[go: up one dir, main page]

KR20240043236A - Transceiver capable of coupling between optical waveguide based on semiconductor and free space steered beam - Google Patents

Transceiver capable of coupling between optical waveguide based on semiconductor and free space steered beam Download PDF

Info

Publication number
KR20240043236A
KR20240043236A KR1020220122041A KR20220122041A KR20240043236A KR 20240043236 A KR20240043236 A KR 20240043236A KR 1020220122041 A KR1020220122041 A KR 1020220122041A KR 20220122041 A KR20220122041 A KR 20220122041A KR 20240043236 A KR20240043236 A KR 20240043236A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
optical
couplers
waveguide
free space
transmitting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
KR1020220122041A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
박효훈
윤진형
윤현호
Original Assignee
한국과학기술원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국과학기술원 filed Critical 한국과학기술원
Priority to KR1020220122041A priority Critical patent/KR20240043236A/en
Publication of KR20240043236A publication Critical patent/KR20240043236A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/106Beam splitting or combining systems for splitting or combining a plurality of identical beams or images, e.g. image replication
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/30Collimators
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/42Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
    • G02B27/4233Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive element [DOE] contributing to a non-imaging application
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04BTRANSMISSION
    • H04B10/00Transmission systems employing electromagnetic waves other than radio-waves, e.g. infrared, visible or ultraviolet light, or employing corpuscular radiation, e.g. quantum communication
    • H04B10/40Transceivers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

An objective of the present invention is to propose an optical transceiver device which transmits and receives light more efficiently than a conventional method of transmitting and receiving light using an optical fiber by utilizing the characteristics of an optical grid structure and an optical system. The present invention relates to an optical transceiver device which couples a collimated beam of a free space with a single optical waveguide, the optical transceiver device comprising: an optical system which focuses the collimated beam of the free space; an optical coupler array comprising a plurality of optical couplers which receive the focused beam and transmit the beam to each optical waveguide; and an optical splitter which couples the beam transmitted through each optical waveguide of the plurality of optical couplers with the single optical waveguide. The present invention has the effect of achieving a technical effect of increasing light receiving efficiency and also increasing the light receiving angle.

Description

자유 공간의 시준 빔 및 반도체 기반 광 도파로의 도파 빔을 결합하는 광 송수신 장치{TRANSCEIVER CAPABLE OF COUPLING BETWEEN OPTICAL WAVEGUIDE BASED ON SEMICONDUCTOR AND FREE SPACE STEERED BEAM}Optical transceiver device combining a collimated beam in free space and a guided beam of a semiconductor-based optical waveguide {TRANSCEIVER CAPABLE OF COUPLING BETWEEN OPTICAL WAVEGUIDE BASED ON SEMICONDUCTOR AND FREE SPACE STEERED BEAM}

아래의 설명은 실리콘 기반 칩 상에 형성된 광 도파로에 도파되는 도파 빔(Waveguided beam) 및 자유 공간에 일정 방향으로 조향되어 진행하는 시준 빔(Collimated beam)을 결합하는 광 송수신 장치에 관한 기술이다.The description below is a technology related to an optical transmission and reception device that combines a waveguided beam guided by an optical waveguide formed on a silicon-based chip and a collimated beam that is steered and travels in a certain direction in free space.

실리콘 기반 칩 상에 형성된 광 도파로에 도파되는 도파 빔 및 자유 공간에 일정 방향으로 조향되어 진행하는 시준 빔을 결합하는 기술은, 자유 공간에서 특정한 방향으로 진행되는 대면적의 시준 빔을 광학 칩에 형성된 광 안테나를 통해 광 도파로에 전달하거나, 광 안테나에 의해 방사된 방사 빔을 특정한 방향의 시준 빔으로 자유공간에 투사하는 광학 기술을 배경으로 한다.A technology that combines a waveguide beam guided by an optical waveguide formed on a silicon-based chip and a collimated beam that is steered and travels in a certain direction in free space is a large-area collimated beam that travels in a specific direction in free space formed on an optical chip. It is based on optical technology that transmits an optical waveguide through an optical antenna or projects a radiation beam emitted by an optical antenna into free space as a collimated beam in a specific direction.

이와 관련된 종래의 기술에서는 자유 공간의 렌즈(또는 거울)와 광학 칩의 도파로를 연결하는 수단으로 광 섬유 배열이 사용되었다. 일례로, 자유 공간에 방사되는 시준 빔을 광 도파로로 도파시키는 경우, 종래의 기술은 다수의 광 섬유로 구성된 광 섬유 배열을 광학계(예컨대, 렌즈 또는 거울)의 초점 평면에 배치하여 다양한 방향에서 시준된 빔을 광 섬유 도파로에 연결하고, 이러한 배열을 구성하는 광 섬유를 칩의 도파로와 직접 연결하였다. 반대로, 광 도파로에 도파되는 빔을 자유 공간으로 방사하는 경우, 종래의 기술은 광학 칩에서 생성된 빔을 특정한 광 도파로에 연결된 광 섬유로 전달하여 초점 평면으로부터 일정한 방향에서 광학계(예컨대, 렌즈 또는 거울)로 방사하게 함으로써 정해진 방향의 시준 빔을 형성하였다.In the related art, an optical fiber array was used as a means of connecting a lens (or mirror) in free space and a waveguide of an optical chip. For example, when a collimated beam radiating in free space is guided by an optical waveguide, the conventional technology places an optical fiber array composed of multiple optical fibers at the focal plane of an optical system (e.g., a lens or mirror) to collimate in various directions. The resulting beam was connected to an optical fiber waveguide, and the optical fibers that make up this array were directly connected to the waveguide of the chip. Conversely, when a beam waveguided in an optical waveguide is radiated into free space, the conventional technology transmits the beam generated in the optical chip to an optical fiber connected to a specific optical waveguide to radiate an optical system (e.g., a lens or mirror) in a certain direction from the focal plane. ) to form a collimated beam in a given direction.

이러한 종래의 기술은 자유 공간에서의 빔을 조정하는 광학 기술과, 광 섬유 배열을 이용하여 광학계와 광학 칩을 연결하는 패키징 기술을 필요로 한다.This conventional technology requires optical technology to adjust a beam in free space and packaging technology to connect an optical system and an optical chip using an optical fiber array.

이에, 아래의 실시예에서는 광 섬유 배열을 이용하는 패키징 기술에 기반하지 않고, 광 도파로를 포함하는 광학 칩의 표면에 형성되어 빔을 자유 공간으로 발산하거나 자유 공간으로부터의 빔을 수렴하여 광 도파로에 결합시키는 광 안테나 기술을 활용하는 광 송수신 장치에 대해 개시한다.Accordingly, in the following embodiment, it is not based on packaging technology using an optical fiber array, but is formed on the surface of an optical chip including an optical waveguide to diverge the beam into free space or converge the beam from free space and couple it to the optical waveguide. Shiki discloses an optical transmitting and receiving device utilizing optical antenna technology.

이하 실시예들로 설명되는 광 송수신 장치가 활용하는 광 안테나 기술은, 광학 칩의 도파로와 자유 공간의 빔을 연결하는 방식으로 도파로의 단면을 자유 공간의 개구개로 사용하는 방식과 빔의 진행하는 도파로의 표면에 격자를 만들어서 빔의 회절을 이용하여 자유 공간의 개구개로 사용하는 광 격자 안테나 방식을 포함할 수 있다. 도파로 표면에 회절 격자를 만들어서 자유 공간의 빔을 도파로와 결합하는 광 격자 안테나 방식은 회절 격자의 격자 간격을 조정하여 특정한 방향으로 발산하는 발산 빔을 만들거나 특정한 방향으로부터 입사되는 수렴 빔을 도파로와 결합할 수 있도록 하는 특징이 있다.The optical antenna technology used by the optical transmitting and receiving device described in the following embodiments is a method of connecting the waveguide of an optical chip and a beam in free space, using the cross section of the waveguide as an aperture in free space, and a method of using the waveguide through which the beam travels. It may include an optical grid antenna method that creates a grid on the surface and uses diffraction of the beam as an aperture in free space. The optical grating antenna method combines a beam in free space with a waveguide by creating a diffraction grating on the surface of the waveguide. By adjusting the grating spacing of the diffraction grating, it creates a divergent beam that diverges in a specific direction or combines a converging beam incident from a specific direction with the waveguide. There are features that allow you to do this.

또한, 이하 실시예들로 설명되는 광 송수신 장치는, 자유 공간에서 일정한 방향으로 시준되어 진행하는 넓은 면적의 시준 빔과 좁은 면적의 광학 칩 내의 광 도파로에 형성되는 도파 빔을 일치시키기 위하여, 빔의 진행 방향, 세기, 위상 분포를 변환시킬 수 있는 광학 기술을 활용할 수 있다. 빔의 진행 방향, 세기, 위상 분포를 변환하는 광학 기술에서는 빔을 투과시켜 경로별 위상과 세기를 조절하는 렌즈 및 반사를 이용하여 빔의 경로를 변환하는 거울이 사용될 수 있다.In addition, the optical transmitting and receiving device described in the following embodiments is configured to match a large-area collimated beam that is collimated and travels in a certain direction in free space with a waveguide beam formed in an optical waveguide in a narrow-area optical chip. Optical technology that can change the direction, intensity, and phase distribution can be utilized. In optical technology that converts the direction, intensity, and phase distribution of a beam, a lens that transmits the beam and adjusts the phase and intensity for each path and a mirror that converts the path of the beam using reflection can be used.

일 실시예들은 시준 빔의 각도를 확장하여 효율적으로 자유 공간의 빛을 직접 광 도파로에 결합시키는 구조와 방법, 광 도파로의 도파 빔을 효율적으로 자유 공간에 결합시키는 구조와 방법을 제안한다.Embodiments propose a structure and method for efficiently coupling light in free space directly to an optical waveguide by expanding the angle of a collimated beam, and a structure and method for efficiently coupling a waveguide beam of an optical waveguide to free space.

보다 상세하게, 일 실시예들은 광 격자 구조의 특성과 광학계를 이용하여 종래의 광 섬유를 이용하여 빛을 송수신 하는 방법보다 더 효율적으로 빛을 송수신 하는 광 송수신 장치를 제안한다. More specifically, embodiments propose an optical transmission and reception device that uses the characteristics of an optical grid structure and an optical system to transmit and receive light more efficiently than a method of transmitting and receiving light using a conventional optical fiber.

또한, 일 실시예들은 종래의 광 위상 배열 방식과 같이 큰 전력 소비가 필요하며 수신 동작에서 많은 손실이 일어나는 방법에 비해, 전기적 동작이 거의 필요 없으며 광학계를 사용하여 송수신 효율을 높이는 광 송수신 장치를 제안한다.In addition, embodiments propose an optical transmission and reception device that requires little electrical operation and improves transmission and reception efficiency by using an optical system, compared to methods that require large power consumption and cause large losses in reception operations, such as the conventional optical phased array method. do.

또한, 일 실시예들은 고집적 대량 생산이 가능한 고집적 및 저전력의 실리콘 광 격자 구조를 기반으로 하는 광 송수신 장치를 제안한다.Additionally, embodiments propose an optical transmission and reception device based on a highly integrated and low-power silicon optical lattice structure capable of high integration and mass production.

다만, 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제들은 상기 과제로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있다.However, the technical problems to be solved by the present invention are not limited to the above problems, and may be expanded in various ways without departing from the technical spirit and scope of the present invention.

일 실시예에 따르면, 자유 공간의 시준 빔을 단일 광 도파로에 결합시키는 광 송수신 장치는, 상기 자유 공간의 시준 빔을 집광하는 광학계; 상기 집광되는 빔을 수광하여 각각의 광 도파로로 전달하는 복수의 광 결합기들로 구성되는 광 결합기 배열; 및 상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 도파로를 통해 전달되는 빔을 상기 단일 광 도파로에 결합시키는 광 분배기를 포함할 수 있다.According to one embodiment, an optical transmitting and receiving device for coupling a collimated beam in free space to a single optical waveguide includes: an optical system for condensing the collimated beam in free space; an optical coupler array composed of a plurality of optical couplers that receive the condensed beam and transmit it to each optical waveguide; and an optical splitter that couples beams transmitted through optical waveguides of each of the plurality of optical couplers to the single optical waveguide.

일 측에 따르면, 상기 광학계 및 상기 복수의 광 결합기들은, 상기 광학계의 개구수-상기 광학계의 개구수는 상기 광학계의 반지름 및 초점을 기초로 결정됨- 및 상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 격자 구조의 개구수-상기 광 격자 구조의 개구수는 상기 광 격자 구조의 너비, 발산 또는 수렴 각도, 발산 또는 수렴 빔의 파장을 기초로 결정됨-가 동일하도록 설계되는 것을 특징으로 할 수 있다.According to one side, the optical system and the plurality of optical couplers have a numerical aperture of the optical system - the numerical aperture of the optical system is determined based on the radius and focus of the optical system - and an optical grid structure of each of the plurality of optical couplers. The numerical aperture - the numerical aperture of the optical grating structure is determined based on the width of the optical grating structure, the divergence or convergence angle, and the wavelength of the divergence or convergence beam - may be designed to be the same.

다른 일 측에 따르면, 상기 복수의 광 결합기들 각각은, 광 격자 구조로 구현되고, 상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 도파로는, 평판형 광 도파로 구조로 구현되는 것을 특징으로 할 수 있다.According to another aspect, each of the plurality of optical couplers may be implemented as an optical lattice structure, and the optical waveguide of each of the plurality of optical couplers may be implemented as a planar optical waveguide structure.

또 다른 일 측에 따르면, 상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 격자 구조는, 발산 또는 수렴하고자 하는 빔의 파장을 기초로 결정되는 격자 주기 및 유효 굴절률을 갖도록 설계되는 것을 특징으로 할 수 있다.According to another aspect, the optical grid structure of each of the plurality of optical couplers may be designed to have a grating period and an effective refractive index determined based on the wavelength of the beam to be diverged or converged.

또 다른 일 측에 따르면, 상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 격자 구조의 위치는, 상기 광학계를 통과하는 빔의 송수신 각도를 기초로 결정되는 것을 특징으로 할 수 있다.According to another aspect, the position of the optical grid structure of each of the plurality of optical couplers may be determined based on the transmission and reception angle of the beam passing through the optical system.

또 다른 일 측에 따르면, 상기 광 결합기 배열은, 모든 각도에서 빔을 송수신 가능하도록 상기 복수의 광 결합기들이 2차원 또는 3차원으로 배열된 구조를 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.According to another aspect, the optical coupler array may be characterized in that the plurality of optical couplers are arranged in two or three dimensions so that beams can be transmitted and received at all angles.

일 실시예에 따르면, 자유 공간의 시준 빔을 단일 광 도파로에 결합시키도록 광학계, 광 결합기 배열 및 광 분배기를 포함하는 광 송수신 장치의 동작 방법은, 상기 광학계에서, 상기 자유 공간의 시준 빔을 집광하는 단계; 상기 광 결합기 배열에 포함되는 복수의 광 결합기들에서, 상기 집광되는 빔을 수광하여 각각의 광 도파로로 전달하는 단계; 및 상기 광 분배기에서, 상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 도파로를 통해 전달되는 빔을 상기 단일 광 도파로에 결합시키는 단계를 포함할 수 있다.According to one embodiment, a method of operating an optical transceiver device including an optical system, an optical coupler array, and an optical splitter to couple a collimated beam in free space into a single optical waveguide includes: concentrating the collimated beam in free space in the optical system; steps; Receiving the concentrated beam from a plurality of optical couplers included in the optical coupler array and transmitting the collected beam to each optical waveguide; and, in the optical distributor, coupling a beam transmitted through an optical waveguide of each of the plurality of optical couplers to the single optical waveguide.

일 실시예에 따르면, 단일 광 도파로의 도파 빔을 자유 공간의 시준 빔에 결합하는 광 송수신 장치는, 상기 단일 광 도파로의 도파 빔을 복수의 광 결합기들 각각의 광 도파로로 분배하는 광 분배기; 상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 도파로를 통해 전달되는 빔을 방사하는 상기 복수의 광 결합기들로 구성되는 광 결합기 배열; 및 상기 복수의 광 결합기들로부터 방사되는 빔을 상기 자유 공간의 시준 빔에 결합시키는 광학계를 포함할 수 있다.According to one embodiment, an optical transmitting and receiving device for coupling a guided beam of a single optical waveguide to a collimated beam in free space includes: an optical splitter that distributes the guided beam of the single optical waveguide to each optical waveguide of a plurality of optical couplers; an optical coupler array composed of a plurality of optical couplers that radiate beams transmitted through optical waveguides of each of the plurality of optical couplers; And it may include an optical system that couples beams radiating from the plurality of optical couplers to the collimated beam in the free space.

일 측에 따르면, 상기 광학계 및 상기 복수의 광 결합기들은, 상기 광학계의 개구수-상기 광학계의 개구수는 상기 광학계의 반지름 및 초점을 기초로 결정됨- 및 상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 격자 구조의 개구수-상기 광 격자 구조의 개구수는 상기 광 격자 구조의 너비, 발산 또는 수렴 각도, 발산 또는 수렴 빔의 파장을 기초로 결정됨-가 동일하도록 설계되는 것을 특징으로 할 수 있다.According to one side, the optical system and the plurality of optical couplers have a numerical aperture of the optical system - the numerical aperture of the optical system is determined based on the radius and focus of the optical system - and an optical grid structure of each of the plurality of optical couplers. The numerical aperture - the numerical aperture of the optical grating structure is determined based on the width of the optical grating structure, the divergence or convergence angle, and the wavelength of the divergence or convergence beam - may be designed to be the same.

일 실시예에 따르면, 단일 광 도파로의 도파 빔을 자유 공간의 시준 빔에 결합시키도록 광 분배기, 광 결합기 배열 및 광학계를 포함하는 광 송수신 장치의 동작 방법은, 상기 광 분배기에서, 상기 단일 광 도파로의 도파 빔을 상기 광 결합기 배열에 포함되는 복수의 광 결합기들 각각의 광 도파로로 분배하는 단계; 상기 광 결합기 배열에 포함되는 복수의 광 결합기들에서, 각각의 광 도파로를 통해 전달되는 빔을 방사하는 단계; 및 상기 광학계에서, 상기 복수의 광 결합기들로부터 방사되는 빔을 상기 자유 공간의 시준 빔에 결합시키는 단계를 포함할 수 있다.According to one embodiment, a method of operating an optical transceiver including an optical splitter, an optical coupler array, and an optical system to couple a guided beam of a single optical waveguide to a collimated beam in free space, comprising: in the optical splitter, the single optical waveguide distributing a waveguide beam to optical waveguides of each of a plurality of optical couplers included in the optical coupler array; Radiating a beam transmitted through each optical waveguide from a plurality of optical couplers included in the optical coupler array; and, in the optical system, combining beams radiating from the plurality of optical couplers to a collimated beam in the free space.

일 실시예들은 시준 빔의 각도를 확장하여 효율적으로 자유 공간의 빛을 직접 광 도파로에 결합시키는 구조와 방법, 광 도파로의 도파 빔을 효율적으로 자유 공간에 결합시키는 구조와 방법을 제안할 수 있다.Embodiments may propose a structure and method for efficiently coupling light in free space directly to an optical waveguide by expanding the angle of a collimated beam, and a structure and method for efficiently coupling a waveguide beam of an optical waveguide to free space.

따라서, 일 실시예들은 종래의 자유 공간 빔 결합 방식과 다르게, 자유 공간 상 넓은 범위의 빛을 반도체 칩 상의 광 도파로로 직접 결합시킬 수 있어, 수광 효율을 높일 수 있으며 수광 각도 또한 높이는 기술 효과를 달성할 수 있다.Therefore, in some embodiments, unlike the conventional free space beam combining method, a wide range of light in free space can be directly coupled to the optical waveguide on the semiconductor chip, thereby achieving the technical effect of increasing light reception efficiency and also increasing the light reception angle. can do.

이에, 일 실시예들은 자유 공간 상 넓은 범위의 빛을 반도체 칩 상에 직접 결합시켜 칩 내에서 다른 응용으로 빛을 증폭시키는 새로운 FMCW 라이다 수광 구조를 제안할 수 있다.Accordingly, embodiments may propose a new FMCW lidar light receiving structure that directly combines a wide range of light in free space onto a semiconductor chip to amplify the light for other applications within the chip.

또한, 일 실시예들은 자유 공간의 빛을 통해 전달되는 데이터들을 반도체 칩에 직접 결합시켜 반도체 칩 상에서 사용자의 기호에 맞게 처리할 수 있는 이점을 가져 광 무선 통신에 도움이 되는 광 송수신 장치를 제안할 수 있다.In addition, embodiments propose an optical transmitting and receiving device that is helpful for optical wireless communication by directly combining data transmitted through light in free space to a semiconductor chip and processing it according to the user's preference on the semiconductor chip. You can.

보다 상세하게, 일 실시예들은 광 격자 구조의 특성과 광학계를 이용하여 종래의 광 섬유를 이용하여 빛을 송수신 하는 방법보다 더 효율적으로 빛을 송수신 하는 광 송수신 장치를 제안할 수 있다. More specifically, embodiments may propose an optical transmitting and receiving device that transmits and receives light more efficiently than a conventional method of transmitting and receiving light using an optical fiber by using the characteristics of an optical lattice structure and an optical system.

특히, 일 실시예들은 렌즈를 사용하여 수광 효율을 광 격자구의 크기 대비 렌즈의 크기의 비율로 증가시킬 수 있어, 수광 효율을 수백 배 증가시킨 광 송수신 장치를 제안할 수 있다.In particular, one embodiment can increase the light receiving efficiency by using a lens in the ratio of the size of the lens to the size of the optical grating, and thus propose an optical transmitting and receiving device that increases the light receiving efficiency hundreds of times.

또한, 일 실시예들은 2차원 구조의 광 격자 배열을 사용해 모든 각도에서 들어오는 빛을 수광할 수 있는 광 송수신 장치를 제안할 수 있다.Additionally, embodiments may propose an optical transmitting and receiving device capable of receiving light coming from all angles using a two-dimensional optical grid array.

또한, 일 실시예들은 종래의 광 위상 배열 방식과 같이 큰 전력 소비가 필요하며 수신 동작에서 많은 손실이 일어나는 방법에 비해, 전기적 동작이 거의 필요 없으며 광학계를 사용하여 송수신 효율을 높이는 광 송수신 장치를 제안할 수 있다.In addition, embodiments propose an optical transmission and reception device that requires little electrical operation and improves transmission and reception efficiency by using an optical system, compared to methods that require large power consumption and cause large losses in reception operations, such as the conventional optical phased array method. can do.

또한, 일 실시예들은 고집적 대량 생산이 가능한 고집적 및 저전력의 실리콘 광 격자 구조를 기반으로 하는 광 송수신 장치를 제안할 수 있다.Additionally, embodiments may propose an optical transmission/reception device based on a highly integrated and low-power silicon optical lattice structure capable of high integration and mass production.

다만, 본 발명의 효과는 상기 효과들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있다.However, the effects of the present invention are not limited to the above effects and can be expanded in various ways without departing from the technical spirit and scope of the present invention.

도 1은 일 실시예에 따른 광 송수신 장치를 구성하는 구성요소를 도시한 도면이다.
도 2a 내지 2b는 일 실시예에 따른 광 송수신 장치가 광학계로 렌즈를 사용하는 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 3a 내지 3b는 일 실시예에 따른 자유 공간의 빛을 결합하기 위한 광 격자 구조의 조건을 설명하기 위한 도면이다.
도 4a 내지 4b는 일 실시예에 따른 광 송수신 장치의 동작 방법 및 조건을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 일 실시예에 따른 광 송수신 장치가 광학계로 거울을 사용하는 구조 및 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 6a 내지 6b는 일 실시예에 따른 광 송수신 장치의 동작 방법을 도시한 플로우 차트이다.
도 7은 일 실시예에 따른 광 송수신 장치의 동작 성능을 검증한 시뮬레이션 결과 및 실험 결과를 도시한 도면이다.
FIG. 1 is a diagram illustrating components constituting an optical transmission/reception device according to an embodiment.
2A and 2B are diagrams to explain a structure in which an optical transmission and reception device uses a lens as an optical system, according to an embodiment.
3A and 3B are diagrams for explaining conditions of an optical grid structure for combining light in free space according to an embodiment.
4A to 4B are diagrams for explaining operating methods and conditions of an optical transmitting and receiving device according to an embodiment.
FIG. 5 is a diagram to explain the structure and principle of an optical transmitting and receiving device using a mirror as an optical system according to an embodiment.
6A to 6B are flow charts showing a method of operating an optical transmitting and receiving device according to an embodiment.
FIG. 7 is a diagram illustrating simulation results and experimental results verifying the operational performance of an optical transmitting and receiving device according to an embodiment.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 또한, 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. However, the present invention is not limited or limited by the examples. Additionally, the same reference numerals in each drawing indicate the same members.

또한, 본 명세서에서 사용되는 용어(Terminology)들은 본 발명의 바람직한 실시예를 적절히 표현하기 위해 사용된 용어들로서, 이는 시청자, 운용자의 의도 또는 본 발명이 속하는 분야의 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 본 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 예컨대, 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.Additionally, terminologies used in this specification are terms used to appropriately express preferred embodiments of the present invention, and may vary depending on the intention of the viewer, operator, or customs in the field to which the present invention belongs. Therefore, definitions of these terms should be made based on the content throughout this specification. For example, in this specification, singular forms also include plural forms unless specifically stated otherwise in the context. Additionally, as used herein, “comprises” and/or “comprising” refers to a referenced component, step, operation, and/or element that includes one or more other components, steps, operations, and/or elements. It does not exclude the presence or addition of elements.

또한, 본 발명의 다양한 실시 예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시 예로 구현될 수 있다. 또한, 제시된 각각의 실시예 범주에서 개별 구성요소의 위치, 배치, 또는 구성은 본 발명의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다.Additionally, it should be understood that the various embodiments of the present invention are different from one another but are not necessarily mutually exclusive. For example, specific shapes, structures and characteristics described herein may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention with respect to one embodiment. Additionally, it should be understood that the location, arrangement, or configuration of individual components in each presented embodiment category may be changed without departing from the technical spirit and scope of the present invention.

이하 실시예들에서는 광 격자 구조의 특성과 광학계를 이용함으로써 시준 빔의 각도를 확장하여 효율적으로 자유 공간의 빛을 직접 광 도파로에 결합시키거나, 광 도파로의 도파 빔을 효율적으로 자유 공간에 결합시키는 광 송수신 장치가 설명된다.In the following embodiments, by using the characteristics of the optical lattice structure and the optical system, the angle of the collimated beam is expanded to efficiently couple light in free space directly to an optical waveguide, or to efficiently couple the waveguide beam of the optical waveguide to free space. An optical transmitting and receiving device is described.

도 1은 일 실시예에 따른 광 송수신 장치를 구성하는 구성요소를 도시한 도면이고, 도 2a 내지 2b는 일 실시예에 따른 광 송수신 장치가 광학계로 렌즈를 사용하는 구조를 설명하기 위한 도면이다. 보다 상세하게, 도 2a는 광학계로 렌즈를 사용하는 광 송수신 장치를 도시한 정면도이며, 도 2b는 광학계로 렌즈를 사용하는 광 송수신 장치를 도시한 평면도이다.FIG. 1 is a diagram illustrating components constituting an optical transmission and reception device according to an embodiment, and FIGS. 2A and 2B are diagrams for explaining a structure in which an optical transmission and reception device according to an embodiment uses a lens as an optical system. More specifically, FIG. 2A is a front view showing an optical transmitting and receiving device using a lens as an optical system, and FIG. 2B is a plan view showing an optical transmitting and receiving device using a lens as an optical system.

도면들을 참조하면, 광 송수신 장치는 광학계(100), 복수의 광 결합기들(210)로 구성되는 광 결합기 배열(200), 광 분배기(300)를 포함한 채, 자유 공간의 시준 빔을 단일 광 도파로(400)로 결합시키거나, 반대로 단일 광 도파로(400)의 도파 빔을 자유 공간의 시준 빔에 결합시킬 수 있다.Referring to the drawings, the optical transmitting and receiving device includes an optical system 100, an optical coupler array 200 composed of a plurality of optical couplers 210, and an optical distributor 300, and transmits a collimated beam in free space into a single optical waveguide. 400, or conversely, the guided beam of the single optical waveguide 400 can be coupled to the collimated beam in free space.

이와 같은 구성요소들을 포함하는 광 송수신 장치는 실리콘(Si), 저마늄(Ge) 같은 반도체 기판, 실리콘-온-인슐레이터 (Silicon-On-Insulator), 저마늄-온-인슐레이터 (Germanium-On-Insulator)기판에 형성될 수 있으나, 이에 제한되거나 한정되지는 않는다.The optical transmitting and receiving device including these components includes semiconductor substrates such as silicon (Si) and germanium (Ge), silicon-on-insulator, and germanium-on-insulator. ) may be formed on the substrate, but is not limited or limited thereto.

이하, 설명의 편의를 위해 광 송수신 장치의 구성요소들(광학계(100), 광 결합기 배열(200), 광 분배기(300))에 대해, 자유 공간의 시준 빔을 단일 광 도파로(400)로 결합시키는 경우와 단일 광 도파로(400)의 도파 빔을 자유 공간의 시준 빔에 결합시키는 경우로 구분하여 상세히 설명한다.Hereinafter, for convenience of explanation, the components of the optical transmission and reception device (optical system 100, optical coupler array 200, optical distributor 300) combine the collimated beam in free space into a single optical waveguide 400. A case where the guide beam of the single optical waveguide 400 is combined with a collimated beam in free space will be described in detail.

자유 공간의 시준 빔을 단일 광 도파로(400)로 결합시키는 경우, 광 송수신 장치의 광학계(100)는 자유 공간의 시준 빔을 집광할 수 있다. 예를 들어, 광학계(100)는 임의의 각도를 갖고 방사되는 자유 공간의 시준 빔을 집광하도록 렌즈, 거울 프리즘 등으로 구현될 수 있다. 광학계(100)가 렌즈로 구현되는 경우, 렌즈로는 자유 공간의 시준 빔을 하나의 점으로 집광하도록 볼록 렌즈가 사용될 수 있다.When combining a collimated beam in free space into a single optical waveguide 400, the optical system 100 of the optical transceiver device can focus the collimated beam in free space. For example, the optical system 100 may be implemented with a lens, mirror prism, etc. to focus a collimated beam in free space radiated at an arbitrary angle. When the optical system 100 is implemented with a lens, a convex lens may be used to converge a collimated beam in free space into one point.

여기서 광학계(100)의 개구수(NA)는, 아래의 식 1와 같이 광학계(100)의 반지름(R) 및 초점에 의해 결정될 수 있다.Here, the numerical aperture (NA) of the optical system 100 may be determined by the radius (R) and focus of the optical system 100 as shown in Equation 1 below.

<식 1><Equation 1>

식 1에서 NA는 광학계(100)인 렌즈의 개구수를, R은 렌즈 구경의 반지름을, f는 렌즈의 유효 초점 거리를 의미한다.In Equation 1, NA refers to the numerical aperture of the lens of the optical system 100, R refers to the radius of the lens aperture, and f refers to the effective focal length of the lens.

자유 공간에서 방사되는 빔이 임의의 각도(

Figure pat00002
)를 갖고 광학계(100)인 렌즈를 통과할 때, 렌즈의 초점 거리(f) 지점에서 한 점으로 모이게 된다. 한 점으로 모이는 x좌표는 들어오는 빔의 각도(
Figure pat00003
)와 렌즈의 초점 거리(f)에 의해 식 2와 같이 계산되며, 모인 빔은 광 결합기 배열(200)을 구성하는 복수의 광 결합기들(210)로 결합될 수 있다.A beam radiating in free space appears at an arbitrary angle (
Figure pat00002
) and pass through the lens of the optical system 100, they converge to one point at the focal length (f) of the lens. The x-coordinates that converge to one point are the angle of the incoming beam (
Figure pat00003
) and the focal length (f) of the lens as in Equation 2, and the collected beam can be combined into a plurality of optical couplers 210 constituting the optical coupler array 200.

<식 2><Equation 2>

식 2에서 x는 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조의 위치를,

Figure pat00005
는 광학계(100)를 통과하는 빔의 송수신 각도를 의미한다.In Equation 2, x represents the position of the optical lattice structure of each of the plurality of optical couplers 210,
Figure pat00005
means the transmission/reception angle of the beam passing through the optical system 100.

즉, 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조의 위치는, 광학계(100)를 통과하는 빔의 송수신 각도를 기초로 결정될 수 있다. 이에, 광 결합기 배열(200)은, 광학계(100)를 통과하는 빔의 송수신 각도를 고려하여 위치하는 광 격자 구조를 갖는 복수의 광 결합기들(210)로 구성될 수 있다.That is, the position of the optical grid structure of each of the plurality of optical couplers 210 may be determined based on the transmission and reception angle of the beam passing through the optical system 100. Accordingly, the optical coupler array 200 may be composed of a plurality of optical couplers 210 having an optical grid structure positioned in consideration of the transmission and reception angle of the beam passing through the optical system 100.

자유 공간의 시준 빔을 단일 광 도파로(400)로 결합시키는 경우, 광 송수신 장치의 광 결합기 배열(200)은 집광되는 빔을 수광하여 복수의 광 결합기들(210) 각각에 대응하는 광 도파로(220)로 전달할 수 있다.When combining a collimated beam in free space into a single optical waveguide 400, the optical coupler array 200 of the optical transceiver receives the condensed beam and connects the optical waveguide 220 corresponding to each of the plurality of optical couplers 210. ) can be transmitted.

이 때, 복수의 광 결합기들(210) 각각은 광 격자 구조로 구현될 수 있으며, 복수의 광 결합기들(210) 각각에 대응하는 광 도파로(220)는 평판형 광 도파로 구조로 구현될 수 있다. 즉, 복수의 광 결합기들(210)과 각각의 광 도파로(220)는 평판형 칩 상에 구현될 수 있다. 또한, 후술되는 광 분배기(300) 역시 복수의 광 결합기들(210) 및 각각의 광 도파로(220)와 함께 평판형 칩 상에 구현될 수 있다. 일례로, 복수의 광 결합기들(210) 및 각각의 광 도파로(220)와 광 분배기(300)는 Si, Ge, InGaAs, InP, GaAs, LiNbO3, SiN, SOI, Silica on silicon, Polymer, Glass 등을 포함하는 반도체 기판 공정으로 제작된 평판형 칩 상에 집적화될 수 있다.At this time, each of the plurality of optical couplers 210 may be implemented as an optical lattice structure, and the optical waveguide 220 corresponding to each of the plurality of optical couplers 210 may be implemented as a planar optical waveguide structure. . That is, the plurality of optical couplers 210 and each optical waveguide 220 may be implemented on a flat chip. Additionally, the optical distributor 300, which will be described later, can also be implemented on a flat chip along with a plurality of optical couplers 210 and each optical waveguide 220. For example, the plurality of optical couplers 210 and each optical waveguide 220 and optical distributor 300 include Si, Ge, InGaAs, InP, GaAs, LiNbO 3 , SiN, SOI, Silica on silicon, Polymer, Glass It can be integrated on a flat chip manufactured through a semiconductor substrate process including.

여기서, 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조는, 발산 또는 수렴하고자 하는 빔의 파장을 기초로 결정되는 격자 주기 및 유효 굴절률을 갖도록 설계될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 아래의 도 3a 내지 3b를 참조하여 기재하기로 한다.Here, the optical grid structure of each of the plurality of optical couplers 210 may be designed to have a grating period and an effective refractive index determined based on the wavelength of the beam to be diverged or converged. A detailed description of this will be described with reference to FIGS. 3A and 3B below.

또한, 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조는, 광학계(100)를 통과하는 특정 각도의 빔을 송수신하도록 설계될 수 있다. 예컨대, 전술된 바와 같이 광학계(100)를 통과하는 빔의 특정 각도를 기초로 복수의 광 결합기들(210) 각각의 격자 구조의 위치가 결정될 수 있다.Additionally, the optical grid structure of each of the plurality of optical couplers 210 may be designed to transmit and receive a beam at a specific angle that passes through the optical system 100. For example, as described above, the position of the grid structure of each of the plurality of optical couplers 210 may be determined based on a specific angle of the beam passing through the optical system 100.

또한, 광 결합기 배열(200)은 모든 각도(θ, Φ)에서 빔을 송수신 가능하도록 복수의 광 결합기들(210)이 2차원 또는 3차원으로 배열된 구조를 가질 수 있다. 예컨대, 광 결합기 배열(200)은 복수의 광 결합기들(210)이 2차원의 원형으로 배열된 구조를 가질 수 있다.Additionally, the optical coupler array 200 may have a structure in which a plurality of optical couplers 210 are arranged in two or three dimensions to enable transmission and reception of beams at all angles (θ, Φ). For example, the optical coupler array 200 may have a structure in which a plurality of optical couplers 210 are arranged in a two-dimensional circular shape.

특히, 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조는 수광 효율을 극대화시키는 조건을 만족시키도록 설계될 수 있다. 보다 상세하게, 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조는 광학계의 개구수와 동일한 개구수를 갖도록 설계될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 아래의 도 3a 내지 3b를 참조하여 기재하기로 한다.In particular, the optical grid structure of each of the plurality of optical couplers 210 may be designed to satisfy conditions for maximizing light reception efficiency. In more detail, the optical grid structure of each of the plurality of optical couplers 210 may be designed to have a numerical aperture that is the same as the numerical aperture of the optical system. A detailed description of this will be described with reference to FIGS. 3A and 3B below.

복수의 광 결합기들(210) 각각에 대응하는 광 도파로(220)는, 복수의 광 결합기들(210)로부터 전달되는 빔을 단일 모드 또는 다중 모드로 도파시켜 광 분배기(300)로 전달할 수 있다.The optical waveguide 220 corresponding to each of the plurality of optical couplers 210 may guide the beam transmitted from the plurality of optical couplers 210 in a single mode or multiple modes and transmit it to the optical distributor 300.

자유 공간의 시준 빔을 단일 광 도파로(400)로 결합시키는 경우, 광 송수신 장치의 광 분배기(300)는 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 도파로(220)를 통해 전달되는 빔을 단일 광 도파로(400)에 결합시킬 수 있다. 광 분배기(300)의 개수는 광 결합기 배열(200)을 구성하는 복수의 광 결합기들(210)의 개수(광 격자 구조의 개수)에 따라 결정될 수 있다.When combining a collimated beam in free space into a single optical waveguide 400, the optical distributor 300 of the optical transmitting and receiving device converts the beam transmitted through each optical waveguide 220 of the plurality of optical combiners 210 into a single optical waveguide. It can be coupled to the waveguide 400. The number of optical splitters 300 may be determined depending on the number of optical couplers 210 (number of optical grid structures) constituting the optical coupler array 200.

단일 광 도파로(400)의 도파 빔을 자유 공간의 시준 빔에 결합시키는 경우, 광 송수신 장치의 광 분배기(300)는 단일 광 도파로(400)의 도파 빔을 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 도파로(220)로 분배할 수 있다.When combining the guided beam of the single optical waveguide 400 with a collimated beam in free space, the optical distributor 300 of the optical transceiver couples the guided beam of the single optical waveguide 400 to each of the plurality of optical combiners 210. It can be distributed using the optical waveguide 220.

단일 광 도파로(400)의 도파 빔을 자유 공간의 시준 빔에 결합시키는 경우, 광 송수신 장치의 광 결합기 배열(200)은 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 도파로(220)를 통해 전달되는 빔을 방사할 수 있다. 광 결합기 배열(200)을 구성하는 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조는 앞서 상세히 설명되었으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.When coupling the guided beam of a single optical waveguide 400 to a collimated beam in free space, the optical coupler array 200 of the optical transceiver device transmits the plurality of optical couplers 210 through each optical waveguide 220. Can emit a beam. Since the optical grid structure of each of the plurality of optical couplers 210 constituting the optical coupler array 200 has been described in detail previously, detailed description thereof will be omitted.

단일 광 도파로(400)의 도파 빔을 자유 공간의 시준 빔에 결합시키는 경우, 광 송수신 장치의 광학계(100)는 복수의 광 결합기들(210)로부터 방사되는 빔을 자유 공간의 시준 빔에 결합시킬 수 있다. 광학계(100) 역시 앞서 상세히 설명되었으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.When coupling the waveguide beam of the single optical waveguide 400 to the collimated beam in free space, the optical system 100 of the optical transmitting and receiving device couples the beam radiating from the plurality of optical couplers 210 to the collimating beam in free space. You can. Since the optical system 100 has also been described in detail previously, its detailed description will be omitted.

도 3a 내지 3b는 일 실시예에 따른 자유 공간의 빛을 결합하기 위한 광 격자 구조의 조건을 설명하기 위한 도면이다.3A and 3B are diagrams for explaining conditions of an optical grid structure for combining light in free space according to an embodiment.

광 격자 구조의 수광 각도는 식 3에 의해 결정된다.The light reception angle of the optical grating structure is determined by Equation 3.

<식 3><Equation 3>

식 3에서(310)는 광 격자 구조의 수직 수광 각도를, 는 광 격자 구조의 유효 굴절률을, 광 격자 구조의 수광하는 빔의 파장을, 는 광 격자 구조의 격자 주기(320)를, 는 광 격자 구조를 감싸는 피복(350)의 굴절률을 의미한다.In equation 3 (310) is the vertical light reception angle of the optical grating structure, is the effective refractive index of the optical grating structure, The wavelength of the beam received by the optical grid structure, is the lattice period 320 of the optical lattice structure, means the refractive index of the coating 350 surrounding the optical grid structure.

광 격자 구조의 유효 굴절률()은 광 격자 구조의 높이(330)와 광 도파로의 높이(340)에 의해 결정될 수 있다. 수광하는 빔의 파장()은 수광하는 빔에 따라서 변경될 수 있으며, 반도체 물질에 따라 달라질 수 있다. 따라서 발산 또는 수렴하고자 하는 빔의 파장()에 맞게 광 격자 구조가 다르게 설계될 수 있다.Effective refractive index of the optical grating structure ( ) can be determined by the height 330 of the optical grid structure and the height 340 of the optical waveguide. The wavelength of the beam being received ( ) may change depending on the beam being received and may vary depending on the semiconductor material. Therefore, the wavelength of the beam to be diverged or converged ( ), the optical grid structure may be designed differently.

광 격자 구조를 감싸는 피복(350)의 굴절률() 또한 사용하는 반도체 물질에 따라 결정될 수 있다.The refractive index of the coating 350 surrounding the optical grid structure ( ) can also be determined depending on the semiconductor material used.

이와 같은 원리로 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조는, 발산 또는 수렴하고자 하는 빔의 파장을 기초로 결정되는 격자 주기 및 유효 굴절률을 갖도록 설계될 수 있다.According to this principle, the optical grid structure of each of the plurality of optical couplers 210 may be designed to have a grating period and an effective refractive index determined based on the wavelength of the beam to be diverged or converged.

특히, 수광 효율 또는 결합 효율을 최대화하기 위해서는, 식 4와 같이 결정되는 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조의 개구수와 식 1과 같이 결정되는 광학계(100)의 개구수가 동일해야 한다.In particular, in order to maximize light receiving efficiency or coupling efficiency, the numerical aperture of the optical grating structure of each of the plurality of optical couplers 210 determined as in Equation 4 and the numerical aperture of the optical system 100 determined as in Equation 1 must be the same. do.

<식 4><Equation 4>

, ,

식 4에서 (360)는 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조의 발산 또는 수렴 각도를, 는 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조의 발산 또는 수렴 빔의 파장을, 는 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조의 너비(370)를, NA는 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조의 개구수를 의미한다.In equation 4 360 represents the divergence or convergence angle of the optical lattice structure of each of the plurality of optical couplers 210, is the wavelength of the diverging or converging beam of the optical grating structure of each of the plurality of optical couplers 210, means the width 370 of the optical lattice structure of each of the plurality of optical couplers 210, and NA means the numerical aperture of the optical lattice structure of each of the plurality of optical couplers 210.

이와 같은 원리를 기반으로 광학계(100) 및 복수의 광 결합기들(210)은 광학계(100)의 개구수(광학계(100)의 반지름 및 초점을 기초로 결정됨) 및 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조의 개구수(광 격자 구조의 너비, 발산 또는 수렴 각도, 발산 또는 수렴 빔의 파장을 기초로 결정됨)가 동일하도록 설계됨으로써, 광 송수신 장치의 수광 효율이 극대화될 수 있다.Based on this principle, the optical system 100 and the plurality of optical couplers 210 have a numerical aperture of the optical system 100 (determined based on the radius and focus of the optical system 100) and a plurality of optical couplers 210. By designing the numerical aperture of each optical grating structure (determined based on the width of the optical grating structure, the divergence or convergence angle, and the wavelength of the divergence or convergence beam) to be the same, the light receiving efficiency of the optical transmitting and receiving device can be maximized.

이상, 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 격자 구조로 포커스 광 격자 구조가 사용되는 것으로 설명되었으나, 이에 제한되거나 한정되지 않고 일반 광 격자 구조가 사용될 수 있다.Above, it has been described that a focus optical grid structure is used as the optical grid structure of each of the plurality of optical couplers 210, but the present invention is not limited or limited thereto and a general optical grid structure may be used.

도 4a 내지 4b는 일 실시예에 따른 광 송수신 장치의 동작 방법 및 조건을 설명하기 위한 도면이다. 보다 상세하게, 도 4a는 일 실시예에 따른 광 송수신 장치가 자유 공간의 빛을 광 격자 구조에 결합하는 방법 및 조건을 설명하기 위한 도면이며, 도 4b는 일 실시예에 따른 광 송수신 장치가 광 도파로에 도파하는 빔을 자유 공간의 시준 빔으로 결합하는 방법 및 조건을 설명하기 위한 도면이다.4A to 4B are diagrams for explaining operating methods and conditions of an optical transmitting and receiving device according to an embodiment. More specifically, FIG. 4A is a diagram illustrating a method and conditions for an optical transmission/reception device according to an embodiment to couple light in free space to an optical grid structure, and FIG. 4B is a diagram illustrating an optical transmission/reception device according to an embodiment of the optical grid structure. This is a diagram to explain the method and conditions for combining a beam guiding a waveguide into a collimated beam in free space.

자유 공간의 시준 빔을 단일 광 도파로(400)로 결합시키는 경우, 식 3에 의해 결정된 특정 수광 각도 (310)을 갖는 광 격자 구조는 식 2에 의해 결정된 특정 위치에 위치한다. 특정 각도 를 갖고 광학계(100)의 중심을 통과한 밤은 광 격자 구조를 갖는 광 결합기(210)에 도달하게 된다. 이 때, 광 격자 구조의 수광 각도(310)와 광학계(100)를 통과한 빔이 갖는 각도()가 동일하면, 광학계(100)를 통과한 빔은 광 격자 구조를 갖는 광 결합기(210)를 통해 결합한다. 이 때, 식 1에 의해 결정된 광학계(100)의 개구수와, 식 4에 의해 결정된 광 격자 구조의 개구수가 동일할 때, 결합 효율이 최대가 된다.When combining collimated beams in free space into a single optical waveguide 400, the specific light reception angle determined by equation 3 The optical lattice structure with (310) is located at a specific position determined by Equation 2. specific angle The night passing through the center of the optical system 100 reaches the optical coupler 210 having an optical lattice structure. At this time, the light reception angle 310 of the optical grid structure and the angle of the beam passing through the optical system 100 ( ) is the same, the beam passing through the optical system 100 is combined through the optical coupler 210 having an optical lattice structure. At this time, when the numerical aperture of the optical system 100 determined by Equation 1 and the numerical aperture of the optical grating structure determined by Equation 4 are the same, the coupling efficiency is maximized.

단일 광 도파로(400)의 도파 빔을 자유 공간의 시준 빔에 결합시키는 경우, 광 도파로(220)를 도파하는 빔은 광 격자 구조의 식 3에 의해 결정된 특정 방사 각도 (310) 방향으로 방사되며, 이 때 광 격자 구조의 위치는 식 2에 의해 결정된 특정 위치에 위치한다. 방사된 빔은 광학계(100)를 통과하여 특정 각도 를 갖고 방사되는 시준 빔으로 전환되며, 광 격자 구조의 방사 각도 (310)가 시준 빔이 갖는 각도 가 된다. 이 때, 식 1에 의해 결정된 광학계(100)의 개구수와, 식 4에 의해 결정된 광 격자 구조의 개구수가 동일할 때, 자유 공간에서의 결합 효율이 최대가 된다.When coupling the guided beam of a single optical waveguide 400 to a collimated beam in free space, the beam guiding the optical waveguide 220 has a specific radiation angle determined by equation 3 of the optical grating structure. It radiates in the (310) direction, and at this time, the position of the optical lattice structure is located at a specific position determined by Equation 2. The emitted beam passes through the optical system 100 at a specific angle. It is converted into a collimated beam radiating with a radiation angle of the optical grating structure. (310) is the angle that the collimated beam has. It becomes. At this time, when the numerical aperture of the optical system 100 determined by Equation 1 and the numerical aperture of the optical lattice structure determined by Equation 4 are the same, the coupling efficiency in free space is maximized.

도 5는 일 실시예에 따른 광 송수신 장치가 광학계로 거울을 사용하는 구조 및 원리를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 5 is a diagram to explain the structure and principle of an optical transmitting and receiving device using a mirror as an optical system according to an embodiment.

광학계(100)로 거울이 사용되는 경우, 거울로는 빔을 한 점으로 모아주는 오목 거울이 사용될 수 있다. 그러나 이에 제한되거나 한정되지는 않는다.When a mirror is used as the optical system 100, a concave mirror that focuses the beam to one point may be used as the mirror. However, it is not limited or limited thereto.

거울(100)에 반사된 빔이 특정 각도(

Figure pat00028
)를 갖고 초점 거리(f) 위치에서 한 점에 모일 때, 모인 빔은 광 격자 구조에 결합되어 광 도파로(220)로 전달될 수 있다.The beam reflected by the mirror 100 is transmitted at a certain angle (
Figure pat00028
) and when gathered at a point at the focal distance (f), the collected beam may be coupled to the optical lattice structure and transmitted to the optical waveguide 220.

마찬가지로, 광 격자 구조에서 방사되는 광 도파로(220)의 도파 빔은 거울 (100)을 통해 시준 빔으로 전환될 수 있다.Likewise, the guided beam of the optical waveguide 220 radiating from the optical grating structure may be converted into a collimated beam through the mirror 100.

도 6a 내지 6b는 일 실시예에 따른 광 송수신 장치의 동작 방법을 도시한 플로우 차트이다. 보다 상세하게, 도 6a는 자유 공간의 시준 빔을 단일 광 도파로(400)로 결합시키는 경우의 광 송수신 장치의 동작 방법을 도시한 플로우 차트이며, 도 6b는 단일 광 도파로(400)의 도파 빔을 자유 공간의 시준 빔에 결합시키는 경우의 광 송수신 장치의 동작 방법을 도시한 플로우 차트이다.6A to 6B are flow charts showing a method of operating an optical transmitting and receiving device according to an embodiment. In more detail, FIG. 6A is a flow chart showing the operation method of the optical transceiver when combining a collimated beam in free space into a single optical waveguide 400, and FIG. 6B is a flow chart showing the operation method of the optical transmitting and receiving device when combining a collimated beam in free space into a single optical waveguide 400. This is a flow chart showing the operation method of the optical transmitting and receiving device when coupled to a collimated beam in free space.

도 6a를 참조하면, 단계(S610)에서 광 송수신 장치는 광학계(100)를 통해, 자유 공간의 시준 빔을 집광할 수 있다.Referring to FIG. 6A, in step S610, the optical transmitting and receiving device may focus a collimated beam in free space through the optical system 100.

단계(S620)에서 광 송수신 장치는 광 결합기 배열(200)에 포함되는 복수의 광 결합기들(210)을 통해, 집광되는 빔을 수광하여 각각의 광 도파로(220)로 전달할 수 있다.In step S620, the optical transmitting and receiving device may receive the concentrated beam through the plurality of optical couplers 210 included in the optical coupler array 200 and transmit it to each optical waveguide 220.

단계(S630)에서 광 송수신 장치는 광 분배기(300)를 통해, 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 도파로(220)를 통해 전달되는 빔을 단일 광 도파로(400)에 결합시킬 수 있다In step S630, the optical transmitting and receiving device may couple the beam transmitted through the optical waveguide 220 of each of the plurality of optical couplers 210 to the single optical waveguide 400 through the optical splitter 300.

도 6b를 참조하면, 단계(S640)에서 광 송수신 장치는 광 분배기(300)를 통해, 단일 광 도파로(400)의 도파 빔을 광 결합기 배열(200)에 포함되는 복수의 광 결합기들(210) 각각의 광 도파로(220)로 분배할 수 있다.Referring to FIG. 6B, in step S640, the optical transceiver transmits the guided beam of the single optical waveguide 400 through the optical distributor 300 to a plurality of optical couplers 210 included in the optical coupler array 200. It can be distributed to each optical waveguide 220.

단계(S650)에서 광 송수신 장치는 광 결합기 배열(200)에 포함되는 복수의 광 결합기들(210)을 통해, 각각의 광 도파로(220)로 전달되는 빔을 방사할 수 있다.In step S650, the optical transmitting and receiving device may radiate a beam transmitted to each optical waveguide 220 through a plurality of optical couplers 210 included in the optical coupler array 200.

단계(S660)에서 광 송수신 장치는 광학계(100)를 통해, 복수의 광 결합기들(210)로부터 방사되는 빔을 자유 공간의 시준 빔에 결합시킬 수 있다.In step S660, the optical transmitting and receiving device may couple the beam radiating from the plurality of optical couplers 210 to a collimated beam in free space through the optical system 100.

도 7은 일 실시예에 따른 광 송수신 장치의 동작 성능을 검증한 시뮬레이션 결과 및 실험 결과를 도시한 도면이다.FIG. 7 is a diagram illustrating simulation results and experimental results verifying the operational performance of an optical transmitting and receiving device according to an embodiment.

도 7의 그래프는 일 실시예에 따른 자유 공간의 시준 빔을 렌즈인 광학계(100)를 사용하여 실리콘 반도체 칩에 결합할 때의 결합성능을 나타낸다. 검은색 삼각형으로 표시된 추세선은 종래의 기술인 광 섬유를 이용할 때의 시뮬레이션 결과를 나타내고, 파란색 삼각형으로 표시된 추세선은 일 실시예에 따른 광 격자 구조를 이용할 때의 시뮬레이션 결과를 나타낸다. 분홍색 원형으로 표시된 추세선은 종래의 기술인 광 섬유를 이용할 때의 실험 결과를 나타내며, 빨간색 원형으로 표시된 추세선은 일 실시예에 따른 광 격자 구조를 이용할 때의 실험 결과를 나타낸다. 보라색 원형으로 표시된 추세선은 렌즈가 없을 때의 광 격자 구조의 결합 효율을 나타낸다.The graph of FIG. 7 shows the coupling performance when a collimated beam in free space is coupled to a silicon semiconductor chip using the optical system 100, which is a lens, according to an embodiment. The trend line indicated by a black triangle represents simulation results when using a conventional optical fiber, and the trend line indicated by a blue triangle represents the simulation results when using an optical grid structure according to an embodiment. The trend line indicated by a pink circle represents the experimental results when using a conventional optical fiber, and the trend line indicated by a red circle represents the experimental results when an optical grid structure according to an embodiment is used. The trend line shown in the purple circle represents the coupling efficiency of the optical grating structure in the absence of a lens.

일 실시예에 따른 실리콘 광 격자 구조를 이용하여 자유 공간의 시준 빔을 결합할 때의 광 송수신 장치가, 광 섬유를 이용하는 것보다 훨씬 더 넓은 각도의 빔을 결합할 수 있는 것을 볼 수 있다. 또한 광학계를 사용하지 않았을 때 보다 광학계를 사용하였을 때 더 넓은 면적의 시준 빔을 결합할 수 있어 결합 효율이 높아지는 것을 확인할 수 있다.It can be seen that an optical transceiver device that combines collimated beams in free space using a silicon optical grating structure according to an embodiment can combine beams with a much wider angle than when using an optical fiber. In addition, it can be seen that the collimated beams of a larger area can be combined when an optical system is used compared to when an optical system is not used, thereby increasing the combining efficiency.

이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.As described above, although the embodiments have been described with limited examples and drawings, various modifications and variations can be made by those skilled in the art from the above description. For example, the described techniques are performed in a different order than the described method, and/or components of the described system, structure, device, circuit, etc. are combined or combined in a different form than the described method, or other components are used. Alternatively, appropriate results may be achieved even if substituted or substituted by an equivalent.

그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.Therefore, other implementations, other embodiments, and equivalents of the claims also fall within the scope of the claims described below.

Claims (10)

자유 공간의 시준 빔을 단일 광 도파로에 결합시키는 광 송수신 장치에 있어서,
상기 자유 공간의 시준 빔을 집광하는 광학계;
상기 집광되는 빔을 수광하여 각각의 광 도파로로 전달하는 복수의 광 결합기들로 구성되는 광 결합기 배열; 및
상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 도파로를 통해 전달되는 빔을 상기 단일 광 도파로에 결합시키는 광 분배기
를 포함하는 광 송수신 장치.
An optical transmitting and receiving device that couples a collimated beam in free space into a single optical waveguide, comprising:
an optical system that focuses the collimated beam in the free space;
an optical coupler array composed of a plurality of optical couplers that receive the condensed beam and transmit it to each optical waveguide; and
An optical splitter that couples beams transmitted through optical waveguides of each of the plurality of optical couplers to the single optical waveguide.
An optical transmitting and receiving device comprising a.
제1항에 있어서,
상기 광학계 및 상기 복수의 광 결합기들은,
상기 광학계의 개구수-상기 광학계의 개구수는 상기 광학계의 반지름 및 초점을 기초로 결정됨- 및 상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 격자 구조의 개구수-상기 광 격자 구조의 개구수는 상기 광 격자 구조의 너비, 발산 또는 수렴 각도, 발산 또는 수렴 빔의 파장을 기초로 결정됨-가 동일하도록 설계되는 것을 특징으로 하는 광 송수신 장치.
According to paragraph 1,
The optical system and the plurality of optical couplers are,
Numerical aperture of the optical system - the numerical aperture of the optical system is determined based on the radius and focus of the optical system - and the numerical aperture of the optical grating structure of each of the plurality of optical couplers - the numerical aperture of the optical grating structure is determined by the optical grating An optical transmitting and receiving device, wherein the width of the structure, the diverging or converging angle, determined based on the wavelength of the diverging or converging beam, are designed to be the same.
제1항에 있어서,
상기 복수의 광 결합기들 각각은,
광 격자 구조로 구현되고,
상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 도파로는,
평판형 광 도파로 구조로 구현되는 것을 특징으로 하는 광 송수신 장치.
According to paragraph 1,
Each of the plurality of optical couplers,
Implemented as an optical grid structure,
The optical waveguide of each of the plurality of optical couplers,
An optical transmitting and receiving device characterized by being implemented as a planar optical waveguide structure.
제1항에 있어서,
상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 격자 구조는,
발산 또는 수렴하고자 하는 빔의 파장을 기초로 결정되는 격자 주기 및 유효 굴절률을 갖도록 설계되는 것을 특징으로 하는 광 송수신 장치.
According to paragraph 1,
The optical grid structure of each of the plurality of optical couplers is,
An optical transmitting and receiving device characterized in that it is designed to have a grating period and an effective refractive index determined based on the wavelength of the beam to be diverged or converged.
제1항에 있어서,
상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 격자 구조의 위치는,
상기 광학계를 통과하는 빔의 송수신 각도를 기초로 결정되는 것을 특징으로 하는 광 송수신 장치.
According to paragraph 1,
The position of the optical grid structure of each of the plurality of optical couplers is,
An optical transmitting and receiving device, characterized in that it is determined based on the transmitting and receiving angle of the beam passing through the optical system.
제1항에 있어서,
상기 광 결합기 배열은,
모든 각도에서 빔을 송수신 가능하도록 상기 복수의 광 결합기들이 2차원 또는 3차원으로 배열된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 광 송수신 장치.
According to paragraph 1,
The optical coupler arrangement is,
An optical transmitting and receiving device, characterized in that the plurality of optical couplers are arranged in two or three dimensions so that beams can be transmitted and received at all angles.
자유 공간의 시준 빔을 단일 광 도파로에 결합시키도록 광학계, 광 결합기 배열 및 광 분배기를 포함하는 광 송수신 장치의 동작 방법에 있어서,
상기 광학계에서, 상기 자유 공간의 시준 빔을 집광하는 단계;
상기 광 결합기 배열에 포함되는 복수의 광 결합기들에서, 상기 집광되는 빔을 수광하여 각각의 광 도파로로 전달하는 단계; 및
상기 광 분배기에서, 상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 도파로를 통해 전달되는 빔을 상기 단일 광 도파로에 결합시키는 단계
를 포함하는 광 송수신 장치의 동작 방법.
A method of operating an optical transceiver device comprising optics, an optical coupler array, and an optical splitter to couple a collimated beam in free space into a single optical waveguide, comprising:
In the optical system, condensing the collimated beam in the free space;
Receiving the concentrated beam from a plurality of optical couplers included in the optical coupler array and transmitting the collected beam to each optical waveguide; and
In the optical distributor, coupling a beam transmitted through an optical waveguide of each of the plurality of optical couplers to the single optical waveguide.
A method of operating an optical transmitting and receiving device comprising:
단일 광 도파로의 도파 빔을 자유 공간의 시준 빔에 결합하는 광 송수신 장치에 있어서,
상기 단일 광 도파로의 도파 빔을 복수의 광 결합기들 각각의 광 도파로로 분배하는 광 분배기;
상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 도파로를 통해 전달되는 빔을 방사하는 상기 복수의 광 결합기들로 구성되는 광 결합기 배열; 및
상기 복수의 광 결합기들로부터 방사되는 빔을 상기 자유 공간의 시준 빔에 결합시키는 광학계
를 포함하는 광 송수신 장치.
An optical transmitting and receiving device for coupling a guided beam of a single optical waveguide to a collimated beam in free space, comprising:
an optical splitter that distributes the waveguide beam of the single optical waveguide to each optical waveguide of a plurality of optical couplers;
an optical coupler array composed of a plurality of optical couplers that radiate beams transmitted through optical waveguides of each of the plurality of optical couplers; and
An optical system that combines the beam radiated from the plurality of optical couplers to the collimated beam in the free space
An optical transmitting and receiving device comprising a.
제8항에 있어서,
상기 광학계 및 상기 복수의 광 결합기들은,
상기 광학계의 개구수-상기 광학계의 개구수는 상기 광학계의 반지름 및 초점을 기초로 결정됨- 및 상기 복수의 광 결합기들 각각의 광 격자 구조의 개구수-상기 광 격자 구조의 개구수는 상기 광 격자 구조의 너비, 발산 또는 수렴 각도, 발산 또는 수렴 빔의 파장을 기초로 결정됨-가 동일하도록 설계되는 것을 특징으로 하는 광 송수신 장치.
According to clause 8,
The optical system and the plurality of optical couplers are,
Numerical aperture of the optical system - the numerical aperture of the optical system is determined based on the radius and focus of the optical system - and the numerical aperture of the optical grating structure of each of the plurality of optical couplers - the numerical aperture of the optical grating structure is determined by the optical grating An optical transmitting and receiving device, wherein the width of the structure, the diverging or converging angle, determined based on the wavelength of the diverging or converging beam, are designed to be the same.
단일 광 도파로의 도파 빔을 자유 공간의 시준 빔에 결합시키도록 광 분배기, 광 결합기 배열 및 광학계를 포함하는 광 송수신 장치의 동작 방법에 있어서,
상기 광 분배기에서, 상기 단일 광 도파로의 도파 빔을 상기 광 결합기 배열에 포함되는 복수의 광 결합기들 각각의 광 도파로로 분배하는 단계;
상기 광 결합기 배열에 포함되는 복수의 광 결합기들에서, 각각의 광 도파로를 통해 전달되는 빔을 방사하는 단계; 및
상기 광학계에서, 상기 복수의 광 결합기들로부터 방사되는 빔을 상기 자유 공간의 시준 빔에 결합시키는 단계
를 포함하는 광 송수신 장치의 동작 방법.
A method of operating an optical transceiver device comprising an optical splitter, an optical coupler array, and optics to couple a guided beam of a single optical waveguide to a collimated beam in free space, comprising:
In the optical distributor, distributing the guided beam of the single optical waveguide to each optical waveguide of a plurality of optical couplers included in the optical coupler array;
Radiating a beam transmitted through each optical waveguide from a plurality of optical couplers included in the optical coupler array; and
In the optical system, coupling a beam radiating from the plurality of optical couplers to a collimated beam in the free space.
A method of operating an optical transmitting and receiving device comprising:
KR1020220122041A 2022-09-27 2022-09-27 Transceiver capable of coupling between optical waveguide based on semiconductor and free space steered beam Pending KR20240043236A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220122041A KR20240043236A (en) 2022-09-27 2022-09-27 Transceiver capable of coupling between optical waveguide based on semiconductor and free space steered beam

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220122041A KR20240043236A (en) 2022-09-27 2022-09-27 Transceiver capable of coupling between optical waveguide based on semiconductor and free space steered beam

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20240043236A true KR20240043236A (en) 2024-04-03

Family

ID=90662526

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220122041A Pending KR20240043236A (en) 2022-09-27 2022-09-27 Transceiver capable of coupling between optical waveguide based on semiconductor and free space steered beam

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20240043236A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20210351562A1 (en) Optical device having a substrate and a laser unit that emits light into the substrate
US10509170B2 (en) Method and system for grating couplers incorporating perturbed waveguides
KR101520143B1 (en) Optical engine for point-to-point communications
US12136681B2 (en) Method and apparatus for control and suppression of stray light in a photonic integrated circuit
EP3293555B1 (en) Optical system for coupling light into a waveguide
CN109491010A (en) Silicon substrate integrated optics adjustable delay line based on optical phased array
US20230350216A1 (en) Optical device
CN211786245U (en) Multidirectional space light beam coupling device and optical module
US9632281B2 (en) Free space grating coupler
CN108828712B (en) Large-scale integrated optical switch chip based on optical phased array
CN113359107A (en) Laser transmitting and receiving module of laser radar
CN107994459A (en) Export the laser array of coherent laser
KR102503761B1 (en) Metasurface Doublet-integrated Bidirectional grating antenna and beam steering device using the same
WO2023284399A1 (en) Beam controller and beam controlling method
Mukhopadhyay Coupling of a laser diode to single mode circular core graded index fiber via parabolic microlens on the fiber tip and identification of the suitable refractive index profile with consideration for possible misalignments
CN116324548A (en) Optical phased array device for LIDAR sensor
US20250044505A1 (en) Light beam scanning system
Yoon et al. Collimation of diverged beam using a cylindrical lens in a silicon‐based end‐fire optical phased array
WO2017219946A1 (en) Optical transceiver with a mirrored submount and a laser diode for laser-to-fiber coupling
US20210405315A1 (en) Integrated device for optically coupling a flared laser source and a waveguide
KR20240043236A (en) Transceiver capable of coupling between optical waveguide based on semiconductor and free space steered beam
KR102124086B1 (en) Multi-wavelength optical fiber laser power apparatus
JP2001281492A (en) Optical path converting type optical coupling element
CN111796292A (en) An On-Chip Optical Phased Array Scanner with Flat Output Intensity
WO2025060233A1 (en) Optoelectronic chip integration system and manufacturing method therefor

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application
PG1501 Laying open of application
A201 Request for examination
PA0201 Request for examination

Patent event code: PA02012R01D

Patent event date: 20250324

Comment text: Request for Examination of Application