KR20230031335A

KR20230031335A - 제진 장치 및 제진 방법

Info

Publication number: KR20230031335A
Application number: KR1020237003364A
Authority: KR
Inventors: 요시히코 카타오카; 토모히로 시라네
Original assignee: 휴글 가이하쓰 가부시키가이샤
Priority date: 2020-03-10
Filing date: 2021-08-20
Publication date: 2023-03-07
Also published as: JP2021142517A; EP4223426A4; JP7347809B2; US20230380644A1; EP4223426A1; WO2022070663A1; CN116323021A

Abstract

<과제> 볼록 편부가 어느 간격을 가지고 길이 방향으로 연속적으로 배열된 형상의 가장자리 끝 부분을 가지는 시트 형상물의 표면을 정상적으로 제진할 수가 있는 제진 장치를 제공하는 것이다.
<해결 수단> 토출구로부터 시트 형상물(100)의 표면에 대해 기체를 토출하면서, 흡인구를 통해 시트 형상물(100)의 표면 상의 기체를 흡인하는 제진 장치로서, 상기 토출구는, 시트 형상물(100)의 상기 가장자리 끝 부분 이외의 부분에 대해 기체를 토출하는 제1 토출구(30)와, 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)에 대해 기체를 토출하는 제2 토출구(35)를 포함하고, 상기 흡인구는, 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b) 이외의 부분의 표면 상의 기체를 흡인하는 제1 흡인구(31, 32)와, 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)의 표면 상의 기체를 흡인하는 제2 흡인구(33, 34)를 포함하는 구성으로 된다.

Description

제진 장치 및 제진 방법

본 발명은, 반송되는 시트(sheet) 형상물의 표면에 대해 기체를 토출하면서, 그 시트 형상물의 표면 상의 기체를 흡인함으로써, 상기 시트 형상물 표면의 먼지를 제거하는 제진(除塵) 장치 및 제진 방법에 관한 것이다.

종래, 특허 문헌 1에 기재된 제진 장치가 알려져 있다. 이 제진 장치는, 가이드(guide) 롤(roll)(지지부)에 감아 걸리고, 그 가이드 롤의 회전에 의해 반송되는 시트 형상물의 상기 가이드 롤에 맞닿은 부분에 대향하여 배치된다. 이 제진 장치에는, 시트 형상물의 반송 방향에 직교하는 방향(시트 형상물의 폭방향)으로 뻗는 슬릿 형상의 토출구와 흡인구(석션(suction) 박스의 개구부)가, 소정의 간격을 가지고, 상기 토출구가 상기 흡인구보다 반송 방향의 상류측에 위치하도록 형성되어 있다. 그리고, 시트 형상물이 반송되는 과정에서, 상기 제진 장치는, 상기 토출구로부터 시트 형상물의 표면에 대해 에어를 토출하면서, 상기 흡인구를 통해 상기 시트 형상물의 표면 상의 에어를 흡인한다. 시트 형상물의 표면에 부착된 먼지가 토출구로부터 토출되는 에어에 의해 그 표면으로부터 떨어져 부유하고, 그 부유하는 먼지가 흡인구로부터 에어와 함께 흡인된다. 이에 의해 시트 형상물의 표면에 부착된 먼지가 제거된다(제진된다).

일본국 특허공개 1995-138136호 공보

그런데, 예를 들면 2차 전지(리튬 이온 배터리 등)의 제조에 즈음하여, 도 1에 나타내는 것 같은, 시트 형상물(100)로서의 전극용 필름(예를 들면, 알루미늄제 필름, 동제 필름)이 사용된다. 이 시트 형상물(100)에서는, 시트 본체(100a)로부터 그 폭방향(도 1에 있어서의 횡방향)으로 이어지는 가장자리 끝 부분(100b)은, 폭방향으로 돌출하는 복수의 탭(101)(볼록 편부(片部))이 소정 간격을 가지고 길이 방향으로 연속적으로 배열된 형상을 가지고 있다. 이러한 시트 형상물(100)로부터, 탭(101)마다, 2종류의 단전극(單電極) 필름 편(片)(110a, 110b)이 절출(切出)된다. 그리고, 이들 단전극 필름 편(110a, 110b)은, 도 2에 나타내듯이, 절연 필름(111)을 끼우면서 교대로 소정 매수 적층된다. 그리고, 그 최종적인 적층체가, 도 3에 나타내듯이, 탭(101)이 적층되는 2개의 전극 블록(210a, 210b)을 가지는 전지 유닛(200)으로서 형성된다.

상술한 것 같은 전지 유닛(200)의 제조 과정에 있어서, 그 재료가 되는 시트 형상물(100)(전극용 필름)의 표면으로부터 먼지의 제거가 필요하다. 그래서, 이 시트 형상물(100)을 전술한 종래의 제진 장치에 의해 제진하는 것을 생각할 수가 있다.

그러나, 상술한 것 같은 구조의 시트 형상물(100)의 제진을 전술한 종래의 제진 장치로 행하는 경우, 시트 형상물(100)의 탭(101)이 배열되는 가장자리 끝 부분(100b)은, 반송에 따르는 텐션(tension)이 작용하지 않기 때문에, 토출구로부터 토출되는 기체의 흐름이나 흡기구를 통해 흡인되는 기체의 흐름에 의해, 파닥거리거나 절곡(折曲)되거나 흡기구로 인입되거나 해 버린다. 그 결과, 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)의 표면의 정상적인 제진을 할 수 없다.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 볼록 편부가 어느 간격을 가지고 길이 방향으로 연속적으로 배열된 형상의 가장자리 끝 부분을 가지는 시트 형상물의 표면을 정상적으로 제진할 수가 있는 제진 장치를 제공하는 것이다.

본 발명과 관련되는 제진 장치는, 반송되는 시트 형상물의 표면에 대향하고, 이 시트 형상물의 반송 방향으로 소정의 간격을 가지고 배열된 토출구와 흡인구를 구비하고, 상기 토출구로부터 상기 시트 형상물의 표면에 대해 기체를 토출하면서, 상기 흡인구를 통해 상기 시트 형상물의 표면 상의 기체를 흡인하는 제진 장치로서, 상기 토출구는, 상기 시트 형상물의 폭방향에 있어서의 일방의 가장자리 끝 부분 이외의 부분에 대해 기체를 토출하는 제1 토출구와, 상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분에 대해 기체를 토출하는 제2 토출구를 포함하고, 상기 흡인구는, 상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분 이외의 부분의 표면 상의 기체를 흡인하는 제1 흡인구와, 상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분의 표면 상의 기체를 흡인하는 제2 흡인구를 포함하는 구성으로 된다.

이러한 구성에 의하면, 시트 형상물이 반송되는 과정에서, 상기 시트 형상물의 가장자리 끝 부분 이외의 부분에 대해 제1 토출구로부터 토출되는 기체가 내뿜음과 아울러, 상기 가장자리 끝 부분에 대해 제2 토출구로부터 토출되는 기체가 내뿜어진다. 이 때, 상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분 이외의 부분의 표면 상의 기체가 제1 흡인구를 통해 흡인됨과 아울러, 상기 가장자리 끝 부분의 표면 상의 기체가 제2 흡인구를 통해 흡인된다. 이와 같이, 시트 형상물의 가장자리 끝 부분과 그 이외의 부분과에 대해 다른 토출구로부터 토출되는 기체가 내뿜음과 아울러, 시트 형상물의 가장자리 끝 부분의 표면 상의 기체와 그 이외의 부분의 표면 상의 기체가 다른 흡인구를 통해 흡인되므로, 시트 형상물의 가장자리 끝 부분에는, 그 이외의 부분과는 달리, 당해 가장자리 끝 부분의 형태에 적절한 강도로 기체를 내뿜을 수가 있음과 아울러, 시트 형상물의 가장자리 끝 부분의 표면 상으로부터는, 그 이외의 부분의 표면 상으로부터와는 달리, 당해 가장자리 끝 부분의 형태에 적절한 강도로 기체를 흡인할 수가 있다.

본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 제1 토출구로부터 토출되는 기체의 공급 경로와 제2 토출구로부터 토출되는 기체의 공급 경로가 다른 구성으로 할 수가 있다.

이러한 구성에 의해, 다른 공급 경로로부터 공급되는 기체가 제1 토출구와 제2 토출구로부터 토출되고, 각각 시트 형상물의 가장자리 끝 부분과 그 이외의 부분에 기체가 내뿜어진다. 이에 의해 시트 형상물의 가장자리 끝 부분에는, 용이하게, 그 이외의 부분과는 달리, 당해 가장자리 끝 부분의 형태에 적절한 강도로 기체를 내뿜을 수가 있다.

본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 제2 토출구의 단위길이 당의 개구 면적은, 상기 제1 토출구의 단위길이 당의 개구 면적보다 작은 구성으로 할 수가 있다.

이러한 구성에 의해, 시트 형상물이 반송되는 과정에서, 시트 형상물의 가장자리 끝 부분에는, 그 이외의 부분보다 약하게 기체를 내뿜을 수가 있다.

본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 제2 토출구는, 상기 시트 형상물의 반송 방향을 횡단하는 방향으로 늘어선 복수의 작은 구멍을 포함하는 구성으로 할 수가 있다.

이러한 구성에 의해, 슬릿 형상으로 뻗는 경우에 비해, 제2 토출구로부터 약하게 기체를 토출시킬 수가 있다.

본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 반송되는 상기 시트 형상물에 대향하는 개구로부터 상기 제2 토출구까지 서서히 퍼지는 형상의 기체 토출로를 가지는 구성으로 할 수가 있다.

이러한 구성에 의해, 기체가 개구로부터 서서히 퍼지는 기체 토출로를 지나서 제2 토출구로부터 토출된다. 상기 개구로부터 기체 토출로의 내주벽(內周壁)을 따라 제2 토출구의 주연부분(周緣部分)으로부터 토출되는 기체의 토출 압력은, 상기 기체 토출로의 내주벽을 따르는 일이 없이 제2 토출구의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 직접 토출되는 기체의 토출 압력보다 작게 된다. 이에 의해 제2 토출구의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 소망의 압력으로 유지하면서, 제2 토출구의 주연부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 낮게 할 수가 있다. 제2 토출구의 주연부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력이 낮아지게 되므로, 제2 토출구의 주연부분의 대향 영역에 있어서 베르누이 효과에 기인한 부압 상태가 발생하기 어렵게 된다. 따라서, 반송되는 시트 형상물의 가장자리 끝 부분이 상기 제2 토출구의 주연부분의 대향 영역에 진입할 때에 베르누이 효과에 기인하여 발생할 수가 있는 부압 상태에 의해 걷어 올려지는 것을 방지하면서, 제2 토출구의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 토출되는 소망의 토출 압력의 기체에 의해 반송되는 시트 형상물의 가장자리 끝 부분에 부착한 먼지를 확실하게 제거할 수가 있다.

본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 기체 토출로의 반송되는 상기 시트 형상물에 수직인 단면은, 원호 형상으로 서서히 퍼지는 형상을 가지는 구성으로 할 수가 있다.

이러한 구성에 의해, 기체는, 개구로부터 기체 토출로의 단면 원호 형상의 서서히 퍼지는 내주벽을 따라 제2 토출구의 주연부분으로부터 토출됨과 아울러, 상기 제2 토출구의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 직접 토출된다. 이에 의해 전술한 것처럼, 제2 토출구의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 소망의 압력으로 유지하면서, 제2 토출구의 주연부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 낮게 할 수가 있다.

본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 제2 토출구는, 상기 시트 형상물의 반송 방향을 횡단하는 방향으로 배열되고, 각각이 그 배열 방향을 횡단하는 방향으로 뻗는 복수의 슬릿을 포함하고, 또한 상기 복수의 슬릿의 각각에 대해 설치되고, 상기 시트 형상물에 대향하는 개구로부터 슬릿까지 뻗는 기체 분출로를 가지고, 상기 기체 분출로의 상기 슬릿에 수직인 단면은, 상기 개구로부터 상기 슬릿까지 서서히 퍼지는 형상을 가지는 구성으로 할 수가 있다.

이러한 구성에 의해, 기체가, 각각 개구로부터 서서히 퍼지는 기체 토출로를 지나서 복수의 슬릿으로부터 토출된다. 상기 개구로부터 기체 토출로의 내주벽을 따라 슬릿의 반송되는 시트 형상물의 반송 방향에 있어서의 상류측 단부로부터 토출되는 기체의 토출 압력은, 상기 기체 토출로의 내주벽을 따르는 일이 없이 슬릿의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 직접 토출되는 기체의 토출 압력보다 작게 된다. 이에 의해 각 슬릿의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 소망의 압력으로 유지하면서, 각 슬릿의 전기 상류측 단부로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 낮게 할 수가 있다. 각 슬릿의 전기 상류측 단부로부터 토출되는 기체의 토출 압력이 낮아지게 되므로, 각 슬릿의 전기 상류측 단부의 대향 영역에 있어서 베르누이 효과에 기인한 부압 상태가 발생하기 어렵게 된다. 따라서, 시트 형상물의 가장자리 끝 부분이 각 슬릿의 상류측 단부의 대향 영역에 진입할 때에 베르누이 효과에 기인하여 발생할 수가 있는 부압 상태에 의해 걷어 올려지는 것을 방지하면서, 각 슬릿의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 토출되는 소망의 토출 압력의 기체에 의해 반송되는 시트 형상물의 가장자리 끝 부분에 부착한 먼지를 확실하게 제거할 수가 있다.

또, 반송되는 시트 형상물의 가장자리 끝 부분이 복수의 슬릿의 상류측 단부의 대향 영역에 진입할 때에, 그 시트 형상물의 가장자리 끝 부분은, 복수의 슬릿의 각각으로부터 이산적으로 어느 토출 압력의 기체가 내뿜어진다. 그 때문에, 시트 형상물의 가장자리 끝 부분이 복수의 슬릿의 그 반송 방향에 있어서의 상류측 단부의 대향 영역에 진입할 때에, 그 가장자리 끝 부분의 선두 부분 전체에 동시적으로 토출 에어가 작용하는 일이 없다. 따라서, 상기 개구에 대향하는 슬릿의 부분으로부터 소망의 토출 압력의 에어가 토출된 상태로, 시트 형상물의 가장자리 끝 부분에 작용하는 에어에 의해 그 가장자리 끝 부분이 걷어 올려지는 것을 확실하게 방지할 수가 있다.

본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 단면의 형상은, 원호 형상으로 서서히 퍼지는 형상인 구성으로 할 수가 있다.

이러한 구성에 의해, 기체는, 개구로부터 기체 토출로의 단면 원호 형상의 서서히 퍼지는 내주벽을 따라 각 슬릿의 반송되는 시트 형상물의 반송 방향에 있어서의 상류측 단부로부터 토출됨과 아울러, 상기 기체 토출로의 내주벽을 따르는 일이 없이 각 슬릿의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 직접 토출된다. 이에 의해 전술한 것처럼, 각 슬릿의 상기 개구에 대향하는 부분으로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 소망의 압력으로 유지하면서, 각 슬릿의 전기 상류측 단부로부터 토출되는 기체의 토출 압력을 낮게 할 수가 있다.

본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 복수의 슬릿의 각각은, 상기 시트 형상물의 반송 방향에 대해 비스듬하게 기울어져 형성된 구성으로 할 수가 있다.

이러한 구성에 의해, 시트 형상물의 반송 중에, 이산적으로 배열되는 복수의 슬릿으로부터, 단지 복수의 힘줄 형상이 아니라, 그 시트 형상물의 가장자리 끝 부분의 것보다 넓은 영역에 기체를 내뿜을 수가 있다.

본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 복수의 슬릿의 각각은, 상기 시트 형상물의 반송 방향으로 보아 인접하는 슬릿과 겹친 상태로 형성된 구성으로 할 수가 있다.

이러한 구성에 의해, 시트 형상물의 반송 중에, 이산적으로 배열된 복수의 슬릿으로부터, 그 시트 형상물의 가장자리 끝 부분에 간극이 없이 기체를 내뿜을 수가 있다.

본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 복수의 슬릿은, 평행하게 배치하는 것도, 또 상기 시트 형상물의 반송 방향을 횡단하는 방향에 있어서 지그재그로 배열할 수도 있다.

본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 제2 흡인구의 단위길이 당의 개구 면적은, 상기 제1 흡인구의 단위길이 당의 개구 면적보다 작은 구성으로 할 수가 있다.

이러한 구성에 의해, 시트 형상물이 반송되는 과정에서, 시트 형상물의 가장자리 끝 부분의 표면 상으로부터는, 그 이외의 부분의 표면 상으로부터보다 약하게 기체를 흡인할 수가 있다.

본 발명과 관련되는 제진 장치에 있어서, 상기 제2 흡인구는, 상기 시트 형상물의 반송 방향을 횡단하는 방향으로 늘어선 복수의 작은 구멍을 포함하는 구성으로 할 수가 있다.

이러한 구성에 의해, 슬릿 형상으로 뻗는 경우나 가늘고 긴 형상으로 뻗는 경우에 비해, 제2 흡인구를 통해 약하게 기체를 흡인할 수가 있다.

본 발명과 관련되는 제진 방법은, 볼록 편부(片部)가 어느 간격을 가지고 길이 방향으로 연속하여 배열된 형상의 가장자리 끝 부분을 가지는 시트 형상물의 제진(除塵)을 행하는 제진 방법으로서, 반송되는 시트 형상물의 표면에 대향하여 배치되고, 이 시트 형상물의 반송 방향으로 소정의 간격을 가지고 이 반송 방향을 횡단하는 방향으로 뻗는 토출구와 흡인구를 구비한 제진 장치를 이용하여, 상기 토출구로부터 상기 시트 형상물의 표면에 대해 기체를 토출하면서, 상기 흡인구를 통해 상기 시트 형상물의 표면 상의 기체를 흡인하는 기류 발생 공정을 가지고, 상기 기류 발생 공정에 있어서, 상기 토출구로부터의 기체의 토출은, 상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분 이외의 부분에 대한 것보다, 상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분에 대한 쪽이 약함과 아울러, 상기 흡인구를 통한 기체의 흡인은, 상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분 이외의 부분의 표면 상으로부터보다 상기 가장자리 끝 부분의 표면 상으로부터 쪽이 약한 구성으로 된다.

이러한 구성에 의해, 시트 형상물이 반송되는 과정에서, 볼록 편부가 어느 간격을 가지고 반송 방향으로 연속하여 배열된 형상이 되는 이 시트 형상물의 가장자리 끝 부분에는, 그 이외의 부분보다 약하게 기체를 내뿜음과 아울러, 그러한 가장자리 끝 부분의 표면 상으로부터는, 그 이외의 부분의 표면 상으로부터보다 약하게 기체가 흡인됨으로써, 시트 형상물의 표면이 제진된다. 이에 의해 시트 형상물의 표면의 제진에 즈음하여, 내뿜어지는 기체에 의해, 또 흡인되는 기체에 의해, 각 볼록 편부가 절곡되거나 파손되거나 하는 것을 방지할 수가 있다.

본 발명과 관련되는 제진 장치에 의하면, 반송되는 시트 형상물의 표면에 기체를 내뿜음과 아울러 그 표면 상의 기체를 흡인하여 시트 형상물의 표면의 제진(除塵)을 행할 때에, 그 시트 형상물의 가장자리 끝 부분에는, 그 이외의 부분과는 달리, 당해 가장자리 끝 부분의 형태에 적절한 강도로 기체를 내뿜을 수가 있음과 아울러, 시트 형상물의 가장자리 끝 부분의 표면 상으로부터는, 그 이외의 부분의 표면 상으로부터와는 달리, 당해 가장자리 끝 부분의 형태에 적절한 강도로 기체를 흡인할 수가 있다. 그 때문에, 볼록 편부가 어느 간격을 가지고 길이 방향으로 연속적으로 배열된 형상의 가장자리 끝 부분을 가지는 시트 형상물을 그 길이 방향으로 반송시키면서 그 시트 형상물의 표면의 제진을 행할 때에, 상기 가장자리 끝 부분의 각 볼록 편부가, 토출구로부터 토출되는 기체나, 흡인구를 통해 흡인되는 기체에 의해 절곡되거나 파손되거나 하는 것이 방지되고, 그 볼록 편부가 어느 간격을 가지고 길이 방향으로 연속적으로 배열된 형상의 가장자리 끝 부분을 가지는 시트 형상물의 표면을 정상적으로 제진할 수가 있다.

본 발명과 관련되는 제진 장치 및 제진 방법에 의하면, 볼록 편부가 어느 간격을 가지고 길이 방향으로 연속적으로 배열된 형상의 가장자리 끝 부분을 가지는 시트 형상물을 그 길이 방향으로 반송시키면서 그 시트 형상물의 표면의 제진을 행할 때에, 이 시트 형상물의 가장자리 끝 부분에는, 그 이외의 부분보다 약하게 기체를 내뿜음과 아울러, 그러한 가장자리 끝 부분의 표면 상으로부터는, 그 이외의 부분의 표면 상으로부터보다 약하게 기체가 흡인된다. 이에 의해 시트 형상물의 표면의 제진에 즈음하여, 내뿜어지는 기체에 의해, 또 흡인되는 기체에 의해, 각 볼록 편부가 절곡되거나 파손되거나 하는 것을 방지할 수가 있고, 그 볼록 편부가 어느 간격을 가지고 길이 방향으로 연속적으로 배열된 형상의 가장자리 끝 부분을 가지는 시트 형상물의 표면을 정상적으로 제진할 수가 있다.

도 1은 제진해야 할 시트 형상물의 일례로서의 전극용 필름을 나타내는 도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 전극용 필름으로부터 절출(切出)된 단전극 필름 편의 적층 상태를 나타내는 도이다.
도 3은 도 2에 나타내듯이 복수의 단전극 필름 편(片)을 적층하여 형성된 전지 유닛을 나타내는 도이다.
도 4는 본 발명의 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치를 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치를 나타내는 측면도이다.
도 6은 본 발명의 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치를 나타내는 평면도이다.
도 7은 본 발명의 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치를 나타내는 정면도이다.
도 8은 본 발명의 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치의 구조 가리키는 분해 사시도(그 1)이다.
도 9는 본 발명의 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치의 구조 가리키는 분해 사시도(그 2)이다.
도 10은 본 발명의 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치를 나타내는 저면도이다.
도 11은 제진 장치의 도 6, 도 7 및 도 10에 있어서의 A-A선 단면을 나타내는 단면도이다.
도 12는 제진 장치의 도 6, 도 7 및 도 10에 있어서의 B-B선 단면을 나타내는 단면도이다.
도 13은 제진되는 시트 형상물과 제진 장치의 토출구 및 흡인구와의 상대적인 위치 관계를 확대하여 나타내는 도이다.
도 14는 본 발명의 제2의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치를 나타내는 측면도이다.
도 15는 본 발명의 제2의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치를 나타내는 저면도이다.
도 16은 토출구로부터 토출되는 에어에 의해 시트 형상물(탭(tab))이 걷어 올려지는 원리를 나타내는 도이다.
도 17은 본 발명의 제3의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치를 나타내는 저면도이다.
도 18은 본 발명의 제3의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치를 부분적으로 확대하여 나타내는 일부 절결(notch) 저면도이다.
도 19는 제진 장치의 도 18에 있어서의 A-A선 단면을 나타내는 단면도이다.
도 20은 제2 토출구(슬릿(slit))에 이르는 기체 토출로를 확대하여 나타내는 단면도이다.
도 21은 제2 토출구(슬릿)로부터 토출되는 에어(air)의 토출 압력을 나타내는 선도이다.
도 22는 제3의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치의 변형예를 나타내는 저면도이다.
도 23은 제3의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치의 다른 변형예를 나타내는 저면도이다.
도 24는 제2 토출구의 변형예를 나타내는 도이다.

이하, 본 발명의 실시의 형태에 대해 도면을 이용하여 설명한다.

본 발명의 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치는, 도 4~도 13에 나타낸다. 또한, 도 4는 그 제진 장치를 나타내는 사시도이며, 도 5는 그 제진 장치를 나타내는 측면도이며, 도 6은 그 제진 장치를 나타내는 평면도이며, 도 7은 그 제진 장치를 나타내는 정면도이다. 또, 도 8 및 도 9의 각각은 그 제진 장치의 구조를 나타내는 분해 사시도이며, 도 10은 그 제진 장치를 나타내는 저면도이다. 또한, 도 11은 그 제진 장치의 도 6, 도 7 및 도 10에 있어서의 A-A선 단면을 나타내는 단면도이며, 도 12는 그 제진 장치의 도 6, 도 7 및 도 10에 있어서의 B-B선 단면을 나타내는 단면도이다. 도 13은 제진되는 시트 형상물과 제진 장치의 토출구 및 흡인구와의 상대적인 위치 관계를 확대하여 나타내는 도이다

도 4 및 도 5에 있어서, 제진의 대상으로 되는 시트 형상물(100)은, 지지부로서의 반송 롤러(15)에 감아 걸리고, 어느 텐션(tension)이 걸려서 펴진 상태로, 반송 롤러(15)의 회전에 의해 그 길이 방향(반송 방향 Dcv)으로 반송된다. 이 시트 형상물(100)은, 예를 들면 전술한 예(도 1~도 3, 참조)와 마찬가지로, 2차 전지의 제조에 이용되는 전극 필름이며, 시트 본체(100a)로부터 그 폭방향으로 이어지는 가장자리 끝 부분(100b)의 형상이, 복수의 탭(101)(볼록 편부)이 소정 간격을 가지고 길이 방향으로 연속적으로 배열된 것으로 되어 있다. 또한, 반송 롤러(15)에 의해 반송되는 시트 형상물(100)의 각 탭(101)(가장자리 끝 부분(100b))에는, 텐션이 걸리지 않는다.

제진 장치(10)는, 반송 롤러(15)에 감아 걸린 시트 형상물(100)의 표면에 대향하여 배치된다(도 4 및 도 5, 참조). 또, 도 4 및 도 5와 아울러 도 6 및 도 7에 나타내듯이, 이 제진 장치(10)는, 반송 롤러(15)의 회전축 방향(시트 형상물(100)의 폭방향, 시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv에 직교하는 방향, 도 6 및 도 7 각각에 있어서의 횡방향)으로 뻗는 장척 블록(block) 형상의 제진 헤드(11)와, 제진 헤드(11)의 상면을 따라 뻗는 배기 덕트(duct) 유닛(13)을 구비하고 있다. 배기 덕트 유닛(13)은, 저부(底部)가 개구하고 있고, 그 개구 가장자리 부분에 플랜지(13a)가 형성되어 있다. 배기 덕트 유닛(13)의 플랜지(13a)가 제진 헤드(11)의 상면에 복수의 볼트에 의해 고정됨으로써, 제진 헤드(11)와 배기 덕트 유닛(13)이 일체로 되어, 배기 덕트 유닛(13)의 내부에 배기 경로로서의 공간이 형성된다. 배기 덕트 유닛(13)의 측면에 배기 포트(14)가 설치되어 있다. 배기 포트(14)는, 흡인 기구(예를 들면, 진공 펌프 : 도시 생략)에 접속되고, 그 흡인 기구의 동작에 의해, 배기 덕트 유닛(13)의 배기 경로를 지나는 에어가 배기 포트(14)를 지나서 외부로 배출된다.

제진 헤드(11)의 측면에는 급기 포트(12)가 설치되어 있다. 급기 포트(12)는, 가압 에어를 공급하는 급기 기구(예를 들면, 가압 펌프 : 도시 생략)에 접속되고, 그 급기 기구의 동작에 의해, 급기 포트(12)를 통해 가압 에어가 제진 헤드(11)(후술하는 에어 분사실(20)) 내로 취입(取入)된다. 또, 제진 헤드(11)에는, 그 측면으로부터 삽입된 급기관(16)이 설치되어 있다. 이 급기관(16)도 또 외부의 급기 기구(도시 생략)에 접속되고, 그 급기 기구의 동작에 의해 가압 에어가 도입된다. 또한, 급기 포트(12)에 접속되는 급기 기구와 급기관(16)에 접속되는 급기 기구는 같아도, 달라도 좋다. 제진 헤드(11)의 반송 롤러(15)에 대향하는 면에는, 시트 형상물(100)의 탭(101)이 형성된 가장자리 끝 부분(100b)을 반송 롤러(15)(지지부) 측으로 눌러 당해 반송 롤러(15)를 따르도록 가이드 하는 가이드판(guide 板)(17)(시트 누름 기구)이 고정되어 있다.

제진 헤드(11)는, 도 4~도 7과 아울러 도 8 및 도 9에 나타내듯이, 헤드 블록(11a)과 흡인 조정 플레이트(11b)가 겹쳐진 구조로 되어 있다. 헤드 블록(11a)에는, 각각 흡인 조정 플레이트(11b)와의 접합면에서 개구하는 공간으로서 에어 분사실(20), 전측 제1 에어 흡인실(21), 후측 제1 에어 흡인실(22), 전측 제2 에어 흡인실(23), 및 후측 제2 에어 흡인실(24)이 형성되어 있다. 에어 분사실(20)은, 헤드 블록(11a)의 폭방향의 중앙부에 있어서 길이 방향으로 뻗는다. 헤드 블록(11a)의 길이 방향으로 뻗는 전측 제1 에어 흡인실(21)과 전측 제2 에어 흡인실(23)은, 헤드 블록(11a)의 전측 가장자리(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv의 상류측에 대응)를 따라 늘어서 배치된다. 헤드 블록(11a)의 길이 방향으로 뻗는 후측 제1 에어 흡인실(22)과 후측 제2 에어 흡인실(24)은, 헤드 블록(11a)의 후측 가장자리(시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv의 하류측에 대응)를 따라 늘어서 배치된다. 전측 제2 에어 흡인실(23) 및 후측 제2 에어 흡인실(24) 각각은, 전측 제1 에어 흡인실(21) 및 후측 제1 에어 흡인실(22) 각각보다 짧고, 그 길이는, 제진의 대상으로 되는 시트 형상물(100)의 탭(101)이 형성된 가장자리 끝 부분(100b)(도 1, 참조)의 폭에 대체로 대응한다. 또, 전측 제1 에어 흡인실(21) 및 후측 제1 에어 흡인실(22)의 각각의 길이는, 시트 형상물(100)의 시트 본체(100a)(도 1, 참조)의 폭에 대체로 대응한다.

흡인 조정 플레이트(11b)에는, 각각 관통하도록, 각각 복수의 긴 구멍으로 구성된 전측 제1 흡인 조정 구멍(25) 및 후측 제1 흡인 조정 구멍(26)과, 각각 복수의 작은 구멍으로 구성된 전측 제2 흡인 조정 구멍(27) 및 후측 제2 흡인 조정 구멍(28)이 형성되어 있다. 그리고, 전측 제2 흡인 조정 구멍(27) 및 후측 제2 흡인 조정 구멍(28) 각각의 전체 개구 면적은, 전측 제1 흡인 조정 구멍(25) 및 후측 제1 흡인 조정 구멍(26) 각각의 전체 개구 면적보다 작다. 헤드 블록(11a)과 흡인 조정 플레이트(11b)는, 겹쳐진 상태로, 전술한 배기 덕트 유닛(13)(플랜지(13a))과 함께 복수의 볼트에 의해 고정된다. 이와 같이 헤드 블록(11a)과 흡인 조정 플레이트(11b)가 겹쳐진 상태로, 헤드 블록(11a)의 전측 제1 에어 흡인실(21)과 흡인 조정 플레이트(11b)의 전측 제1 흡인 조정 구멍(25)이 대향함과 아울러, 헤드 블록(11a)의 전측 제2 에어 흡인실(23)과 흡인 조정 플레이트(11b)의 전측 제2 흡인 조정 구멍(27)이 대향한다. 또, 헤드 블록(11a)의 후측 제1 에어 흡인실(22)과 흡인 조정 플레이트(11b)의 후측 제1 흡인 조정 구멍(26)이 대향함과 아울러, 헤드 블록(11a)의 후측 제2 에어 흡인실(24)과 흡인 조정 플레이트(11b)의 후측 제2 흡인 조정 구멍(28)이 대향한다. 그리고, 헤드 블록(11a)과 흡인 조정 플레이트(11b)가 겹쳐진 상태로, 헤드 블록(11a)의 에어 분사실(20)은, 흡인 조정 플레이트(11b)에 의해 폐쇄된다.

도 4~도 9와 아울러 도 10에 나타내듯이, 제진 헤드(11)(헤드 블록(11a))의 반송 롤러(15)에 대향하는 면에는, 그 폭방향에 있어서의 중앙부에 그 길이 방향으로 뻗는 슬릿 형상의 제1 토출구(30)가 형성되어 있다. 또, 그 면에는, 전측 가장자리를 따라 가늘고 긴 형상의 전측 제1 흡인구(31)가 형성됨과 아울러, 후측 가장자리를 따라 가늘고 긴 형상의 후측 제1 흡인구(32)가 형성되어 있다. 시트 형상물(100)이 반송 롤러(15)에 의해 반송되는 상태로, 제진 장치(10)에 있어서 소정 간격을 가지고 반송 방향 Dcv로 늘어선 제1 토출구(30), 전측 제1 흡인구(31) 및 후측 제1 흡인구(32)의 각각은, 그 시트 형상물(100)의 시트 본체(100a)에 대향한다.

그리고, 도 11에 나타내듯이, 제1 토출구(30)은, 헤드 블록(11a)에 형성된 에어 분사실(20)에 연통하고 있고, 급기 포트(12)로부터 에어 분사실(20)(에어의 공급 경로)에 도입되는 가압 에어가 제1 토출구(30)로부터 토출되게 되어 있다. 또, 전측 제1 흡인구(31)은, 헤드 블록(11a)에 형성된 전측 제1 에어 흡인실(21) 및 흡인 조정 플레이트(11b)에 형성된 전측 제1 흡인 조정 구멍(25)을 통해 배기 덕트 유닛(13) 내의 공간(배기 경로)에 연통하고 있다. 또, 후측 제1 흡인구(32)은, 헤드 블록(11a)에 형성된 후측 제1 흡인실(22) 및 흡인 조정 플레이트(11b)에 형성된 후측 제1 흡인 조정 구멍(26)을 통해 배기 덕트 유닛(13) 내의 공간에 연통하고 있다. 배기 덕트 유닛(13)의 배기 경로(공간)를 지나는 에어가 배기 포트(14)를 지나서 외부로 배출되는 것에 수반하여, 배기 덕트 유닛(13) 내의 공간에 연통하는 전측 제1 흡인구(31) 및 후측 제1 흡인구(32)를 통해 에어가 흡인된다.

도 10으로 되돌아와, 제진 헤드(11)(헤드 블록(11a))의 반송 롤러(15)에 대향하는 면에 고정된 가이드판(17)에는, 전측 제1 흡인구(31)와 길이 방향으로 늘어서, 전측 제2 흡인구(33)가 형성되어 있다. 이 전측 제2 흡인구(33)는, 일직선 상에 늘어선 복수의 작은 구멍으로 구성되고, 그 단위길이 당의 전체 개구 면적은, 전측 제1 흡인구(31)의 단위길이 당의 개구 면적보다 작다. 또, 가이드판(17)에는, 후측 제1 흡인구(32)와 길이 방향으로 늘어서, 후측 제2 흡인구(34)가 형성되어 있다. 이 후측 제2 흡인구(34)는, 전측 제2 흡인구(33)와 마찬가지로, 일직선 상에 늘어선 복수의 작은 구멍으로 구성되고, 그 단위길이 당의 전체 개구 면적은, 후측 제1 흡인구(32)의 단위길이 당의 개구 면적보다 작다.

그리고, 도 12에 나타내듯이, 가이드판(guide 板)(17)에 형성된 전측 제2 흡인구(33)는, 헤드 블록(11a)에 형성된 전측 제2 에어 흡인실(23) 및 흡인 조정 플레이트(11b)에 형성된 전측 제2 흡인 조정 구멍(27)을 통해 배기 덕트 유닛(13) 내의 공간(배기 경로)에 연통하고 있다. 또, 가이드판(17)에 형성된 후측 제2 흡인구(34)는, 헤드 블록(11a)에 형성된 후측 제2 에어 흡인실(24) 및 흡인 조정 플레이트(11b)에 형성된 후측 제2 흡인 조정 구멍(28)을 통해 배기 덕트 유닛(13) 내의 공간에 연통하고 있다. 배기 덕트 유닛(13)의 공간(배기 경로)을 지나는 에어가 배기 포트(14)를 지나서 외부로 배출되는 것에 수반하여, 배기 덕트 유닛(13) 내의 공간에 연통하는 전측 제2 흡인구(33) 및 후측 제2 흡인구(34)를 통해 에어가 흡인된다.

도 10 및 도 12에 나타내듯이, 급기관(16)은, 제진 헤드(11)의 헤드 블록(11a)에 삽입되어, 그 폐쇄된 단부가 가이드판(17)의 가장자리 끝 근방에 이르고 있다. 가이드판(17)에는, 전측 제2 흡인구(33)와 후측 제2 흡인구(34)의 사이의 전측 제2 흡인구(33)에 가까운 소정 위치에, 이들과 평행하게 되도록 제2 토출구(35)가 형성되어 있다. 제2 토출구(35)는, 일직선 상에 늘어선 복수의 작은 구멍으로 구성되고, 그 단위길이 당의 전체 개구 면적은, 제1 토출구(30)의 단위길이 당의 개구 면적보다 작다. 그리고, 가이드판(17)에 형성된 제2 토출구(35)는, 헤드 블록(11a)에 삽입된 급기관(16)에 연통하고 있고, 급기관(16)(에어의 다른 공급 경로)에 도입되는 가압 에어가 제2 토출구(35)로부터 토출되게 되어 있다.

상술한 것 같은 구조의 제진 장치(10)에 의해 시트 형상물(100)에 대한 제진은 다음과 같이 행해진다.

시트 형상물(100)은, 반송 롤러(15)의 회전에 의해, 시트 본체(100a)에 감아 걸리고, 어느 텐션이 걸린 상태로 반송된다. 이와 같이 반송되는 시트 형상물(100)이 제진 장치(10)를 통과할 때, 도 4 및 도 5와 아울러 도 13에 나타내듯이, 그 시트 형상물(100)의 탭(101)이 연속하여 배열된 가장자리 끝 부분(100b)은, 가이드판(17)에 의해 반송 롤러(15)를 따르도록 가이드 되어 반송 롤러(15) 측으로 밀리면서 이동한다.

제진 장치(10)에서는, 제1 토출구(30) 및 제2 토출구(35) 각각의 단위길이 당의 개구 면적의 차이에 의해, 또 제1 토출구(30)에의 에어 공급 경로인 에어 분사실(20)과 제2 토출구(35)에의 에어 공급 경로인 급기관(16)의 형상적인 차이에 의해, 제2 토출구(35)로부터의 에어 토출의 강도는, 제1 토출구(30)로부터의 에어 토출의 강도보다 작다. 또, 전측 제1 흡인구(31) 및 후측 제1 흡인구(32) 각각 및, 전측 제2 흡인구(33) 및 후측 제2 흡인구(34) 각각의 단위길이 당의 개구 면적의 차이에 의해, 또 흡인 조정 플레이트(11b)의 전측 제1 흡인 조정 구멍(25) 및 후측 제1 흡인 조정 구멍(26) 각각 및, 전측 제2 흡인 조정 구멍(27) 및 후측 제2 흡인 조정 구멍(28) 각각의 단위길이 당의 개구 면적의 차이에 의해, 전측 제2 흡인구(33) 및 후측 제2 흡인구(34) 각각을 통한 에어 흡인의 강도는, 전측 제1 흡인구(31) 및 후측 제1 흡인구(32) 각각을 통한 에어 흡인의 강도보다 작다.

그리고, 시트 형상물(100)의 이동의 과정에 있어서, 제진 장치(10)의 제1 토출구(30)로부터 비교적 강하게 토출되는 에어가 시트 형상물(100)의 주로 시트 본체(100a)의 표면에 내뿜어지면서, 전측 제1 흡인구(31) 및 후측 제1 흡인구(32)의 각각을 통해 시트 본체(100a)의 표면 상의 에어가 비교적 강하게 흡인된다(기류 발생 공정). 제1 토출구(30)로부터의 에어에 의해 주로 시트 본체(100a)의 표면으로부터 부상한 먼지가 전측 제1 흡인구(31) 및 후측 흡인구(32)를 통해 에어와 함께 흡인된다. 이에 의해 시트 형상물(100)의 주로 시트 본체(100a)의 표면이 제진된다.

또, 시트 형상물(100)의 이동에 즈음하여, 가이드판(17)에 의해 반송 롤러(15) 측으로 눌려져 반송 롤러(15)를 따르도록 가이드 되는 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)은, 도 13에 나타내듯이, 전측 제2 흡인구(33), 제2 토출구(35) 및 후측 제2 흡인구(34)에 대향하면서 이동한다. 그 과정에 있어서, 제2 토출구(35)로부터 비교적 약하게 토출되는 에어가 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)의 표면에 내뿜어지면서, 전측 제2 흡인구(33) 및 후측 제2 흡인구(34)의 각각을 통해 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)의 표면 상의 에어가 비교적 약하게 흡인된다(기류 발생 공정). 제2 토출구(35)로부터의 에어에 의해, 가이드판(17)에 의해 눌려진 시트 형상물(100)의 각 탭(101)(가장자리 끝 부분(100b))의 표면으로부터 부상한 먼지가 전측 제2 흡인구(33) 및 후측 제2 흡인구(34)를 통해 에어와 함께 흡인된다. 이에 의해 시트 형상물(100)(가장자리 끝 부분(100b))의 각 탭(101)은, 파닥거리거나 절곡(折曲)되거나 각 흡인구(33, 34)로 인입되거나 하는 일이 없이 그 표면의 제진을 한다.

상술한 것 같은 제진 장치(10)에 의하면, 제1 토출구(30)로부터 비교적 강하게 토출되는 에어와 전측 제1 흡인구(31) 및 후측 제1 흡인구(32)를 통한 에어의 비교적 강한 흡인에 의해, 시트 형상물(100)의 주로 시트 본체(100a)를 확실하게 제진할 수가 있다. 한편, 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)에 있어서는, 시트 본체(100a)와는 달라, 그 가장자리 끝 부분(100b)의 형태(탭(101)(볼록 편부)이 배열된 형태)에 적절한 강도에서의 에어의 토출 및 흡인, 구체적으로는, 제2 토출구(35)로부터 비교적 약한 에어의 토출, 및 전측 제2 흡인구(33) 및 후측 제2 흡인구(34)를 통한 에어의 비교적 약한 흡인이 행해진다. 이에 의해 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)에 있어서의 탭(101)이, 파닥거리거나 절곡되거나 흡인구로 인입되거나 하는 것을 방지할 수가 있다. 또한, 시트 형상물(100)이 반송되는 과정에서, 탭(101)이 연속하는 가장자리 끝 부분(100b)이 가이드판(17)에 의해 반송 롤러(15)를 따르도록 가이드 되어 반송 롤러(15) 측으로 눌려지므로, 또한 가장자리 끝 부분(100b)의 탭(101)의 파닥거림, 절곡, 및 흡인구로의 인입이 보다 확실하게 방지된다. 이들 에어의 토출 및 흡인의 적정화 및 가이드판(17)에 의한 반송 롤러(15)에의 누름의 효과가 어울러져, 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)을 확실하게 정상적으로 제진할 수가 있다.

상술한 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(10)에서는, 제1 토출구(30)를 사이에 두고 2개의 흡인구(전측 제1 흡인구(31), 후측 제1 흡인구(32))가 설치되었지만 이것에 한정되지 않고, 어느 일방의 흡인구를 설치하는 것만으로도 좋다. 또, 그 경우, 전측 제2 흡인구(33) 및 후측 제2 흡인구(34)의 대응하는 어느 일방을 설치하면 좋다.

또한, 제2 토출구(35), 전측 제2 흡인구(33), 후측 제2 흡인구(34)의 형상은, 상술한 것에 한정되지 않고, 예를 들면 이들은 평행하지 않게 배치되는 것이라도 좋고, 또 각각은 단일의 구멍이나 뿔뿔이 흩어지게 흩어지도록 배치된 복수의 작은 구멍 등으로 구성되는 것이라도 좋다.

전술한 제1의 실시의 형태에서는, 가이드판(17)이 설치되어 있었지만, 이 가이드판(17)을 생략할 수도 있다. 이 경우, 예를 들면 다음의 제2의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치와 같이 구성된다.

본 발명의 제2의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치는, 도 14 및 도 15에 나타내듯이 구성된다. 이 제2의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치는, 가이드판(17)이 생략되어 있는 점, 일직선 상에 배열되는 복수의 작은 구멍에 의해 구성되는 제2 토출구(35)가, 급기관(16)에 직접 형성되어 있는 점, 및 급기관(16)의 제2 토출구(35)가 형성되어 있는 면이 제진 헤드(11)의 헤드 블록(11a)의 반송 롤러(15)에 대향하는 면으로부터 노출하고 있는 점에서 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(도 4~도 13, 참조)와 다르다.

이러한 제진 장치에서는, 제1의 실시의 형태의 경우와 마찬가지로, 제1 토출구(30)로부터 비교적 강하게 토출되는 에어와 전측 제1 흡인구(31) 및 후측 제1 흡인구(32)를 통한 에어의 비교적 강한 흡인에 의해, 시트 형상물(100)의 주로 시트 본체(100a)를 확실하게 제진할 수가 있다. 한편, 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)에 있어서는, 시트 본체(100a)와는 달라, 그 가장자리 끝 부분(100b)의 형태(탭(101)(볼록 편부)이 배열된 형태)에 적절한 강도에서의 에어의 토출 및 흡인, 구체적으로는, 급기관(16)의 헤드 블록(11a)의 면으로부터 노출한 부분에 형성된 제2 토출구(35)로부터 비교적 약한 에어의 토출, 및 헤드 블록(11a)의 면에 형성된 전측 제2 흡인구(33) 및 후측 제2 흡인구(34)를 통한 에어의 비교적 약한 흡인이 행해진다. 이에 의해 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)에 있어서의 탭(101)이, 파닥거리거나 절곡되거나 흡인구로 인입되거나 하는 일이 없이, 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)을 정상적으로 제진할 수가 있다.

또, 급기관(16)은, 헤드 블록(11a) 내에 삽입된 상태로, 그 뻗는 방향을 축으로 하여 회동(回動)이 가능하게 되어 있다. 급기관(16)을 회동시킴으로써, 제2 토출구(35)로부터 토출되는 에어의 방향을 조정할 수가 있다. 이 조정에 의해, 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)(연속하는 탭(101))에 대해 정상적인 제진에 의해 적합한 방향으로부터 에어를 내뿜을 수가 있다.

그런데, 도 16에 나타내듯이, 제진 장치(10)의 토출구 O(개구)로부터 토출되는 에어의 고속의 흐름(도 16에 있어서의 굵은 화살표, 참조)에 의해 그 흐름을 따르는 영역의 정압이 저하하여 부압 BA가 발생할 수가 있다(베르누이 효과). 이와 같이 토출되는 에어의 흐름을 따르는 영역에 부압 BA가 발생하면, 반송 롤러(15)에 의해 반송되는 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)의 탭(101)이 토출구 O에 대향하는 영역에 진입할 때에, 그 부압 BA에 의해 탭(101)의 선단 부분이 부상해 버린다. 이와 같이 탭(101)의 선단 부분이 조금이라도 부상하면, 그 간극에 토출되는 에어가 비집고 들어가, 그 탭(101)이 단번에 걷어 올려져 버린다. 그 결과, 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)(탭(101))에 대한 적절한 제진을 할 수 없다.

본 발명의 제3의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치는, 이러한 사정을 감안하여, 상술한 베르누이 효과에 기인한 부압 상태에 의해 반송되는 시트 형상물(100)의 탭(101)(가장자리 끝 부분(100b))이 감아 올라가 버리는 것을 방지하도록 한 것이다.

본 발명의 제3의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(10)는, 도 17~도 19에 나타내듯이 구성된다. 도 17은 제진 장치를 나타내는 저면도이며, 도 18은 제진 장치를 부분적으로 확대하여 나타내는 일부 절결 저면도이며, 도 19는 제진 장치의 도 18에 있어서의 A-A선 단면을 나타내는 단면도이다. 이 제3의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치는, 제2 토출구(40)가 복수의 슬릿(40a)으로 구성되는 점에서 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(도 4~도 13, 참조)와 다름과 아울러, 그 제2 토출구(40)의 복수의 슬릿(40a)에 대한 고압 에어의 공급 구조, 및 가이드판(17)의 제진 헤드(11)에의 고정 구조가, 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치의 것과 다르다.

도 17 및 도 18에 있어서, 제진 헤드(11)(헤드 블록(11a))의 반송 롤러(15)(시트 형상물(100)(탭(101)))에 대향하는 면에는, 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(10)(도 10 및 도 15, 참조)와 마찬가지로, 각각 길이 방향으로 뻗는 제1 토출구(30), 전측 제1 흡인구(31) 및 후측 제1 흡인구(32)가 형성되어 있다. 제진 헤드(11)(헤드 블록(11a))에는 제1 급기 포트(12a) 및 제2 급기 포트(12b)가 설치되어 있다. 제1 급기 포트(12a)를 통해 제진 헤드(11)(헤드 블록(11a))에 도입되는 고압 에어는, 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(10)(도 11, 참조)와 마찬가지로, 제1 토출구(30)로부터 토출된다. 또, 제1의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(10)와 마찬가지로, 배기 덕트 유닛(13)의 에어가 배기 포트(14)를 지나서 외부로 배출되는 것에 수반하여, 전측 제1 흡인구(31) 및 후측 제1 흡인구(32)의 각각을 통해 에어가 흡인된다.

이 제3의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(10)에서는, 특히 제진 헤드(11)(헤드 블록(11a))의 반송 롤러(15)에 대향하는 면에, 복수의 슬릿(40a)으로 구성된 제2 토출구(40)가 제1 토출구(30)에 그 뻗는 방향으로 늘어서도록 형성되어 있다. 이 제2 토출구(40)를 구성하는 복수의 슬릿(40a)은, 시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv를 횡단하는 방향(반송 방향 Dcv에 직교하는 방향)으로 되는 제진 헤드(11)의 길이 방향으로 소정의 간격을 가지고 배열된다. 또, 복수의 슬릿(40a)의 각각은, 그 배열 방향을 횡단하는 방향(시트 형상물(100)의 폭방향으로 되는 제진 헤드(11)의 길이 방향)으로 뻗고, 시트 형상물(100)의 반송 방향 Dcv에 대해 비스듬하게 기울어져 있다. 또, 제2 급기 포트(12b)로부터는, 도 18에 확대하여 나타내듯이, 급기로(41)가 제진 헤드(11)(헤드 블록(11a)) 내를 제2 토출구(40)의 복수의 슬릿(40a)의 각각을 향해 뻗어 있다. 그리고, 제2 급기 포트(12b)로부터 도입되는 고압 에어는, 급기로(41)을 지나서, 제2 토출구(40)의 복수의 슬릿(40a)의 각각으로부터 토출된다(상세한 것에 대해서는 후술한다).

또, 도 17 및 도 18과 아울러 도 19에 나타내듯이, 제진 헤드(11)에는, 가이드판(17)이 가이드 고정 블록(18)에 의해 고정되어 있다. 이 가이드판(17)은, 회전하는 반송 롤러(15)에 의해 반송되는 시트 형상물(100)의 탭(101)(가장자리 끝 부분(100b))을 반송 롤러(15) 측으로 눌러 그 반송 롤러(15)를 따라 가이드 한다.

도 19에 나타내듯이, 복수의 작은 구멍으로 구성되는 전측 제2 흡인구(33)는, 제진 헤드(11)의 전측 제2 에어 흡인실(23) 및 전측 흡인 조정 구멍(27)을 통해 배기 덕트 유닛(13)에 연통하고 있다. 또, 복수의 작은 구멍으로 구성되는 후측 제2 흡인구(34)는, 제진 헤드(11)의 후측 제2 에어 흡인실(24) 및 후측 흡인 조정 구멍(28)을 통해 배기 덕트 유닛(13)에 연통하고 있다. 이에 의해 배기 덕트 유닛(13)의 에어가 배기 포트(14)를 지나서 외부로 배출되는 것에 수반하여, 전측 제2 흡인구(33) 및 후측 제2 흡인구(34)의 각각을 통해 에어가 흡인된다.

또, 제2 토출구(40)를 구성하는 복수의 슬릿(40a)의 각각은 급기로(41)에 연통하고 있다. 상세하게는, 도 20에 나타내듯이, 급기로(41)로부터 뻗는 연결로(42a)가, 개구(43)를 통해, 슬릿(40a)에 이르는 기체 토출로(42b)에 연결되어 있다. 기체 토출로(42b)의 슬릿(40a)에 수직인 단면(도 20으로 나타나는 도 18에 있어서의 A-A선 단면)은, 개구(43)로부터 슬릿(40a)까지 서서히 퍼지는 형상, 구체적으로는 원호 형상으로 서서히 퍼지는 형상으로 된다.

상술한 것 같은 제3의 실시의 형태와 관련되는 제진 장치(10)에서는, 제1의 실시의 형태의 경우와 마찬가지로, 제1 토출구(30)로부터 비교적 강하게 토출되는 에어와 전측 제1 흡인구(31) 및 후측 제1 흡인구(32)를 통한 에어의 비교적 강한 흡인에 의해, 시트 형상물(100)의 주로 시트 본체(100a)를 확실하게 제진할 수가 있다. 한편, 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)(탭(101))에 있어서는, 제2 토출구(40)의 복수의 슬릿(40a)으로부터 토출되는 에어와 전측 제2 흡인구(33) 및 후측 제2 흡인구(34)를 통한 에어의 흡인에 의해 제진된다.

여기서, 시트 형상물(100)의 가장자리 끝 부분(100b)(탭(101))의 제진에 대해 더욱 상세하게 설명한다.

급기로(41)로부터 연결로(42a)를 지나는 고압 에어는, 도 20에 나타내듯이, 개구(43)로부터 서서히 퍼지는 기체 토출로(42b)를 지나서 슬릿(40a)으로부터 토출된다. 슬릿(40a)으로부터 토출되는 에어의 토출 압력은 도 21에 나타내듯이 분포한다. 즉, 개구(43)로부터 기체 토출로(42b)의 내주벽을 따라 슬릿(40a)의 반송되는 시트 형상물(100)(탭(101))의 반송 방향 Dcv에 있어서의 상류측 단부로부터 토출되는 에어의 토출 압력 Pe1는, 기체 토출로(42b)의 내주벽을 따르는 일이 없이 슬릿(40a)의 개구(43)에 대향하는 부분으로부터 직접 토출되는 에어의 토출 압력 Pc보다 작게 된다. 이에 의해 슬릿(40a)의 개구(43)에 대향하는 부분으로부터 토출되는 에어 압력 Pc가 소망의 압력(제1 토출구(30)로부터의 토출 압력보다 작다)으로 유지되면서, 슬릿(40a)의 상류측 단부로부터 토출되는 에어의 토출 압력 Pe1가 낮아진다.

이와 같이, 슬릿(40a)의 상류측 단부로부터 토출되는 에어의 토출 압력 Pe1가 낮아지게 되므로, 슬릿(40a)의 상류측 단부의 대향 영역 Eb에 있어서 베르누이 효과에 기인한 부압 상태가 발생하기 어렵게 된다. 따라서, 반송되는 시트 형상물(100)의 탭(101)이 슬릿(40a)의 상류측 단부의 대향 영역 Eb에 진입할 때에 베르누이 효과에 기인하여 발생할 수가 있는 부압 상태에 의해 걷어 올려지는 것이 방지되면서, 개구(43)에 대향하는 슬릿(40a)의 부분으로부터 토출되는 소망의 토출 압력 Pc의 에어에 의해 그 탭(101)에 부착한 먼지가 확실하게 제거된다.

또한, 슬릿(40a)의 하류측 단부로부터 토출되는 에어의 토출 압력 Pe2(도 21, 참조)도 이와 같이 낮게 되어 있어, 반송되는 시트 형상물(100)의 탭(101)이 슬릿(40a)의 하류측 단부의 대향 영역으로부터 파닥거리는 일이 없이 안정된 상태에서 탈출할 수가 있다.

또, 상술한 제진 장치(10)에서는, 반송되는 시트 형상물(100)의 탭(101)이 복수의 슬릿(40a)의 상류측 단부의 대향 영역 Eb에 진입할 때에, 탭(101)은, 복수의 슬릿(40a)의 각각으로부터 이산적으로 어느 토출 압력 Pe1의 에어가 내뿜어진다. 그 때문에, 시트 형상물(100)의 탭(101)이 복수의 슬릿(40a)의 상류측 단부의 대향 영역 Eb에 진입할 때에, 그 탭(101)의 선두 부분 전체에 동시적으로 토출 에어가 작용하는 일이 없다. 따라서, 개구(43)에 대향하는 슬릿(40a)의 부분으로부터 소망의 토출 압력 Pc의 에어가 토출된 상태로, 탭(101)의 선두 부분에 작용하는 에어에 의해 그 탭(101)이 걷어 올려지는 것을 확실하게 방지할 수가 있다.

또한, 제2 토출구(40)를 구성하는 복수의 슬릿(40a)이 시트 형상물(100)(탭(101))의 반송 방향 Dcv에 대해 비스듬하게 기울어져 있으므로, 각 슬릿(40a)의 대향 영역을 시트 형상물(100)의 탭(101)이 통과할 때에, 그 이산적으로 배열되는 복수의 슬릿(40a)으로부터 그 탭(101)의 것보다 넓은 범위에 기체를 내뿜을 수가 있다.

또한, 제2 토출구(40)를 구성하는 복수의 슬릿(40a)의 배열 모양은, 상술한 것(도 17, 도 18, 참조)에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 22에 나타내듯이, 반송되는 시트 형상물(100)(탭(101))의 폭방향, 즉 시트 형상물(100)의 반송 방향을 횡단하는 방향(직교하는 방향)에 있어서, 복수의 슬릿(40a)을 지그재그로 배열하도록 해도 좋다.

또, 도 23에 나타내듯이, 제2 토출구(40)를 구성하는 복수의 슬릿(40a)의 각각을 시트 형상물(100)(탭(101))의 반송 방향 Dcv로 보아 인접하는 슬릿(40a)과 겹친 상태로 형성할 수도 있다. 이 경우, 시트 형상물(100)의 반송 중에, 이산적으로 배열된 복수의 슬릿(40a)으로부터, 그 시트 형상물(100)(탭(101))에 간극이 없이 기체를 내뿜을 수가 있다. 그 결과, 시트 형상물(100)(탭(101))의 표면을 보다 확실하게 제진할 수가 있다.

또한, 제2 토출구(40)의 구성(형상)은, 전술한 것 같은 복수의 슬릿(40a)에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 24에 나타내듯이, 시트 형상물(100)(탭(101))의 반송 방향 Dcv를 횡단하는 방향(예를 들면, 직교하는 방향), 즉 제진 헤드(11)의 폭방향으로 뻗는 가늘고 긴 구멍(45)으로 하여 제2 토출구를 형성할 수가 있다. 그리고, 제진 헤드(11)에 있어서는, 급기로(41)로부터 뻗는 연결로(46a)가, 개구(47)를 통해, 가늘고 긴 구멍(45)에 이르는 기체 토출로(46b)에 연결되어 있다. 기체 토출로(46b)의 가늘고 긴 구멍(45)에 수직인 단면(도 24에서 파선으로 나타낸다)은, 전술한 것(도 20, 참조)과 마찬가지로, 개구(47)로부터 가늘고 긴 구멍(45)까지 서서히 퍼지는 형상, 구체적으로는 원호 형상으로 서서히 퍼지는 형상으로 된다.

이와 같이 제2 토출구가 가늘고 긴 구멍(45)으로 구성되는 제진 장치(10)에서는, 전술한 것과 마찬가지로, 개구(47)로부터 기체 토출로(46b)의 내주벽을 따라 가늘고 긴 구멍(45)의 반송되는 시트 형상물(100)(탭(101))의 반송 방향 Dcv에 있어서의 상류측 단부 EG1로부터 토출되는 에어의 토출 압력은, 기체 토출로(46b)의 내주벽을 따르는 일이 없이 가늘고 긴 구멍(45)의 개구(47)에 대향하는 부분으로부터 직접 토출되는 에어의 토출 압력보다 작게 된다. 이에 의해 가늘고 긴 구멍(45)의 개구(47)에 대향하는 부분으로부터 토출되는 에어 압력을 소망의 압력(제1 토출구(30)로부터의 토출 압력보다 작다)으로 유지하면서, 가늘고 긴 구멍(45)의 상류측 단부 EG1로부터 토출되는 에어의 토출 압력을 낮게 할 수가 있다.

이와 같이 가늘고 긴 구멍(45)(제2 토출구)의 상류측 단부 EG1로부터 토출되는 기체의 토출 압력이 낮아지게 되므로, 상술한 것과 마찬가지로, 가늘고 긴 구멍(45)의 상류측 단부 EG1의 대향 영역 Eb에 있어서 베르누이 효과에 기인한 부압 상태가 발생하기 어렵게 된다. 따라서, 반송되는 시트 형상물(100)의 탭(101)이 가늘고 긴 구멍(45)의 상류측 단부 EG1의 대향 영역 Eb에 진입할 때에 베르누이 효과에 기인하여 발생할 수가 있는 부압 상태에 의해 걷어 올려지는 것을 방지하면서, 가늘고 긴 구멍(45)(제2 토출구)의 개구(47)에 대향하는 부분으로부터 토출되는 소망의 토출 압력의 기체에 의해 반송되는 시트 형상물(100)의 탭에 부착한 먼지를 확실하게 제거할 수가 있다. 또한, 가늘고 긴 구멍(45)의 하류측 단부 EG2로부터 토출되는 에어의 토출 압력도 이와 같이 낮게 되어 있어, 반송되는 시트 형상물(100)의 탭(101)이 가늘고 긴 구멍(45)의 하류측 단부 EG2의 대향 영역으로부터 파닥거리는 일이 없이 안정된 상태에서 탈출할 수가 있다.

또한, 제2 토출구가 도 24에 나타내는 것 같은 가늘고 긴 구멍(45)으로 구성되는 경우, 제2 토출구(40)가 복수의 슬릿(40a)으로 구성하는 경우(도 17~도 20, 참조)와 달리, 반송되는 시트 형상물(100)의 탭(101)이 가늘고 긴 구멍(45)의 상류측 단부 EG1의 대향 영역 Eb에 진입할 때에, 가늘고 긴 구멍(45)으로부터 토출되는 에어가 탭(101)의 선두 부분 전체에 동시에 작용한다. 따라서, 이것을 고려하여 가늘고 긴 구멍(45)으로부터 토출되는 에어의 토출 압력(개구(47)로부터의 기체의 토출 압력)을 조정할 필요가 있다.

또한, 시트 형상물(100)을 지지하는 지지부는, 반송 롤러(15, 55)에 한정되지 않고, 반송되는 시트 형상물(100)이 맞닿는 것이면, 평면 형상의 것이라도, 반송 롤러(15, 55)와 같은 원통 곡면 이외의 곡면 형상의 것이라도 좋다. 또한, 제진 장치(10)는, 시트 형상물(100)을 지지하는 지지부에 대향하여 배치되는 것이 아니어도, 지지부에 의해 특별히 지지되어 있지 않은 시트 형상물(100)의 표면 부분에 대향하여 배치되는 것이라도 좋다.

또, 제진의 대상으로 되는 시트 형상물은, 롤(roll)로부터 계속 내보내지는 시트 형상물이라도, 매엽(枚葉)의 시트 형상물이라도 좋다.

또, 제진의 대상으로 되는 시트 형상물은, 토출구 및 흡인구를 통한 기류의 영향을 받을 수가 있는 얇고 넓은 것이면 좋고, 이른바 시트(sheet) 형상이라고 칭해지는 것에 한정될 뿐만 아니라, 전술한 2차 전지의 제조에 이용되는 전극 필름과 같은 필름 형상이라고 칭해지는 것이라도, 막(膜) 형상이라고 칭해지는 것이라도 좋다.

이상, 본 발명의 실시의 형태를 설명하였지만, 이 실시의 형태나 각 부분의 변형예는 일례로서 제시한 것으로 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하고 있지 않다. 상술한 이들 신규 실시의 형태는, 그 외의 여러 가지 형태로 실시되는 것이 가능하고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 생략, 치환, 변경을 행할 수가 있다. 이들 실시의 형태나 그 변형은 발명의 범위나 요지에 포함됨과 아울러, 특허 청구의 범위에 기재된 발명에 포함된다.

본 발명과 관련되는 제진 장치 및 제진 방법은, 볼록 편부(탭(tab))가 어느 간격을 가지고 길이 방향으로 연속적으로 배열된 형상의 가장자리 끝 부분을 가지는 시트 형상물의 표면을 정상적으로 제진할 수가 있다고 하는 효과를 가지고, 반송되는 시트 형상물의 표면에 대해 기체를 토출하면서, 그 시트 형상물의 표면 상의 기체를 흡인함으로써, 상기 시트 형상물 표면의 먼지를 제거하는 제진 장치 및 제진 방법으로서 유용하다.

10 제진 장치
11 제진 헤드
11a 헤드 블록(head bolck) 11b 흡인 조정 플레이트(plate)
12 급기 포트
12a 제1 급기 포트 12b 제2 흡기 포트
13 배기 덕트(duct) 유닛 13a 플랜지(flange)
14 배기 포트(port)
15 반송 롤러(roller) 16 급기관
17 가이드판(guide 板) 18 가이드 고정 블록
20 에어(air) 분사실
21 전측 제1 에어 흡인실 22 후측 제1 에어 흡인실
23 전측 제2 에어 흡인실 24 후측 제2 에어 흡인실
25 전측 제1 흡인 조정 구멍
26 후측 제1 흡인 조정 구멍
27 전측 제2 흡인 조정 구멍
28 후측 제2 흡인 조정 구멍
30 제1 토출구
31 전측 제1 흡인구 32 후측 제1 흡인구
33 전측 제2 흡인구 34 후측 제2 흡인구
35 제2 토출구
40 제2 토출구 40a 슬릿(slit)
41 급기로
42a, 46a 연결로 42b, 46b 기체 토출로
43, 47 개구
45 가늘고 긴 구멍
100 시트 형상물
100a 시트 본체 100b 가장자리 끝 부분
101 탭(tab)(볼록 편부(片部))

Claims

반송되는 시트 형상물의 표면에 대향하고, 이 시트 형상물의 반송 방향으로 소정의 간격을 가지고 배열된 토출구와 흡인구를 구비하고,
상기 토출구로부터 상기 시트 형상물의 표면에 대해 기체를 토출하면서, 상기 흡인구를 통해 상기 시트 형상물의 표면 상의 기체를 흡인하는 제진 장치로서,
상기 토출구는,
상기 시트 형상물의 폭방향에 있어서의 일방의 가장자리 끝 부분 이외의 부분에 대해 기체를 토출하는 제1 토출구와,
상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분에 대해 기체를 토출하는 제2 토출구를 포함하고,
상기 흡인구는,
상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분 이외의 부분의 표면 상의 기체를 흡인하는 제1 흡인구와,
상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분의 표면 상의 기체를 흡인하는 제2 흡인구를 포함하는 제진 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 토출구로부터 토출되는 기체의 공급 경로와 제2 토출구로부터 토출되는 기체의 공급 경로가 다른 제진 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 토출구의 단위길이 당의 개구 면적은, 상기 제1 토출구의 단위길이 당의 개구 면적보다 작은 제진 장치.
제3항에 있어서,
상기 제2 토출구는, 상기 시트 형상물의 반송 방향을 횡단하는 방향으로 늘어선 복수의 작은 구멍을 포함하는 제진 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
반송되는 상기 시트 형상물에 대향하는 개구로부터 상기 제2 토출구까지 서서히 퍼지는 형상의 기체 토출로를 가지는 제진 장치.
제5항에 있어서,
상기 기체 토출로의 반송되는 상기 시트 형상물에 수직인 단면은, 원호 형상으로 서서히 퍼지는 형상을 가지는 제진 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 토출구는, 상기 시트 형상물의 반송 방향을 횡단하는 방향으로 배열되고, 각각이 그 배열 방향을 횡단하는 방향으로 뻗는 복수의 슬릿을 포함하고,
또한 상기 복수의 슬릿의 각각에 대해 설치되고, 상기 시트 형상물에 대향하는 개구로부터 슬릿까지 뻗는 기체 분출로를 가지고,
상기 기체 분출로의 상기 슬릿에 수직인 단면은, 상기 개구로부터 상기 슬릿까지 서서히 퍼지는 형상을 가지는 제진 장치.
제7항에 있어서,
상기 단면의 형상은, 원호 형상으로 서서히 퍼지는 형상인 제진 장치.
제7항 또는 제8항에 있어서,
상기 복수의 슬릿의 각각은, 상기 시트 형상물의 반송 방향에 대해 비스듬하게 기울어져 형성된 제진 장치.
제9항에 있어서,
상기 복수의 슬릿의 각각은, 상기 시트 형상물의 반송 방향으로 보아 인접하는 슬릿과 겹친 상태로 형성된 제진 장치.
제7항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수의 슬릿은, 평행하게 배치된 제진 장치.
제7항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수의 슬릿은, 상기 시트 형상물의 반송 방향을 횡단하는 방향에 있어서 지그재그로 배열된 제진 장치.
제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 흡인구의 단위길이 당의 개구 면적은, 상기 제1 흡인구의 단위길이 당의 개구 면적보다 작은 제진 장치.
제13항에 있어서,
상기 제2 흡인구는, 상기 시트 형상물의 반송 방향을 횡단하는 방향으로 늘어선 복수의 작은 구멍을 포함하는 제진 장치.
볼록 편부가 어느 간격을 가지고 길이 방향으로 연속하여 배열된 형상의 가장자리 끝 부분을 가지는 시트 형상물의 제진(除塵)을 행하는 제진 방법으로서,
반송되는 시트 형상물의 표면에 대향하여 배치되고, 이 시트 형상물의 반송 방향으로 소정의 간격을 가지고 이 반송 방향을 횡단하는 방향으로 뻗는 토출구와 흡인구를 구비한 제진 장치를 이용하고,
상기 토출구로부터 상기 시트 형상물의 표면에 대해 기체를 토출하면서, 상기 흡인구를 통해 상기 시트 형상물의 표면 상의 기체를 흡인하는 기류 발생 공정을 가지고,
상기 기류 발생 공정에 있어서,
상기 토출구로부터의 기체의 토출은, 상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분 이외의 부분에 대한 것보다, 상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분에 대한 쪽이 약함과 아울러,
상기 흡인구를 통한 기체의 흡인은, 상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분 이외의 부분의 표면 상으로부터보다 상기 가장자리 끝 부분의 표면 상으로부터 쪽이 약한 제진 방법.
제15항에 있어서,
상기 토출구가, 상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분 이외에 대해 기체를 토출하는 제1 토출구와, 상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분에 대해 기체를 토출하는 제2 토출구를 포함하고,
상기 흡인구가,
상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분 이외의 부분의 표면 상의 기체를 흡인하는 제1 흡인구와, 상기 시트 형상물의 상기 가장자리 끝 부분의 표면 상의 기체를 흡인하는 제2 흡인구를 포함한 상기 제진 장치를 이용하고,
상기 기류 발생 공정에 있어서,
상기 제2 토출구로부터의 기체의 토출을 상기 제1 토출구로부터의 기체의 토출보다 약하게 함과 아울러,
상기 제2 흡인구에 의한 기체의 흡인을 상기 제1 흡인구에 의한 기체의 흡인보다 약하게 하는 제진 방법.