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KR20190023297A - Insulating film and circuit board having the same - Google Patents

Insulating film and circuit board having the same Download PDF

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KR20190023297A
KR20190023297A KR1020170108793A KR20170108793A KR20190023297A KR 20190023297 A KR20190023297 A KR 20190023297A KR 1020170108793 A KR1020170108793 A KR 1020170108793A KR 20170108793 A KR20170108793 A KR 20170108793A KR 20190023297 A KR20190023297 A KR 20190023297A
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KR
South Korea
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resin
inorganic filler
layer
insulating film
resin layer
Prior art date
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Withdrawn
Application number
KR1020170108793A
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Korean (ko)
Inventor
이춘희
정기호
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Abstract

본 개시는 고분자 재료를 포함하는 수지층, 및 수지층과 혼합되며, 음의 값을 갖는 열팽창계수를 갖는 무기물 필러를 포함하는 절연 필름에 관한 것이다. 또한, 본 개시는 고분자 재료를 포함하는 수지층 및 음의 값을 갖는 열팽창계수를 갖는 무기물을 포함하는 무기물 필러를 포함하는 절연 필름, 및 절연 필름과 접하는 회로층을 포함하는 회로 기판에 관한 것이다.This disclosure relates to a resin layer comprising a polymeric material and an insulating film comprising an inorganic filler mixed with the resin layer and having a negative thermal expansion coefficient. The present disclosure also relates to an insulating film comprising a resin layer containing a polymer material and an inorganic filler containing an inorganic material having a negative thermal expansion coefficient, and a circuit board including a circuit layer in contact with the insulating film.

Description

절연 필름 및 이를 구비한 회로 기판{INSULATING FILM AND CIRCUIT BOARD HAVING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an insulating film,

본 개시는 절연 필름 및 이를 구비한 회로 기판에 관한 것이다.The present disclosure relates to an insulating film and a circuit board having the insulating film.

최근 회로 기판 기술에서는 미세화, 박막화 및 다기능화가 요구되고 있다. 미세화는 반도체의 미세화 트랜드에 맞춰 미세 선폭을 구현하고, 패드 간격을 최소화하며, 얼라인의 정확성을 높이는 것을 의미하고, 박막화는 전자 기기의 박형화의 트랜드에 맞춰 얇은 두께의 회로 기판을 제조하는 것을 의미하며, 다기능화는 회로 기판 내부에 능동소자나 수동소자 등이 내장 되어 있어 여러 역할을 수행하도록 하는 것을 의미한다.In the recent circuit substrate technology, miniaturization, thinning, and multifunctionality are required. The miniaturization means to realize a fine line width in accordance with the trend of miniaturization of the semiconductor, to minimize the pad interval and to improve the accuracy of the alignment, and the thinning means to manufacture a thin circuit board in accordance with the trend of thinning of electronic equipment And multifunctionality means that active elements or passive elements are embedded in the circuit board to perform various roles.

위와 같은 요구사항들을 충족시키기 위해, 회로 기판은 다양한 종류의 빌드업(build-up) 절연 필름들을 차례로 적층 및 압착하여 제조되고 있다. 빌드업 절연 필름은 매우 얇은 박판 형태로 제공되며, 제조 공정 중에, 회로 기판에 휨(warpage)과 같은 변형이 발생하는 것을 최소화하기 위한 다양한 기술들에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다.To meet these requirements, circuit boards are fabricated by stacking and pressing various types of build-up insulation films one after the other. Build-up insulation films are provided in the form of very thin foils, and a variety of techniques are being actively studied to minimize the occurrence of warpage-induced strains in the circuit board during the manufacturing process.

본 개시의 여러 목적 중 하나는 회로 기판의 휨을 감소시킬 수 있는 절연 필름 및 이에 의하여 휨이 감소된 회로 기판을 제공하는 것이다.One of the objects of the present disclosure is to provide an insulating film capable of reducing the warpage of a circuit board and thereby a circuit board with reduced warpage.

본 개시를 통하여 제안하는 여러 해결 수단 중 하나는 음의 값을 갖는 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어진 무기물 필러로 절연 필름을 구성하는 것이다.One of the solutions proposed through this disclosure is to construct an insulating film with an inorganic filler made of a material having a negative thermal expansion coefficient.

예를 들면, 본 개시를 통하여 제안하는 일 실시예에 따른 절연 필름은, 고분자 재료를 포함하는 수지층, 및 상기 수지층과 혼합되며, 음의 값을 갖는 열팽창계수를 갖는 무기물 필러를 포함할 수 있다.For example, the insulating film according to one embodiment proposed through the present disclosure may include a resin layer including a polymer material, and an inorganic filler mixed with the resin layer and having a negative thermal expansion coefficient have.

또한, 본 개시를 통하여 제안하는 휨이 감소된 일 실시예에 따른 회로 기판은 고분자 재료를 포함하는 수지층 및 음의 값을 갖는 열팽창계수를 갖는 무기물을 포함하는 무기물 필러를 포함하는 절연 필름, 및 상기 절연 필름과 접하는 회로층을 포함할 수 있다.In addition, the circuit board according to an embodiment in which the warping is reduced through the present disclosure is an insulating film comprising a resin layer including a polymer material and an inorganic filler including an inorganic material having a negative thermal expansion coefficient, and And a circuit layer in contact with the insulating film.

본 개시의 여러 효과 중 일 효과로서 회로 기판의 휨을 감소시킬 수 있는 절연 필름 및 이에 의하여 휨이 감소된 회로 기판을 제공할 수 있다.It is possible to provide an insulating film capable of reducing the warpage of the circuit board as one of the effects of the present disclosure and a circuit board with reduced warpage thereby.

본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시예를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.The various and advantageous advantages and effects of the present invention are not limited to the above description, and can be more easily understood in the course of describing a specific embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 절연 필름을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 절연 필름의 일 부분을 나타내는 확대도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회로 기판을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 회로 기판의 제조 방법을 개략적으로 나타내는 주요 단계의 단면도들이다.
1 is a cross-sectional view schematically showing an insulating film according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged view showing a part of an insulating film according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view schematically showing a circuit board according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 4 to 6 are cross-sectional views of main steps schematically showing a method of manufacturing a circuit board according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 개시에 대해 설명한다. 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장되거나 축소될 수 있다.Hereinafter, the present disclosure will be described with reference to the accompanying drawings. The shape and size of elements in the drawings may be exaggerated or reduced for clarity.

절연 필름Insulating film

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 절연 필름을 개략적으로 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing an insulating film according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 절연 필름(100)은 캐리어 필름(110), 절연층(120) 및 커버 필름(130)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, an insulating film 100 according to an embodiment of the present invention may include a carrier film 110, an insulating layer 120, and a cover film 130.

절연 필름(100)은 소정의 회로 기판을 제조하기 위한 빌드업 절연층으로 이용될 수 있다. 예를 들어, 절연 필름(100)은 연성 인쇄회로기판(flebible PCB), 경성 인쇄회로기판(rigid PCB), 경-연성 인쇄회로기판(RF PCB) 및 빌드업 인쇄회로기판을 포함하는 다양한 종류의 패키지 기판을 구성하는 층간 절연층의 제조를 위한 것일 수 있다.The insulating film 100 may be used as a build-up insulating layer for manufacturing a predetermined circuit board. For example, the insulating film 100 may be formed from a variety of different materials, including flexible printed circuit boards (flebible PCBs), rigid printed circuit boards (rigid PCBs), lightly flexible printed circuit boards And may be for the production of an interlayer insulating layer constituting a package substrate.

캐리어 필름(110)은 절연층(120)의 이동을 위한 층으로, 절연 필름(100)을 회로 기판 상에 라미네이팅한 후 최종적으로 제거되는 층일 수 있다. 캐리어 필름(110)은 예를 들어, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 또는 폴리이미드(PI) 등을 포함할 수 있다.The carrier film 110 is a layer for moving the insulating layer 120 and may be a layer that is finally removed after laminating the insulating film 100 on the circuit board. The carrier film 110 may include, for example, polyethylene terephthalate (PET) or polyimide (PI).

절연층(120)은 고분자 재료를 포함하는 수지층 및 상기 수지층과 혼합되는 무기물 필러를 포함할 수 있다. 상기 무기물 필러는 음의 값을 갖는 열팽창계수(coefficient of expansion, CTE)를 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 이에 의해 절연층(120)의 총 열팽창계수는 32 ppm/K보다 작을 수 있으며, 예를 들어, 24 ppm/K 내지 31 ppm/K의 범위를 가질 수 있다. 이에 의해 회로 기판을 제조하는 공정에서, 상기 회로 기판에서 휨(warpage)의 발생을 최소화할 수 있다. 이에 대해서는 하기에 도 2를 참조하여 더욱 상세히 설명한다.The insulating layer 120 may include a resin layer including a polymer material and an inorganic filler mixed with the resin layer. The inorganic filler may be made of a material having a negative coefficient of expansion (CTE). Whereby the total coefficient of thermal expansion of the insulating layer 120 may be less than 32 ppm / K and may have a range of, for example, 24 ppm / K to 31 ppm / K. Thus, in the step of manufacturing the circuit board, occurrence of warpage in the circuit board can be minimized. This will be described in more detail below with reference to FIG.

절연층(120)의 두께는 10 ㎛ 내지 40 ㎛의 범위를 가질 수 있으며, 회로 기판의 층간 절연층으로서의 기능을 확보하기 위한 두께를 가질 수 있다. 절연층(120)의 두께가 10 ㎛ 미만이면, 절연층(120)이 층간 절연층으로서 신호 손실을 최소화할 수 있는 기능을 구현하기 어려울 수 있으며, 절연층(120)의 두께가 40 ㎛를 초과하는 경우, 회로 기판의 박형화를 구현하기 어려울 수 있다.The thickness of the insulating layer 120 may range from 10 占 퐉 to 40 占 퐉 and may have a thickness for securing the function as an interlayer insulating layer of the circuit board. If the thickness of the insulating layer 120 is less than 10 m, it may be difficult to realize a function of minimizing signal loss as an interlayer insulating layer, and if the thickness of the insulating layer 120 exceeds 40 m , It may be difficult to realize the thinning of the circuit board.

커버 필름(130)은 절연층(120)의 보호를 위한 층으로, 절연 필름(100)을 회로 기판 상에 라미네이팅 하는 공정을 위해 제거될 수 있다. 커버 필름(130)은 예를 들어, 폴리프로필렌(PP) 또는 폴리에틸렌(PE) 등을 포함할 수 있다.The cover film 130 is a layer for protecting the insulating layer 120 and may be removed for laminating the insulating film 100 on the circuit board. The cover film 130 may comprise, for example, polypropylene (PP) or polyethylene (PE) or the like.

예시적인 실시예에서, 절연 필름(100)은 캐리어 필름(110)과 절연층(120)의 사이 또는 커버 필름(130)과 절연층(120)의 사이에 회로 기판 또는 회로 패턴과의 밀착력을 강화시키기 위한 접착층을 더 포함할 수도 있다. 상기 접착층은, 예를 들어, 에폭시 수지, 경화제, 경화촉진제, 열가소성 수지 및 무기물 필러를 포함하는 수지 조성물로 이루어질 수 있다.In the exemplary embodiment, the insulating film 100 is formed between the carrier film 110 and the insulating layer 120, or between the cover film 130 and the insulating layer 120, The adhesive layer may further comprise an adhesive layer. The adhesive layer may be composed of, for example, a resin composition containing an epoxy resin, a curing agent, a curing accelerator, a thermoplastic resin and an inorganic filler.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 절연 필름의 일 부분을 나타내는 확대도이다. 도 2에서는 도 1의 절연층(120)의 일 영역("A" 영역)의 확대도를 도시한다.2 is an enlarged view showing a part of an insulating film according to an embodiment of the present invention. Fig. 2 shows an enlarged view of one region ("A" region) of the insulating layer 120 in Fig.

도 2를 참조하면, 절연층(120)은 고분자 재료를 포함하는 수지층(122) 및 수지층(122)과 혼합된 무기물 필러(124)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2, the insulating layer 120 may include a resin layer 122 including a polymer material and an inorganic filler 124 mixed with the resin layer 122.

수지층(122)은 수지(resin) 및 그 밖의 다양한 첨가제들로 이루어질 수 있다. 예를 들어 수지층(122)은 에폭시(epoxy) 수지, 폴리이미드(polyimide) 수지, 부티랄(butyral) 수지, 폴리아미드이미드(polyamide imide, PAI) 수지, 폴리아미드(polyamide) 수지, 액정폴리머(liquid crystal polymer, LCP) 수지, 시클로올레핀(cycloolefin, COP) 수지 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 에폭시 수지는, 나프탈렌계 에폭시 수지, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 노볼락계 에폭시 수지, 크레졸 노볼락계 에폭시 수지, 고무 변성형 에폭시 수지, 고리형 알리파틱계 에폭시 수지, 실리콘계 에폭시 수지, 질소계 에폭시 수지 및 인계 에폭시 수지 중 적어도 하나일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 상기 첨가제들은 경화제, 경화촉진제 및 난연 보조제 등을 포함할 수 있다.The resin layer 122 may be made of resin and various other additives. For example, the resin layer 122 may be formed of an epoxy resin, a polyimide resin, a butyral resin, a polyamide imide (PAI) resin, a polyamide resin, a liquid crystal polymer a liquid crystal polymer (LCP) resin, and a cycloolefin (COP) resin. The epoxy resin may be at least one selected from the group consisting of naphthalene type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, rubber modified epoxy resin, cyclic aliphatic type epoxy resin, An epoxy resin, a nitrogen-based epoxy resin, and a phosphorus-based epoxy resin, but is not limited thereto. The additives may include a curing agent, a curing accelerator, a flame retardant aid, and the like.

무기물 필러(124)는 절연층(120)의 기계적, 전기적, 열적 특성 등을 향상시키기 위해 제공될 수 있다. 무기물 필러(124)는 음의 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 즉, 무기물 필러(124)는 온도가 상승하는 경우 부피가 감소하는 물질로 이루어질 수 있다. 무기물 필러(124)는 특히, 1000 K 이하의 온도에서 음의 값의 열팽창계수를 가질 수 있다.The inorganic filler 124 may be provided to improve the mechanical, electrical, thermal properties, etc. of the insulating layer 120. The inorganic filler 124 may be made of a material having a negative thermal expansion coefficient. That is, the inorganic filler 124 may be made of a material whose volume decreases when the temperature rises. In particular, the inorganic filler 124 may have a negative thermal expansion coefficient at a temperature of 1000 K or less.

무기물 필러(124)는 AM2O8, B2(MO4)3 또는 AN2O7의 화학식을 갖는 물질일 수 있다. 여기에서, A는 지르코늄(Zr) 및 하프늄(Hf) 중 적어도 1종이고, M은 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W) 중 적어도 1종이고, B는 스칸듐(Sc), 이트륨(Y), 이리듐(Er), 루테튬(Lu) 및 알루미늄(Al)을 포함하는 3가 이온 중 적어도 1종이며, N은 바나듐(V)일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. The inorganic filler 124 may be a material having the formula AM 2 O 8 , B 2 (MO 4 ) 3 or AN 2 O 7 . At least one of zirconium (Zr) and hafnium (Hf) is high, M is at least one kind of molybdenum (Mo) and tungsten (W), B is at least one of scandium (Sc), yttrium (Y) Is at least one of trivalent ions including erbium (Er), lutetium (Lu) and aluminum (Al), and N may be vanadium (V), but is not limited thereto.

무기물 필러(124)는 예를 들어, 지르코늄 텅스텐 산화물(ZrW2O8), 하프늄 텅스텐 산화물(HfW2O8), 지르코늄 몰리브덴 산화물(ZrMo2O8), 하프늄 몰리브덴 산화물(HfMo2O8), 스칸듐 몰리브덴 산화물(Sc2(MoO4)3), 이트륨 몰리브덴 산화물(Y2(MoO4)3), 알루미늄 몰리브덴 산화물(Al2(MoO4)3) 및 지르코늄 바나듐 산화물(ZrV2O7) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Inorganic filler 124, for example, zirconium, tungsten oxide (ZrW 2 O 8), hafnium tungsten oxide (HfW 2 O 8), zirconium molybdenum oxide (ZrMo 2 O 8), hafnium molybdenum oxide (HfMo 2 O 8), At least one of scandium molybdenum oxide (Sc 2 (MoO 4 ) 3 ), yttrium molybdenum oxide (Y 2 (MoO 4 ) 3 ), aluminum molybdenum oxide (Al 2 (MoO 4 ) 3 ) and zirconium vanadium oxide (ZrV 2 O 7 ) One can be included.

무기물 필러(124)는 예를 들어, -2 ppm/K 내지 -15 ppm/K의 열팽창계수를 가질 수 있다. 예를 들어, 무기물 필러(124)가 -9.0 ppm/K의 열팽창계수를 갖는 큐빅(cubic) 지르코늄 텅스테네이트(ZrW2O8)이고 수지층(122)이 64.2 ppm/K의 열팽창계수를 갖는 폴리이미드 수지이며, 무기물 필러(124)와 수지층(122)이 1:1의 비율로 혼합된 경우, 절연층(120)은 27.5 ppm/K의 열팽창계수를 가질 수 있다. 이는 무기물 필러(124)로 실리케이트가 사용되는 경우에 비하여 10 ppm/K만큼 낮은 열팽창계수에 해당한다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 절연층(120)은 상대적으로 낮은 열팽창계수를 가질 수 있어, 회로 기판의 제조 시에 여러 층들 사이에서 열팽창계수의 차이에 의해 발생하는 변형을 최소화할 수 있다.The inorganic filler 124 may have a thermal expansion coefficient of, for example, -2 ppm / K to -15 ppm / K. For example, if the inorganic filler 124 is cubic zirconium tungstate (ZrW 2 O 8 ) having a thermal expansion coefficient of -9.0 ppm / K and the resin layer 122 has a thermal expansion coefficient of 64.2 ppm / K When the inorganic filler 124 and the resin layer 122 are mixed at a ratio of 1: 1, the insulating layer 120 may have a thermal expansion coefficient of 27.5 ppm / K. Which corresponds to a thermal expansion coefficient as low as 10 ppm / K as compared to the case where silicate is used as the inorganic filler (124). Therefore, the insulating layer 120 according to the embodiment of the present invention can have a relatively low coefficient of thermal expansion, thereby minimizing the deformation caused by the difference in thermal expansion coefficient between the various layers during the manufacture of the circuit board.

무기물 필러(124)는 절연층(120) 전체에서 수지층(122) 내에 실질적으로 균일한 분포로 혼합될 수 있으나, 도 2에 도시된 것과 같이, 국부적인 영역들에서 높은 부피분율을 갖도록 분포할 수 있다. 다만, 본 발명의 실시예는 이에 한정되지는 않으며, 예시적인 실시예들에서는 무기물 필러(124)의 고농도층 및 저농도층을 포함하도록 무기물 필러(124)가 분포할 수도 있다. 무기물 필러(124)는 대체로 구 형상을 가질 수 있으며, 평균 입자 직경이 0.01 ㎛ 내지 5 ㎛의 범위일 수 있으나, 무기물 필러(124)의 형상 및 크기는 이에 한정되지는 않는다.The inorganic filler 124 may be mixed in a substantially uniform distribution within the resin layer 122 throughout the insulating layer 120 but may be distributed to have a high volume fraction in localized areas, . However, the embodiment of the present invention is not limited thereto. In exemplary embodiments, the inorganic filler 124 may be distributed so as to include a high-concentration layer and a low-concentration layer of the inorganic filler 124. The inorganic filler 124 may have a generally spherical shape and may have an average particle diameter in the range of 0.01 탆 to 5 탆, but the shape and size of the inorganic filler 124 are not limited thereto.

회로 기판Circuit board

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회로 기판을 개략적으로 나타내는 단면도이다.3 is a cross-sectional view schematically showing a circuit board according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 회로 기판(1000)은, 기판(200), 제1 내지 제3 회로층(210, 220, 230), 제1 회로층(210)을 덮도록 배치된 제1 및 제2 절연층(120a, 120b) 및 솔더 레지스트층(240)을 포함할 수 있다. 또한, 제1 내지 제3 회로층(210, 220, 230)은 제1 내지 제3 회로층(210, 220, 230)을 연결하는 제1 내지 제3 비아(212, 222, 232)를 더 포함할 수 있다.3, a circuit board 1000 according to an embodiment of the present invention includes a substrate 200, first to third circuit layers 210, 220 and 230, and a first circuit layer 210 And may include first and second insulating layers 120a and 120b and solder resist layer 240 arranged to be disposed. The first through third circuit layers 210, 220 and 230 further include first through third vias 212, 222 and 232 connecting the first through third circuit layers 210, 220 and 230 can do.

본 실시예의 회로 기판(1000)은 코어드 기판으로 예시되어 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 예를 들어, 회로 기판(1000)은 코어리스(coreless) 구조로 형성되는 것도 가능하다.Although the circuit board 1000 of the present embodiment is illustrated as a cored substrate, the present invention is not limited thereto. For example, the circuit board 1000 may be formed as a coreless structure.

기판(200)은 절연체, 또는 절연체의 양면에 동박이 적층된 동박적층판(Copper Clad Lamination, CCL)으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 상기 동박적층판은 FR-1 내지 FR-5와 같은 유리/에폭시 동박적층판일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.The substrate 200 may be formed of an insulator or a copper clad laminate (CCL) in which copper foils are laminated on both sides of an insulator. For example, the copper-clad laminate may be a glass / epoxy copper clad laminate such as FR-1 to FR-5, but is not limited thereto.

제1 내지 제3 회로층(210, 220, 230)은 회로 기판(1000)에서 회로 패턴의 역할을 수행하며, 도전성 금속으로 이루어질 수 있다. 제1 내지 제3 회로층(210, 220, 230)은 예를 들어, 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 주석(Sn), 금(Au), 니켈(Ni), 납(Pd), 또는 이들의 합금 등으로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 내지 제3 회로층(210, 220, 230)은 회로 패턴 외에도 필요에 따라 전자 부품 등을 실장 및/또는 내장 할 때 필요한 범프나 전극 역할을 수행할 수도 있다.The first through third circuit layers 210, 220 and 230 function as circuit patterns in the circuit board 1000 and may be made of a conductive metal. The first to third circuit layers 210, 220 and 230 may be formed of, for example, copper, aluminum, silver, tin, gold, (Pd), an alloy thereof, or the like. The first to third circuit layers 210, 220, and 230 may serve as bumps or electrodes necessary for mounting and / or embedding electronic components, etc., in addition to circuit patterns.

본 실시예에서, 회로 기판(1000)은 제1 내지 제3 회로층(210, 220, 230)의 세 개의 회로층들을 포함하는 구조를 갖지만, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않는다. 일 실시예에서, 회로 기판은 두 개의 회로층들만을 갖거나 빌드업 층들을 더 포함할 수도 있다.In this embodiment, the circuit board 1000 has a structure including three circuit layers of the first to third circuit layers 210, 220 and 230, but the embodiments of the present invention are not limited thereto. In one embodiment, the circuit board may have only two circuit layers or may further include build-up layers.

제1 회로층(210)은 기판(200)의 상하면을 연결하도록 기판(200)을 관통하는 관통 비아인 제1 비아(212)를 포함할 수 있다. 제2 및 제3 회로층(220, 230)은 각각 제1 및 제2 회로층(210, 220)을 연결하는 제2 비아(222), 및 제2 및 제3 회로층(220, 230)을 연결하는 제3 비아(232)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 서로 다른 층에 배치된 제1 내지 제3 회로층(210, 220, 230)이 전기적으로 연결되어, 회로 기판(1000)에 전기적 경로를 형성한다. 이와 같은 전기적 경로는 회로 기판(1000)에 실장 및/또는 내장되는 전자 부품 등과 전기적으로 연결될 수 있다. The first circuit layer 210 may include a first via 212 that is a through vias through the substrate 200 to connect the top and bottom surfaces of the substrate 200. The second and third circuit layers 220 and 230 may include a second via 222 connecting the first and second circuit layers 210 and 220 and a second and third circuit layers 220 and 230, And a third via 232 connecting the first and second vias. Accordingly, the first to third circuit layers 210, 220, and 230 disposed on different layers are electrically connected to form an electrical path to the circuit board 1000. Such an electrical path may be electrically connected to an electronic component or the like mounted and / or embedded in the circuit board 1000.

제2 및 제3 비아(222, 232)의 배치는 도시된 것과 같이 각각 독립적으로 배치되는 형태에 한정되는 것은 아니며, 각 층의 제2 및 제3 비아(222, 232)가 서로 어긋나면서 층간을 연결하는 엇갈림 비아(staggerd via) 형태, 또는 각 층의 제2 및 제3 비아(222, 232)가 수직하게 적층되는 스택 비아(stack via) 형태를 가질 수도 있다.The arrangement of the second and third vias 222 and 232 is not limited to the configuration in which they are independently arranged as shown in the drawing. The second and third vias 222 and 232 of the respective layers are shifted from each other, Or may have a stack via configuration in which the second and third vias 222, 232 of each layer are stacked vertically.

도면에서, 제1 내지 제3 비아(212, 222, 232)는 도전성 금속으로 완전히 채워진 것으로 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어, 도전성 금속이 비아홀의 측벽을 따라 형성된 형태를 가질 수도 있다. 또한, 제2 및 제3 비아(222, 232)는 하면으로 갈수록 직경이 커지는 테이퍼 형상으로 나타내었으나, 하면으로 갈수록 직경이 작아지는 테이퍼 형상, 원통 형상 등을 가질 수도 있다.Although the first to third vias 212, 222 and 232 are shown as being completely filled with the conductive metal in the drawing, the present invention is not limited thereto. For example, the conductive metal may be formed along the side wall of the via hole . Although the second and third vias 222 and 232 are tapered to have a larger diameter toward the lower surface, they may have a tapered shape or a cylindrical shape with a smaller diameter toward the lower surface.

제1 및 제2 절연층(120a, 120b)은 도 1 및 도 2를 참조하여 상술한 절연층(120)에 해당할 수 있다. 따라서, 제1 및 제2 절연층(120a, 120b)은 고분자 재료를 포함하는 수지층 및 상기 수지층과 혼합되는 무기물 필러를 포함할 수 있다. 상기 무기물 필러는 음의 값을 갖는 열팽창계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 이에 의해 제1 및 제2 절연층(120a, 120b) 각각의 총 열팽창계수는 32 ppm/K보다 작을 수 있다. 제1 및 제2 절연층(120a, 120b)은 서로 동일한 재료로 이루어지거나, 또는 서로 상이한 재료로 이루어질 수 있다.The first and second insulating layers 120a and 120b may correspond to the insulating layer 120 described above with reference to FIGS. Accordingly, the first and second insulating layers 120a and 120b may include a resin layer including a polymer material and an inorganic filler mixed with the resin layer. The inorganic filler may be made of a material having a negative thermal expansion coefficient. Accordingly, the total thermal expansion coefficient of each of the first and second insulating layers 120a and 120b may be less than 32 ppm / K. The first and second insulating layers 120a and 120b may be made of the same material or may be made of different materials.

솔더 레지스트층(240)은 는 회로 기판(1000)의 상면에서, 제3 회로층(230)의 일부를 노출시키고, 회로 기판(1000)의 주변부를 덮도록 배치될 수 있다. 솔더 레지스트층(240)은 예를 들어, 감광성 수지로 이루어질 수 있다.The solder resist layer 240 may be disposed on the upper surface of the circuit board 1000 so as to cover a peripheral portion of the circuit board 1000 while exposing a part of the third circuit layer 230. [ The solder resist layer 240 may be made of, for example, a photosensitive resin.

회로 기판의 제조 방법Method of manufacturing circuit board

도 4 내지 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 회로 기판의 제조 방법을 개략적으로 나타내는 주요 단계의 단면도들이다.FIGS. 4 to 6 are cross-sectional views of main steps schematically showing a method of manufacturing a circuit board according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 먼저 상면 및 하면에 제1 회로층(210)이 형성된 기판(200)을 준비하고, 기판(200)에 라미네이팅할 제1 절연 필름(100a)을 준비한다.Referring to FIG. 4, a substrate 200 having a first circuit layer 210 formed on its top and bottom surfaces is prepared, and a first insulating film 100a to be laminated on the substrate 200 is prepared.

기판(200)은 예를 들어, 절연체 및 상기 절연체의 양면에 배치된 금속층들을 포함할 수 있다. 제1 회로층(210)은 예를 들어, 드라이 필름 패턴을 이용하여, CVD(Chemical Vapor Deposition), 스퍼터링(sputtering)과 같은 PVD(Physical Vapor Deposition), 서브트랙티브(subtractive)법, 무전해 동도금 또는 전해 동도금을 이용하는 애디티브(additive)법, SAP(Semi-Additive Process) 및 MSAP(Modified Semi-Additive Process) 등의 방법을 이용하여 형성할 수 있다.The substrate 200 may include, for example, an insulator and metal layers disposed on both sides of the insulator. The first circuit layer 210 may be formed using a dry film pattern such as PVD (Physical Vapor Deposition) such as CVD (Chemical Vapor Deposition) and sputtering, subtractive method, electroless copper plating Or an additive method using electrolytic copper plating, a Semi-Additive Process (SAP), and a Modified Semi-Additive Process (MSAP).

제1 절연 필름(100a)은 제1 절연층(120a)의 상하면에 부착된 캐리어 필름(110a) 및 커버 필름(130a)을 포함할 수 있다. 캐리어 필름(110a) 및 커버 필름(130a)은 공정 장소로 이동되는 과정에서, 제1 절연 필름(100a)을 보호하고, 제1 절연 필름(100a)의 이동을 위한 이동 장치로부터 제1 절연 필름(100a)이 미끄러지는 현상을 방지할 수 있다. 기판(200)에 제1 절연층(120a)을 부착하기 위하여, 커버 필름(130a)을 제거할 수 있다.The first insulating film 100a may include a carrier film 110a and a cover film 130a attached to the upper and lower surfaces of the first insulating layer 120a. The carrier film 110a and the cover film 130a protect the first insulating film 100a and move the first insulating film 100a from the moving device for moving the first insulating film 100a, 100a can be prevented from slipping. In order to attach the first insulating layer 120a to the substrate 200, the cover film 130a may be removed.

도 5를 참조하면, 기판(200)에 제1 절연층(120a)을 형성하고, 제1 절연층(120a)에 비아홀(VH)을 형성할 수 있다.Referring to FIG. 5, a first insulating layer 120a may be formed on the substrate 200, and a via hole VH may be formed in the first insulating layer 120a.

제1 절연층(120a)은 라미네이터(laminator)를 이용하여 제1 절연층(120a)을기판(200)에 압착한 후 이를 경화시켜 형성할 수 있다. 제1 절연층(120a)을 기판(200)에 적층한 후, 캐리어 필름(110a)은 최종적으로 제거될 수 있다. 상기 공정 중에 경화 공정을 진행함으로써, 제1 절연층(120a)은 경화될 수 있다. 본 단계에서 제1 절연층(120a)은 상대적으로 낮은 열팽창계수를 가지므로, 기판(200) 및 제1 절연층(120a)의 적층 구조물에 발생하는 변형을 최소화할 수 있다.The first insulating layer 120a may be formed by pressing a first insulating layer 120a on a substrate 200 using a laminator and curing the first insulating layer 120a. After the first insulating layer 120a is laminated on the substrate 200, the carrier film 110a can be finally removed. By performing the curing process in the above process, the first insulating layer 120a can be cured. In this step, since the first insulating layer 120a has a relatively low thermal expansion coefficient, deformation occurring in the stacked structure of the substrate 200 and the first insulating layer 120a can be minimized.

비아홀(VH)은 제1 회로층(210)을 노출시키도록 형성할 수 있으며, 기계적 드릴 및/또는 레이저 드릴을 사용하여 형성할 수 있다. 상기 레이저 드릴은 CO2 레이저 또는 YAG 레이저일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.The via hole VH may be formed to expose the first circuit layer 210, and may be formed using a mechanical drill and / or a laser drill. The laser drill may be a CO 2 laser or a YAG laser, but is not limited thereto.

도 6을 참조하면, 제1 절연층(120a)의 상면에 제2 회로층(220)을 형성한 후, 제2 절연층(120b)을 형성할 수 있다.Referring to FIG. 6, a second insulating layer 120b may be formed after a second circuit layer 220 is formed on an upper surface of the first insulating layer 120a.

제2 회로층(220)은 비아홀(VH)을 도전성 물질로 매립한 제2 비아(222)를 포함하도록 형성될 수 있으며, 제1 회로층(210)과 유사하게, 상술한 공정들을 이용하여 형성될 수 있다. 제1 절연층(120a) 및 제2 회로층(220)은 하나의 빌드업 층을 구성할 수 있다.The second circuit layer 220 may be formed to include a second via 222 in which a via hole VH is filled with a conductive material and may be formed using the processes described above similarly to the first circuit layer 210 . The first insulating layer 120a and the second circuit layer 220 may form one build-up layer.

제2 절연층(120b)은 제1 절연층(120a)과 동일한 방법으로 제1 절연층(120a) 상에 형성될 수 있다.The second insulating layer 120b may be formed on the first insulating layer 120a in the same manner as the first insulating layer 120a.

다음으로, 도 3을 함께 참조하면, 제2 절연층(120b)의 상면에 제3 회로층(230)을 형성한 후, 솔더 레지스트층(240)을 형성할 수 있다. 솔더 레지스트층(240)은 외부 전자부품과의 전기적 연결을 위한 개구부들을 구비할 수 있으며, 상기 개구부들을 통해 제3 회로층(230)이 노출될 수 있다.Next, referring to FIG. 3, a solder resist layer 240 may be formed after the third circuit layer 230 is formed on the upper surface of the second insulating layer 120b. The solder resist layer 240 may have openings for electrical connection with external electronic components and the third circuit layer 230 may be exposed through the openings.

본 개시에서 연결된다는 의미는 직접 연결된 것뿐만 아니라, 접착제층 등을 통하여 간접적으로 연결된 것을 포함하는 개념이다. 또한, 전기적으로 연결된다는 의미는 물리적으로 연결된 경우와 연결되지 않은 경우를 모두 포함하는 개념이다.The meaning of being connected in this disclosure includes not only a direct connection but also an indirect connection through an adhesive layer or the like. In addition, the term "electrically connected" means a concept including both a physical connection and a non-connection.

본 개시에서 사용된 "일 실시예(example)"라는 표현은 서로 동일한 실시예를 의미하지 않으며, 각각 서로 다른 고유한 특징을 강조하여 설명하기 위해서 제공된 것이다. 그러나, 상기 제시된 일 실시예들은 다른 실시예의 특징과 결합되어 구현되는 것을 배제하지 않는다. 예를 들어, 특정한 일 실시예에서 설명된 사항이 다른 실시예에서 설명되어 있지 않더라도, 다른 실시예에서 그 사항과 반대되거나 모순되는 설명이 없는 한, 다른 실시예에 관련된 설명으로 이해될 수 있다.The word " an embodiment " used in the present disclosure is not intended to be regarded as the same embodiment, and is provided to emphasize and illustrate different characteristic features. However, the above-described embodiments do not exclude that they are implemented in combination with the features of other embodiments. For example, although the matters described in the specific embodiment are not described in the other embodiments, other embodiments may be understood as related to the other embodiments unless otherwise described or contradicted by the other embodiments.

본 개시에서 사용된 용어는 단지 일 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 개시를 한정하려는 의도가 아니다. 이때, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.The terms used in this disclosure are used only to describe one embodiment and are not intended to limit the present disclosure. Wherein the singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

100: 절연 필름
110: 캐리어 필름
120: 절연층
130: 커버 필름
200: 기판
210: 제1 회로층
220: 제2 회로층
230: 제3 회로층
120a: 제1 절연층
120b: 제2 절연층
212: 제1 비아
222: 제2 비아
232: 제3 비아
240: 솔더 레지스트층
1000: 회로 기판
100: insulating film
110: carrier film
120: insulating layer
130: Cover film
200: substrate
210: first circuit layer
220: second circuit layer
230: third circuit layer
120a: first insulating layer
120b: second insulating layer
212: First Via
222: Second Via
232: Third Via
240: solder resist layer
1000: circuit board

Claims (10)

고분자 재료를 포함하는 수지층; 및
상기 수지층과 혼합되며, 음의 값을 갖는 열팽창계수를 갖는 무기물 필러를 포함하는 절연 필름.
A resin layer containing a polymer material; And
And an inorganic filler mixed with the resin layer and having a negative thermal expansion coefficient.
제1 항에 있어서,
상기 무기물 필러는 AM2O8, B2(MO4)3 또는 AN2O7의 화학식을 갖고,
상기 화학식에서, A는 지르코늄(Zr) 및 하프늄(Hf) 중 선택된 적어도 1종이며, M은 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W) 중 선택된 적어도 1종이고, B는 스칸듐(Sc), 이트륨(Y), 이리듐(Er), 루테튬(Lu) 및 알루미늄(Al)을 포함하는 3가 이온 중 적어도 1종이며, N은 바나듐(V)인 절연 필름.
The method according to claim 1,
The inorganic filler has the formula AM 2 O 8 , B 2 (MO 4 ) 3 or AN 2 O 7 ,
Wherein M is at least one selected from the group consisting of molybdenum (Mo) and tungsten (W), B is at least one selected from the group consisting of scandium (Sc), yttrium (Y) ), Iridium (Er), lutetium (Lu) and aluminum (Al), and N is vanadium (V).
제2 항에 있어서,
상기 무기물 필러는 지르코늄 텅스텐 산화물(ZrW2O8)인 절연 필름.
3. The method of claim 2,
Wherein the inorganic filler is zirconium tungsten oxide (ZrW 2 O 8 ).
제1 항에 있어서,
상기 수지층 및 상기 무기물 필러의 총 열팽창계수는 32 ppm/K보다 작은 절연 필름.
The method according to claim 1,
Wherein the total thermal expansion coefficient of the resin layer and the inorganic filler is less than 32 ppm / K.
제1 항에 있어서,
상기 수지층은 에폭시(epoxy) 수지, 폴리이미드(polyimide) 수지, 부티랄(Butyral) 수지, 폴리아미드이미드(PAI, polyamide imide), 수지폴리아미드(polyamide) 수지, 액정폴리머(LCP, liquid crystal polymer) 수지, 시클로올레핀(COP, cycloolefin) 수지 중 적어도 하나를 포함하는 절연 필름.
The method according to claim 1,
The resin layer may be formed of an epoxy resin, a polyimide resin, a butyral resin, a polyamide imide (PAI), a resin polyamide resin, a liquid crystal polymer (LCP) ) Resin, and a cycloolefin (COP) resin.
제1 항에 있어서,
상기 무기물 필러는 상기 수지층 내에 균일하게 분포하면서, 국부적인 영역들에서 높은 부피분율로 존재하는 절연 필름.
The method according to claim 1,
Wherein the inorganic filler is present in a high volume fraction in localized areas while being uniformly distributed within the resin layer.
제1 항에 있어서,
상기 수지층의 일면을 덮는 캐리어 필름; 및
상기 수지층의 타면을 덮는 커버 필름을 더 포함하는 절연 필름.
The method according to claim 1,
A carrier film covering one surface of the resin layer; And
And a cover film covering the other surface of the resin layer.
고분자 재료를 포함하는 수지층 및 음의 값을 갖는 열팽창계수를 갖는 무기물을 포함하는 무기물 필러를 포함하는 절연 필름; 및
상기 절연 필름과 접하는 회로층을 포함하는 회로 기판.
An insulating film comprising an inorganic filler including a resin layer including a polymer material and an inorganic material having a negative thermal expansion coefficient; And
And a circuit layer in contact with the insulating film.
제8 항에 있어서,
상기 무기물 필러는 AM2O8, B2(MO4)3 또는 AN2O7의 화학식을 갖고,
상기 화학식에서, A는 지르코늄(Zr) 및 하프늄(Hf) 중 선택된 적어도 1종이며, M은 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W) 중 선택된 적어도 1종이고, B는 스칸듐(Sc), 이트륨(Y), 이리듐(Er), 루테튬(Lu) 및 알루미늄(Al)을 포함하는 3가 이온 중 적어도 1종이며, N은 바나듐(V)인 회로 기판.
9. The method of claim 8,
The inorganic filler has the formula AM 2 O 8 , B 2 (MO 4 ) 3 or AN 2 O 7 ,
Wherein M is at least one selected from the group consisting of molybdenum (Mo) and tungsten (W), B is at least one selected from the group consisting of scandium (Sc), yttrium (Y) ), Iridium (Er), lutetium (Lu) and aluminum (Al), and N is vanadium (V).
제8 항에 있어서,
상기 회로층이 배치되며 상기 절연 필름과 접합되는 기판을 더 포함하는 회로 기판.
9. The method of claim 8,
Further comprising a substrate on which the circuit layer is disposed and which is bonded to the insulating film.
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