KR20210050859A

KR20210050859A - 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓

Info

Publication number: KR20210050859A
Application number: KR1020190135386A
Authority: KR
Inventors: 이동훈; 유석경; 박진철; 설동규
Original assignee: (주)선재하이테크
Priority date: 2019-10-29
Filing date: 2019-10-29
Publication date: 2021-05-10

Abstract

본 발명은 코로나 방전을 이용한 정전기 제거장치에 장착되어 방전 효율을 높이고 안정된 제전 성능이 구현되도록 하는 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓에 관한 것으로서, 끝이 뾰족한 첨두부를 갖는 방전 전극이 관통 삽입되는 전극삽입구가 마련되고, 상기 전극삽입구 주변으로는 압축 기체를 분사하는 에어노즐이 마련되며, 상기 전극삽입구를 중심으로 원주 형태의 슬롯이 형성되어 대향 전극이 탈착 가능하게 삽입되는 몸체부; 상기 몸체부의 상부에 원통형으로 돌출 형성되며, 원통형의 외주면 상단에는 끼움돌기가 마련되어 정전기 제거장치에 탈착 가능하게 결합되는 장착부; 상기 몸체부의 하부의 둘레부를 따라 일정 간격으로 돌출 형성되는 복수개의 돌기부; 및 상기 복수개의 돌기부 하단을 서로 연결하여 내측이 원형인 링 형상으로 이루어지는 가이드링크부;를 포함하는 것을 기술적 요지로 한다.

Description

대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓{Discharge electrode socket with counter electrode}

본 발명은 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 코로나 방전을 이용한 정전기 제거장치에 장착되어 방전 효율을 높이고 안정된 제전 성능이 구현되도록 하는 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓에 관한 것이다.

일반적으로 반도체, 액정디스플레이, 플라즈마 디스플레이 패널, 유기EL, 다중레이어 세라믹 콘덴서 등을 제작함에 있어 고도의 청정한 작업공간을 요하는데, 이들에 대한 인쇄, 도포 및 세정 공정시 정전기로 인한 먼지 등의 이물질 부착 등으로 인해 수율의 저하, 패턴의 파피, 인쇄불량 등의 문제가 빈번하게 발생한다.

따라서 반도체 등의 공정 수행시에는 대전체 주변의 정전기 제거가 필수적이며, 이러한 정전기를 제거하기 위한 장치 중의 하나로 코로나 방전식 정전기 제거장치(이오나이저라고도 한다)가 사용되고 있다.

알려진 바와 같이, 코로나 방전식 정전기 제거장치는 교류 또는 직류 고전압을 방전침에 인가하여 방전침의 끝부분에서 코로나 방전을 일으켜서 주위 공기 중의 산소 및 질소 등을 전리하여 양이온 및 음이온을 생성한 후 팬에 의한 강제대류로 이들 양이온 및 음이온을 정전기 제거 대상물체로 송풍하여 정전기를 제거한다.

이러한 코로나 방전식 정전기 제거장치는 인가되는 전압방식에 따라 크게 교류 고전압을 이용하는 방식과 직류 고전압을 이용하는 방식의 2가지로 나눌 수 있는데, 교류 고전압 코로나 방전식 정전기 제거장치는 주로 상용 주파수(60Hz) 및 고주파(약 10kHz ~ 18kHz)를 사용하며, 직류 고전압 방식은 (± 7kV) 정도의 직류 고전압을 사용한다.

직류 고전압 방식은 대전체(정전기 제거 대상물체)로부터 근거리(약 50mm ~ 300mm)에서 정전기를 제거함에 적합한 반면에 멀리 떨어진 대전체의 정전기를 제거하기에는 부적합하다.

또한, 고주파를 이용하는 경우 고속으로 이동하는 대전체의 정전기를 제거하는데 효과적이지만 이 역시 양이온과 음이온의 발생량의 차이로 인해 정전기 제거장치로부터 생성되는 양이온과 음이온의 이온량의 불균형 문제가 발생하고, 이에 따라 잔류 정전기를 완벽히 제거할 수 없는 단점이 있다.

한편, 직류 고전압 방식은 정전기 대전체로부터 1000mm 이상의 원거리에 설치하여 정전기를 제거할 수 있어 설치 거리가 원거리인 경우에 주로 사용되고 근거리의 설치 거리에는 적합하지 않다고 알려져 있다.

도1은 종래의 판형 대향 전극을 구비한 정전기 제거장치를 도시하는 단면도이다.

일반적으로 정전기 제거장치는, 도1에 도시된 바와 같이, 소켓(1) 내부에 형성된 방전 전극(2)으로부터 절연 커버(3)의 하부면에 형성된 대향 전극(4)으로 정전유도전류가 흐르도록 하여 강한 전계를 발생시킬 수 있도록 한다.

그러나 도1에 도시된 종래의 정전기 제거장치는 대향 전극(4)이 판 형상으로 외부에 노출되어 있으며, 일정 시간 사용한 후에는 대향 전극(4)을 오염시켜서 대전 물체에 영향을 미칠 수 있다.

뿐만 아니라, 종래의 판 형상의 대향 전극(4)은 방전 전극(2)과의 사이에서 그 정전용량이 높아 고전압 발생장치의 부하를 높이고 이온 발생량을 감소시킨다.

즉, 정전기 제거장치 각각의 방전 전극(2)은 교류 고전압을 인가하기 위해 내부에서 패턴으로 연결되어 있으며, 그 패턴에 고전압이 인가되고 그에 대향하는 대향 전극(4) 사이에는 정전용량이 존재한다.

이와 같은 정전용량은 교류전류에서 이상적인 코로나 방전 파형을 유지하여야 하나, 종래의 판형의 대향 전극은 실제로는 전류를 평활시키는 작용을 하며, 코로나 방전을 하는 정전기 제거장치에서는 이온 생성 효율을 저하시키는 문제를 야기한다.

종래의 판형의 대향 전극은 코로나 방전을 하는 영역의 면적이 좁아져 이온 생성율의 감소가 이루어지는데, 교류 전류에서 부하는 L(인덕터), R(저항), C(정전용량)이고, 여기서 L은 없으며, R은 대기 영역으로 무한대의 값을 가지며, C는 대향 전극에 해당한다.

따라서 고전압 발생장치가 교류 고전압을 생성하여 방전 전극으로 출력하면 그에 따른 최대의 부하는 대향 전극이므로 대향 전극의 정전용량이 높을수록 대향 전극을 통해 흐르는 전류가 대부분을 차지하게 되며, 정전용량의 증가는 고전압 발생장치에서 부하의 증가가 된다.

그러므로 대향 전극의 면적과 거리를 최적화하여 정전용량을 낮추면 이상적인 방전 파형에 가까운 파형을 출력할 수 있으며, 또한 고전압 발생장치의 부하를 줄여 출력 효율을 증대시킬 수 있고, 이온 생성 효율의 증가는 물론 고전압 발생장치의 안정성 또한 도모할 수 있다.

한편, 본 출원인은 상술한 문제를 해결하기 위한 기술로서 대한민국 등록특허 제10-1237253호 '정전기 제거장치'를 제안한 바 있다.

등록특허 제10-1237253호의 정전기 제거장치(10)는, 도2 및 도3에 도시된 바와 같이, 방전 전극(13)이 중앙에 내장되고, 상기 방전 전극(13) 둘레에는 공기 분사노즐(13a,13b)을 구비한 방전 전극소켓(12)을 구비하며, 상기 방전 전극소켓(12)의 상부에서 결합되는 절연커버(11)의 내부 양측으로는 대향 전극을 내장하여 상기 방전 전극(13)으로의 교류 고전압 인가에 의한 코로나 방전에 의해서 대전 물체를 제전시키고, 상기 절연커버(11)는 난연성 ABS 재료로 이루어지며, 상기 대향 전극은 상기 절연커버(11)의 내부 양측에서 상기 절연커버(11)의 길이방향을 따라서 나란하게 인써트(insert) 내장된 한 쌍의 도전성 와이어(14a,14b)로 이루어지고, 상기 와이어(14a,14b)는 상기 절연커버(11)와 상기 방전 전극소켓(12)의 결합부분 하부측에서 서로 나란하게 형성되고, 그 각각은 상기 방전 전극(13)의 첨두부로부터 각각 동일거리에 위치된 것임을 특징으로 한다.

상술한 정전기 제거장치는 방전 전극소켓(13)의 상부에서 결합되는 절연커버(11)의 내부 양측으로 한 쌍의 와이어(14a,14b)로 이루어진 대향 전극을 인써트 삽입하여 내장함으로써 대향 전극이 외부로 노출되지 않아 장시간 사용하여도 오염을 방지할 수 있다.

그러나 위와 같은 종래의 정전기 제거장치는 대향 전극을 구성하는 와이어가 절연커버에 내장됨으로 인해 코로나 방전 효율이 낮고 제품 성능이 저하되는 문제점이 있다.

KR

10-0489819

B1

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10-0938955

B1

KR

10-1040298

B1

앞선 배경기술에서 도출된 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 정전기 제거장치를 구성함에 있어 코로나 방전 효율을 높이고 안정된 제품 성능을 구현할 수 있도록 하는 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓을 제공하는 것이다.

대향 전극을 장시간 사용하여 오염될 경우 손쉽게 분리하여 세척 가능함으로써 유지 관리가 용이한 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓을 제공하는 것이다.

한편, 본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기한 목적은, 본 발명의 실시예에 따라, CDA(Clean Dried Air)를 포함하는 압축 기체를 이온화하여 분사함으로써 대전체의 정전기를 제거하는 코로나 방전식 정전기 제거장치에 사용되는 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓에 있어서, 끝이 뾰족한 첨두부를 갖는 방전 전극이 관통 삽입되는 전극삽입구가 마련되고, 상기 전극삽입구 주변으로는 압축 기체를 분사하는 에어노즐이 마련되며, 상기 전극삽입구를 중심으로 원주 형태의 슬롯이 형성되어 대향 전극이 탈착 가능하게 삽입되는 몸체부; 상기 몸체부의 상부에 원통형으로 돌출 형성되며, 원통형의 외주면 상단에는 끼움돌기가 마련되어 정전기 제거장치에 탈착 가능하게 결합되는 장착부; 상기 몸체부의 하부의 둘레부를 따라 일정 간격으로 돌출 형성되는 복수개의 돌기부; 및 상기 복수개의 돌기부 하단을 서로 연결하여 내측이 원형인 링 형상으로 이루어지는 가이드링크부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓에 의해 달성될 수 있다.

바람직하게는, 상기 대향 전극의 일부는 상기 슬롯을 관통하여 상기 방전 전극의 첨두부 방향으로 일정 부분이 돌출되게 마련되는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 슬롯은, 상기 방전 전극과 수직을 이루도록 형성되는 제1슬롯홈과, 상기 몸체부를 관통하여 상기 방전 전극과 평행을 이루도록 형성되어 상기 제1슬롯홈의 일단과 연통하는 제2슬롯홈을 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 대향 전극은, 링 형태로 이루어져 상기 제1슬롯홈에 안착되는 전극지지부와, 상기 전극지지부의 내측 둘레부에서 수직한 방향으로 연장 형성되어 상기 제2슬롯홈에 관통 삽입되는 정전유도부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 돌기부와 상기 가이드링크부의 연결 구조에 의해 공기유입구가 형성되고, 상기 가이드링크부는 시계 방향으로 전협후광(前陜後廣) 형태로 이루어져 상기 공기유입구에 유입되는 공기의 와류를 유도하며, 상기 대향 전극의 돌출된 일부는 상기 공기유입구의 일정 영역을 차폐하고 상기 에어노즐부를 둘레방향으로 감싸도록 형성됨으로써 코로나 방전 효율을 높이는 것을 특징으로 한다.

상기한 실시예에 따른 본 발명에 의하면, 대향 전극이 에어노즐 주변부에 위치함으로써 코로나 방전 효율을 높이고 안정된 제품 성능을 구현할 수 있는 효과가 있다.

또한, 대향 전극을 슬롯을 통해 몸체부로부터 손쉽게 분리하여 세척 후 다시 장착할 수 있으므로 유지 관리가 용이하고 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

도1은 종래의 판형 대향 전극을 구비한 정전기 제거장치를 도시하는 단면도이고,
도2는 종래의 다른 실시예에 따른 정전기 제거장치를 도시하는 외관 사시도이고,
도3은 종래의 다른 실시예에 따른 정전기 제거장치를 도시하는 단면도이고,
도4는 본 발명의 실시예에 따른 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓에서 대향 전극이 분리되어 있는 상태를 나타낸 예시도이고,
도5는 본 발명의 실시예에 따른 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓을 도시하는 사시도이고,
도6은 본 발명의 실시예에 따른 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓의 평면도이고,
도7은 본 발명의 실시예에 따른 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓의 측면도이고,
도8은 본 발명의 실시예에 따른 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓의 측단면도이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 그리고 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며, 본 발명을 제한하고자 하는 것이 아니다. 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명하기로 한다. 한편, 해당 기술분야의 통상적인 지식을 가진자로부터 용이하게 알 수 있는 구성과 그에 대한 작용 및 효과에 대한 도시 및 상세한 설명은 간략히 하거나 생략하고 본 발명과 관련된 부분들을 중심으로 상세히 설명하도록 한다.

본 발명의 실시예에 따른 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓(100)은 CDA(Clean Dried Air)를 포함하는 압축 기체를 이온화하여 분사함으로써 대전체의 정전기를 제거하는 코로나 방전식 정전기 제거장치(200)에 사용된다. 참고로 본 발명에서 언급되는 방전 전극(P)과 대향 전극(CE)의 재질은 도전성 도체이고, 방전 전극 소켓(100)의 재질은 비도전성의 난연 ABS 합성수지 등으로 선택 가능하다.

본 발명의 실시예에 따른 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓(100)은, 도4 내지 도8에 도시된 바와 같이, 크게 몸체부(110)와, 장착부(130)와, 돌기부(150) 및 가이드링크부(170)로 구성된다.

먼저, 몸체부(110)는 끝이 뾰족한 첨두부를 갖는 방전 전극(P)이 관통 삽입되는 전극삽입구(120)가 마련되고, 상기 전극삽입구(120) 주변으로는 압축 기체를 분사하는 에어노즐(140)이 마련되며, 상기 전극삽입구(120)를 중심으로 원주 형태의 슬롯(180)이 형성되어 대향 전극(CE)이 탈착 가능하게 삽입된다. 이러한 몸체부(110)는 원반에 가까운 원통 형태로 이루어지고 둘레측에는 걸림턱이 형성되어 정전기 제거장치에 결합되는 위치를 가이드하고 기밀이 유지될 수 있도록 한다.

여기서, 상기 대향 전극(CE)의 일부는 상기 슬롯(180)을 관통하여 상기 방전 전극(P)의 첨두부 방향으로 일정 부분이 돌출되게 마련된다.

도8을 참조하면, 상기 슬롯(180)은 구체적으로, 상기 방전 전극(P)과 수직을 이루도록 형성되는 제1슬롯홈(182)과, 상기 몸체부(110)를 관통하여 상기 방전 전극(P)과 평행을 이루도록 형성되어 상기 제1슬롯홈(182)의 일단과 연통하는 제2슬롯홈(184)을 포함한다.

이에 따라, 상기 대향 전극(CE)은 상기 제1슬롯홈(182)과 상기 제2슬롯홈(184)과 대응 삽입 가능한 형태로 이루어지며, 구체적으로 링 형태로 이루어져 상기 제1슬롯홈(182)에 안착되는 전극지지부와, 상기 전극지지부의 내측 둘레부에서 수직한 방향으로 연장 형성되어 상기 제2슬롯홈(184)에 관통 삽입되는 정전유도부를 포함한다.

도5 및 도8에 도시된 바에 따르면, 상기 전극삽입구(120)의 둘레부에는 상기 방전 전극(P)의 첨두부 일부를 감싸도록 돌출되는 커버돌기(115)가 형성될 수 있다.

상기 커버돌기(115)는 상기 첨두부의 노출 면적을 제한함으로써 첨두부의 빗면에 필요 이상의 코로나 방전이 발생하여 에너지가 손실되는 것을 방지한다. 즉, 상기와 같은 커버돌기(115)의 구조에 의해 상기 방전 전극(P)의 첨두부가 전계 집중 가능한 구조가 되므로 에너지 손실이 최소화되고 고전압의 조절이 용이해질 수 있는 것이다.

덧붙여, 도6에 도시된 바에 따르면, 상기 커버돌기(115) 주위에는 복수개의 에어노즐(140)이 일정 간격을 두고 마련될 수 있다. 이때 상기 에어노즐(140)은 상기 커버돌기(115)의 돌출된 길이만큼 서로 단차를 가지게 되며, 이러한 구성에 의해 전계 집중이 가능한 구조에서 압축 기체의 유속 증가를 기대할 수 있으므로 제전 효과의 향상이 가능하다.

특히, 상기 커버돌기(115)를 사이에 두고 마주하는 한 쌍의 에어노즐(140)은 분사구의 단면적이 서로 동일하게 형성되되, 인접한 다른 한 쌍의 에어노즐(140)의 분사구 단면적보다 30% 이상 크거나 작게 형성되는 것이 바람직하다. 따라서 단면적이 서로 다른 에어노즐(140) 간의 유속 차이에 따른 상호 작용에 의해서 와류가 형성되도록 하여 유속을 높일 수 있게 된다.

여기서, 상기 에어노즐(140)은 도8에 도시된 바와 같이 그 단면부가 개구부 방향으로 점차 좁아지는 원추형 형상으로 이루어져 분사 압력을 높일 수 있도록 한다.

다음으로, 장착부(130)는 상기 몸체부(110)의 상부에 원통형으로 돌출 형성되며, 원통형의 외주면 상단에는 끼움돌기(132)가 마련되어 정전기 제거장치에 탈착 가능하게 결합된다. 이러한 장착부(130)는 본 발명에서 원통형으로 형성된 것으로 예시되어 있으나, 결합 방식에 따라 다양한 변형이 가능하다.

다음으로, 돌기부(150)는 상기 몸체부(110)의 하부의 둘레부를 따라 복수개가 일정 간격으로 돌출 형성된다. 이러한 돌기부(150)는 하방으로도 일정 길이 연장되어 후술할 가이드링크부(170)와의 연결 구조에 따른 공기유입구(160)가 형성될 수 있는 여지를 마련한다.

다음으로, 가이드링크부(170)는 상기 복수개의 돌기부(150) 하단을 서로 연결하여 내측이 원형인 링 형상으로 이루어지며, 이와 같은 가이드링크부(170)와 상기 돌기부(150)의 연결 구조에 의해 공기유입구(160)가 형성되는 것이다.

여기서, 상기 가이드링크부(170)는 시계 방향으로 전협후광(前陜後廣) 형태로 이루어지는 것이 바람직하며, 이러한 전협후광의 구조는 상기 공기유입구(160) 내부의 압축 기체 흐름의 주위에서 와류가 원활히 발생할 수 있도록 유도한다.

덧붙여, 상기 가이드링크부(170)의 내측 둘레부는 상기 공기유입구(160) 방향으로 경사지게 돌출되어 공기 유입을 원활하게 유도함으로써 주위 공기를 더욱 빠르게 유입하여 보다 빠른 유속으로 압축 기체가 분출될 수 있도록 한다. 따라서 정전기 제전 성능을 크게 향상시키고 압축 기체의 최소 유량을 사용하면서도 대전체가 보유한 정전기를 더욱 효과적으로 제거할 수 있게 되는 것이다.

한편, 도5 및 도7,도8을 참조하면, 상기 대향 전극(CE)의 돌출된 일부는 상기 공기유입구(160)의 일정 영역을 차폐하고 상기 에어노즐부()를 둘레방향으로 감싸도록 형성됨으로써 코로나 방전 효율이 향상될 수 있도록 한다.

지금까지 설명한 본 발명의 실시예에 따르면, 대향 전극이 에어노즐 주변부에 위치함으로써 코로나 방전 효율을 높이고 안정된 제품 성능을 구현할 수 있는 효과가 있다.

전술한 내용은 후술할 발명의 청구범위를 더욱 잘 이해할 수 있도록 본 발명의 특징과 기술적 장점을 다소 폭넓게 상술하였다. 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

P: 방전 전극
CE: 대향 전극
100: 방전 전극 소켓
110: 몸체부
115: 커버돌기
120: 전극삽입구
130: 장착부
132: 끼움돌기
140: 에어노즐
150: 돌기부
160: 공기유입구
170: 가이드링크부
180: 슬롯
182: 제1슬롯홈
184: 제2슬롯홈
200: 정전기 제거장치

Claims

CDA(Clean Dried Air)를 포함하는 압축 기체를 이온화하여 분사함으로써 대전체의 정전기를 제거하는 코로나 방전식 정전기 제거장치에 사용되는 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓에 있어서,
끝이 뾰족한 첨두부를 갖는 방전 전극이 관통 삽입되는 전극삽입구가 마련되고, 상기 전극삽입구 주변으로는 압축 기체를 분사하는 에어노즐이 마련되며, 상기 전극삽입구를 중심으로 원주 형태의 슬롯이 형성되어 대향 전극이 탈착 가능하게 삽입되는 몸체부;
상기 몸체부의 상부에 원통형으로 돌출 형성되며, 원통형의 외주면 상단에는 끼움돌기가 마련되어 정전기 제거장치에 탈착 가능하게 결합되는 장착부;
상기 몸체부의 하부의 둘레부를 따라 일정 간격으로 돌출 형성되는 복수개의 돌기부; 및
상기 복수개의 돌기부 하단을 서로 연결하여 내측이 원형인 링 형상으로 이루어지는 가이드링크부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓.
제1항에 있어서,
상기 대향 전극의 일부는 상기 슬롯을 관통하여 상기 방전 전극의 첨두부 방향으로 일정 부분이 돌출되게 마련되는 것을 특징으로 하는 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓.
제2항에 있어서,
상기 슬롯은,
상기 방전 전극과 수직을 이루도록 형성되는 제1슬롯홈과,
상기 몸체부를 관통하여 상기 방전 전극과 평행을 이루도록 형성되어 상기 제1슬롯홈의 일단과 연통하는 제2슬롯홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓.
제3항에 있어서,
상기 대향 전극은,
링 형태로 이루어져 상기 제1슬롯홈에 안착되는 전극지지부와,
상기 전극지지부의 내측 둘레부에서 수직한 방향으로 연장 형성되어 상기 제2슬롯홈에 관통 삽입되는 정전유도부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓.
제2항에 있어서,
상기 돌기부와 상기 가이드링크부의 연결 구조에 의해 공기유입구가 형성되고, 상기 가이드링크부는 시계 방향으로 전협후광(前陜後廣) 형태로 이루어져 상기 공기유입구에 유입되는 공기의 와류를 유도하며,
상기 대향 전극의 돌출된 일부는 상기 공기유입구의 일정 영역을 차폐하고 상기 에어노즐부를 둘레방향으로 감싸도록 형성됨으로써 코로나 방전 효율을 높이는 것을 특징으로 하는 대향 전극이 구비된 방전 전극 소켓.