the interconnection structure, the first PoP interconnection region having a top conductive region and a top non-conductive region, the top conductive region being configured to enable signal transmission between the upper package and the lower package, and the top non-conductive region being configured to enable a first reduced capacitance in the top electrical connection;
The above sub-packages are,
A second package-on-package electrical and physical interconnection region (second PoP interconnection region), wherein the second PoP interconnection region is configured to enable a bottom physical connection and a bottom electrical connection between the lower package and the upper package through the interconnection structure, the second PoP interconnection region having a bottom conductive region and a bottom non-conductive region, the bottom conductive region being configured to enable signal transmission between the lower package and the upper package, and the bottom non-conductive region being configured to enable a second reduced capacitance in the bottom electrical connection; and
A package-on-package device, wherein the interconnect structure is configured to support physical connection and electrical connection between the first PoP interconnection region and the second PoP interconnection region, wherein the first reduced capacitance and the second reduced capacitance limit impedance discontinuities of signals passing therebetween.
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