[go: up one dir, main page]

KR20230003205A - Optical waveform measuring device and measuring method - Google Patents

Optical waveform measuring device and measuring method Download PDF

Info

Publication number
KR20230003205A
KR20230003205A KR1020227041994A KR20227041994A KR20230003205A KR 20230003205 A KR20230003205 A KR 20230003205A KR 1020227041994 A KR1020227041994 A KR 1020227041994A KR 20227041994 A KR20227041994 A KR 20227041994A KR 20230003205 A KR20230003205 A KR 20230003205A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
frequency
measurement
light quantity
candidate
waveform
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
KR1020227041994A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102808720B1 (en
Inventor
사토시 마스다
Original Assignee
코니카 미놀타 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 코니카 미놀타 가부시키가이샤 filed Critical 코니카 미놀타 가부시키가이샤
Publication of KR20230003205A publication Critical patent/KR20230003205A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102808720B1 publication Critical patent/KR102808720B1/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J1/44Electric circuits
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J11/00Measuring the characteristics of individual optical pulses or of optical pulse trains
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0227Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using notch filters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R23/00Arrangements for measuring frequencies; Arrangements for analysing frequency spectra
    • G01R23/16Spectrum analysis; Fourier analysis
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J1/44Electric circuits
    • G01J2001/4413Type
    • G01J2001/4426Type with intensity to frequency or voltage to frequency conversion [IFC or VFC]
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • G01J3/433Modulation spectrometry; Derivative spectrometry
    • G01J2003/4332Modulation spectrometry; Derivative spectrometry frequency-modulated

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

계측 대상물 (100) 의 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는 검출 수단 (13) 과, 검출된 광량 변동 주파수의 후보에 기초하여 광량 변동 주파수를 결정하는 주파수 결정 수단 (14) 과, 결정된 광량 변동 주파수에 기초하여, 광 파형 계측의 측정 조건을 결정하는 측정 조건 결정 수단 (15) 과, 결정된 측정 조건으로 계측 대상물의 광 파형을 취득하는 취득 수단 (16) 을 구비하고 있다. 측정 조건 결정 수단 (15) 은, 측정 시간이 주파수 결정 수단 (14) 에 의해 결정된 광량 변동 주파수의 주기의 정수배가 되는 샘플링 주파수와 측정 점수를 결정한다.Detection means 13 for detecting a candidate for the light quantity fluctuation frequency of the measurement object 100, frequency determination means 14 for determining a light quantity fluctuation frequency based on the detected light quantity fluctuation frequency candidate, and the determined light quantity fluctuation frequency Based on this, measurement condition determination means 15 for determining measurement conditions for optical waveform measurement and acquisition means 16 for acquiring the optical waveform of the measurement target under the determined measurement conditions are provided. The measurement condition determination means 15 determines the sampling frequency and measurement points at which the measurement time is an integer multiple of the cycle of the light amount fluctuation frequency determined by the frequency determination means 14.

Description

광 파형 계측 장치 및 계측 방법Optical waveform measuring device and measuring method

이 발명은 디스플레이 등의 계측 대상물의 광 파형을 계측하는 광 파형 계측 장치 및 계측 방법에 관한 것이다.This invention relates to an optical waveform measurement device and measurement method for measuring the optical waveform of a measurement object such as a display.

일반적으로, 퍼스널 컴퓨터 등의 디스플레이는 수직 동기 신호 (Vsync) 의 주기로 화상을 갱신하기 때문에, 수직 동기 신호 주기의 화면의 휘도 변동을 갖고 있다. 또, 디스플레이가 액정 표시 장치 (LCD) 인 경우는, 홀수 프레임과 짝수 프레임으로 극성을 바꿔 넣는 반전 구동을 채용하고 있기 때문에, 화면의 휘도 변동 주기는 또한 2 배의 저주파가 된다.In general, a display of a personal computer or the like updates an image at the cycle of the vertical synchronizing signal (Vsync), so that the screen has luminance fluctuations at the cycle of the vertical synchronizing signal. In addition, when the display is a liquid crystal display device (LCD), since inversion driving in which the polarity is switched between odd frames and even frames is employed, the luminance fluctuation cycle of the screen becomes twice as low frequency.

이와 같은 디스플레이의 기본 성능을 계측하는 광 계측기로서, 예를 들어, 디스플레이 컬러 애널라이저 (일례로서 코니카 미놀타 주식회사 제조의 CA-410) 가 알려져 있다. 이와 같은 디스플레이 컬러 애널라이저는, 내부에 광 센서를 구비하고, 색이나 휘도 뿐만 아니라, 광 파형이나 플리커를 계측할 수 있다.As an optical measuring instrument for measuring the basic performance of such a display, for example, a display color analyzer (CA-410 manufactured by Konica Minolta Co., Ltd. as an example) is known. Such a display color analyzer has an optical sensor inside and can measure not only color and luminance, but also light waveform and flicker.

광량의 취득에는, 크게는 2 종류의 방식, 요컨대 순시값을 취득하는 축차 취득 방식과, 결정된 시간의 적분값을 취득하는 적분 취득 방식이 있다. 축차 취득 방식은 고속성이 우수한 한편, 적분 방식은 저휘도 계측 성능이 우수하다, 라는 특징을 갖는다.There are broadly two types of methods for acquisition of light quantity: a sequential acquisition method for obtaining an instantaneous value, and an integral acquisition method for acquiring an integral value for a determined time. The sequential acquisition method is characterized by excellent high-speed performance, while the integration method is excellent in low luminance measurement performance.

또, 취득 파형의 특징을 현재화하는 수단으로서, 주파수 필터 처리가 있다. 필터 처리는, 취득 파형에 대하여, 파형을 구성하는 주파수 성분마다 원하는 가중치를 부여하고 있다. 예를 들어, 로우 패스 필터 (LPF) 의 경우에는, 신호 주파수에 대하여 고역 주파수를 감쇠시킨다. 이에 따라, 고주파 노이즈를 저감 시킬 수 있어, 매끄러운 신호 파형을 재현할 수 있다. 다른 예로서, 필터에 TCSF (temporal contrast sensitivity function) 를 사용한 경우에는, 인간의 시각 특성에 대응한 파형을 재현할 수 있다.In addition, as a means for realizing the characteristics of the acquired waveform, there is a frequency filter process. In the filter process, a desired weight is given to the acquired waveform for each frequency component constituting the waveform. For example, in the case of a low pass filter (LPF), a high pass frequency is attenuated with respect to a signal frequency. Accordingly, high-frequency noise can be reduced, and a smooth signal waveform can be reproduced. As another example, when a temporal contrast sensitivity function (TCSF) is used for a filter, a waveform corresponding to human visual characteristics can be reproduced.

종래의 광 파형 계측 장치에서는, 시스템에 미리 준비된 측정 기간의 파형을 취득하거나, 혹은 사용자가 측정 점수를 입력하여 그 점수에 상당하는 시간의 파형을 취득하고 있다.In a conventional optical waveform measuring device, a waveform of a measurement period prepared in advance in a system is acquired, or a user inputs measurement points and a waveform of a time period corresponding to the points is acquired.

취득한 파형에 대하여 이산 푸리에 변환 (DFT) 처리를 실시하고, 취득 파형을 주파수 스펙트럼으로 변환한다. 얻어진 주파수 스펙트럼에 대하여, 임의의 주파수 특성을 갖는 필터를 반영시킨다. 구체적으로는, 주파수마다 곱셈함으로써 가중치 부여를 실시한다. 가중치가 부여된 주파수 스펙트럼을 역푸리에 변환 (IDFT) 함으로써, 필터 처리된 파형을 취득한다.Discrete Fourier transform (DFT) processing is performed on the acquired waveform, and the acquired waveform is converted into a frequency spectrum. A filter having an arbitrary frequency characteristic is reflected on the obtained frequency spectrum. Specifically, weighting is performed by multiplying for each frequency. By performing an inverse Fourier transform (IDFT) on the weighted frequency spectrum, a filtered waveform is obtained.

또, 이산 푸리에 변환, 역푸리에 변환의 연산 처리를 저감시키는 알고리즘으로서, 고속 푸리에 변환이 알려져 있다. 고속 푸리에 변환은, 데이터수가 2 의거듭제곱 개밖에 취급할 수 없다 (데이터수 = 2d 개), 라는 제약이 있다. 파형 취득 시의 측정 점수는, 이산 푸리에 변환, 역푸리에 변환의 연산 부하를 저감시키기 위해서, 측정 점수를 2 의 거듭제곱 개로 하는 경우가 많다.Further, fast Fourier transform is known as an algorithm for reducing the arithmetic processing of discrete Fourier transform and inverse Fourier transform. Fast Fourier Transform has a limitation that the number of data can only handle powers of 2 (number of data = 2d). The number of measurement points at the time of waveform acquisition is often multiplied by a power of 2 in order to reduce the computational load of discrete Fourier transform and inverse Fourier transform.

또한, 특허문헌 1 에는, 어레이 검출기를 구비하는 광 계측 장치 (분광기) 에 있어서, 고속 스캔함으로써 측정 시간값을 결정하고, 시간적으로 불연속적인 조명 광원의 동기를 가능하게 하는 기술이 개시되어 있다.Further, Patent Literature 1 discloses a technique for determining a measurement time value by performing high-speed scanning in an optical measuring device (spectrometer) having an array detector, and enabling synchronization of temporally discontinuous illumination light sources.

미국 특허 공개 제2005-0103979호US Patent Publication No. 2005-0103979

여기서, 측정 시간이 발광 파형의 주기 (예를 들어 Vsync 기간) 에 정합하지 않는 경우 (정수배가 아닌 경우) 에는, 취득한 파형의 선단부와 후단부의 광량 값이 불일치가 된다. 그 때문에, 주파수 스펙트럼에는 측정 시간에 관련된 주파수 성분이 다수 발생해 버린다. 측정 시간에 관련된 주파수 성분이란, 1/측정 시간 × n, 요컨대, 측정 시간을 1 주기로 하는 주파수와 그 고조파이다.Here, if the measurement time does not match the cycle of the light emission waveform (for example, the Vsync period) (when it is not an integer multiple), the light quantity values at the front end and the rear end of the obtained waveform do not match. Therefore, many frequency components related to the measurement time are generated in the frequency spectrum. The frequency component related to the measurement time is 1/measurement time x n, that is, the frequency and its harmonics that make the measurement time one cycle.

이 주파수 스펙트럼에 대하여, 필터 처리를 실시하면, 필터 처리 후의 파형 (가중치 부여 후에 역푸리에 변환) 은, 파형의 선단부와 후단부가 크게 왜곡된다는 문제가 발생한다.If filter processing is performed on this frequency spectrum, the waveform after filter processing (inverse Fourier transform after weighting) has a problem that the front end and rear end of the waveform are greatly distorted.

이 대책으로서, 필터 처리 후 파형의 선단 및 후단을 삭제하는 방법이 알려져 있지만, 이 방법에서는, 데이터의 결락이 발생하기 빼문에, 트리거 계측 등의 경우에 필요한 시간역의 정보를 취득할 수 없을 가능성이 있어, 편리성이 좋지 않다.As a countermeasure for this, a method of deleting the leading and trailing ends of the waveform after filtering is known. However, in this method, data loss occurs, so there is a possibility that time domain information necessary for trigger measurement or the like cannot be obtained. There is, but the convenience is not good.

다른 대책으로서, 데이터 단부 (端部) 를 동일값으로 하는 창함수를 이용하는 방법이 개시되어 있다. 이 방식에서는, 취득 파형에 창함수를 곱셈하고, 그것을 이산 푸리에 변환한다. 그 후, 가중치 부여와 역푸리에 변환한 파형에 대하여, 창함수를 나눗셈하고, 필터 처리 후 파형을 작성한다.As another countermeasure, a method of using a window function that sets data ends to the same value is disclosed. In this method, the acquisition waveform is multiplied by a window function, and discrete Fourier transform is performed on it. After that, the waveform subjected to weighting and inverse Fourier transformation is divided by a window function, and a waveform after filtering is created.

그러나, 본 방법에 있어서도, 창함수를 나눗셈했을 때에 계측 시 오차가 확장되기 때문에, 파형이 크게 왜곡된다는 문제가 발생한다.However, even in this method, a problem arises in that the waveform is greatly distorted because the error in measurement expands when the window function is divided.

또한, 특허문헌 1 에는 광 파형 계측에 대한 기술이나, 광 파형 계측에 관한 상기 과제에 대한 기술은 없으며, 따라서 특허문헌 1 을 참조해도, 상기 과제를 해결할 수 없다.In addition, Patent Literature 1 does not have a description of optical waveform measurement or a description of the above problems related to optical waveform measurement, and therefore, even if Patent Literature 1 is referred to, the above problems cannot be solved.

이 발명은, 이와 같은 기술적 배경을 감안하여 이루어진 것으로서, 필터 처리 후의 파형의 왜곡을 저감할 수 있는 광 파형 계측 장치 및 계측 방법의 제공을 목적으로 한다.This invention was made in view of such a technical background, and an object of the present invention is to provide an optical waveform measuring device and measuring method capable of reducing distortion of a waveform after filtering.

상기 목적은 이하의 수단에 의해 달성된다. The above object is achieved by the following means.

(1) 계측 대상물의 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는 검출 수단과, 상기 검출 수단으로 검출된 광량 변동 주파수의 후보에 기초하여 광량 변동 주파수를 결정하는 주파수 결정 수단과, 상기 주파수 결정 수단에 의해 결정된 광량 변동 주파수에 기초하여, 광 파형 계측의 측정 조건을 결정하는 측정 조건 결정 수단과, 상기 측정 조건 결정 수단에 의해 결정된 측정 조건으로 계측 대상물의 광 파형을 취득하는 취득 수단, 을 구비하고, 상기 측정 조건 결정 수단은, 측정 시간이 상기 주파수 결정 수단에 의해 결정된 광량 변동 주파수의 주기의 정수배가 되는 샘플링 주파수와 측정 점수를 결정하는 광 파형 계측 장치.(1) detecting means for detecting a candidate for the frequency of light quantity fluctuation of the object to be measured; frequency determining means for determining a frequency for fluctuation in the quantity of light based on the candidate for the frequency for fluctuating light quantity detected by the detecting means; a measurement condition determining means for determining a measurement condition for optical waveform measurement based on a light amount fluctuation frequency, and acquisition means for acquiring an optical waveform of a measurement target under the measurement condition determined by the measurement condition determining means, wherein the measurement wherein the condition determination means determines the sampling frequency and measurement points at which the measurement time is an integer multiple of the cycle of the light quantity fluctuation frequency determined by the frequency determination means.

(2) 상기 검출 수단은, 광 파형 계측 전의 예비 측정에 의해 광량 변동의 파형 데이터를 취득하고, 상기 파형 데이터를 푸리에 변환 처리함으로써 주파수 스펙트럼 데이터를 취득하고, 상기 주파수 스펙트럼 데이터에 있어서, 강도가 인접 주파수보다 큰 특이점이 되는 주파수를 기초로 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는 전항 1 에 기재된 광 파형 계측 장치.(2) The detecting means acquires waveform data of light quantity fluctuation by preliminary measurement before measuring the light waveform, and acquires frequency spectrum data by performing Fourier transform processing on the waveform data, and in the frequency spectrum data, intensities are adjacent to each other. The optical waveform measuring device according to the preceding item 1, which detects a candidate for the light quantity fluctuation frequency based on a frequency serving as a singularity larger than the frequency.

(3) 상기 주파수 결정 수단은, 광량 변동 주파수의 후보 중에서 최소의 주파수의 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하는 전항 1 또는 전항 2 에 기재된 광 파형 계측 장치.(3) The optical waveform measuring device according to 1 or 2 above, wherein the frequency determining unit determines the candidate for the minimum frequency among the candidates for the light quantity variation frequency as the light quantity variation frequency.

(4) 상기 검출 수단에 의해 검출된 광량 변동 주파수의 후보 중에서 어느 것의 후보를 사용자가 선택 가능한 선택 수단을 구비하고, 상기 주파수 결정 수단은, 상기 선택 수단에 의해 사용자가 선택한 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하는 전항 1 또는 전항 2 에 기재된 광 파형 계측 장치.(4) a selection unit capable of allowing a user to select one of the light quantity variation frequency candidates detected by the detection unit, wherein the frequency determination unit sets the candidate selected by the user by the selection unit as the light quantity variation frequency; The optical waveform measuring device according to item 1 or item 2 to be determined.

(5) 사용자가 광량 변동 주파수를 입력 가능한 입력 수단을 구비하고, 상기 주파수 결정 수단은, 검출 수단에 의해 검출된 광량 변동 주파수의 후보 중, 상기 입력 수단에 의해 입력된 광량 변동 주파수에 가장 가까운 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하는 전항 1 또는 전항 2 에 기재된 광 파형 계측 장치.(5) An input unit capable of inputting a light quantity variation frequency by a user is provided, and the frequency determination unit includes a candidate closest to the light quantity variation frequency input by the input unit, among the light quantity variation frequency candidates detected by the detecting unit. The optical waveform measuring device according to the preceding paragraph 1 or 2, which determines as the light amount fluctuation frequency.

(6) 상기 검출 수단은, 상기 주파수 스펙트럼 데이터에 있어서 강도가 인접 주파수보다 큰 특이점이 되는 주파수와 인접하는 주파수의 강도를 사용한 보완에 의해, 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는 전항 2 에 기재된 광 파형 계측 장치.(6) The detecting unit detects a candidate for the light quantity fluctuation frequency by complementation using an intensity of a frequency adjacent to a frequency that is a singularity having an intensity greater than an adjacent frequency in the frequency spectrum data, instrumentation.

(7) 상기 검출 수단은, 광 파형 계측 전의 예비 측정에 의해 광량 변동의 파형 데이터를 취득하고, 상기 파형 데이터에 대한 자기 상관법에 의해 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는 전항 1 에 기재된 광 파형 계측 장치.(7) The detection unit acquires waveform data of light quantity fluctuation by preliminary measurement before optical waveform measurement, and detects a candidate for the light quantity fluctuation frequency by an autocorrelation method for the waveform data. Device.

(8) 상기 취득 수단에 의해 취득되는 광 파형의 파수는, 상기 광량 변동 주파수에 따라 변화하는 전항 1 내지 전항 7 중 어느 하나에 기재된 광 파형 계측 장치.(8) The optical waveform measuring device according to any one of 1 to 7 above, wherein the wave number of the optical waveform acquired by the acquisition unit changes according to the light amount fluctuation frequency.

(9) 상기 취득 수단에 의해 취득한 광 파형을 필터 처리하는 필터 처리 수단을 구비하고, 상기 측정 점수가 2 의 거듭제곱 개의 m 배 (m 은 정수) 이고, 측정 점수가 필터 처리 전후로 상이한 전항 1 내지 전항 8 중 어느 하나에 기재된 광 파형 계측 장치.(9) Filter processing means for filtering the optical waveform acquired by the acquisition means is provided, the measured points are m times the number of powers of 2 (m is an integer), and the measured points are different before and after the filter processing from 1 to 1 above. The optical waveform measuring device according to any one of item 8 above.

(10) 상기 필터 처리 수단에 의한 필터 처리 전의 광 파형을 m 개 단위로 평균화한 후 필터 처리하는 전항 9 에 기재된 광 파형 계측 장치.(10) The optical waveform measuring device according to 9 above, wherein the optical waveform before filtering by the filter processing means is averaged in units of m units and then filtered.

(11) 계측 대상물의 광량 변동 주파수의 후보를 검출 수단이 검출하는 검출 스텝과, 상기 검출 스텝에서 검출된 광량 변동 주파수의 후보에 기초하여 광량 변동 주파수를 주파수 결정 수단이 결정하는 주파수 결정 스텝과, 상기 주파수 결정 스텝에 의해 결정된 광량 변동 주파수에 기초하여, 측정 조건 결정 수단이 광 파형 계측의 측정 조건을 결정하는 결정 스텝과, 상기 측정 조건 결정 스텝에 의해 결정된 측정 조건으로 계측 대상물의 광 파형을 취득하는 취득 스텝, 을 구비하고, 상기 측정 조건 결정 스텝에서는, 측정 시간이 상기 주파수 결정 스텝에 의해 결정된 광량 변동 주파수의 주기의 정수배가 되는 샘플링 주파수와 측정 점수를 결정하는 광 파형 계측 방법.(11) a detection step in which the detection means detects a candidate for the light quantity fluctuation frequency of the measurement object, and a frequency determination step in which the frequency determination means determines the light quantity fluctuation frequency based on the light quantity fluctuation frequency candidate detected in the detection step; A determination step in which the measurement condition determination means determines the measurement conditions for optical waveform measurement based on the light amount fluctuation frequency determined in the frequency determination step, and the optical waveform of the measurement target is acquired under the measurement conditions determined in the measurement condition determination step. and an acquisition step for determining a sampling frequency and measurement points at which a measurement time is an integer multiple of a period of a light amount fluctuation frequency determined in the frequency determination step, in the measurement condition determining step.

(12) 상기 검출 스텝에서는, 광 파형 계측 전의 예비 측정에 의해 광량 변동의 파형 데이터를 취득하고, 상기 파형 데이터를 푸리에 변환 처리함으로써 주파수 스펙트럼 데이터를 취득하고, 상기 주파수 스펙트럼 데이터에 있어서, 강도가 인접 주파수보다 큰 특이점이 되는 주파수를 기초로 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는 전항 11 에 기재된 광 파형 계측 방법.(12) In the detecting step, waveform data of light quantity fluctuation is obtained by preliminary measurement before optical waveform measurement, and frequency spectrum data is acquired by performing Fourier transform processing on the waveform data, and in the frequency spectrum data, intensities are adjacent to each other. The optical waveform measuring method according to the preceding item 11, wherein a candidate for the light quantity fluctuation frequency is detected based on a frequency serving as a singularity greater than the frequency.

(13) 상기 주파수 결정 스텝에서는, 광량 변동 주파수의 후보 중에서 최소의 주파수의 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하는 전항 11 또는 전항 12 에 기재된 광 파형 계측 방법.(13) The optical waveform measurement method according to 11 or 12 above, wherein, in the frequency determining step, the candidate for the minimum frequency among the candidates for the light quantity variation frequency is determined as the light quantity variation frequency.

(14) 상기 주파수 결정 스텝에서는, 상기 검출 스텝에 의해 검출된 광량 변동 주파수의 후보 중에서, 사용자가 선택 수단에 의해 선택한 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하는 전항 11 또는 전항 12 에 기재된 광 파형 계측 방법.(14) The optical waveform measurement method according to 11 or 12 above, wherein, in the frequency determination step, the candidate selected by the user by the selection means is determined as the light quantity variation frequency among the light quantity variation frequency candidates detected in the detection step.

(15) 상기 주파수 결정 스텝에서는, 검출 스텝에 의해 검출된 광량 변동 주파수의 후보 중, 사용자가 입력 수단에 의해 입력한 광량 변동 주파수에 가장 가까운 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하는 전항 11 또는 전항 12 에 기재된 광 파형 계측 방법.(15) In the frequency determining step, according to the preceding item 11 or 12, among the candidates for the light quantity variation frequency detected by the detection step, the candidate closest to the light quantity variation frequency input by the user through the input means is determined as the light quantity variation frequency. The optical waveform measurement method described.

(16) 상기 검출 스텝에서는, 상기 주파수 스펙트럼 데이터에 있어서 강도가 인접 주파수보다 큰 특이점이 되는 주파수와 인접하는 주파수의 강도를 사용한 보완에 의해, 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는 전항 12 에 기재된 광 파형 계측 방법.(16) In the detection step, the light waveform according to the preceding item 12 for detecting a candidate for the light amount fluctuation frequency by complementation using the intensity of a frequency adjacent to a frequency that is a singularity having an intensity greater than an adjacent frequency in the frequency spectrum data. instrumentation method.

(17) 상기 검출 스텝에서는, 광 파형 계측 전의 예비 측정에 의해 광량 변동의 파형 데이터를 취득하고, 상기 파형 데이터에 대한 자기 상관법에 의해 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는 전항 11 에 기재된 광 파형 계측 방법.(17) In the detection step, the optical waveform measurement described in the preceding item 11, in which waveform data of light quantity fluctuation is obtained by preliminary measurement before optical waveform measurement, and a candidate for light quantity fluctuation frequency is detected by an autocorrelation method for the waveform data. Way.

(18) 상기 취득 스텝에 의해 취득되는 광 파형의 파수는, 상기 광량 변동 주파수에 따라 변화하는 전항 11 내지 전항 17 중 어느 하나에 기재된 광 파형 계측 방법.(18) The optical waveform measurement method according to any one of 11 to 17 above, wherein the wave number of the optical waveform acquired in the acquisition step changes according to the light amount fluctuation frequency.

(19) 상기 취득 스텝에 의해 취득한 광 파형을 필터 처리하는 필터 처리 스텝을 구비하고, 상기 측정 점수가 2 의 거듭제곱 개의 m 배 (m 은 정수) 이고, 측정 점수가 필터 처리 전후로 상이한 전항 11 내지 전항 18 중 어느 하나에 기재된 광 파형 계측 방법.(19) A filter processing step for filtering the optical waveform acquired in the acquisition step, wherein the measured points are m times the number of powers of 2 (m is an integer), and the measured points are different before and after the filter processing from the preceding items 11 to 11 The optical waveform measurement method according to any one of the preceding items 18.

(20) 상기 필터 처리 스텝에 의한 필터 처리 전의 광 파형을 m 개 단위로 평균화한 후 필터 처리하는 전항 19 에 기재된 광 파형 계측 방법.(20) The optical waveform measuring method according to the above item 19, wherein the optical waveforms before the filtering in the filtering step are averaged in m units and then filtered.

전항 (1) 및 (11) 에 기재된 발명에 의하면, 계측 대상물의 광량 변동 주파수의 후보를 검출함과 함께, 검출한 후보에 기초하여 광량 변동 주파수를 결정하고, 결정된 광량 변동 주파수에 기초하여, 측정 시간이 상기 결정된 광량 변동 주파수의 주기의 정수배가 되는 샘플링 주파수와 측정 점수를 결정하기 때문에, 임의의 주파수 필터 처리를 실시해도, 왜곡이 없는 파형 취득이 가능해짐과 함께, 계측 대상의 주파수가 이미 알려지지 않은 경우에도, 오차를 최소화할 수 있다.According to the invention described in the preceding paragraphs (1) and (11), while detecting a candidate for the light quantity fluctuation frequency of the measurement object, determining the light quantity fluctuation frequency based on the detected candidate, and measuring the light quantity fluctuation frequency based on the determined light quantity fluctuation frequency. Since time determines the sampling frequency and the number of measurement points that are integer multiples of the period of the light quantity fluctuation frequency determined above, distortion-free waveforms can be obtained even if any frequency filter processing is performed, and the frequency to be measured is not known. Even if not, errors can be minimized.

또, IEC 규격 (Project No. 62341-6-3, 5.2.1 Flicker https://webstore.iec.ch/publication/31171) 에 기초하는 플리커 지표를 정확하게 또한 용이하게 도출할 수 있다. 요컨대, IEC 규격에서는, TCSF 로 필터 처리한 파형에 대하여, (최대값 ― 최소값)/평균값을 계산한 값을 플리커 값으로 하고 있지만, 본 플리커 값을 도출하기 위해서는, 정확한 필터 후 파형이 필요해진다. 또, 평균값의 도출에는 광량 변동 주기가 필요해지기 때문에, 본 발명을 이용하면 용이하게 도출할 수 있다.In addition, a flicker index based on the IEC standard (Project No. 62341-6-3, 5.2.1 Flicker https://webstore.iec.ch/publication/31171) can be accurately and easily derived. In short, in the IEC standard, the flicker value is a value obtained by calculating (maximum value - minimum value)/average value for a waveform filtered by TCSF. However, in order to derive this flicker value, an accurate filtered waveform is required. In addition, since a light amount fluctuation period is required for derivation of the average value, it can be easily derived by using the present invention.

전항 (2) 및 (12) 에 기재된 발명에 의하면, 광 파형 계측 전의 예비 측정에 의해 광량 변동의 파형 데이터를 취득하고, 파형 데이터를 푸리에 변환 처리함으로써 주파수 스펙트럼 데이터를 취득하고, 주파수 스펙트럼 데이터에 있어서, 강도가 인접 주파수보다 큰 특이점이 되는 주파수를 기초로 광량 변동 주파수의 후보를 검출하기 때문에, 계측 대상물의 실제의 광량 변동 주파수에 대응하는 후보를 검출할 수 있고, 나아가서는 정밀도가 높은 광량 변동 주파수를 결정할 수 있다.According to the inventions described in the preceding items (2) and (12), waveform data of light quantity fluctuation is obtained by preliminary measurement before optical waveform measurement, and frequency spectrum data is obtained by performing Fourier transform processing on the waveform data, and in the frequency spectrum data , Since a candidate for the light quantity fluctuation frequency is detected based on a frequency that becomes a singularity having a greater intensity than the adjacent frequency, it is possible to detect a candidate corresponding to the actual light quantity fluctuation frequency of the measurement object, and furthermore, a light quantity fluctuation frequency with high accuracy. can decide

전항 (3) 및 (13) 에 기재된 발명에 의하면, 광량 변동 주파수의 후보 중에서 최소의 주파수의 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하기 때문에, 광량 변동 주파수를 용이하게 추출할 수 있다.According to the inventions described in the preceding paragraphs (3) and (13), since the candidate for the minimum frequency among candidates for the light quantity fluctuation frequency is determined as the light quantity fluctuation frequency, the light quantity fluctuation frequency can be easily extracted.

전항 (4) 및 (14) 에 기재된 발명에 의하면, 검출한 광량 변동 주파수의 후보 중에서 사용자가 선택한 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하기 때문에, 사용자가 주목하고 있는 주파수의 광 파형을 고정밀도로 계측할 수 있다.According to the inventions described in the preceding paragraphs (4) and (14), since the candidate selected by the user among the detected light quantity variation frequency candidates is determined as the light quantity variation frequency, the light waveform of the frequency of interest to the user can be measured with high precision. there is.

전항 (5) 및 (15) 에 기재된 발명에 의하면, 검출한 광량 변동 주파수의 후보 중, 사용자가 입력한 광량 변동 주파수에 가장 가까운 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하기 때문에, 사용자가 주목하고 있는 주파수 부근의 광 파형을 고정밀도로 계측할 수 있다.According to the inventions described in the preceding paragraphs (5) and (15), among the detected light quantity variation frequency candidates, the candidate closest to the light quantity variation frequency input by the user is determined as the light quantity variation frequency, so that the user is interested in the vicinity of the frequency. The optical waveform of can be measured with high precision.

전항 (6) 및 (16) 에 기재된 발명에 의하면, 주파수 스펙트럼 데이터에 있어서 강도가 인접 주파수보다 큰 특이점이 되는 주파수와 인접하는 주파수의 강도를 사용하여 보완함으로써, 광량 변동 주파수의 후보를 검출하기 때문에, 정밀도가 높은 광량 변동 주파수를 결정할 수 있다.According to the inventions described in the preceding paragraphs (6) and (16), candidates for light quantity fluctuation frequencies are detected by supplementing using the intensity of a frequency that is a singularity whose intensity is greater than that of an adjacent frequency in frequency spectrum data and an adjacent frequency. , it is possible to determine the light intensity fluctuation frequency with high precision.

전항 (7) 및 (17) 에 기재된 발명에 의하면, 광 파형 계측 전의 예비 측정에 의해 광량 변동의 파형 데이터를 취득하고, 이 파형 데이터에 대한 자기 상관법에 의해 광량 변동 주파수의 후보를 검출하기 때문에, 예비 측정 시간을 단축할 수 있다.According to the inventions described in the preceding paragraphs (7) and (17), waveform data of light quantity fluctuation is obtained by preliminary measurement before light waveform measurement, and candidates for light quantity fluctuation frequencies are detected by the autocorrelation method for this waveform data. , the preliminary measurement time can be shortened.

전항 (8) 및 (18) 에 기재된 발명에 의하면, 취득되는 광 파형의 파수는, 상기 광량 변동 주파수에 따라 변화하기 때문에, 파형 왜곡의 축소화, 주기 정합 오차의 저감을 도모할 수 있다.According to the inventions described in the preceding items (8) and (18), since the wave number of the acquired light waveform changes according to the light amount fluctuation frequency, waveform distortion can be reduced and period matching error can be reduced.

전항 (9) 및 (19) 에 기재된 발명에 의하면, 측정 점수가 2 의 거듭제곱 개의 m 배 (m 은 정수) 이고, 측정 점수가 필터 처리 전후로 상이하기 때문에, 파수의 증대를 회피할 수 있다.According to the inventions described in the preceding items (9) and (19), since the measurement points are m times the number of powers of 2 (m is an integer), and the measurement points are different before and after the filter process, an increase in wave number can be avoided.

전항 (10) 및 (20) 에 기재된 발명에 의하면, 필터 처리 전의 광 파형을 m 개 단위로 평균화한 후 필터 처리하기 때문에, 필터 처리 후의 파형의 노이즈를 저감할 수 있다.According to the inventions described in the preceding paragraphs (10) and (20), since the filter processing is performed after averaging the light waveforms before the filter processing in units of m, noise of the waveform after the filter processing can be reduced.

도 1 은, 이 발명의 일 실시형태에 관련된 광 파형 계측 장치의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
도 2 는, 광량 변동 주파수의 후보의 검출 및 광량 변동 주파수의 결정 처리를 나타내는 플로 차트이다.
도 3 은, 취득한 파형 데이터의 스펙트럼 해석 결과인 스펙트럼 데이터의 일례를 나타내는 도면이다.
도 4 는, 측정 조건의 하나의 결정 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5 는, 측정 조건의 다른 결정 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6 은, 필터 처리 후의 파형도를 나타내는 것으로, (A) 는 종래의 파형, (B) 는 본 실시형태에서의 파형을 각각 나타내는 도면이다.
도 7 은, 표시부에 광량 변동 주파수의 후보 리스트를 표시하여, 사용자에게 선택시키는 경우의 표시 화면을 나타내는 도면이다.
도 8 은, 광량 변동 주파수의 설계값을 사용자에게 입력시키는 경우의 표시 화면을 나타내는 도면이다.
도 9 는, 이 발명의 다른 실시형태를 나타내는 구성도이다.
1 is a block diagram showing the functional configuration of an optical waveform measuring device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a flow chart showing a process for detecting a candidate for a light quantity fluctuation frequency and determining a light quantity fluctuation frequency.
3 is a diagram showing an example of spectral data that is a result of spectral analysis of acquired waveform data.
4 is a diagram for explaining one method of determining measurement conditions.
5 is a diagram for explaining another method of determining measurement conditions.
Fig. 6 shows waveforms after filtering, where (A) is a conventional waveform and (B) is a waveform in the present embodiment.
Fig. 7 is a diagram showing a display screen in the case of displaying a candidate list of light amount fluctuation frequencies on a display unit and allowing the user to make a selection.
Fig. 8 is a diagram showing a display screen in the case where a user inputs a design value of a light amount fluctuation frequency.
Fig. 9 is a configuration diagram showing another embodiment of the present invention.

이하, 이 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described based on drawing.

도 1 은, 이 발명의 일 실시형태에 관련된 광 파형 계측 장치 (1) 의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.1 is a block diagram showing the functional configuration of an optical waveform measurement device 1 according to an embodiment of the present invention.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 광 파형 계측 장치 (1) 는, 수광부 (11) 와, 데이터 처리부 (12) 와, 후보 검출부 (13) 와, 주파수 결정부 (14) 와, 측정 조건 결정부 (15) 와, 광 파형 취득부 (16) 와, 필터 처리부 (17) 와, 표시부 (18) 등을 구비하고 있다.As shown in FIG. 1 , the optical waveform measurement device 1 includes a light receiving unit 11, a data processing unit 12, a candidate detection unit 13, a frequency determination unit 14, a measurement condition determination unit 15 ), an optical waveform acquisition unit 16, a filter processing unit 17, a display unit 18, and the like.

수광부 (11) 는 디스플레이 등의 계측 대상물 (100) 로부터의 광을 수광하는 것이며 수광 센서를 구비하고 있다. 데이터 처리부 (12) 는 수광부 (11) 에서의 수광 데이터에 증폭 등의 소정의 처리를 실시한다. 후보 검출부 (13) 는, 데이터 처리부 (12) 로 처리된 수광 데이터에 기초하여, 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는 것이며, 주파수 결정부 (14) 는, 검출된 후보 중에서 광량 변동 주파수를 결정한다.The light receiving unit 11 receives light from a measurement target 100 such as a display and is provided with a light receiving sensor. The data processing unit 12 performs predetermined processing such as amplification on the light-received data from the light-receiving unit 11 . The candidate detection unit 13 detects a candidate for the light quantity variation frequency based on the light reception data processed by the data processing unit 12, and the frequency determination unit 14 determines the light quantity variation frequency from among the detected candidates.

측정 조건 결정부 (15) 는, 주파수 결정부 (14) 로 결정된 광량 변동 주파수를 기초로, 샘플링 주파수와 측정 점수를 결정한다. 이 실시형태에서는, 측정 시간이 결정된 광량 변동 주파수의 주기의 정수배가 되는 샘플링 주파수와 측정 점수를 결정한다.The measurement condition determination unit 15 determines the sampling frequency and measurement points based on the light amount fluctuation frequency determined by the frequency determination unit 14. In this embodiment, the sampling frequency at which the measurement time becomes an integer multiple of the period of the determined light amount fluctuation frequency and the number of measurement points are determined.

광 파형 취득부 (16) 는, 측정 조건 결정부 (15) 로 결정된 샘플링 주파수와 측정 점수로 광 파형을 취득하고, 필터 처리부 (17) 는 취득한 광 파형을 필터 처리하고, 표시부 (18) 는 필터 처리 후의 계측 결과 등을 표시한다.The optical waveform acquisition unit 16 acquires an optical waveform with the sampling frequency and measurement points determined by the measurement condition determination unit 15, the filter processing unit 17 filters the acquired optical waveform, and the display unit 18 filters the acquired light waveform. The measurement results after processing are displayed.

다음으로, 광 파형 계측 장치 (1) 의 동작을 설명한다.Next, the operation of the optical waveform measurement device 1 will be described.

사용자가 광 파형 계측 장치 (1) 를 계측 위치에 세트하여, 표시부 (18) 에 표시된 계측 개시 버튼의 압하 등에 의해 계측 개시를 지시하면, 수광부 (11) 는 디스플레이 등의 계측 대상물 (100) 로부터의 측정 광을 수광한다. 수광된 광은 데이터 처리부 (12) 에서 증폭 등의 소정의 데이터 처리가 실시된 후, 후보 검출부 (13) 에 입력된다.When the user sets the optical waveform measurement device 1 at the measurement position and instructs the measurement start by depressing the measurement start button displayed on the display unit 18 or the like, the light receiving unit 11 transmits data from the measurement target 100 such as the display. Receive measurement light. The received light is input to the candidate detection unit 13 after predetermined data processing such as amplification is performed in the data processing unit 12.

후보 검출부 (13) 는, 계측 대상물 (100) 의 광량 변동 주파수의 후보 (이하, 후보 주파수라고도 한다) 를 검출하고, 검출된 후보 주파수 중에서, 주파수 결정부 (14) 가 광량 변동 주파수를 결정한다.The candidate detection unit 13 detects candidates for the light quantity variation frequencies of the measurement target 100 (hereinafter also referred to as candidate frequencies), and the frequency determination unit 14 determines the light quantity variation frequencies from the detected candidate frequencies.

후보 주파수의 검출 및 광량 변동 주파수의 결정 처리의 일례를 도 2 의 플로 차트에 나타낸다. 이 실시형태에서는, 후보 주파수의 검출 방법의 일례로서, 예비 측정에 의해 취득한 광량 변동의 파형 데이터에 기초하여, 후보 주파수를 검출하는 방법을 이용하고 있다. 임계값 이상의 주파수를 후보 주파수로 해도 된다.An example of the process of detecting the candidate frequency and determining the light amount fluctuation frequency is shown in the flowchart of FIG. 2 . In this embodiment, as an example of a method of detecting candidate frequencies, a method of detecting candidate frequencies based on waveform data of light amount fluctuation obtained by preliminary measurement is used. A frequency equal to or higher than the threshold may be used as a candidate frequency.

도 2 의 플로 차트에 있어서, 스텝 S01 에서 처리를 개시하면, 계측 대상물 (100) 로부터의 광을 예비 측정 (프리측정) 에 의해 수광하고, 광량 변동의 파형 데이터를 취득한다 (스텝 S02). 다음으로, 후보 주파수를 추출 (검출) 한다 (스텝 S03). 구체적으로는, 먼저 취득한 파형 데이터를 스펙트럼 해석한다 (스텝 S31). 예비 측정 시간을 단축하기 위해서, 예비 측정에 있어서의 스펙트럼 해석에서는 주파수 분해능은 성기게 설정해도 된다.In the flow chart of FIG. 2 , when the process is started in step S01, light from the measurement target 100 is received by preliminary measurement (pre-measurement), and waveform data of light amount fluctuation is acquired (step S02). Next, candidate frequencies are extracted (detected) (step S03). Specifically, spectrum analysis is performed on the previously acquired waveform data (step S31). In order to shorten the preliminary measurement time, the frequency resolution may be set sparsely in the spectrum analysis in the preliminary measurement.

도 3 에 스펙트럼 해석 결과인 스펙트럼 데이터의 일례를 나타낸다. 도 3 의 예에서는 주파수 분해능을 2 Hz 로 설정한 경우를 예시하고 있다. 또, 도 2 의 예에서는, 스펙트럼 데이터의 14 Hz 와 16 Hz, 30 Hz 와 32 Hz, 46 Hz 와 48 Hz, 60 Hz 와 62 Hz 가, 강도가 인접 주파수보다 큰 주파수 요컨대 특이점이 되고 있으며, 이들 특이점의 근방에 강도가 피크가 되는 실제의 후보 주파수가 존재하고 있는 것으로 생각된다.Fig. 3 shows an example of spectrum data as a result of spectrum analysis. In the example of FIG. 3, a case in which the frequency resolution is set to 2 Hz is exemplified. In addition, in the example of FIG. 2, 14 Hz and 16 Hz, 30 Hz and 32 Hz, 46 Hz and 48 Hz, and 60 Hz and 62 Hz of the spectrum data are frequencies whose intensity is greater than adjacent frequencies, that is, singularities. It is considered that the actual candidate frequency at which the intensity peaks in the vicinity of the singularity exists.

도 2 의 플로 차트로 되돌아와, 도 3 의 스펙트럼 데이터에 나타내는 바와 같은 특이점을 추출한 후 (스텝 S32), 특이점이 되는 주파수와 인접하는 주파수의 강도를 사용한 보완 처리에 의해, 주파수를 상세화한다 (스텝 S33). 보완에 의한 주파수의 상세화에 대해서는 한정되지 않지만, 예를 들어 무게 중심 검지 등에 의해 실시하면 된다.After returning to the flow chart of FIG. 2 and extracting the singularity as shown in the spectrum data of FIG. 3 (step S32), the frequency is detailed by complementary processing using the strength of the frequency adjacent to the frequency serving as the singularity (step S32). S33). The detailing of the frequency by supplementation is not limited, but may be carried out by, for example, center of gravity detection.

주파수의 상세화에 의해 실제로 강도가 피크가 되는 주파수를 구하고, 구한 주파수를 후보 주파수로 하여 리스트화한다. 후보 주파수에는 기본파와 그 고조파가 포함된다.By refinement of the frequency, the frequency at which the intensity actually peaks is obtained, and the frequency obtained is listed as a candidate frequency. Candidate frequencies include the fundamental wave and its harmonics.

다음으로, 리스트화한 광량 변동 주파수의 후보 중에서, 광량 변동 주파수를 결정한다 (스텝 S04). 구체적인 결정 방법의 일례로서, 후보 중의 최소 주파수를 광량 변동 주파수로서 결정하고 (스텝 S41), 후보 주파수의 검출 및 광량 변동 주파수의 결정 처리를 종료한다 (스텝 S05).Next, a light amount change frequency is determined from among the listed light amount change frequency candidates (step S04). As an example of a specific determination method, the minimum frequency among the candidates is determined as the light amount change frequency (step S41), and the process of detecting the candidate frequency and determining the light amount change frequency is ended (step S05).

이와 같이, 이 실시형태에서는, 광 파형 계측 전의 프리측정 (예비 측정) 에 의해 광량 변동의 파형 데이터를 취득하고, 파형 데이터를 푸리에 변환 처리함으로써 주파수 스펙트럼 데이터를 취득하고, 주파수 스펙트럼 데이터에 있어서, 강도가 인접 주파수보다 큰 특이점이 되는 주파수를 기초로 광량 변동 주파수의 후보를 검출하기 때문에, 계측 대상물의 실제의 광량 변동 주파수에 대응하는 후보를 검출할 수 있고, 나아가서는 정밀도가 높은 광량 변동 주파수를 결정할 수 있다. 또, 광량 변동 주파수의 후보 중에서 최소의 주파수의 후보를 광량 변동 주파수로서 결정한 경우에는, 광량 변동 주파수를 용이하게 추출할 수 있다.Thus, in this embodiment, waveform data of light amount fluctuation is acquired by pre-measurement (preliminary measurement) before optical waveform measurement, frequency spectrum data is obtained by Fourier transform processing of the waveform data, and in the frequency spectrum data, intensity Since a candidate for the light quantity fluctuation frequency is detected based on a frequency that becomes a singularity greater than the adjacent frequency, it is possible to detect a candidate corresponding to the actual light quantity fluctuation frequency of the measurement object, and further to determine the light quantity fluctuation frequency with high precision. can In addition, when the candidate of the minimum frequency is determined as the light quantity variation frequency among the light quantity variation frequency candidates, the light quantity variation frequency can be easily extracted.

이렇게 하여 결정한 광량 변동 주파수를 기초로, 측정 조건 결정부 (15) 는 샘플링 주파수와 측정 점수를 결정한다.Based on the thus determined light quantity fluctuation frequency, the measurement condition determination section 15 determines the sampling frequency and measurement points.

충족해야 할 측정 조건의 관계식을 하기 [식 1] 에 나타낸다. The relational expression of the measurement conditions to be satisfied is shown in [Equation 1] below.

[식 1] [Equation 1]

측정 시간 T = 측정 점수 c/샘플링 주파수 fs ≒ 파수 n/광량 변동 주파수 fv Measurement time T = measurement points c/sampling frequency fs ≒ wave number n/light intensity fluctuation frequency fv

(단 n, c 는 자연수) (However, n and c are natural numbers)

측정 조건은, 상기 [식 1] 로 나타내는 관계를 최대한 충족하도록, 파수 n, 측정 점수 c, 샘플링 주파수 fs 를 결정한다. 요컨대, 측정 시간 T 가 광량 변동 주파수 fv 의 주기의 정수배 (n/fv) 가 되는 샘플링 주파수 fs 와 측정 점수 c 를 결정한다.As the measurement conditions, the wave number n, the measurement point c, and the sampling frequency fs are determined so as to maximally satisfy the relationship represented by [Equation 1] above. In short, determine the sampling frequency fs and measurement points c at which the measurement time T becomes an integer multiple (n/fv) of the period of the light amount fluctuation frequency fv.

주기 정합 정도의 오차 (= c/fs ― n/fv) 는, 필터 후 파형의 재현성 (왜곡량) 때문에, 광량 변동 주기의 1/10 이하로 하는 것이 바람직하고, 노이즈량이 작은 매끄러운 파형에 대한 적응을 고려하면 1/30 이하로 하는 것이 보다 바람직하다. 각 파라미터의 결정은, 시스템 내에 룩업 테이블을 갖게 함으로써 실현할 수 있다.The error of the period matching degree (= c/fs - n/fv) is preferably less than 1/10 of the period of the light amount change due to the reproducibility (distortion amount) of the waveform after filtering, and it is adapted to a smooth waveform with a small amount of noise. Considering that, it is more preferable to set it to 1/30 or less. Determination of each parameter can be realized by having a lookup table in the system.

광량의 취득에 관해서 순시값을 취득하는 축차 취득 방식에 있어서의 측정 조건 결정의 예를 이하에 나타낸다. 축차 방식의 샘플링 주파수 fs 는, 시스템에 의해 선택할 수 있는 주파수가 정해져 있다. 그 fs 에 대하여, 도 4 의 좌측부에 나타내는 바와 같이, 상기 [식 1] 을 만족하는 n 과 c 를 선택하게 된다. 축차 방식은 고속 샘플링을 실현할 수 있기 때문에, 일반적으로 fs >> fv 가 되므로, 측정 점수 c 가 커지는 경향이 있다.An example of measurement condition determination in the successive acquisition method for obtaining an instantaneous value regarding the acquisition of light quantity is shown below. As for the sequential sampling frequency fs, the frequency that can be selected is determined by the system. For the fs, as shown on the left side of FIG. 4, n and c satisfying the above [Equation 1] are selected. Since the sequential method can realize high-speed sampling, generally fs >> fv, so the measurement point c tends to become large.

연산에 고속 푸리에 변환을 사용하는 경우에는, 측정 점수 c 는, c = m × 2d (m, d : 자연수) 로 하고, 도 4 의 우측부에 나타내는 바와 같이, 그 측정 점수 c 에 대하여 상기 [식 1] 을 만족하는 파수 n, m, d 를 선택한다. 종래 조건인 m = 1 뿐만 아니라 m ≥ 2 를 조건에 추가함으로써, 선택할 수 있는 파수 n 의 자유도를 높이고 있다. 종래 조건인 m = 1 만이라면, fs ≥ fv 이기 때문에 상기 [식 1] 을 만족하는 파수 n 이나 측정 점수 c 는 매우 큰 값이 되어 버린다. 그 결과, 측정 시간의 장초화 (長秒化) 와 연산 부하의 증대화가 발생하고, 고속 푸리에 변환의 장점을 얻을 수 없게 된다. [ Select wavenumbers n, m, and d that satisfy Equation 1]. By adding not only the conventional condition m = 1 but also m ≥ 2 to the condition, the degree of freedom of the selectable wavenumber n is increased. If only the conventional condition m = 1, since fs ≥ fv, the wave number n or the measurement point c satisfying the above [Equation 1] becomes a very large value. As a result, an increase in measurement time and an increase in computational load occur, and the advantages of fast Fourier transform cannot be obtained.

또한 m ≠ 1 에 있어서, 고속 푸리에 변환이 성립하는 이유는, 「필터 처리 기능」 에서 후술한다. m 값은 필터 후 파형에 대한 실효 샘플링 주파수의 저감율을 의미하므로, 작은 편이 바람직하다 (「필터 처리 기능」 에서 후술). 예를 들어, 시스템 상한 주파수가 2700 Hz 인 경우에 있어서, The reason why fast Fourier transform is established when m ≠ 1 is described later in “Filter processing function”. Since the m value means the rate of reduction of the effective sampling frequency for the waveform after filtering, a smaller value is preferable (described later in "Filter processing function"). For example, in the case where the system upper limit frequency is 2700 Hz,

광량 변동 주파수 fv : 30 Hz → 파수 n : 16, 측정 점수 c : 14336 (m = 7, d = 11), 샘플링 주파수 fs : 2700 Hz Light quantity fluctuation frequency fv: 30 Hz → wave number n: 16, measurement points c: 14336 (m = 7, d = 11), sampling frequency fs: 2700 Hz

광량 변동 주파수 fv : 24 Hz → 파수 n : 11, 측정 점수 c : 12288 (m = 3, d = 12), 샘플링 주파수 fs : 27000 Hz Light intensity fluctuation frequency fv: 24 Hz → wave number n: 11, measurement points c: 12288 (m = 3, d = 12), sampling frequency fs: 27000 Hz

가 된다.becomes

광량의 취득에 관해서 결정된 시간의 적분값을 취득하는 적분 방식에 있어서의 측정 조건 결정의 예를 이하에 나타낸다. 적분 방식의 샘플링 주파수 fs 는, 고속화가 곤란하지만, 주파수 설정에 관해서는 일반적으로 자유도가 높고, 임의로 설정할 수 있다. 그러므로 측정 조건은, 도 5 의 좌측부에 나타내는 바와 같이, 기준으로 하는 파수 n 에 대하여, 상기 [식 1] 을 만족하는 c 와 fs 를 선택하게 된다.An example of measurement condition determination in an integration method for obtaining an integral value of time determined for acquisition of light quantity is shown below. Although it is difficult to speed up the sampling frequency fs of the integration method, the frequency setting is generally highly flexible and can be arbitrarily set. Therefore, as the measurement condition, as shown in the left part of FIG. 5, c and fs that satisfy the above [Equation 1] are selected for the reference wavenumber n.

연산에 고속 푸리에 변환을 사용하는 경우에는, 측정 점수 c 는, c = m × 2d (m, d : 자연수) 로 하고, 도 5 의 우측부에 나타내는 바와 같이, 그 c 에 대하여 상기 [식 1] 을 만족하는 n, m, d 를 선택한다. 여기서, m 값은, 이하의 이유에 의해, m = 1 로 하는 것이 바람직하다. When fast Fourier transform is used for calculation, the measurement point c is c = m × 2 d (m, d: natural number), and as shown in the right part of FIG. 5, the above [Equation 1 ] to select n, m, d that satisfy Here, the value of m is preferably set to m = 1 for the following reasons.

·적분 방식의 경우, fs 에 자유도가 있기 때문에, m = 1 에 있어서도 측정 시간의 장초화가 잘 발생하지 않는다 ・In the case of the integration method, since there is a degree of freedom in fs, the lengthening of the measurement time does not occur easily even in m = 1

·m ≥ 2 의 경우, 필터 후 파형의 실효 샘플링 주파수가 취득 파형에 비해 저하된다 (「필터 처리 기능」 에서 후술) ・When m ≥ 2, the effective sampling frequency of the waveform after filtering is lower than that of the acquired waveform (described later in "Filter processing function")

파수 n 은, 시스템 상한 부근의 고(高) fs 를 유지하기 위해서, 광량 변동 주파수에 의존하여 변화시킨다. 파수 n 을 광량 변동 주파수에 따라 변화시키는 것, 파형 왜곡의 축소화, 주기 정합 오차의 저감을 도모할 수 있다. The wave number n is changed depending on the light amount fluctuation frequency in order to maintain a high fs near the upper limit of the system. By changing the wave number n according to the frequency of light quantity fluctuation, it is possible to reduce waveform distortion and reduce periodic matching error.

측정 조건의 일례를 이하에 나타낸다. 예를 들어, 시스템 상한 주파수가 2700 Hz 인 경우에 있어서, An example of measurement conditions is shown below. For example, in the case where the system upper limit frequency is 2700 Hz,

광량 변동 주파수 fv : 30 Hz → 파수 n : 12, 측정 점수 c : 1024 (m = 1, d = 10), 샘플링 주파수 fs : 2560 Hz Light intensity fluctuation frequency fv: 30 Hz → wave number n: 12, measurement points c: 1024 (m = 1, d = 10), sampling frequency fs: 2560 Hz

광량 변동 주파수 fv : 24 Hz → 파수 n : 18, 측정 점수 c : 2048 (m = 1, d = 11), 샘플링 주파수 fs : 2731.667 Hz Light intensity fluctuation frequency fv: 24 Hz → wave number n: 18, measurement points c: 2048 (m = 1, d = 11), sampling frequency fs: 2731.667 Hz

이렇게 하여 결정한 측정 조건으로, 광 파형을 취득한다. 광 파형의 측정은 종래와 마찬가지로 실시되기 때문에, 상세한 설명은 생략한다.Under the measurement conditions determined in this way, an optical waveform is acquired. Since the measurement of the light waveform is carried out in a conventional manner, detailed explanations are omitted.

광 파형의 취득 후, 취득한 광 파형에 대하여 필터 처리부 (17) 에서 필터 처리를 실시한다. 통상적인 이산 푸리에 변환 (DFT) 또는 역푸리에 변환 (IDFT) 으로 처리하는 경우, 및 고속 푸리에 변환으로 m = 1 의 경우에는, 필터 처리는 종래와 동일하다.After acquisition of the optical waveform, the filter processing unit 17 performs filter processing on the acquired optical waveform. In the case of processing by ordinary Discrete Fourier Transform (DFT) or Inverse Fourier Transform (IDFT), and in the case of m = 1 by Fast Fourier Transform, the filter processing is the same as before.

고속 푸리에 변환 또한 m ≥ 2 의 경우의 필터 처리에 대해서 이하에 기재한다. 즉, 고속 푸리에 변환 처리 전에 취득한 파형에 전처리가 필요해진다. 전처리는, 측정 데이터 (c 개의 배열) 에 대하여, 선두 데이터로부터 m 개마다 평균화하고, 혹은 시닝을 실시하고, 데이터수를 1/m 개로 압축한다. 이 압축된 데이터수 2d 개에 대하여, 고속 푸리에 변환 (DFT) 처리, 가중치 부여, 고속 역푸리에 변환 (IDFT) 처리를 실시하고, 필터 후 파형을 생성한다.Fast Fourier transform and filter processing in the case of m ≥ 2 will be described below. That is, preprocessing is required for the acquired waveform prior to fast Fourier transform processing. In the preprocessing, measurement data (array of c pieces) is averaged every m pieces from the head data or thinned, and the number of data is compressed to 1/m pieces. Fast Fourier transform (DFT) processing, weighting, and inverse fast Fourier transform (IDFT) processing are performed on these 2d pieces of compressed data to generate a waveform after filtering.

상기 서술한 데이터수의 압축은, 필터 후 파형의 실효 샘플링 주파수 fs 를 취득 파형에 대하여 1/m 으로 하는 것과 등가이다. 그러므로 m 값은, 필터 후 파형의 재현성에 영향을 미치지 않을 정도로 작게 할 필요가 있지만, 축차형의 경우에는 fs ≥ fv 이므로, 이 m 값의 파형 재현에 대한 영향은 낮다. 이와 같이 데이터수를 1/m 개로 압축함으로써, 측정 점수가 필터 처리 전후로 상이하게 되고, 파수의 증대를 회피할 수 있다. 또, 필터 처리 전의 파형을 m 개 단위로 평균화한 후 필터 처리하기 때문에, 필터 처리 후의 파형의 노이즈를 저감할 수 있다.The above-described compression of the number of data is equivalent to setting the effective sampling frequency fs of the waveform after filtering to 1/m with respect to the acquired waveform. Therefore, the value of m needs to be small enough not to affect the reproducibility of the waveform after filtering. However, since fs ≥ fv in the case of the sequential type, the effect of the value of m on the reproduction of the waveform is low. By compressing the number of data to 1/m in this way, the measurement score is different before and after the filter process, and an increase in the number of waves can be avoided. In addition, since the waveform before the filtering process is averaged in units of m before the filtering process is performed, the noise of the waveform after the filtering process can be reduced.

필터 처리 후의 파형을 도 6 에 나타낸다. 동(同) 도의 (A) 는 종래의 파형이고, (B) 는 본 실시형태에 있어서의 파형이다. 본 실시형태에서는, 광량 변동 주파수에 정합하도록 측정 조건을 설정하고 있으므로, 종래예에 비해, 특히 파형의 선단부와 후단부에 있어서 왜곡이 억제된 파형으로 되어 있다.The waveform after the filtering process is shown in FIG. 6 . (A) in the figure is a conventional waveform, and (B) is a waveform in the present embodiment. In the present embodiment, since the measurement conditions are set to match the light amount fluctuation frequency, distortion is suppressed especially at the front end and the rear end of the waveform compared to the conventional example.

이와 같이 이 실시형태에서는, 계측 대상물 (100) 의 광량 변동 주파수의 후보를 검출함과 함께, 검출한 후보에 기초하여 광량 변동 주파수를 결정하고, 결정된 광량 변동 주파수에 기초하여, 측정 시간이 상기 결정된 광량 변동 주파수의 주기의 정수배가 되는 샘플링 주파수와 측정 점수를 결정하기 때문에, 임의의 주파수 필터 처리를 실시해도, 왜곡이 없는 파형 취득이 가능해짐과 함께, 계측 대상의 주파수가 이미 알려지지 않은 경우에도, 오차를 최소화할 수 있다. 또, IEC 규격에 기초하는 플리커 지표를 정확하게 또한 용이하게 도출할 수 있다. 요컨대, IEC 규격에서는, TCSF 로 필터 처리한 파형에 대하여, (최대값 ― 최소값)/평균값을 계산한 값을 플리커 값으로 하고 있지만, 본 플리커 값을 도출하기 위해서는, 정확한 필터 후 파형이 필요해진다. 또, 평균값의 도출에는 광량 변동 주기가 필요해지기 때문에, 본 발명을 이용하면 용이하게 도출할 수 있다.Thus, in this embodiment, a candidate for the light quantity variation frequency of the measurement target 100 is detected, a light quantity variation frequency is determined based on the detected candidate, and the measurement time is determined based on the determined light quantity variation frequency. Since the sampling frequency and the number of measurement points that are integer multiples of the cycle of the light intensity fluctuation frequency are determined, distortion-free waveforms can be acquired even if any frequency filter processing is performed, and even if the frequency to be measured is not already known, errors can be minimized. In addition, a flicker index based on the IEC standard can be accurately and easily derived. In short, in the IEC standard, the flicker value is a value obtained by calculating (maximum value - minimum value)/average value for a waveform filtered by TCSF. However, in order to derive this flicker value, an accurate filtered waveform is required. In addition, since a light amount fluctuation period is required for derivation of the average value, it can be easily derived by using the present invention.

상기 서술한 실시형태에서는, 복수의 후보 주파수 중에서, 최소의 주파수의 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하는 예를 나타냈지만, 광량 변동 주파수의 결정 방법은 이것에 한정되는 일은 없다. 특히, 디스플레이의 설계자 등의 사용자가 확인을 위해서 광 파형 계측을 실시하는 경우에는, 사용자는 광량 변동 주파수를 인식하고 있는 것으로 생각된다.In the above-described embodiment, an example in which the candidate of the minimum frequency is determined as the light quantity variation frequency among a plurality of candidate frequencies has been shown, but the method of determining the light quantity variation frequency is not limited to this. In particular, when a user such as a designer of a display measures a light waveform for confirmation, it is considered that the user is aware of the light amount fluctuation frequency.

이 때문에 도 7 에 나타내는 바와 같이, 「주파수를 선택해 주세요」 등의 메시지와 함께 검출한 후보 주파수의 리스트를 표시부 (18) 에 표시하고, 사용자에게 원하는 후보를 선택시켜도 된다. 도 7 의 예에서는, 4 개의 후보 주파수가 표시되고, 체크가 되어 있는 15.36 Hz 의 후보 주파수가 선택된 것을 나타내고 있다. 어느 것의 후보 주파수가 선택되면, 선택된 후보 주파수가 광량 변동 주파수로서 결정된다.For this reason, as shown in Fig. 7, a list of detected candidate frequencies may be displayed on the display unit 18 together with a message such as "Please select a frequency", and the user may select a desired candidate. In the example of Fig. 7, four candidate frequencies are displayed, indicating that the checked candidate frequency of 15.36 Hz is selected. When one of the candidate frequencies is selected, the selected candidate frequency is determined as the light quantity variation frequency.

이와 같이, 사용자에게 후보를 선택시킴과 함께, 사용자가 선택한 후보 주파수를 광량 변동 주파수로서 결정함으로써, 사용자가 주목하고 있는 주파수의 광 파형을 고정밀도로 계측할 수 있다.In this way, by allowing the user to select a candidate and determining the candidate frequency selected by the user as the light quantity fluctuation frequency, the light waveform of the frequency of interest to the user can be measured with high precision.

또한, 예비 측정에 있어서의 스펙트럼 해석의 결과 얻어진 도 3 의 스펙트럼 데이터에 나타내는 특이점을 후보 주파수로서 표시하고, 사용자에게 선택하게 해도 된다. 이 경우에는, 선택된 특이점에 가장 가까운 광량 변동 주파수가, 주파수 분해능의 결정의 기초가 되는 광량 변동 주파수로서 결정된다. 그러나, 표시되는 후보 리스트는, 보완에 의한 상세화 후의 후보 주파수의 리스트인 쪽이, 정확한 후보 주파수를 표시할 수 있는 점에서 바람직하다.In addition, a singular point shown in the spectral data of FIG. 3 obtained as a result of spectrum analysis in preliminary measurement may be displayed as a candidate frequency, and the user may select it. In this case, the light quantity variation frequency closest to the selected singularity is determined as the light quantity variation frequency that is the basis for determining the frequency resolution. However, it is preferable that the candidate list to be displayed is a list of candidate frequencies after refinement by supplementation in that accurate candidate frequencies can be displayed.

또, 후보 주파수의 리스트 표시가 아니라, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 「주파수를 선택해 주세요」 등의 메시지와 함께 입력란 (18a) 을 표시하고, 광량 변동 주파수의 설계값을 직접 사용자에게 입력시키는 구성이어도 된다. 이 경우에는, 후보 주파수 중에서, 입력된 주파수에 가장 가까운 후보 주파수가 광량 변동 주파수로서 결정된다. 이와 같이, 사용자에게 광량 변동 주파수를 입력시킴과 함께, 입력한 광량 변동 주파수에 가장 가까운 후보 주파수를 광량 변동 주파수로서 결정하는 경우도, 사용자가 주목하고 있는 주파수 부근의 광 파형을 고정밀도로 계측할 수 있는 효과가 있다.Alternatively, instead of displaying a list of candidate frequencies, as shown in FIG. 8, the input box 18a is displayed along with a message such as "Please select a frequency" and the user directly inputs the design value of the light quantity fluctuation frequency. do. In this case, among the candidate frequencies, a candidate frequency closest to the input frequency is determined as the light quantity variation frequency. In this way, even when the user inputs the light quantity variation frequency and the candidate frequency closest to the input light quantity variation frequency is determined as the light quantity variation frequency, the light waveform near the frequency of interest to the user can be measured with high precision. There is an effect.

또, 상기의 실시형태에서는, 광 파형 계측 전의 예비 측정에 의해 광량 변동의 파형 데이터를 취득하고, 취득한 파형 데이터를 푸리에 변환 처리함으로써 주파수 스펙트럼 데이터를 취득하고, 주파수 스펙트럼 데이터에 있어서, 강도가 인접 주파수보다 큰 특이점이 되는 주파수를 기초로 후보 주파수를 검출하는 예를 설명했지만, 후보 주파수의 검출은 다른 방법이어도 된다.Further, in the above embodiment, waveform data of light quantity fluctuation is obtained by preliminary measurement before optical waveform measurement, and frequency spectrum data is acquired by performing Fourier transform processing on the obtained waveform data, and in the frequency spectrum data, the intensity is an adjacent frequency. Although an example of detecting a candidate frequency based on a frequency serving as a larger singularity has been described, other methods may be used for detecting the candidate frequency.

예를 들어, 광 파형 계측 전의 예비 측정에 의해 광량 변동의 파형 데이터를 취득하고, 취득한 파형 데이터를 해석함으로써, 변동 주기 (주파수) 를 직접 구해도 된다. 그 일례로서, 파형 데이터에 대한 자기 상관법을 들 수 있다. 이 자기 상관법은, 광량 변동의 파형 데이터와 이 파형 데이터로부터 시간을 어긋나게 한 데이터의 상관 계수를 계산함으로써, 데이터의 주기성을 추출하고, 후보 주파수를 검출하는 방법이다. 다른 방법으로서, 화상 해석 수법에 의한 파형 데이터의 특징 점을 사용한 주기 추출법 등을 이용해도 된다.For example, the fluctuation period (frequency) may be directly obtained by obtaining waveform data of light amount fluctuation by preliminary measurement before measuring the optical waveform and analyzing the acquired waveform data. An example thereof is an autocorrelation method for waveform data. This autocorrelation method is a method of extracting periodicity of data and detecting a candidate frequency by calculating a correlation coefficient between waveform data of light quantity fluctuation and data shifted in time from the waveform data. As another method, a period extraction method using feature points of waveform data by an image analysis technique may be used.

파형 데이터의 해석에 의한 광량 변동 주파수의 검출은, 예비 측정 시간이 짧아지는 효과가 있지만, 연산 부하는 커진다.The detection of the light amount fluctuation frequency by analyzing the waveform data has the effect of shortening the preliminary measurement time, but increases the computational load.

이상, 본 발명의 일 실시형태를 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 후보 검출부 (13) 는, 광량 변동의 파형 데이터를 푸리에 변환 처리함으로써 주파수 스펙트럼 데이터를 취득하는 종래의 광 파형 계측 장치의 기능을 이용하여 구성되어도 되고, 후보 검출용의 전용 회로를 별도 형성함으로써 구성되어도 된다.As mentioned above, although one embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment. For example, the candidate detector 13 may be configured using a function of a conventional optical waveform measurement device that obtains frequency spectrum data by performing Fourier transform processing on waveform data of light quantity fluctuations, or a dedicated circuit for detecting candidates is separately provided. It may be constituted by forming.

또, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 광 파형 계측 장치를 퍼스널 컴퓨터 (200) 에 의해 구성해도 된다. 이 경우, 퍼스널 컴퓨터 (200) 는, 종래의 광 파형 계측 장치 (300) 로부터 계측 대상물 (100) 의 수광 데이터를 취득함으로써, 후보 주파수의 검출, 광량 변동 주파수의 결정, 측정 조건의 결정 등을 실시하면 된다.In addition, as shown in FIG. 9 , the optical waveform measurement device may be constituted by the personal computer 200 . In this case, the personal computer 200 obtains the light reception data of the measurement target 100 from the conventional optical waveform measuring device 300, thereby detecting candidate frequencies, determining the light amount fluctuation frequency, determining measurement conditions, and the like. You can do it.

또, 광 파형 계측 스텝은, 주파수 검출 스텝, 주파수 결정 스텝, 측정 조건 결정 스텝과 연속해서 실시할 필요는 없다. 예를 들어, 주파수 검출 스텝, 주파수 결정 스텝, 측정 조건 결정 스텝을 먼저 실시하여 측정 조건의 데이터를 취득해 두고, 그 후, 취득한 측정 조건을 사용하여 광 계측만을 실시해도 된다.Further, the optical waveform measurement step does not need to be continuously performed with the frequency detection step, the frequency determination step, and the measurement condition determination step. For example, the frequency detection step, the frequency determination step, and the measurement condition determination step may be performed first to obtain measurement condition data, and then only light measurement may be performed using the acquired measurement conditions.

또, 결정된 측정 조건은, 광 파형 계측 장치 또는 광 파형 계측 장치에 접속된 외부의 기록 장치 (예를 들어 퍼스널 컴퓨터 등) 에 기록 보존되도록 해도 된다. 측정 조건이 기록 보존됨으로써, 재차 광 파형 계측이 필요해졌을 때에, 광량 변동 주파수의 후보의 검출, 광량 변동 주파수의 결정, 측정 조건의 결정의 각 처리를 생략할 수 있어, 광 파형 계측에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.In addition, the determined measurement conditions may be recorded and saved in the optical waveform measuring device or an external recording device (for example, a personal computer) connected to the optical waveform measuring device. By recording and saving the measurement conditions, when the optical waveform measurement is needed again, it is possible to omit the processes of detecting the light quantity fluctuation frequency candidate, determining the light quantity fluctuation frequency, and determining the measurement conditions. time can be shortened.

본원은 2020년 6월 1일자로 출원된 일본 특허출원의 일본 특허출원 2020-095517호의 우선권 주장을 수반하는 것이며, 그 개시 내용은 그대로 본원의 일부를 구성하는 것이다.This application accompanies the claim of priority of Japanese Patent Application No. 2020-095517 of the Japanese patent application for which it applied on June 1, 2020, The content of the disclosure constitutes a part of this application as it is.

본 발명은 디스플레이 등의 계측 대상물의 광 파형을 계측할 때에 이용 가능하다.The present invention can be used when measuring the light waveform of a measurement object such as a display.

1 : 광 파형 계측 장치
11 : 수광부
13 : 후보 검출부
14 : 주파수 결정부
15 : 측정 조건 결정부
16 : 필터 처리부
17 : 광 파형 취득부
18 : 표시부
100 : 계측 대상물
200 : 퍼스널 컴퓨터
1: Optical waveform measurement device
11: light receiving unit
13: candidate detection unit
14: frequency determining unit
15: measurement condition determining unit
16: filter processing unit
17: optical waveform acquisition unit
18: display
100: measurement object
200: personal computer

Claims (20)

계측 대상물의 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는 검출 수단과,
상기 검출 수단으로 검출된 광량 변동 주파수의 후보에 기초하여 광량 변동 주파수를 결정하는 주파수 결정 수단과,
상기 주파수 결정 수단에 의해 결정된 광량 변동 주파수에 기초하여, 광 파형 계측의 측정 조건을 결정하는 측정 조건 결정 수단과,
상기 측정 조건 결정 수단에 의해 결정된 측정 조건으로 계측 대상물의 광 파형을 취득하는 취득 수단,
을 구비하고,
상기 측정 조건 결정 수단은, 측정 시간이 상기 주파수 결정 수단에 의해 결정된 광량 변동 주파수의 주기의 정수배가 되는 샘플링 주파수와 측정 점수를 결정하는, 광 파형 계측 장치.
detection means for detecting a candidate for a frequency of light quantity fluctuation of a measurement object;
frequency determination means for determining a light quantity variation frequency based on the light quantity variation frequency candidate detected by the detection means;
measurement condition determination means for determining a measurement condition for optical waveform measurement based on the light amount fluctuation frequency determined by the frequency determination means;
Acquisition means for acquiring the optical waveform of the measurement target under the measurement conditions determined by the measurement condition determination means;
to provide,
wherein the measurement condition determination means determines the sampling frequency and measurement points at which the measurement time is an integer multiple of the cycle of the light amount fluctuation frequency determined by the frequency determination means.
제 1 항에 있어서,
상기 검출 수단은,
광 파형 계측 전의 예비 측정에 의해 광량 변동의 파형 데이터를 취득하고,
상기 파형 데이터를 푸리에 변환 처리함으로써 주파수 스펙트럼 데이터를 취득하고,
상기 주파수 스펙트럼 데이터에 있어서, 강도가 인접 주파수보다 큰 특이점이 되는 주파수를 기초로 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는, 광 파형 계측 장치.
According to claim 1,
The detecting means is
Acquiring waveform data of light amount fluctuation by preliminary measurement before optical waveform measurement,
obtaining frequency spectrum data by performing Fourier transform processing on the waveform data;
In the frequency spectrum data, the optical waveform measurement device detects a candidate for the light amount fluctuation frequency based on a frequency that becomes a singularity having an intensity greater than an adjacent frequency.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 주파수 결정 수단은, 광량 변동 주파수의 후보 중에서 최소의 주파수의 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하는, 광 파형 계측 장치.
According to claim 1 or 2,
The optical waveform measurement device according to claim 1 , wherein the frequency determining means determines a candidate of the smallest frequency among the candidates for the light quantity variation frequency as the light quantity variation frequency.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 검출 수단에 의해 검출된 광량 변동 주파수의 후보 중에서 어느 것의 후보를 사용자가 선택 가능한 선택 수단을 구비하고,
상기 주파수 결정 수단은, 상기 선택 수단에 의해 사용자가 선택한 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하는, 광 파형 계측 장치.
According to claim 1 or 2,
a selection unit capable of allowing a user to select one of the candidates for the light amount fluctuation frequency detected by the detection unit;
wherein the frequency determination means determines the candidate selected by the user by the selection means as the light quantity fluctuation frequency.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
사용자가 광량 변동 주파수를 입력 가능한 입력 수단을 구비하고,
상기 주파수 결정 수단은, 검출 수단에 의해 검출된 광량 변동 주파수의 후보 중, 상기 입력 수단에 의해 입력된 광량 변동 주파수에 가장 가까운 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하는, 광 파형 계측 장치.
According to claim 1 or 2,
An input means through which a user can input a light quantity variation frequency;
wherein the frequency determination unit determines, as the light quantity variation frequency, a candidate closest to the light quantity variation frequency input by the input unit, among the light quantity variation frequency candidates detected by the detection unit.
제 2 항에 있어서,
상기 검출 수단은, 상기 주파수 스펙트럼 데이터에 있어서 강도가 인접 주파수보다 큰 특이점이 되는 주파수와 인접하는 주파수의 강도를 사용한 보완에 의해, 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는, 광 파형 계측 장치.
According to claim 2,
The optical waveform measurement device according to claim 1, wherein the detecting means detects a candidate for the light amount fluctuation frequency by complementation using an intensity of a frequency adjacent to a frequency that is a singularity having an intensity greater than an adjacent frequency in the frequency spectrum data.
제 1 항에 있어서,
상기 검출 수단은,
광 파형 계측 전의 예비 측정에 의해 광량 변동의 파형 데이터를 취득하고,
상기 파형 데이터에 대한 자기 상관법에 의해 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는, 광 파형 계측 장치.
According to claim 1,
The detecting means is
Acquiring waveform data of light amount fluctuation by preliminary measurement before optical waveform measurement,
An optical waveform measuring device that detects a candidate for a light amount fluctuation frequency by an autocorrelation method for the waveform data.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 취득 수단에 의해 취득되는 광 파형의 파수는, 상기 광량 변동 주파수에 따라 변화하는, 광 파형 계측 장치.
According to any one of claims 1 to 7,
The wave number of the light waveform acquired by the acquisition unit changes according to the light amount fluctuation frequency.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 취득 수단에 의해 취득한 광 파형을 필터 처리하는 필터 처리 수단을 구비하고,
상기 측정 점수가 2 의 거듭제곱 개의 m 배 (m 은 정수) 이고, 측정 점수가 필터 처리 전후로 상이한, 광 파형 계측 장치.
According to any one of claims 1 to 8,
a filter processing means for filtering the optical waveform acquired by the acquisition means;
wherein the measurement points are m times the number of powers of 2 (m is an integer), and the measurement points are different before and after filter processing.
제 9 항에 있어서,
상기 필터 처리 수단에 의한 필터 처리 전의 광 파형을 m 개 단위로 평균화한 후 필터 처리하는, 광 파형 계측 장치.
According to claim 9,
The optical waveform measuring device, wherein the filter processing is performed after averaging the optical waveforms before filtering by the filter processing unit in units of m units.
계측 대상물의 광량 변동 주파수의 후보를 검출 수단이 검출하는 검출 스텝과,
상기 검출 스텝에서 검출된 광량 변동 주파수의 후보에 기초하여 광량 변동 주파수를 주파수 결정 수단이 결정하는 주파수 결정 스텝과,
상기 주파수 결정 스텝에 의해 결정된 광량 변동 주파수에 기초하여, 측정 조건 결정 수단이 광 파형 계측의 측정 조건을 결정하는 결정 스텝과,
상기 측정 조건 결정 스텝에 의해 결정된 측정 조건으로 계측 대상물의 광 파형을 취득하는 취득 스텝,
을 구비하고,
상기 측정 조건 결정 스텝에서는, 측정 시간이 상기 주파수 결정 스텝에 의해 결정된 광량 변동 주파수의 주기의 정수배가 되는 샘플링 주파수와 측정 점수를 결정하는, 광 파형 계측 방법.
a detection step in which the detection means detects a candidate for the frequency of light quantity fluctuation of the measurement object;
a frequency determination step in which a frequency determination means determines a light quantity variation frequency based on the light quantity variation frequency candidate detected in the detection step;
a determination step in which measurement condition determination means determines measurement conditions for optical waveform measurement based on the light amount fluctuation frequency determined by the frequency determination step;
an acquisition step of acquiring an optical waveform of a measurement target under the measurement conditions determined by the measurement condition determination step;
to provide,
In the measurement condition determining step, the sampling frequency and measurement points are determined such that the measurement time is an integer multiple of the period of the light amount fluctuation frequency determined by the frequency determining step.
제 11 항에 있어서,
상기 검출 스텝에서는,
광 파형 계측 전의 예비 측정에 의해 광량 변동의 파형 데이터를 취득하고,
상기 파형 데이터를 푸리에 변환 처리함으로써 주파수 스펙트럼 데이터를 취득하고,
상기 주파수 스펙트럼 데이터에 있어서, 강도가 인접 주파수보다 큰 특이점이 되는 주파수를 기초로 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는, 광 파형 계측 방법.
According to claim 11,
In the detection step,
Acquiring waveform data of light amount fluctuation by preliminary measurement before optical waveform measurement,
obtaining frequency spectrum data by performing Fourier transform processing on the waveform data;
In the frequency spectrum data, a candidate for a light amount fluctuation frequency is detected based on a frequency that becomes a singularity having an intensity greater than an adjacent frequency.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
상기 주파수 결정 스텝에서는, 광량 변동 주파수의 후보 중에서 최소의 주파수의 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하는, 광 파형 계측 방법.
According to claim 11 or 12,
In the frequency determining step, the candidate for the minimum frequency among the candidates for the light quantity variation frequency is determined as the light quantity variation frequency.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
상기 주파수 결정 스텝에서는, 상기 검출 스텝에 의해 검출된 광량 변동 주파수의 후보 중에서, 사용자가 선택 수단에 의해 선택한 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하는, 광 파형 계측 방법.
According to claim 11 or 12,
In the frequency determination step, a candidate selected by the user by the selection means is determined as the light quantity variation frequency among the light quantity variation frequency candidates detected in the detection step.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
상기 주파수 결정 스텝에서는, 검출 스텝에 의해 검출된 광량 변동 주파수의 후보 중, 사용자가 입력 수단에 의해 입력한 광량 변동 주파수에 가장 가까운 후보를 광량 변동 주파수로서 결정하는, 광 파형 계측 방법.
According to claim 11 or 12,
In the frequency determination step, among the candidates for the light quantity variation frequency detected in the detection step, a candidate closest to the light quantity variation frequency input by the user through the input means is determined as the light quantity variation frequency.
제 12 항에 있어서,
상기 검출 스텝에서는, 상기 주파수 스펙트럼 데이터에 있어서 강도가 인접 주파수보다 큰 특이점이 되는 주파수와 인접하는 주파수의 강도를 사용한 보완에 의해, 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는, 광 파형 계측 방법.
According to claim 12,
In the detection step, a candidate for a light amount fluctuation frequency is detected by complementation using an intensity of a frequency adjacent to a frequency that is a singularity having an intensity greater than an adjacent frequency in the frequency spectrum data.
제 11 항에 있어서,
상기 검출 스텝에서는,
광 파형 계측 전의 예비 측정에 의해 광량 변동의 파형 데이터를 취득하고,
상기 파형 데이터에 대한 자기 상관법에 의해 광량 변동 주파수의 후보를 검출하는, 광 파형 계측 방법.
According to claim 11,
In the detection step,
Acquiring waveform data of light amount fluctuation by preliminary measurement before optical waveform measurement,
An optical waveform measuring method comprising detecting a candidate for a light amount fluctuation frequency by an autocorrelation method for the waveform data.
제 11 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 취득 스텝에 의해 취득되는 광 파형의 파수는, 상기 광량 변동 주파수에 따라 변화하는, 광 파형 계측 방법.
According to any one of claims 11 to 17,
The optical waveform measuring method according to claim 1 , wherein the wavenumber of the optical waveform acquired in the acquisition step changes according to the light amount fluctuation frequency.
제 11 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 취득 스텝에 의해 취득한 광 파형을 필터 처리하는 필터 처리 스텝을 구비하고,
상기 측정 점수가 2 의 거듭제곱 개의 m 배 (m 은 정수) 이고, 측정 점수가 필터 처리 전후로 상이한, 광 파형 계측 방법.
According to any one of claims 11 to 18,
a filter processing step of filtering the optical waveform acquired by the acquisition step;
wherein the measurement points are m times the number of powers of 2 (m is an integer), and the measurement points are different before and after filter processing.
제 19 항에 있어서,
상기 필터 처리 스텝에 의한 필터 처리 전의 광 파형을 m 개 단위로 평균화한 후 필터 처리하는, 광 파형 계측 방법.
According to claim 19,
An optical waveform measurement method of averaging the optical waveforms before filtering by the filter processing step in m units and then filtering them.
KR1020227041994A 2020-06-01 2021-05-13 Optical Waveform Measuring Device and Measuring Method Active KR102808720B1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020095517 2020-06-01
JPJP-P-2020-095517 2020-06-01
PCT/JP2021/018217 WO2021246125A1 (en) 2020-06-01 2021-05-13 Optical waveform measurement device and optical waveform measurement method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20230003205A true KR20230003205A (en) 2023-01-05
KR102808720B1 KR102808720B1 (en) 2025-05-15

Family

ID=78830876

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020227041994A Active KR102808720B1 (en) 2020-06-01 2021-05-13 Optical Waveform Measuring Device and Measuring Method

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JPWO2021246125A1 (en)
KR (1) KR102808720B1 (en)
CN (1) CN115667861A (en)
WO (1) WO2021246125A1 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023136102A1 (en) * 2022-01-11 2023-07-20 コニカミノルタ株式会社 Light measurement method, light measurement device, data processing device, and program
JPWO2023149337A1 (en) * 2022-02-07 2023-08-10
KR20240134356A (en) * 2022-03-30 2024-09-09 코니카 미놀타 가부시키가이샤 Display optical measuring device and optical measuring method, data processing device and program

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS629533B2 (en) * 1983-12-27 1987-02-28 Seto Yogyo Genryo Kk
JP2003106898A (en) * 2001-09-28 2003-04-09 Nohmi Bosai Ltd Flame detector
KR20040063752A (en) * 2003-01-08 2004-07-14 마하비전 아이엔씨. Inspection method and system for LCD panel
KR20050103979A (en) 2003-03-14 2005-11-01 바스프 악티엔게젤샤프트 Use of polyacrylic acids as grinding aids for calcium carbonate
JP2014006157A (en) * 2012-06-25 2014-01-16 Chuden Cti Co Ltd Vibration characteristics inferring method and vibration characteristics inferring program, and computer-readable recording medium recording vibration characteristics inferring program
WO2019069634A1 (en) * 2017-10-05 2019-04-11 コニカミノルタ株式会社 Two-dimensional flicker measurement device, two-dimensional flicker measurement system, two-dimensional flicker measurement method, and two-dimensional flicker measurement program

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050103979A1 (en) * 2003-11-13 2005-05-19 Photo Research, Inc. Temporal source analysis using array detectors
JP4925017B2 (en) * 2008-01-23 2012-04-25 アンリツ株式会社 Repetitive frequency detection method for signal under measurement, sampling device using the same, and waveform observation system
WO2014167865A1 (en) 2013-04-12 2014-10-16 パナソニック インテレクチュアル プロパティ コーポレーション オブ アメリカ Flicker reducing device, imaging device, and flicker reducing method
JP7310606B2 (en) * 2017-10-05 2023-07-19 コニカミノルタ株式会社 Two-dimensional flicker measuring device and two-dimensional flicker measuring method
JP6982926B2 (en) * 2017-12-04 2021-12-17 日置電機株式会社 Measurement condition setting method and optical measuring device

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS629533B2 (en) * 1983-12-27 1987-02-28 Seto Yogyo Genryo Kk
JP2003106898A (en) * 2001-09-28 2003-04-09 Nohmi Bosai Ltd Flame detector
KR20040063752A (en) * 2003-01-08 2004-07-14 마하비전 아이엔씨. Inspection method and system for LCD panel
KR20050103979A (en) 2003-03-14 2005-11-01 바스프 악티엔게젤샤프트 Use of polyacrylic acids as grinding aids for calcium carbonate
JP2014006157A (en) * 2012-06-25 2014-01-16 Chuden Cti Co Ltd Vibration characteristics inferring method and vibration characteristics inferring program, and computer-readable recording medium recording vibration characteristics inferring program
WO2019069634A1 (en) * 2017-10-05 2019-04-11 コニカミノルタ株式会社 Two-dimensional flicker measurement device, two-dimensional flicker measurement system, two-dimensional flicker measurement method, and two-dimensional flicker measurement program
KR20200044926A (en) * 2017-10-05 2020-04-29 코니카 미놀타 가부시키가이샤 Two-dimensional flicker measurement device, two-dimensional flicker measurement system, two-dimensional flicker measurement method and two-dimensional flicker measurement program

Also Published As

Publication number Publication date
WO2021246125A1 (en) 2021-12-09
KR102808720B1 (en) 2025-05-15
JPWO2021246125A1 (en) 2021-12-09
CN115667861A (en) 2023-01-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20230003205A (en) Optical waveform measuring device and measuring method
US7195596B2 (en) Pulse wave detecting apparatus and fourier transform process apparatus
JP2007093221A (en) Signal waveform analysis method and program thereof, and vehicle driving characteristic analysis method using signal waveform analysis method and program thereof
EP1746385A1 (en) Small displacement measuring method and instrument
JP6056389B2 (en) Heart rate estimation device, heart rate estimation method and program
KR102539142B1 (en) Device and method for analysis of spectra, and device for measurement the blood glucose
CN101300497A (en) Data compression for producing a spectrum trace
US9577798B1 (en) Real-time separation of signal components in spectrum analyzer
KR102728065B1 (en) Flicker measuring device and measuring method
CN107884649A (en) A kind of spuious spectrum analysis system and analysis method based on vector network analyzer
CN103970406A (en) Method For Automatically Adjusting The Magnification And Offset Of A Display To View A Selected Feature
EP1503578A1 (en) Motion detector, image processing system, motion detecting method, program, and recording medium
JP5539437B2 (en) Pure tone inspection apparatus and control method thereof
EP2306218A1 (en) Millimeter wave image pickup device
CN104011497B (en) Method for producing information signal
WO2022233110A1 (en) Stepped superposition type fourier transform differential method
JP2006313160A (en) Device and method for jitter measuring
US11054243B2 (en) Electronic device for automatic calibration of swept-source optical coherence tomography systems
WO2017130417A1 (en) Biological sound analysis device, biological sound analysis method, computer program, and recording medium
JP2007263656A (en) Leakage electromagnetic field information evaluation system
JP2018013433A (en) Signal processing device
JP2006242677A (en) Leakage electromagnetic field information evaluation method and leakage electromagnetic field information evaluation system in which this method is implemented
JP7010002B2 (en) Pulse wave analyzer, pulse wave analysis method and program
US8705598B2 (en) Signal-sensitive data compression
WO2023021557A1 (en) Sensing system, sensing method, and analysis device

Legal Events

Date Code Title Description
PA0105 International application

Patent event date: 20221129

Patent event code: PA01051R01D

Comment text: International Patent Application

PA0201 Request for examination
PG1501 Laying open of application
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20240927

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20250226

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20250513

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20250513

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration