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KR20210077276A - An apparatus for supplying clean air - Google Patents

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KR20210077276A
KR20210077276A KR1020190168734A KR20190168734A KR20210077276A KR 20210077276 A KR20210077276 A KR 20210077276A KR 1020190168734 A KR1020190168734 A KR 1020190168734A KR 20190168734 A KR20190168734 A KR 20190168734A KR 20210077276 A KR20210077276 A KR 20210077276A
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정구향
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Abstract

장착부를 가지는 장치 프레임과, 장치 프레임의 일측에 설치되는 에어 유입모듈과, 장치 프레임의 타측에 설치되는 에어 배출모듈과, 에어 유입모듈에 연통되도록 장착부에 착탈 가능하게 설치되는 레귤레이터와, 레귤레이터에 연통되도록 장착부에 착탈 가능하게 설치되어 통과하는 에어 압력을 측정하는 압력 측정기와, 압력 측정기를 경유한 에어를 필터링하여 클린에어를 생산하도록 압력 측정기에 연통되게 장착부에 착탈 가능하게 설치되는 필터유닛 및 필터유닛에 연통되도록 필터유닛과 에어 배출모듈 사이에 착탈 가능하게 설치되어, 필터유닛을 통과하면서 낮아진 압력을 보상하는 압력보상기를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린 에어 공급장치가 개시된다.A device frame having a mounting part, an air inlet module installed on one side of the device frame, an air exhaust module installed on the other side of the device frame, a regulator detachably installed in the mounting part so as to communicate with the air inlet module, and the regulator communicates with the regulator A pressure measuring device that is detachably installed in the mounting part to measure the passing air pressure, and a filter unit and filter unit that are detachably installed in the mounting part to communicate with the pressure measuring device to produce clean air by filtering the air passing through the pressure measuring device. Disclosed is a clean air supply device that is detachably installed between the filter unit and the air discharge module so as to communicate with the air conditioner and includes a pressure compensator for compensating for a pressure lowered while passing through the filter unit.

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Figure pat00001

Description

클린 에어 공급장치{AN APPARATUS FOR SUPPLYING CLEAN AIR}Clean air supply device {AN APPARATUS FOR SUPPLYING CLEAN AIR}

본 발명은 클린 에어 공급장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 생산 공정에서 필요한 고압의 에어를 정화하여 공급할 수 있는 클린 에어 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a clean air supply device, and more particularly, to a clean air supply device capable of purifying and supplying high-pressure air required in a semiconductor production process.

일반적으로 반도체 제조공정에서 직접 회로를 구성하는 단위 소자들은 실리콘 웨이퍼 상에 사진, 확산, 식각, 증착, 세정 등의 공정이 반복적으로 이루어져 반도체 소자로 제조된다.In general, unit devices constituting a direct circuit in a semiconductor manufacturing process are manufactured as semiconductor devices by repeatedly performing processes such as photography, diffusion, etching, deposition, and cleaning on a silicon wafer.

상기와 같은 공정을 진행하는 반도체 제조설비가 구비된 주변 환경에 포함된 이물질에 의해서 오염되는 것을 방지하기 위하여, 필터에 의한 고도로 정화된 클린에어가 공급된다.In order to prevent contamination by foreign substances contained in the surrounding environment in which the semiconductor manufacturing facility undergoing the above process is provided, highly purified clean air by a filter is supplied.

예를 들면, 마스크(mask) 또는 레티클(raticle)을 이용하여 웨이퍼 상에 원하는 패턴(pattern)을 노광전사하는 스테퍼(stepper) 설비는, 주변 환경에 포함된 불순물에 의해서 조명계, 각종 미러(mirror), 렌즈 부분이 열화되는 것을 방지하기 위해서 필터에 의해 필터링 된 클린에어를 조명계, 각종 미러, 렌즈 부위 등에 공급하고 있다.For example, a stepper facility for exposing and transferring a desired pattern on a wafer by using a mask or a reticle uses an illumination system and various mirrors due to impurities contained in the surrounding environment. , In order to prevent deterioration of the lens part, clean air filtered by a filter is supplied to the illumination system, various mirrors, and lens parts.

이처럼 클린에어를 공급하기 위해서는 필터를 포함하는 정화설비와 일정 압력 이상으로 클린에어를 공급하기 위한 설비가 요구되는데, 이러한 클린 에어 공급장치는 각종 파이프라인과 필터 및 압력조절을 위한 각종 장치가 구비되어 있으므로, 구조가 복잡하다. 따라서, 이러한 클린 에어 공급장치를 조립 및 설치하는 과정에서 많은 배관 공수 작업 등으로 인하여 오염물질이 발생될 수 있으며, 또한 필터 등의 교체 시기를 정확하게 확인하기 어려운 문제점이 있다.As such, in order to supply clean air, a purification facility including a filter and a facility for supplying clean air above a certain pressure are required. The clean air supply device is equipped with various pipelines, filters, and various devices for pressure control. Therefore, the structure is complicated. Therefore, in the process of assembling and installing such a clean air supply device, contaminants may be generated due to a lot of plumbing work, etc., and there is a problem in that it is difficult to accurately check the replacement time of the filter or the like.

특히, 필터를 교환하고, 클린 에어 공급을 위한 각종 부품을 교체 및 유지 관리함에 있어서, 파이프의 연결 및 분리 작업 시에 미세한 파티클 등이 발생하여 주변을 오염시키는 문제점이 있었다.In particular, when replacing filters and replacing and maintaining various parts for supplying clean air, there is a problem in that fine particles are generated during connection and separation of pipes to contaminate the surroundings.

대한민국 공개특허 제10-2006-0004152호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2006-0004152

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 창안된 것으로서, 구조가 간단하고 클린 에어를 설정된 압력과 유량으로 안정되게 공급할 수 있는 클린 에어 공급장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was devised in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a clean air supply device that has a simple structure and can stably supply clean air at a set pressure and flow rate.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 클린 에어 공급장치는, 장착부를 가지는 장치 프레임; 상기 장치 프레임의 일측에 설치되는 에어 유입모듈; 상기 장치 프레임의 타측에 설치되는 에어 배출모듈; 상기 에어 유입모듈에 연통되도록 상기 장착부에 착탈 가능하게 설치되는 레귤레이터; 상기 레귤레이터에 연통되도록 상기 장착부에 착탈 가능하게 설치되어 통과하는 에어 압력을 측정하는 압력 측정기; 상기 압력 측정기를 경유한 에어를 필터링하여 클린에어를 생산하도록 상기 압력 측정기에 연통되게 상기 장착부에 착탈 가능하게 설치되는 필터유닛; 및 상기 필터유닛에 연통되도록 상기 필터유닛과 에어 배출모듈 사이에 착탈 가능하게 설치되어, 상기 필터유닛을 통과하면서 낮아진 압력을 보상하는 압력보상기;를 포함하는 것을 특징으로 한다.A clean air supply device of the present invention for achieving the above object, the device frame having a mounting portion; an air inlet module installed on one side of the device frame; an air exhaust module installed on the other side of the device frame; a regulator detachably installed in the mounting part so as to communicate with the air inlet module; a pressure measuring device detachably installed in the mounting unit to communicate with the regulator and measuring the air pressure passing through; a filter unit detachably installed in the mounting part to communicate with the pressure gauge to filter the air passing through the pressure gauge to produce clean air; and a pressure compensator which is detachably installed between the filter unit and the air exhaust module so as to communicate with the filter unit and compensates for the pressure lowered while passing through the filter unit.

이로써, 부품들을 모듈화하여 장치 프레임이 용이하게 장착 및 분리할 수 있게 되어, 조립 및 유지 관리가 용이하다.As a result, the components are modularized so that the device frame can be easily mounted and dismounted, thereby facilitating assembly and maintenance.

여기서, 상기 필터유닛은, 일측의 에어 입구와 타측에 에어 출구 각각에 연통되게 내부에 필터 수용부를 가지는 필터 하우징; 상기 필터 하우징에 장착되는 필터 카트리지; 및 상기 필터 하우징에 연결되어, 상기 필터 카트리지의 오염 정도를 모니터링하는 필터 모니터링부;를 포함하는 것이 바람직하다.Here, the filter unit may include: a filter housing having an air inlet on one side and a filter accommodating part inside to communicate with the air outlet on the other side; a filter cartridge mounted on the filter housing; and a filter monitoring unit connected to the filter housing to monitor the degree of contamination of the filter cartridge.

이로써, 필터 카트리지의 교체 시기를 모니터링하여 클린에어를 안정적으로 생산하여 공급할 수 있다.Accordingly, it is possible to stably produce and supply clean air by monitoring the replacement time of the filter cartridge.

또한, 상기 필터 하우징은, 양측에 각각 상기 에어 입구와 에어 출구가 형성되는 메인 하우징; 상기 메인 하우징의 상부에 결합되는 커버 하우징;을 포함하고, 상기 필터 수용부는 상기 메인 하우징과 커버 하우징에 걸쳐서 형성되고, 상기 커버 하우징에서 상기 메인 하우징을 상하로 경유하여 상기 필터 수용부의 상부와 상기 에어 출구를 연결하는 배출경로가 형성되는 것이 좋다.In addition, the filter housing may include a main housing having the air inlet and the air outlet formed on both sides, respectively; and a cover housing coupled to an upper portion of the main housing, wherein the filter accommodating portion is formed over the main housing and the cover housing, and passes through the main housing in the cover housing up and down to form an upper portion of the filter accommodating portion It is preferable that a discharge path connecting the outlet is formed.

이로써, 필터 카트리지를 용이하게 교환 장착할 수 있다.Thereby, the filter cartridge can be easily replaced and mounted.

또한, 상기 필터 모니터링부는, 상기 필터 하우징의 상부에 설치되는 모니터링 본체; 상기 모니터링 본체에 설치되어 상기 필터카트리지의 상류의 에어 압력을 측정하는 1차 압력측정부; 상기 모니터링 본체에 설치되어 상기 필터카트리지의 하류의 에어 압력을 측정하는 2차 압력측정부; 및 상기 1차 및 2차 압력측정부에서 측정된 압력을 비교하여 압력 차에 따른 필터카트리지의 교체 시기를 판단하는 판단제어부;를 포함하는 것이 좋다.In addition, the filter monitoring unit, the monitoring body installed on the upper portion of the filter housing; a primary pressure measuring unit installed in the monitoring body to measure the air pressure upstream of the filter cartridge; a secondary pressure measuring unit installed in the monitoring body to measure the air pressure downstream of the filter cartridge; and a judgment control unit that compares the pressures measured by the primary and secondary pressure measurement units and determines the replacement timing of the filter cartridge according to the pressure difference.

이로써, 필터카트리지의 상류 및 하류 각각의 에어 압력 차를 측정하여 필터카트리지의 교체시기를 용이하게 확인할 수 있다.Accordingly, it is possible to easily check the replacement time of the filter cartridge by measuring the air pressure difference between the upstream and downstream of the filter cartridge.

또한, 상기 필터 하우징에는, 상기 필터 수용부의 상류에 연결되는 에어 입구와 연통되며 상기 1차 압력측정부가 연결되는 1차 오리피스관과, 상기 필터 수용부의 상부와 연통되고 상기 2차 압력측정부가 연결되는 2차 오리피스관이 형성되는 것이 좋다.In addition, in the filter housing, a primary orifice pipe communicated with an air inlet connected to the upstream of the filter accommodating part and connected to the first pressure measuring part, and the upper part of the filter accommodating part communicating with the second pressure measuring part are connected It is preferable that a secondary orifice tube is formed.

본 발명의 클린 에어 공급장치에 따르면, 부품들을 모듈화하여 조립 및 분리가 용이하며, 그로 인해 설치 및 유지보수시간을 단축하여 오염물질의 발생을 최소화할 수 있다.According to the clean air supply device of the present invention, it is easy to assemble and separate parts by modularizing them, thereby reducing the installation and maintenance time to minimize the generation of contaminants.

특히, 각 부품을 모듈화하여 조립할 수 있으므로, 조립 및 분리 작업 시의 파티클 등의 발생을 억제하여 주변 환경의 오염을 줄일 수 있는 이점이 있다.In particular, since each part can be modularized and assembled, there is an advantage in that it is possible to reduce the pollution of the surrounding environment by suppressing the generation of particles during assembly and separation operations.

또한, 클린 에어의 공급 및 배출압력을 측정하여 필터를 모니터링하여 필터의 오염 정도를 정확하게 확인하여 필터의 교체 시기를 판단할 수 있다.In addition, by measuring the supply and discharge pressure of the clean air, the filter can be monitored to accurately check the contamination level of the filter to determine when to replace the filter.

따라서, 클린 에어를 안정적으로 설정 압력과 유량으로 공급할 수 있다.Therefore, clean air can be stably supplied at a set pressure and flow rate.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 클린 에어 공급장치를 나타내 보인 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 클린 에어 공급장치의 분리 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 클린 에어 공급장치의 분리된 상태를 보인 정면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 클린 에어 공급장치의 평면도이다.
도 5는 도 4의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도이다.
도 6은 도 4에 도시된 필터유닛을 발췌하여 보인 단면도이다.1 is a perspective view showing a clean air supply device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view of the clean air supply device shown in FIG. 1 .
3 is a front view showing the separated state of the clean air supply device shown in FIG.
FIG. 4 is a plan view of the clean air supply device shown in FIG. 1 .
5 is a cross-sectional view taken along line I-I of FIG. 4 .
6 is a cross-sectional view showing the filter unit shown in FIG.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 클린 에어 공급장치를 자세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a clean air supply device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 클린 에어 공급장치(100)는 장치 베이스(110)와, 장치 베이스(110)의 일측에 설치되는 에어 유입모듈(120), 에어 유입모듈(120)에 연결되는 레귤레이터(130)와, 압력 게이지(140)와, 필터유닛(150)과, 압력보상기(160) 및 압력보상기(160)에 연결되는 에어 배출모듈(170)을 구비한다.1 to 6 , the clean air supply apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes an apparatus base 110 , an air inlet module 120 installed on one side of the apparatus base 110 , and air inflow. A regulator 130 connected to the module 120, a pressure gauge 140, a filter unit 150, a pressure compensator 160, and an air discharge module 170 connected to the pressure compensator 160 are provided. .

장치 베이스(110)의 일단에 에어 유입모듈(120)이 조립되어 설치되고, 타단에 에어 배출모듈(170)이 조립되어 설치된다. 에어 유입모듈(120)과 에어 배출모듈(170)은 동일 선상에 배치되며, 장치 베이스(110)에 착탈 가능하게 설치될 수 있다. 또한, 장치 베이스(110)의 상면에는 레귤레이터(130), 압력게이지(140), 필터유닛(150) 및 압력보상기(160)가 차례로 동일 선상에 장착되는 장착부(111)가 인입되게 형성된다.The air inlet module 120 is assembled and installed on one end of the device base 110 , and the air exhaust module 170 is assembled and installed on the other end of the device base 110 . The air inlet module 120 and the air outlet module 170 are disposed on the same line and may be detachably installed on the device base 110 . In addition, the regulator 130, the pressure gauge 140, the filter unit 150, and the pressure compensator 160 are mounted on the upper surface of the device base 110 on the same line in sequence, the mounting portion 111 is formed to be drawn in.

상기 레귤레이터(130)는 레큘레이터 본체(131)의 일측에 에어 유입모듈(120)의 에어 유입경로(121)에 연결되는 에어 입구(131a)가 형성되고, 타측에는 에어 출구(131b)가 형성된다. 그리고 레귤레이터 본체(131)의 상부에는 클리닝할 에어의 공급압력과 공급량을 조절하기 위한 조절레버(133)가 설치된다.The regulator 130 has an air inlet 131a connected to the air inlet path 121 of the air inlet module 120 on one side of the regulator body 131 is formed, and an air outlet 131b is formed on the other side. . In addition, a control lever 133 for adjusting the supply pressure and supply amount of the air to be cleaned is installed on the upper portion of the regulator body 131 .

상기 압력게이지(140)는 일측에서 타측으로 연통되는 에어 통로(141a)를 가지는 게이지 몸체(141)와, 게이지 몸체(141)에 연결되어 에어 통로(141a)를 통과하는 에어의 압력을 측정하는 압력 측정부(143) 및 측정압력을 출력하는 출력부(145)를 가진다. 에어 통로(141a)의 입구는 레귤레이터(130)의 에어 출구(131b)와 연결된다. 압력측정부(143)는 에어 통로(141a)에 연결되도록 게이지 몸체(141)에 상하로 형성되는 오리피스관(141b)을 통해 에어 통로(141a)를 통과하는 에어의 압력을 측정한다. 압력측정부(143)에서 측정된 압력은 출력부(145)로 전달된다. 출력부(145)는 압력측정부(143)의 상부에 설치되는 디스플레이를 구비할 수 있으며, 이 디스플레이를 통해 측정 압력값이 출력되어 외부에서 확인할 수 있다.The pressure gauge 140 has a gauge body 141 having an air passage 141a communicating from one side to the other side, and is connected to the gauge body 141 to measure the pressure of air passing through the air passage 141a. It has a measuring unit 143 and an output unit 145 for outputting the measured pressure. The inlet of the air passage 141a is connected to the air outlet 131b of the regulator 130 . The pressure measuring unit 143 measures the pressure of air passing through the air passage (141a) through the orifice pipe (141b) formed up and down in the gauge body (141) so as to be connected to the air passage (141a). The pressure measured by the pressure measuring unit 143 is transmitted to the output unit 145 . The output unit 145 may include a display installed on the pressure measuring unit 143 , and the measured pressure value is output through the display and can be checked from the outside.

상기 필터유닛(150)은 압력게이지(140)에 이웃하여 하류에 설치되는 필터 하우징(141)과, 필터 하우징(151) 내부에 설치되는 필터카트리지(153)와, 필터 카트리지(153)의 오염 정도를 측정하는 필터 모니터링부(155)를 구비한다.The filter unit 150 includes a filter housing 141 installed downstream adjacent to the pressure gauge 140 , a filter cartridge 153 installed in the filter housing 151 , and a degree of contamination of the filter cartridge 153 . and a filter monitoring unit 155 for measuring .

상기 필터하우징(151)은 장치 베이스(110)의 장착부(111)에 장착되는 메인 하우징(151a)과, 메인 하우징(151a)의 상부에 결합되는 커버 하우징(151b)을 구비한다. 메인 하우징(151a)의 하부의 일측과 타측 각각에 에어 입구(a1)와 에어 입구(a2)가 형성되고, 내부에는 필터 카트리지(153)가 수용되는 필터 수용부(151c)가 형성된다. 에어 입구(a1)는 필터 수용부(151c)의 하부에 연통되게 연결되고, 에어 출구(a2)는 필터 하우징(151)의 상하로 연결되게 형성된 배출경로(a3)를 통해서 필터 수용부(151c)의 상단에 연결된다. 필터수용부(151c)는 메인 하우징(151a)과 커버 하우징(151b)에 걸쳐서 형성된다. 배출경로(a3)는 커버 하우징(151b) 측의 필터 수용부(151c)에 연통되고, 필터 하우징(151)을 상하로 연결하여 에어 출구(a2)에 연결된다. 따라서, 필터 하우징(151)의 하부의 에어 입구(a1)로 유입된 에어는 필터 수용부(151c)의 필터 카트리지(153)를 통과하면서 클린 공기로 여과된 후 필터 수용부(151c)의 상부에 연결되는 배출경로(a3)를 통해서 에어 출구(a2)로 이동된다.The filter housing 151 includes a main housing 151a mounted to the mounting part 111 of the device base 110 and a cover housing 151b coupled to an upper portion of the main housing 151a. An air inlet a1 and an air inlet a2 are formed on one side and the other side of the lower portion of the main housing 151a, respectively, and a filter receiving portion 151c in which the filter cartridge 153 is accommodated is formed. The air inlet (a1) is connected in communication with the lower part of the filter receiving part (151c), and the air outlet (a2) is the filter receiving part (151c) through the discharge path (a3) formed to be connected up and down of the filter housing (151). is connected to the top of The filter accommodating part 151c is formed over the main housing 151a and the cover housing 151b. The discharge path a3 communicates with the filter accommodating part 151c on the side of the cover housing 151b, and connects the filter housing 151 up and down to connect to the air outlet a2. Therefore, the air introduced into the air inlet (a1) of the lower part of the filter housing 151 is filtered as clean air while passing through the filter cartridge 153 of the filter receiving part 151c, and then it is applied to the upper part of the filter receiving part 151c. It is moved to the air outlet (a2) through the connected discharge path (a3).

상기 필터 카트리지(153)는 필터 수용부(151c)에 장착되며, 하단에 에어가 유입되는 입구(153a)와 상단에 정화된 에어가 배출되는 출구(153b)를 가지며, 내부에 필터(153c)가 장착된다. 이와 같은 구성의 필터 카트리지(153)는 일정 시간 사용하여 오염되어 필터(153c) 성능이 저하되면 새것으로 교체될 수 있으며, 이는 커버 하우징(151b)을 분리함으로써 가능해진다.The filter cartridge 153 is mounted on the filter receiving part 151c, has an inlet 153a through which air is introduced at the lower end and an outlet 153b through which purified air is discharged at the upper end, and the filter 153c is disposed therein. is mounted The filter cartridge 153 having such a configuration may be replaced with a new one when the filter 153c performance deteriorates due to the use of the filter cartridge 153 for a certain period of time, which is made possible by removing the cover housing 151b.

상기 필터 모니터링부(155)는 필터 하우징(151)의 상부에 설치되는 모니터링 본체(155a)와, 모니터링 본체(155a)에 설치되어 필터 카트리지(153)의 상류와 하류 각각에서의 압력을 측정하는 1차 압력측정부(155b), 2차 압력측정부(155c), 1차 및 2차 압력측정부(155b,155c)에서 측정된 압력을 비교하여 압력 차에 따른 필터 카트리지(153)의 교체 시기를 판단하는 판단제어부(155d)를 구비한다.The filter monitoring unit 155 includes a monitoring body 155a installed on the upper part of the filter housing 151 and a monitoring body 155a installed on the monitoring body 155a to measure the pressure in each of upstream and downstream of the filter cartridge 153 . The replacement time of the filter cartridge 153 according to the pressure difference is compared by comparing the pressures measured by the differential pressure measuring unit 155b, the secondary pressure measuring unit 155c, and the primary and secondary pressure measuring units 155b and 155c. and a judgment control unit 155d for judging.

상기 1차 압력측정부(155b)는 필터 하우징(151)의 에어 입구(a1)에 연결되는 1차 오리피스관(b1)에 설치되어 필터 카트리지(153)로 유입되는 에어압을 측정하고, 측정값을 판단제어부(155d)로 전달한다. 2차 압력측정부(155c)는 필터 수용부(151c)의 상부에 연통되게 형성되는 2차 오리피스관(b2)에 설치되어 필터 카트리지(153)를 경유한 에어의 압력을 측정하고, 측정값을 판단제어부(155d)로 전달한다.The primary pressure measuring unit 155b is installed in the primary orifice pipe b1 connected to the air inlet a1 of the filter housing 151 to measure the air pressure flowing into the filter cartridge 153, and the measured value is transmitted to the determination control unit 155d. The secondary pressure measuring unit (155c) is installed in the secondary orifice pipe (b2) formed in communication with the upper portion of the filter receiving unit (151c) to measure the pressure of the air passing through the filter cartridge (153), the measured value It is transmitted to the decision control unit (155d).

판단제어부(155d)는 1차 및 2차 압력측정부(155b,155c)에서 측정된 압력값을 비교하고, 비교 결과 압력차가 설정 범위를 벗어나면 필터 카트리지(153)의 교체 시기로 판단하여 미도시된 출력부 등을 통해서 필터 교체 알람 신호를 출력할 수 있다.The determination control unit 155d compares the pressure values measured by the primary and secondary pressure measurement units 155b and 155c, and if the pressure difference is out of a set range as a result of the comparison, it is determined that it is time to replace the filter cartridge 153 and is not shown. A filter replacement alarm signal can be output through the output unit.

또한, 판단제어부(155d)에서 측정된 압력 차에 대한 정보는 상기 압력보상기(160)로 전달된다.In addition, information on the pressure difference measured by the determination control unit 155d is transmitted to the pressure compensator 160 .

상기 압력보상기(160)는 필터유닛(150)과 에어 배출모듈(170) 사이에 설치되며, 하부에는 에어가 통과하는 에어통과 경로(161a)가 형성되는 장착블록(161)이 위치하고, 장착블록(161)의 상부에 압력보상기 본체(163)가 설치된다. 이러한 압력보상기(160)는 필터유닛(150)에서 측정된 1차 및 2차 압력측정부(155b)(155c)의 압력 차에 따른 배출압력의 손실을 보상하기 위한 것으로서, 에어 배출모듈(170)로 배출되는 에어 배출압력이 필터 카트리지(153)의 오염 정도에 상관없이 일정하게 유지되도록 하기 위한 것이다. 이러한 압력보상기(160)는 예를 들어, 에어통과 경로의 유로를 선택적으로 좁히거나 확장하도록 설치된 피에조 밸브를 구비할 수 있다. 따라서, 상기 피에조 밸브를 조절하여 배출압력을 보상하여 일정한 배출압력이 유지되도록 할 수 있다. 이러한 압력보상기(160)도 장치 프레임(110)의 장착부(111)에 착탈 가능하게 설치되어, 독립적으로 교체 장착을 할 수 있다.The pressure compensator 160 is installed between the filter unit 150 and the air discharge module 170, and a mounting block 161 in which an air passage path 161a through which air passes is formed is located at the lower portion, and a mounting block ( The pressure compensator body 163 is installed on the upper portion of the 161). The pressure compensator 160 is for compensating for the loss of discharge pressure due to the pressure difference between the primary and secondary pressure measuring units 155b and 155c measured in the filter unit 150, and the air discharge module 170 This is to ensure that the air discharge pressure discharged to the filter cartridge 153 is kept constant regardless of the degree of contamination of the filter cartridge 153 . The pressure compensator 160 may include, for example, a piezo valve installed to selectively narrow or expand the flow path of the air passage. Accordingly, it is possible to compensate the discharge pressure by adjusting the piezo valve to maintain a constant discharge pressure. This pressure compensator 160 is also detachably installed in the mounting part 111 of the device frame 110, and can be independently replaced and mounted.

여기서, 상기 압력보상기(160)의 구성 및 작동원리는 공지의 기술이 적용될 수 있는 것이므로, 구체적인 구성과 자세한 설명은 생략하기로 한다.Here, the configuration and operating principle of the pressure compensator 160 can be applied to a known technology, and thus a detailed configuration and detailed description thereof will be omitted.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 클린 에어 공급장치(100)는 각각의 구성요소 즉, 부품들을 모듈화하여 장치 프레임(110)에 순차적으로 장착하여 에어의 이동경로가 서로 연결되도록 할 수 있다. 즉, 별도의 파이프라인이나 조인트 등의 체결 등을 통해서 구성요소들을 연결할 필요 없이, 모듈화된 부품들을 서로 밀착시켜서 베이스 장치(110)의 장착부(111)에 장착하면 되므로 장치의 구성이 간단하고, 부품들의 수리 및 교환 장착이 용이하다. 따라서, 클린룸에서의 조립 작업 시 파티클 등의 발생을 억제하여 클린룸의 오염을 방지할 수 있으며, 짧은 작업시간에 의해 간단하게 조립 및 분리를 할 수 있어 비용을 절감하고 유지보수 관리가 용이한 이점이 있다.As described above, in the clean air supply device 100 of the present invention, each component, ie, parts, can be modularized and sequentially mounted on the device frame 110 so that the movement path of air is connected to each other. That is, without the need to connect the components through a separate pipeline or joint, etc., the modularized parts can be closely attached to each other and mounted on the mounting part 111 of the base device 110, so that the configuration of the device is simple, and the component They are easy to repair and replace. Therefore, it is possible to prevent contamination of the clean room by suppressing the generation of particles during assembly work in the clean room. There is an advantage.

또한, 필터유닛(150)의 상류와 하류 각각에서의 압력 차를 측정하여, 필터 카트리지(153)의 오염 정도를 모니터링함으로써, 필터 카트리지(153)의 교체 시기를 용이하게 확인할 수 있게 되어 항상 클린 된 에어를 공급할 수 있다.In addition, by measuring the pressure difference in each of the upstream and downstream of the filter unit 150 and monitoring the contamination level of the filter cartridge 153 , it is possible to easily check the replacement time of the filter cartridge 153 , so that it is always cleaned Air can be supplied.

또한, 필터 카트리지(153)의 오염 정도에 따라서 클린 에어의 배출압력이 저하되는 것을 압력보상기(160)를 통해 보상해줌으로써, 항상 원하는 압력으로 클린 에어를 공급할 수 있게 된다.In addition, the pressure compensator 160 compensates for a decrease in the discharge pressure of the clean air according to the degree of contamination of the filter cartridge 153, so that the clean air can always be supplied at a desired pressure.

이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범위를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정을 할 수 있음을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.In the foregoing, the present invention has been shown and described in connection with preferred embodiments for illustrating the principles of the present invention, but the present invention is not limited to the construction and operation as so shown and described. Rather, it will be apparent to those skilled in the art that many changes and modifications can be made to the present invention without departing from the spirit and scope of the appended claims.

100..클린에어 공급장치 110..장치 베이스
120..에어 유입모듈 130..레귤레이터
140..압력 게이지 150..필터유닛
151..필터 하우징 153..필터 카트리지
155..필터 모니터링부 160..압력보상기
170..에어 배출모듈100..Clean air supply device 110..Device base
120..Air inlet module 130..Regulator
140..pressure gauge 150..filter unit
151..Filter housing 153..Filter cartridge
155. Filter monitoring unit 160. Pressure compensator
170..Air exhaust module

Claims (5)

장착부를 가지는 장치 프레임;
상기 장치 프레임의 일측에 설치되는 에어 유입모듈;
상기 장치 프레임의 타측에 설치되는 에어 배출모듈;
상기 에어 유입모듈에 연통되도록 상기 장착부에 착탈 가능하게 설치되는 레귤레이터;
상기 레귤레이터에 연통되도록 상기 장착부에 착탈 가능하게 설치되어 통과하는 에어 압력을 측정하는 압력 측정기;
상기 압력측정기를 경유한 에어를 필터링하여 클린에어를 생산하도록 상기 압력 측정기에 연통되게 상기 장착부에 착탈 가능하게 설치되는 필터유닛; 및
상기 필터유닛에 연통되도록 상기 필터유닛과 에어 배출모듈 사이에 착탈 가능하게 설치되어, 상기 필터유닛을 통과하면서 낮아진 압력을 보상하는 압력보상기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린 에어 공급장치.a device frame having a mount;
an air inlet module installed on one side of the device frame;
an air exhaust module installed on the other side of the device frame;
a regulator detachably installed in the mounting part so as to communicate with the air inlet module;
a pressure measuring device that is detachably installed in the mounting unit to communicate with the regulator and measures the air pressure passing therethrough;
a filter unit detachably installed in the mounting part to communicate with the pressure gauge to filter the air passing through the pressure gauge to produce clean air; and
and a pressure compensator which is detachably installed between the filter unit and the air discharge module so as to communicate with the filter unit and compensates for the pressure lowered while passing through the filter unit. 제1항에 있어서, 상기 필터유닛은,
일측의 에어 입구와 타측에 에어 출구 각각에 연통되게 내부에 필터 수용부를 가지는 필터 하우징;
상기 필터 하우징에 장착되는 필터카트리지; 및
상기 필터 하우징에 연결되어, 상기 필터카트리지의 오염 정도를 모니터링하는 필터 모니터링부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린 에어 공급장치.According to claim 1, wherein the filter unit,
a filter housing having an air inlet on one side and a filter accommodating part inside to communicate with the air outlet on the other side;
a filter cartridge mounted on the filter housing; and
and a filter monitoring unit connected to the filter housing to monitor the contamination level of the filter cartridge. 제2항에 있어서, 상기 필터 하우징은,
양측에 각각 상기 에어 입구와 에어 출구가 형성되는 메인 하우징;
상기 메인 하우징의 상부에 결합되는 커버 하우징;을 포함하고,
상기 필터 수용부는 상기 메인 하우징과 커버 하우징에 걸쳐서 형성되고,
상기 커버 하우징에서 상기 메인 하우징을 상하로 경유하여 상기 필터 수용부의 상부와 상기 에어 출구를 연결하는 배출경로가 형성되는 것을 특징으로 하는 클린 에어 공급장치.According to claim 2, wherein the filter housing,
a main housing having the air inlet and the air outlet formed on both sides respectively;
Including; a cover housing coupled to the upper portion of the main housing;
The filter receiving portion is formed over the main housing and the cover housing,
A clean air supply device, characterized in that the cover housing passes through the main housing up and down to form a discharge path connecting the upper portion of the filter accommodating portion and the air outlet. 제2항에 있어서, 상기 필터 모니터링부는,
상기 필터 하우징의 상부에 설치되는 모니터링 본체;
상기 모니터링 본체에 설치되어 상기 필터카트리지의 상류의 에어 압력을 측정하는 1차 압력측정부;
상기 모니터링 본체에 설치되어 상기 필터카트리지의 하류의 에어 압력을 측정하는 2차 압력측정부; 및
상기 1차 및 2차 압력측정부에서 측정된 압력을 비교하여 압력 차에 따른 필터카트리지의 교체 시기를 판단하는 판단제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린 에어 공급장치.The method of claim 2, wherein the filter monitoring unit,
a monitoring body installed on the upper part of the filter housing;
a primary pressure measuring unit installed in the monitoring body to measure the air pressure upstream of the filter cartridge;
a secondary pressure measuring unit installed in the monitoring body to measure the air pressure downstream of the filter cartridge; and
and a determination control unit that compares the pressures measured by the primary and secondary pressure measurement units and determines when to replace the filter cartridge according to the pressure difference. 제4항에 있어서,
상기 필터 하우징에는,
상기 필터 수용부의 상류에 연결되는 에어 입구와 연통되며 상기 1차 압력측정부가 연결되는 1차 오리피스관과, 상기 필터 수용부의 상부와 연통되고 상기 2차 압력측정부가 연결되는 2차 오리피스관이 형성되는 것을 특징으로 하는 클린 에어 공급장치.5. The method of claim 4,
In the filter housing,
A primary orifice pipe that communicates with the air inlet connected to the upstream of the filter accommodating part and to which the primary pressure measuring part is connected, and a secondary orifice pipe which communicates with the upper part of the filter accommodating part and to which the secondary pressure measuring part is connected Clean air supply device, characterized in that.
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