KR20220035097A - 진공 펌프, 및, 진공 펌프에 이용되는 로터 그리고 회전 날개 - Google Patents

Abstract

(과제) 로터의 회전 방향으로 로터를 회전시키는 상정 이상의 토크가 발생했을 때, 예정된 개소가 예정된 상태로 파단되도록 하여, 저렴하고 안정된 충격 흡수성을 발휘하는 구조를 구비하는 진공 펌프, 및, 진공 펌프에 이용되는 로터 그리고 회전 날개를 제공한다.
(해결 수단) 흡기구 또는 배기구가 형성된 케이싱(11)과, 케이싱(11)의 내측에 배치되는 스테이터와, 스테이터(18)에 회전이 자유롭게 지지된 샤프트(20), 및, 외주부에 복수의 블레이드(22)를 다단형으로 배치하여 원통 형상으로 형성되며, 샤프트(20)에 일체 회전 가능하게 고정되는 회전 날개(19)를 갖고, 케이싱(11)에 내포되는 로터(17)를 구비한 진공 펌프(10)로서, 회전 날개(19)에, 회전 날개(19)의 강성을 국소적으로 저하시켜 회전 날개(19)의 파단되는 개소를 규제하는 파단 개소 규제 수단으로서의 파단 개소 규제 홈(32)을 형성했다.

Description

진공 펌프, 및, 진공 펌프에 이용되는 로터 그리고 회전 날개

본 발명은 진공 펌프, 및, 진공 펌프에 이용되는 로터 그리고 회전 날개에 관한 것이며, 예를 들면 진공 용기의 배기에 이용하는 진공 펌프, 및, 진공 펌프에 이용되는 로터 그리고 회전 날개에 관한 것이다.

반도체 제조 장치의 배기나, 전자 현미경 등의 고(高) 진공을 요하는 진공 용기에 이용되는 진공 펌프는, 흡기구와 배기구를 가진 케이싱 내부에, 분자 펌프 기구부와, 분자 펌프 기구부의 하류측에 설치된 나사 홈식 펌프 기구부를 일체로 내장한 구조가 많이 사용되고 있다.

진공 펌프에 있어서의 케이싱의 내부에는, 회전이 자유롭게 지지되어, 모터부에 의해 고속 회전이 가능한 로터와, 진공 펌프의 케이싱에 고정된 스테이터가 설치되어 있다.

분자 펌프 기구부는, 로터가 고속 회전함으로써, 로터와 스테이터가 배기 작용을 발휘한다. 그리고, 이 배기 작용에 의해 분자 펌프 기구부측의 흡기구로부터 기체(가스)가 흡인되고, 배기구가 설치되어 있는 나사 홈식 펌프 기구부측에 배기된다.

나사 홈식 펌프 기구부는, 로터의 하단측에 형성된 원통부와, 원통부의 외주면에 설치되어, 외면에 나선홈을 갖는 내측 나사부와, 내측 나사부와 소정의 거리를 두고 케이싱의 내주면측에 설치되어, 내측 나사부의 나선홈과 대응하는 나선홈을 내면에 갖는 나사홈 스페이서 등으로 구성되어 있다. 내측 나사부의 나선홈과 나사홈 스페이서의 나선홈의 방향은, 나선홈 안을 로터의 회전 방향으로 가스가 수송된 경우, 가스를 배기구 방향으로 송출하는 방향이며, 나선홈의 깊이는 배기구에 가까워짐에 따라 얕아지도록 되어 있으며, 나선홈 안을 수송되어 오는 가스는 배기구에 가까워짐에 따라 압축되도록 되어 있다.

따라서, 분자 펌프 기구부로부터 배기된 가스는, 나사 홈식 펌프 기구부로 보내지고, 나사 홈식 펌프 기구부에서 압축되어 배기구로부터 케이싱 밖으로 배기된다.

그런데, 진공 펌프의 운전 중에, 어떠한 트러블이 발생하여 로터가 스테이터나 그 외의 진공 내의 고정된 부재에 충돌한 경우, 로터의 각운동량이 스테이터나 고정 부재에 전달되어, 로터에 회전 방향으로의 큰 토크를 순식간에 발생시킴과 동시에, 진공 펌프 전체에도 큰 응력을 미친다.

그 때문에, 이러한 토크에 의한 충격을 완화하기 위한 제안이 다양하게 이루어지고 있다(예를 들면, 특허문헌 1, 특허문헌 2, 특허문헌 3 참조).

특허문헌 1, 특허문헌 2, 특허문헌 3에서 개시되는 진공 펌프에서는, 터보 분자 펌프를 로터의 회전 방향으로 회전시키는 토크가 발생하면, 발생한 토크를 완충하는 장치를 설치한 것이다. 그러나, 완충 장치에서 토크를 흡수하지 못하는 경우에는 파괴된다.

일본국 특허공개 평10-274189호 공보 일본국 특허공개 평08-114196호 공보 일본국 특허 제4484470호 공보

그러나 특허문헌 1, 특허문헌 2, 특허문헌 3에서 개시되어 있는 기술과 같이, 로터에 회전 방향으로의 큰 토크가 순식간에 발생하여, 진공 펌프 전체에 부여된 큰 응력을 완충 장치가 흡수하지 못하는 경우에는, 진공 펌프의 예기치 않은 개소가 예기치 않은 형태로 파괴되는 경우가 있다.

따라서 진공 펌프의 안전성을 높이기 위해, 진공 펌프의 플랜지부와 진공 용기측의 플랜지부의 설치 강도를 높이는 것은 물론, 진공 펌프 전체의 기계적 강도도 높일 필요가 있다. 그 때문에, 제조 비용이 상승한다는 문제가 있었다.

또, 진공 펌프의 예기치 않은 개소가 예기치 않은 형태로 파괴되는 경우가 있다는 점에서, 문제 발생 시의 대책을 세우기 어렵다. 그 때문에 문제가 발생했을 때의 처리 시간에도 큰 시간을 허비하기 쉽다는 문제가 있었다.

그래서, 로터의 회전 방향으로 로터를 회전시키는 상정 이상의 토크가 발생했을 때, 예정된 개소가 예정된 상태로 파단되도록 하여, 저렴하고 안정된 충격 흡수성을 발휘하는 구조를 구비하는 진공 펌프, 및, 진공 펌프에 이용되는 로터 그리고 회전 날개를 제공하기 위해 해결해야 할 기술적 과제가 발생하는 것이며, 본 발명은 이 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해 제안된 것이며, 청구항 1에 기재된 발명은, 흡기구 또는 배기구가 형성된 케이싱과, 상기 케이싱의 내측에 배치되는 고정부와, 상기 고정부에 회전이 자유롭게 지지된 샤프트, 및, 외주부에 복수의 블레이드를 다단형으로 배치하여 원통 형상으로 형성되며, 상기 샤프트에 일체 회전 가능하게 고정되는 회전 날개를 갖고, 상기 케이싱에 내포되는 로터를 구비한 진공 펌프로서, 상기 회전 날개에, 상기 회전 날개의 강성을 국소적으로 저하시켜 상기 회전 날개의 파단되는 개소를 규제하는 파단 개소 규제 수단을 형성한, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 상정 이상의 토크가 발생하여, 그 토크가 로터에 부하되었을 때, 로터의 회전 날개에 형성하고 있는 파단 개소 규제 수단의 개소가, 예정되어 있는 형상 등으로 파단되어, 토크에 의한 충격을 흡수한다. 즉, 진공 펌프의 예정된 개소가 예정된 상태로 파단되므로, 파단 후의 처리를 정해진 순서로 간단하게 행할 수 있다. 이로 인해, 메인터넌스의 작업을 안정화시키고, 저렴하게 처리할 수 있다.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 구성에 있어서, 상기 파단 개소 규제 수단은, 축방향으로 서로 이웃하는 상기 블레이드 사이에서, 상기 회전 날개의 축방향을 따라 상기 회전 날개의 외주면에 형성된 홈인, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 파단 개소 규제 수단이, 축방향으로 서로 이웃하는 블레이드 사이에서, 회전 날개의 축방향을 따라 회전 날개의 외주면에 홈으로서 형성되어 있다. 이 홈을 형성함으로써, 홈을 형성한 회전 날개의 개소는, 홈을 형성하지 않은 다른 개소보다 박육(薄肉)이 되어, 기계적 강도가 저하된다. 이로 인해, 상정 이상의 토크가 발생하여, 그 토크가 로터에 부하되었을 때, 회전 날개의 외주면에 축방향을 따라 홈을 형성한 개소가 축방향을 따라 예정된 상태로 파단되고, 토크에 의한 충격을 흡수한다. 즉, 진공 펌프의 예정된 개소가 예정된 상태로 파단되므로, 파단 후의 처리를 정해진 순서로 간단하게 행할 수 있다. 이로 인해, 메인터넌스의 작업을 안정화시키고, 저렴하게 처리할 수 있다.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2에 기재된 구성에 있어서, 상기 파단 개소 규제 수단은, 상기 회전 날개의 내주면에, 상기 회전 날개의 축방향을 따라 형성된 홈인, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 파단 개소 규제 수단이, 회전 날개의 내주면에, 회전 날개의 축방향을 따라 홈으로서 형성되어 있다. 이 홈을 형성함으로써, 홈을 형성한 회전 날개의 개소는, 홈을 형성하지 않은 다른 개소보다 박육이 되어, 기계적 강도가 저하된다. 이로 인해, 상정 이상의 토크가 발생하여, 그 토크가 로터에 부하되었을 때, 회전 날개의 내주면에 축방향을 따라 홈을 형성하고 있는 개소가, 그 축방향을 따라 예정된 상태로 파단되고, 토크에 의한 충격을 흡수한다. 즉, 진공 펌프의 예정된 개소가 예정된 상태로 파단되므로, 파단 후의 처리를 정해진 순서로 간단하게 행할 수 있다. 이로 인해, 메인터넌스의 작업을 안정화시키고, 저렴하게 처리할 수 있다.

청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 구성에 있어서, 상기 파단 개소 규제 수단은, 상기 회전 날개의 외주면 또는 내주면 중 적어도 어느 한쪽에, 상기 회전 날개의 둘레 방향을 따라 형성된 홈인, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 파단 개소 규제 수단이, 회전 날개의 외주면 또는 내주면 중 적어도 어느 한쪽에, 회전 날개의 둘레 방향을 따라 홈으로서 형성되어 있다. 이 홈을 형성함으로써, 홈을 형성한 회전 날개의 개소는, 홈을 형성하지 않은 다른 개소보다 박육이 되어, 기계적 강도가 저하된다. 이로 인해, 상정 이상의 토크가 발생하여, 그 토크가 로터에 부하되었을 때, 회전 날개의 외주면 또는 내주면 중 적어도 어느 한쪽에 회전 날개의 둘레 방향을 따라 홈을 형성하고 있는 개소가, 그 회전 날개의 둘레 방향을 따라 예정된 상태로 파단되고, 토크에 의한 충격을 흡수한다. 즉, 진공 펌프의 예정된 개소가 예정된 상태로 파단되므로, 파단 후의 처리를 정해진 순서로 간단하게 행할 수 있다. 이로 인해, 메인터넌스의 작업을 안정화시키고, 저렴하게 처리할 수 있다.

청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 기재된 구성에 있어서, 상기 홈은, 상기 샤프트에 상기 회전 날개를 장착하기 위해 상기 회전 날개에 형성되어 있는 복수의 볼트 구멍과 대응하여 형성하고 있는, 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 파단 개소 규제 수단으로서의 홈이, 샤프트와 볼트를 개재하여 고정되는 복수의 볼트 구멍에 대응하여 형성되어 있다. 홈을 형성한 부분과 볼트 구멍을 형성한 부분은, 다른 부분보다 취약화되어 기계적 강도가 저하된다. 이로 인해, 상정 이상의 토크가 발생하여, 그 토크가 로터에 부하되었을 때, 홈과, 그 홈과 볼트 구멍이 이어지는 개소가 예정된 상태로 파단되고, 토크에 의한 충격을 흡수한다. 즉, 진공 펌프의 예정된 개소가 예정된 상태로 파단되므로, 파단 후의 처리를 정해진 순서로 간단하게 행할 수 있다. 이로 인해, 메인터넌스의 작업을 안정화시키고, 저렴하게 처리할 수 있다.

청구항 6에 기재된 발명은, 흡기구 또는 배기구가 형성된 진공 펌프에 있어서의 케이싱의 내측에 배치되는 고정부에 회전이 자유롭게 장착되는 로터로서, 상기 고정부에 회전이 자유롭게 지지된 샤프트와, 외주부에 복수의 블레이드를 다단형으로 배치하여 원통 형상으로 형성되며, 상기 샤프트에 일체 회전 가능하게 고정되는 회전 날개와, 상기 회전 날개에 형성되며, 상기 회전 날개의 강성을 국소적으로 저하시켜 상기 회전 날개의 파단되는 개소를 규제하는 파단 개소 규제 수단을 구비하는 로터를 제공한다.

이 구성에 의하면, 상정 이상의 토크가 발생하여, 그 토크가 로터에 부하되었을 때, 로터의 회전 날개에 형성하고 있는 파단 개소 규제 수단의 개소가, 예정되어 있는 형상 등으로 파단되어, 토크에 의한 충격을 흡수한다. 즉, 로터의 예정된 개소가 예정된 상태로 파단되므로, 파단 후의 처리를 정해진 순서로 간단하게 행할 수 있다. 이로 인해, 메인터넌스의 작업을 안정화시키고, 저렴하게 처리할 수 있다.

청구항 7에 기재된 발명은, 흡기구 또는 배기구가 형성된 진공 펌프에 있어서의 케이싱의 내측에 배치되는 고정부에 샤프트를 개재하여 회전이 자유롭게 장착되는 회전 날개로서, 외주부에 복수의 블레이드를 다단형으로 배치하여 원통 형상으로 형성된 원통 부재와, 상기 원통 부재에 형성되며, 상기 원통 부재의 강성을 국소적으로 저하시켜 상기 원통 부재의 파단되는 개소를 규제하는 파단 개소 규제 수단을 구비하는, 회전 날개를 제공한다.

이 구성에 의하면, 상정 이상의 토크가 발생하여, 그 토크가 회전 날개에 부하되었을 때, 원통 부재에 형성하고 있는 파단 개소 규제 수단의 개소가, 예정되어 있는 형상 등으로 파단되어, 토크에 의한 충격을 흡수한다. 즉, 원통 부재의 예정된 개소가 예정된 상태로 파단되므로, 파단 후의 처리를 정해진 순서로 간단하게 행할 수 있다. 이로 인해, 메인터넌스의 작업을 안정화시키고, 저렴하게 처리할 수 있다.

발명에 의하면, 상정 이상의 토크가 발생하여, 그 토크가 로터에 부하되었을 때, 로터의 회전 날개에 형성하고 있는 파단 개소 규제 수단의 개소가, 예정되어 있는 형상 등으로 파단되어, 토크에 의한 충격을 흡수할 수 있다. 즉, 진공 펌프의 예정된 개소가 예정된 상태로 파단되므로, 파단 후의 처리를 정해진 순서로 간단하게 행할 수 있으며, 메인터넌스의 작업을 안정화시키고, 저렴하게 처리할 수 있는 효과가 기대된다.

도 1은, 본 발명의 일 실시 형태로서 나타내는 진공 펌프의 평면도이다.
도 2는, 도 1의 A-A선을 따르는 종단 측면도이다.
도 3은, 도 1 및 도 2에 나타낸 진공 펌프에 사용되고 있는 회전 날개의 평면도이다.
도 4는, 도 3의 B-B선을 따르는 종단 측면도이다.
도 5는, 상술한 진공 펌프에 있어서의 파단 개소 규제 수단으로서의 홈의 일례를 설명하는 단면도이다.
도 6은, 상술한 진공 펌프에 있어서의 파단 개소 규제 수단으로서의 홈의 일 변형예를 설명하는 단면도이다.
도 7은, 상술한 진공 펌프에 있어서의 파단 개소 규제 수단으로서의 홈의 다른 변형예를 설명하는 단면도이다.
도 8은, 본 발명의 다른 실시 형태로서 나타내는 진공 펌프의 평면도이다.
도 9는, 도 1의 C-C선을 따르는 종단 측면도이다.
도 10은, 도 8 및 도 9에 나타낸 진공 펌프에 사용되고 있는 회전 날개의 평면도이다.
도 11은, 도 10의 D-D선을 따르는 종단 측면도이다.

본 발명은, 로터의 회전 방향으로 로터를 회전시키는 상정 이상의 토크가 순식간에 발생했을 때, 예정된 개소가 예정된 상태로 파단되도록 하여, 저렴하고 안정된 충격 흡수성을 발휘하는 구조를 구비하는 진공 펌프, 및, 진공 펌프에 이용되는 로터 그리고 회전 날개를 제공한다는 목적을 달성하기 위해, 흡기구 또는 배기구가 형성된 케이싱과, 상기 케이싱의 내측에 배치되는 고정부와, 상기 고정부에 회전이 자유롭게 지지된 샤프트, 및, 외주부에 복수의 블레이드를 다단형으로 배치하여 원통 형상으로 형성되며, 상기 샤프트에 일체 회전 가능하게 고정되는 회전 날개를 갖고, 상기 케이싱에 내포되는 로터를 구비한 진공 펌프로서, 상기 회전 날개에, 상기 회전 날개의 강성을 국소적으로 저하시켜 상기 회전 날개의 파단되는 개소를 규제하는 파단 개소 규제 수단을 형성하는 구성으로 함으로써 실현했다.

[실시예]

이하, 본 발명의 실시 형태에 따른 일 실시예를 첨부 도면에 의거하여 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 실시예에 있어서, 구성 요소의 수, 수치, 양, 범위 등을 언급하는 경우, 특별히 명시한 경우 및 원리적으로 명백하게 특정한 수로 한정되는 경우를 제외하고, 그 특정한 수로 한정되는 것이 아니라, 특정한 수 이상이어도 이하여도 상관없다.

또, 구성 요소 등의 형상, 위치 관계를 언급할 때는, 특별히 명시한 경우 및 원리적으로 명백하게 그렇지 않다고 생각되는 경우 등을 제외하고, 실질적으로 그 형상 등에 근사 또는 유사한 것 등을 포함한다.

또, 도면은, 특징을 이해하기 쉽게 하기 위해 특징적인 부분을 확대하는 등 하여 과장하는 경우가 있으며, 구성 요소의 치수 비율 등이 실제와 같다고는 한정하지 않는다. 또, 단면도에서는, 구성 요소의 단면 구조를 이해하기 쉽게 하기 위해, 일부의 구성 요소의 해칭을 생략하는 경우가 있다.

또, 이하의 설명에 있어서, 상하나 좌우 등의 방향을 나타내는 표현은, 절대적인 것은 아니고, 본 발명의 웨이퍼 연마 장치의 각 부가 그려져 있는 자세인 경우에는 적절하지만, 그 자세가 변화되었을 경우에는 자세의 변화에 따라 변경하여 해석되어야 할 것이다. 또, 실시예의 설명 전체를 통해 같은 요소에는 같은 부호를 붙이고 있다.

도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 진공 펌프(10)의 일 실시예를 나타내는 것으로, 도 1은 그 평면도, 도 2는 도 1의 A-A선을 따르는 종단 측면도이다.

도 1 및 도 2에 나타내는 진공 펌프(10)는, 가스 배기 기구로서의 분자 펌프 기구부(10A)와 나사 홈식 펌프 기구부(10B)를 구비한 복합 펌프이다. 진공 펌프(10)는, 예를 들면, 반도체 제조 장치, 플랫·패널·디스플레이 제조 장치, 솔라·패널 제조 장치에 있어서의 프로세스 챔버나 그 외 밀폐 챔버의 가스 배기 수단 등으로서 사용된다.

도 1에 나타내는 바와 같이 진공 펌프(10)는, 케이싱(11)을 구비하고 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 케이싱(11)은, 통 형상의 펌프 케이스(11A)와 펌프 베이스(11B)를, 그 통축 방향으로 체결 부재(12)로 일체로 연결함으로써, 바닥이 있는 대략 원통 형상으로 되어 있다.

펌프 케이스(11A)의 상단부측(도 2에 있어서 지면(紙面) 상방)은 흡기구(13)로서 개구하고 있으며, 또, 도 2에 나타내는 바와 같이, 펌프 베이스(11B)에는 배기구(14)를 형성하고 있다. 또한, 흡기구(13)에는, 플랜지(15)가 형성되고, 배기구(14)에는, 플랜지(16)가 형성되어 있다. 흡기구(13)의 플랜지(15)에는, 예를 들면, 반도체 제조 장치의 프로세스 챔버 등, 고 진공이 되는 도시하지 않은 밀폐 챔버가 접속되고, 배기구(14)의 플랜지(16)에는, 도시하지 않은 보조 펌프 등이 연통 접속된다.

그리고, 케이싱(11)의 내부에는, 배기 기능을 발휘시키는 구조물이 수납되어 있으며, 밀폐 챔버 내의 기체(가스)를 흡기구(13)로부터 흡인하고, 배기구(14)로부터 배출된다. 이로 인해, 예를 들면, 반도체 제조를 위한 반응 가스나 그 외의 가스를 밀폐 챔버로부터 배출할 수 있다. 또한, 도 1 및 도 2에서는, 진공 펌프(10)를 상하로 배치한 구조로 되어 있는데, 진공 펌프(10)를 가로로 하여 밀폐 챔버의 옆에 장착하거나, 혹은, 흡기구(13)를 하측으로 하여 밀폐 챔버의 상부에 장착할 수도 있다.

더욱 상세하게 설명하면, 배기 기능을 발휘하는 구조물은, 크게 나누어 회전이 자유롭게 지지된 로터(17)와, 케이싱(11)에 대해 고정된 스테이터(18)로 구성되어 있다.

로터(17)는, 회전 날개(19)와 샤프트(20) 등으로 구성되어 있다.

회전 날개(19)는, 도 1 및 도 2에 더하여 도 3 및 도 4에도 나타내는 바와 같이, 흡기구(13)측(분자 펌프 기구부(10A))에 배치되는 제1 원통부(21a)와 배기구(14)측(나사 홈식 펌프 기구부(10B))에 배치되는 제2 원통부(21b)를 일체로 형성해서 이루어지는 원통 부재(21)를 갖고 있다.

제1 원통부(21a)는, 개략 원통 형상을 한 부재이며, 분자 펌프 기구부(10A)의 로터부(17a)를 구성하고 있다. 제1 원통부(21a)의 외주면에는, 도 1 및 도 3, 도 4에 나타내는 바와 같이, 회전 날개(19) 및 샤프트(20)의 축선에 수직인 면으로부터 외측을 향해 방사상으로 뻗은 복수의 블레이드(22)를 회전 방향으로 대략 등간격으로 설치하고 있다. 또, 각 블레이드(22)는, 수평 방향에 대해 소정의 각도만큼 동일 방향으로 경사져 있다. 그리고, 제1 원통부(21a)에서는, 이들 방사상으로 뻗은 복수의 블레이드(22)가, 축방향으로 소정의 간격을 두고 복수단 형성되어 있다.

또, 도 2, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 원통부(21a)의 축방향 중간 정도에는, 샤프트(20)와 결합하기 위한 격벽(23)이 형성되어 있다. 격벽(23)에는, 샤프트(20)의 상단측을 삽입 장착하기 위한 축 구멍(23a)과, 샤프트(20)를 고정하는 설치 볼트(24)를 장착하기 위한 볼트 구멍(23b)이 형성되어 있다. 볼트 구멍(23b)은, 축 구멍(23a)을 중심으로 하여 그려지는 동심원 상에, 둘레 방향으로 등간격으로 8개 형성되어 있다. 볼트 구멍(23b)의 개수는, 이것으로 한정되는 것은 아니다.

제2 원통부(21b)는, 외주면이 원통 형상을 한 부재이며, 나사 홈식 펌프 기구부(10B)의 로터부(17b)를 구성하고 있다.

샤프트(20)는, 로터(17)의 축을 구성하는 원기둥 부재로서, 도 2에 나타내는 바와 같이, 그 상단부에는, 설치 볼트(24)에 의해, 제1 원통부(21a)의 격벽(23)과 나사 고정되는 차양부(20a)가 일체로 형성되어 있다. 따라서, 차양부(20a)에는, 격벽(23)의 볼트 구멍(23b)에 대응하여, 8개의 도시하지 않은 설치 구멍이 형성되어 있다. 그리고, 샤프트(20)는, 제1 원통부(21a)의 내측(하측)으로부터, 샤프트(20)와 일체화된 차양부(20a)가 격벽(23)의 하면에 맞닿을 때까지, 상단부를 축 구멍(23a)에 삽입한 후, 격벽(23)의 상면측으로부터 볼트 구멍(23b)을 통해 차양부(20a)의 설치 구멍에 설치 볼트(24)를 나사 고정함으로써, 원통 부재(21)와 고정되어 일체화되어 있다.

샤프트(20)의 축방향 중간 정도에는, 외주면에 영구 자석이 고착되어 있으며, 모터부(25)의 로터(17)측의 부분을 구성하고 있다. 이 영구 자석이 샤프트(20)의 외주에 형성하는 자극(磁極)은, 외주면의 반 바퀴에 걸쳐 N극이 되고, 나머지 반 바퀴에 걸쳐 S극이 되도록 되어 있다.

또한, 샤프트(20)의 상단측(흡기구(13)측)에는, 샤프트(20)를 모터부(25)에 대해 레이디얼 방향으로 지지하기 위한 자기 베어링부(26)에 있어서의 로터(17)측의 부분이 형성되고, 하단측(배기구(14)측)에, 똑같이 샤프트(20)를 모터부(25)에 대해 레이디얼 방향으로 지지하기 위한 자기 베어링부(27)에 있어서의 로터(17)측의 부분이 형성되어 있다. 또, 샤프트(20)의 하단에는, 샤프트(20)를 축방향(스러스트 방향)으로 자기 베어링부(28)의 로터(17)측의 부분이 형성되어 있다.

또, 자기 베어링부(26, 27)의 근방에는, 각각 변위 센서(29, 30)의 로터(17)측의 부분이 형성되어 있으며, 샤프트(20)의 레이디얼 방향의 변위를 검출할 수 있게 되어 있다.

또한, 샤프트(20)의 하단에는 변위 센서(31)의 로터(17)측의 부분이 형성되어 있으며, 샤프트(20)의 축방향의 변위를 검출할 수 있게 되어 있다.

이들, 자기 베어링부(26, 27) 및 변위 센서(29, 30)의 로터(17)측의 부분은, 로터(17)의 샤프트 방향으로 강판을 적층한 적층 강판에 의해 구성되어 있다. 이는, 자기 베어링부(26, 27), 변위 센서(29, 30)의 스테이터(18)측의 부분을 구성하는 코일이 발생시키는 자계에 의해 샤프트(20)에 와전류가 발생하는 것을 막기 위해서이다.

이상으로 설명한 로터(17)는, 스테인리스나 알루미늄 합금 등의 금속을 이용하여 구성되어 있다.

또, 로터(17)에 있어서의 회전 날개(19)의 제1 원통부(21a)에는, 파단 개소 규제 수단으로서의 파단 개소 규제 홈(32)이 형성되어 있다.

파단 개소 규제 홈(32)은, 도 1~도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 원통부(21a)의 외주면에 축방향을 따라 형성된 제1 파단 개소 규제 홈(32a)과, 도 2 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 제2 원통부(21b)와 인접하는 제1 원통부(21a)의 하단 외주를 따라 형성된 제2 파단 개소 규제 홈(32b)으로 구성되어 있다.

제1 파단 개소 규제 홈(32a)은, 제1 원통부(21a)의 외주면에, 축방향으로 서로 이웃하는 블레이드(22) 사이에서, 그 원주 방향으로 대략 등간격으로 점재하며, 또한, 회전 날개(19)의 축방향을 따라 형성되어 있다. 제1 파단 개소 규제 홈(32a)은, 원통 부재(21)의 재질이나 두께 등에 따라서도 다르지만, 예를 들면 폭이 5.8밀리, 깊이가 8~15밀리이며, 단면 형상은 도 5에 나타내는 바와 같이, 반원 형상의 오목 곡면형이다. 제1 원통부(21a)의 제1 파단 개소 규제 홈(32a)을 형성한 회전 날개(19)에 있어서의 제1 원통부(21a)의 개소는, 제1 파단 개소 규제 홈(32a)을 형성하지 않은 다른 개소보다 박육이 되어, 기계적 강도가 저하된다. 이로 인해, 상정 이상의 토크가 발생하여, 로터(17)에 부하되었을 때, 회전 날개(19)인 제1 원통부(21a)의 외주면에 축방향을 따라 형성되어 있는 제1 파단 개소 규제 홈(32a)을 형성하고 있는 개소의 부분이, 축방향을 따라 예정된 상태로 파단되고, 이 파단에 의해 토크에 의한 진공 펌프(10) 전체의 충격을 흡수할 수 있다.

제2 파단 개소 규제 홈(32b)은, 제2 원통부(21b)와 인접하는 제1 원통부(21a)의 하단 외주를 따라, 수평으로 대략 한 바퀴 형성되어 있다. 제2 파단 개소 규제 홈(32b)은, 제1 파단 개소 규제 홈(32a)과 마찬가지로, 원통 부재(21)의 재질이나 두께 등에 따라서도 다르지만, 예를 들면 폭이 5.8밀리, 깊이가 8~15밀리이며, 단면 형상은 제1 파단 개소 규제 홈(32a)과 같이 반원 형상의 오목 곡면형이다. 제1 원통부(21a)의 하단 외주에, 제2 원통부(21b)와 인접하여 제2 파단 개소 규제 홈(32b)을 형성함으로써, 제2 파단 개소 규제 홈(32b)을 형성한 회전 날개(19)에 있어서의 원통 부재(21)의 개소는, 제1 파단 개소 규제 홈(32a)의 경우와 마찬가지로, 홈을 형성하지 않은 다른 개소보다 박육이 되어, 기계적 강도가 저하된다. 이로 인해, 상정 이상의 토크가 발생하여, 그 토크가 로터(17)에 부하되었을 때, 제2 원통부(21b)와 인접하는 제1 원통부(21a)의 하단 외주를 따라 형성되어 있는 제2 파단 개소 규제 홈(32b)을 형성하고 있는 원통 부재(21)의 개소가, 제1 원통부(21a)와 제2 원통부(21b) 사이의 대략 경계선의 부분(도 4에 부호 33을 붙여 1점 쇄선으로 나타내는 부분. 이하 이것을 「경계선(33)」이라고 한다.)인 예정된 개소에서 파단되고, 제1 원통부(21a)와 제2 원통부(21b)로 분리하여, 이 파단에 의해 토크에 의한 충격을 흡수할 수 있다.

케이싱(11)의 내주측에는, 스테이터(18)가 형성되어 있다. 스테이터(18)는, 흡기구(13)측(분자 펌프 기구부(10A))에 설치된 스테이터 블레이드(34)와, 배기구(14)측(나사 홈식 펌프 기구부(10B))에 설치된 나사 홈 스페이서(35) 등으로 구성되어 있다.

스테이터 블레이드(34)는, 샤프트(20)의 축선에 수직인 평면으로부터 소정의 각도만큼 경사져 케이싱(11)의 내주면으로부터 샤프트(20)를 향해 뻗은 블레이드로 구성되어 있으며, 분자 펌프 기구부(10A)에서는, 이들 스테이터 블레이드(34)가 축방향으로, 회전 날개(19)의 블레이드(22)와 엇갈리게 복수단 형성되어 있다. 각 단의 스테이터 블레이드(34)는, 원통 형상을 한 스페이서(36)에 의해 서로 떨어져 있다.

나사 홈 스페이서(35)는, 내주면에 나선홈(35a)이 형성된 원기둥 부재이다. 나사 홈 스페이서(35)의 내주면은, 소정의 클리어런스(간극)를 두고 원통 부재(21)에 있어서의 제2 원통부(21b)의 외주면에 대면하도록 되어 있다. 나사 홈 스페이서(35)에 형성된 나선홈(35a)의 방향은, 나선홈(35a) 안을 로터(17)의 회전 방향으로 가스가 수송된 경우, 배기구(14)를 향하는 방향이다. 나선홈(35a)의 깊이는 배기구(14)에 가까워짐에 따라 얕아지도록 되어 있으며, 나선홈(35a)을 수송되는 가스는 배기구(14)에 가까워짐에 따라 압축되도록 되어 있다.

이들 스테이터(18)는 스테인리스나 알루미늄 합금 등의 금속을 이용하여 구성되어 있다.

펌프 베이스(11B)는, 원판 형상을 가진 부재로서, 레이디얼 방향 중앙에는, 로터(17)의 회전 축선과 동심에 원통 형상을 갖는 스테이터 칼럼(37)이, 흡기구(13)의 방향을 향해 장착되어 있다. 스테이터 칼럼(37)은, 모터부(25), 자기 베어링부(26, 27), 및 변위 센서(29, 30)의 스테이터측의 부분을 지지하고 있다.

모터부(25)에서는, 소정의 극수(極數)의 스테이터 코일이 스테이터 코일의 내주측에 등간격으로 배치되어, 샤프트(20)에 형성된 자극의 주위에 회전 자계를 발생할 수 있게 되어 있다. 또, 스테이터 코일의 외주에는, 스테인리스 등의 금속으로 구성된 원통 부재인 칼라(38)가 배치되어 있으며, 모터부(25)를 보호하고 있다.

자기 베어링부(26, 27)는, 회전 축선 둘레의 90도마다 배치된 코일로 구성되어 있다. 그리고, 자기 베어링부(26, 27)는, 이들 코일이 발생시키는 자계로 샤프트(20)를 흡인함으로써, 샤프트(20)를 레이디얼 방향으로 자기 부상시킨다.

스테이터 칼럼(37)의 바닥부에는, 자기 베어링부(28)가 형성되어 있다. 자기 베어링부(28)는, 샤프트(20)로부터 돌출된 원판과, 이 원판의 상하에 배치된 코일로 구성되어 있다. 이들 코일이 발생시키는 자계가 이 원판을 흡인함으로써, 샤프트(20)가 축방향으로 자기 부상한다.

케이싱(11)의 흡기구(13)에는, 펌프 케이스(11A)의 외주측에 돌출된 플랜지(15)가 형성되어 있다. 플랜지(15)에는, 도시하지 않은 볼트를 삽입 통과시키기 위한 볼트 구멍(39)과, 마찬가지로 도시하지 않은 진공 용기측의 플랜지의 기밀성을 유지하기 위한 O링을 장착하는 홈(40)이 형성되어 있다.

이상과 같이 구성된 진공 펌프(10)는, 이하와 같이 동작하여, 진공 용기로부터 가스를 배출한다.

우선, 자기 베어링부(26, 27, 28)가 샤프트(20)를 자기 부상시킴으로써, 로터(17)를 비접촉으로 공간 중에 지지한다.

다음에, 모터부(25)가 작동하고, 로터(17)를 소정의 방향으로 회전시킨다. 회전 속도는 예를 들면 매분 3만 회전 정도이다. 본 실시예에서는, 로터(17)의 회전 방향을 도 2의 화살표 E방향으로 봤을 때, 도 1의 화살표 R로 나타내는 시계 방향으로 한다. 또한, 반시계 방향으로 회전하도록 진공 펌프(10)를 구성하는 것도 가능하다.

로터(17)가 회전하면, 회전 날개(19)의 블레이드(22)와 스테이터(18)의 스테이터 블레이드(34)의 작용에 의해, 흡기구(13)로부터 가스가 흡인되고, 하단으로 갈수록 압축된다. 분자 펌프 기구부(10A)에서 압축된 가스는, 또한 나사 홈식 펌프 기구부(10B)에서 압축되어, 배기구(14)로부터 배출된다.

다음에, 이와 같이 구성된 진공 펌프(10)에 있어서, 로터(17)에 상정 이상의 토크가 발생하여, 그 토크가 로터(17)에 부하되었을 때의 처리에 대해서 설명한다.

이 실시예의 진공 펌프(10)에서는, 제1 원통부(21a)의 외주면에, 복수의 제1 파단 개소 규제 홈(32a)과, 제2 파단 개소 규제 홈(32b)이 형성되어 있으며, 이들 제1 파단 개소 규제 홈(32a) 및 제2 파단 개소 규제 홈(32b)을 형성한 회전 날개(19)의 개소는, 제1 파단 개소 규제 홈(32a) 및 제2 파단 개소 규제 홈(32b)을 형성하지 않은 다른 개소보다 박육이 되어, 기계적 강도가 저하되고 있다. 그 때문에, 상정 이상의 토크가 발생하여 로터(17)에 부하되면, 제1 파단 개소 규제 홈(32a) 또는/및 제2 파단 개소 규제 홈(32b)의 개소에서, 그들 홈을 따라 예정된 상태로 파단되고, 제1 원통부(21a)와 제2 원통부(21b)를 복수개로 분리시켜, 분리에 따라 토크에 의한 충격을 흡수한다. 여기에서는, 예를 들면 제1 원통부(21a)에 복수의 각 제1 파단 개소 규제 홈(32a)을 따라 균열이 들어가, 제1 원통부(21a)가 축방향으로 파단되어 복수개로 분할되고, 또는/및 제1 원통부(21a)와 제2 원통부(21b) 사이가 도 4에 나타내는 경계선(33)을 따라 원주 방향으로 파단되어 복수개로 분할된다. 즉, 제1 파단 개소 규제 홈(32a) 또는/및 제2 파단 개소 규제 홈(32b)이 예정된 개소에서, 예정된 상태로 파단되므로, 파단 후의 처리를 정해진 순서로 간단하게 행할 수 있다. 이로 인해, 메인터넌스의 작업을 안정화시키고, 저렴하게 처리할 수 있다.

또, 파단 개소 규제 수단으로서의 제1 파단 개소 규제 홈(32a)은, 샤프트(20)와 볼트를 개재하여 고정되는 복수의 볼트 구멍(23b)에 각각 대응하여 형성되어 있다. 그 때문에, 제1 파단 개소 규제 홈(32a)을 형성한 부분과 볼트 구멍(23b)을 형성한 개소는, 다른 개소보다 취약화되어 기계적 강도가 저하되고 있으므로, 상정 이상의 토크가 발생하여, 그 토크가 로터(17)에 부하되었을 때, 제1 파단 개소 규제 홈(32a)과, 그 제1 파단 개소 규제 홈(32a)과 볼트 구멍(23b)이 이어지는 개소에서도 예정된 상태로 파단되기 쉽게 하고 있으며, 이 개소에서의 파단에 있어서도 토크에 의한 충격을 흡수하도록 하고 있으므로, 파단 후의 처리를 정해진 순서로 간단하게 행할 수 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 제1 파단 개소 규제 홈(32a) 및 제2 파단 개소 규제 홈(32b)의 단면 형상을, 도 5에 나타내는 바와 같이 반원 형상의 오목 곡면형으로 한 구조를 개시했는데, 이 반원 형상의 오목 곡면형으로 한정하지 않고, 예를 들면, 도 6에 나타내는 바와 같이 사각 오목면 형상, 혹은 도 7에 나타내는 바와 같이 V자 오목면 형상으로 해도 되는 것이다.

도 8~도 11은 본 발명에 따른 진공 펌프(10)의 일 변형예를 나타내는 것이며, 도 8은 그 평면도, 도 9는 도 8의 C-C선을 따르는 종단 측면도, 도 10은 도 8 및 도 9에 나타낸 진공 펌프에 사용되고 있는 회전 날개(19)의 평면도, 도 11은 도 10의 D-D선을 따르는 종단 측면도이다. 도 8~도 11에 나타내는 변형예는, 도 1~도 7에 나타낸 실시예의 진공 펌프(10)에 있어서의 제1 파단 개소 규제 홈(32a)이, 제1 원통부(21a)의 외주면에, 그 원주 방향으로 대략 등간격으로 점재하며, 또한, 회전 날개(19)의 축방향을 따라 형성되어 있는 것에 반해, 제1 원통부(21a)의 내주면에, 그 원주 방향으로 대략 등간격으로 점재하며, 또한, 회전 날개(19)의 축방향을 따라 형성되어 이루어지는 구조로 한 것이다. 이 이외의 구성은 도 1~도 4와 동일하므로, 동일한 구성 부분은 동일 부호를 붙여 중복 설명을 생략한다.

따라서, 도 1~도 4에 나타낸 실시예와 구조가 상이한 부분을 설명하면, 파단 개소 규제 홈(32)의 제1 파단 개소 규제 홈(132a)은, 제1 원통부(21a)의 내주면에 축방향을 따라 형성되고, 파단 개소 규제 홈(32)의 제2 파단 개소 규제 홈(32b)은, 도 1~도 4에 나타낸 실시예와 마찬가지로, 제2 원통부(21b)와 인접하는 제1 원통부(21a)의 하단 외주를 따라 형성되어 있다.

제1 파단 개소 규제 홈(132a)은, 도 8~도 11에 나타내는 바와 같이, 제1 원통부(21a)의 내주면에, 그 원주 방향으로 대략 등간격으로 점재하며, 또한, 회전 날개(19)의 축방향을 따라 형성되어 있다. 여기서의 제1 파단 개소 규제 홈(132a)은, 원통 부재(21)의 재질이나 두께 등에 따라서도 다르지만, 예를 들면 폭이 5.8밀리, 깊이가 8~15밀리이며, 제1 파단 개소 규제 홈(132a)을 형성함에 따라, 제1 파단 개소 규제 홈(132a)을 형성한 회전 날개(19)의 개소는, 홈을 형성하지 않은 다른 개소보다 박육이 되어, 기계적 강도가 저하된다. 또, 제1 파단 개소 규제 홈(132a)은, 샤프트(20)와 볼트를 개재하여 고정되는 복수의 볼트 구멍(23b)에 각각 대응하여 형성되어 있다. 그 때문에, 제1 파단 개소 규제 홈(32a)을 형성한 부분과 볼트 구멍(23b)을 형성한 개소는, 다른 개소보다 취약화되어 기계적 강도가 저하되도록 설정되어 있다. 이로 인해, 로터(17)에 상정 이상의 토크가 발생하여, 그 토크가 로터(17)에 부하되면, 회전 날개(19)인 제1 원통부(21a)의 내주면에 축방향을 따라 형성되어 있는 제1 파단 개소 규제 홈(132a)의 개소가 축방향을 따라 예정된 상태로 파단되고, 이 파단에 의해 토크에 의한 충격을 흡수할 수 있다.

따라서, 도 8~도 11에 나타낸 변형예에서도, 제1 원통부(21a)의 내주면에, 그 원주 방향으로 대략 등간격으로, 또한, 회전 날개(19)의 축방향을 따라 제1 파단 개소 규제 홈(132a)이 복수 형성되어 있음과 더불어, 제2 원통부(21b)와 인접하는 제1 원통부(21a)의 하단 외주에, 제1 원통부(21a)의 외주를 둘러싸 수평으로 대략 일주하여 형성되어 있는 제2 파단 개소 규제 홈(32b)이 형성되어 있다. 이들, 제1 파단 개소 규제 홈(132a) 및 제2 파단 개소 규제 홈(32b)을 형성한 회전 날개(19)의 개소는, 제1 파단 개소 규제 홈(132a) 및 제2 파단 개소 규제 홈(32b)을 형성하지 않은 다른 개소보다 박육이 되어, 기계적 강도가 저하되고 있다. 그 때문에, 상정 이상의 토크가 발생하여 로터(17)에 부하되면, 제1 파단 개소 규제 홈(132a) 또는/및 제2 파단 개소 규제 홈(32b)의 개소에서, 그들 홈을 따라 예정된 상태로 파단되고, 제1 원통부(21a)와 제2 원통부(21b)를 복수개로 분리시켜, 분리에 따라 토크에 의한 충격을 흡수한다. 여기에서는, 예를 들면 제1 원통부(21a)에 복수의 각 제1 파단 개소 규제 홈(132a)을 따라 균열이 들어가, 제1 원통부(21a)가 축방향으로 파단되어 복수개로 분할되고, 또는/및 제1 원통부(21a)와 제2 원통부(21b) 사이가 도 4에 나타내는 경계선(33)을 따라 원주 방향으로 파단되어 복수개로 분할된다. 즉, 제1 파단 개소 규제 홈(132a) 또는/및 제2 파단 개소 규제 홈(32b)이 예정된 개소에서, 예정된 상태로 파단되므로, 파단 후의 처리를 정해진 순서로 간단하게 행할 수 있다. 이로 인해, 메인터넌스의 작업을 안정화시키고, 저렴하게 처리할 수 있다.

또한, 이 변형예에 있어서의 진공 펌프(10)에서는, 제2 파단 개소 규제 홈(32b)을, 제1 원통부(21a)의 외주를 둘러싸 수평으로 대략 일주하도록 하여 형성한 구조를 개시하고 있는데, 제1 원통부(21a)의 내주측에 수평으로 대략 일주하도록 하여 형성한 구조로 해도 되는 것이다.

또, 파단 개소 규제 수단으로서의 제1 파단 개소 규제 홈(132a)은, 샤프트(20)와 볼트를 개재하여 고정되는 복수의 볼트 구멍(23b)에 각각 대응하여 형성되어 있으므로, 제1 파단 개소 규제 홈(132a)을 형성한 부분과 볼트 구멍(23b)을 형성한 개소는, 다른 개소보다 취약화되어 기계적 강도가 저하되고 있다. 그 때문에, 로터(17)에 상정 이상의 토크가 발생하여, 그 토크가 로터(17)에 부하되었을 때, 제1 파단 개소 규제 홈(32a)과, 그 제1 파단 개소 규제 홈(132a)과 볼트 구멍(23b)이 이어지는 개소가 예정된 상태로 파단되고, 토크에 의한 충격을 흡수하므로, 파단 후의 처리를 정해진 순서로 간단하게 행할 수 있다.

또, 이 변형예에서도, 제1 파단 개소 규제 홈(132a) 및 제2 파단 개소 규제 홈(32b)의 단면 형상은, 반원면 형상으로 형성되어 있는 구조를 개시했는데, 이 반원면 형상으로 한정하지 않고, 예를 들면, 사각면 형상, 혹은 V자면 형상 등으로 해도 되는 것이다.

또한, 본 발명은, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 한 여러 가지 개변을 행할 수 있으며, 그리고, 본 발명이 당해 개변된 것에 미치는 것은 당연하다.

10：진공 펌프 10A：분자 펌프 기구부
10B：나사 홈식 펌프 기구부 11：케이싱
11A：펌프 케이스 11B：펌프 베이스
12：체결 부재 13：흡기구
14：배기구 15：플랜지
16：플랜지 17：로터
17a：로터부 17b：로터부
18：스테이터 19：회전 날개
20：샤프트 20a：차양부
21：원통 부재 21a：제1 원통부
21b：제2 원통부 22：블레이드
23：격벽 23a：축 구멍
23b：볼트 구멍 24：설치 볼트
25：모터부 26：자기 베어링부
27：자기 베어링부 28：자기 베어링부
29：변위 센서 30：변위 센서
31：변위 센서 32：파단 개소 규제 홈
32a：제1 파단 개소 규제 홈 32b：제2 파단 개소 규제 홈
33：경계선 34：스테이터 블레이드
35：나사 홈 스페이서 35a：나선홈
36：스페이서 37：스테이터 칼럼
38：칼라 39：볼트 구멍
40：홈 132a：제1 파단 개소 규제 홈
E：화살표 R：화살표

Claims (7)

1. 흡기구 또는 배기구가 형성된 케이싱과, 상기 케이싱의 내측에 배치되는 고정부와, 상기 고정부에 회전이 자유롭게 지지된 샤프트, 및, 외주부에 복수의 블레이드를 다단형으로 배치하여 원통 형상으로 형성되며, 상기 샤프트에 일체 회전 가능하게 고정되는 회전 날개를 갖고, 상기 케이싱에 내포되는 로터를 구비한 진공 펌프로서,
   상기 회전 날개에, 상기 회전 날개의 강성을 국소적으로 저하시켜 상기 회전 날개의 파단되는 개소를 규제하는 파단 개소 규제 수단을 형성한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 파단 개소 규제 수단은, 축방향으로 서로 이웃하는 상기 블레이드 사이에서, 상기 회전 날개의 축방향을 따라 상기 회전 날개의 외주면에 형성된 홈인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 파단 개소 규제 수단은, 상기 회전 날개의 내주면에, 상기 회전 날개의 축방향을 따라 형성된 홈인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 파단 개소 규제 수단은, 상기 회전 날개의 외주면 또는 내주면 중 적어도 어느 한쪽에, 상기 회전 날개의 둘레 방향을 따라 형성된 홈인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
5. 청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 홈은, 상기 샤프트에 상기 회전 날개를 장착하기 위해 상기 회전 날개에 형성되어 있는 복수의 볼트 구멍과 대응하여 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
6. 흡기구 또는 배기구가 형성된 진공 펌프에 있어서의 케이싱의 내측에 배치되는 고정부에 회전이 자유롭게 장착되는 로터로서,
   상기 고정부에 회전이 자유롭게 지지된 샤프트와,
   외주부에 복수의 블레이드를 다단형으로 배치하여 원통 형상으로 형성되며, 상기 샤프트에 일체 회전 가능하게 고정되는 회전 날개와,
   상기 회전 날개에 형성되며, 상기 회전 날개의 강성을 국소적으로 저하시켜 상기 회전 날개의 파단되는 개소를 규제하는 파단 개소 규제 수단
   을 구비하는 것을 특징으로 하는 로터.
7. 흡기구 또는 배기구가 형성된 진공 펌프에 있어서의 케이싱의 내측에 배치되는 고정부에 샤프트를 개재하여 회전이 자유롭게 장착되는 회전 날개로서,
   외주부에 복수의 블레이드를 다단형으로 배치하여 원통 형상으로 형성된 원통 부재와,
   상기 원통 부재에 형성되며, 상기 원통 부재의 강성을 국소적으로 저하시켜 상기 원통 부재의 파단되는 개소를 규제하는 파단 개소 규제 수단
   을 구비하는 것을 특징으로 하는 회전 날개.

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