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KR20210019009A - Resin material and multilayer printed wiring board - Google Patents

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KR20210019009A
KR20210019009A KR1020207035400A KR20207035400A KR20210019009A KR 20210019009 A KR20210019009 A KR 20210019009A KR 1020207035400 A KR1020207035400 A KR 1020207035400A KR 20207035400 A KR20207035400 A KR 20207035400A KR 20210019009 A KR20210019009 A KR 20210019009A
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resin material
resin
weight
inorganic filler
compound
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Korean (ko)
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스스무 바바
다츠시 하야시
가츠토시 미즈노
Original Assignee
세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤
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Publication date
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Abstract

유전 정접을 낮출 수 있으며, 또한 디라미네이션의 발생을 억제할 수 있는 수지 재료를 제공한다. 본 발명에 따른 수지 재료는, 에폭시 화합물과, 무기 충전재와, 경화제와, 트리아진 골격을 갖는 실란 커플링제를 포함하고, 상기 무기 충전재의 비표면적이, 1㎡/g 이상 50㎡/g 이하이다.A resin material capable of lowering the dielectric loss tangent and suppressing the occurrence of delamination is provided. The resin material according to the present invention includes an epoxy compound, an inorganic filler, a curing agent, and a silane coupling agent having a triazine skeleton, and the specific surface area of the inorganic filler is 1 m 2 /g or more and 50 m 2 /g or less. .

Description

수지 재료 및 다층 프린트 배선판Resin material and multilayer printed wiring board

본 발명은 에폭시 화합물과, 무기 충전재와, 경화제를 포함하는 수지 재료에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 상기 수지 재료를 사용한 다층 프린트 배선판에 관한 것이다.The present invention relates to a resin material containing an epoxy compound, an inorganic filler, and a curing agent. Further, the present invention relates to a multilayer printed wiring board using the resin material.

종래, 반도체 장치, 적층판 및 프린트 배선판 등의 전자 부품을 얻기 위해, 다양한 수지 재료가 사용되고 있다. 예를 들어, 다층 프린트 배선판에서는, 내부의 층간을 절연하기 위한 절연층을 형성하거나, 표층 부분에 위치하는 절연층을 형성하거나 하기 위해, 수지 재료가 사용되고 있다. 상기 절연층의 표면에는, 일반적으로 금속인 배선이 적층된다. 또한, 상기 절연층을 형성하기 위해, 상기 수지 재료로서, 수지 필름이 사용되는 경우가 있다. 상기 수지 재료는, 빌드업 필름을 포함하는 다층 프린트 배선판용 절연 재료 등으로서 사용되고 있다(예를 들어, 특허문헌 1).Conventionally, in order to obtain electronic components such as semiconductor devices, laminates and printed wiring boards, various resin materials have been used. For example, in a multilayer printed wiring board, a resin material is used in order to form an insulating layer for insulating interlayers inside or to form an insulating layer located in a surface portion. On the surface of the insulating layer, wiring, which is generally metal, is laminated. In addition, in order to form the insulating layer, a resin film may be used as the resin material. The resin material is used as an insulating material for multilayer printed wiring boards including a build-up film (for example, Patent Document 1).

WO 2009/28493A 1WO 2009/28493A 1

다층 프린트 배선판 등에 형성되는 절연층에는, 유전 정접이 낮은 것이 요구되고 있다. 유전 정접을 낮게 할 목적으로, 수지 재료에 무기 충전재가 배합되는 경우가 있다. 그러나, 무기 충전재와 수지의 계면은 흡수되기 쉬워, 무기 충전재의 배합량이 많은 경우에는, 수지 재료에 의해 형성된 절연층과 회로 등의 금속층과의 박리(디라미네이션)가 발생되는 경우가 있다.The insulating layer formed on a multilayer printed wiring board or the like is required to have a low dielectric loss tangent. For the purpose of lowering the dielectric loss tangent, an inorganic filler is sometimes blended into the resin material. However, the interface between the inorganic filler and the resin is easily absorbed, and when the amount of the inorganic filler is large, peeling (delamination) of the insulating layer formed of the resin material and the metal layer such as a circuit may occur.

또한, 리플로우 공정 시에는, 절연층과 금속층이 고온(예를 들어 260℃ 이상)에 노출되기 때문에, 디라미네이션이 발생되기 쉽다. 또한, 절연층이 흡습되거나, 고온에 노출됨으로써 가스가 발생되거나 하는 경우에는, 디라미네이션이 발생되기 쉽다.In addition, in the reflow process, since the insulating layer and the metal layer are exposed to a high temperature (for example, 260°C or higher), delamination is likely to occur. In addition, when the insulating layer is absorbed by moisture or gas is generated by exposure to high temperature, delamination is likely to occur.

특허문헌 1에 기재된 바와 같은 종래의 에폭시 수지 조성물에서는, 유전 정접을 낮추고, 또한 디라미네이션의 발생을 억제하기는 곤란하다.In the conventional epoxy resin composition as described in Patent Document 1, it is difficult to lower the dielectric loss tangent and suppress the occurrence of delamination.

본 발명의 목적은, 유전 정접을 낮출 수 있으며, 또한 디라미네이션의 발생을 억제할 수 있는 수지 재료를 제공하는 것이다. 또한, 본 발명은 상기 수지 재료를 사용한 다층 프린트 배선판을 제공하는 것도 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a resin material that can lower the dielectric loss tangent and suppress the occurrence of delamination. It is also an object of the present invention to provide a multilayer printed wiring board using the resin material.

본 발명의 넓은 국면에 의하면, 에폭시 화합물과, 무기 충전재와, 경화제와, 트리아진 골격을 갖는 실란 커플링제를 포함하고, 상기 무기 충전재의 비표면적이, 1㎡/g 이상 50㎡/g 이하인, 수지 재료가 제공된다.According to a broad aspect of the present invention, an epoxy compound, an inorganic filler, a curing agent, and a silane coupling agent having a triazine skeleton are included, and the specific surface area of the inorganic filler is 1 m 2 /g or more and 50 m 2 /g or less, A resin material is provided.

본 발명에 따른 수지 재료의 어느 특정한 국면에서는, 상기 실란 커플링제가, 디아미노트리아진 골격을 갖는 실란 커플링제이다.In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the silane coupling agent is a silane coupling agent having a diaminotriazine skeleton.

본 발명에 따른 수지 재료의 어느 특정한 국면에서는, 상기 경화제가, 활성 에스테르 화합물, 시아네이트 화합물, 벤조옥사진 화합물, 카르보디이미드 화합물, 또는 말레이미드 화합물을 포함한다.In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the curing agent includes an active ester compound, a cyanate compound, a benzoxazine compound, a carbodiimide compound, or a maleimide compound.

본 발명에 따른 수지 재료의 어느 특정한 국면에서는, 수지 재료 중의 상기 무기 충전재 및 용제를 제외한 성분 100중량% 중, 상기 실란 커플링제의 함유량이, 0.1중량% 이상 3중량% 이하이다.In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the content of the silane coupling agent is 0.1% by weight or more and 3% by weight or less in 100% by weight of components excluding the inorganic filler and solvent in the resin material.

본 발명에 따른 수지 재료의 어느 특정한 국면에서는, 수지 재료 중의 용제를 제외한 성분 100중량% 중, 상기 무기 충전재의 함유량이, 30중량% 이상이다.In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the content of the inorganic filler is 30% by weight or more in 100% by weight of components excluding the solvent in the resin material.

본 발명에 따른 수지 재료의 어느 특정한 국면에서는, 상기 수지 재료는, 열경화성 재료이다.In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the resin material is a thermosetting material.

본 발명에 따른 수지 재료의 어느 특정한 국면에서는, 상기 수지 재료는 수지 필름이다.In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the resin material is a resin film.

본 발명에 따른 수지 재료는, 다층 프린트 배선판에 있어서, 절연층을 형성하기 위해 적합하게 사용된다.The resin material according to the present invention is suitably used in order to form an insulating layer in a multilayer printed wiring board.

본 발명의 넓은 국면에 의하면, 회로 기판과, 상기 회로 기판의 표면 상에 배치된 복수의 절연층과, 복수의 상기 절연층 사이에 배치된 금속층을 구비하고, 복수의 상기 절연층 중 적어도 1층이, 상술한 수지 재료의 경화물인, 다층 프린트 배선판이 제공된다.According to a broad aspect of the present invention, a circuit board, a plurality of insulating layers disposed on a surface of the circuit board, and a metal layer disposed between the plurality of insulating layers are provided, and at least one of the plurality of insulating layers A multilayer printed wiring board, which is a cured product of the resin material described above, is provided.

본 발명에 따른 수지 재료는, 에폭시 화합물과, 무기 충전재와, 경화제와, 트리아진 골격을 갖는 실란 커플링제를 포함하고, 상기 무기 충전재의 비표면적이, 1㎡/g 이상 50㎡/g 이하이므로, 유전 정접을 낮출 수 있으며, 또한 디라미네이션의 발생을 억제할 수 있다.The resin material according to the present invention includes an epoxy compound, an inorganic filler, a curing agent, and a silane coupling agent having a triazine skeleton, and the specific surface area of the inorganic filler is 1 m 2 /g or more and 50 m 2 /g or less. , It can lower the dielectric loss tangent, and can also suppress the occurrence of delamination.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 수지 재료를 사용한 다층 프린트 배선판을 모식적으로 도시하는 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명에 따른 수지 재료는, 에폭시 화합물과, 무기 충전재와, 경화제와, 트리아진 골격을 갖는 실란 커플링제를 포함하고, 상기 무기 충전재의 비표면적이, 1㎡/g 이상 50㎡/g 이하이다.The resin material according to the present invention includes an epoxy compound, an inorganic filler, a curing agent, and a silane coupling agent having a triazine skeleton, and the specific surface area of the inorganic filler is 1 m 2 /g or more and 50 m 2 /g or less. .

본 발명에서는, 상기한 구성이 구비되어 있으므로, 유전 정접을 낮출 수 있으며, 또한 디라미네이션의 발생을 억제할 수 있다.In the present invention, since the above-described configuration is provided, the dielectric loss tangent can be lowered, and the occurrence of delamination can be suppressed.

종래의 수지 재료로는, 유전 정접을 낮추고, 또한 디라미네이션의 발생을 억제하기는 곤란하다. 특히, 무기 충전재의 배합량이 적은 경우에는, 디라미네이션의 발생을 억제할 수 있었다고 해도, 무기 충전재의 배합량이 많은 경우에는, 디라미네이션의 발생을 억제하는 것이 곤란하다. 이에 반하여, 본 발명에서는, 무기 충전재의 배합량이 많아도, 디라미네이션의 발생을 억제할 수 있다.With a conventional resin material, it is difficult to lower the dielectric loss tangent and to suppress the occurrence of delamination. Particularly, when the amount of the inorganic filler is small, even if the occurrence of delamination can be suppressed, when the amount of the inorganic filler is large, it is difficult to suppress the occurrence of delamination. On the other hand, in the present invention, even if the amount of the inorganic filler is large, the occurrence of delamination can be suppressed.

본 발명에 따른 수지 재료는, 수지 조성물이어도 되고, 수지 필름이어도 된다. 상기 수지 조성물은, 유동성을 갖는다. 상기 수지 조성물은, 페이스트상이어도 된다. 상기 페이스트상에는 액상이 포함된다. 취급성이 우수한 점에서, 본 발명에 따른 수지 재료는, 수지 필름인 것이 바람직하다.The resin material according to the present invention may be a resin composition or a resin film. The resin composition has fluidity. The resin composition may be in a paste form. The paste phase contains a liquid phase. From the viewpoint of excellent handling properties, it is preferable that the resin material according to the present invention is a resin film.

본 발명에 따른 수지 재료는, 열경화성 재료인 것이 바람직하다. 본 발명에 따른 수지 재료는, 가열에 의해 경화 가능한 것이 바람직하다. 상기 수지 재료가 수지 필름인 경우에는, 해당 수지 필름은 열경화성 수지 필름인 것이 바람직하다. 상기 수지 필름은, 가열에 의해 경화 가능한 것이 바람직하다.It is preferable that the resin material according to the present invention is a thermosetting material. It is preferable that the resin material according to the present invention can be cured by heating. When the said resin material is a resin film, it is preferable that the said resin film is a thermosetting resin film. It is preferable that the said resin film is curable by heating.

이하, 본 발명에 따른 수지 재료에 사용되는 각 성분의 상세, 및 본 발명에 따른 수지 재료의 용도 등을 설명한다.Hereinafter, details of each component used in the resin material according to the present invention, and the use of the resin material according to the present invention will be described.

[에폭시 화합물][Epoxy compound]

상기 수지 재료는, 에폭시 화합물을 포함한다. 상기 에폭시 화합물로서, 종래 공지된 에폭시 화합물을 사용 가능하다. 상기 에폭시 화합물은, 적어도 하나의 에폭시기를 갖는 유기 화합물을 말한다. 상기 에폭시 화합물은, 1종만이 사용되어도 되고, 2종 이상이 병용되어도 된다.The resin material contains an epoxy compound. As the epoxy compound, a conventionally known epoxy compound can be used. The epoxy compound refers to an organic compound having at least one epoxy group. As for the said epoxy compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

상기 에폭시 화합물로서는, 비스페놀 A형 에폭시 화합물, 비스페놀 F형 에폭시 화합물, 비스페놀 S형 에폭시 화합물, 페놀노볼락형 에폭시 화합물, 비페닐형 에폭시 화합물, 비페닐 노볼락형 에폭시 화합물, 비페놀형 에폭시 화합물, 나프탈렌형 에폭시 화합물, 플루오렌형 에폭시 화합물, 페놀아르알킬형 에폭시 화합물, 나프톨아르알킬형 에폭시 화합물, 디시클로펜타디엔형 에폭시 화합물, 안트라센형 에폭시 화합물, 아다만탄 골격을 갖는 에폭시 화합물, 트리시클로데칸 골격을 갖는 에폭시 화합물, 나프틸렌에테르형 에폭시 화합물 및 트리아진 핵을 골격에 갖는 에폭시 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the epoxy compound include a bisphenol A type epoxy compound, a bisphenol F type epoxy compound, a bisphenol S type epoxy compound, a phenol novolak type epoxy compound, a biphenyl type epoxy compound, a biphenyl novolak type epoxy compound, a biphenol type epoxy compound, Naphthalene type epoxy compound, fluorene type epoxy compound, phenol aralkyl type epoxy compound, naphthol aralkyl type epoxy compound, dicyclopentadiene type epoxy compound, anthracene type epoxy compound, epoxy compound having adamantane skeleton, tricyclodecane And an epoxy compound having a skeleton, a naphthylene ether type epoxy compound, and an epoxy compound having a triazine nucleus in the skeleton.

선팽창 계수를 더 한층 낮게 하며, 또한 디라미네이션의 발생을 더 한층 억제하는 관점에서는, 상기 에폭시 화합물은, 방향족 골격을 갖는 에폭시 화합물을 포함하는 것이 바람직하고, 나프탈렌 골격 또는 페닐 골격을 갖는 에폭시 화합물을 포함하는 것이 보다 바람직하다.From the viewpoint of further lowering the coefficient of linear expansion and further suppressing the occurrence of delamination, the epoxy compound preferably contains an epoxy compound having an aromatic skeleton, and contains an epoxy compound having a naphthalene skeleton or a phenyl skeleton It is more preferable to do it.

상기 에폭시 화합물은, 25℃에서 액상의 에폭시 화합물을 포함하고 있어도 되고, 25℃에서 고형의 에폭시 화합물을 포함하고 있어도 된다. 유전 정접을 더 한층 낮추며, 또한 경화물의 선팽창 계수(CTE)를 양호하게 하고, 디라미네이션의 발생을 더 한층 억제하는 관점에서는, 상기 에폭시 화합물은, 25℃에서 액상의 에폭시 화합물과, 25℃에서 고형의 에폭시 화합물을 포함하는 것이 바람직하다.The said epoxy compound may contain a liquid epoxy compound at 25 degreeC, and may contain a solid epoxy compound at 25 degreeC. From the viewpoint of further lowering the dielectric loss tangent, further improving the coefficient of linear expansion (CTE) of the cured product, and further suppressing the occurrence of delamination, the epoxy compound is a liquid epoxy compound at 25°C and a solid solid at 25°C. It is preferable to include an epoxy compound of.

상기 25℃에서 액상의 에폭시 화합물의 25℃에서 점도는, 1000mPaㆍs 이하인 것이 바람직하고, 500mPaㆍs 이하인 것이 보다 바람직하다.The viscosity of the liquid epoxy compound at 25° C. at 25° C. is preferably 1000 mPa·s or less, and more preferably 500 mPa·s or less.

상기 에폭시 화합물의 점도를 측정할 때에는, 예를 들어 동적 점탄성 측정 장치(레올로지카ㆍ인스트루먼츠사제 「VAR-100」) 등이 사용된다.When measuring the viscosity of the epoxy compound, a dynamic viscoelasticity measuring device ("VAR-100", manufactured by Rheologica Instruments Inc.) or the like is used, for example.

상기 에폭시 화합물의 분자량은 1000 이하인 것이 보다 바람직하다. 이 경우에는, 수지 재료 중의 용제를 제외한 성분 100중량%, 무기 충전재의 함유량이 50중량%이상이어도, 절연층의 형성 시에 유동성이 높은 수지 재료가 얻어진다. 이 때문에, 수지 재료의 미경화물 또는 B 스테이지화물을 회로 기판 상에 라미네이트한 경우에, 무기 충전재를 균일하게 존재시킬 수 있다.It is more preferable that the molecular weight of the epoxy compound is 1000 or less. In this case, even if the content of the components excluding the solvent in the resin material is 100% by weight and the content of the inorganic filler is 50% by weight or more, a resin material having high fluidity can be obtained when the insulating layer is formed. For this reason, when an uncured product of a resin material or a B-stage product is laminated on a circuit board, the inorganic filler can be uniformly present.

상기 에폭시 화합물의 분자량은, 상기 에폭시 화합물이 중합체가 아닌 경우 및 상기 에폭시 화합물의 구조식을 특정할 수 있는 경우에는, 당해 구조식으로부터 산출할 수 있는 분자량을 의미한다. 또한, 상기 에폭시 화합물이 중합체인 경우에는, 중량 평균 분자량을 의미한다.The molecular weight of the epoxy compound means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the epoxy compound is not a polymer and when the structural formula of the epoxy compound can be specified. In addition, when the said epoxy compound is a polymer, it means a weight average molecular weight.

경화물과 금속층의 접착 강도를 한층 높이고, 디라미네이션의 발생을 더 한층 억제하는 관점에서는, 수지 재료 중의 용제를 제외한 성분 100중량% 중, 상기 에폭시 화합물의 함유량은, 바람직하게는 20중량% 이상, 보다 바람직하게는 30중량% 이상, 바람직하게는 80중량% 이하, 보다 바람직하게는 70중량% 이하이다.From the viewpoint of further increasing the adhesive strength between the cured product and the metal layer and further suppressing the occurrence of delamination, the content of the epoxy compound in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material is preferably 20% by weight or more, It is more preferably 30% by weight or more, preferably 80% by weight or less, and more preferably 70% by weight or less.

[무기 충전재][Inorganic filling material]

상기 수지 재료는, 무기 충전재를 포함한다. 무기 충전재의 사용에 의해, 경화물의 유전 정접이 더 한층 낮아진다. 또한, 무기 충전재의 사용에 의해, 경화물의 열에 의한 치수 변화가 한층 더 작아진다. 또한, 무기 충전재의 사용에 의해, 경화물과 금속층의 접착 강도가 더 한층 높아진다. 상기 무기 충전재는, 1종만이 사용되어도 되고, 2종 이상이 병용되어도 된다.The resin material contains an inorganic filler. With the use of an inorganic filler, the dielectric loss tangent of the cured product is further lowered. Further, by the use of the inorganic filler, the dimensional change due to heat of the cured product is further reduced. In addition, the use of the inorganic filler further increases the adhesive strength between the cured product and the metal layer. As for the said inorganic filler, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

상기 무기 충전재로서는, 실리카, 탈크, 클레이, 마이카, 히드로탈사이트, 알루미나, 산화마그네슘, 수산화알루미늄, 질화알루미늄 및 질화붕소 등을 들 수 있다.Examples of the inorganic filler include silica, talc, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, aluminum nitride, and boron nitride.

경화물의 표면의 표면 조도를 작게 하고, 경화물과 금속층의 접착 강도를 더 한층 높게 하고, 또한 경화물의 표면에 더 한층 미세한 배선을 형성하며, 또한 경화물에 더 양호한 절연 신뢰성을 부여하는 관점에서는, 상기 무기 충전재는, 실리카 또는 알루미나인 것이 바람직하고, 실리카인 것이 보다 바람직하고, 용융 실리카인 것이 더욱 바람직하다. 실리카의 사용에 의해, 경화물의 열 팽창률이 한층 더 낮아지고, 또한, 경화물의 유전 정접이 한층 더 낮아진다. 또한, 실리카의 사용에 의해, 경화물의 표면의 표면 조도가 효과적으로 작아져, 경화물과 금속층의 접착 강도가 효과적으로 높아지고, 디라미네이션의 발생을 더 한층 억제할 수 있다. 실리카의 형상은 구형인 것이 바람직하다.From the viewpoint of reducing the surface roughness of the surface of the cured product, further increasing the adhesive strength between the cured product and the metal layer, forming a finer wiring on the surface of the cured product, and imparting better insulation reliability to the cured product, The inorganic filler is preferably silica or alumina, more preferably silica, and still more preferably fused silica. By the use of silica, the thermal expansion coefficient of the cured product is further lowered, and the dielectric loss tangent of the cured product is further lowered. Further, the use of silica effectively reduces the surface roughness of the surface of the cured product, effectively increases the adhesive strength between the cured product and the metal layer, and further suppresses the occurrence of delamination. It is preferable that the silica has a spherical shape.

경화 환경에 구애되지 않고, 수지의 경화를 진행시키고, 경화물의 유리 전이 온도를 효과적으로 높게 하고, 경화물의 열선팽창 계수를 효과적으로 작게 하는 관점에서는, 상기 무기 충전재는 구형 실리카인 것이 바람직하다.Regardless of the curing environment, from the viewpoint of advancing curing of the resin, effectively raising the glass transition temperature of the cured product, and effectively reducing the thermal linear expansion coefficient of the cured product, the inorganic filler is preferably spherical silica.

디라미네이션의 발생을 억제하는 관점에서, 상기 무기 충전재의 비표면적은, 1㎡/g 이상 50㎡/g 이하이다. 상기 무기 충전재의 비표면적이 1㎡/g 미만 또는 50㎡/g을 초과하면, 디라미네이션이 발생되는 경우가 있다.From the viewpoint of suppressing the occurrence of delamination, the specific surface area of the inorganic filler is 1 m 2 /g or more and 50 m 2 /g or less. When the specific surface area of the inorganic filler is less than 1 m 2 /g or exceeds 50 m 2 /g, delamination may occur.

디라미네이션의 발생을 더 한층 억제하는 관점에서, 상기 무기 충전재의 비표면적은, 바람직하게는 2㎡/g 이상, 보다 바람직하게는 3㎡/g 이상, 바람직하게는 40㎡/g 이하이다.From the viewpoint of further suppressing the occurrence of delamination, the specific surface area of the inorganic filler is preferably 2 m 2 /g or more, more preferably 3 m 2 /g or more, preferably 40 m 2 /g or less.

상기 무기 충전재의 비표면적은, 질소 가스를 사용한 BET법에 의해 측정할 수 있다. 상기 수지 재료가 무기 충전재를 2종 이상 포함하는 경우에는, 상기 무기 충전재의 비표면적은, 상기 수지 재료에 포함되는 무기 충전재 전체에서 측정된다. 상기 수지 재료를 얻기 위해 사용되는 무기 충전재를 사용하여, 무기 충전재의 비표면적을 측정해도 된다.The specific surface area of the inorganic filler can be measured by the BET method using nitrogen gas. When the resin material contains two or more types of inorganic fillers, the specific surface area of the inorganic filler is measured in the entire inorganic filler contained in the resin material. The specific surface area of the inorganic filler may be measured using the inorganic filler used to obtain the resin material.

상기 무기 충전재의 평균 입경은, 바람직하게는 100㎚ 이상, 보다 바람직하게는 200㎚ 이상, 더욱 바람직하게는 500㎚ 이상, 바람직하게는 1.5㎛ 이하, 보다 바람직하게는 1.3㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 1.0㎛ 이하이다. 상기 무기 충전재의 평균 입경이 상기 하한 이상 및 상기 상한 이하이면, 디라미네이션의 발생을 더 한층 억제할 수 있다.The average particle diameter of the inorganic filler is preferably 100 nm or more, more preferably 200 nm or more, further preferably 500 nm or more, preferably 1.5 µm or less, more preferably 1.3 µm or less, even more preferably It is 1.0 μm or less. When the average particle diameter of the inorganic filler is more than the lower limit and less than the upper limit, the occurrence of delamination can be further suppressed.

상기 무기 충전재의 평균 입경으로서, 50%가 되는 메디안 직경(d50)의 값이 채용된다. 상기 평균 입경은, 레이저 회절 산란 방식의 입도 분포 측정 장치를 사용하여 측정 가능하다. 상기 수지 재료가 무기 충전재를 2종 이상 포함하는 경우에는, 상기 무기 충전재의 평균 입경은, 상기 수지 재료에 포함되는 무기 충전재 전체에서 측정된다. 상기 수지 재료를 얻기 위해 사용되는 무기 충전재를 사용하여, 무기 충전재의 평균 입경을 측정해도 된다.As the average particle diameter of the inorganic filler, a median diameter (d50) of 50% is adopted. The average particle diameter can be measured using a particle size distribution measuring apparatus of a laser diffraction scattering method. When the resin material contains two or more types of inorganic fillers, the average particle diameter of the inorganic filler is measured in the entire inorganic filler contained in the resin material. You may measure the average particle diameter of an inorganic filler using the inorganic filler used to obtain the said resin material.

상기 무기 충전재는, 구형인 것이 바람직하고, 구형 실리카인 것이 보다 바람직하다. 이 경우에는, 경화물의 표면의 표면 조도가 효과적으로 작아져, 또한 경화물과 금속층의 접착 강도가 효과적으로 높아지고, 그 결과, 디라미네이션의 발생을 더 한층 억제할 수 있다. 상기 무기 충전재가 구형인 경우에는, 상기 무기 충전재의 애스펙트비는 바람직하게는 2 이하, 보다 바람직하게는 1.5 이하이다.The inorganic filler is preferably spherical, and more preferably spherical silica. In this case, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased, and as a result, the occurrence of delamination can be further suppressed. When the inorganic filler is spherical, the aspect ratio of the inorganic filler is preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less.

상기 무기 충전재는, 표면 처리되어 있는 것이 바람직하고, 커플링제에 의한 표면 처리물인 것이 보다 바람직하고, 실란 커플링제에 의한 표면 처리물인 것이 더욱 바람직하다. 상기 무기 충전재가 표면 처리되어 있음으로써, 조화 경화물의 표면의 표면 조도가 한층 더 작아져, 경화물과 금속층의 접착 강도가 한층 더 높아진다. 그 결과, 디라미네이션의 발생을 더 한층 억제할 수 있다. 또한, 상기 무기 충전재가 표면 처리되어 있음으로써, 경화물의 표면에 한층 더 미세한 배선을 형성할 수 있고, 또한 한층 더 양호한 배선간 절연 신뢰성 및 층간 절연 신뢰성을 경화물에 부여할 수 있다.The inorganic filler is preferably surface-treated, more preferably a surface-treated product with a coupling agent, and still more preferably a surface-treated product with a silane coupling agent. When the inorganic filler is surface-treated, the surface roughness of the surface of the roughened cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased. As a result, the occurrence of delamination can be further suppressed. Further, by surface treatment of the inorganic filler, a finer wiring can be formed on the surface of the cured product, and further better inter-wiring insulation reliability and interlayer insulation reliability can be imparted to the cured product.

상기 커플링제로서는, 실란 커플링제, 티타늄 커플링제 및 알루미늄 커플링제 등을 들 수 있다. 상기 실란 커플링제로서는, 메타크릴실란, 아크릴실란, 아미노실란, 이미다졸실란, 비닐실란 및 에폭시실란 등을 들 수 있다.Examples of the coupling agent include a silane coupling agent, a titanium coupling agent, and an aluminum coupling agent. Examples of the silane coupling agent include methacrylic silane, acrylic silane, amino silane, imidazole silane, vinyl silane, and epoxy silane.

수지 재료 중의 용제를 제외한 성분 100중량% 중, 상기 무기 충전재의 함유량은, 바람직하게는 30중량% 이상, 보다 바람직하게는 40중량% 이상, 더욱 바람직하게는 50중량% 이상, 특히 바람직하게는 55중량% 이상, 가장 바람직하게는 60중량% 이상이다. 수지 재료 중의 용제를 제외한 성분 100중량% 중, 상기 무기 충전재의 함유량은, 바람직하게는 85중량% 이하, 보다 바람직하게는 83중량% 이하, 더욱 바람직하게는 80중량% 이하, 특히 바람직하게는 78중량% 이하이다. 상기 무기 충전재의 함유량이 상기 하한 이상이면 유전 정접이 효과적으로 낮아져, 경화물의 열 팽창률을 낮출 수 있고, 또한 스미어 제거성을 양호하게 할 수 있다. 상기 무기 충전재의 함유량이 상기 상한 이하이면, 수지 필름의 취급성이나 가요성을 더 한층 양호하게 할 수 있다. 상기 무기 충전재의 함유량이 상기 하한 이상 및 상기 상한 이하이면, 경화물의 표면의 표면 조도를 한층 더 작게 할 수 있고, 또한 경화물의 표면에 한층 더 미세한 배선을 형성할 수 있다.In 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material, the content of the inorganic filler is preferably 30% by weight or more, more preferably 40% by weight or more, still more preferably 50% by weight or more, particularly preferably 55 It is at least 60% by weight, most preferably at least 60% by weight. In 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material, the content of the inorganic filler is preferably 85% by weight or less, more preferably 83% by weight or less, still more preferably 80% by weight or less, particularly preferably 78 It is not more than% by weight. When the content of the inorganic filler is more than the above lower limit, the dielectric loss tangent is effectively lowered, the thermal expansion coefficient of the cured product can be lowered, and the smear removal property can be improved. When the content of the inorganic filler is less than or equal to the upper limit, the handleability and flexibility of the resin film can be further improved. When the content of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product can be further reduced, and further finer wiring can be formed on the surface of the cured product.

[경화제][Hardener]

상기 수지 재료는, 경화제를 포함한다. 상기 경화제로서, 종래 공지된 경화제를 사용 가능하다. 상기 경화제는 1종만이 사용되어도 되고, 2종 이상이 병용되어도 된다.The resin material contains a curing agent. As the curing agent, a conventionally known curing agent can be used. Only 1 type may be used for the said hardening agent, and 2 or more types may be used together.

상기 경화제로서는, 시아네이트 화합물(시아네이트 경화제), 페놀 화합물(페놀 경화제), 아민 화합물(아민 경화제), 티올 화합물(티올 경화제), 이미다졸 화합물, 포스핀 화합물, 산 무수물, 디시안디아미드, 활성 에스테르 화합물, 벤조옥사진 화합물(벤조옥사진 경화제), 카르보디이미드 화합물(카르보디이미드 경화제) 및 말레이미드 화합물(말레이미드 경화제) 등을 들 수 있다. 상기 경화제는, 상기 에폭시 화합물의 에폭시기와 반응 가능한 관능기를 갖는 것이 바람직하다.Examples of the curing agent include cyanate compounds (cyanate curing agents), phenol compounds (phenol curing agents), amine compounds (amine curing agents), thiol compounds (thiol curing agents), imidazole compounds, phosphine compounds, acid anhydrides, dicyandiamides, and active agents. Ester compounds, benzoxazine compounds (benzoxazine curing agents), carbodiimide compounds (carbodiimide curing agents), maleimide compounds (maleimide curing agents), and the like. It is preferable that the curing agent has a functional group capable of reacting with the epoxy group of the epoxy compound.

유전 정접을 낮추면서, 블리스터의 발생을 억제하고, 디라미네이션의 발생을 더 한층 억제하는 관점에서는, 상기 경화제는, 활성 에스테르 화합물, 시아네이트 화합물, 벤조옥사진 화합물, 카르보디이미드 화합물, 또는 말레이미드 화합물을 포함하는 것이 바람직하다. 유전 정접을 낮추면서, 블리스터의 발생을 억제하고, 디라미네이션의 발생을 더 한층 억제하는 관점에서는, 상기 경화제는, 활성 에스테르 화합물인 것이 바람직하다From the viewpoint of suppressing the generation of blisters and further suppressing the occurrence of delamination while lowering the dielectric loss tangent, the curing agent is an active ester compound, a cyanate compound, a benzoxazine compound, a carbodiimide compound, or It is preferable to contain a mid compound. From the viewpoint of suppressing the occurrence of blisters and further suppressing the occurrence of delamination while lowering the dielectric loss tangent, the curing agent is preferably an active ester compound.

상기 시아네이트 화합물은 시아네이트 에스테르 화합물(시아네이트 에스테르 경화제)이어도 된다. 상기 시아네이트 에스테르 화합물로서는, 노볼락형 시아네이트 에스테르 수지, 비스페놀형 시아네이트 에스테르 수지, 그리고 이들이 일부 삼량화된 프리폴리머 등을 들 수 있다. 상기 노볼락형 시아네이트 에스테르 수지로서는, 페놀노볼락형 시아네이트 에스테르 수지 및 알킬페놀형 시아네이트 에스테르 수지 등을 들 수 있다. 상기 비스페놀형 시아네이트 에스테르 수지로서는, 비스페놀 A형 시아네이트 에스테르 수지, 비스페놀 E형 시아네이트 에스테르 수지 및 테트라메틸 비스페놀 F형 시아네이트 에스테르 수지 등을 들 수 있다.The cyanate compound may be a cyanate ester compound (cyanate ester curing agent). Examples of the cyanate ester compounds include novolak type cyanate ester resins, bisphenol type cyanate ester resins, and prepolymers in which some of these are trimerized. As said novolak type cyanate ester resin, a phenol novolak type cyanate ester resin, an alkylphenol type cyanate ester resin, etc. are mentioned. Examples of the bisphenol type cyanate ester resin include a bisphenol A type cyanate ester resin, a bisphenol E type cyanate ester resin, and a tetramethyl bisphenol F type cyanate ester resin.

상기 시아네이트 에스테르 화합물의 시판품으로서는, 페놀노볼락형 시아네이트에스테르 수지(론자 재팬사제 「PT-30」 및 「PT-60」), 및 비스페놀형 시아네이트에스테르 수지가 삼량화된 프리폴리머(론자 재팬사제 「BA-230S」, 「BA-3000S」, 「BTP-1000S」 및 「BTP-6020S」) 등을 들 수 있다.As commercially available products of the cyanate ester compound, a prepolymer in which a phenol novolak type cyanate ester resin ("PT-30" and "PT-60" manufactured by Lonza Japan), and a bisphenol type cyanate ester resin is trimerized (manufactured by Lonza Japan) "BA-230S", "BA-3000S", "BTP-1000S", and "BTP-6020S"), and the like.

상기 페놀 화합물로서는, 노볼락형 페놀, 비페놀형 페놀, 나프탈렌형 페놀, 디시클로펜타디엔형 페놀, 아르알킬형 페놀 및 디시클로펜타디엔형 페놀 등을 들 수 있다.Examples of the phenolic compound include novolac-type phenol, biphenol-type phenol, naphthalene-type phenol, dicyclopentadiene-type phenol, aralkyl-type phenol, and dicyclopentadiene-type phenol.

상기 페놀 화합물의 시판품으로서는, 노볼락형 페놀(DIC사제 「TD-2091」), 비페닐 노볼락형 페놀(메이와 가세이사제 「MEH-7851」), 아르알킬형 페놀 화합물(메이와 가세이사제 「MEH-7800」), 그리고 아미노트리아진 골격을 갖는 페놀(DIC사제 「LA1356」 및 「LA3018-50P」) 등을 들 수 있다.Commercially available products of the above phenolic compounds include novolak-type phenol ("TD-2091" manufactured by DIC), biphenyl novolak-type phenol ("MEH-7851" manufactured by Maywa Kasei), and aralkyl-type phenol compound (Meiwa Kasei Corporation. "MEH-7800"), and phenols having an aminotriazine skeleton ("LA1356" and "LA3018-50P" manufactured by DIC), and the like.

활성 에스테르 화합물이란, 구조체 중에 에스테르 결합을 적어도 하나 포함하고, 또한, 에스테르 결합의 양측에 방향족환이 결합되어 있는 화합물을 말한다. 활성 에스테르 화합물은, 예를 들어 카르복실산 화합물 또는 티오카르복실산 화합물과, 히드록시 화합물 또는 티올 화합물과의 축합 반응에 의해 얻어진다. 활성 에스테르 화합물의 예로서는, 하기 식 (1)로 표시되는 화합물을 들 수 있다.The active ester compound refers to a compound containing at least one ester bond in the structure and an aromatic ring bonded to both sides of the ester bond. The active ester compound is obtained, for example, by a condensation reaction of a carboxylic acid compound or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound or a thiol compound. As an example of an active ester compound, the compound represented by following formula (1) is mentioned.

Figure pct00001
Figure pct00001

상기 식 (1) 중, X1 및 X2는 각각 방향족환을 포함하는 기를 나타낸다. 상기 방향족환을 포함하는 기의 바람직한 예로서는, 치환기를 갖고 있어도 되는 벤젠환 및 치환기를 갖고 있어도 되는 나프탈렌환 등을 들 수 있다. 상기 치환기로서는, 탄화수소기를 들 수 있다. 해당 탄화수소기의 탄소수는, 바람직하게는 12 이하, 보다 바람직하게는 6 이하, 더욱 바람직하게는 4 이하이다.In the formula (1), X1 and X2 each represent a group containing an aromatic ring. As a preferable example of the group containing the said aromatic ring, the benzene ring which may have a substituent, the naphthalene ring which may have a substituent, etc. are mentioned. As said substituent, a hydrocarbon group is mentioned. The number of carbon atoms in the hydrocarbon group is preferably 12 or less, more preferably 6 or less, and still more preferably 4 or less.

X1 및 X2의 조합으로서는, 치환기를 갖고 있어도 되는 벤젠환과, 치환기를 갖고 있어도 되는 벤젠환의 조합, 치환기를 갖고 있어도 되는 벤젠환과, 치환기를 갖고 있어도 되는 나프탈렌환의 조합을 들 수 있다. 또한, X1 및 X2의 조합으로서는, 치환기를 갖고 있어도 되는 나프탈렌환과, 치환기를 갖고 있어도 되는 나프탈렌환의 조합을 들 수 있다.As a combination of X1 and X2, a combination of a benzene ring which may have a substituent and a benzene ring which may have a substituent, a combination of a benzene ring which may have a substituent, and a naphthalene ring which may have a substituent are mentioned. Moreover, as a combination of X1 and X2, a combination of a naphthalene ring which may have a substituent and a naphthalene ring which may have a substituent is mentioned.

상기 활성 에스테르 화합물은 특별히 한정되지 않는다. 경화물의 유전 정접을 낮추고, 또한 경화물의 열 치수 안정성을 높이는 관점에서, 활성 에스테르의 주쇄 골격 중에 나프탈렌환을 갖는 것이 보다 바람직하다. 상기 활성 에스테르 화합물의 시판품으로서는, DIC사제 「HPC-8000-65T」, 「EXB9416-70BK」 및 「EXB8100-65T」 등을 들 수 있다.The active ester compound is not particularly limited. From the viewpoint of lowering the dielectric loss tangent of the cured product and enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, it is more preferable to have a naphthalene ring in the main chain skeleton of the active ester. As a commercial item of the said active ester compound, "HPC-8000-65T", "EXB9416-70BK", "EXB8100-65T" etc. made by DIC are mentioned.

상기 벤조옥사진 화합물로서는, P-d형 벤조옥사진 및 F-a형 벤조옥사진 등을 들 수 있다.Examples of the benzoxazine compound include P-d-type benzoxazine and F-a-type benzoxazine.

상기 벤조옥사진 화합물의 시판품으로서는, 시코쿠 가세이 고교사제 「P-d형」 등을 들 수 있다.As a commercial item of the said benzoxazine compound, "P-d type" etc. by a Shikoku Kasei Kogyo company are mentioned.

상기 카르보디이미드 화합물은, 하기 식 (2)로 표시되는 구조 단위를 갖는다. 하기 식 (2)에 있어서, 우측 단부 및 좌측 단부는, 다른 기와의 결합 부위이다.The carbodiimide compound has a structural unit represented by the following formula (2). In the following formula (2), the right end and the left end are bonding sites with other groups.

Figure pct00002
Figure pct00002

상기 식 (2) 중, X는, 알킬렌기, 알킬렌기에 치환기가 결합한 기, 시클로알킬렌기, 시클로알킬렌기에 치환기가 결합한 기, 아릴렌기, 또는 아릴렌기에 치환기가 결합한 기를 나타내고, p는 1 내지 5의 정수를 나타낸다. X가 복수 존재하는 경우, 복수의 X는 동일해도 되고, 달라도 된다.In the above formula (2), X represents an alkylene group, a group in which a substituent is bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, a group in which a substituent is bonded to a cycloalkylene group, an arylene group, or a group in which a substituent is bonded to an arylene group, p is 1 It represents the integer of 5 to. When a plurality of Xs exist, a plurality of Xs may be the same or different.

적합한 하나의 형태에 있어서, 적어도 하나의 X는, 알킬렌기, 알킬렌기에 치환기가 결합한 기, 시클로알킬렌기, 또는 시클로알킬렌기에 치환기가 결합한 기이다.In one suitable form, at least one X is an alkylene group, a group in which a substituent is bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, or a group in which a substituent is bonded to a cycloalkylene group.

상기 카르보디이미드 화합물의 시판품으로서는, 닛신보 케미컬사제 「카르보딜라이트 V-02B」, 「카르보딜라이트 V-03」, 「카르보딜라이트 V-04K」, 「카르보딜라이트 V-07」, 「카르보딜라이트 V-09」, 「카르보딜라이트 10M-SP」 및 「카르보딜라이트 10M-SP(개정)」, 그리고, 라인 케미사제 「스타박솔 P」, 「스타박솔 P400」, 및 「하이카질 510」 등을 들 수 있다.As a commercial item of the said carbodiimide compound, Nisshinbo Chemical Co., Ltd. "Carbodilite V-02B", "Carbodilite V-03", "Carbodilite V-04K", "Carbodilite V-07", " Carbodilite V-09", "Carbodilite 10M-SP" and "Carbodilite 10M-SP (revised)", and "Starbaxol P", "Starbaxol P400" manufactured by Line Chemie, and "Hikazil 510" and the like.

상기 말레이미드 화합물로서는, N-알킬비스말레이미드 화합물, 및 N-페닐 비스말레이미드 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the maleimide compound include an N-alkyl bismaleimide compound and an N-phenyl bismaleimide compound.

상기 말레이미드 화합물의 시판품으로서는, Designer Molecules Inc. 제 「BMI-1500」, 「BMI-1700」 및 「BMI-3000」, 그리고 다이와 가세이 고교사제 「BMI-1000」, 「BMI-2000」, 「BMI-3000」 및 「BMI-4000」 등을 들 수 있다.As a commercial product of the maleimide compound, Designer Molecules Inc. "BMI-1500", "BMI-1700" and "BMI-3000" manufactured by Daiwa Kasei High School, "BMI-1000", "BMI-2000", "BMI-3000" and "BMI-4000", etc. I can.

상기 에폭시 화합물 100중량부에 대하여, 상기 경화제의 함유량은, 바람직하게는 25중량부 이상, 보다 바람직하게는 50중량부 이상, 바람직하게는 200중량부 이하, 보다 바람직하게는 150중량부 이하이다. 상기 경화제의 함유량이 상기 하한 이상 및 상기 상한 이하이면, 경화성이 더 한층 우수하고, 열에 의한 경화물의 치수 변화나, 잔존 미반응 성분의 휘발을 더 한층 억제할 수 있다.With respect to 100 parts by weight of the epoxy compound, the content of the curing agent is preferably 25 parts by weight or more, more preferably 50 parts by weight or more, preferably 200 parts by weight or less, more preferably 150 parts by weight or less. When the content of the curing agent is greater than or equal to the lower limit and less than or equal to the upper limit, curability is further excellent, and dimensional change of the cured product due to heat and volatilization of residual unreacted components can be further suppressed.

수지 재료 중의 상기 무기 충전재 및 용제를 제외한 성분 100중량% 중, 상기 에폭시 화합물과 상기 경화제의 합계의 함유량은, 바람직하게는 65중량% 이상, 보다 바람직하게는 70중량% 이상, 바람직하게는 99중량% 이하, 보다 바람직하게는 97중량% 이하이다. 상기 에폭시 화합물과 상기 경화제의 합계의 함유량이 상기 하한 이상 및 상기 상한 이하이면, 더 한층 양호한 경화물이 얻어지고, 경화물의 열에 의한 치수 변화를 더 한층 억제할 수 있다.In 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material, the total content of the epoxy compound and the curing agent is preferably 65% by weight or more, more preferably 70% by weight or more, preferably 99% by weight. % Or less, more preferably 97% by weight or less. When the total content of the epoxy compound and the curing agent is equal to or greater than the lower limit and equal to or less than the upper limit, a more favorable cured product can be obtained, and a dimensional change due to heat of the cured product can be further suppressed.

[실란 커플링제][Silane coupling agent]

상기 수지 재료는, 실란 커플링제를 포함한다. 상기 실란 커플링제는, 트리아진 골격을 갖는다. 상기 수지 재료는, 트리아진 골격을 갖는 실란 커플링제를 포함한다. 상기 실란 커플링제의 사용에 의해, 유전 정접을 낮추고, 또한 디라미네이션의 발생을 억제할 수 있다. 상기 실란 커플링제의 사용에 의해, 리플로우 공정 시나, 무기 충전재의 배합량이 많은 경우에도, 디라미네이션의 발생을 억제할 수 있다. 또한, 상기 실란 커플링제의 사용에 의해, 블리스터의 발생을 억제할 수 있으며, 또한, 디라미네이션의 발생을 억제할 수 있다. 상기 실란 커플링제는 1종만이 사용되어도 되고, 2종 이상이 병용되어도 된다.The resin material contains a silane coupling agent. The silane coupling agent has a triazine skeleton. The resin material contains a silane coupling agent having a triazine skeleton. By using the silane coupling agent, the dielectric loss tangent can be lowered and the occurrence of delamination can be suppressed. The use of the silane coupling agent can suppress the occurrence of delamination during the reflow process or even when the amount of the inorganic filler is large. In addition, by using the silane coupling agent, the occurrence of blisters can be suppressed and the occurrence of delamination can be suppressed. Only 1 type may be used for the said silane coupling agent, and 2 or more types may be used together.

본 발명의 효과가 효과적으로 발휘되는 점에서, 상기 트리아진 골격은, 디아미노트리아진 골격인 것이 바람직하다. 즉, 상기 실란 커플링제는, 디아미노트리아진 골격을 갖는 실란 커플링제인 것이 바람직하다. 상기 디아미노트리아진 골격은, 상기 트리아진 골격을 구성하는 2개의 탄소 원자 각각에 아미노기가 결합한 골격이다.It is preferable that the said triazine skeleton is a diamino triazine skeleton from the point which the effect of this invention is exhibited effectively. That is, the silane coupling agent is preferably a silane coupling agent having a diaminotriazine skeleton. The diaminotriazine skeleton is a skeleton in which an amino group is bonded to each of two carbon atoms constituting the triazine skeleton.

상기 디아미노트리아진 골격을 갖는 실란 커플링제의 시판품으로서는, 시코쿠 가세이 고교사제 「VD-5」 등을 들 수 있다.As a commercial item of the silane coupling agent which has the said diaminotriazine skeleton, "VD-5" manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Corporation, etc. are mentioned.

수지 재료 중의 상기 무기 충전재 및 용제를 제외한 성분 100중량% 중, 상기 실란 커플링제의 함유량은, 바람직하게는 0.1중량% 이상, 보다 바람직하게는 0.2중량% 이상, 더욱 바람직하게는 0.4중량% 이상, 바람직하게는 3중량% 이하, 보다 바람직하게는 2.5중량% 이하, 더욱 바람직하게는 2중량% 이하이다. 상기 실란 커플링제의 함유량이 상기 하한 이상 및 상기 상한 이하이면, 디라미네이션의 발생을 더 한층 억제할 수 있다. 상기 실란 커플링제의 함유량이 상기 상한 이하이면, 유전 정접이 높아지는 것을 억제할 수 있다.In 100% by weight of components excluding the inorganic filler and solvent in the resin material, the content of the silane coupling agent is preferably 0.1% by weight or more, more preferably 0.2% by weight or more, still more preferably 0.4% by weight or more, It is preferably 3% by weight or less, more preferably 2.5% by weight or less, and still more preferably 2% by weight or less. When the content of the silane coupling agent is more than the lower limit and less than the upper limit, the occurrence of delamination can be further suppressed. When the content of the silane coupling agent is less than or equal to the upper limit, it is possible to suppress an increase in the dielectric loss tangent.

[열가소성 수지][Thermoplastic resin]

상기 수지 재료는, 열가소성 수지를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 열가소성 수지로서는, 폴리비닐아세탈 수지 및 페녹시 수지 등을 들 수 있다. 상기 열가소성 수지는, 1종만이 사용되어도 되고, 2종 이상이 병용되어도 된다.It is preferable that the said resin material contains a thermoplastic resin. Examples of the thermoplastic resin include polyvinyl acetal resin and phenoxy resin. As for the said thermoplastic resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

경화 환경에 구애받지 않고, 유전 정접을 효과적으로 낮추고, 또한, 금속 배선의 밀착성을 효과적으로 높이는 관점에서는, 상기 열가소성 수지는, 페녹시 수지인 것이 바람직하다. 페녹시 수지의 사용에 의해, 수지 필름의 회로 기판의 구멍 또는 요철에 대한 매립성의 악화 및 무기 충전재의 불균일화가 억제된다. 또한, 페녹시 수지의 사용에 의해, 용융 점도를 조정 가능하기 때문에 무기 충전재의 분산성이 양호해지고, 또한 경화 과정에서, 의도하지 않은 영역에 수지 조성물 또는 B 스테이지화물이 번지기 어려워진다.Regardless of the curing environment, from the viewpoint of effectively lowering the dielectric loss tangent and effectively increasing the adhesion of the metal wiring, the thermoplastic resin is preferably a phenoxy resin. By use of a phenoxy resin, deterioration of the embedding property of the resin film to holes or irregularities in the circuit board and non-uniformity of the inorganic filler are suppressed. In addition, since the melt viscosity can be adjusted by the use of the phenoxy resin, the dispersibility of the inorganic filler becomes good, and in the curing process, the resin composition or the B-stage product is less likely to spread to unintended regions.

상기 수지 재료에 포함되어 있는 페녹시 수지는 특별히 한정되지 않는다. 상기 페녹시 수지로서, 종래 공지된 페녹시 수지를 사용 가능하다. 상기 페녹시 수지는, 1종만이 사용되어도 되고, 2종 이상이 병용되어도 된다.The phenoxy resin contained in the resin material is not particularly limited. As the phenoxy resin, a conventionally known phenoxy resin can be used. As for the said phenoxy resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

상기 페녹시 수지로서는, 예를 들어 비스페놀 A형의 골격, 비스페놀 F형의 골격, 비스페놀 S형의 골격, 비페닐 골격, 노볼락 골격, 나프탈렌 골격 및 이미드 골격 등의 골격을 갖는 페녹시 수지 등을 들 수 있다.Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having skeletons such as bisphenol A type skeleton, bisphenol F type skeleton, bisphenol S type skeleton, biphenyl skeleton, novolac skeleton, naphthalene skeleton, and imide skeleton. Can be mentioned.

상기 페녹시 수지의 시판품으로서는, 예를 들어 신닛테츠스미킨 가가쿠사제의 「YP50」, 「YP55」 및 「YP70」, 그리고 미츠비시 가가쿠사제의 「1256B40」, 「4250」, 「4256H40」, 「4275」, 「YX6954BH30」 및 「YX8100BH30」 등을 들 수 있다.As a commercial item of the said phenoxy resin, for example, "YP50", "YP55" and "YP70" manufactured by Shin-Nitetsu Sumikin Chemical Co., Ltd., and "1256B40", "4250", "4256H40", "made by Mitsubishi Chemical Corporation", and " 4275", "YX6954BH30", and "YX8100BH30", etc. are mentioned.

보존 안정성에 더 한층 우수한 수지 재료를 얻는 관점에서는, 상기 열가소성 수지 및 상기 페녹시 수지의 중량 평균 분자량은, 바람직하게는 5000 이상, 보다 바람직하게는 10000 이상, 바람직하게는 100000 이하, 보다 바람직하게는 50000 이하이다.From the viewpoint of obtaining a resin material further excellent in storage stability, the weight average molecular weight of the thermoplastic resin and the phenoxy resin is preferably 5000 or more, more preferably 10000 or more, preferably 100000 or less, more preferably It is less than 50000.

상기 열가소성 수지 및 상기 페녹시 수지의 상기 중량 평균 분자량은, 겔 투과 크로마토그래피(GPC)에 의해 측정된 폴리스티렌 환산으로의 중량 평균 분자량을 나타낸다.The weight average molecular weight of the thermoplastic resin and the phenoxy resin represents the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).

상기 열가소성 수지 및 상기 페녹시 수지의 함유량은 특별히 한정되지 않는다. 수지 재료 중의 상기 무기 충전재 및 용제를 제외한 성분 100중량% 중, 상기 열가소성 수지의 함유량(상기 열가소성 수지가 페녹시 수지인 경우에는 페녹시 수지의 함유량)은 바람직하게는 1중량% 이상, 보다 바람직하게는 2중량% 이상, 바람직하게는 30중량% 이하, 보다 바람직하게는 20중량% 이하이다. 상기 열가소성 수지의 함유량이 상기 하한 이상 및 상기 상한 이하이면, 수지 재료의 회로 기판의 구멍 또는 요철에 대한 매립성이 양호해진다. 상기 열가소성 수지의 함유량이 상기 하한 이상이면 수지 필름의 형성이 보다 한층 용이해져, 보다 한층 양호한 절연층이 얻어진다. 상기 열가소성 수지의 함유량이 상기 상한 이하이면, 경화물의 열 팽창률이 한층 더 낮아진다. 상기 열가소성 수지의 함유량이 상기 상한 이하이면, 경화물의 표면의 표면 조도가 한층 더 작아지고, 경화물과 금속층의 접착 강도가 한층 더 높아진다.The content of the thermoplastic resin and the phenoxy resin is not particularly limited. The content of the thermoplastic resin (the content of the phenoxy resin when the thermoplastic resin is a phenoxy resin) in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 1% by weight or more, more preferably Is 2% by weight or more, preferably 30% by weight or less, and more preferably 20% by weight or less. When the content of the thermoplastic resin is greater than or equal to the lower limit and less than or equal to the upper limit, the embedding property of the resin material into holes or irregularities in the circuit board becomes good. When the content of the thermoplastic resin is greater than or equal to the above lower limit, the formation of the resin film becomes easier, and a more favorable insulating layer can be obtained. When the content of the thermoplastic resin is less than or equal to the above upper limit, the thermal expansion coefficient of the cured product is further lowered. When the content of the thermoplastic resin is less than or equal to the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased.

[경화 촉진제][Hardening accelerator]

상기 수지 재료는, 경화 촉진제를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 경화 촉진제의 사용에 의해, 경화 속도가 한층 더 빨라진다. 수지 재료를 신속하게 경화시킴으로써, 경화물에 있어서의 가교 구조가 균일해짐과 함께, 미반응의 관능기수가 줄어들고, 결과적으로 가교 밀도가 높아진다. 상기 경화 촉진제는 특별히 한정되지 않고 종래 공지된 경화 촉진제를 사용 가능하다. 상기 경화 촉진제는, 1종만이 사용되어도 되고, 2종 이상이 병용되어도 된다.It is preferable that the said resin material contains a hardening accelerator. By using the curing accelerator, the curing speed is further increased. By rapidly curing the resin material, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform, the number of unreacted functional groups decreases, and as a result, the crosslinking density increases. The curing accelerator is not particularly limited, and a conventionally known curing accelerator may be used. Only 1 type may be used for the said hardening accelerator, and 2 or more types may be used together.

상기 경화 촉진제로서는, 예를 들어 이미다졸 화합물, 인 화합물, 아민 화합물 및 유기 금속 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the curing accelerator include imidazole compounds, phosphorus compounds, amine compounds and organometallic compounds.

상기 이미다졸 화합물로서는, 2-운데실이미다졸, 2-헵타데실 이미다졸, 2-메틸이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸, 2-페닐-4-메틸이미다졸, 1-벤질-2-메틸이미다졸, 1-벤질-2-페닐이미다졸, 1,2-디메틸이미다졸, 1-시아노에틸-2-메틸이미다졸, 1-시아노에틸-2-에틸-4-메틸이미다졸, 1-시아노에틸-2-운데실이미다졸, 1-시아노에틸-2-페닐이미다졸, 1-시아노에틸-2-운데실이미다졸륨 트리멜리테이트, 1-시아노에틸-2-페닐이미다졸륨 트리멜리테이트, 2,4-디아미노-6-[2'-메틸이미다졸릴-(1')]-에틸-s-트리아진, 2,4-디아미노-6-[2'-운데실이미다졸릴-(1')]-에틸-s-트리아진, 2,4-디아미노-6-[2'-에틸-4'-메틸이미다졸릴-(1')]-에틸-s-트리아진, 2,4-디아미노-6-[2'-메틸이미다졸릴-(1')]-에틸-s-트리아진 이소시아누르산 부가물, 2-페닐이미다졸 이소시아누르산 부가물, 2-메틸이미다졸 이소시아누르산 부가물, 2-페닐-4,5-디히드록시메틸이미다졸 및 2-페닐-4-메틸-5-디히드록시메틸이미다졸 등을 들 수 있다.Examples of the imidazole compound include 2-undecylimidazole, 2-heptadecyl imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, and 2-phenyl- 4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole , 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl -2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1') ]-Ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-undecylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-ethyl-4'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')] -Ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydro Hydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole, and the like.

상기 인 화합물로서는, 트리페닐포스핀 등을 들 수 있다.Triphenylphosphine etc. are mentioned as said phosphorus compound.

상기 아민 화합물로서는, 디에틸아민, 트리에틸아민, 디에틸렌테트라민, 트리에틸렌테트라민 및 4,4-디메틸아미노피리딘 등을 들 수 있다.Examples of the amine compound include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine, and 4,4-dimethylaminopyridine.

상기 유기 금속 화합물로서는, 나프텐산아연, 나프텐산코발트, 옥틸산주석, 옥틸산코발트, 비스아세틸아세토나토코발트(II) 및 트리스아세틸아세토나토코발트(III) 등을 들 수 있다.Examples of the organometallic compound include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octylate, cobalt octylate, bisacetylacetonatocobalt (II), trisacetylacetonatocobalt (III), and the like.

상기 경화 촉진제의 함유량은 특별히 한정되지 않는다. 수지 재료 중의 상기 무기 충전재 및 용제를 제외한 성분 100중량% 중, 상기 경화 촉진제의 함유량은 바람직하게는 0.01중량% 이상, 보다 바람직하게는 0.05중량% 이상, 바람직하게는 5중량% 이하, 보다 바람직하게는 3중량% 이하이다. 상기 경화 촉진제의 함유량이 상기 하한 이상 및 상기 상한 이하이면, 수지 재료가 효율적으로 경화된다. 상기 경화 촉진제의 함유량이 보다 바람직한 범위라면, 수지 재료의 보존 안정성이 한층 더 높아지고, 또한 한층 더 양호한 경화물이 얻어진다.The content of the curing accelerator is not particularly limited. In 100% by weight of components excluding the inorganic filler and solvent in the resin material, the content of the curing accelerator is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.05% by weight or more, preferably 5% by weight or less, more preferably Is 3% by weight or less. When the content of the curing accelerator is greater than or equal to the lower limit and less than or equal to the upper limit, the resin material is efficiently cured. If the content of the curing accelerator is in a more preferable range, the storage stability of the resin material is further increased, and a further better cured product is obtained.

[용제][solvent]

상기 수지 재료는, 용제를 포함하지 않거나 또는 포함한다. 상기 용제의 사용에 의해, 수지 재료의 점도를 적합한 범위로 제어할 수 있고, 수지 재료의 도공성을 높일 수 있다. 또한, 상기 용제는, 상기 무기 충전재를 포함하는 슬러리를 얻기 위해 사용되어도 된다. 상기 용제는 1종만이 사용되어도 되고, 2종 이상이 병용되어도 된다.The resin material does not contain or contains a solvent. By using the solvent, the viscosity of the resin material can be controlled within a suitable range, and the coating property of the resin material can be improved. In addition, the solvent may be used to obtain a slurry containing the inorganic filler. Only 1 type may be used for the said solvent, and 2 or more types may be used together.

상기 용제로서는, 아세톤, 메탄올, 에탄올, 부탄올, 2-프로판올, 2-메톡시 에탄올, 2-에톡시에탄올, 1-메톡시-2-프로판올, 2-아세톡시-1-메톡시프로판, 톨루엔, 크실렌, 메틸에틸케톤, N,N-디메틸포름아미드, 메틸이소부틸케톤, N-메틸-피롤리돈, n-헥산, 시클로헥산, 시클로헥사논 및 혼합물인 나프타 등을 들 수 있다.Examples of the solvent include acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxy ethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, Xylene, methyl ethyl ketone, N,N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone, and naphtha as a mixture.

상기 용제의 대부분은, 상기 수지 조성물을 필름상으로 성형할 때, 제거되는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 용제의 비점은 바람직하게는 200℃ 이하, 보다 바람직하게는 180℃ 이하이다. 상기 수지 조성물에 있어서의 상기 용제의 함유량은 특별히 한정되지 않는다. 상기 수지 조성물의 도공성 등을 고려하여 상기 용제의 함유량은 적절히 변경 가능하다.It is preferable that most of the solvent is removed when molding the resin composition into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200°C or less, more preferably 180°C or less. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. In consideration of the coatability of the resin composition, etc., the content of the solvent can be appropriately changed.

[다른 성분][Other ingredients]

내충격성, 내열성, 수지의 상용성 및 작업성 등의 개선을 목적으로 하여, 상기 수지 재료에는, 레벨링제, 난연제, 커플링제, 착색제, 산화 방지제, 자외선 열화 방지제, 소포제, 증점제, 요변성 부여제 및 에폭시 화합물 이외의 다른 열경화성 수지 등을 첨가해도 된다.For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility and workability, the resin material includes leveling agents, flame retardants, coupling agents, coloring agents, antioxidants, ultraviolet deterioration inhibitors, antifoaming agents, thickeners, thixotropic agents. And other thermosetting resins other than the epoxy compound may be added.

상기 커플링제로서는, 트리아진 골격을 갖지 않는 실란 커플링제, 티타늄 커플링제 및 알루미늄 커플링제 등을 들 수 있다. 상기 트리아진 골격을 갖지 않는 실란 커플링제로서는, 비닐실란, 아미노실란, 이미다졸 실란 및 에폭시실란 등을 들 수 있다.Examples of the coupling agent include a silane coupling agent having no triazine skeleton, a titanium coupling agent, an aluminum coupling agent, and the like. Examples of the silane coupling agent having no triazine skeleton include vinyl silane, amino silane, imidazole silane, and epoxy silane.

상기 다른 열경화성 수지로서는, 폴리페닐렌에테르 수지, 디 비닐벤질에테르 수지, 폴리아릴레이트 수지, 디알릴프탈레이트 수지, 폴리이미드 수지, 벤조옥사진 수지, 벤조옥사졸 수지, 비스말레이미드 수지 및 아크릴레이트 수지 등을 들 수 있다.Examples of the other thermosetting resins include polyphenylene ether resin, divinylbenzyl ether resin, polyarylate resin, diallylphthalate resin, polyimide resin, benzoxazine resin, benzoxazole resin, bismaleimide resin, and acrylate resin. And the like.

(수지 필름)(Resin film)

상술한 수지 조성물을 필름상으로 성형함으로써 수지 필름(B 스테이지화물/B 스테이지 필름)이 얻어진다. 상기 수지 재료는, 수지 필름인 것이 바람직하다. 수지 필름은, B 스테이지 필름인 것이 바람직하다.A resin film (B-stage product/B-stage film) is obtained by molding the above-described resin composition into a film. It is preferable that the said resin material is a resin film. It is preferable that the resin film is a B stage film.

상기 수지 재료는, 열경화성 재료인 것이 바람직하다.It is preferable that the said resin material is a thermosetting material.

수지 조성물을 필름상으로 성형하고, 수지 필름을 얻는 방법으로서는, 이하의 방법을 들 수 있다. 압출기를 사용하여, 수지 조성물을 용융 혼련하고, 압출한 후, T 다이 또는 서큘러 다이 등에 의해, 필름상으로 성형하는 압출 성형법. 용제를 포함하는 수지 조성물을 캐스팅하여 필름상으로 성형하는 캐스팅 성형법. 종래 공지된 기타의 필름 성형법. 박형화에 대응 가능한 점에서, 압출 성형법 또는 캐스팅 성형법이 바람직하다. 필름에는 시트가 포함된다.The following methods are mentioned as a method of molding a resin composition into a film form and obtaining a resin film. An extrusion molding method in which a resin composition is melt-kneaded using an extruder, extruded, and then molded into a film by a T die or a circular die. Casting molding method in which a resin composition containing a solvent is cast to form a film. Other known film forming methods. In terms of being able to cope with thinning, extrusion molding or casting molding is preferred. The film includes a sheet.

수지 조성물을 필름상으로 성형하고, 열에 의한 경화가 너무 진행되지 않을 정도로, 예를 들어 50℃ 내지 150℃에서 1분간 내지 10분간 가열 건조시킴으로써, B 스테이지 필름인 수지 필름을 얻을 수 있다.A resin film as a B stage film can be obtained by molding the resin composition into a film, and drying by heating at 50°C to 150°C for 1 minute to 10 minutes, so that curing by heat does not proceed too much.

상술한 바와 같은 건조 공정에 의해 얻을 수 있는 필름상의 수지 조성물을 B 스테이지 필름이라고 칭한다. 상기 B 스테이지 필름은, 반경화 상태에 있다. 반경화물은, 완전히 경화되지 않고, 경화가 더욱 진행될 수 있다.The film-like resin composition obtainable by the above-described drying process is referred to as a B-stage film. The B-stage film is in a semi-cured state. The semi-cured material is not completely cured, and curing may proceed further.

상기 수지 필름은, 프리프레그가 아니어도 된다. 상기 수지 필름이 프리프레그가 아닐 경우에는, 유리 클로스 등에 따라 마이그레이션이 발생하지 않게 된다. 또한, 수지 필름을 라미네이트 또는 프리큐어할 때 표면에 유리 클로스에서 기인하는 요철이 발생하지 않게 된다. 상기 수지 필름은, 금속박 또는 기재와, 해당 금속박 또는 기재의 표면에 적층된 수지 필름을 구비하는 적층 필름의 형태로 사용할 수 있다. 상기 금속박은 구리박인 것이 바람직하다.The resin film may not be a prepreg. When the resin film is not a prepreg, migration does not occur due to glass cloth or the like. Further, when the resin film is laminated or precured, irregularities resulting from the glass cloth do not occur on the surface. The resin film may be used in the form of a laminated film including a metal foil or a substrate, and a resin film laminated on the surface of the metal foil or substrate. It is preferable that the said metal foil is a copper foil.

상기 적층 필름의 상기 기재로서는, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 및 폴리부틸렌테레프탈레이트 필름 등의 폴리에스테르 수지 필름, 폴리에틸렌 필름 및 폴리프로필렌 필름 등의 올레핀 수지 필름 및 폴리이미드 수지 필름 등을 들 수 있다. 상기 기재의 표면은, 필요에 따라, 이형 처리되어 있어도 된다.Examples of the substrate of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate films and polybutylene terephthalate films, olefin resin films such as polyethylene films and polypropylene films, and polyimide resin films. If necessary, the surface of the substrate may be subjected to a release treatment.

수지 필름의 경화도를 한층 더 균일하게 제어하는 관점에서는, 상기 수지 필름의 두께는, 바람직하게는 5㎛ 이상이고, 바람직하게는 200㎛ 이하이다. 상기 수지 필름을 회로의 절연층으로서 사용하는 경우, 상기 수지 필름에 의해 형성된 절연층의 두께는, 회로를 형성하는 도체층(금속층)의 두께 이상인 것이 바람직하다. 상기 절연층의 두께는, 바람직하게는 5㎛ 이상이고, 바람직하게는 200㎛ 이하이다.From the viewpoint of further uniformly controlling the degree of curing of the resin film, the thickness of the resin film is preferably 5 µm or more, and preferably 200 µm or less. When the resin film is used as an insulating layer for a circuit, it is preferable that the thickness of the insulating layer formed of the resin film is not less than the thickness of the conductor layer (metal layer) forming the circuit. The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less.

(반도체 장치, 프린트 배선판, 동장 적층판 및 다층 프린트 배선판)(Semiconductor device, printed wiring board, copper clad laminate and multilayer printed wiring board)

상기 수지 재료는, 반도체 장치에 있어서 반도체 칩을 매립하는 몰드 수지를 형성하기 위해 적합하게 사용된다.The resin material is suitably used in order to form a mold resin for embedding a semiconductor chip in a semiconductor device.

상기 수지 재료는, 프린트 배선판에 있어서 절연층을 형성하기 위해 적합하게 사용된다.The resin material is suitably used in order to form an insulating layer in a printed wiring board.

상기 프린트 배선판은, 예를 들어 상기 수지 재료를 가열 가압 성형함으로써 얻어진다.The printed wiring board is obtained, for example, by heating and pressing the resin material.

상기 수지 필름에 대하여, 편면 또는 양면에 금속박을 적층할 수 있다. 상기 수지 필름과 금속박을 적층하는 방법은 특별히 한정되지 않고 공지된 방법을 사용할 수 있다. 예를 들어, 평행 평판 프레스기 또는 롤 라미네이터 등의 장치를 사용하여, 가열하면서 또는 가열하지 않고 가압하면서, 상기 수지 필름을 금속박에 적층 가능하다.With respect to the resin film, a metal foil can be laminated on one side or both sides. The method of laminating the resin film and the metal foil is not particularly limited, and a known method can be used. For example, the resin film can be laminated to the metal foil while heating or pressing without heating using an apparatus such as a parallel plate press or a roll laminator.

상기 수지 재료는, 동장 적층판을 얻기 위해 적합하게 사용된다. 상기 동장 적층판의 일례로서, 구리박과, 해당 구리박의 한쪽 표면에 적층된 수지 필름을 구비하는 동장 적층판을 들 수 있다.The resin material is suitably used to obtain a copper clad laminate. As an example of the said copper clad laminated board, a copper clad laminated board provided with a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil is mentioned.

상기 동장 적층판의 상기 구리박의 두께는 특별히 한정되지 않는다. 상기 구리박의 두께는, 1㎛ 내지 50㎛의 범위 내인 것이 바람직하다. 또한, 상기 수지 재료의 경화물과 구리박의 접착 강도를 높이기 위해, 상기 구리박은 미세한 요철을 표면에 갖는 것이 바람직하다. 요철의 형성 방법은 특별히 한정되지 않는다. 상기 요철의 형성 방법으로서는, 공지된 약액을 사용한 처리에 의한 형성 방법 등을 들 수 있다.The thickness of the copper foil of the copper clad laminate is not particularly limited. It is preferable that the thickness of the copper foil is in the range of 1 μm to 50 μm. In addition, in order to increase the adhesive strength between the cured product of the resin material and the copper foil, it is preferable that the copper foil has fine irregularities on its surface. The method for forming the irregularities is not particularly limited. As a method for forming the irregularities, a method for forming by treatment using a known chemical solution, etc. may be mentioned.

상기 수지 재료는, 다층 기판을 얻기 위해 적합하게 사용된다.The resin material is suitably used to obtain a multilayer substrate.

상기 다층 기판의 일례로서, 회로 기판과, 해당 회로 기판 상에 적층된 절연층을 구비하는 다층 기판을 들 수 있다. 이 다층 기판의 절연층이, 상기 수지 재료에 의해 형성되어 있다. 또한, 다층 기판의 절연층이, 적층 필름을 사용하여, 상기 적층 필름의 상기 수지 필름에 의해 형성되어 있어도 된다. 상기 절연층은, 회로 기판의 회로가 마련된 표면 상에 적층되어 있는 것이 바람직하다. 상기 절연층의 일부는, 상기 회로간에 매립되어 있는 것이 바람직하다.As an example of the multilayer board, a multilayer board including a circuit board and an insulating layer laminated on the circuit board may be mentioned. The insulating layer of this multilayer substrate is formed of the resin material. In addition, the insulating layer of the multilayer substrate may be formed of the resin film of the laminated film using a laminated film. It is preferable that the insulating layer is laminated on the surface of the circuit board on which the circuit is provided. It is preferable that a part of the insulating layer is buried between the circuits.

상기 다층 기판에서는, 상기 절연층의 상기 회로 기판이 적층된 표면과는 반대측의 표면이 조화 처리되어 있는 것이 바람직하다.In the multilayer substrate, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated is subjected to a roughening treatment.

조화 처리 방법은, 종래 공지된 조화 처리 방법을 사용할 수 있고, 특별히 한정되지 않는다. 상기 절연층의 표면은, 조화 처리 전에 팽윤 처리되어 있어도 된다.As the roughening treatment method, a conventionally known roughening treatment method can be used and is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be subjected to a swelling treatment before the roughening treatment.

또한, 상기 다층 기판은, 상기 절연층의 조화 처리된 표면에 적층된 구리 도금층을 더 구비하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the multilayer substrate further includes a copper plating layer laminated on the roughened surface of the insulating layer.

또한, 상기 다층 기판의 다른 예로서, 회로 기판과, 해당 회로 기판의 표면 상에 적층된 절연층과, 해당 절연층의 상기 회로 기판이 적층된 표면과는 반대측의 표면에 적층된 구리박을 구비하는 다층 기판을 들 수 있다. 상기 절연층이, 구리박과 해당 구리박의 한쪽 표면에 적층된 수지 필름을 구비하는 동장 적층판을 사용하여, 상기 수지 필름을 경화시킴으로써 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기 구리박은 에칭 처리되어 있고, 구리 회로인 것이 바람직하다.Further, as another example of the multilayer board, a circuit board, an insulating layer stacked on the surface of the circuit board, and a copper foil stacked on a surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is stacked And a multilayered substrate. It is preferable that the said insulating layer is formed by hardening the said resin film using a copper clad laminated board provided with a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil. Moreover, it is preferable that the said copper foil is etched and is a copper circuit.

상기 다층 기판의 다른 예로서, 회로 기판과, 해당 회로 기판의 표면 상에 적층된 복수의 절연층을 구비하는 다층 기판을 들 수 있다. 상기 회로 기판 상에 배치된 상기 복수층의 절연층 중 적어도 1층이, 상기 수지 재료를 사용하여 형성된다. 상기 다층 기판은, 상기 수지 필름을 사용하여 형성되어 있는 상기 절연층의 적어도 한쪽 표면에 적층되어 있는 회로를 더 구비하는 것이 바람직하다.As another example of the multilayer board, a multilayer board including a circuit board and a plurality of insulating layers stacked on the surface of the circuit board may be mentioned. At least one of the plurality of insulating layers disposed on the circuit board is formed using the resin material. It is preferable that the multilayer substrate further includes a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed using the resin film.

다층 기판 중 다층 프린트 배선판에 있어서는, 낮은 유전 정접이 요구되고, 절연층에 의한 높은 절연 신뢰성이 요구된다. 본 발명에 따른 수지 재료에서는, 유전 정접을 낮추고, 또한 디라미네이션의 발생을 억제함으로써 절연 신뢰성을 효과적으로 높일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 수지 재료는, 다층 프린트 배선판에 있어서, 절연층을 형성하기 위해 적합하게 사용된다. 본 발명에 따른 수지 재료는, 다층 프린트 배선판에 있어서, 절연층을 형성 가능한 수지 재료인 것이 바람직하다. 본 발명에 따른 수지 재료는, 다층 프린트 배선판에 있어서, 절연층을 형성하는데 적합한 수지 재료인 것이 바람직하다.Among the multilayer substrates, in a multilayer printed wiring board, a low dielectric loss tangent is required, and high insulation reliability by an insulating layer is required. In the resin material according to the present invention, insulation reliability can be effectively improved by lowering the dielectric loss tangent and suppressing the occurrence of delamination. Therefore, the resin material according to the present invention is suitably used in order to form an insulating layer in a multilayer printed wiring board. The resin material according to the present invention is preferably a resin material capable of forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board. The resin material according to the present invention is preferably a resin material suitable for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.

상기 다층 프린트 배선판은, 예를 들어 회로 기판과, 상기 회로 기판의 표면 상에 배치된 복수의 절연층과, 복수의 상기 절연층 사이에 배치된 금속층을 구비한다. 상기 절연층 중 적어도 1층이, 상기 수지 재료의 경화물이다.The multilayer printed wiring board includes, for example, a circuit board, a plurality of insulating layers disposed on a surface of the circuit board, and a metal layer disposed between the plurality of insulating layers. At least one of the insulating layers is a cured product of the resin material.

도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 수지 재료를 사용한 다층 프린트 배선판을 모식적으로 도시하는 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시하는 다층 프린트 배선판(11)에서는, 회로 기판(12)의 상면(12a)에, 복수층의 절연층(13 내지 16)이 적층되어 있다. 절연층(13 내지 16)은, 경화물층이다. 회로 기판(12)의 상면(12a)의 일부 영역에는, 금속층(17)이 형성되어 있다. 복수층의 절연층(13 내지 16) 중, 회로 기판(12)측과는 반대의 외측 표면에 위치하는 절연층(16) 이외의 절연층(13 내지 15)에는, 상면의 일부 영역에 금속층(17)이 형성되어 있다. 금속층(17)은 회로이다. 회로 기판(12)과 절연층(13) 사이 및 적층된 절연층(13 내지 16)의 각 층간에, 금속층(17)이 각각 배치되어 있다. 하방의 금속층(17)과 상방의 금속층(17)은, 도시하지 않은 비아홀 접속 및 스루홀 접속 중 적어도 한쪽에 의해 서로 접속되어 있다.In the multilayer printed wiring board 11 shown in FIG. 1, a plurality of insulating layers 13 to 16 are laminated on the upper surface 12a of the circuit board 12. The insulating layers 13 to 16 are cured layers. A metal layer 17 is formed in a partial region of the upper surface 12a of the circuit board 12. Among the plurality of insulating layers 13 to 16, in the insulating layers 13 to 15 other than the insulating layer 16 located on the outer surface opposite to the circuit board 12 side, a metal layer ( 17) is formed. The metal layer 17 is a circuit. Metal layers 17 are disposed between the circuit board 12 and the insulating layer 13 and between the layers of the stacked insulating layers 13 to 16, respectively. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of a via hole connection and a through hole connection (not shown).

다층 프린트 배선판(11)에서는, 절연층(13 내지 16)이 상기 수지 재료의 경화물에 의해 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 절연층(13 내지 16)의 표면이 조화 처리되어 있으므로, 절연층(13 내지 16)의 표면에 도시하지 않은 미세한 구멍이 형성되어 있다. 또한, 미세한 구멍의 내부에 금속층(17)이 도달하고 있다. 또한, 다층 프린트 배선판(11)에서는, 금속층(17)의 폭 방향 치수(L)와, 금속층(17)이 형성되지 않은 부분의 폭 방향 치수(S)를 작게 할 수 있다. 또한, 다층 프린트 배선판(11)에서는, 도시하지 않은 비아홀 접속 및 스루홀 접속으로 접속되어 있지 않은 상방의 금속층과 하방의 금속층 사이에, 양호한 절연 신뢰성이 부여되어 있다.In the multilayer printed wiring board 11, the insulating layers 13 to 16 are formed of a cured product of the resin material. In this embodiment, since the surfaces of the insulating layers 13 to 16 are roughened, fine holes (not shown) are formed on the surfaces of the insulating layers 13 to 16. Further, the metal layer 17 has reached the inside of the fine hole. Moreover, in the multilayer printed wiring board 11, the width direction dimension L of the metal layer 17 and the width direction dimension S of the part where the metal layer 17 is not formed can be made small. Further, in the multilayer printed wiring board 11, good insulation reliability is imparted between the upper metal layer and the lower metal layer not connected by via-hole connection and through-hole connection (not shown).

(조화 처리 및 팽윤 처리)(Harmonization treatment and swelling treatment)

상기 수지 재료는, 조화 처리 또는 디스미어 처리되는 경화물을 얻기 위해 사용되는 것이 바람직하다. 상기 경화물에는, 더 경화가 가능한 예비 경화물도 포함된다.It is preferable that the said resin material is used in order to obtain a hardened|cured material to be roughened or desmeared. The cured product includes a precured product capable of further curing.

상기 수지 재료를 예비 경화시킴으로써 얻어진 경화물의 표면에 미세한 요철을 형성하기 때문에, 경화물은 조화 처리되는 것이 바람직하다. 조화 처리 전에, 경화물은 팽윤 처리되는 것이 바람직하다. 경화물은, 예비 경화 후, 또한 조화 처리되기 전에, 팽윤 처리되어 있으며, 또한 조화 처리 후에 경화되어 있는 것이 바람직하다. 단, 경화물은, 반드시 팽윤 처리되지 않아도 된다.Since fine irregularities are formed on the surface of the cured product obtained by precuring the resin material, the cured product is preferably subjected to a roughening treatment. Before the roughening treatment, the cured product is preferably subjected to a swelling treatment. It is preferable that the cured product is subjected to a swelling treatment after pre-hardening and before being subjected to a roughening treatment, and cured after the roughening treatment. However, the cured product does not necessarily have to be subjected to swelling treatment.

상기 팽윤 처리의 방법으로서는, 예를 들어 에틸렌글리콜 등을 주성분으로 하는 화합물의 수용액 또는 유기 용매 분산 용액 등에 의해, 경화물을 처리하는 방법이 사용된다. 팽윤 처리에 사용하는 팽윤액은, 일반적으로 pH 조정제 등으로서, 알칼리를 포함한다. 팽윤액은, 수산화나트륨을 포함하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 예를 들어 상기 팽윤 처리는, 40중량% 에틸렌글리콜 수용액 등을 사용하여, 처리 온도 30℃ 내지 85℃에서 1분간 내지 30분간, 경화물을 처리함으로써 행해진다. 상기 팽윤 처리의 온도는 50℃ 내지 85℃의 범위 내인 것이 바람직하다. 상기 팽윤 처리의 온도가 너무 낮으면, 팽윤 처리에 장시간이 소요되고, 또한 경화물과 금속층의 접착 강도가 낮아지는 경향이 있다.As the method of the swelling treatment, for example, a method of treating a cured product with an aqueous solution of a compound containing ethylene glycol or the like as a main component or an organic solvent dispersion solution is used. The swelling liquid used for the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. It is preferable that the swelling liquid contains sodium hydroxide. Specifically, for example, the swelling treatment is performed by treating a cured product at a treatment temperature of 30°C to 85°C for 1 minute to 30 minutes using a 40% by weight aqueous ethylene glycol solution or the like. It is preferable that the temperature of the swelling treatment is in the range of 50°C to 85°C. If the temperature of the swelling treatment is too low, a long time is required for the swelling treatment, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer tends to decrease.

상기 조화 처리에는, 예를 들어 망간 화합물, 크롬 화합물 또는 과황산 화합물 등의 화학 산화제 등이 사용된다. 이들 화학 산화제는, 물 또는 유기 용제가 첨가된 후, 수용액 또는 유기 용매 분산 용액으로서 사용된다. 조화 처리에 사용되는 조화액은, 일반적으로 pH 조정제 등으로서 알칼리를 포함한다. 조화액은, 수산화나트륨을 포함하는 것이 바람직하다.In the roughening treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound or a persulfate compound is used. These chemical oxidizing agents are used as aqueous solutions or organic solvent dispersion solutions after water or organic solvents are added. The roughening liquid used for the roughening treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. It is preferable that the roughening liquid contains sodium hydroxide.

상기 망간 화합물로서는, 과망간산칼륨 및 과망간산나트륨 등을 들 수 있다. 상기 크롬 화합물로서는, 중크롬산칼륨 및 무수 크롬산칼륨 등을 들 수 있다. 상기 과황산 화합물로서는, 과황산나트륨, 과황산칼륨 및 과황산암모늄 등을 들 수 있다.Examples of the manganese compound include potassium permanganate and sodium permanganate. Examples of the chromium compound include potassium dichromate and anhydrous potassium chromate. As said persulfate compound, sodium persulfate, potassium persulfate, ammonium persulfate, etc. are mentioned.

경화물의 표면의 산술 평균 조도 Ra는 바람직하게는 10㎚ 이상이고, 바람직하게는 300㎚ 미만, 보다 바람직하게는 200㎚ 미만, 더욱 바람직하게는 150㎚ 미만이다. 이 경우에는, 경화물과 금속층의 접착 강도가 높아지고, 또한 절연층의 표면에 한층 더 미세한 배선이 형성된다. 또한, 도체 손실을 억제할 수 있고, 신호 손실을 낮게 억제할 수 있다. 상기 산술 평균 조도 Ra는, JIS B0601:1994에 준거하여 측정된다.The arithmetic mean roughness Ra of the surface of the cured product is preferably 10 nm or more, preferably less than 300 nm, more preferably less than 200 nm, and still more preferably less than 150 nm. In this case, the bonding strength between the cured product and the metal layer is increased, and a finer wiring is formed on the surface of the insulating layer. Further, conductor loss can be suppressed, and signal loss can be suppressed low. The arithmetic mean roughness Ra is measured according to JIS B0601:1994.

(레이저 비아 개구 및 디스미어 처리)(Laser via opening and desmear treatment)

상기 수지 재료를 예비 경화시킴으로써 얻어진 경화물에, 관통 구멍이 형성되는 경우가 있다. 상기 다층 기판 등에서는, 관통 구멍으로서, 비아 또는 스루홀 등이 형성된다. 예를 들어, 비아는, CO2 레이저 등의 레이저의 조사에 의해 형성할 수 있다. 비아의 직경은 특별히 한정되지 않지만, 60㎛ 내지 80㎛ 정도이다. 상기 관통 구멍의 형성에 의해, 비아 내의 저부에는, 경화물에 포함되어 있는 수지 성분에서 유래되는 수지의 잔사인 스미어가 형성되는 경우가 많다.A through hole may be formed in a cured product obtained by precuring the resin material. In the multilayer substrate or the like, a via or a through hole is formed as a through hole. For example, vias can be formed by irradiation of a laser such as a CO 2 laser. The diameter of the via is not particularly limited, but is about 60 µm to 80 µm. Due to the formation of the through hole, smear, which is a residue of the resin derived from the resin component contained in the cured product, is often formed at the bottom of the via.

상기 스미어를 제거하기 위해, 경화물의 표면은, 디스미어 처리되는 것이 바람직하다. 디스미어 처리가 조화 처리를 겸하는 경우도 있다.In order to remove the smear, the surface of the cured product is preferably subjected to desmear treatment. The desmear treatment may also serve as a roughening treatment.

상기 디스미어 처리에는, 상기 조화 처리와 마찬가지로, 예를 들어 망간 화합물, 크롬 화합물 또는 과황산 화합물 등의 화학 산화제 등이 사용된다. 이들의 화학 산화제는, 물 또는 유기 용제가 첨가된 후, 수용액 또는 유기 용매 분산 용액으로서 사용된다. 디스미어 처리에 사용되는 디스미어 처리액은, 일반적으로 알칼리를 포함한다. 디스미어 처리액은, 수산화나트륨을 포함하는 것이 바람직하다.In the desmear treatment, similarly to the roughening treatment, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfate compound is used. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after water or an organic solvent is added. The desmear treatment liquid used for the desmear treatment generally contains an alkali. It is preferable that the desmear treatment liquid contains sodium hydroxide.

상기 수지 재료의 사용에 의해, 디스미어 처리된 경화물의 표면의 표면 조도가 충분히 작아진다.With the use of the resin material, the surface roughness of the surface of the desmeared cured product becomes sufficiently small.

이하, 실시예 및 비교예를 들어, 본 발명을 구체적으로 설명한다. 본 발명은 이하의 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples. The present invention is not limited to the following examples.

(에폭시 화합물)(Epoxy compound)

비스페놀 A형 에폭시 화합물(DIC사제 「850-S」, 에폭시 당량 187)Bisphenol A type epoxy compound ("850-S" manufactured by DIC, Epoxy equivalent 187)

비페닐 노볼락형 에폭시 화합물(닛폰 가야쿠사제 「NC-3000」, 에폭시 당량 275)Biphenyl novolak type epoxy compound (Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC-3000", epoxy equivalent 275)

(무기 충전재)(Inorganic filling)

실리카 함유 슬러리 1(실리카 75중량%: 아드마텍스사제 「SC4050-HOA」, 비표면적 4.5㎡/g, 평균 입경 1.0㎛, 페닐아미노실란 처리, 시클로헥사논 25중량%)Silica-containing slurry 1 (75% by weight of silica: "SC4050-HOA" manufactured by Admatex, specific surface area of 4.5 m2/g, average particle diameter of 1.0 μm, phenylaminosilane treatment, 25% by weight of cyclohexanone)

실리카 함유 슬러리 2(실리카 60중량%: 아드마텍스사제 「SC1050-HLA」, 비표면적 17㎡/g, 평균 입경 0.25㎛, 페닐아미노실란 처리, 시클로헥사논 40중량%)Silica-containing slurry 2 (silica 60% by weight: "SC1050-HLA" manufactured by Admatex, specific surface area 17 m 2 /g, average particle diameter 0.25 µm, phenylaminosilane treatment, cyclohexanone 40% by weight)

실리카 함유 슬러리 3(실리카 50중량%: 아드마텍스사제 「YA100C」, 비표면적 30㎡/g, 평균 입경 0.10㎛, 페닐아미노실란 처리, 시클로헥사논 50중량%)Silica-containing slurry 3 (50% by weight of silica: "YA100C" manufactured by Admatex, specific surface area of 30 m2/g, average particle diameter of 0.10 μm, phenylaminosilane treatment, 50% by weight of cyclohexanone)

실리카 함유 슬러리 4(실리카 50중량%, 아드마텍스사제 「YA050C」, 비표면적 65㎡/g, 평균 입경 0.05㎛, 페닐아미노실란 처리, 시클로헥사논 50중량%)Silica-containing slurry 4 (50% by weight of silica, "YA050C" manufactured by Admatex, specific surface area of 65 m2/g, average particle diameter of 0.05 μm, phenylaminosilane treatment, 50% by weight of cyclohexanone)

(경화제)(Hardener)

활성 에스테르 수지 함유액(DIC사제 「EXB9416-70BK」, 고형분 70중량%)Active ester resin-containing liquid ("EXB9416-70BK" manufactured by DIC, solid content 70% by weight)

(실란 커플링제)(Silane coupling agent)

트리아진 골격을 갖는 실란 커플링제(디아미노트리아진 골격을 갖는 실란 커플링제, 시코쿠 가세이 고교사제 「VD-5」)Silane coupling agent having a triazine skeleton (silane coupling agent having a diaminotriazine skeleton, "VD-5" manufactured by Shikoku Kasei Kogyo)

트리아진 골격을 갖지 않는 실란 커플링제(신에쓰 가가쿠 고교사제 「KBM-573」, N-페닐-3-아미노프로필트리메톡시실란)Silane coupling agent having no triazine skeleton (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM-573", N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane)

(경화 촉진제)(Hardening accelerator)

디메틸아미노피리딘(와코 쥰야쿠 고교사제 「DMAP」)Dimethylaminopyridine ("DMAP" manufactured by Wako Junyaku Kogyo)

(열가소성 수지)(Thermoplastic resin)

페녹시 수지 함유액(미츠비시 가가쿠사제 「YX6954BH30」, 고형분 30중량%)Phenoxy resin-containing liquid ("YX6954BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, solid content 30% by weight)

(기타)(Other)

트리아진 골격을 갖는 페놀노볼락 수지(DIC사제 「LA-1356」)Phenol novolak resin having a triazine skeleton ("LA-1356" manufactured by DIC)

(실시예 1 내지 7 및 비교예 1 내지 3)(Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 3)

하기의 표 1, 2에 나타내는 성분을 하기의 표 1, 2에 나타내는 배합량(단위는 고형분 중량부)으로 배합하고, 균일한 용액이 될 때까지 상온에서 교반하고, 수지 재료를 얻었다.The components shown in Tables 1 and 2 below were blended in the blending amounts (units are parts by weight of solid content) shown in Tables 1 and 2 below, and stirred at room temperature until a homogeneous solution was obtained to obtain a resin material.

수지 필름의 제작: Production of resin film:

애플리케이터를 사용하여, 이형 처리된 PET 필름(도레이사제 「XG284」, 두께 25㎛)의 이형 처리면 위에 얻어진 수지 재료를 도공한 후, 100℃의 기어 오븐 내에서 3분간 건조하고, 용제를 휘발시켰다. 이와 같이 하여, PET 필름 위에, 두께가 40㎛인 수지 필름(PET 필름과 수지 필름의 적층 필름)을 얻었다.Using an applicator, the obtained resin material was coated on the mold-releasing surface of the mold-releasing PET film ("XG284" manufactured by Toray Corporation, thickness 25 μm), and then dried in a gear oven at 100° C. for 3 minutes, and the solvent was volatilized. . In this way, a resin film (a laminated film of a PET film and a resin film) having a thickness of 40 µm was obtained on the PET film.

적층 공정(적층 샘플 A의 제작): Lamination process (preparation of laminated sample A):

동장 적층 기판(두께 150㎛의 유리 에폭시 기판과 두께 35㎛의 구리박의 적층체)을 준비하였다. 동장 적층 기판의 양면을 구리 표면 조화제(맥크사제 「메크에치본드 CZ-8100」)에 침지하여, 구리 표면을 조화 처리하였다.A copper clad laminated substrate (a laminate of a glass epoxy substrate having a thickness of 150 µm and a copper foil having a thickness of 35 µm) was prepared. Both surfaces of the copper clad laminated substrate were immersed in a copper surface roughening agent ("Mech Bond CZ-8100" manufactured by Mack Corporation) to roughen the copper surface.

얻어진 시트형의 수지 필름을, 동장 적층 기판의 조화 처리한 구리 표면 위에 중첩하여, 진공 가압식 라미네이터기(메이키 세이사쿠쇼사제 「MVLP-500」)를 사용하여, 라미네이트압 0.4MPa 및 라미네이트 온도 100℃에서 40초간 라미네이트하고, 또한 프레스 압력 1.0MPa 및 프레스 온도 100℃에서 40초간 프레스하였다. 이와 같이 하여, 동장 적층 기판 위에 수지 필름이 적층되어 있는 적층체를 제작하였다. 얻어진 적층체에 있어서, PET 필름을 박리한 후, 180℃에서 30분간 가열하고, 수지 재료(수지 필름)의 미경화물을 경화시켜, 절연층을 형성하였다. 그 후, 적층체를 5㎝×5㎝의 소편으로 커트하였다. 이와 같이 하여, 동장 적층 기판 위에 수지 재료(수지 필름)의 경화물이 적층된 적층 샘플 A를 제작하였다.The obtained sheet-like resin film was superimposed on the copper surface of the copper clad laminated substrate subjected to the roughening treatment, and a vacuum pressurized laminator ("MVLP-500" manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) was used, a lamination pressure of 0.4 MPa and a lamination temperature of 100°C. It laminated at for 40 seconds, and pressed at a press pressure of 1.0 MPa and a press temperature of 100°C for 40 seconds. In this way, a laminate in which a resin film was laminated on the copper clad laminated substrate was produced. In the obtained laminate, after peeling the PET film, it was heated at 180° C. for 30 minutes to cure the uncured product of the resin material (resin film) to form an insulating layer. Then, the laminate was cut into small pieces of 5 cm x 5 cm. In this way, a laminated sample A in which a cured product of a resin material (resin film) was laminated on a copper clad laminated substrate was produced.

다음에, 얻어진 적층 샘플 A에 대하여, 이하의 배선 형성 처리를 행하였다.Next, the following wiring formation treatment was performed on the obtained laminated sample A.

팽윤 공정: Swelling process:

60℃의 팽윤액(아토텍 재팬사제 「스웰링 딥 세큐리건트 P」와 와코 쥰야쿠 고교사제 「수산화나트륨」을 포함하는 수용액)에, 상기 적층 샘플 A를 넣고, 팽윤 온도 60℃에서 20분간 요동시켰다. 그 후, 순수로 세정하여, 팽윤 처리된 적층 샘플 A를 얻었다.The laminated sample A was put in a 60°C swelling liquid (aqueous solution containing “Swelling Deep Secure Gant P” manufactured by Atotech Japan and “sodium hydroxide” manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), and the swelling temperature of 60° C. for 20 minutes Shaken. Thereafter, it was washed with pure water to obtain a swelling-treated laminated sample A.

조화 처리(과망간산염 처리): Harmonized treatment (permanganate treatment):

80℃의 과망간산나트륨 조화 수용액(아토텍 재팬사제 「콘센트레이트 콤팩트 CP」, 와코 쥰야쿠 고교사제 「수산화나트륨」)에, 팽윤 처리된 적층 샘플 A를 넣고, 조화 온도 80℃에서 20분간 요동시켰다. 그 후, 40℃의 세정액(아토텍 재팬사제 「리덕션 세큐리건트 P」, 와코 쥰야쿠 고교사제 「황산」)에 의해 10분간 세정한 후, 순수로 더 세정하였다. 이와 같이 하여, 에칭에 의해 내층 회로를 형성한 유리 에폭시 기판 상에 조화 처리된 경화물을 형성하였다.The swelling-treated laminated sample A was put in 80°C of a sodium permanganate roughened aqueous solution ("Concentrate Compact CP" manufactured by Atotech Japan, "Sodium Hydroxide" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), and shaken at 80°C for 20 minutes. Then, after washing|cleaning for 10 minutes with 40 degreeC washing liquid ("Reduction Security P" manufactured by Atotech Japan, "Sulfuric acid" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), it was further washed with pure water. In this way, a roughened cured product was formed on the glass epoxy substrate on which the inner layer circuit was formed by etching.

무전해 도금 공정: Electroless plating process:

상기 조화 처리된 경화물의 표면을, 60℃의 알칼리 클리너(아토텍 재팬사제 「클리너 세큐리건트 902」)로 5분간 처리하고, 탈지 세정하였다. 세정 후, 상기 경화물을 25℃의 프리딥액(아토텍 재팬사제 「프리딥 네오간트 B」)으로 2분간 처리하였다. 그 후, 상기 경화물을 40℃의 액티베이터액(아토텍 재팬사제 「액티베이터 네오간트 834」)으로 5분간 처리하고, 팔라듐 촉매를 부여했다. 다음에, 30℃의 환원액(아토텍 재팬사제 「리듀서 네오간트 WA」)에 의해, 경화물을 5분간 처리하였다.The surface of the cured product subjected to the roughening treatment was treated with an alkali cleaner at 60°C (“Cleaner Secure 902” by Atotech Japan) for 5 minutes, followed by degreasing and washing. After washing, the cured product was treated with a 25°C pre-dip liquid ("Pre-dip Neogant B" manufactured by Atotech Japan) for 2 minutes. Thereafter, the cured product was treated with an activator liquid at 40° C. (“Activator Neogant 834” manufactured by Atotech Japan) for 5 minutes, and a palladium catalyst was applied. Next, the cured product was treated for 5 minutes with a 30°C reducing liquid ("Reducer Neogant WA" manufactured by Atotech Japan).

다음에, 상기 경화물을 화학 구리액(모두 아토텍 재팬사제 「베이직 프린토간트 MSK-DK」, 「카퍼 프린토간트 MSK」, 「스태빌라이저 프린토간트 MSK」, 「리듀서 Cu」)에 넣고, 무전해 도금을 도금 두께가 0.5㎛ 정도가 될 때까지 실시하였다. 무전해 도금 후에, 잔류하고 있는 수소 가스를 제거하기 위해, 120℃의 온도에서 30분간 어닐링 처리하였다. 무전해 도금의 공정까지의 모든 공정은, 비이커 스케일로 처리액을 2L로 하고, 경화물을 요동시키면서 실시하였다.Next, the cured product was put in a chemical copper liquid (all made by Atotech Japan ``Basic Printogant MSK-DK'', ``Cooper Printogant MSK'', ``Stabilizer Printogant MSK'', ``Reducer Cu''), and electroless plating Was carried out until the plating thickness became about 0.5 μm. After electroless plating, in order to remove residual hydrogen gas, annealing treatment was performed at a temperature of 120°C for 30 minutes. All the steps up to the step of electroless plating were performed while making the treatment liquid 2L on a beaker scale and shaking the cured product.

전해 구리 도금 공정: Electrolytic copper plating process:

무전해 도금이 형성된 후, 도금 두께가 25㎛가 될 때까지, 전해 구리 도금을 실시하고, 전해 구리 도금층을 형성하였다. 전해 구리 도금으로서 황산구리 수용액(와코 쥰야쿠 고교사제 「황산구리 5수화물」, 와코 쥰야쿠 고교사제 「황산」, 아토텍 재팬사제 「베이직 레벨러 카팔라시드 HL」, 아토텍 재팬사제 「보정제 큐프라시드 GS」)을 사용하여, 0.6A/㎠의 전류를 흘렸다. 이에 의해, 퀵 에칭 후의 적층 구조체를 얻었다.After the electroless plating was formed, electrolytic copper plating was performed until the plating thickness became 25 µm, and an electrolytic copper plating layer was formed. As electrolytic copper plating, an aqueous solution of copper sulfate ("Copper sulfate pentahydrate" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., "sulfuric acid" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., "Basic Leveler Capalase HL" manufactured by Atotech Japan, and "Cupraside Corrector" manufactured by Atotech Japan. GS") was used, and a current of 0.6 A/cm 2 was passed. Thereby, a laminated structure after quick etching was obtained.

본경화 공정: Main curing process:

퀵 에칭 후의 적층 구조체를, 180℃의 기어 오븐에서 60분간 가열하고, 본경화시킴으로써, 평가용 샘플을 제작하였다.A sample for evaluation was prepared by heating the laminated structure after quick etching for 60 minutes in a gear oven at 180°C and curing it.

(평가)(evaluation)

(1) 디라미네이션(블리스터의 억제성)(1) Delamination (blister inhibition)

얻어진 평가용 샘플을 사용하여, JEDEC의 LEVEL3에 준거하여, 흡습 시험(온도 60℃ 및 습도 60RH%로 40시간)을 행하였다. 그 후, 질소 리플로우 처리(피크 톱 온도 260℃)를 행하였다. 또한, 리플로우 처리는 30회 반복하였다. 리플로우 후의 블리스터의 발생 유무를 눈으로 보아 확인하였다.Using the obtained sample for evaluation, a moisture absorption test (40 hours at a temperature of 60°C and a humidity of 60RH%) was performed in accordance with JEDEC LEVEL3. Then, nitrogen reflow treatment (peak top temperature 260 degreeC) was performed. In addition, the reflow treatment was repeated 30 times. The occurrence of blister after reflow was visually confirmed.

[디라미네이션(블리스터의 억제성)의 판정 기준][Criteria for Delamination (Blister Inhibition)]

○○: 30회의 리플로우 처리에서 블리스터 발생 없음○○: No blister generation in 30 reflow treatments

○: 21 내지 29회의 리플로우 처리에서 블리스터 발생○: Blister occurs in 21 to 29 reflow treatments

×: 20회 이하의 리플로우 처리에서 블리스터 발생×: blister generation in 20 or less reflow treatments

(2) 유전 정접(2) genetic loss tangent

얻어진 수지 필름을 폭 2㎜, 길이 80㎜의 크기로 재단하여 5매를 중첩하고, 두께 200㎛의 적층체를 얻었다. 얻어진 적층체에 대하여, 칸토 덴시 오우요우 카이하츠사제 「공동 공진 섭동법유전율 측정 장치 CP521」 및 키사이트 테크놀로지사제 「네트워크 애널라이저 N5224A PNA」를 사용하여, 공동 공진법으로 상온(23℃)에서, 주파수 1.0GHz에서 유전 정접을 측정하였다.The obtained resin film was cut into a size having a width of 2 mm and a length of 80 mm, and five sheets were stacked to obtain a laminate having a thickness of 200 µm. With respect to the obtained laminate, using the "cavity resonance perturbation method dielectric constant measuring device CP521" manufactured by Kanto Denshi Oyou Kaihatsu Corporation and "Network Analyzer N5224A PNA" manufactured by Keysight Technologies, the frequency at room temperature (23°C) by the cavity resonance method. The dielectric loss tangent was measured at 1.0 GHz.

[유전 정접의 판정 기준][Criteria for determining genetic loss tangent]

○○: 유전 정접이 0.0050 이하○○: dielectric loss tangent of 0.0050 or less

○: 유전 정접이 0.0050을 초과 0.0055 이하○: dielectric loss tangent exceeds 0.0050 and falls below 0.0055

×: 유전 정접이 0.0055를 초과×: dielectric loss tangent exceeds 0.0055

조성 및 결과를 하기의 표 1, 2에 나타낸다.The composition and results are shown in Tables 1 and 2 below.

Figure pct00003
Figure pct00003

Figure pct00004
Figure pct00004

11: 다층 프린트 배선판
12: 회로 기판
12a: 상면
13 내지 16: 절연층
17: 금속층
11: Multilayer printed wiring board
12: circuit board
12a: top surface
13 to 16: insulating layer
17: metal layer

Claims (9)

에폭시 화합물과, 무기 충전재와, 경화제와, 트리아진 골격을 갖는 실란 커플링제를 포함하고,
상기 무기 충전재의 비표면적이, 1㎡/g 이상 50㎡/g 이하인, 수지 재료.
Including an epoxy compound, an inorganic filler, a curing agent, and a silane coupling agent having a triazine skeleton,
The resin material, wherein the inorganic filler has a specific surface area of 1 m 2 /g or more and 50 m 2 /g or less.
제1항에 있어서, 상기 실란 커플링제가 디아미노트리아진 골격을 갖는 실란 커플링제인, 수지 재료.The resin material according to claim 1, wherein the silane coupling agent is a silane coupling agent having a diaminotriazine skeleton. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 경화제가 활성 에스테르 화합물, 시아네이트 화합물, 벤조옥사진 화합물, 카르보디이미드 화합물, 또는 말레이미드 화합물을 포함하는, 수지 재료.The resin material according to claim 1 or 2, wherein the curing agent contains an active ester compound, a cyanate compound, a benzoxazine compound, a carbodiimide compound, or a maleimide compound. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 수지 재료 중의 상기 무기 충전재 및 용제를 제외한 성분 100중량% 중, 상기 실란 커플링제의 함유량이 0.1중량% 이상 3중량% 이하인, 수지 재료.The resin material according to any one of claims 1 to 3, wherein the content of the silane coupling agent is 0.1% by weight or more and 3% by weight or less in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 수지 재료 중의 용제를 제외한 성분 100중량% 중, 상기 무기 충전재의 함유량이 30중량% 이상인, 수지 재료.The resin material according to any one of claims 1 to 4, wherein the content of the inorganic filler is 30% by weight or more in 100% by weight of components excluding the solvent in the resin material. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 열경화성 재료인, 수지 재료.The resin material according to any one of claims 1 to 5, which is a thermosetting material. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 수지 필름인, 수지 재료.The resin material according to any one of claims 1 to 6, which is a resin film. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 다층 프린트 배선판에 있어서, 절연층을 형성하기 위해 사용되는, 수지 재료.The resin material according to any one of claims 1 to 7, which is used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board. 회로 기판과,
상기 회로 기판의 표면 상에 배치된 복수의 절연층과,
복수의 상기 절연층간에 배치된 금속층을 구비하고,
복수의 상기 절연층 중 적어도 1층이 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 수지 재료의 경화물인, 다층 프린트 배선판.
A circuit board,
A plurality of insulating layers disposed on the surface of the circuit board,
Having a metal layer disposed between the plurality of insulating layers,
At least one of the plurality of insulating layers is a cured product of the resin material according to any one of claims 1 to 8. A multilayer printed wiring board.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7341828B2 (en) * 2019-09-30 2023-09-11 太陽ホールディングス株式会社 Curable resin compositions, dry films, copper foils with resin, cured products, and electronic components
CN115461406A (en) * 2020-04-30 2022-12-09 昭和电工材料株式会社 Epoxy resin composition for sealing, electronic component device, and method for producing same
JP6907393B1 (en) * 2020-08-05 2021-07-21 信越化学工業株式会社 Thermosetting resin composition and semiconductor device

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009028493A1 (en) 2007-08-28 2009-03-05 Sumitomo Bakelite Company, Ltd. Insulating resin composition for multilayer printed wiring board, insulating resin sheet with base material, multilayer printed wiring board, and semiconductor device

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62100462A (en) * 1985-10-25 1987-05-09 Asahi Shiyueebell Kk Glass cloth surface finishing agent
JP3550923B2 (en) * 1996-12-13 2004-08-04 日立化成工業株式会社 Epoxy resin molding compound for sealing electronic components
JP2004010487A (en) * 2002-06-03 2004-01-15 Nikko Materials Co Ltd New organosilicon compound, method for producing the same and surface treating agent and resin additive using the same
WO2014038534A1 (en) * 2012-09-07 2014-03-13 積水化学工業株式会社 Insulating resin material and multilayer substrate
JP6370836B2 (en) * 2015-06-04 2018-08-08 四国化成工業株式会社 Surface treatment agent, resin composition and use thereof
JP6461194B2 (en) * 2015-09-30 2019-01-30 積水化学工業株式会社 Resin composition for multilayer printed wiring board and multilayer printed wiring board
JP6834144B2 (en) * 2016-02-29 2021-02-24 味の素株式会社 Resin sheet with support
JP6931542B2 (en) * 2016-03-29 2021-09-08 積水化学工業株式会社 Cured resin composition, resin composition and multilayer substrate
KR20190008838A (en) * 2016-05-25 2019-01-25 히타치가세이가부시끼가이샤 Metallic laminate, printed wiring board and semiconductor package
KR102392225B1 (en) * 2016-08-30 2022-04-28 린텍 가부시키가이샤 Resin composition, resin sheet, and semiconductor device
CN111373509B (en) * 2018-03-30 2024-01-30 琳得科株式会社 Support sheet and composite sheet for forming protective film

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009028493A1 (en) 2007-08-28 2009-03-05 Sumitomo Bakelite Company, Ltd. Insulating resin composition for multilayer printed wiring board, insulating resin sheet with base material, multilayer printed wiring board, and semiconductor device

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