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KR20190143817A - Resin molding apparatus and manufacturing method of resin-molded product - Google Patents

Resin molding apparatus and manufacturing method of resin-molded product Download PDF

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KR20190143817A
KR20190143817A KR1020190072668A KR20190072668A KR20190143817A KR 20190143817 A KR20190143817 A KR 20190143817A KR 1020190072668 A KR1020190072668 A KR 1020190072668A KR 20190072668 A KR20190072668 A KR 20190072668A KR 20190143817 A KR20190143817 A KR 20190143817A
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molding
resin
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케이스케 오가와
나오히사 타쿠와
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토와 가부시기가이샤
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Abstract

수지 성형 장치는, 제1의 형과 제2의 형 사이의 거리를 변화시키는 형체기구와, 형체기구를 제어하는 제어부를 포함한다. 제어부는, 성형 대상물을 성형틀에 배치한 상태에서 제1의 형과 제2의 형 사이의 거리를 좁히면서, 형체기구에 의해 성형틀에 가하여지는 압력인 형체력을 계측하는 처리와, 계측되는 형체력이 미리 정하여진 제1의 설정치를 초과하는 형체기구의 제1의 위치를 취득하는 처리와, 보정치에 의해 제1의 위치를 보정하여 얻어지는 제2의 위치를, 이물 검출 위치로서 설정하는 처리와, 성형 동작에서, 이물 검출 위치에서 계측되는 형체력에 의거하여, 성형틀에서의 이물을 검출하는 처리를 실행한다.The resin molding apparatus includes a mold clamping mechanism for changing the distance between the first mold and the second mold, and a control unit for controlling the mold clamping mechanism. The control unit measures the mold clamping force, which is the pressure exerted on the mold by the mold clamping mechanism while narrowing the distance between the first mold and the second mold in a state where the molding target is placed on the mold, and the clamping force measured. A process of acquiring the first position of the clamping mechanism exceeding the first predetermined value, a process of setting the second position obtained by correcting the first position by the correction value as the foreign matter detection position, In the molding operation, a process for detecting foreign matter in the molding die is performed based on the clamping force measured at the foreign matter detection position.

Description

수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법{RESIN MOLDING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD OF RESIN-MOLDED PRODUCT}RESIN MOLDING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD OF RESIN-MOLDED PRODUCT}

본 발명은, 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a resin molding apparatus and a method for producing a resin molded article.

IC(Integrated Circuit) 등의 반도체 칩을 광, 열, 습기 등의 환경에서 보호하기 위해, 반도체 칩은 일반적으로 수지에 의해 봉지(封止)된다. 이와 같은 수지 봉지는, 상형과 하형으로 이루어지는 성형틀(成形型)의 사이에 반도체 칩이 장착된 지지체를 배치하고, 성형틀에 의해 구성되는 캐비티 내에 용융 수지를 충전함으로써 실현된다. 또는, 하형에 과립상의 수지 재료를 미리 공급하여 두고, 가열하면서 양자를 형체(型締)하는(clamping the dies) 방법도 알려져 있다.In order to protect a semiconductor chip such as an integrated circuit (IC) or the like from an environment such as light, heat, or moisture, the semiconductor chip is generally sealed by a resin. Such resin encapsulation is realized by arranging a support body on which a semiconductor chip is mounted between a mold formed of an upper mold and a lower mold, and filling the molten resin into a cavity formed by the mold. Another method is also known in which a granular resin material is supplied to a lower mold in advance and clamped the dies while heating.

이와 같은 수지 봉지를 행하기 위해서는, 상형과 하형 사이에 반도체 칩이 장착된 지지체를 배치할 필요가 있는데, 어떠한 이유에 의해, 수지 봉지의 대상이 되는 반도체 칩이 장착된 지지체에 더하여, 수지 봉지의 대상으로 하여서는 안 되는 물건(이하, 「이물(異物)」이라고 칭한다.)이 혼입되는 일이 있다. 상형과 하형에 압력을 가하기 전에, 이와 같은 이물을 검출할 필요가 있다.In order to perform such a resin encapsulation, it is necessary to arrange the support body with a semiconductor chip mounted between an upper mold | type and a lower mold | type, for some reason, in addition to the support body with which the semiconductor chip used as the object of resin encapsulation is attached, Things which should not be targeted (hereinafter referred to as "foreign materials") may be mixed. It is necessary to detect such foreign matter before applying pressure to the upper mold and the lower mold.

예를 들면, 일본 특개평06-151489호 공보는, 「반도체 수지 봉지 장치에서, 리드 프레임(3)을 상형(1)과 하형(2)으로 형체할 때, 리드 프레임(3)이 2장 겹침이거나, 상형(1)과 하형(2)의 사이에 수지분(樹脂粉)의 이물이 혼입되거나 하는 경우가 있다. 이때, 통상 수지 봉지하는 경우의 형체압(型締壓, die clamping pressure)을 걸면, 이물에 의한 형체압의 언밸런스에 의해 금형을 파손하는 경우가 있다. 종래의 토글 기구(5)만으로 이동 플래튼(4)을 상하 이동시키는 방식에서는, 상형(1)을 하형(2)이 접촉하는 위치에서 상당한 형체력(型締力, clamping force)이 되어, 저압 형체 상태에서 이물 검출에 의한 금형 보호를 행할 수가 없었다.」라는 과제에 대해, 「토글 기구를 이용하여 이동 플래튼(4)을 상하 이동시키는 프레스기구에 있어서, 저압 형체 상태에서 상형과 하형의 사이에 이물이 혼입되었는지의 여부를 검출할 수 있는 반도체 수지 봉지 장치」를 개시한다.For example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 06-151489 describes, "In the semiconductor resin encapsulation device, when the lead frame 3 is shaped into an upper mold 1 and a lower mold 2, two lead frames 3 overlap. Or the foreign material of resin powder may mix between the upper mold | type 1 and the lower mold | type 2. Under the present circumstances, when clamping pressure (die clamping pressure) in the case of resin sealing is normally applied, a metal mold | die may be damaged by the unbalance of the clamping pressure by a foreign material. In the method of moving the moving platen 4 up and down only by the conventional toggle mechanism 5, the upper mold 1 becomes a substantial clamping force at the position where the lower mold 2 is in contact, and the low pressure mold In the state of "the mold protection by foreign material detection was not performed in the state." In the press mechanism which moves the moving platen 4 up and down using a toggle mechanism, between the upper mold | type and the lower mold | type in a low-pressure mold state. A semiconductor resin encapsulation device capable of detecting whether or not foreign matter has been mixed.

보다 구체적으로는, 상술한 특허문헌에 개시된 반도체 수지 봉지 장치에서는, 위치 검출 장치(9)에 의해 얻을 수 있는 현재 위치(형 터치 위치(die touch position))가 설정 위치와 같은지의 여부에 의거하여, 상형(1)과 하형(2) 사이의 이물의 유무를 판단한다.More specifically, in the semiconductor resin encapsulation device disclosed in the above-mentioned patent document, the current position (die touch position) obtained by the position detection device 9 is based on whether or not the setting position is the same. , It is determined whether the foreign material between the upper mold (1) and the lower mold (2).

일본 특개평06-151489호Japanese Patent Laid-Open No. 06-151489

상술한 특허문헌에 개시되는 반도체 수지 봉지 장치에서 이물의 유무를 판단하기 위해 이용한 설정 위치를 어떻게 설정할 것인지에 관해서는 언급이 없다. 그때문에, 정밀도가 높은 이물 검출을 실현하기가 어렵다.There is no mention of how to set the setting position used for judging the presence or absence of the foreign matter in the semiconductor resin encapsulation device disclosed in the above-mentioned patent document. Therefore, it is difficult to realize highly accurate foreign material detection.

본 발명은, 이와 같은 과제의 해결을 목적으로 한 것으로, 성형틀의 사이에 혼입될 수 있는 이물을 정밀도 좋게 검출할 수 있는 장치 및 방법을 제공한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made for the purpose of solving such a problem, and provides an apparatus and method capable of accurately detecting foreign matters that may be mixed between molding dies.

본 발명의 어느 국면에 따르면, 대향하여 배치된 제1의 형 및 제2의 형을 포함하는 성형틀을 이용하여 성형 대상물을 수지 성형하는 수지 성형 장치가 제공된다. 수지 성형 장치는, 제1의 형과 제2의 형 사이의 거리를 변화시키는 형체기구(型締機構, die clamping mechanism)와, 형체기구를 제어하는 제어부를 포함한다. 제어부는, 성형 대상물을 성형틀에 배치한 상태에서 제1의 형과 제2의 형 사이의 거리를 좁히면서, 형체기구에 의해 성형틀에 가하여지는 압력인 형체력을 계측하는 처리와, 계측되는 형체력이 미리 정하여진 제1의 설정치를 초과하는 형체기구의 제1의 위치를 취득하는 처리와, 보정치에 의해 제1의 위치를 보정하여 얻어지는 제2의 위치를, 이물 검출 위치로서 설정하는 처리와, 성형 동작에서, 이물 검출 위치에서 계측되는 형체력에 의거하여, 성형틀에서의 이물을 검출하는 처리를 실행한다.According to one aspect of the present invention, there is provided a resin molding apparatus for resin-molding a molding object by using a molding mold including a first mold and a second mold disposed to face each other. The resin molding apparatus includes a mold clamping mechanism for changing the distance between the first mold and the second mold, and a control unit for controlling the mold clamping mechanism. The control unit measures the mold clamping force, which is the pressure exerted on the mold by the mold clamping mechanism while narrowing the distance between the first mold and the second mold in a state where the molding target is placed on the mold, and the clamping force measured. A process of acquiring the first position of the clamping mechanism exceeding the first predetermined value, a process of setting the second position obtained by correcting the first position by the correction value as the foreign matter detection position, In the molding operation, a process for detecting foreign matter in the molding die is performed based on the clamping force measured at the foreign matter detection position.

본 발명의 다른 국면에 따르면, 대향하여 배치된 제1의 형 및 제2의 형을 포함하는 성형틀을 이용하여 성형 대상물을 수지 성형하는 수지 성형품의 제조 방법이 제공된다. 제조 방법은, 성형 대상물을 성형틀에 배치한 상태에서 형체기구에 의해 제1의 형과 제2의 형 사이의 거리를 좁히면서, 형체기구에 의해 성형틀에 가하여지는 압력인 형체력을 계측하는 스텝과, 계측되는 형체력이 미리 정하여진 제1의 설정치를 초과하는 형체기구의 제1의 위치를 취득하는 스텝과, 보정치에 의해 제1의 위치를 보정하여 얻어지는 제2의 위치를, 이물 검출 위치로서 설정하는 스텝과, 성형 동작에서, 이물 검출 위치에서 계측되는 형체력에 의거하여, 성형틀에서의 이물을 검출하는 스텝을 포함한다.According to another situation of this invention, the manufacturing method of the resin molded article which resin-molars a molding object using the shaping | molding die containing the 1st mold | type and the 2nd mold | position arrange | positioned opposingly is provided. The manufacturing method measures the clamping force which is the pressure exerted on the molding die by the clamping mechanism while narrowing the distance between the first mold and the second mold by the clamping mechanism in a state where the molding target is placed on the molding die. And a step of acquiring the first position of the clamping mechanism exceeding the first set value determined by the clamping force to be measured, and the second position obtained by correcting the first position by the correction value as the foreign material detection position. And a step of detecting the foreign matter in the molding die based on the clamping force measured at the foreign matter detection position in the molding operation.

본 발명은, 성형틀의 사이에 혼입될 수 있는 이물을 정밀도 좋게 검출할 수 있다.The present invention can accurately detect foreign matters that may be mixed between the molds.

도 1은, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치의 전체 구성의 한 예를 도시하는 모식도.
도 2는, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치를 구성하는 프레스 유닛의 구성례(형체전 상태)를 도시하는 모식도.
도 3은, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치를 구성하는 프레스 유닛의 구성례(형체 상태)를 도시하는 모식도.
도 4는, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치를 구성하는 제어부의 하드웨어 구성례를 도시하는 모식도.
도 5는, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치의 프레스 유닛에서 검출되는 이물 혼입의 한 예를 도시하는 모식도.
도 6은, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치의 프레스 유닛에서의 이물 검출의 처리를 설명하기 위한 도면.
도 7은, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치에서의 이물 검출 위치의 설정 방법을 설명하기 위한 모식도.
도 8은, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치에서의 이물 검출 위치의 설정 순서를 도시하는 플로우 차트.
도 9는, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치에서 이용되는 이물 검출치 및 보정치의 설정례를 도시하는 도면.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic diagram which shows an example of the whole structure of the resin molding apparatus which concerns on this embodiment.
FIG. 2: is a schematic diagram which shows the structural example (pre-molding state) of the press unit which comprises the resin molding apparatus which concerns on this embodiment.
FIG. 3: is a schematic diagram which shows the structural example (molded state) of the press unit which comprises the resin molding apparatus which concerns on this embodiment. FIG.
4 is a schematic diagram illustrating a hardware configuration example of a control unit constituting the resin molding device according to the present embodiment.
FIG. 5: is a schematic diagram which shows an example of the foreign material mixing detected by the press unit of the resin molding apparatus which concerns on this embodiment. FIG.
FIG. 6 is a diagram for explaining processing of foreign material detection in a press unit of the resin molding apparatus according to the present embodiment. FIG.
7 is a schematic diagram for explaining a method for setting a foreign matter detection position in the resin molding apparatus according to the present embodiment.
8 is a flowchart showing a setting procedure of a foreign matter detection position in the resin molding apparatus according to the present embodiment.
9 is a diagram illustrating a setting example of foreign material detection values and correction values used in the resin molding apparatus according to the present embodiment.

본 발명의 실시의 형태에 관해, 도면을 참조하면서 상세히 설명한다. 또한, 도면 중의 동일 또는 상당 부분에 관해서는, 동일 부호를 붙이고 그 설명은 반복하지 않는다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Embodiment of this invention is described in detail, referring drawings. In addition, about the same or equivalent part in drawing, the same code | symbol is attached | subjected and the description is not repeated.

<A. 수지 성형 장치(1)의 구성례><A. Configuration Example of Resin Molding Apparatus 1

우선, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치(1)의 구성례에 관해 설명한다. 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치(1)는, 전형적으로는, 칩이 배치된 리드 프레임 등의 성형 대상물의 칩 배치면에 수지를 성형함으로써, 성형 대상물을 수지 봉지하는 장치로서 이용된다. 수지 성형 장치(1)는, 전자 부품의 제조 장치의 일부로서 구성되어도 좋다. 이하의 설명에서는, 성형 대상물의 전형례로서 리드 프레임을 나타내지만, 이것으로 한정되는 일 없이, 기판 등의 다른 지지체라도 좋다.First, the structural example of the resin molding apparatus 1 which concerns on this embodiment is demonstrated. The resin molding apparatus 1 which concerns on this embodiment is typically used as an apparatus which resin-blocks a molding object by shape | molding resin in the chip arrangement surface of a molding object, such as a lead frame in which the chip was arrange | positioned. The resin molding apparatus 1 may be comprised as a part of the manufacturing apparatus of an electronic component. In the following description, although the lead frame is shown as a typical example of a molding object, it is not limited to this, Other support bodies, such as a board | substrate, may be sufficient.

전자 부품의 칩으로서는, 예를 들면, 집적 회로(IC : integrated circuit)나 대규모적 집적 회로(LSI : large-scale integrated circuit), 발광 다이오드(LED : light emitting diode), 레이저 다이오드(LD : laser diode), 광센서 등의 반도체 칩, 트랜지스터, 저항, 콘덴서, 인덕터 등의 전자 디바이스 칩 등이 상정된다. 지지체로서는, 예를 들면, 금속계 재료로 이루어지는 리드 프레임, 유리 에폭시 기판 등의 프린트 기판, 세라믹스계 재료를 기재(基材)로 하는 세라믹스 기판, 금속계 재료를 기재로 하는 메탈 베이스 기판, 폴리이미드 등의 수지 필름을 기재로 하는 플렉시블 기판 등이 상정된다.As the chip of the electronic component, for example, an integrated circuit (IC), a large-scale integrated circuit (LSI), a light emitting diode (LED), a laser diode (LD) ), Semiconductor chips such as optical sensors, electronic device chips such as transistors, resistors, capacitors, and inductors. Examples of the support include a lead frame made of a metal material, a printed board such as a glass epoxy substrate, a ceramic substrate based on a ceramic material, a metal base substrate based on a metal material, and a polyimide. Flexible substrates based on resin films are assumed.

도 1은, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치(1)의 전체 구성의 한 예를 도시하는 모식도이다. 도 1을 참조하면, 수지 성형 장치(1)는, 수입(收入)·인출 모듈(2)과, 1 또는 복수의 성형 모듈(3A, 3B, 3C)(이하, 「성형 모듈(3)」이라고 총칭하는 일도 있다.)를 포함한다.FIG. 1: is a schematic diagram which shows an example of the whole structure of the resin molding apparatus 1 which concerns on this embodiment. Referring to FIG. 1, the resin molding apparatus 1 is referred to as an import / extraction module 2 and one or a plurality of molding modules 3A, 3B, and 3C (hereinafter referred to as “molding module 3”). Collectively).

수입·인출 모듈(2)은, 리드 프레임 공급 유닛(4)과, 리드 프레임 정렬 유닛(5)과, 수지 태블릿 공급 유닛(6)과, 재료 반출 유닛(7)과, 리드 프레임 수용 유닛(8)과, 제어부(100)를 포함한다.The import / extraction module 2 includes a lead frame supply unit 4, a lead frame alignment unit 5, a resin tablet supply unit 6, a material ejection unit 7, and a lead frame accommodation unit 8. ) And the control unit 100.

성형 모듈(3)의 각각은, 프레스 유닛(10)을 포함한다. 프레스 유닛(10)의 각각은, 승강 가능한 하형(11)과, 하형(11)의 상방에 서로 대향하여 고정 배치된 상형(도 2 및 도 3에 도시하는 상형(18)에 대응)을 포함한다. 대향하여 배치된 상형(18) 및 하형(11)에 의해 성형틀이 구성된다. 또한, 하형(11)에는, 복수의 포트(14)가 마련되어 있다.Each of the molding modules 3 includes a press unit 10. Each of the press units 10 includes a lower mold 11 that can be elevated and an upper mold (corresponding to the upper mold 18 shown in FIGS. 2 and 3) that are fixedly disposed to face each other above the lower mold 11. . The molding die is constituted by the upper die 18 and the lower die 11 that are disposed to face each other. In addition, the lower mold 11 is provided with a plurality of ports 14.

수지 성형 장치(1)는, 수입·인출 모듈(2)과 각 프레스 유닛(10) 사이를 이동할 수 있도록 구성된, 로더(12) 및 언로더(13)를 또한 포함한다.The resin molding apparatus 1 further includes a loader 12 and an unloader 13 configured to be able to move between the import / outtake module 2 and each press unit 10.

여기서, 수지 성형 장치(1)에서의 동작에 관해 설명한다. 우선, 리드 프레임 공급 유닛(4)은, 수지 성형 장치(1)의 외부로부터 수취한, 수지 성형의 대상(성형 대상물)이 되는 봉지전(封止前) 리드 프레임(15)을 리드 프레임 정렬 유닛(5)에 송출한다. 계속해서, 리드 프레임 정렬 유닛(5)은, 수취한 봉지전 리드 프레임(15)을 소정의 방향으로 정렬시켜, 정렬시켜진 봉지전 리드 프레임(15)을 재료 반출 유닛(7)에 송출한다. 병행하여, 수지 태블릿 공급 유닛(6)은, 수지 성형 장치(1)의 외부로부터 수취한 수지 재료인 수지 태블릿(16)을 필요한 개수(도 1에서는 4개)만큼 재료 반출 유닛(7)에 송출한다.Here, the operation | movement in the resin molding apparatus 1 is demonstrated. First, the lead frame supply unit 4 carries out the lead frame alignment unit before the encapsulation lead frame 15 which becomes the object (molding object) of resin molding received from the exterior of the resin molding apparatus 1. Send to (5). Subsequently, the lead frame alignment unit 5 aligns the received pre-sealing lead frame 15 in a predetermined direction, and sends the aligned pre-sealing lead frame 15 to the material carrying unit 7. In parallel, the resin tablet supply unit 6 sends the resin tablet 16 which is a resin material received from the outside of the resin molding apparatus 1 to the material carrying unit 7 by the required number (four in FIG. 1). do.

다음에, 재료 반출 유닛(7)은, 정렬시켜진 소정 매수(도 1에서는 2장)의 봉지전 리드 프레임(15)과, 4개의 수지 태블릿(16)을, 로더(12)에 인도한다. 로더(12)는, 재료 반출 유닛(7)으로부터 수취한, 2장의 봉지전 리드 프레임(15) 및 4개의 수지 태블릿(16)을, 프레스 유닛(10)에 동시에 반송한다. 그 후, 로더(12)는, 봉지전 리드 프레임(15)을 하형(11)의 소정 위치에 배치하고, 수지 태블릿(16)을 하형(11)에 마련된 포트(14)의 내부에 공급한다.Next, the material carrying unit 7 guides the lead frame 15 and the four resin tablets 16 with the predetermined number of sheets aligned (two pieces in FIG. 1) to the loader 12. The loader 12 simultaneously conveys the two pre-sealing lead frames 15 and the four resin tablets 16 received from the material carrying unit 7 to the press unit 10. Thereafter, the loader 12 arranges the lead frame 15 before sealing at a predetermined position of the lower mold 11, and supplies the resin tablet 16 to the inside of the port 14 provided in the lower mold 11.

계속해서, 성형 모듈(3)에 의한 형체(型締, die clamping), 수지 성형, 형개(型開, die opening)가 행하여짐으로써, 봉지전 리드 프레임(15)이 수지 봉지되어, 봉지완료 리드 프레임이 성과물로서 생성된다. 최종적으로, 언로더(13)가 프레스 유닛(10)에서의 수지 봉지된 봉지완료 리드 프레임을 리드 프레임 수용 유닛(8)에 수용한다.Subsequently, die clamping, resin molding, and die opening by the molding module 3 are performed, so that the lead frame 15 is sealed before sealing, and the sealing lead is completed. Frames are created as achievements. Finally, the unloader 13 accommodates the resin-encapsulated sealed lead frame in the press unit 10 in the lead frame accommodating unit 8.

또한, 도 1에 도시한 구성에서는 수입 모듈과 인출 모듈을 일체화한 수입·인출 모듈(2)로 하고 있지만, 인출 모듈을 독립시켜서 도 1의 성형 모듈(3C)의 성형 모듈(3B)과는 반대측에 배치할 수도 있다.In addition, although the structure shown in FIG. 1 is made into the import / outtake module 2 which integrated the import module and the drawout module, the draw module is independent and is opposite to the shaping module 3B of the shaping | molding module 3C of FIG. It can also be placed in.

<B. 프레스 유닛(10)의 구성례><B. Configuration Example of Press Unit 10>

다음에, 수지 성형 장치(1)의 성형 모듈(3)에 포함되는 프레스 유닛(10)의 구성례에 관해 설명한다.Next, the structural example of the press unit 10 contained in the shaping | molding module 3 of the resin molding apparatus 1 is demonstrated.

도 2는, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치(1)를 구성하는 프레스 유닛(10)의 구성례(형체전 상태)를 도시하는 모식도이다. 도 3은, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치(1)를 구성하는 프레스 유닛(10)의 구성례(형체 상태)를 도시하는 모식도이다.FIG. 2: is a schematic diagram which shows the structural example (pre-molding state) of the press unit 10 which comprises the resin molding apparatus 1 which concerns on this embodiment. FIG. 3: is a schematic diagram which shows the structural example (molded state) of the press unit 10 which comprises the resin molding apparatus 1 which concerns on this embodiment.

도 2 및 도 3을 참조하면, 프레스 유닛(10)은, 상부 고정반(17) 및 가동반(19)을 포함한다. 상부 고정반(17)의 하면에는 상형(18)이 고정 배치되어 있고, 가동반(19)의 상면에는 하형(11)이 고정 배치되어 있다. 상형(18) 및 하형(11)에는, 가열 기구로서의 히터(20)가 내장되어 있다. 상형(18) 및 하형(11)은 히터(20)에 의해, 소정 온도(예를 들면, 180℃ 정도)로 가열되어 있다.2 and 3, the press unit 10 includes an upper fixing plate 17 and a movable plate 19. The upper mold | type 18 is fixedly arranged in the lower surface of the upper fixing board 17, and the lower mold | type 11 is fixedly arranged in the upper surface of the movable board 19. As shown in FIG. The upper mold | type 18 and the lower mold | type 11 contain the heater 20 as a heating mechanism. The upper mold | type 18 and the lower mold | type 11 are heated by the heater 20 to predetermined temperature (for example, about 180 degreeC).

하형(11)의 소정 영역에는, 봉지전 리드 프레임(15)이 배치된다. 봉지전 리드 프레임(15)은, 리드 프레임 본체와 당해 리드 프레임 본체에 장착된 칩(21)을 갖고 있다. 칩(21)의 단자와 리드 프레임의 단자는, 와이어(22)에 의해 전기적으로 접속된다.The lead frame 15 before sealing is arrange | positioned in the predetermined area | region of the lower mold | type 11. The lead frame 15 before sealing has the lead frame main body and the chip 21 mounted in the lead frame main body. The terminal of the chip 21 and the terminal of the lead frame are electrically connected by the wire 22.

프레스 유닛(10)은, 가동반(19)을 지면(紙面) 상하 방향에 따라 승강시키기 위한 형체기구(23)를 포함한다. 형체기구(23)는, 가동반(19)을 승강시킴으로써, 상형(18)과 하형(11)(제1의 형과 제2의 형에 상당) 사이의 거리를 변화시키고, 이에 의해 상형(18)과 하형(11) 사이에서 형체(도 3 참조) 및 형개를 실현한다. 즉, 형체기구(23)는, 상형(18)과 하형(11) 사이의 거리를 변화시킨다.The press unit 10 includes a clamping mechanism 23 for raising and lowering the movable plate 19 along the surface up and down direction. The mold clamping mechanism 23 raises and lowers the movable plate 19 to change the distance between the upper mold 18 and the lower mold 11 (corresponding to the first mold and the second mold) and thereby the upper mold 18 ) And mold opening (see FIG. 3) between the lower mold 11 and the lower mold 11. In other words, the clamping mechanism 23 changes the distance between the upper mold 18 and the lower mold 11.

형체기구(23)에 의한 승강 동작은, 제어부(100)에 의해 제어된다. 이와 같이, 제어부(100)는, 형체기구(23)를 제어하는데, 수지 성형 장치(1)를 구성하는 다른 기구에 대해서도 제어하도록 하여도 좋다. 프레스 유닛(10)의 제어에 관해, 제어부(100)는, 형체기구(23)의 지지축에 마련된 변형 게이지(152)에 의해 검출된 변형량을 취득하여, 형체시에 형체기구(23)에 의해 성형틀에 가하여지는 힘 또는 압력(이하, 「형체력(型締力, clamping force)」이라고도 칭한다.)을 계측한다. 제어부(100)는, 형체기구(23)를 구동하는 드라이버(150)에 대해 제어 지령을 줌과 함께, 형체기구(23)로부터 가동반(19)의 승강 위치를 취득한다. 후술하는 바와 같이, 제어부(100)는, 성형틀에 주어지는 형체력 및 승강 위치 등의 입력에 의거하여 형체기구(23)를 제어한다.The lifting operation by the clamping mechanism 23 is controlled by the control unit 100. Thus, although the control part 100 controls the mold clamping mechanism 23, you may make it control also about the other mechanism which comprises the resin molding apparatus 1. As shown in FIG. Regarding the control of the press unit 10, the control unit 100 acquires the deformation amount detected by the strain gauge 152 provided on the support shaft of the mold clamping mechanism 23, and the clamping mechanism 23 at the time of clamping. The force or pressure (hereinafter also referred to as "clamping force") applied to the molding die is measured. The control part 100 gives a control command to the driver 150 which drives the clamping mechanism 23, and acquires the lifting position of the movable panel 19 from the clamping mechanism 23. FIG. As mentioned later, the control part 100 controls the clamping mechanism 23 based on input of a clamping force, a lifting position, etc. which are given to a shaping | molding die.

형체기구(23)는, 임의의 기구를 이용하여 실현할 수 있는데, 예를 들면, 실린더 또는 토글 기구 등을 이용할 수 있다. 형체기구(23)는, 드라이버(150)에 의해 구동되고, 승강 위치를 피드백으로서 출력한다.The mold clamping mechanism 23 can be realized by using any mechanism. For example, a cylinder or a toggle mechanism can be used. The mold clamping mechanism 23 is driven by the driver 150 and outputs a lift position as feedback.

본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치(1)에서는, 형체기구(23)가 상형(18)의 중력 하방에 배치된 하형(11)을 구동하는 구성을 채용하지만, 하형(11)을 고정하고 상형(18)을 구동하도록 하여도 좋고, 상형(18) 및 하형(11)의 양방을 구동하도록 하여도 좋다.In the resin molding apparatus 1 which concerns on this embodiment, although the mold clamping mechanism 23 employ | adopts the structure which drives the lower mold 11 arrange | positioned under the gravity of the upper mold | type 18, the upper mold 11 is fixed and an upper mold | type is used. 18 may be driven, and both the upper mold | type 18 and the lower mold | type 11 may be driven.

프레스 유닛(10)에 의한 형체 동작시에 있어서, 제어부(100)는 드라이버(150)에 지령을 준다. 제어부(100)로부터의 지령에 따라, 형체기구(23)가 구동하여 가동반(19)의 상면에 고정된 하형(11)을 상동(上動, move up)시킨다. 형체기구(23)에 의한 상동에 연동하여, 각 포트(14) 내에 공급된 수지 태블릿(16)이 플런저(24)에 의해 가압된다. 이 가압 중에, 수지 태블릿(16)이 가열됨으로써, 수지 태블릿(16)이 용융하여 유동성 수지가 생긴다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 플런저(24)가 계속해서 가압됨으로써, 용융에 의해 생긴 유동성 수지가 수지 통로(25)를 통하여 캐비티(26)의 내부로 유입한다.In the mold clamping operation by the press unit 10, the controller 100 gives a command to the driver 150. In response to an instruction from the control unit 100, the mold clamping mechanism 23 drives to move up the lower mold 11 fixed to the upper surface of the movable panel 19. In conjunction with the homology by the mold clamping mechanism 23, the resin tablet 16 supplied into each port 14 is pressurized by the plunger 24. During this pressurization, the resin tablet 16 is heated, and the resin tablet 16 melts and fluid resin is produced. As shown in FIG. 3, the plunger 24 is continuously pressurized, so that the flowable resin generated by melting flows into the cavity 26 through the resin passage 25.

그 후, 캐비티(26)의 내부로 유입한 유동성 수지를, 경화에 필요한 소요 시간만큼 가열함에 의해 경화 수지가 형성된다. 경화에 필요한 소요 시간의 경과 후에, 상형(18)과 하형(11)을 형개하여, 수지 봉지된 봉지완료 리드 프레임을 이형(離型)한다.Thereafter, the cured resin is formed by heating the flowable resin introduced into the cavity 26 for the required time required for curing. After the elapse of the time required for curing, the upper mold 18 and the lower mold 11 are opened to release the resin-encapsulated sealed lead frame.

<C. 제어부(100)의 구성례><C. Configuration Example of Control Unit 100>

다음에, 수지 성형 장치(1)를 구성하는 제어부(100)의 구성례에 관해 설명한다. 제어부(100)는, 적어도 프레스 유닛(10)에서의 수지 성형에 관한 제어를 실행한다. 제어부(100)는, 또한, 수지 성형 장치(1)에 포함되는 임의의 기구에 관한 제어를 실행하도록 하여도 좋다.Next, the structural example of the control part 100 which comprises the resin molding apparatus 1 is demonstrated. The control part 100 performs control regarding resin molding in the press unit 10 at least. The control unit 100 may further execute control relating to any mechanism included in the resin molding apparatus 1.

제어부(100)는, 예를 들면, PLC(Programmable Logic Controller) 등의 제어 장치를 이용하여 실장하여도 좋고, 산업용 퍼스널 컴퓨터를 이용하여 실장하여도 좋다.The control unit 100 may be mounted using a control device such as a programmable logic controller (PLC), for example, or may be mounted using an industrial personal computer.

도 4는, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치(1)를 구성하는 제어부(100)의 하드웨어 구성례를 도시하는 모식도이다. 도 4에는, 전형례로서, 범용적인 아키텍처에 따른 산업용 퍼스널 컴퓨터를 채용한 제어부(100)의 구성례를 나타낸다. 제어부(100)에서는, 범용 OS(Operating System) 및 리얼타임 OS가 각각 실행됨으로써, HMI(Human-Machine Interface) 기능 및 통신 기능과, 리얼타임성이 요구되는 제어 기능을 양립한다.FIG. 4: is a schematic diagram which shows the hardware structural example of the control part 100 which comprises the resin molding apparatus 1 which concerns on this embodiment. In FIG. 4, the structural example of the control part 100 which employ | adopted the industrial personal computer which concerns on a general-purpose architecture as a typical example is shown. The control unit 100 executes a general-purpose operating system (OS) and a real-time OS, respectively, so that both a human-machine interface (HMI) function and a communication function and a control function requiring real-time characteristics are compatible.

제어부(100)는, 주된 컴포넌트로서, 입력부(102)와, 출력부(104)와, 메인 메모리(106)와, 광학 드라이브(108)와, 프로세서(110)와, 하드 디스크 드라이브(HDD)(120)와, 네트워크 인터페이스(112)와, 형체력 계측 인터페이스(114)와, 형체기구 인터페이스(116)를 포함한다. 이들의 컴포넌트는, 내부 버스(118)를 통하여 서로 데이터를 주고 받을 수 있도록 접속되어 있다.As the main component, the control unit 100 includes an input unit 102, an output unit 104, a main memory 106, an optical drive 108, a processor 110, and a hard disk drive (HDD) ( 120, a network interface 112, a clamp force measuring interface 114, and a clamping mechanism interface 116. These components are connected to exchange data with each other via the internal bus 118.

입력부(102)는, 작업자로부터의 조작을 접수하는 컴포넌트이고, 전형적으로는, 키보드, 터치 패널, 마우스, 트랙 볼 등을 포함한다. 출력부(104)는, 제어부(100)에서의 처리 결과 등을 외부에 출력하는 컴포넌트이고, 전형적으로는, 디스플레이, 프린터, 각종 표시기 등을 포함한다. 메인 메모리(106)는, DRAM(Dynamic Random Access Memory) 등으로 구성되고, 프로세서(110)에서 실행된 프로그램의 코드나 프로그램의 실행에 필요한 각종 워크 데이터를 유지한다.The input unit 102 is a component that receives an operation from an operator, and typically includes a keyboard, a touch panel, a mouse, a track ball, and the like. The output part 104 is a component which outputs the process result etc. by the control part 100 to the exterior, and typically contains a display, a printer, various indicators, etc. The main memory 106 is composed of a DRAM (Dynamic Random Access Memory) or the like, and holds a code of a program executed by the processor 110 or various work data necessary for executing the program.

프로세서(110)는, HDD(120)에 격납된 프로그램을 판독하여, 입력된 데이터에 대해 처리를 실행하는 처리 주체이다. 프로세서(110)는, 범용 OS 및 당해 범용 OS상에서 동작하는 각종 어플리케이션, 및, 리얼타임 OS 및 당해 리얼타임 OS상에서 동작하는 각종 어플리케이션을 각각 병렬적으로 실행할 수 있도록 구성된다. 한 예로서, 프로세서(110)는, 복수의 프로세서로 이루어지는 구성(이른바「멀티 프로세서」), 단일한 프로세서 내에 복수의 코어를 포함하는 구성(이른바 「멀티 코어」), 및, 멀티 프로세서와 멀티 코어의 양방의 특징을 갖는 구성의 어느 것으로 실현되어도 좋다.The processor 110 reads a program stored in the HDD 120 and executes a process on input data. The processor 110 is configured to execute a general-purpose OS and various applications that operate on the general-purpose OS, and a real-time OS and various applications that operate on the real-time OS in parallel. As one example, the processor 110 is configured of a plurality of processors (so-called "multi-processor"), a configuration including a plurality of cores in a single processor (so-called "multi-core"), and multi-processor and multi-core It may be implemented by any of the structures which have both the characteristics.

HDD(120)는, 기억부이고, 전형적으로는, 범용 OS(122)와, 리얼타임 OS(124)와, HMI 프로그램(126)과, 제어 프로그램(128)을 격납한다. HMI 프로그램(126)은, 범용 OS(122)의 실행 환경하에서 동작하고, 주로, 작업자와의 주고 받음에 관한 처리를 실현한다. 제어 프로그램(128)은, 리얼타임 OS(124)의 실행 환경하에서 동작하고, 수지 성형 장치(1)를 구성하는 각각의 컴포넌트를 제어한다.The HDD 120 is a storage unit and typically stores a general-purpose OS 122, a real-time OS 124, an HMI program 126, and a control program 128. The HMI program 126 operates under the execution environment of the general-purpose OS 122, and mainly implements processing relating to sending and receiving with an operator. The control program 128 operates under the execution environment of the real-time OS 124, and controls each component constituting the resin molding apparatus 1.

제어부(100)에서의 실행되는 각종 프로그램은, DVD-ROM(Digital Versatile Disc Read Only Memory) 등의 기록 매체(108A)에 격납되어 유통 가능하다. 기록 매체(108A)는, 광학 드라이브(108)에서 그 내용이 판독되어 HDD(120)에 인스톨된다. 즉, 본 발명의 어느 국면은, 제어부(100)를 실현하기 위한 프로그램 및 당해 프로그램을 격납하는 어느 한 기록 매체를 포함한다. 이들의 기록 매체로서는, 광학 기록 매체외, 자기 기록 매체, 광자기 기록 매체, 반도체 기록 매체 등을 이용하여도 좋다.The various programs executed by the control unit 100 can be stored in a recording medium 108A such as a DVD-ROM (Digital Versatile Disc Read Only Memory) and distributed. The recording medium 108A reads its contents from the optical drive 108 and is installed in the HDD 120. That is, certain aspects of the present invention include a program for realizing the control section 100 and any recording medium storing the program. As these recording media, in addition to the optical recording media, magnetic recording media, magneto-optical recording media, semiconductor recording media and the like may be used.

도 4에는, HDD(120)에 복수종류의 프로그램이 인스톨되어 있는 형태를 예시하는데, 이들의 프로그램을 하나의 프로그램으로서 일체화하여도 좋고, 또 다른 프로그램의 일부로서 조립되어도 좋다.4 illustrates a form in which a plurality of types of programs are installed in the HDD 120, but these programs may be integrated as one program or may be assembled as part of another program.

네트워크 인터페이스(112)는, 외부 장치와의 사이에서 네트워크를 통하여 데이터를 주고 받는다.The network interface 112 exchanges data with an external device through a network.

HDD(120)에 인스톨되는 프로그램은, 네트워크 인터페이스(112)를 통하여 서버로부터 취득하도록 하여도 좋다. 즉, 본 실시의 형태에 따른 제어부(100)를 실현하는 프로그램은, 임의의 방법으로 다운로드하여 HDD(120)에 인스톨하도록 하여도 좋다.The program installed in the HDD 120 may be acquired from the server via the network interface 112. In other words, the program for realizing the control unit 100 according to the present embodiment may be downloaded and installed in the HDD 120 by any method.

형체력 계측 인터페이스(114)에는, 변형 게이지(152)로부터의 계측치(변형량)가 입력된다. 형체기구 인터페이스(116)에는, 형체기구(23)로부터의 승강 위치가 입력된다. 또한, 형체기구 인터페이스(116)로부터는, 드라이버(150)에 대해, 가동반(19)을 승강시키기 위한 지령이 주어진다.The measured value (strain amount) from the strain gauge 152 is input to the clamp force measurement interface 114. The lifting position from the clamping mechanism 23 is input to the clamping mechanism interface 116. In addition, the clamping mechanism interface 116 is given a command to lift the movable panel 19 to the driver 150.

도 4에는, 프로세서(110)가 프로그램을 실행함으로써, 본 실시의 형태에 따른 제어부(100)를 실현하는 구성례에 관해 설명하였지만, 이것으로 한정되는 일 없이, 본 발명에 따른 분립체(昐粒體) 공급 장치 또는 분립체 공급 방법이 현실적으로 실장되는 시대의 기술 수준에 응한 구성을 적절히 채용할 수 있다. 예를 들면, 범용적인 컴퓨터에 대신하여, 산업용의 컨트롤러인 PLC를 이용하여도 좋다. 또는, 제어부(100)가 제공하는 기능의 전부 또는 일부를 LSI 또는 ASIC(application specific integrated circuit) 등의 집적 회로를 이용하여 실장하여도 좋고, FPGA(field-programmable gate array) 등의 재(再)프로그램 가능한 회로 소자를 이용하여 실장하여도 좋다. 또한 또는, 도 4에 도시하는 제어부(100)가 제공하는 기능을 복수의 처리 주체가 서로 협동함으로써 실현하여도 좋다. 예를 들면, 제어부(100)가 제공하는 기능을 복수의 컴퓨터를 연계시켜서 실현하여도 좋다.Although the structural example which implement | achieves the control part 100 which concerns on this embodiment was demonstrated in FIG. 4 by the processor 110 executing a program, it is not limited to this, The granular material which concerns on this invention (体) The configuration corresponding to the technical level of the times when the supplying device or the granular material supplying method is realistically mounted can be appropriately adopted. For example, instead of a general-purpose computer, a PLC which is an industrial controller may be used. Alternatively, all or part of the functions provided by the controller 100 may be mounted using an integrated circuit such as an LSI or an application specific integrated circuit (ASIC), or may be replaced with a field-programmable gate array (FPGA) or the like. It may be mounted using a programmable circuit element. Alternatively, the functions provided by the control unit 100 shown in FIG. 4 may be realized by cooperating with a plurality of processing subjects. For example, the functions provided by the control unit 100 may be realized by linking a plurality of computers.

또한, 도 4에 도시한 구성 요소의 모두가 필요한 것은 아니고, 광학 드라이브(108), 입력부(102)의 한 예인 마우스, 출력부(104)의 한 예인 프린터 등의, 실제의 제어에는 이용하지 않는 구성에 관해서는 적절히 생략할 수 있다.In addition, not all of the components shown in FIG. 4 are required and are not used for actual control such as an optical drive 108, a mouse as an example of the input unit 102, a printer as an example of the output unit 104, and the like. The configuration can be omitted as appropriate.

<D. 이물 검출의 개요><D. Overview of Foreign Object Detection>

다음에, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치(1)의 프레스 유닛(10)에서의 이물 검출의 개요에 관해 설명한다.Next, the outline | summary of the foreign material detection in the press unit 10 of the resin molding apparatus 1 which concerns on this embodiment is demonstrated.

도 5는, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치(1)의 프레스 유닛(10)에서 검출된 이물 혼입의 한 예를 도시하는 모식도이다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 이물 혼입의 한 예로서는, 상형(18)과 하형(11) 사이에, 복수의 봉지전 리드 프레임(15)이 반송되어 배치되는 상태가 상정된다. 복수의 봉지전 리드 프레임(15)이 배치된 상태에서, 상형(18)과 하형(11)의 형체가 행하여지면, 상형(18) 및 하형(11)에 과대한 형체력이 생겨서, 성형틀의 손상 등에 이를 가능성이 있다. 또한, 불량품의 발생에 의한 생산성의 저하 등도 상정된다.FIG. 5: is a schematic diagram which shows an example of the foreign material mixing detected by the press unit 10 of the resin molding apparatus 1 which concerns on this embodiment. As shown in FIG. 5, as an example of the foreign material mixing, the state in which the some pre-sealing lead frame 15 is conveyed and arrange | positioned between the upper mold | type 18 and the lower mold | type 11 is assumed. If molds of the upper mold 18 and the lower mold 11 are performed in the state where the plurality of pre-sealing lead frames 15 are arranged, excessive mold force is generated on the upper mold 18 and the lower mold 11, resulting in damage to the molding die. It is possible to reach back. Moreover, the fall of productivity by the generation of defective goods, etc. are also assumed.

본 실시의 형태에서는, 형체기구(23)에 의해 하형(11)을 미리 정하여진 위치(이하, 「이물 검출 위치」)까지 상승시킬 때까지에, 형체력이 미리 정하여진 설정치(이하, 「이물 검출치」라고도 칭한다.)를 초과하는지의 여부에 의거하여, 이물을 검출한다. 즉, 수지 성형 장치(1)는, 성형 동작에서, 이물 검출 위치에서 계측되는 형체력에 의거하여, 성형틀에서의 이물을 검출한다.In the present embodiment, the clamping force is set to a predetermined value (hereinafter, “foreign matter detection”) until the lower mold 11 is raised to a predetermined position (hereinafter, “foreign matter detection position”) by the clamping mechanism 23. Is also referred to as &quot; value &quot;). That is, the resin molding apparatus 1 detects the foreign material in a shaping | molding die based on the clamping force measured by the foreign material detection position in a shaping | molding operation.

도 6은, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치(1)의 프레스 유닛(10)에서의 이물 검출의 처리를 설명하기 위한 도면이다. 도 6을 참조하면, 프레스 유닛(10)에 의한 성형틀의 형체 동작은, 위치 제어를 행하는 제1 페이즈(P1)와, 압력 제어를 행하는 제2 페이즈(P2)를 포함한다.FIG. 6: is a figure for demonstrating the process of the foreign material detection in the press unit 10 of the resin molding apparatus 1 which concerns on this embodiment. Referring to FIG. 6, the shaping operation of the molding die by the press unit 10 includes a first phase P1 for position control and a second phase P2 for pressure control.

제1 페이즈(P1)에서는, 제어부(100)는, 승강 위치가 미리 정하여진 이물 검출 위치가 되도록, 형체기구(23)에 상승 지령을 준다. 즉, 형체기구(23)의 승강 위치에 의거한 승강 제어가 실행된다. 제2 페이즈(P2)에서는, 제어부(100)는, 형체력이 미리 정하여진 값이 되도록, 형체기구(23)에 상승 지령을 준다. 즉, 형체기구(23)의 형체력에 의거한 승강 제어가 실행된다. 도 6에는, 형체에 있어서, 하형을 상승시켜서 성형 대상물이 상형에 접촉하고, 하형의 정지 위치까지 형체력이 증대하는 예를 나타낸다.In 1st phase P1, the control part 100 gives a climbing instruction | command to the clamping mechanism 23 so that a raising / lowering position may become the predetermined foreign matter detection position. That is, the lifting control based on the lifting position of the mold clamping mechanism 23 is executed. In the second phase P2, the control unit 100 gives an upward command to the clamping mechanism 23 so that the clamping force becomes a predetermined value. That is, the lifting control based on the clamping force of the clamping mechanism 23 is executed. FIG. 6 shows an example in which the lower mold is raised to bring the object to be in contact with the upper mold, and the clamping force increases to the stop position of the lower mold in the mold.

이물 검출은, 제1 페이즈(P1)에서, 이 처리에서 계측되는 형체력이 이물 검출치를 초과하는지의 여부에 의거하여 행하여진다. 후술하는 바와 같이, 이물 검출 위치는, 정상 상태와 이물 혼입 상태를 구별할 수 있도록 적절하게 설정되기 때문에, 정상 상태에서는, 이물 검출 위치에 도달할 때까지, 형체력이 이물 검출치를 초과하는 일은 없다. 한편, 이물 혼입 상태에서는, 이물 검출 위치에 도달할 때까지, 형체력이 이물 검출치를 초과하게 된다.Foreign material detection is performed based on whether the clamp force measured in this process exceeds the foreign material detection value in the first phase P1. As will be described later, the foreign matter detection position is appropriately set so as to distinguish between the steady state and the foreign matter mixing state. Therefore, in the steady state, the clamping force does not exceed the foreign matter detection value until the foreign matter detection position is reached. On the other hand, in the foreign material mixing state, the clamping force exceeds the foreign material detection value until the foreign material detection position is reached.

이와 같이, 제어부(100)에 의한 이물을 검출하는 처리는, 상형(18)과 하형(11) 사이의 거리를 이물 검출 위치까지 좁히는 과정에서, 이 처리에서 계측되는 형체력이 이물 검출치를 초과하는지의 여부에 의거하여, 이물의 유무를 판단하는 처리를 포함한다. 본 실시의 형태에서는, 이와 같은 형체력의 상위(相違)에 의거하여, 이물의 혼입 유무를 판단한다.Thus, the process of detecting the foreign material by the control part 100, in the process of narrowing the distance between the upper mold | type 18 and the lower mold | type 11 to a foreign material detection position, determines whether the clamping force measured by this process exceeds the foreign material detection value. It includes the process of judging the presence or absence of the foreign material based on whether or not. In the present embodiment, the presence or absence of foreign matter is mixed on the basis of such a difference in clamping force.

또한, 제어부(100)는, 상형(18)과 하형(11) 사이의 거리를 이물 검출 위치까지 좁힌 상태에서, 이물을 검출하는 처리에서 계측된 형체력이 이물 검출치를 초과하지 않으면, 제2 페이즈(P2)로 이행하여, 형체력이 미리 정하여진 값이 되도록, 형체기구(23)에 지령을 준다.In addition, in the state where the distance between the upper mold | type 18 and the lower mold | membrane 11 was narrowed to the foreign material detection position, the control part 100 will carry out a 2nd phase (if the clamping force measured in the process which detects a foreign material does not exceed a foreign material detection value). The process moves to P2) and a command is given to the clamping mechanism 23 so that the clamping force becomes a predetermined value.

이와 같은 제1 페이즈(P1) 및 제2 페이즈(P2)의 처리에 의해, 성형틀을 규정의 형체력으로 형체할 수 있다.By the processing of the first phase P1 and the second phase P2 as described above, the mold can be molded with a prescribed clamping force.

<E. 이물 검출 위치의 설정 방법><E. Setting method of foreign object detection position>

다음에, 이물 검출 위치의 설정 방법에 관해 설명한다. 이물 검출 위치는, 성형틀마다 설정된다.Next, the setting method of a foreign material detection position is demonstrated. The foreign matter detection position is set for each molding die.

도 7은, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치(1)에서의 이물 검출 위치의 설정 방법을 설명하기 위한 모식도이다. 도 7을 참조하면, 봉지전 리드 프레임(15)을 성형틀(상형(18) 및 하형(11))에 배치한 상태에서, 가동반(19)을 상승시킴으로써, 상형(18)과 하형(11) 사이의 거리를 좁히면서, 계측되는 형체력을 감시한다. 형체력이 이물 검출치를 초과하면, 가동반(19)의 상승을 정지시킨다. 가동반(19)의 정지 위치로부터 미리 정하여진 보정치(보정치가 제로인 경우도 포함할 수 있다)를 뺀 위치를 이물 검출 위치로서 설정한다. 통상의 성형 동작에서는, 설정된 이물 검출 위치에 도달할 때까지 계측된 형체력에 의거하여, 이물 검출이 실행된다. 이물 검출 위치의 설정 처리는, 성형틀의 교환시에 실시되도록 하여도 좋다.FIG. 7: is a schematic diagram for demonstrating the setting method of the foreign material detection position in the resin molding apparatus 1 which concerns on this embodiment. Referring to FIG. 7, the upper mold 18 and the lower mold 11 are lifted by raising the movable plate 19 in a state where the lead frame 15 before sealing is disposed on the mold (upper mold 18 and lower mold 11). Monitor the clamping force measured while narrowing the distance between When the clamping force exceeds the foreign matter detection value, the rise of the movable panel 19 is stopped. The position obtained by subtracting the predetermined correction value (which may include the case where the correction value is zero) from the stop position of the movable panel 19 is set as the foreign matter detection position. In a normal shaping | molding operation | movement, a foreign material detection is performed based on the clamping force measured until reaching the set foreign material detection position. The setting processing of the foreign matter detection position may be performed at the time of replacing the molding die.

도 8은, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치(1)에서의 이물 검출 위치의 설정 순서를 도시하는 플로우 차트이다. 도 8에 도시하는 플로우 차트의 각 스텝은, 전형적으로는, 제어부(100)의 프로세서(110)가 HMI 프로그램(126) 및 제어 프로그램(128)을 실행함으로써 실현된다.8 is a flowchart showing a setting procedure of the foreign matter detection position in the resin molding apparatus 1 according to the present embodiment. Each step of the flowchart shown in FIG. 8 is typically realized by the processor 110 of the controller 100 executing the HMI program 126 and the control program 128.

도 8을 참조하면, 제어부(100)는, 성형틀의 교환 모드로의 이행이 지시되었는지의 여부를 판단한다(스텝 S100). 성형틀의 교환 모드로의 이행의 지시는, 작업자가 제어부(100)의 입력부(102)를 통하여 주게 된다. 성형틀의 교환 모드로의 이행이 지시되지 않았으면(스텝 S100에서 NO), 스텝 S100의 처리가 반복된다.Referring to FIG. 8, the control unit 100 determines whether or not the transition of the mold to the replacement mode is instructed (step S100). An instruction of the transition of the mold to the replacement mode is given by the operator through the input unit 102 of the control unit 100. If the transition to the replacement mode of the mold is not instructed (NO in step S100), the process of step S100 is repeated.

성형틀의 교환 모드로의 이행이 지시되면(스텝 S100에서 YES), 제어부(100)는, 출력부(104) 등으로부터, 성형틀의 교환 모드 중인 것을 통지한다(스텝 S102). 이 상태에서, 작업자는 성형틀을 교환한다. 성형틀의 교환이 완료되면, 작업자는, 성형틀의 교환 모드의 종료를 지시한다.When the transition of the mold to the exchange mode is instructed (YES in step S100), the control unit 100 notifies the output unit 104 or the like that the mold is in the exchange mode (step S102). In this state, the worker replaces the mold. When the replacement of the mold is completed, the operator instructs the end of the replacement mode of the mold.

제어부(100)는, 성형틀의 교환 모드의 종료가 지시되었는지의 여부를 판단한다(스텝 S104). 성형틀의 교환 모드의 종료가 지시되지 않았으면(스텝 S104에서 NO), 스텝 S104의 처리가 반복된다.The control unit 100 determines whether or not the end of the changing mode of the mold is instructed (step S104). If the end of the mold replacement mode is not instructed (NO in step S104), the process of step S104 is repeated.

성형틀의 교환 모드의 종료가 지시되면(스텝 S104에서 YES), 제어부(100)는, 성형틀의 교환 모드 중인 것의 통지를 종료한다(스텝 S106).When the end of the mold replacement mode is instructed (YES in step S104), the control unit 100 ends the notification that the mold replacement mode is in progress (step S106).

계속해서, 이물 검출 위치의 설정 처리가 시작된다. 이물 검출 위치의 설정 처리의 시작에 앞서서, 제어부(100)는, 출력부(104) 등으로부터, 이물 검출 위치의 설정이 필요한 것을 통지한다(스텝 S108). 이 상태에서, 작업자는, 장착한 성형틀에 봉지전 리드 프레임(15)을 배치한다. 봉지전 리드 프레임(15)의 배치가 완료되면, 작업자는, 이물 검출 위치의 설정 처리의 시작을 지시한다. 성형 대상물은, 스텝 S108의 통지로부터, 후술하는 스텝 S112의 상승의 지시가 있기까지 배치되면 좋다.Subsequently, the setting processing of the foreign matter detection position is started. Prior to the start of the setting process of the foreign matter detection position, the control unit 100 notifies that the setting of the foreign matter detection position is necessary from the output unit 104 or the like (step S108). In this state, the operator arranges the lead frame 15 before sealing in the attached molding die. When arrangement | positioning of the lead frame 15 before sealing is completed, an operator instructs start of the setting process of a foreign material detection position. The molding object may be arranged from the notification of step S108 until the instruction of the rising of step S112 described later is given.

제어부(100)는, 이물 검출 위치의 설정 처리의 시작이 지시되었는지의 여부를 판단한다(스텝 S110). 이물 검출 위치의 설정 처리의 시작이 지시되지 않았으면(스텝 S110에서 NO), 스텝 S110의 처리가 반복된다.The control part 100 determines whether the start of the setting process of the foreign material detection position was instructed (step S110). If the start of the setting process of the foreign matter detection position is not instructed (NO in step S110), the process of step S110 is repeated.

이물 검출 위치의 설정 처리의 시작이 지시되면(스텝 S110에서 YES), 제어부(100)는, 형체기구(23)의 상승이 지시되었는지의 여부를 판단한다(스텝 S112). 형체기구(23)의 상승이 지시되지 않았으면(스텝 S112에서 NO), 스텝 S112의 처리가 반복된다.When the start of the setting process of the foreign matter detection position is instructed (YES in step S110), the control unit 100 determines whether the rising of the mold clamping mechanism 23 is instructed (step S112). If the raising of the clamping mechanism 23 is not instructed (NO in step S112), the process of step S112 is repeated.

형체기구(23)의 상승이 지시되면(스텝 S112에서 YES), 제어부(100)는, 봉지전 리드 프레임(15)을 성형틀에 배치한 상태에서 상형(18)과 하형(11) 사이의 거리를 좁히면서 형체력을 계측한다. 보다 구체적으로는, 제어부(100)는, 형체기구(23)에 상승 지령을 주고(스텝 S114), 형체기구(23)에 생기는 형체력의 감시를 시작한다(스텝 S116). 그리고, 제어부(100)는, 계측된 형체력이 이물 검출치를 초과하는지의 여부를 판단한다(스텝 S118). 이물 검출치는 미리 설정하여 둘 수 있다. 이 처리에서 계측되는 형체력이 이물 검출치를 초과하지 않으면(스텝 S118에서 NO), 스텝 S118의 처리가 반복된다.When the rising of the mold clamping mechanism 23 is instructed (YES in step S112), the control part 100 arrange | positions the distance between the upper mold | type 18 and the lower mold | type 11 in the state which arrange | positioned the lead frame 15 before sealing to the shaping | molding die. Measure the clamping force by narrowing the More specifically, the control part 100 gives a rising command to the clamping mechanism 23 (step S114), and starts monitoring the clamping force which arises in the clamping mechanism 23 (step S116). And the control part 100 determines whether the measured clamp force exceeds the foreign material detection value (step S118). The foreign matter detection value can be set in advance. If the clamping force measured in this process does not exceed the foreign matter detection value (NO in step S118), the process of step S118 is repeated.

계측된 형체력이 이물 검출치를 초과하면(스텝 S118에서 YES), 제어부(100)는, 형체기구(23)에 정지 지령을 주고(스텝 S120), 형체기구(23)가 정지한 상태에서의 승강 위치를 격납함과 함께, 격납한 승강 위치를 출력부(104) 등으로부터 작업자에게 제시한다(스텝 S122). 즉, 제어부(100)는, 계측되는 형체력이 미리 정하여진 이물 검출치(제1의 설정치에 상당)를 초과하는 형체기구(23)의 승강 위치(제1의 위치에 상당)를 취득한다.If the measured clamping force exceeds the foreign matter detection value (YES in step S118), the control unit 100 gives a stop command to the clamping mechanism 23 (step S120), and the lift position in the state where the clamping mechanism 23 is stopped. And store the raised and lowered positions from the output unit 104 or the like to the worker (step S122). That is, the control part 100 acquires the lifting position (corresponding to 1st position) of the clamping mechanism 23 which exceeds the foreign object detection value (corresponding to a 1st set value) predetermined clamping force.

그리고, 제어부(100)는, 계측되는 형체력이 이물 검출치를 초과하면, 상형(18)과 하형(11) 사이의 거리를 넓히는 처리를 실행한다. 보다 구체적으로는, 제어부(100)는, 형체기구(23)에 하강 지령을 주고(스텝 S124), 형체기구(23)가 초기 위치(최저 위치)에 도달하면, 형체기구(23)의 승강 동작을 정지한다(스텝 S126).And the control part 100 performs the process of extending the distance between the upper mold | type 18 and the lower mold | type 11, when the measured clamping force exceeds a foreign material detection value. More specifically, the control part 100 gives a descending instruction to the clamping mechanism 23 (step S124), and when the clamping mechanism 23 reaches an initial position (lowest position), the lifting | lowering operation of the clamping mechanism 23 is performed. Is stopped (step S126).

계속해서, 제어부(100)는, 작업자에 의한 보정 조작이 이루어졌는지의 여부를 판단한다(스텝 S128). 작업자에 의한 보정 조작이 이루어지지 않았으면(스텝 S128에서 NO), 스텝 S128의 처리가 반복된다.Subsequently, the control part 100 determines whether the correction operation by an operator was performed (step S128). If the correcting operation by the operator has not been made (NO in step S128), the process of step S128 is repeated.

작업자에 의한 보정 조작이 이루어졌으면(스텝 S128에서 YES), 제어부(100)는, 스텝 S122에서 격납된 승강 위치로부터 스텝 S128에서 설정된 보정치를 빼서, 이물 검출 위치를 산출한다(스텝 S130). 보정치는, 미리 디폴트값이 설정되어 있어도 좋고, 작업자가 수동으로 설정하도록 하여도 좋다. 또한, 작업자는, 미리 설정되어 있는 디폴트값을 임의로 변경할 수도 있다.When the correction operation by the operator is made (YES in step S128), the control part 100 calculates the foreign material detection position by subtracting the correction value set in step S128 from the lifting position stored in step S122 (step S130). The correction value may be set in advance or may be set manually by the operator. In addition, the operator can also arbitrarily change the preset default value.

즉, 스텝 S122에서 격납된 승강 위치(H0)와, 보정치(ΔH)를 이용하여, 이물 검출 위치(Hd)=승강 위치(H0)-보정치(ΔH)로 나타낼 수 있다. 보정치(ΔH)는, 정상 상태와 이물 혼입 상태를 구별하기 위한 일종의 마진에 상당한다.That is, it can be represented by the foreign material detection position Hd = lifting position H0-correction value (DELTA) H using the lifting position H0 stored in step S122 and correction value (DELTA) H. Correction value (DELTA) H corresponds to a kind of margin for distinguishing a steady state from a foreign material mixing state.

그리고, 제어부(100)는, 작업자에 의한 이물 검출 위치의 설정 확정 조작이 이루어졌는지의 여부를 판단한다(스텝 S132). 작업자에 의한 이물 검출 위치의 설정 확정 조작이 이루어지지 않았으면(스텝 S132에서 NO), 스텝 S132의 처리가 반복된다. 작업자에 의한 이물 검출 위치의 설정 확정 조작이 이루어졌으면(스텝 S132에서 YES), 제어부(100)는, 스텝 S130에서의 산출된 이물 검출 위치를 현재 장착되어 있는 성형틀에 관련시켜서 설정한다(스텝 S134).And the control part 100 determines whether the setting determination operation of the foreign material detection position by an operator was performed (step S132). If the setting determination operation of the foreign matter detection position by the operator has not been performed (NO in step S132), the process of step S132 is repeated. If the setting determination operation of the foreign matter detection position by the operator has been performed (YES in step S132), the control unit 100 sets the foreign matter detection position calculated in step S130 in association with the molding die currently mounted (step S134). ).

또한, 스텝 S134에 관해서는, 후술하는 도 9를 이용하여 설명하는 바와 같은 설정을 행하지 않는 경우 등, 필요가 없으면 산출된 이물 검출 위치를 현재 장착되어 있는 성형틀에 관련시키지 않아도 좋다.In addition, regarding step S134, if it is not necessary, for example, when setting as described below using FIG. 9 is not performed, the calculated foreign matter detection position may not be related to the molding die currently mounted.

이와 같이, 제어부(100)는, 상형(18)과 하형(11) 사이의 거리를 넓히는 방향의 보정치(ΔH)에 의해 취득된 형체기구(23)의 승강 위치(H0)(제1의 위치에 상당)를 보정하여 얻어지는 위치(승강 위치(H0)-보정치(ΔH))를, 이물 검출 위치(Hd)로서 설정한다. 그리고, 제어부(100)는, 이물 검출 위치의 설정이 필요한 것의 통지를 종료한다(스텝 S136).In this way, the control unit 100 moves to the lifting position H0 (the first position) of the clamping mechanism 23 acquired by the correction value ΔH in the direction of extending the distance between the upper mold 18 and the lower mold 11. The position (elevation position H0-correction value (DELTA) H) obtained by correct | amending is set as a foreign material detection position Hd. And the control part 100 complete | finishes notification of what needs to set the foreign material detection position (step S136).

이상의 순서에 의해, 이물 검출 위치의 설정 처리가 완료된다. 이와 같이 설정된 이물 검출 위치에 의거하여, 통상의 성형 동작에서는 이물 검출 위치에서 계측된 형체력에 의거한 이물 검출이 실행된다.By the above procedure, the setting processing of the foreign matter detection position is completed. Based on the foreign matter detection position set as described above, foreign matter detection based on the clamping force measured at the foreign matter detection position is performed in a normal molding operation.

구체적으로는, 성형 대상물이 배치된 하형을 상승시켜, 상술한 바와 같이 설정한 이물 검출 위치에 달하면, 그 위치에서 계측된 형체력을 취득한다. 미리 설정한 이물 검출치와 이물 검출 위치에서의 형체력을 비교하고, 형체력이 이물 검출치를 초과한 경우는, 성형 동작을 정지하고, 하형을 하강시킨다. 형체력이 이물 검출치 미만인 경우는, 다시 하형을 상승시켜, 성형 대상물을 수지 성형한다. 형체력와 이물 검출치가 동등한 경우는, 형체력이 이물 검출치를 초과하는 경우와 마찬가지로 성형 동작을 정지하고 하형을 하강시켜도 좋고, 형체력이 이물 검출치 미만인 경우와 마찬가지로 다시 하형을 상승시켜, 성형 대상물을 수지 성형하여도 좋다.Specifically, when the lower mold on which the molding target object is placed is raised to reach the foreign matter detection position set as described above, the clamping force measured at the position is acquired. The clamping force at the foreign object detection value set in advance and the foreign body detection position are compared, and when a clamping force exceeds the foreign object detection value, a shaping | molding operation | movement is stopped and a lower mold | type is lowered. When the mold clamping force is less than the foreign matter detection value, the lower mold is raised again, and the molding object is resin molded. If the clamping force and the foreign matter detection value are equal, the molding operation may be stopped and the lower mold may be lowered as in the case where the clamping force exceeds the foreign object detection value. Also good.

<F. 이물 검출치 및 보정치><F. Foreign Object Detection and Correction Values>

상술한 설명에서는, 이물 검출 위치를 설정할 때에 사용하는 이물 검출치 및 보정치에 관해서는, 미리 설정되어 있는 예를 나타내었다. 이물 검출 위치는 성형틀마다 설정되기 때문에, 이물 검출치 및 보정치에 대해서도, 성형틀에 응한 설정치를 채용하여도 좋다.In the above description, the foreign matter detection value and the correction value used when setting the foreign matter detection position have shown an example set in advance. Since the foreign matter detection position is set for each molding die, the set value corresponding to the molding die may also be adopted for the foreign matter detection value and the correction value.

도 9는, 본 실시의 형태에 따른 수지 성형 장치(1)에서 사용되는 이물 검출치 및 보정치의 설정례를 도시하는 도면이다. 도 9에 도시하는 설정치 테이블(200)에는, 성형틀 종류별(201)로서, 3종류(대형 패키지, 중형 패키지, 소형 패키지)가 규정되어 있고, 각 종류별로 대응시켜서, 이물 검출치(202) 및 보정치(203)가 설정되어 있다.FIG. 9: is a figure which shows the example of a setting of the foreign material detection value and the correction value used by the resin molding apparatus 1 which concerns on this embodiment. In the set value table 200 shown in FIG. 9, three types (large package, medium package, and small package) are defined as the mold types 201, and the foreign material detection value 202 and The correction value 203 is set.

도 9에 도시하는 설정치 테이블(200)에서는, 봉지전 리드 프레임(15)이 수지 봉지된 후에 개편화됨으로써 생성되는 패키지의 크기에 의존시켜서, 이물 검출치 및 보정치가 설정되어 있다.In the set value table 200 shown in FIG. 9, the foreign material detection value and the correction value are set depending on the size of the package which is produced by being separated into pieces after the lead frame 15 before sealing is resin-sealed.

제어부(100)는, 도 9에 도시하는 설정치 테이블(200)을 참조하여, 성형틀의 속성에 응하여, 설정치 및 보정치를 설정하도록 하여도 좋다. 또는, 제어부(100)는, 설정치 테이블(200)에 설정되어 있는 이물 검출치 및 보정치의 각 조(組)를 작업자에게 제시함과 함께, 작업자로부터의 선택을 접수하도록 하여도 좋다.The control part 100 may refer to the setting value table 200 shown in FIG. 9, and may set a setting value and a correction value according to the attribute of a shaping | molding die. Alternatively, the control unit 100 may present the set of the foreign matter detection value and the correction value set in the set value table 200 to the operator and accept the selection from the operator.

이와 같은 이물 검출치 및 보정치를 봉지전 리드 프레임(15)의 속성 등에 의존시킴으로써, 보다 적절한 이물 검출 위치를 설정할 수 있다.By relying on such foreign matter detection value and correction value as an attribute of the lead frame 15 before sealing, it is possible to set a more suitable foreign matter detection position.

상기 실시의 형태에서는, 이물 검출 위치의 설정에서 승강 위치(제1의 위치에 상당)를 취득할 때에 사용하는 이물 검출치(설정치)와 이물의 유무를 판단할 때에 사용하는 이물 검출치를 같은 값으로 한 예로 설명하였다. 즉, 이물의 유무를 판단할 때에 사용하는 이물 검출치를, 승강 위치를 취득할 때에 사용하는 이물 검출치와 같은 값으로 설정되어 있는 예에 관해 설명하였다.In the above embodiment, the foreign matter detection value (set value) used when acquiring the lifted position (corresponding to the first position) in the setting of the foreign matter detection position and the foreign matter detection value used when judging the presence or absence of the foreign matter have the same value. As an example. That is, the example in which the foreign material detection value used when determining the presence or absence of foreign matters is set to the same value as the foreign material detection value used when acquiring the lift position is explained.

그러나, 승강 위치를 취득할 때에 사용하는 이물 검출치를 「제1의 설정치」 또는 「형체력의 제1의 설정치」로 하고, 이물의 유무를 판단할 때에 사용하는 이물 검출치를 「제2의 설정치」 또는 「형체력의 제2의 설정치」로 한 경우, 제2의 설정치로서 제1의 설정치를 조정한 값으로 하는 등, 제1의 설정치와 제2의 설정치를 다른 값으로 할 수 있다.However, the foreign material detection value used when acquiring the lifted position is set as the "first set value" or "the first set value of clamping force", and the foreign material detection value used when determining the presence or absence of the foreign material is referred to as the "second set value" or When it is set as "the 2nd set value of mold clamping force", a 1st set value and a 2nd set value can be made into a different value, such as setting the 1st set value as a 2nd set value.

<G. 부기(附記)><G. Bookkeeping>

본 실시의 형태는, 이하와 같은 기술 사상을 포함한다.This embodiment includes the following technical ideas.

어느 실시의 형태에 따르면, 대향하여 배치된 제1의 형 및 제2의 형을 포함하는 성형틀을 이용하여 성형 대상물을 수지 성형하는 수지 성형 장치가 제공된다. 수지 성형 장치는, 제1의 형과 제2의 형 사이의 거리를 변화시키는 형체기구와, 형체기구를 제어하는 제어부를 포함한다. 제어부는, 성형 대상물을 성형틀에 배치한 상태에서 제1의 형과 제2의 형 사이의 거리를 좁히면서, 형체기구에 의해 성형틀에 가하여지는 압력인 형체력을 계측하는 처리와, 계측되는 형체력이 미리 정하여진 제1의 설정치를 초과하는 형체기구의 제1의 위치를 취득하는 처리와, 보정치에 의해 제1의 위치를 보정하여 얻어지는 제2의 위치를, 이물 검출 위치로서 설정하는 처리와, 성형 동작에서, 이물 검출 위치에서 계측되는 형체력에 의거하여, 성형틀에서의 이물을 검출하는 처리를 실행한다.According to one embodiment, there is provided a resin molding apparatus for resin molding a molding object by using a molding mold including a first mold and a second mold disposed to face each other. The resin molding apparatus includes a mold clamping mechanism for changing the distance between the first mold and the second mold, and a control unit for controlling the mold clamping mechanism. The control unit measures the clamping force, which is the pressure exerted on the mold by the clamping mechanism, while narrowing the distance between the first mold and the second mold in a state where the molding target is placed on the mold, and the clamping force measured. A process of acquiring the first position of the mold clamping mechanism exceeding the first predetermined value, a process of setting the second position obtained by correcting the first position by the correction value as the foreign matter detection position, In the molding operation, a process for detecting foreign matter in the molding die is performed based on the clamping force measured at the foreign matter detection position.

이물을 검출하는 처리는, 제1의 형과 제2의 형 사이의 거리를 이물 검출 위치까지 좁히는 과정에서, 이 처리에서 계측되는 형체력이 미리 정하여진 제2의 설정치를 초과하는지의 여부에 의거하여, 이물의 유무를 판단하는 처리를 포함하고 있어도 좋다.The foreign matter detection process is based on whether or not the clamp force measured in this process exceeds a second predetermined value in the process of narrowing the distance between the first die and the second die to the foreign matter detection position. And the processing for judging the presence or absence of the foreign matter may be included.

제어부는, 제1의 형과 제2의 형 사이의 거리를 이물 검출 위치까지 좁힌 상태에서, 이물을 검출하는 처리로 계측되는 형체력이 제2의 설정치를 초과하지 않으면, 형체력이 미리 정하여진 값이 되도록, 형체기구에 지령을 주는 처리를 또한 실행하도록 하여도 좋다.In the state where the distance between the first mold and the second mold is narrowed down to the foreign material detection position, the control unit determines that the clamping force is predetermined if the clamping force measured by the process for detecting the foreign material does not exceed the second set value. If possible, a process of giving a command to the mold clamping mechanism may also be executed.

제2의 설정치는, 상기 제1의 설정치와 같은 값으로 설정되어 있어도 좋다.The second set value may be set to the same value as the first set value.

제어부는, 이물을 검출하는 처리에서 계측되는 형체력이 제2의 설정치를 초과하면, 제1의 형과 제2의 형 사이의 거리를 넓히는 처리를 또한 실행하도록 하여도 좋다.The control unit may further execute a process of widening the distance between the first mold and the second mold when the clamping force measured in the process of detecting the foreign matter exceeds the second set value.

형체기구는, 제1의 형의 중력 하방에 배치된 제2의 형을 구동하도록 하여도 좋다.The mold clamping mechanism may drive the second mold disposed below the gravity of the first mold.

제어부는, 성형틀의 속성에 응하여, 제1의 설정치 및 보정치를 설정하도록 하여도 좋다.The control unit may set the first set value and the correction value in response to the properties of the mold.

다른 실시의 형태에 따르면, 대향하여 배치된 제1의 형 및 제2의 형을 포함하는 성형틀을 이용하여 성형 대상물을 수지 성형하는 수지 성형품의 제조 방법이 제공된다. 제조 방법은, 성형 대상물을 성형틀에 배치한 상태에서 형체기구에 의해 제1의 형과 제2의 형 사이의 거리를 좁히면서, 형체기구에 의해 성형틀에 가하여지는 압력인 형체력을 계측하는 스텝과, 계측되는 형체력이 미리 정하여진 제1의 설정치를 초과하는 형체기구의 제1의 위치를 취득하는 스텝과, 보정치에 의해 제1의 위치를 보정하여 얻어지는 제2의 위치를, 이물 검출 위치로서 설정하는 스텝과, 성형 동작에서, 이물 검출 위치에서 계측되는 형체력에 의거하여, 성형틀에서의 이물을 검출하는 스텝을 포함한다.According to another embodiment, there is provided a method for producing a resin molded article in which a molding object is resin-molded using a molding mold including a first mold and a second mold disposed to face each other. The manufacturing method measures the clamping force which is the pressure exerted on the molding die by the clamping mechanism while narrowing the distance between the first mold and the second mold by the clamping mechanism in a state where the molding target is placed on the molding die. And a step of acquiring the first position of the clamping mechanism exceeding the first set value determined by the clamping force to be measured, and the second position obtained by correcting the first position by the correction value as the foreign material detection position. And a step of detecting the foreign matter in the molding die based on the clamping force measured at the foreign matter detection position in the molding operation.

이물을 검출하는 스텝은, 제1의 형과 제2의 형 사이의 거리를 이물 검출 위치까지 좁히는 과정에서, 이 처리에서 계측되는 형체력이 미리 정하여진 제2의 설정치를 초과하는지의 여부에 의거하여, 이물의 유무를 판단하는 스텝을 포함하도록 하여도 좋다.The step of detecting the foreign matter is based on whether or not the clamp force measured in this process exceeds a second predetermined value in the process of narrowing the distance between the first mold and the second mold to the foreign material detection position. And determining the presence or absence of the foreign matter.

제조 방법은, 제1의 형과 제2의 형 사이의 거리를 이물 검출 위치까지 좁힌 상태에서, 이물을 검출하는 처리에서 계측되는 형체력이 제2의 설정치를 초과하지 않으면, 형체력이 미리 정하여진 값이 되도록, 형체기구에 지령을 주는 스텝을 또한 포함하도록 하여도 좋다.The manufacturing method has a predetermined clamping force value if the clamping force measured in the process of detecting the foreign matter does not exceed the second set value while the distance between the first mold and the second mold is narrowed to the foreign object detection position. In addition, the step of giving a command to the mold clamping mechanism may also be included.

제2의 설정치는, 제1의 설정치와 같은 값으로 설정되어 있어도 좋다.The second set value may be set to the same value as the first set value.

제조 방법은, 이물을 검출하는 처리에서 계측되는 형체력이 제2의 설정치를 초과하면, 제1의 형과 제2의 형 사이의 거리를 넓히는 스텝을 또한 포함하고 있어도 좋다.The manufacturing method may further include the step of extending the distance between the first mold and the second mold when the clamping force measured in the process of detecting the foreign matter exceeds the second set value.

형체기구는, 제1의 형의 중력 하방에 배치된 제2의 형을 구동하도록 하여도 좋다.The mold clamping mechanism may drive the second mold disposed below the gravity of the first mold.

제조 방법은, 성형틀의 속성에 응하여, 제1의 설정치 및 보정치를 설정하는 스텝을 또한 포함하고 있어도 좋다.The manufacturing method may further include the step of setting the first set value and the correction value in response to the properties of the mold.

<H. 이점><H. Advantage

이물 검출 위치를 설정한 전형적인 방법으로서는, 하나의 봉지전 리드 프레임(15)을 성형틀에 배치하여, 수동 조작으로 소정 상태가 되는 위치를 취득함과 함께, 2개의 봉지전 리드 프레임(15)을 성형틀에 배치하여, 수동 조작으로 소정 상태가 되는 위치를 취득한다. 이와 같이 하여 얻어진 2개의 위치의 중간치 등을 이물 검출 위치로서 설정할 수 있다. 이와 같은 설정 방법에서는, 작업자의 숙련에 의해 설정치에 편차가 생길 수 있다는 과제가 있고, 또한, 수동 조작이기 때문에 수고가 든다는 과제가 있다.As a typical method of setting the foreign matter detection position, one pre-sealing lead frame 15 is placed on a molding die, and the two pre-sealing lead frames 15 are obtained while the position to be in a predetermined state is obtained by manual operation. It arrange | positions to a shaping | molding die and acquires the position which becomes a predetermined state by manual operation. The intermediate value and the like of the two positions thus obtained can be set as the foreign matter detection position. In such a setting method, there exists a problem that a deviation may occur in a set value by the skill of an operator, and also a problem that labor takes because of manual operation.

이에 대해, 본 실시의 형태에 의하면, 이물 검출 위치를 자동으로 설정할 수 있다. 이에 의해, 수동 조작으로 이물 검출 위치를 설정하는 경우에 비교하여, 이물 검출 위치를 정밀도 좋게 설정할 수 있기 때문에, 고정밀한 이물 검출을 실현할 수 있다. 또한, 수동 조작으로 이물 검출 위치를 설정하는 경우에 비교하여, 이물 검출 위치의 설정에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있고, 생산성을 향상할 수 있다.In contrast, according to the present embodiment, the foreign matter detection position can be set automatically. Thereby, since a foreign material detection position can be set with high precision compared with the case of setting a foreign material detection position by manual operation, high-precision foreign object detection can be implement | achieved. Moreover, compared with the case of setting a foreign material detection position by manual operation, the time required for setting a foreign material detection position can be shortened, and productivity can be improved.

본 발명의 실시의 형태에 관해 설명하였지만, 금회 개시된 실시의 형태는 모든 점에서 예시이고 제한적인 것이 아니라고 생각되어야 할 것이다. 본 발명의 범위는 청구의 범위에 의해 나타나고, 청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.While the embodiments of the present invention have been described, it should be considered that the embodiments disclosed herein are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is shown by the Claim, and it is intended that the meaning of a claim and equality and all the changes within a range are included.

1 : 수지 성형 장치
2 : 수입·인출 모듈
3, 3A, 3B, 3C : 성형 모듈
4 : 리드 프레임 공급 유닛
5 : 리드 프레임 정렬 유닛
6 : 수지 태블릿 공급 유닛
7 : 재료 반출 유닛
8 : 리드 프레임 수용 유닛
9 : 위치 검출 장치
10 : 프레스 유닛
11 : 하형
12 : 로더
13 : 언로더
14 : 포트
15 : 봉지전 리드 프레임
16 : 수지 태블릿
17 : 상부 고정반
18 : 상형
19 : 가동반
20 : 히터
21 : 칩
22 : 와이어
23 : 형체기구
24 : 플런저
25 : 수지 통로
26 : 캐비티
100 : 제어부
102 : 입력부
104 : 출력부
106 : 메인 메모리
108 : 광학 드라이브
108A : 기록 매체
110 : 프로세서
112 : 네트워크 인터페이스
114 : 형체력 계측 인터페이스
116 : 형체기구 인터페이스
118 : 내부 버스
120 : HDD
122 : 범용 OS
124 : 리얼타임 OS
126 : HMI 프로그램
128 : 제어 프로그램
150 : 드라이버
152 : 변형 게이지
200 : 설정치 테이블
201 : 성형틀 종류별
202 : 이물 검출치
203 : 보정치
P1 : 제1 페이즈
P2 : 제2 페이즈
1: resin molding apparatus
2: Import and withdrawal module
3, 3A, 3B, 3C: forming module
4: lead frame supply unit
5: lead frame alignment unit
6: resin tablet supply unit
7: material carrying unit
8: lead frame accommodation unit
9: position detection device
10: press unit
11: lower mold
12: loader
13: unloader
14: port
15: Lead frame before encapsulation
16: resin tablet
17: upper fixing plate
18: Pictograph
19: movable panel
20: heater
21: chip
22: wire
23: clamping mechanism
24: plunger
25: resin passage
26: cavity
100: control unit
102: input unit
104: output unit
106: main memory
108: optical drive
108A: Recording Media
110: processor
112: network interface
114: clamping force measurement interface
116: Clamping Mechanism Interface
118: internal bus
120: HDD
122: general purpose OS
124: Real-Time OS
126: HMI program
128: control program
150: driver
152: strain gauge
200: set point table
201: by molding type
202: foreign matter detection value
203: correction value
P1: First phase
P2: Second Phase

Claims (12)

대향하여 배치된 제1의 형 및 제2의 형을 포함하는 성형틀을 이용하여 성형 대상물을 수지 성형하는 수지 성형 장치로서,
상기 제1의 형과 상기 제2의 형 사이의 거리를 변화시키는 형체기구와,
상기 형체기구를 제어하는 제어부를 구비하고,
상기 제어부는,
상기 성형 대상물을 상기 성형틀에 배치한 상태에서 상기 제1의 형과 상기 제2의 형 사이의 거리를 좁히면서, 상기 형체기구에 의해 상기 성형틀에 가하여지는 압력인 형체력을 계측하는 처리와,
상기 계측되는 형체력이 미리 정하여진 제1의 설정치를 초과하는 상기 형체기구의 제1의 위치를 취득하는 처리와,
보정치에 의해 상기 제1의 위치를 보정하여 얻어지는 제2의 위치를, 이물 검출 위치로서 설정하는 처리와,
성형 동작에서, 상기 이물 검출 위치에서 계측되는 형체력에 의거하여, 상기 성형틀에서의 이물을 검출하는 처리를 실행하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
A resin molding apparatus for resin-molding a molding object by using a molding mold including a first mold and a second mold disposed to face each other,
A clamping mechanism for changing a distance between the first mold and the second mold;
A control unit for controlling the mold clamping mechanism,
The control unit,
A process of measuring a clamping force which is the pressure exerted on the mold by the mold clamping mechanism while narrowing the distance between the first mold and the second mold in a state where the molding object is placed on the mold;
A process of acquiring a first position of the clamping mechanism in which the clamping force to be measured exceeds a first predetermined value;
A process of setting the second position obtained by correcting the first position by the correction value as the foreign matter detection position,
In the molding operation, a process for detecting the foreign matter in the molding die is performed based on the clamping force measured at the foreign matter detection position.
제1항에 있어서,
상기 이물을 검출하는 처리는, 상기 제1의 형과 상기 제2의 형 사이의 거리를 상기 이물 검출 위치까지 좁히는 과정에서, 이 처리에서 계측되는 형체력이 미리 정하여진 제2의 설정치를 초과하는지의 여부에 의거하여, 이물의 유무를 판단하는 처리를 포함하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
The method of claim 1,
The processing for detecting the foreign matter is performed in the process of narrowing the distance between the first mold and the second mold to the foreign material detection position, and determines whether the clamp force measured in this process exceeds a second predetermined value. The resin molding apparatus characterized by including the process of determining the presence or absence of a foreign material based on the presence or absence.
제2항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 제1의 형과 상기 제2의 형 사이의 거리를 상기 이물 검출 위치까지 좁힌 상태에서, 상기 이물을 검출하는 처리에서 계측되는 형체력이 상기 제2의 설정치를 초과하지 않으면, 형체력이 미리 정하여진 값이 되도록, 상기 형체기구에 지령을 주는 처리를 또한 실행하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
The method of claim 2,
The said control part is a clamping force, if the clamping force measured by the process which detects the said foreign material does not exceed the said 2nd set value, in the state which narrowed the distance between the said 1st mold | type and the said 2nd mold | die to the said foreign material detection position. And a process of giving a command to the mold clamping mechanism so as to be a predetermined value.
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 제2의 설정치는, 상기 제1의 설정치와 같은 값으로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
The method according to claim 2 or 3,
The said 2nd set value is set to the same value as the said 1st set value, The resin molding apparatus characterized by the above-mentioned.
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 이물을 검출하는 처리에서 계측되는 형체력이 상기 제2의 설정치를 초과하면, 상기 제1의 형과 상기 제2의 형 사이의 거리를 넓히는 처리를 또한 실행하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
The method according to claim 2 or 3,
The control unit further executes a process of widening the distance between the first mold and the second mold when the clamping force measured in the process of detecting the foreign matter exceeds the second set value. Forming device.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 성형틀의 속성에 응하여, 상기 제1의 설정치 및 보정치를 설정하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The said control part sets the said 1st set value and the correction value according to the attribute of the said molding die.
대향하여 배치된 제1의 형 및 제2의 형을 포함하는 성형틀을 이용하여 성형 대상물을 수지 성형하는 수지 성형품의 제조 방법으로서,
상기 성형 대상물을 상기 성형틀에 배치한 상태에서 형체기구에 의해 상기 제1의 형과 상기 제2의 형 사이의 거리를 좁히면서, 상기 형체기구에 의해 상기 성형틀에 가하여지는 압력인 형체력을 계측하는 스텝과,
상기 계측되는 형체력이 미리 정하여진 제1의 설정치를 초과하는 상기 형체기구의 제1의 위치를 취득하는 스텝과,
보정치에 의해 상기 제1의 위치를 보정하여 얻어지는 제2의 위치를, 이물 검출 위치로서 설정하는 스텝과,
성형 동작에서, 상기 이물 검출 위치에서 계측되는 형체력에 의거하여, 상기 성형틀에서의 이물을 검출하는 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 성형품의 제조 방법.
As a manufacturing method of the resin molded article which resin-forms a molding object using the shaping | molding die containing the 1st mold | type and the 2nd mold | position arrange | positioned opposingly,
The clamping force, which is the pressure exerted on the mold by the clamping mechanism, is measured by narrowing the distance between the first mold and the second mold by the clamping mechanism in a state where the molding object is placed on the mold. With step to do,
Acquiring a first position of the clamping mechanism in which the clamping force to be measured exceeds a first predetermined value;
Setting a second position obtained by correcting the first position by a correction value as a foreign matter detection position;
And a step of detecting the foreign matter in the molding die on the basis of the clamping force measured at the foreign matter detection position in the molding operation.
제7항에 있어서,
상기 이물을 검출하는 스텝은, 상기 제1의 형과 상기 제2의 형 사이의 거리를 상기 이물 검출 위치까지 좁히는 과정에서, 이 처리에서 계측되는 형체력이 미리 정하여진 제2의 설정치를 초과하는지의 여부에 의거하여, 이물의 유무를 판단하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 수지 성형품의 제조 방법.
The method of claim 7, wherein
The step of detecting the foreign matter may include determining whether the clamp force measured in this process exceeds a second predetermined value in the process of narrowing the distance between the first mold and the second mold to the foreign material detection position. The manufacturing method of the resin molded article characterized by including the step of determining the presence or absence of a foreign material based on whether or not.
제8항에 있어서,
상기 제1의 형과 상기 제2의 형 사이의 거리를 상기 이물 검출 위치까지 좁힌 상태에서, 상기 이물을 검출하는 처리에서 계측되는 형체력이 상기 제2의 설정치를 초과하지 않으면, 형체력이 미리 정하여진 값이 되도록, 상기 형체기구에 지령을 주는 스텝을 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 성형품의 제조 방법.
The method of claim 8,
In a state where the distance between the first mold and the second mold is narrowed to the foreign material detection position, the clamping force is predetermined if the clamping force measured in the process of detecting the foreign material does not exceed the second set value. And a step of giving a command to said mold mechanism so that it becomes a value. The manufacturing method of the resin molded article characterized by the above-mentioned.
제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 제2의 설정치는, 상기 제1의 설정치와 같은 값으로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 수지 성형품의 제조 방법.
The method according to claim 8 or 9,
Said 2nd set value is set to the same value as said 1st set value, The manufacturing method of the resin molded article characterized by the above-mentioned.
제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 이물을 검출하는 처리에서 계측되는 형체력이 상기 제2의 설정치를 초과하면, 상기 제1의 형과 상기 제2의 형 사이의 거리를 넓히는 스텝을 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 성형품의 제조 방법.
The method according to claim 8 or 9,
If the clamping force measured by the process which detects the said foreign material exceeds the said 2nd set value, the manufacturing method of the resin molded article further provided with the step of extending the distance between the said 1st mold and the said 2nd mold. .
제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 성형틀의 속성에 응하여, 상기 제1의 설정치 및 보정치를 설정하는 스텝을 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 성형품의 제조 방법.
The method according to claim 8 or 9,
And a step of setting the first set value and the correction value in response to the properties of the molding die.
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