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KR20210067304A - 굴곡 또는 처진 부분의 불량 검사가 가능한 시스템 및 방법 - Google Patents

굴곡 또는 처진 부분의 불량 검사가 가능한 시스템 및 방법 Download PDF

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KR20210067304A
KR20210067304A KR1020190156766A KR20190156766A KR20210067304A KR 20210067304 A KR20210067304 A KR 20210067304A KR 1020190156766 A KR1020190156766 A KR 1020190156766A KR 20190156766 A KR20190156766 A KR 20190156766A KR 20210067304 A KR20210067304 A KR 20210067304A
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홍재화
이현주
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(주)쎄미시스코
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Abstract

대상체의 굴곡 또는 처진 부분의 불량도 검사할 수 있는 불량 검사 시스템 및 방법이 개시된다. 반사 방식으로 대상체를 검사하는 불량 검사 시스템은 대상체로 수직하게 제 1 광을 입사시키는 제 1 조명부, 상기 대상체로 비스듬하게 제 2 광을 입사시키는 제 2 조명부 및 감지부를 포함한다. 여기서, 상기 제 1 광은 상기 대상체로부터 수직하게 반사되고, 상기 제 2 광은 상기 대상체에서 난반사되며, 상기 감지부는 상기 반사에 따른 반사광과 상기 난반사에 따른 난반사 광을 감지하고, 상기 제 1 조명부와 상기 제 2 조명부는 상하로 배열되며, 상기 감지부는 상기 반사광을 통하여 상기 대상체 중 굴곡 또는 처짐이 발생하지 않은 영역의 불량을 감지하고 상기 난반사 광을 통하여 상기 대상체 중 굴곡 또는 처짐이 발생한 영역의 불량을 감지한다.

Description

굴곡 또는 처진 부분의 불량 검사가 가능한 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD CAPABLE OF INSPECTING DEFECT OF CURVED PART OR DROOPED PART}
본 발명은 굴곡 또는 처진 부분의 불량 검사가 가능한 시스템 및 방법에 관한 것이다.
기판을 반송할 때 투과 조명을 사용하여 불량 검사가 불가능한 경우 상부 조명을 이용하여 반사 방식으로 기판의 불량을 검사한다.
그러나, 이러한 불량 검사 방법은 도 1에 도시된 바와 같이 진동에 의해 기판의 일부에 굴곡이 발생하거나 처짐이 발생하면, 카메라로 상기 기판을 촬영하여 획득된 이미지 중 굴곡 또는 처진 부분이 도 2에 도시된 바와 같이 검게 나온다. 즉, 굴곡 또는 처진 부분의 불량을 검사할 수가 없다.
KR 10-2012-0035484 A
본 발명은 대상체의 굴곡 또는 처진 부분의 불량도 검사할 수 있는 불량 검사 시스템 및 방법을 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 반사 방식으로 대상체를 검사하는 불량 검사 시스템은 대상체로 수직하게 제 1 광을 입사시키는 제 1 조명부; 상기 대상체로 비스듬하게 제 2 광을 입사시키는 제 2 조명부; 및 감지부를 포함한다. 여기서, 상기 제 1 광은 상기 대상체로부터 수직하게 반사되고, 상기 제 2 광은 상기 대상체에서 난반사되며, 상기 감지부는 상기 반사에 따른 반사광과 상기 난반사에 따른 난반사 광을 감지하고, 상기 제 1 조명부와 상기 제 2 조명부는 상하로 배열되며, 상기 감지부는 상기 반사광을 통하여 상기 대상체 중 굴곡 또는 처짐이 발생하지 않은 영역의 불량을 감지하고 상기 난반사 광을 통하여 상기 대상체 중 굴곡 또는 처짐이 발생한 영역의 불량을 감지한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 불량 검사 방법은 제 1 광을 대상체에 수직하게 입사시키는 단계; 제 2 광을 상기 대상체에 비스듬하게 입사시키는 단계; 상기 대상체로부터 반사된 제 1 광에 해당하는 제 1 반사광과 상기 대상체로부터 반사된 제 2 광에 해당하는 제 2 반사광을 감지하는 단계; 및 상기 감지된 반사광들을 통하여 상기 대상체의 불량을 검사하는 단계를 포함한다. 여기서, 상기 제 1 광과 상기 제 2 광은 동일한 파장을 가지며, 상기 제 2 광은 상기 대상체에서 난반사되어 상기 대상체의 굴곡 또는 처진 부분의 불량 검사를 가능하게 한다.
본 발명에 따른 불량 검사 시스템 및 방법은 제 1 광을 대상체로 수직하게 입사시키면서 제 2 광을 상기 대상체로 비스듬하게 입사시켜 난반사시키므로, 굴곡 또는 처짐이 발생하지 않은 영역뿐만 아니라 굴곡 또는 처짐이 발생한 영역의 불량도 정확히 검사할 수 있다.
도 1은 종래의 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다.
도 2는 종래의 불량 검사 방법에 따른 이미지를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다.
도 5는 불량 검사 결과를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다.
본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 또한, 명세서에 기재된 "...부", "모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어 또는 소프트웨어로 구현되거나 하드웨어와 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
본 발명은 디스플레이 대상체, 예를 들어 기판의 불량 검사 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 상기 대상체에 굴곡이나 쳐짐이 발생하더라도 상기 대상체의 불량을 정확하게 검출할 수 있다.
특히, 본 발명의 시스템은 반사 방식으로 검사해야 하는 대상체의 불량을 검사하기에 적합하다.
예를 들어, 상기 시스템은 로봇 팔 위에 놓인 채로 이동되는 대상체의 불량 검사, 금속이 형성된 기판의 불량 검사 등을 수행할 수 있다. 이러한 대상체는 광의 대다수가 통과하지 않기 때문에 투과 방식으로 불량을 검사할 수 없으며 반사 방식으로 불량을 검사하여야 한다.
종래의 검사 방식에서는 대상체에 굴곡이 발생하거나 처짐이 발생하면 도 2에 도시된 바와 같이 굴곡 또는 처짐이 발생한 영역의 불량이 제대로 검출되지 않았다.
따라서, 본 발명은 굴곡 또는 처짐이 발생한 영역의 불량도 정확하게 검출할 수 있는 시스템 및 방법을 제안한다.
이하, 본 발명의 다양한 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상술하겠다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체 불량 검사 시스템을 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이며, 도 5는 불량 검사 결과를 도시한 도면이다. 설명의 편의를 위하여 대상체(302)가 로봇 팔(300) 위에 놓여 있다고 가정한다.
도 3을 참조하면, 본 실시예의 불량 검사 시스템은 제 1 조명부(304), 제 2 조명부(306) 및 감지부(308)를 포함한다.
제 1 조명부(304)는 대상체(302), 예를 들어 기판에 수직한 광을 출력시키며, 감지부(308)의 하부에 배열될 수 있다.
이러한 제 1 조명부(304)는 제 1 몸체(310), 제 1 광원(312) 및 하프 미러(314)를 포함할 수 있다.
또한, 제 1 몸체(310) 중 감지부(308)의 직하부 부분, 즉 감지부(308)와 마주보는 부분은 투명한 유리(316)로 이루어질 수 있다. 유리(316)를 통하여 반사광이 감지부(308)로 전달된다. 물론, 유리(316) 대신 홀로 이루어질 수도 있으나, 홀로 이루어지면 먼지 등이 제 1 조명부(304) 및 제 2 조명부(306)로 침투할 수 있으므로 효율적이지 못하다.
제 1 광원(312)은 제 1 몸체(310)의 내측 일부분, 바람직하게는 측면에 형성되며, 예를 들어 LED일 수 있다.
하프 미러(314)는 유리(316) 하부에 배열되며, 제 1 광원(312)으로부터 입사된 광을 도 3에 도시된 바와 같이 대상체(302) 방향으로 반사시킨다. 이 경우, 하프 미러(314)에 의해 반사된 광은 대상체(302)로 수직하게 입사되며, 그 결과 대상체(302)로부터 반사된 광은 대상체(302)에 수직한 방향, 즉 하프 미러(314)의 방향으로 진행한다. 하프 미러(314)로 입사된 반사광 중 일부가 하프 미러(314)를 투과하여 감지부(308)로 입사된다.
제 2 조명부(306)는 대상체(302) 중 굴곡 또는 처짐이 발생한 부분의 불량을 검사하기 위해 사용하는 조명으로, 제 2 몸체(320), 제 2 조명들(324a 및 324b) 및 돔 형상의 반사체들(322a 및 322b)을 포함할 수 있다.
제 2 몸체(320)는 예를 들어 상하부에 홀이 형성된 직육면체 형상을 가질 수 있다. 상하부에 형성된 홀들은 제 1 조명부(304)의 유리(316)에 대응하여, 예를 들어 나란히 배열될 수 있다. 결과적으로, 제 2 조명부(306)의 홀들, 유리(316) 및 감지부(308)가 상하로 나란히 배열될 수 있다. 이는 대상체(302)로부터 반사된 반사광이 감지부(308)에 수신되도록 하기 위해서이다.
이러한 제 2 몸체(320) 위에 제 1 몸체(310)가 놓여질 수 있다.
제 2 조명들(324a 및 324b)은 제 2 몸체(320)의 바닥들에 놓여질 수 있으며, 예를 들어 LED이다.
제 1 반사체(322a)는 제 2 조명(324a)에 대응하여 배열되고, 제 2 반사체(322b)는 제 2 조명(324b)에 대응하여 배열될 수 있다. 결과적으로, 제 2 조명(324a)으로부터 출력된 광이 제 1 반사체(322a)에 의해 반사된 후 하부 홀을 통하여 대상체(302)로 입사되고, 제 2 조명(322b)으로부터 출력된 광이 제 2 반사체(322b)에 의해 반사된 후 하부 홀을 통하여 대상체(302)로 입사될 수 있다.
대상체(302)로 입사된 반사체들(322a 및 322b)은 난반사되며, 난반사된 광이 제 2 몸체(320)의 홀들, 하프 미러(314) 및 제 1 조명부(304)의 유리(316)를 통하여 감지부(308)로 입사된다.
이하, 이러한 구조의 불량 검사 시스템의 검사 과정을 살펴보겠다.
우선, 제 1 조명(312)은 제 1 광을 출력하고, 제 2 조명들(324a 및 324b)은 제 2 광을 출력할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 제 1 광 및 상기 제 2 광은 동시에 출력되고 동일한 파장을 가질 수 있다. 상기 제 1 광 및 상기 제 2 광이 다른 파장을 가지면 감지부(308), 예를 들어 카메라가 포커싱을 할 수가 없어서 복수의 감지부들을 사용하여야만 한다. 따라서, 본 발명의 불량 검사 시스템은 하나의 감지부(308)를 사용하기 위하여 동일한 파장의 제 1 광 및 제 2 광을 사용할 수 있다.
제 1 조명(312)만 사용할 때 제 1 광의 세기를 80으로 하고 제 2 조명들(324a 및 324b)만 사용할 때 제 2 광의 세기를 100으로 가정하면, 제 1 조명(312)과 제 2 조명들(324a 및 324b)을 함께 사용할 때는 상기 제 1 광과 상기 제 2 광의 세기는 예를 들어 각기 50과 100일 수 있다.
즉, 제 1 조명(312)과 제 2 조명들(324a 및 324b)을 함께 사용하여 불량 검사할 때 제 1 조명(312)으로부터 출력되는 제 1 광의 세기가 제 1 조명(312)만 사용하여 대상체(302)를 검사할 때 제 1 조명(312)으로부터 출력되는 제 1 광의 세기보다 작을 수 있다. 이는 상기 제 1 광이 제 2 조명들(324a 및 324b)로부터 출력된 제 2 광에 의해 영향을 받기 때문이다.
이미지 상으로는, 도 5에 도시된 바와 같이 대상체(302) 전체로 유사한 세기의 광이 입사되도록 제 1 조명(312)으로부터 출력되는 제 1 광과 제 2 조명들(324a 및 324b)로부터 출력되는 제 2 광의 세기를 조정할 수 있다. 예를 들어, 도 5의 우측 이미지에서 제 1 조명(312)에 해당하는 밝은 부분의 밝기와 제 2 조명들(324a 및 324b)에 해당하는 밝은 부분의 밝기 차이가 3% 이하일 수 있다.
이어서, 제 1 광 중 일부가 하프 미러(314)에 의해 반사된 후 제 2 조명부(306)의 홀들을 통하여 대상체(302)로 입사되며, 대상체(302)로부터 반사된 제 1 반사광이 제 2 조명부(306)의 홀들, 하프 미러(314) 및 제 1 조명부(304)의 유리(316)를 통하여 감지부(308)로 입사될 수 있다.
또한, 제 2 광은 반사체들(322a 및 322b)에 의해 반사된 후 하부 홀을 통하여 대상체(302)로 입사된다. 이 때, 반사체들(322a 및 322b)에 의해 반사된 광은 도 3에 도시된 바와 같이 수직하게 입사되지 않고 기울어져 입사되며, 그 결과 대상체(302)에서 난반사된다. 이렇게 난반사된 광(제 2 반사광)이 제 2 조명부(306)의 홀들, 하프 미러(314) 및 제 1 조명부(304)의 유리(316)를 통하여 감지부(308)로 입사될 수 있다.
즉, 감지부(308)는 제 1 조명(312)에 의해 대상체(302)로 수직하게 입사되어 반사된 반사광과 제 2 조명들(324a 및 324b)로부터 출력되어 대상체(302)로부터 난반사된 광을 수신한다. 이 때, 검사부(미도시)는 상기 수신된 반사광과 난반사 광을 통하여 하나의 이미지(도 5의 우측 이미지)를 획득할 수 있다.
이러한 이미지는 이론적으로는 상기 반사광에 해당하는 이미지(도 5의 좌측 이미지)와 상기 난반사된 광에 해당하는 이미지(도 5의 중간 이미지)가 합쳐진 이미지에 해당할 수 있다. 구체적으로는, 도 5의 좌측 이미지에서 검은 부분 및 중간 이미지에서 밝은 부분은 굴곡 또는 처짐이 발생한 영역이므로, 이러한 좌측 이미지와 중간 이미지를 모두 포함하는 이미지에는 대상체(302)가 전체적으로 밝게 형성된다. 즉, 상기 검사부는 상기 최종 이미지를 통하여 굴곡 또는 처짐이 발생하지 않은 영역뿐만 아니라 굴곡 또는 처짐이 발생한 영역의 불량을 모두 검사할 수 있다.
정리하면, 본 실시예의 불량 검사 시스템은 제 1 조명부(304) 및 제 2 조명부(306)를 이용하여 이미지를 획득하며, 상기 이미지를 통하여 굴곡 또는 처짐이 발생하지 않은 영역의 불량뿐만 아니라 굴곡 또는 처짐이 발생한 영역의 불량도 검사할 수 있다. 이 때, 제 1 조명부(304)는 굴곡 또는 처짐이 발생하지 않은 영역의 이미지를 명확하게 보여주고, 제 2 조명부(306)는 굴곡 또는 처짐이 발생한 영역의 이미지를 명확하게 보여줄 수 있으며, 그 결과 조명부들(304 및 306)을 이용하면 굴곡 또는 처짐이 발생하지 않은 영역의 불량뿐만 아니라 굴곡 또는 처짐이 발생한 영역의 불량도 검사할 수 있다.
위에서는, 제 1 조명부(304)가 제 2 조명부(306) 위에 배열되었으나, 제 2 조명부(306)가 제 1 조명부(304) 위에 배열될 수 있다. 이 경우, 제 2 조명부(306)의 상부에 홀이 형성되지 않고 유리가 형성될 수 있고, 제 2 조명부(306)의 하부에는 홀이 여전히 형성되고 제 1 조명부(304)의 유리(316)가 홀로 대체될 수 있다.
또한, 위에서는 불량 검사 시스템이 이동하는 대상체(302)의 불량을 검사하였으나, 고정된 상태의 대상체(302)의 불량을 검사할 수도 있다. 이 경우, 제 1 조명부(304)로부터 출력된 제 1 광을 통하여 제 1 이미지를 획득하는 과정과 제 2 조명부(306)로부터 출력된 제 2 광을 통하여 제 2 이미지를 획득하는 과정이 별개로 이루어지고, 상기 획득된 이미지들을 합성하여 대상체(302)의 불량을 검사할 수 있다. 물론, 이 경우에는 제 1 조명부(304)와 제 2 조명부(306)가 동시에 광을 출력하여 불량을 검사할 수도 있다.
다른 실시예에 따르면, 도 4에 도시된 바와 같이 감지부가 제 1 조명부의 측면에 위치하고 상기 제 1 조명부의 제 1 조명이 상기 제 1 조명부의 내부 상단에 위치할 수도 있으며, 상기 제 1 조명부의 유리가 상기 감지부에 대응하도록 측면에 형성될 수 있다. 다만, 이러한 시스템에서 불량 검사 과정은 위의 실시예의 검사 과정과 유사하다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 실시예의 불량 검사 시스템은 제 1 실시예와 동일한 구조의 제 1 조명부, 제 2 조명부 및 감지부(308)뿐만 아니라 추가 투과 조명(600)을 포함할 수 있다.
추가 투과 조명(600)은 대상체(302)의 하부에 위치할 수 있다. 이는 대상체(302)가 일부 투과가 가능한 영역을 포함하며, 따라서 이러한 투과 영역을 검사하기 위하여 추가 투과 조명(600)을 사용한다.
구체적으로는, 추가 투과 조명(600)으로부터 출력된 제 3 광이 대상체(302)를 투과하여 감지부(308)로 입사된다. 따라서, 본 실시예의 불량 검사 방법은 투과 영역을 포함하지 않는 대상체뿐만 아니라 투과 영역도 포함하는 대상체의 불량도 검사할 수 있다.
한편, 전술된 실시예의 구성 요소는 프로세스적인 관점에서 용이하게 파악될 수 있다. 즉, 각각의 구성 요소는 각각의 프로세스로 파악될 수 있다. 또한 전술된 실시예의 프로세스는 장치의 구성 요소 관점에서 용이하게 파악될 수 있다.
또한 앞서 설명한 기술적 내용들은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체에 기록되는 프로그램 명령은 실시예들을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다. 하드웨어 장치는 실시예들의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.
상기한 본 발명의 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
300 : 로봇 팔 302 : 대상체
304 : 제 1 조명부 306 : 제 2 조명부
310 : 제 1 몸체 312 : 제 1 조명
314 : 하프 미러 320 : 제 2 몸체
322a, 322b : 반사체 324a, 324b : 제 2 조명

Claims (10)

  1. 반사 방식으로 대상체를 검사하는 불량 검사 시스템에 있어서,
    대상체로 수직하게 제 1 광을 입사시키는 제 1 조명부;
    상기 대상체로 비스듬하게 제 2 광을 입사시키는 제 2 조명부; 및
    감지부를 포함하되,
    상기 제 1 광은 상기 대상체로부터 수직하게 반사되고, 상기 제 2 광은 상기 대상체에서 난반사되며, 상기 감지부는 상기 반사에 따른 반사광과 상기 난반사에 따른 난반사 광을 감지하고,
    상기 제 1 조명부와 상기 제 2 조명부는 상하로 배열되며, 상기 감지부는 상기 반사광을 통하여 상기 대상체 중 굴곡 또는 처짐이 발생하지 않은 영역의 불량을 감지하고 상기 난반사 광을 통하여 상기 대상체 중 굴곡 또는 처짐이 발생한 영역의 불량을 감지하는 것을 특징으로 하는 불량 검사 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제 1 광과 상기 제 2 광은 동일한 파장을 가지며, 상기 제 1 조명부 및 상기 제 2 조명부는 상기 제 1 광과 상기 제 2 광을 동시에 출력하는 것을 특징으로 하는 불량 검사 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제 1 조명부는 제 1 몸체, 제 1 조명 및 하프 미러를 포함하고, 상기 제 2 조명부는 제 2 몸체, 제 2 조명 및 돔 형상의 반사체를 포함하며, 상기 감지부, 상기 제 1 조명부, 상기 제 2 조명부 및 상기 대상체가 상하로 배열되되,
    상기 제 1 몸체 중 상기 감지부와 마주보는 영역은 투명한 유리로 형성되고, 상기 제 2 몸체 중 상기 유리와 마주보는 영역들은 홀로 형성되며,
    상기 제 1 조명으로부터 출력된 제 1 광은 상기 하프 미러에 의해 반사된 후 상기 제 2 몸체의 홀들을 통하여 상기 대상체로 수직하게 입사되며, 상기 대상체에 의해 반사된 반사광은 상기 홀들, 상기 하프 미러 및 상기 유리를 통하여 상기 감지부로 입사되고,
    상기 제 2 조명으로부터 출력된 제 2 광은 상기 반사체에 의해 반사된 후 상기 제 2 몸체 중 하부 홀을 통하여 상기 대상체로 비스듬하게 입사되어 난반사되며, 상기 난반사된 난반사 광은 상기 홀들, 상기 하프 미러 및 상기 유리를 통하여 상기 감지부로 입사되는 것을 특징으로 하는 불량 검사 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제 1 광과 상기 제 2 광을 모두 이용하여 상기 대상체의 불량을 검사할 때의 상기 제 1 조명으로부터 출력되는 제 1 광의 세기는 상기 제 1 조명으로부터 출력된 광만이 검사에 사용될 때의 제 1 광의 세기보다 작은 것을 특징으로 하는 불량 검사 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제 1 조명부는 제 1 몸체, 제 1 조명 및 하프 미러를 포함하고, 상기 제 2 조명부는 제 2 몸체, 제 2 조명 및 돔 형상의 반사체를 포함하며, 상기 감지부는 상기 제 1 조명부의 측면에 배열되되,
    상기 제 1 조명은 상기 제 1 몸체의 내측 상단에 배열되고, 상기 제 1 몸체 중 상기 감지부와 마주보는 영역은 투명한 유리로 형성되고, 상기 제 2 몸체의 상하부에 각기 홀이 형성되며,
    상기 제 1 조명으로부터 출력된 제 1 광은 상기 하프 미러에 의해 반사된 후 상기 제 2 몸체의 홀들을 통하여 상기 대상체로 수직하게 입사되며, 상기 대상체에 의해 반사된 반사광은 상기 홀들을 통과한 후 상기 하프 미러에 의해 반사된 후 상기 유리를 통하여 상기 감지부로 입사되고,
    상기 제 2 조명으로부터 출력된 제 2 광은 상기 반사체에 의해 반사된 후 상기 제 2 몸체 중 하부 홀을 통하여 상기 대상체로 비스듬하게 입사되어 난반사되며, 상기 난반사된 난반사 광은 상기 홀들을 통과한 후 상기 하프 미러에 의해 반사된 후 상기 유리를 통하여 상기 감지부로 입사되는 것을 특징으로 하는 불량 검사 시스템.
  6. 제1항에 있어서, 상기 대상체는 로봇 팔 위에 놓여지거나 금속이 코팅된 기판이며,
    상기 불량 검사는 상기 대상체가 이동하는 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 불량 검사 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 대상체의 하부에 배열되는 추가 투과 조명을 더 포함하되,
    상기 추가 투과 조명으로부터 출력된 제 3 광은 상기 대상체를 투과하여 상기 감지부로 입사되는 것을 특징으로 하는 불량 검사 시스템.
  8. 제1항에 있어서, 상기 반사광에 해당하는 밝은 부분의 밝기와 상기 난반사광에 해당하는 밝은 부분의 밝기 차이가 3% 이하인 것을 특징으로 하는 불량 검사 시스템.
  9. 제 1 광을 대상체에 수직하게 입사시키는 단계;
    제 2 광을 상기 대상체에 비스듬하게 입사시키는 단계;
    상기 대상체로부터 반사된 제 1 광에 해당하는 제 1 반사광과 상기 대상체로부터 반사된 제 2 광에 해당하는 제 2 반사광을 감지하는 단계; 및
    상기 감지된 반사광들을 통하여 상기 대상체의 불량을 검사하는 단계를 포함하되,
    상기 제 1 광과 상기 제 2 광은 동일한 파장을 가지며, 상기 제 2 광은 상기 대상체에서 난반사되어 상기 대상체의 굴곡 또는 처진 부분의 불량 검사를 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 불량 검사 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 반사광에 해당하는 밝은 부분의 밝기와 상기 난반사광에 해당하는 밝은 부분의 밝기 차이가 3% 이하이며, 상기 제 1 광과 상기 제 2 광은 동시에 출력되는 것을 특징으로 하는 불량 검사 방법.
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