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KR20230160122A - 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치 및 이를 이용한 천장 주행 시스템용 비히클 - Google Patents

천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치 및 이를 이용한 천장 주행 시스템용 비히클 Download PDF

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KR20230160122A KR1020220059782A KR20220059782A KR20230160122A KR 20230160122 A KR20230160122 A KR 20230160122A KR 1020220059782 A KR1020220059782 A KR 1020220059782A KR 20220059782 A KR20220059782 A KR 20220059782A KR 20230160122 A KR20230160122 A KR 20230160122A
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Abstract

본 발명은 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치 및 이를 이용한 천장 주행 시스템용 비히클에 관한 것이다.
본 발명은, 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치에 있어서. 모터; 상기 모터의 출력축과 연결된 감속기; 상기 감속기의 출력축과 연결되어 상기 비히클을 이동하게 하고 베어링을 포함하는 구동휠; 을 포함하는 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치를 제공한다.

Description

천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치 및 이를 이용한 천장 주행 시스템용 비히클{Driving Device for Vhicle for OHT and Vehicle for OHT using the Same}
본 발명은 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치 및 이를 이용한 천장 주행 시스템용 비히클에 관한 것이다.
천장 주행 시스템(OHT;OverHead Transport)은 클린룸 내부의 천장에 설치되어 레일과 레일을 따라 주행하는 비히클을 이용하여 카세트와 같은 이송 대상물을 이송하는 시스템이다.
천장 주행 시스템용 비히클을 구동하기 위해서는 레일의 상부에 거치되는 휠을 회전시켜야 하는데 종래의 비히클의 구동장치는 도 1에 도시된 바와 같이 모터(1)와 감속기(2)를 사용하고 감속기(2)의 출력축과 연결된 풀리(3)와 타이밍 벨트(4)를 이용하여 구동휠(5)을 회전시키는 구조이다. 휠에는 베어링이 설치된다.
그런데 이런 종래의 비히클 구동장치는 여러 개의 구성을 포함하고 있어서 상대적으로 큰 부피를 차지하는데 비히클 상부의 공간이 그다지 크지 않아 공간 부족으로 인하여 고출력 모터를 사용하기 어려운 문제가 있고, 휠과 샤프트를 결합하는 볼트가 파손되기도 하고, 베어링이나 휠 축에 마모가 발생하여 분진이 생길 가능성이 있으며, 타이밍 벨트의 계속적인 운용으로 인한 장력변화로 인한 문제점도 있다.
본 발명은 배경 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 모터의 회전력을 감속기를 거쳐 구동 휠에 직접 전달함으로써 타이밍 벨트와 풀리를 채용하지 않도록 하여 타이밍 벨트에서 발생할 수 있는 문제점을 근본적으로 해결하고, 풀리와 타이밍 벨트의 제거로 인한 공간확보로 인하여 부피가 상대적으로 큰 고성능의 모터를 적용할 수 있는 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치 및 이를 이용한 천장 주행 시스템용 비히클을 제공하는 것이다.
전술한 과제의 해결 수단으로서 본 발명은,
천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치에 있어서.
모터;
상기 모터의 출력축과 연결된 감속기;
상기 감속기의 출력축과 연결되어 상기 비히클을 이동하게 하고 베어링을 포함하는 구동휠;을 포함하는 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치를 제공한다.
상기 모터, 감속기 및 구동휠을 내부에 수용하는 케이싱; 을 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 감속기는 평기어(Spur gear)를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 베어링은 상기 구동축에 억지 끼움 되어 일체로 구동하는 것이 바람직하다.
본 발명은 또한,
전술한 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치를 포함하는 천장 주행 시스템용 비히클을 제공한다.
본 발명에 의하면 모터의 회전력을 감속기를 거쳐 구동 휠에 직접 전달함으로써 타이밍 벨트와 풀리를 채용하지 않도록 하여 타이밍 벨트에서 발생할 수 있는 문제점을 근본적으로 해결하고, 풀리와 타이밍 벨트의 제거로 인한 공간확보로 인하여 부피가 상대적으로 큰 고성능의 모터를 적용할 수 있는 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치 및 이를 이용한 천장 주행 시스템용 비히클을 제공할 수 있다.
도 1은 종래의 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치를 설명하기 위한 도면.
도 2는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치를 설명하기 위한 도면.
도 3은 도 2에 도시된 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치의 사시도.
도 4는 베어링의 결합을 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 천장 주행 시스템용 비히클을 설명하기 위한 도면.
이하에서는 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명함으로써 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 제공하기로 한다.
도 2는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치를 설명하기 위한 도면, 도 3은 도 2에 도시된 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치의 사시도, 도 4는 베어링의 결합을 설명하기 위한 도면이다.
우선 본 발명의 첫 번째 형태인 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치의 한 실시예에 대하여 설명하기로 한다. 본 실시예에 따른 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치는 문자 그대로 천장 주행 시스템(OHT)에 사용되는 비히클(vehicle)이 움직일 수 있도록 구동하는 장치이다. 비히클은 레일(미도시)을 따라 이동하는데 비히클이 레일 위에서 전방 또는 후방으로 이동할 수 있도록 구동하는 장치다.
본 실시예에 따른 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치는 모터(10), 감속기(20), 휠 어셈블리(30) 및 케이싱(40)을 포함하여 구성된다.
상기 모터(10)는 회전 구동력을 제공하는 구성으로서 출력축(11)을 포함한다. 상기 모터(10)로는 정밀한 제어가 가능한 서보모터를 사용하는 것이 바람직하다.
상기 감속기(20)는 모터(10)의 회전수를 조절한 상태로 상기 휠 어셈블리(30)에 전달하는 구성으로서 본 실시예에서는 평기어(Spur gear)를 포함한 구성이다. 감속기(20)의 내부 구성에 대해서는 도시하지 않았는데 평기어를 이용한 감속기(20)에 대해서는 본 발명이 속하는 평균적 기술자라면 충분히 알 수 있기 때문이다.
상기 휠 어셈블리(30)는 상기 감속기(20)에서 전달되는 구동력으로 구동휠(33)을 회전시킬 수 있도록 구동축(31), 베어링(32) 및 구동휠(33)을 포함하여 구성된다.
상기 구동축(31)은 평기어(22)에 의해 상기 감속기(20)의 출력축(21)과 연동하여 회전하는 구성이다.
상기 베어링(32)은 상기 구동휠(33)을 지지하는 구성으로서 도 4에 도시된 바와 같이 상기 구동축(31)과 억지 끼움 되어 구동축(31)과 일체로 거동할 수 있도록 한다.
상기 구동휠(33)은 상기 베어링(32)에 의해 지지된 상태로 상기 구동축(31)과 함께 회전하는데, 레일(미도시)의 상부에 거치된 상태로 구동하여 비히클이 움직일 수 있도록 한다.
이하에서는 전술한 구성의 기능, 작용 및 효과에 대하여 설명하기로 한다.
상기 모터(10)는 회전력을 제공한다.
상기 감속기(20)는 모터(10)와 연결되어 회전수를 조절한다. 모터(10)의 회전수에 비하여 적은 회전수가 출력될 수 있도록 구성되는데, 모터(10)의 출력축(11)과 연동하는 기어(미도시)와 직경이 상대적으로 큰 기어(미도시)가 서로 맞물려 있으며 직경이 큰 기어가 감속기(20)의 출력축(21)과 연동한다.
상기 구동축(31)은 기어(22)에 의해 감속기(20)의 출력축(21)과 연동하는데 종래와 달리 풀리나 타이밍 벨트를 적용하지 않아 타이밍 벨트의 탄성 저하에 의한 장력 변화로 인한 문제점을 해결할 수 있도록 한다.
또한, 풀리나 타이밍 벨트를 적용하지 않음으로써 공간에 여유가 생기고 이에 따라 생긴 공간에 보다 출력이 큰 모터를 적용할 수 있는 효과도 기대할 수 있게 된다. 상대적으로 넓은 여유공간은 구동휠(33)과 구동축(31)을 결합하는 체결볼트의 직경도 키울 수 있게 되어 결합강도를 늘림으로써 더욱 견고한 결합을 할 수 있게 되는 효과도 있다.
상기 구동축(31)과 상기 베어링(32)은 억지 끼움 되어 일체로 거동할 수 있도록 구성되는데 이러한 구성으로 인하여 베어링(32)의 마모현상을 최소화할 수 있는 효과가 발생한다.
천장 주행 시스템용 비히클은 클린 룸(Clean Room)에서 구동되는 관계로 분진 발생을 최소화해야 할 필요가 있는데 종래 기술은 베어링(32)의 마모로 인한 분진 발생이 우려되는 문제가 있었는데 구동축(31)과 베어링(32)의 결합관계를 개선함으로써 구동축(31)이나 베어링(32)의 마모에 의한 분진 발생을 최소화할 수 있게 된다.
이하에서는 본 발명의 두 번째 형태인 천장 주행 시스템용 비히클의 하나의 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 천장 주행 시스템용 비히클을 설명하기 위한 도면이다.
본 실시예에 따른 천장 주행 시스템용 비히클은 구동장치로서 모터(10), 감속기(20), 휠 어셈블리(30) 및 케이싱(40)을 포함하여 구성된다.
상기 모터(10)는 회전 구동력을 제공하는 구성으로서 출력축(11)을 포함한다. 상기 모터(10)로는 정밀한 제어가 가능한 서보모터를 사용하는 것이 바람직하다.
상기 감속기(20)는 모터(10)의 회전수를 조절한 상태로 상기 휠 어셈블리(30)에 전달하는 구성으로서 본 실시예에서는 평기어(Spur gear)를 포함한 구성이다.
상기 휠 어셈블리(30)는 상기 감속기(20)에서 전달되는 구동력으로 구동휠(33)을 회전시킬 수 있도록 구동축(31), 베어링(32) 및 구동휠(33)을 포함하여 구성된다.
상기 구동축(31)은 평기어(22)에 의해 상기 감속기(20)의 출력축(21)과 연동하여 회전하는 구성이다.
상기 베어링(32)은 상기 구동휠(33)을 지지하는 구성으로서 도 4에 도시된 바와 같이 상기 구동축(31)과 억지 끼움 되어 구동축(31)과 일체로 거동할 수 있도록 한다.
상기 구동휠(33)은 상기 베어링(32)에 의해 지지된 상태로 상기 구동축(31)과 함께 회전하는데, 레일(미도시)의 상부에 거치된 상태로 구동하여 비히클이 움직일 수 있도록 한다.
이하에서는 전술한 구성의 기능, 작용 및 효과에 대하여 설명하기로 한다.
상기 모터(10)는 회전력을 제공한다.
상기 감속기(20)는 모터(10)와 연결되어 회전수를 조절한다. 모터(10)의 회전수에 비하여 적은 회전수가 출력될 수 있도록 구성되는데, 모터(10)의 출력축(11)과 연동하는 기어(미도시)와 직경이 상대적으로 큰 기어(미도시)가 서로 맞물려 있으며 직경이 큰 기어가 감속기(20)의 출력축(21)과 연동한다.
상기 구동축(31)은 기어(22)에 의해 감속기(20)의 출력축(21)과 연동하는데 종래와 달리 풀리나 타이밍 벨트를 적용하지 않아 타이밍 벨트의 탄성 저하에 의한 장력 변화로 인한 문제점을 해결할 수 있도록 한다.
또한, 풀리나 타이밍 벨트를 적용하지 않음으로써 공간에 여유가 생기고 이에 따라 생긴 공간에 보다 출력이 큰 모터를 적용할 수 있는 효과도 기대할 수 있게 된다. 상대적으로 넓은 여유공간은 구동휠(33)과 구동축(31)을 결합하는 체결볼트의 직경도 키울 수 있게 되어 결합강도를 늘림으로써 더욱 견고한 결합을 할 수 있게 되는 효과도 있다.
상기 구동축(31)과 상기 베어링(32)은 억지 끼움 되어 일체로 거동할 수 있도록 구성되는데 이러한 구성으로 인하여 베어링(32)의 마모현상을 최소화할 수 있는 효과가 발생한다.
천장 주행 시스템용 비히클은 클린 룸(Clean Room)에서 구동되는 관계로 분진 발생을 최소화해야 할 필요가 있는데 종래 기술은 베어링(32)의 마모로 인한 분진 발생이 우려되는 문제가 있었는데 구동축(31)과 베어링(32)의 결합관계를 개선함으로써 구동축(31)이나 베어링(32)의 마모에 의한 분진 발생을 최소화할 수 있게 된다.
전술한 구동장치와 관련된 구성을 제외한 나머지 구성은 통상의 천장 주행 시스템용 비히클의 구성을 그대로 적용할 수 있으므로 나머지 구성에 대한 설명은 생략하기로 한다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명함으로써 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 제공하였으나 본 발명의 기술적 사상이 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 기술적 사상에 포함되는 범위 안에서 다양한 형태로 구체화될 수 있다.
10 : 모터 20 : 감속기
30 : 휠 어셈블리 40 : 케이싱

Claims (10)

  1. 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치에 있어서.
    모터;
    상기 모터의 출력축과 연결된 감속기;
    상기 감속기의 출력축과 연동하는 구동축과 구동축에 결합하는 베어링과 상기 베어링과 결합하는 구동휠을 포함하는 휠 어셈블리; 를 포함하는 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 모터, 감속기 및 휠 어셈블리를 내부에 수용하는 케이싱; 을 더 포함하는 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 감속기는 평기어(Spur gear)를 포함하는 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 베어링은 상기 구동축에 억지 끼움 되어 일체로 구동하는 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 베어링은 상기 구동축에 억지 끼움 되어 일체로 구동하는 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치.
  6. 청구항 제1항에 기재된 천장 주행 시스템용 비히클의 구동장치를 포함하는 천장 주행 시스템용 비히클.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 모터, 감속기 및 구동휠을 내부에 수용하는 케이싱; 을 더 포함하는 천장 주행 시스템용 비히클.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 감속기는 평기어(Spur gear)를 포함하는 천장 주행 시스템용 비히클.
  9. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 베어링은 상기 구동축에 억지 끼움 되어 일체로 구동하는 천장 주행 시스템용 비히클.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 베어링은 상기 구동축에 억지 끼움 되어 일체로 구동하는 천장 주행 시스템용 비히클.


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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100035732A (ko) * 2008-09-29 2010-04-07 현대로템 주식회사 감속기 일체형 모터구조
KR20150067507A (ko) * 2013-12-10 2015-06-18 (주)대성에스이 무인차용 구동장치
KR20220023395A (ko) * 2020-08-21 2022-03-02 세메스 주식회사 비히클, 물품 이송 설비 및 물품 이송 방법
KR20220023460A (ko) * 2020-08-21 2022-03-02 세메스 주식회사 주행 유닛 및 이를 갖는 비히클

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100035732A (ko) * 2008-09-29 2010-04-07 현대로템 주식회사 감속기 일체형 모터구조
KR20150067507A (ko) * 2013-12-10 2015-06-18 (주)대성에스이 무인차용 구동장치
KR20220023395A (ko) * 2020-08-21 2022-03-02 세메스 주식회사 비히클, 물품 이송 설비 및 물품 이송 방법
KR20220023460A (ko) * 2020-08-21 2022-03-02 세메스 주식회사 주행 유닛 및 이를 갖는 비히클

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