KR20190089137A - 차폐 기능이 향상된 엑스레이 튜브 모듈 및 그에 의한 엑스레이 검사 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 차폐 기능이 향상된 엑스레이 튜브 모듈 및 그에 의한 엑스레이 검사 방법에 관한 것이고, 구체적으로 독립된 차폐 수단을 가지면서 그에 대한 개폐 제어에 의하여 엑스레이의 누설이 효과적으로 차단될 수 있도록 하는 차폐 기능이 향상된 엑스레이 튜브 모듈 및 그에 의한 엑스레이 검사 방법에 관한 것이다. 엑스레이 튜브 모듈은 엑스레이 튜브(11); 엑스레이 튜브(11)가 수용되는 차폐 하우징(13); 및 차폐 하우징(13)의 한쪽 면에 형성되고 상기 엑스레이 튜브(11)의 엑스레이를 유도하기 위한 투과 홀(123)을 가진 셔터 유닛(12)을 포함하고, 상기 투과 홀(123)은 센서에 의하여 탐지되는 셔터(122)에 의하여 개폐가 된다.
Description
본 발명은 차폐 기능이 향상된 엑스레이 튜브 모듈 및 그에 의한 엑스레이 검사 방법에 관한 것이고, 구체적으로 독립된 차폐 수단을 가지면서 그에 대한 개폐 제어에 의하여 엑스레이의 누설이 효과적으로 차단될 수 있도록 하는 차폐 기능이 향상된 엑스레이 튜브 모듈 및 그에 의한 엑스레이 검사 방법에 관한 것이다.
산업 현장에서 제품의 불량 여부를 검사하기 위하여 사용되는 엑스레이 검사 장치에서 발생되는 엑스레이는 인체에 유해한 영향을 미칠 수 있다. 일반적으로 엑스레이 검사는 밀폐된 공간에서 이루어지거나 별도로 납 또는 강철과 같은 소재로 만들어진 차폐 수단이 배치될 수 있다. 다양한 형태의 차폐 수단이 이 분야에 공지되어 있다.
특허등록번호 제1133048호 ‘배터리 검사 장치’는 배터리 검사 장치에 관한 것으로 이송 경로가 형성된 차폐 격벽 및 차폐 외벽을 설치된 배터리 검사를 위한 엑스레이 검사 장치에 대하여 개시한다. 또한 특허공개번호 제2012-0066414호 ‘차폐 수단을 구비하고, 엑스레이 조사 위치를 변경할 수 있는 엑스레이 검사 장치’는 이송 경로에 설치되는 제1 차폐 판 및 제2 차폐 판을 가지는 엑스레이 검사 장치에 대하여 개시한다.
개시된 선행기술은 검사 과정에서 엑스레이의 누설을 차단하는 수단에 대하여 개시한다. 그러나 상기 선행기술은 엑스레이 튜브 자체를 차폐시키는 것이 아니라 검사가 이루어지는 검사실을 외부로부터 차폐시키는 것에 대하여 개시한다. 일반적으로 엑스레이 튜브의 온/오프를 위하여 일정한 시간이 소요되고 검사가 개시될 때마다 엑스레이 튜브를 별도로 작동시키는 경우 검사 효율이 감소될 수 있고 엑스레이 튜브의 수명이 감소될 수 있다. 다른 한편으로 지속적으로 엑스레이 튜브가 켜진 상태로 유지된다면 도어의 개폐 과정에서 엑스레이의 누설이 방지되기 어렵다. 그러므로 검사 효율 향상, 엑스레이 튜브의 효율적인 작동 또는 엑스레이 차폐가 모두 가능하도록 하는 검사 장치가 요구된다. 상기 선행기술은 이와 같은 방법 또는 장치에 대하여 개시하지 않는다.
본 발명은 선행기술이 가진 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
본 발명의 목적은 독립된 차폐 수단을 가지면서 차폐 수단의 개폐를 제어하는 것에 의하여 차폐 기능이 향상될 수 있도록 하는 엑스레이 튜브 모듈 및 그에 의한 엑스레이 검사 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 엑스레이 튜브 모듈은 엑스레이 튜브; 엑스레이 튜브를 둘러싼 차폐 하우징; 및 차폐 하우징의 한쪽 면에 형성되고 상기 엑스레이 튜브의 엑스레이를 유도하기 위한 투과 홀을 가진 셔터 유닛을 포함하고, 상기 투과 홀은 센서에 의하여 탐지되는 셔터에 의하여 개폐가 된다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 셔터는 슬라이드 부재를 따라 이동되고, 상기 센서는 상기 슬라이드 부재의 경로에 설치된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 엑스레이 검사 장치는 검사 대상의 투입을 위한 도어가 형성된 검사 룸; 차폐 하우징의 내부에 설치되는 엑스레이 튜브; 상기 차폐 하우징의 한쪽 면에 형성된 개폐 가능한 투과 홀; 상기 투과 홀로부터 방출되는 엑스레이의 탐지를 위한 디텍터; 및 상기 투과 홀의 개폐가 탐지하기 위한 센서를 포함하고, 상기 도어는 상기 센서에 의하여 탐지된 신호에 따라 개폐된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 엑스레이 검사 방법은 개폐 가능한 투과 홀을 가진 차폐된 공간에 엑스레이 튜브를 배치하는 단계; 검사 대상을 투입하는 단계; 검사 대상의 투입을 위한 도어의 개폐 여부를 제어하는 단계; 상기 투과 홀을 개폐를 제어하는 단계; 및 상기 검사 대상을 검사하는 단계를 포함하고, 상기 투과 홀의 개폐는 상기 도어의 개폐에 따라 결정된다.
본 발명에 따른 엑스레이 튜브 모듈은 독립된 차폐 수단을 형성하는 것에 의하여 차폐 성능이 향상되도록 한다는 이점을 가진다. 엑스레이 튜브의 온/오프로 인한 장치 자체의 수명 감소가 방지되도록 한다는 장점을 가진다. 또한 차폐 수단의 개폐제어를 통하여 엑스레이의 조사가 검사 과정에서만 이루어지도록 하는 것에 의하여 엑스레이 차폐가 효율적으로 이루어지도록 하면서 이와 동시에 검사 효율이 향상될 수 있도록 한다는 장점을 가진다.
도 1a는 본 발명에 따른 엑스레이 튜브 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 1b는 본 발명에 따른 엑스레이 튜브 모듈에 적용되는 셔터 유닛의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 엑스레이 튜브 모듈이 적용된 엑스레이 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4a 내지 도 4d는 도 3의 검사 방법에서 검사 장치의 작동 상태의 실시 예를 도시한 것이다.
도 1b는 본 발명에 따른 엑스레이 튜브 모듈에 적용되는 셔터 유닛의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 엑스레이 튜브 모듈이 적용된 엑스레이 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4a 내지 도 4d는 도 3의 검사 방법에서 검사 장치의 작동 상태의 실시 예를 도시한 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1a는 본 발명에 따른 엑스레이 튜브 모듈(10)의 실시 예를 도시한 것이고, 그리고 도 1b는 본 발명에 따른 엑스레이 튜브 모듈에 적용되는 셔터 유닛의 실시 예를 도시한 것이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 엑스레이 튜브 모듈(10)은 엑스레이 튜브(11); 엑스레이 튜브(11)가 수용되는 차폐 하우징(13); 및 차폐 하우징(13)의 한쪽 면에 형성되고 상기 엑스레이 튜브(11)의 엑스레이를 유도하기 위한 투과 홀(123)을 가진 셔터 유닛(12)을 포함하고, 상기 투과 홀(123)은 센서에 의하여 탐지되는 셔터(122)에 의하여 개폐가 된다.
본 발명에 따른 엑스레이 튜브 모듈(10)은 임의의 검사를 위하여 적용될 수 있고 예를 들어 전자제품, 인쇄회로기판, 식품, 배터리 또는 용기와 같은 것의 검사에 적용될 수 있다.
엑스레이 튜브(11)는 검사에 적합한 이 분야에 공지된 임의의 형상이 될 수 있고 차폐 하우징(13)의 내부에 적절한 고정 부재에 의하여 고정될 수 있다. 차폐 하우징(13)은 디텍터와 마주보는 전면 벽(131a), 후면 벽(131b), 측면 벽, 바닥 면 및 천정으로 이루어질 수 있고 예를 들어 박스 형상이 될 수 있지만 이에 제한되지 않고 엑스레이 튜브(11)가 수용될 수 있는 공간이 형성된 적절한 형상이 될 수 있다. 차폐 하우징(13)은 납과 같은 엑스레이 차폐가 가능한 임의의 소재로 만들어질 수 있고 개폐 가능한 커버를 가질 수 있다. 차폐 하우징(13)의 내부 또는 외부에 세로 부재(132a)와 세로 부재(132b)가 배치될 수 있고 엑스레이 튜브(11)는 고정 프레임(133)에 브래킷(111)과 같은 고정 수단의 의하여 고정될 있다. 차폐 하우징(13)은 다양한 구조로 프레임이 형성될 수 있고 고정 프레임(133) 또는 브래킷(111)은 이 분야에 공지된 임의의 형상을 가질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
차폐 하우징(13)의 전면(131a)에 셔터 유닛(12)이 설치될 수 있다. 차폐 하우징(13)의 전면(131a)은 디텍터와 마주보는 면을 의미하고 엑스레이 튜브(11)로부터 방출된 엑스레이가 투과되는 방향에 설치된 면을 의미한다.
셔터 유닛(12)은 전면(131a)에 배치되고 투과 홀(123)이 형성된 베이스(121), 베이스(121)에 설치된 슬라이드 부재(125)를 따라 이동 가능하도록 설치되는 셔터(122) 및 셔터(122)의 이동을 감지하는 적어도 하나의 센서(124a, 124b, 124c)를 포함할 수 있다.
베이스(121)는 플레이트 구조를 가질 수 있고 필요에 따라 커버가 결합될 수 있는 테두리를 가질 수 있다. 투과 홀(123)은 엑스레이 튜브(11)에서 방출되는 빔에 따라 적절한 직경을 가지도록 형성될 수 있다. 셔터(122)는 투과 홀(123)을 개폐할 수 있는 적절한 구조를 가질 수 있고 그리고 슬라이드 부재(125)는 셔터(122)의 이동에 의하여 투과 홀(123)이 개폐될 수 있도록 배치될 수 있다. 예를 들어 도 1a에 도시된 것처럼, 슬라이드 부재(125)는 베이스(121)의 길이 방향으로 연장되는 원형의 단면을 가지는 병렬로 배열된 적어도 하나의 막대 형상이 될 수 있고 그리고 셔터(122)는 막대를 따라 이동 가능한 사각 판형이 될 수 있다. 다만 슬라이드 부재(125) 또는 셔터(122)는 임의의 적절한 배치 구조 또는 형상을 가질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
센서(124a, 124b, 124c)는 셔터(122)의 위치를 탐지하여 투과 홀(123)의 개방 여부를 확인하기 위한 것으로 슬라이드 부재(125)의 한쪽 끝에 설치된 제1 센서(124a), 슬라이드 부재(125)의 중간 부분에 설치된 제2 센서(124b) 및 닫힘 센서(124c)로 이루어질 수 있다. 다만 실질적으로 셔터(122)의 닫힘 및 열림을 탐지할 필요가 있으므로 제2 센서(124b)가 반드시 설치되어야 하는 것은 아니다. 추가로 하나의 센서로 닫힘 및 열림이 모두 탐지될 수 있다면 하나의 센서만이 설치될 수 있다. 제시된 실시 예에서 제2 센서(124b)는 닫힘 상태의 확인을 위한 것으로 제3 센서(124c)의 보조적인 기능을 할 수 있다.
제1 센서(124a)에서 셔터(122)가 탐지된 경우 투과 홀(123)이 완전히 개방된 상태에 있고 닫힘 센서(124c)에서 셔터(122)가 탐지되었다면 투과 홀(123)은 닫힌 상태로 된다. 추가적으로 닫힘 상태에 있는 경우 제2 센서(124b)에 의하여 닫힘 상태가 확인될 수 있다.
일반적으로 엑스레이 튜브(11)는 밀폐된 검사 룸 내부에 위치하고 외부에서 투과 홀(123)의 개폐 여부가 인지되기 어렵다. 그러므로 투과 홀(123)의 개폐 여부는 센서(124a, 124b, 124c)에 의하여 탐지되는 것이 유리하다. 센서(124a, 124b, 124c)의 종류 또는 수는 특별히 제한되지 않으며 셔터(122)의 위치 및 그에 따른 투과 홀(122)의 개방 여부를 탐지할 수 있는 적절한 개수로 센서(124a, 124b, 124c)는 임의의 위치에 배치될 수 있다.
도 1b를 참조하면, 셔터 유닛(12)의 가장자리 또는 테두리의 적어도 일부는 돌출 테두리(121a)로 형성될 수 있다. 돌출 테두리(121a)는 셔터 유닛(12)에 커버가 결합되도록 하기 위한 것으로 커버는 셔터 유닛(12)의 보호를 위한 케이스의 일부를 형성할 수 있다.
다른 한편으로 셔터 유닛(12)의 작동에 필요한 전력을 공급하기 위한 배터리와 같은 전력 공급원(127)이 설치될 수 있지만 반드시 요구되는 것은 아니면 적절한 방법으로 셔터 유닛(12)에 전력이 공급될 수 있다.
베이스(121)는 이중벽으로 형성될 수 있다. 구체적으로 차폐 하우징(13)의 전면 벽(131a)이 베이스(121)로 사용될 수 있지만 바람직하게 도 1b의 A로 표시된 부분에 도시된 것처럼, 전면(131a)과 별도로 형성된 베이스(121)가 전면(131a)에 부착될 수 있다. 이와 같은 구조로 인하여 전면(131a)은 납과 같은 엑스레이의 차폐가 가능한 소재로 형성되지만 베이스(121)는 강철 또는 수지와 같은 임의의 소재로 형성될 수 있다. 다만 셔터(122)는 엑스레이의 차폐가 가능한 소재 또는 내부 면이 엑스레이의 차폐가 가능한 소재로 코팅된 소재로 형성될 수 있다.
셔터 유닛(12)은 다양한 구조로 차폐 하우징(13)의 전면(131a)에 배치될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
아래에서 본 발명에 따른 엑스레이 튜브 모듈(10)이 적용된 엑스레이 검사 장치에 대하여 설명된다.
도 2는 본 발명에 따른 엑스레이 튜브 모듈(10)이 적용된 엑스레이 검사 장치(20)의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 엑스레이 튜브 모듈(10)은 엑스레이 검사 장치(20)의 검사 룸(R) 내부에 설치될 수 있다. 엑스레이 검사 장치(20)는 검사 대상의 이송을 위한 컨베이어와 같은 이송 모듈, 상기 검사 대상을 정해진 영역으로 이동시키는 검사 스테이지 또는 제어 유닛과 같은 다양한 장치를 포함할 수 있다. 본 명세서에서 이와 같은 엑스레이 검사 장치(20)에 적용될 수 있는 공지의 장치에 대하여 설명되지 않는다. 이는 본 발명에 대한 명확한 이해 및 설명의 간결성을 위한 것으로 이와 같은 장치가 본 발명의 범위에서 제외되는 것으로 해석되지 않아야 한다.
엑스레이 튜브 모듈(10)은 적절한 차폐 수단 또는 밀폐 구조를 가지는 검사 룸(R)의 내부에 설치될 수 있고 그리고 차폐 하우징(13)의 내부에 엑스레이 튜브(11)가 고정될 수 있다. 그리고 엑스레이 튜브(11)로부터 방출되어 검사 대상을 투과한 엑스레이를 탐지할 수 있는 디텍터(21)가 적절한 위치에 배치될 수 있다. 엑스레이 튜브 모듈(10)의 배치 위치 또는 디텍터(21)의 설치 위치는 엑스레이 검사 장치(20)의 설계에 따라 적절하게 배치될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
검사를 위하여 엑스레이 튜브(11)로부터 방출되는 엑스레이는 투과 홀(123)을 통하여 제품을 투과하여 디텍터(21)에 탐지될 수 있다. 검사 과정에 따라 투과 홀(123)의 개폐 여부가 셔터 (122)에 의하여 제어될 수 있다. 예를 들어 검사 대상의 이송 과정에서 셔터(122)에 의하여 투과 홀(123)이 닫힌 상태로 유지될 수 있고 그리고 검사가 진행되기 직전에 셔터(122)에 의하여 투과 홀(123)이 개방될 수 있다. 다른 한편으로 베이스(121)에 형성된 돌출 테두리(121a)에 커버가 결합되어 셔터 유닛을 보호할 수 있다. 그리고 커버는 투과 홀(123)에 대응되는 엑스레이 투과를 위한 홀을 가질 수 있다.
엑스레이 튜브 모듈(10)에서 투과 홀(123)의 개방 여부는 검사 진행 과정에 따라 결정될 수 있다. 그리고 엑스레이 튜브(11)가 차폐 하우징(13) 내에 위치되는 경우 투과 홀(123)의 개방 여부가 예를 들어 중앙 처리 유닛을 가지는 제어 유닛에 의하여 자동으로 제어될 필요가 있다.
아래에서 검사 과정에서 투과 홀(123)의 개방이 제어되는 과정에 대하여 설명된다.
도 3은 본 발명에 따른 엑스레이 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이고 그리고 도 4a 내지 도 4d는 도 3의 검사 방법에서 검사 장치의 작동 상태의 실시 예를 도시한 것이다.
아래의 설명에서 투과 홀의 개방 여부가 셔터 또는 셔터 유닛의 작동에 의하여 설명되고 그리고 검사 대상의 투입은 도어(D)의 개방 여부에 의하여 설명된다. 엑스레이 검사 장치(20)는 다양한 이송 수단 또는 검사 스테이지를 가질 수 있고 부가적인 차폐 수단을 가질 수 있다. 이와 같은 공지된 장치에 대하여 본 발명의 명확한 이해 및 간결한 설명을 위하여 구체적으로 설명되지 않는다.
도 3을 참조하면, 엑스레이 검사를 위하여 검사 대상이 로딩이 되어야 한다(P31). 검사 대상의 로딩은 적절한 이송 수단을 통하여 검사 장치(20)의 내부로 이송될 수 있는 상태로 되는 것을 의미한다. 검사 대상의 로딩은 도 4a에 도시된 작동 유닛(41)에 설치된 개시 버튼(412)에 의하여 이루어질 수 있다. 작동 유닛(41)은 개시 버튼(412), 중단 버튼(413) 및 비상 정지 스위치(411)를 포함할 수 있고 수동 또는 자동으로 작동될 수 있다. 개시 버튼(412), 중단 버튼(413) 또는 비상 정지 스위치(411)는 예시적인 것으로 본 발명에 따른 검사 장치(20)는 도어 개폐, 작동 개시 또는 작동 중단이 프로그램 형태로 자동으로 진행될 수 있다. 그리고 각각의 작동을 위한 센서가 부착되고 그리고 센서에 의한 탐지 신호에 의하여 작동이 제어될 수 있다. 본 발명에 따른 검사 장치는 자동, 반자동 또는 수동으로 제어될 수 있고 본 발명은 작동 구조에 의하여 제한되지 않는다. 검사 대상이 로딩이 되면(P31), 엑스레이 튜브 모듈(10)에 설치된 센서에 의하여 셔터(122)의 위치가 탐지되고 이에 따라 셔터 탐지가 진행될 수 있다(P32). 셔터 유닛(12)에 설치된 센서로부터 전달된 신호를 판단하게 되고(P321) 만약 투과 홀이 닫힌 상태가 아니라면(NO) 제어 유닛(45)에 의하여 셔터(122)가 작동하게 되고 이에 따라 투과 홀이 닫히게 된다(P322). 이에 비하여 닫힌 상태라면(YES) 도어(D)의 개방 여부가 탐지될 수 있다(P33). 개시 버튼(412)에 의하여 도어(D)가 개방될 수 있고 도어(D)에 적절한 탐지 센서가 설치되어 개폐 여부에 대한 정보가 제어 유닛(45)으로 전송될 수 있다. 도어(D)에 대한 탐지 결과(P331) 도어(D)가 닫힌 상태라며(NO) 제어 유닛(45)에 의하여 도어(D)가 개방될 수 있다(P332). 이에 비하여 도어가 열린 상태라면(YES) 검사 대상이 검사 장치(20)의 내부로 투입될 수 있다(P34). 이와 같이 도어(D)가 개방되고 그리고 검사 대상이 검사 장치(20)의 내부로 투입될 수 있는 상태가 도 4b에 도시되어 있다.
검사 대상이 검사 장치(20) 내부로 투입되면(P34) 도어(D)가 닫힐 필요가 있다(P35). 도어(D)이 닫힘 여부가 다시 제어 유닛(45)에 의하여 판단될 수 있다. 그리고 도어(D)가 닫힌 상태에서 검사 대상이 검사 영역으로 이송될 수 있다(P36). 이후 필요에 따라 도어 닫힘 여부가 제어 유닛(45)에 의하여 확인되고(P361) 만약 도어(D)가 닫힌 상태라면(YES) 셔터(122)가 이동하게 되고 이에 따라 투과 홀이 개방된다(P37). 그리고 엑스레이 튜브(11)에서 엑스레이가 방출되어 검사 대상을 투과하게 되고 그리고 투과된 엑스레이는 디텍터에 의하여 탐지될 수 있다(P38). 이와 같은 상태가 도 4c에 도시되어 있다. 탐지된 엑스레이는 제어 유닛(45)으로 전송되어 이미지로 만들어지고 그에 따라 불량 여부가 판단될 수 있다(P39). 그리고 투입된 검사 대상에 대한 검사가 완료되면 셔터(122)가 다시 이동되어 투과 홀이 닫히게 된다. 그리고 투과 홀의 개폐 여부가 탐지될 수 있다(P391). 만약 셔터(122)가 닫힌 상태라면(NO) 새로운 검사 대상의 투입을 위하여 도어의 개폐 여부가 탐지될 수 있다(P33). 이에 비하여 셔터(122)가 열린 상태라면(YES) 제어 유닛(45)에 의하여 셔터(122)가 닫히게 되고(P392) 그리고 새로운 검사 대상의 검사를 위하여 도어의 개폐 여부가 탐지될 수 있다(P33).
제시된 투입과 동시에 이루어지거나 또는 별도로 이루어질 수 있고 배출 과정에서 투실시 예에서 검사가 완료된 검사 대상의 배출 과정에 대하여 설명되지 않았다. 배출은과 홀은 닫힌 상태로 유지되는 것이 유리하다. 다양한 방법으로 검사 대상이 배출될 수 있고 본 발명은 검사 대상의 배출 방법 또는 구조에 의하여 제한되지 않는다.
도 4d에 도시된 것처럼, 셔터 유닛(12)은 커버(C)에 의하여 외부로부터 보호될 수 있고 위에서 설명된 것처럼 커버(C)에 엑스레이의 투과를 위한 홀이 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 엑스레이 튜브 모듈(10)은 엑스레이 검사 장치(20)의 구조에 따라 다양한 방법으로 작동될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 엑스레이 튜브 모듈은 독립된 차폐 수단을 형성하는 것에 의하여 차폐 성능이 향상되도록 한다는 이점을 가진다. 엑스레이 튜브의 온/오프로 인한 장치 자체의 수명 감소가 방지되도록 한다는 장점을 가진다. 또한 차폐 수단의 개폐제어를 통하여 엑스레이의 조사가 검사 과정에서만 이루어지도록 하는 것에 의하여 엑스레이 차폐가 효율적으로 이루어지도록 하면서 이와 동시에 검사 효율이 향상될 수 있도록 한다는 장점을 가진다.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
10: 엑스레이 튜브 모듈 11: 엑스레이 튜브
12: 셔터 유닛 13: 차폐 하우징
20: 검사 장치 41: 작동 유닛
45: 제어 유닛
111: 브래킷 121: 베이스
122: 셔터 123: 투과 홀
124a, 124b, 124c: 센서 125: 슬라이드 부재
412: 개시 버튼 413: 중단 버튼
12: 셔터 유닛 13: 차폐 하우징
20: 검사 장치 41: 작동 유닛
45: 제어 유닛
111: 브래킷 121: 베이스
122: 셔터 123: 투과 홀
124a, 124b, 124c: 센서 125: 슬라이드 부재
412: 개시 버튼 413: 중단 버튼
Claims (1)
- 엑스레이 튜브(11);
엑스레이 튜브(11)가 수용되는 차폐 하우징(13);
검사룸(R) 내부에 설치된 디텍터와 마주보는 차폐 하우징(13)의 전면(131a)에 배치되고 엑스레이 튜브(11)의 엑스레이를 유도하기 위한 투과 홀(123)이 형성된 베이스 기판(121); 및
투과 홀(123)을 개폐시키는 셔터(122)의 이동을 위하여 베이스(121)의 길이 방향으로 연장되는 원형의 단면을 가지는 병렬로 배열된 적어도 하나의 막대 형상의 슬라이드 부재(125);를 포함하고,
상기 셔터(122)는 상기 슬라이드 부재(125)를 따라 이동 가능한 사각 판형으로 되고 상기 셔터(122)의 개폐는 상기 슬라이드 부재(125)의 한쪽 끝에 설치되어 상기 투과 홀(123)이 완전히 개방된 상태를 탐지하는 제1 센서(124a) 및 상기 투과 홀(123)이 닫힌 상태를 탐지하는 닫힘 센서(124c)에 의하여 탐지되고,
상기 베이스(121)에 형성된 돌출 테두리(121a)에 결합되고 상기 투과 홀(123)에 대응되는 엑스레이 투과를 위한 홀을 가지는 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사 장치용 엑스레이 튜브 모듈.
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Cited By (2)
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CN110672646A (zh) * | 2019-10-22 | 2020-01-10 | 苏州工业园区道青科技有限公司 | 一种轮毂检测装置 |
CN110687137A (zh) * | 2019-10-22 | 2020-01-14 | 苏州工业园区道青科技有限公司 | 一种轮毂检测机构 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101133048B1 (ko) | 2011-04-08 | 2012-04-04 | 주식회사 이노메트리 | 배터리 검사장치 |
KR20120066414A (ko) | 2010-12-14 | 2012-06-22 | (주)자비스 | 차폐수단을 구비하고, 엑스레이 조사위치를 변경할 수 있는 엑스레이 검사장치 |
-
2019
- 2019-07-22 KR KR1020190088143A patent/KR20190089137A/ko not_active Withdrawn
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KR20120066414A (ko) | 2010-12-14 | 2012-06-22 | (주)자비스 | 차폐수단을 구비하고, 엑스레이 조사위치를 변경할 수 있는 엑스레이 검사장치 |
KR101133048B1 (ko) | 2011-04-08 | 2012-04-04 | 주식회사 이노메트리 | 배터리 검사장치 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110672646A (zh) * | 2019-10-22 | 2020-01-10 | 苏州工业园区道青科技有限公司 | 一种轮毂检测装置 |
CN110687137A (zh) * | 2019-10-22 | 2020-01-14 | 苏州工业园区道青科技有限公司 | 一种轮毂检测机构 |
CN110687137B (zh) * | 2019-10-22 | 2022-02-11 | 苏州工业园区道青科技有限公司 | 一种轮毂检测机构 |
CN110672646B (zh) * | 2019-10-22 | 2022-02-11 | 苏州工业园区道青科技有限公司 | 一种轮毂检测装置 |
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A107 | Divisional application of patent | ||
PA0107 | Divisional application |
Comment text: Divisional Application of Patent Patent event date: 20190722 Patent event code: PA01071R01D Filing date: 20160425 Application number text: 1020160050162 |
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PG1501 | Laying open of application | ||
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Patent event date: 20191217 Comment text: Notification of Change of Applicant Patent event code: PN23011R01D |
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