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KR20200021303A - Photomask Case - Google Patents

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KR20200021303A
KR20200021303A KR1020180096895A KR20180096895A KR20200021303A KR 20200021303 A KR20200021303 A KR 20200021303A KR 1020180096895 A KR1020180096895 A KR 1020180096895A KR 20180096895 A KR20180096895 A KR 20180096895A KR 20200021303 A KR20200021303 A KR 20200021303A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
case
photomask
adhesive tape
nonwoven fabric
nonwoven
Prior art date
Application number
KR1020180096895A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
함석헌
채만수
Original Assignee
(주)제이아이테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)제이아이테크 filed Critical (주)제이아이테크
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Abstract

포토마스크를 내부에 수용하는 수용부를 가지는 제1 케이스부 및 상기 제1 케이스부를 덮는 제2 케이스부가 결합하여 형성되는 포토마스크 케이스가 개시된다. 본 발명에 따른 포토마스크 케이스는 상기 제1 케이스부와 상기 제2 케이스부가 맞닿는 경계영역을 둘러싸는 부직포 점착 테이프를 더 포함하고, 상기 부직포 점착 테이프는 상기 경계영역에서 상기 제1 케이스부와 상기 제2 케이스부 사이의 틈새를 통하여 외부의 공기는 상기 포토마스크 케이스의 내부로 통과시키면서 상기 공기에 실려오는 이물질이 상기 틈새를 통하여 상기 포토마스크 케이스의 내부로 통과되는 것을 방지하는 역활을 수행한다. 본 발명에 따른 포토마스크 케이스는 특별한 구조를 가지는 부직포 점착 테이프를 제1 케이스부 및 제2 케이스부 사이의 틈새에 부착하는 간단한 방법에 의하여 형성되는 간단한 구조 덕분에 극격한 기압변화를 겪을 때에도 포토마스크 케이스의 찌그러짐 내지 파손의 우려가 없고, 또한 미세먼지 등의 이물질에 의한 포토마스크의 오염에 대한 염려도 없다.A photomask case is disclosed in which a first case portion having an accommodating portion for accommodating a photomask and a second case portion covering the first case portion are formed in combination. The photomask case may further include a nonwoven adhesive tape surrounding a boundary area where the first case part and the second case part contact each other, and the nonwoven adhesive tape may include the first case part and the first case in the boundary area. 2 The outside air passes through the gap between the case parts while preventing the foreign matter carried in the air from passing through the gap into the photomask case. The photomask case according to the present invention has a photomask even when subjected to extreme pressure changes due to a simple structure formed by a simple method of attaching a nonwoven adhesive tape having a special structure to a gap between the first case portion and the second case portion. There is no fear of crush or damage of the case, and there is no concern about contamination of the photomask by foreign matter such as fine dust.

Description

포토마스크 케이스{Photomask Case}Photomask Case

본 발명은 포토마스크 케이스에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 전자장치, 특히 대형 디스플레이 장치를 제조하는데 사용되는 포토마스크를 보관 및 운송하는 중에 급격한 기압변화로 인한 문제가 발생하지 않게 하는 포토마스크 케이스에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photomask case, and more particularly, to a photomask case in which a problem caused by a sudden air pressure change does not occur during storage and transportation of a photomask used for manufacturing an electronic device, particularly a large display device. It is about.

포토마스크는 유리기판 위에 반도체의 미세회로를 형상화한 것, 즉 투명한 석영기판 상에 도포된 크롬 박막을 이용해 반도체 집적회로와 LCD 패턴을 실제 크기의 1~5배로 식각해 놓은 것으로 반도체 생산공정에 반드시 필요하다. 미세회로 패턴을 형성하기 전의 포토마스크를 블랭크 마스크라 한다. A photomask is a shape of a semiconductor microcircuit on a glass substrate, that is, a semiconductor integrated circuit and an LCD pattern are etched 1 to 5 times the actual size using a chromium thin film coated on a transparent quartz substrate. need. The photomask before forming the microcircuit pattern is called a blank mask.

특허공개 제10-2008-0001571호(2008. 01. 03. 공개)는 마스크 컨테이너를 개시한다. 개시된 마스크 컨테이너는 특히 대형 평판표시장치용 컬러 필터의 제조시 사용되는 포토마스크를 보관하기 위한 것으로서, 제1 본체와 제2 본체가 결합수단에 의하여 착탈가능하게 결합하는 구조 및 제1 본체 및 제2 본체 내부에 마련된 수용부에 포토마스크가 수용되고 고정수단에 의하여 포토마스크가 고정되는 구조를 가진다. 그럼으로써 포토마스크를 용이하게 수납할 수 있고, 포토마스크의 수납 및 운송 과정에서 이물질의 발생 및 흡착을 방지할 수 있다. 제1 본체와 제2 본체 사이에는 고무 등으로 이루어진 실링부재가 설치되어 있어, 마스크 컨테이너의 내부는 밀폐된다. Patent Publication No. 10-2008-0001571 (published Jan. 03, 2008) discloses a mask container. The disclosed mask container is particularly for storing photomasks used in the manufacture of color filters for large-sized flat panel display devices, in which the first body and the second body are detachably coupled by the coupling means, and the first body and the second body. The photomask is accommodated in the housing provided inside the main body and has a structure in which the photomask is fixed by the fixing means. As a result, the photomask can be easily stored, and foreign matters can be prevented from being generated and adsorbed during the storage and transportation of the photomask. A sealing member made of rubber or the like is provided between the first body and the second body, and the inside of the mask container is sealed.

특허등록 제10-0985260호(2010. 09. 28. 등록)는 포토마스크 기판 수용유닛을 개시하고, 특허등록 제10-1094502호(2011. 12. 08. 등록)는 마스크 케이스를 개시한다. 이 특허문헌들은 케이스들의 내부를 밀폐시키기 위한 실링부재에 대한 언급은 없다. Patent Registration No. 10-0985260 (registered on September 28, 2010) discloses a photomask substrate receiving unit, and Patent Registration No. 10-1094502 (registered on Dec. 08, 2011) discloses a mask case. These patent documents do not mention a sealing member for sealing the inside of the cases.

특허공개 제10-2007-0001749호(2007. 01. 04. 공개)는 포토마스크 보관 장치를 개시한다. 개시된 장치는 케이스 내부의 이물질을 전기적으로 집진하기 위하여 집진판을 포함하며, 케이스 내부로 가스를 유입시키는 가스 유입부 및 케이스 내부의 가스를 외부로 배출시키는 가스 배출부를 포함한다. 가스 유입부에는 필터가 설치될 수 있다. Patent Publication No. 10-2007-0001749 (published Jan. 04, 2007) discloses a photomask storage device. The disclosed apparatus includes a dust collecting plate for electrically collecting the foreign matter in the case, and includes a gas inlet for introducing gas into the case and a gas outlet for discharging the gas in the case to the outside. A filter may be installed at the gas inlet.

특허등록 제10-1121176호(2012. 02. 21. 등록)는 포토마스크 케이스의 구조를 개시한다. 개시된 케이스는 상부케이스와 하부케이스 사이에 실링부재가 개재됨으로써 밀폐되고, 하부케이스에 마련된 필터홀에는 필터가 삽입된 구조를 가진다. Patent registration No. 10-1121176 (2012. 02. 21. registration) discloses the structure of a photomask case. The disclosed case is sealed by interposing a sealing member between an upper case and a lower case, and has a structure in which a filter is inserted into a filter hole provided in the lower case.

특허공개 제10-2017-0115438호(2017. 10. 17. 공개)는 포토마스크 블랭크스 기판 수납 용기를 개시한다. 개시된 용기는 하부 상자와 상부 덮개를 포함하고, 하부 상자와 상부 덮개 사이의 틈새는 봉지 테이프에 의하여 봉지(밀폐)된다. 이때, 봉지 테이프는 휘발성 유기성분을 특정치 이하의 매우 적은 량으로 발생시켜서 레지스트 패턴에 영향을 주지 않는 것으로서, 폴리올레핀계, 폴리에스테르계, 폴리염화바이닐, 나일론으로 제조된다. Patent Publication No. 10-2017-0115438 (published Oct. 17, 2017) discloses a photomask blank substrate storage container. The disclosed container includes a lower box and a top cover, and the gap between the lower box and the top cover is sealed (sealed) by a sealing tape. At this time, the sealing tape is a polyolefin-based, polyester-based, polyvinyl chloride, nylon is produced by generating a volatile organic component in a very small amount of a specified value or less to affect the resist pattern.

상기한 종래기술들의 포토마스크 케이스는 제1 케이스부와 제2 케이스부 사이의 틈새가 완전히 밀폐되는 구조, 밀폐되지 않는 구조 및 제1 케이스부와 제2 케이스부 사이의 틈새는 완전히 밀폐되지만 필터를 통하여 공기가 유통하는 구조로 크게 분류할 수 있다. The photomask case of the prior art has a structure in which a gap between the first case part and the second case part is completely sealed, a non-sealed structure, and a gap between the first case part and the second case part is completely sealed, but It can be largely classified into a structure through which air flows.

일반적으로 포토마스크, 특히 LCD와 같은 대형 디스플레이 장치의 제조를 위하여 사용되는 포토마스크가 항공 운송될 때 포토마스크 케이스는 급격한 기압변화를 겪게 된다. In general, when a photomask, especially a photomask used for manufacturing a large display device such as an LCD, is air transported, the photomask case is subject to a sudden air pressure change.

이때, 제1 케이스부와 제2 케이스부 사이의 틈새가 완전히 밀폐되는 구조를 가지는 포토마스크 케이스는 급격한 기압변화를 겪을 때 그 밀폐 구조로 인하여 찌그러지거나 파손될 우려가 있다. 밀폐되지 않는 구조를 가지는 포토마스크 케이스는 기압변화로 인한 포토마스크 케이스의 변형 우려는 없으나, 외부에서 내부로 들어가는 공기와 함께 이동하는 미세먼지 등과 같은 이물질이 포토마스크를 오염시킬 우려가 있다. In this case, the photomask case having a structure in which the gap between the first case part and the second case part is completely sealed may be crushed or damaged due to the sealed structure when undergoing a sudden air pressure change. The photomask case having a non-sealed structure has no fear of deformation of the photomask case due to changes in air pressure, but foreign matters such as fine dust moving together with air entering from the outside may contaminate the photomask.

한편, 제1 케이스부와 제2 케이스부 사이의 틈새는 완전히 밀폐되지만 필터를 통하여 공기가 유통하는 구조는 상기한 두 가지 문제를 해결할 수 있지만, 구조가 복잡해진다는 단점이 있다. On the other hand, the gap between the first case portion and the second case portion is completely sealed, but the structure in which air flows through the filter can solve the above two problems, but there is a disadvantage that the structure is complicated.

이에, 본 발명의 목적은 간단한 방법 내지 구조에 의하여 급격한 기압변화를 겪을 때에도 포토마스크 케이스의 찌그러짐 내지 파손의 우려가 없고, 또한 미세먼지 등의 이물질에 의한 포토마스크의 오염에 대한 염려도 없는 포토마스크 케이스를 제공하는 것이다. Accordingly, an object of the present invention is that there is no fear of crushing or damage of the photomask case even when a sudden change in air pressure is caused by a simple method or structure, and there is no concern about contamination of the photomask by foreign substances such as fine dust. To provide a case.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 포토마스크 케이스는 포토마스크를 내부에 수용하는 수용부를 가지는 제1 케이스부 및 상기 제1 케이스부를 덮는 제2 케이스부가 결합하여 형성되는 것이다. The photomask case according to the present invention for achieving the above object is formed by combining a first case portion having a receiving portion for accommodating the photomask therein and a second case portion covering the first case portion.

상기 포토마스크 케이스는 상기 제1 케이스부와 상기 제2 케이스부가 맞닿는 경계영역을 둘러싸는 부직포 점착 테이프를 더 포함하고, 상기 부직포 점착 테이프는 상기 경계영역에서 상기 제1 케이스부와 상기 제2 케이스부 사이의 틈새를 통하여 외부의 공기는 상기 포토마스크 케이스의 내부로 통과시키면서 상기 공기에 실려오는 이물질이 상기 틈새를 통하여 상기 포토마스크 케이스의 내부로 통과되는 것을 방지하는 역활을 수행한다.The photomask case further includes a nonwoven adhesive tape surrounding a boundary region where the first case portion and the second case portion abut, and the nonwoven adhesive tape includes the first case portion and the second case portion at the boundary region. The outside air passes through the gap between the inside of the photomask case and prevents foreign matter carried in the air from passing through the gap into the photomask case.

상기 부직포 점착 테이프는 부직포층 및 점착층을 포함하고, 상기 부직포층은 평탄한 베이스부에 2차원 방향에서 일정한 간격으로 복수개의 돌출부가 형성된 구조를 가지며, 상기 점착층은 적어도 상기 돌출부 상에는 형성되어 있는 것이 바람직하다.The nonwoven adhesive tape includes a nonwoven fabric layer and an adhesive layer, and the nonwoven fabric layer has a structure in which a plurality of protrusions are formed on a flat base at regular intervals in a two-dimensional direction, and the adhesive layer is formed on at least the protrusions. desirable.

본 발명의 한 양태에 있어서, 상기 점착층은 상기 부직포층의 상기 베이스부 및 상기 돌출부 모두에 형성되어 있으나, 상기 돌출부 및 그것의 인접한 부분에서는 상기 돌출부의 구조적 특성으로 인하여 높게 형성되는 반면에 상기 베이스부에서는 상기 베이스부의 구조적 특성으로 인하여 낮게 형성됨으로써 2차원 방향으로 돌출부 및 요홈부가 교대로 형성되는 구조를 가지는 것일 수 있다.In one embodiment of the invention, the adhesive layer is formed on both the base portion and the protrusion of the nonwoven layer, but the protrusion and its adjacent portion are formed high due to the structural characteristics of the protrusion, whereas the base Due to the structural characteristics of the base portion is formed to be low may have a structure in which the protrusions and grooves are formed alternately in the two-dimensional direction.

본 발명의 다른 양태에 있어서, 상기 점착층은 상기 부직포층의 상기 돌출부에만 형성되어 있는 것일 수 있다. In another aspect of the present invention, the pressure-sensitive adhesive layer may be formed only on the protruding portion of the nonwoven fabric layer.

상기 부직포층에서 이웃하는 상기 돌출부 사이의 간격은 1.0 ~ 2.0 mm이고, 상기 돌출부의 높이는 0.2 ~ 0.7 mm이며, 상기 돌출부의 크기는 0.5 ~ 1.0 mm일 수 있다. The gap between the adjacent protrusions in the nonwoven fabric layer may be 1.0 to 2.0 mm, the height of the protrusion may be 0.2 to 0.7 mm, and the size of the protrusion may be 0.5 to 1.0 mm.

상기 점착층의 두께는 5 ~ 10 ㎛일 수 있다. The adhesive layer may have a thickness of 5 μm to 10 μm.

상기 제1 케이스부와 상기 제2 케이스부 사이의 틈새의 간격은 5 ~ 7 mm일 수 있다.The gap between the first case part and the second case part may be 5 to 7 mm.

상기 포토마스크 케이스는 상기 제1 케이스부와 상기 제2 케이스부 사이에 존재하는 실링부재를 더 포함하고, 상기 실링부재는 상기 제1 케이스부와 상기 제2 케이스부 사이의 틈새를 완전히 밀폐시키지는 않는다.The photomask case further includes a sealing member existing between the first case portion and the second case portion, and the sealing member does not completely close the gap between the first case portion and the second case portion. .

본 발명은 또한 상기한 부직포 점착 테이프를 제공한다. 본 발명의 부직포 점착 테이프는 상기에서 언급한 바와 같이, 포토마스크 케이스에 적용되어 상기한 기능을 달성하는 것을 목적으로 하는 것이지만, 포토마스크 케이스 이외에도 급격한 기압변화로 인하여 상기에서 설명한 문제가 발생하는 것을 방지하는 것이 필요한 어떠한 다른 케이스에 대해서도 적용가능하다. The present invention also provides the above nonwoven adhesive tape. As mentioned above, the nonwoven adhesive tape of the present invention is applied to a photomask case to achieve the above function, but in addition to the photomask case, the above-described problem is prevented from occurring due to a sudden air pressure change. Applicable for any other case that needs to be done.

본 발명에 따른 포토마스크 케이스는 특별한 구조를 가지는 부직포 점착 테이프를 제1 케이스부 및 제2 케이스부 사이의 틈새에 부착하는 간단한 방법에 의하여 형성되는 간단한 구조 덕분에 급격한 기압변화를 겪을 때에도 포토마스크 케이스의 찌그러짐 내지 파손의 우려가 없고, 또한 미세먼지 등의 이물질에 의한 포토마스크의 오염에 대한 염려도 없다. The photomask case according to the present invention is a photomask case even when experiencing a sudden air pressure change thanks to a simple structure formed by a simple method of attaching a nonwoven adhesive tape having a special structure to a gap between the first case portion and the second case portion. There is no fear of crushing or damage, and there is no concern about contamination of the photomask by foreign matter such as fine dust.

도 1은 본 발명에 적용될 수 있는 일반적인 포토마스크 케이스의 제1 케이스부에 대한 평면도이다.
도 2는 본 발명에 적용될 수 있는 일반적인 포토마스크 케이스의 제2 케이스부에 대한 평면도이다.
도 3은 도 1의 제1 케이스부와 도 2의 제2 케이스부가 결합된 일반적인 포토마스크 케이스에 대한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 포토마스크 케이스에서 제1 케이스부와 제2 케이스부가 맞닿는 경계영역을 부직포 점착 테이프가 둘러싼 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 도 4에서 A-A'선을 따라 절단한 절단단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 포토마스크 케이스에서 제1 케이스부와 제2 케이스부가 맞닿는 경계영역을 부직포 점착 테이프가 둘러싼 상태를 도시한 도면이다.
도 7은 도 6에서 B-B'선을 따라 절단한 절단단면도이다. 1 is a plan view of a first case part of a general photomask case which may be applied to the present invention.
2 is a plan view of a second case part of a general photomask case which may be applied to the present invention.
3 is a side view of a general photomask case in which the first case part of FIG. 1 and the second case part of FIG. 2 are combined.
FIG. 4 is a view illustrating a state in which a nonwoven adhesive tape surrounds a boundary area where a first case part and a second case part abut in a photomask case according to an exemplary embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 4.
FIG. 6 is a view illustrating a state in which a nonwoven adhesive tape surrounds a boundary area between a first case part and a second case part in a photomask case according to another exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIG. 6.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 포토마스크 케이스(10)는 제1 케이스부(100) 및 제2 케이스부(200)를 포함한다. 제1 케이스부(100) 및 제2 케이스부(200)는 포토마스크를 내부에 수용하는 수용부(110 및 210)를 각각 포함한다. 수용부(110 및 210)에는 포토마스크가 안착될 수 있도록 복수개의 포토마스크 안착부(120 및 220)가 각각 마련되어 있다. 제1 케이스부(100) 및 제2 케이스부(200)에는 복수개의 체결부재(130 및 230)가 마련되어 있고, 그러한 체결부재(130 및 230)에 의하여 제1 케이스부(100)와 제2 케이스부(200)는 서로 체결되어 포토마스크 케이스(10)를 이룬다. As illustrated in FIGS. 1 to 3, the photomask case 10 of the present invention includes a first case part 100 and a second case part 200. The first case part 100 and the second case part 200 include receiving parts 110 and 210, respectively, for accommodating a photomask therein. The accommodating parts 110 and 210 are provided with a plurality of photomask seating parts 120 and 220, respectively, to allow the photomask to be seated thereon. A plurality of fastening members 130 and 230 are provided in the first case part 100 and the second case part 200, and the first case part 100 and the second case are provided by the fastening members 130 and 230. The parts 200 are fastened to each other to form a photomask case 10.

도 1 내지 도 3은 포토마스크 케이스(10)의 한 실시예를 도시하였고, 이러한 형태 및 구조를 가지는 포토마스크 케이스(10)는 아래에서 설명하는 부직포 점착 테이프(300)가 적용된다는 점을 제외하면 이미 공지되어 있다. 한편, 그 외에도 다양한 형태 및 구조를 가지는 포토마스크 케이스가 아래의 조건들을 만족한다면 본 발명에 적용될 수 있다. 1 to 3 illustrate an embodiment of the photomask case 10, except that the non-woven adhesive tape 300 described below is applied to the photomask case 10 having such a shape and structure. It is already known. On the other hand, in addition to the photomask case having a variety of forms and structures can be applied to the present invention if the following conditions are satisfied.

본 발명에 따른 포토마스크 케이스(10)는 도 4 내지 도 7에 도시한 바와 같이, 부직포 점착 테이프(300)를 더 포함한다는 점에서 종래기술에 따른 포토마스크 케이스와 구분된다. 부직포 점착 테이프(300)는 도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 케이스부(100)와 제2 케이스부(200)가 맞닿는 경계영역을 둘러싼다. 그리하여, 부직포 점착 테이프(300)는 상기 경계영역에서 제1 케이스부(100)와 제2 케이스부(200) 사이의 틈새(G)를 통하여 외부의 공기는 포토마스크 케이스(10)의 내부로 통과시키면서 공기에 실려오는 미세먼지 등과 같은 이물질이 그러한 틈새(G)를 통하여 포토마스크 케이스(10)의 내부로 통과되는 것을 방지하는 역할을 한다. The photomask case 10 according to the present invention is distinguished from the photomask case according to the prior art in that it further includes a nonwoven adhesive tape 300, as shown in FIGS. 4 to 7. As illustrated in FIGS. 4 to 7, the nonwoven adhesive tape 300 surrounds a boundary area where the first case part 100 and the second case part 200 contact each other. Thus, the nonwoven adhesive tape 300 passes through the gap G between the first case part 100 and the second case part 200 in the boundary area, and external air passes into the photomask case 10. While it serves to prevent foreign matters such as fine dust that is carried in the air to pass through the interior of the photomask case 10 through the gap (G).

부직포 점착 테이프(300)는 이러한 기능을 수행하기 위하여, 부직포층(310)과 점착층(320)을 포함한다. 부직포층(310)은 평탄한 베이스부(312)에 2차원 방향으로 일정한 간격으로 복수개의 돌출부(314)가 형성된 구조를 가진다. 그리하여 이웃하는 돌출부(314) 사이에는 가로방향 및 세로방향으로 긴 골이 형성되어 있다. 점착층(320)은 적어도 돌출부(314) 상에는 형성되어 있다. The nonwoven adhesive tape 300 includes a nonwoven fabric layer 310 and an adhesive layer 320 to perform this function. The nonwoven fabric layer 310 has a structure in which a plurality of protrusions 314 are formed at regular intervals in the two-dimensional direction on the flat base portion 312. Thus, long valleys are formed between the adjacent protrusions 314 in the horizontal and vertical directions. The adhesive layer 320 is formed on at least the protrusion 314.

구체적으로 제1 실시예가 도 4 및 도 5에 도시되어 있다. 도 4 및 도 5에 도시된 제1 실시예에 따르면, 부직포 점착 테이프(300)의 점착층(320)은 부직포층(310)의 베이스부(312) 및 돌출부(314) 모두에 형성되어 있다. 이때, 돌출부(314) 및 그것의 인접한 부분에서는 돌출부(314)의 구조적 특성으로 인하여 높게 형성되는 반면에 베이스부(312)에서는 베이스부(312)의 구조적 특성으로 인하여 낮게 형성된다. 따라서, 부직포층(310)의 구조에 대응하여, 점착층(320)도 베이스부(322)와 돌출부(324)로 구성된다. 그리하여 점착층(320)은 돌출부(324)와 요홈부(326)가 교대로 형성되는 구조를 가지게 된다. 즉, 점착층(320)에서 이웃하는 돌출부(324) 사이에는 가로방향 및 세로방향으로 긴 골이 형성되어 있다. 이와 같은 구조로 점착층(320)을 부직포층(310) 상에 형성하는 방법은 다양한 코팅방법에 의하여 수행될 수 있다. Specifically, the first embodiment is shown in FIGS. 4 and 5. According to the first embodiment illustrated in FIGS. 4 and 5, the adhesive layer 320 of the nonwoven adhesive tape 300 is formed on both the base portion 312 and the protrusion 314 of the nonwoven fabric layer 310. At this time, the protrusion 314 and its adjacent portion are formed high due to the structural characteristics of the protrusion 314, while the base portion 312 is formed low due to the structural characteristics of the base portion 312. Therefore, corresponding to the structure of the nonwoven fabric layer 310, the adhesive layer 320 also includes a base portion 322 and a protrusion 324. Thus, the adhesive layer 320 has a structure in which the protrusion 324 and the recess 326 are alternately formed. That is, long valleys are formed in the transverse direction and the longitudinal direction between the adjacent protrusions 324 in the adhesive layer 320. The method of forming the adhesive layer 320 on the nonwoven fabric layer 310 with such a structure may be performed by various coating methods.

한편, 점착층(320)의 구조가 부직포층(310)의 구조와 다른 점은 점착층(320)의 베이스부(322)는 부직포층(310)의 베이스부(312)보다 작은 면적으로 이루어지는 반면에 점착층(320)의 돌출부(324)는 부직포층(310)의 돌출부(314)보다 큰 면적으로 이루어진다는 점과 점착층(320)의 돌출부(324)는 점착층(320)의 베이스부(312) 상에서 돌출된 구조를 가지는 것이 아니라 점착층(320)의 베이스부(312)로부터 연속적으로 연결되어 형성되고 부직포층(310)의 돌출부(314) 상에 형성된다는 점이다. On the other hand, the structure of the adhesive layer 320 is different from the structure of the nonwoven fabric layer 310 is that the base portion 322 of the adhesive layer 320 is made of a smaller area than the base portion 312 of the nonwoven fabric layer 310 The protrusion 324 of the adhesive layer 320 is formed with a larger area than the protrusion 314 of the nonwoven fabric layer 310, and the protrusion 324 of the adhesive layer 320 is formed by the base portion of the adhesive layer 320. It does not have a structure protruding on the 312, but is formed to be continuously connected from the base portion 312 of the adhesive layer 320 and formed on the protrusion 314 of the nonwoven fabric layer 310.

이러한 구조를 가지는 부직포 점착 테이프(300)를 제1 케이스부(100)와 제2 케이스부(200)가 맞닿는 경계영역을 둘러싸도록 부착하면, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 부직포 점착 테이프(300)의 면과 수직한 방향으로는 공기의 흐름이 점착층(320)에 의하여 차단된다. 즉, 부직포 점착 테이프(300)의 면과 수직한 방향으로는 본 발명의 포토마스크 케이스(10)의 외부로부터 내부로 공기가 유입되거나 유출될 수 없다. When the nonwoven fabric adhesive tape 300 having such a structure is attached to surround the boundary area where the first case portion 100 and the second case portion 200 contact each other, as shown in FIGS. 4 and 5, the nonwoven fabric adhesive tape Air flow is blocked by the adhesive layer 320 in a direction perpendicular to the surface of the 300. That is, in the direction perpendicular to the surface of the nonwoven adhesive tape 300, air may not flow in or out from the outside of the photomask case 10 of the present invention.

그러나, 점착층(320)의 돌출부(324) 사이에 형성된 요홈부(326)는 부직포 점착 테이프(300)의 측면으로부터 공기 유통로를 형성하게 된다. 따라서, 본 발명의 포토마스크 케이스(10)에서는 점착층(320)에 형성된 요홈부(326)를 따라 공기가 포토마스크 케이스(10)의 외부로부터 내부로 유입될 수 있고, 반대로 유출될 수 있다. However, the recess 326 formed between the protrusions 324 of the adhesive layer 320 forms an air flow path from the side surface of the nonwoven adhesive tape 300. Therefore, in the photomask case 10 of the present invention, air may flow into the inside from the outside of the photomask case 10 along the recess 326 formed in the adhesive layer 320, and may flow out of the photomask case 10.

이에, 본 발명의 포토마스크 케이스(10)가 예를 들어 항공기에 실려 순간적으로 고도가 높아짐으로써 급격하게 낮아진 기압의 환경에 놓이게 되더라도 포토마스크 케이스(10)의 내부에 존재하는 공기가 점착층(320)의 요홈부(326)를 통하여 외부로 유출될 수 있기 때문에 포토마스크 케이스(10)가 부풀어지고 급기야 파손되는 문제가 발생하지 않는다. 반대로 본 발명의 포토마스크 케이스(10)가 항공기에 실려 높은 고도에서 순간적으로 지면에 착륙함으로써 급격하게 높아진 기압의 환경에 놓이게 되더라도 포토마스크 케이스(10)의 외부에 존재하는 공기가 점착층(32)의 요홈부(326)를 통하여 내부로 유입될 수 있기 때문에 포토마스크 케이스(10)가 눌려서 찌그러지고 급기야 파손되는 문제가 발생하지 않는다. Thus, even if the photomask case 10 of the present invention is placed in an aircraft and is placed in an environment of a rapidly lowered air pressure due to an instantaneous elevation, the air existing in the photomask case 10 may be adhered to the adhesive layer 320. Since the photomask case 10 is swelled and the air supply is broken, it may leak to the outside through the recess 326. On the contrary, even if the photomask case 10 of the present invention is placed on the ground at a high altitude by an aircraft and placed in an environment of rapidly increased air pressure, the air existing outside the photomask case 10 adheres to the adhesive layer 32. Since the recess 326 may be introduced into the inside of the photomask case 10, the photomask case 10 may be pressed and crushed, and the air supply may be damaged.

한편, 본 발명의 포토마스크 케이스는 상기 과정에서 부직포 점착 테이프(300)의 측면으로부터 유입되는 공기에 실려온 미세먼지와 같은 이물질이 포토마스크 케이스(10)의 내부로 통과하는 것을 방지하는 역활을 한다. On the other hand, the photomask case of the present invention serves to prevent the foreign matter, such as fine dust carried in the air flowing from the side of the nonwoven fabric adhesive tape 300 in the above process to pass into the photomask case 10.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 점착층(320)의 요홈부(326)는 그것의 측면 및 제1 케이스부(100) 또는 제2 케이스부(200)의 면을 제외하고 3개의 면에 형성된 점착층(320)으로 둘러싸여 있다. 점착층(320)은 돌출부(324)에서 제1 케이스부(100) 또는 제2 케이스부(200)의 면에 접착되지만, 요홈부(326)에서는 접착되지 않는다. 따라서, 요홈부(326)에 형성된 3면의 점착층(320)은 여전히 점착특성을 가지고 있게 된다. As shown in FIGS. 4 and 5, the recess 326 of the adhesive layer 320 has three faces except for the side thereof and the face of the first case part 100 or the second case part 200. It is surrounded by a pressure-sensitive adhesive layer 320 formed on. The adhesive layer 320 is adhered to the surface of the first case part 100 or the second case part 200 in the protrusion 324, but is not adhered to the recess 326. Therefore, the three-sided adhesive layer 320 formed in the recess 326 still has adhesive properties.

이에, 요홈부(326)에 형성된 3면의 점착층(320)은 요홈부(326)를 통하여 공기가 유통될 때 공기에 실려서 함께 들어오는 미세먼지 등과 같은 이물질을 부착시키는 기능을 발휘할 수 있다. 따라서, 본 발명의 포토마스크 케이스(10)는 이러한 구조적 특성에 의하여 상기 과정에서 부직포 점착 테이프(300)의 측면으로부터 유입되는 공기에 실려온 미세먼지와 같은 이물질이 포토마스크 케이스(10)의 내부로 통과하는 것을 방지하는 역활을 할 수 있게 된다. Thus, the adhesive layer 320 of the three surfaces formed in the groove portion 326 may have a function of attaching foreign substances such as fine dust that is carried in the air when air is passed through the groove portion 326. Therefore, the photomask case 10 of the present invention is passed through the inside of the photomask case 10 due to such structural characteristics, such as fine dust carried in the air flowing from the side of the nonwoven fabric adhesive tape 300 in the process. It can play a role of preventing the doing.

한편, 제2 실시예가 도 6 및 도 7에 도시되어 있다. 도 6 및 도 7에 도시된 제2 실시예에 따르면, 부직포 점착 테이프(300)의 점착층(320)은 부직포층(310)의 돌출부(314)에만 형성되어 있다. On the other hand, a second embodiment is shown in Figs. 6 and 7. 6 and 7, the adhesive layer 320 of the nonwoven adhesive tape 300 is formed only on the protrusion 314 of the nonwoven fabric layer 310.

이러한 구조를 가지는 부직포 점착 테이프(300)를 제1 케이스부(100)와 제2 케이스부(200)가 맞닿는 경계영역을 둘러싸도록 부착하면, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 부직포 점착 테이프(300)의 면과 수직한 방향으로 공기의 흐름이 형성될 수 있고, 또한 상기에서 언급한 바와 같이, 점착층(320) 사이에 형성된 요홈부(326')에 의하여 형성되는 공기 유통로를 통하여 공기의 흐름이 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명의 포토마스크 케이스(10)는 그러한 구조에 의하여 급격한 기압의 변화가 발생하는 경우에도 그로 인한 문제, 즉 포토마스크 케이스(10)의 변형 및 파손이 전혀 발생하지 않는다. When the nonwoven fabric adhesive tape 300 having such a structure is attached to surround the boundary area where the first case portion 100 and the second case portion 200 contact each other, as shown in FIGS. 6 and 7, the nonwoven adhesive tape The air flow may be formed in a direction perpendicular to the surface of the 300, and as mentioned above, through the air flow path formed by the recess 326 ′ formed between the adhesive layers 320. Air flow can be formed. Accordingly, the photomask case 10 of the present invention does not cause any problems, that is, deformation and breakage of the photomask case 10 even when a sudden change in air pressure occurs due to such a structure.

한편, 제2 실시예의 경우에는 부직포 점착 테이프(300)의 면과 수직한 방향으로 형성되는 공기 흐름이 점착층(320) 사이에 형성된 요홈부(326')에 의하여 형성되는 공기 유통로에 의한 공기 흐름보다 우세할 것이다. 점착층(320) 사이에 형성된 요홈부(326')에서는 점착특성을 가지는 잔여의 점착층이 존재하지 않기 때문에 부직포 점착 테이프(300)의 측면으로부터 들어오는 공기에 대한 이물질 제거능력은 도 4 및 도 5에 도시된 제1 실시예의 포토마스크 케이스(10)보다 약화될 여지가 있다. 그러나, 점착층(320) 사이에 형성된 요홈부(326')에서 측면으로부터 들어오는 공기에 실려온 이물질은 요홈부(326')를 둘러싸는 부직포층(310)에 부착되어 포토마스크 케이스(10) 내부로 들어가는 것이 어느 정도 방지될 수 있다.On the other hand, in the case of the second embodiment, the air flow is formed in the direction perpendicular to the surface of the nonwoven adhesive tape 300 by the air flow path formed by the groove portion 326 'formed between the adhesive layer 320 It will prevail over the flow. In the grooves 326 ′ formed between the adhesive layers 320, since there is no residual adhesive layer having adhesive properties, foreign matter removal ability with respect to air coming from the side surface of the nonwoven adhesive tape 300 is shown in FIGS. 4 and 5. There is room for weakening than the photomask case 10 of the first embodiment shown in FIG. However, the foreign matter carried in the air coming from the side surface in the groove portion 326 'formed between the adhesive layers 320 is attached to the nonwoven fabric layer 310 surrounding the groove portion 326' to be inside the photomask case 10. Entry can be prevented to some extent.

또한, 부직포 점착 테이프(300)의 면과 수직한 방향으로 형성되는 공기 흐름에 실려온 이물질은 부직포층(310)에 의하여 거의 완벽하게 제거될 수 있고, 또한 부직포 점착 테이프(300)의 면과 수직한 방향으로 형성되는 공기 흐름이 점착층(320) 사이에 형성된 요홈부(326')에 의하여 형성되는 공기 유통로에 의한 공기 흐름보다 우세하기 때문에, 제2 실시예에 따른 본 발명의 포토마스크 케이스(10)도 공기에 포함된 미세먼지와 같은 이물질이 포토마스크 케이스(10) 내부로 들어가는 것을 거의 완벽하게 방지할 수 있다. In addition, the foreign matter carried in the air flow formed in a direction perpendicular to the surface of the nonwoven adhesive tape 300 can be almost completely removed by the nonwoven fabric layer 310, and also perpendicular to the surface of the nonwoven adhesive tape 300. Since the air flow formed in the direction is superior to the air flow by the air flow path formed by the recess 326 ′ formed between the adhesive layers 320, the photomask case of the present invention according to the second embodiment ( 10) can also almost completely prevent the foreign matter, such as fine dust contained in the air to enter the photomask case (10).

한편, 상기에서 언급한 본 발명의 포토마스크 케이스(10)에 적용되는 부직포 점착 테이프(300)의 부직포층(310)에서 이웃하는 돌출부(314) 사이의 간격, 돌출부(314)의 크기, 형상 및 높이 그리고 점착층(320)의 두께는 부직포 점착 테이프(300)가 상기와 같은 구조로 형성될 수 있다면 특별히 제한되지는 않지만, 돌출부(314) 사이의 간격은 1.0 ~ 2.0 mm의 범위인 것이 바람직하고, 돌출부(314)의 크기는 0.5 ~ 1.0 mm의 범위인 것이 바람직하며, 돌출부(314)의 높이는 0.2 ~ 0.7 mm의 범위인 것이 바람직하고, 점착층의 두께는 5 ~ 10 ㎛의 범위인 것이 바람직하다. 다만, 점착층의 두께는 5 ㎛ 이하이더라도 무방하다. 이때, 돌출부(314)의 크기는 돌출부(314)의 형상이 원형인 경우 원의 지름이고, 돌출부(314)가 정사각형 등의 다각형 형상인 경우 다각형의 최대 대각선 길이일 수 있다. 돌출부(314)의 형상이 삼각형인 경우에는 최대 변의 길이일 수 있다. 또한, 본 발명에서 제1 케이스부(100)와 제2 케이스부(200) 사이의 틈새(G)의 간격은 본 발명의 포토마스크 케이스(10)가 상기한 목적을 달성할 수 있다면 특별히 제한되지는 않지만, 5 ~ 7 mm의 범위인 것이 바람직하다. On the other hand, in the nonwoven fabric layer 310 of the nonwoven fabric adhesive tape 300 applied to the photomask case 10 of the present invention mentioned above, the distance between neighboring protrusions 314, the size and shape of the protrusions 314 and The height and thickness of the adhesive layer 320 is not particularly limited as long as the nonwoven adhesive tape 300 can be formed in the above structure, but the spacing between the protrusions 314 is preferably in the range of 1.0 to 2.0 mm. The size of the protrusion 314 is preferably in the range of 0.5 to 1.0 mm, the height of the protrusion 314 is preferably in the range of 0.2 to 0.7 mm, and the thickness of the adhesive layer is preferably in the range of 5 to 10 μm. Do. However, the thickness of an adhesion layer may be 5 micrometers or less. In this case, the size of the protrusion 314 may be a diameter of a circle when the shape of the protrusion 314 is circular, and may be a maximum diagonal length of the polygon when the protrusion 314 is a polygonal shape such as a square. When the protrusion 314 has a triangular shape, the protrusion 314 may have a length of a maximum side. In addition, in the present invention, the gap of the gap G between the first case part 100 and the second case part 200 is not particularly limited as long as the photomask case 10 of the present invention can achieve the above object. Although not preferred, it is preferably in the range of 5 to 7 mm.

본 발명의 포토마스크 케이스(10)는 또한 제1 케이스부(100)와 제2 케이스부(200) 사이에 존재하는 실링부재를 더 포함하고, 실링부재는 제1 케이스부(100)와 제2 케이스부(200) 사이의 틈새(G)를 완전히 밀폐시키지는 않는다. The photomask case 10 of the present invention further includes a sealing member existing between the first case part 100 and the second case part 200, and the sealing member includes the first case part 100 and the second case. The gap G between the case parts 200 is not completely sealed.

10: 포토마스크 케이스 100: 제1 케이스부
110,210: 수용부 120,220: 포토마스크 안착부
130,230: 체결부재 200: 제2 케이스부
300: 부직포 점착 테이프 310: 부직포층
312: 베이스부 314: 돌출부
320: 점착층 322: 베이스부
324: 돌출부 326,326': 요홈부
G: 틈새10: photomask case 100: first case portion
110,210: accommodating part 120,220: photomask seating part
130, 230: fastening member 200: second case portion
300: nonwoven adhesive tape 310: nonwoven fabric layer
312: base portion 314: protrusion
320: adhesive layer 322: base portion
324: protrusion 326,326 ': groove
G: gap

Claims (9)

포토마스크를 내부에 수용하는 수용부를 가지는 제1 케이스부 및 상기 제1 케이스부를 덮는 제2 케이스부가 결합하여 형성되는 포토마스크 케이스에 있어서,
상기 포토마스크 케이스는 상기 제1 케이스부와 상기 제2 케이스부가 맞닿는 경계영역을 둘러싸는 부직포 점착 테이프를 더 포함하고, 상기 부직포 점착 테이프는 상기 경계영역에서 상기 제1 케이스부와 상기 제2 케이스부 사이의 틈새를 통하여 외부의 공기는 상기 포토마스크 케이스의 내부로 통과시키면서 상기 공기에 실려오는 이물질이 상기 틈새를 통하여 상기 포토마스크 케이스의 내부로 통과되는 것을 방지하는 역활을 수행하는 것임을 특징으로 하는 포토마스크 케이스.A photomask case formed by combining a first case portion having an accommodating portion for accommodating a photomask and a second case portion covering the first case portion,
The photomask case further includes a nonwoven adhesive tape surrounding a boundary region where the first case portion and the second case portion contact each other, and the nonwoven adhesive tape includes the first case portion and the second case portion at the boundary region. The outside air passes through the gaps between the photomask cases and performs a role of preventing foreign matter carried in the air from passing through the gaps into the photomask case. Mask case. 제1항에 있어서,
상기 부직포 점착 테이프는 부직포층 및 점착층을 포함하고, 상기 부직포층은 평탄한 베이스부에 2차원 방향에서 일정한 간격으로 복수개의 돌출부가 형성된 구조를 가지며, 상기 점착층은 적어도 상기 돌출부 상에는 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 포토마스크 케이스. The method of claim 1,
The nonwoven adhesive tape includes a nonwoven fabric layer and an adhesive layer, wherein the nonwoven fabric layer has a structure in which a plurality of protrusions are formed on a flat base at regular intervals in a two-dimensional direction, and the adhesive layer is formed on at least the protrusions. The photomask case characterized by the above. 제2항에 있어서,
상기 점착층은 상기 부직포층의 상기 베이스부 및 상기 돌출부 모두에 형성되어 있으나, 상기 돌출부 및 그것의 인접한 부분에서는 상기 돌출부의 구조적 특성으로 인하여 높게 형성되는 반면에 상기 베이스부에서는 상기 베이스부의 구조적 특성으로 인하여 낮게 형성됨으로써 2차원 방향으로 돌출부 및 요홈부가 교대로 형성되는 구조를 가지는 것임을 특징으로 하는 포토마스크 케이스. The method of claim 2,
The adhesive layer is formed on both the base portion and the protrusion of the nonwoven fabric layer, but the protrusion and its adjacent portion are formed high due to the structural characteristics of the protrusion, whereas the base portion has the structural characteristics of the base portion. Due to the low formed photomask case characterized in that it has a structure in which the protrusions and grooves are formed alternately in the two-dimensional direction. 제2항에 있어서,
상기 점착층은 상기 부직포층의 상기 돌출부에만 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 포토마스크 케이스.The method of claim 2,
The adhesive layer is formed on only the protruding portion of the nonwoven fabric layer. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 부직포층에서 이웃하는 상기 돌출부 사이의 간격은 1.0 ~ 2.0 mm이고, 상기 돌출부의 높이는 0.2 ~ 0.7 mm이며, 상기 돌출부의 크기는 0.5 ~ 1.0 mm인 것을 특징으로 하는 포토마스크 케이스. The method according to any one of claims 2 to 4,
The space between the adjacent protrusions in the nonwoven fabric layer is 1.0 ~ 2.0 mm, the height of the protrusion is 0.2 ~ 0.7 mm, the size of the protrusion is 0.5 ~ 1.0 mm, characterized in that the photomask case. 제5항에 있어서,
상기 점착층의 두께는 5 ~ 10 ㎛인 것을 특징으로 하는 포토마스크 케이스. The method of claim 5,
The thickness of the adhesive layer is a photomask case, characterized in that 5 ~ 10 ㎛. 제5항 또는 제6항에 있어서,
상기 제1 케이스부와 상기 제2 케이스부 사이의 틈새의 간격은 5 ~ 7 mm인 것을 특징으로 하는 포토마스크 케이스. The method according to claim 5 or 6,
The gap between the first case portion and the second case portion is a photomask case, characterized in that 5 ~ 7 mm. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 포토마스크 케이스는 상기 제1 케이스부와 상기 제2 케이스부 사이에 존재하는 실링부재를 더 포함하고, 상기 실링부재는 상기 제1 케이스부와 상기 제2 케이스부 사이의 틈새를 완전히 밀폐시키지는 않는 것임을 특징으로 하는 포토마스크 케이스. The method according to any one of claims 1 to 7,
The photomask case further includes a sealing member existing between the first case part and the second case part, and the sealing member does not completely seal a gap between the first case part and the second case part. Photomask case characterized in that. 물건을 내부에 수용하는 수용부를 가지는 제1 케이스부 및 상기 제1 케이스부를 덮는 제2 케이스부가 결합하여 형성되는 케이스에 대하여 상기 제1 케이스부와 상기 제2 케이스부가 맞닿는 경계영역을 둘러싸는 부직포 점착 테이프이고,
상기 부직포 점착 테이프는 상기 경계영역에서 상기 제1 케이스부와 상기 제2 케이스부 사이의 틈새를 통하여 외부의 공기는 상기 케이스의 내부로 통과시키면서 상기 공기에 실려오는 이물질이 상기 틈새를 통하여 상기 케이스의 내부로 통과되는 것을 방지하는 역활을 수행하는 것이며,
상기 부직포 점착 테이프는 부직포층 및 점착층을 포함하고, 상기 부직포층은 평탄한 베이스부에 2차원 방향에서 일정한 간격으로 복수개의 돌출부가 형성된 구조를 가지며, 상기 점착층은 적어도 상기 돌출부 상에는 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 부직포 점착 테이프.Non-woven fabric adhesive that surrounds a boundary region where the first case portion and the second case portion abut against a case formed by combining a first case portion having an accommodation portion for receiving an object therein and a second case portion covering the first case portion; Tape,
The non-woven adhesive tape may have a foreign material carried in the air through the gap between the first case part and the second case part through the gap between the first case part and the second case part in the boundary area. To prevent it from going inside,
The nonwoven adhesive tape includes a nonwoven fabric layer and an adhesive layer, wherein the nonwoven fabric layer has a structure in which a plurality of protrusions are formed on a flat base at regular intervals in a two-dimensional direction, and the adhesive layer is formed on at least the protrusions. Nonwoven fabric adhesive tape characterized by the above-mentioned.
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