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KR20180109050A - Organic light emitting display apparatus and the method for manufacturing the same - Google Patents

Organic light emitting display apparatus and the method for manufacturing the same Download PDF

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KR20180109050A
KR20180109050A KR1020180111595A KR20180111595A KR20180109050A KR 20180109050 A KR20180109050 A KR 20180109050A KR 1020180111595 A KR1020180111595 A KR 1020180111595A KR 20180111595 A KR20180111595 A KR 20180111595A KR 20180109050 A KR20180109050 A KR 20180109050A
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barrier layer
light emitting
organic light
inorganic
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이영산
김건식
조영미
채경찬
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 기판과, 기판 상에 위치하는 유기 발광 소자와, 유기 발광 소자를 덮는 박막 봉지층, 및 유기 발광 소자 및 박막 봉지층 사이에 개재되는 배리어층;을 포함하며, 상기 배리어층은 알칼리 금속 함유 화합물을 포함하는 제1 배리어층, 또는 비정질의 무기 산화물을 포함하는 제2 배리어층을 구비하며, 박막 봉지층은 유기층 및 무기층을 포함하는, 유기 발광 표시 장치를 개시한다.The present invention provides a light emitting device comprising a substrate, an organic light emitting element disposed on the substrate, a thin film encapsulating layer covering the organic light emitting element, and a barrier layer interposed between the organic light emitting element and the thin encapsulation layer, Containing compound, or a second barrier layer comprising an amorphous inorganic oxide, wherein the thin-film encapsulating layer comprises an organic layer and an inorganic layer.

Description

유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법{Organic light emitting display apparatus and the method for manufacturing the same}[0001] The present invention relates to an organic light emitting display and a method of manufacturing the same,

본 발명은 유기 발광 표시 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display and a method of manufacturing the same.

유기 발광 표시 장치는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극 그리고 이들 사이에 형성되어 있는 유기 발광층을 포함하는 유기 발광 소자를 구비하며, 정공 주입 전극에서 주입되는 정공과 전자 주입 전극에서 주입되는 전자가 유기 발광층에서 결합하여 생성된 엑시톤(exiton)이 여기 상태(exited state)로부터 기저 상태(ground state)로 떨어지면서 빛을 발생시키는 자발광형 표시 장치이다.The organic light emitting display includes a hole injecting electrode, an electron injecting electrode, and an organic light emitting element including an organic light emitting layer formed therebetween, wherein holes injected from the hole injecting electrode and electrons injected from the electron injecting electrode are injected into the organic light emitting layer Emitting type display device in which excitons generated in association with each other drop from an excited state to a ground state to generate light.

자발광형 표시 장치인 유기 발광 표시 장치는 별도의 광원이 불필요하므로 저전압으로 구동이 가능하고 경량의 박형으로 구성할 수 있으며, 넓은 시야각, 높은 콘트라스트(contrast) 및 빠른 응답 속도 등의 고품위 특성으로 인해 차세대 표시 장치로 주목받고 있다.Since an organic light emitting display device which is a self-emission type display device does not require a separate light source, it can be driven at a low voltage and can be configured as a lightweight thin type. Due to its high quality characteristics such as wide viewing angle, high contrast, It is attracting attention as a next generation display device.

그러나, 유기 발광 표시 장치는 외부의 수분이나 산소 등에 의해 열화되는 특성을 가지므로, 외부의 수분이나 산소 등으로부터 유기 발광 소자를 보호하기 위하여 유기 발광 소자를 밀봉하여야 하며, 이와 같은 밀봉 소자를 형성함에 있어서 유기 발광 소자를 손상시키거나 않아야 한다.However, since the organic light emitting display device has a characteristic of being deteriorated by external moisture or oxygen, the organic light emitting device must be sealed in order to protect the organic light emitting element from external moisture, oxygen, etc. In forming such a sealing element So that the organic light emitting device should not be damaged.

본 발명의 일실시예는, 유기 발광 표시 소자 및 제조 방법에 관한 것이다.One embodiment of the present invention relates to an organic light emitting display device and a manufacturing method thereof.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판; 상기 기판 상에 위치하는 유기 발광 소자; 상기 유기 발광 소자를 덮는 박막 봉지층; 및 상기 유기 발광 소자 및 상기 박막 봉지층 사이에 개재되는 배리어층;을 포함하며, 상기 배리어층은, 알칼리 금속 함유 화합물을 포함하는 제1 배리어층, 또는 비정질의 무기 산화물을 포함하는 제2 배리어층을 구비하며, 상기 박막 봉지층은 유기층 및 무기층을 포함하는, 유기 발광 표시 장치를 개시한다. According to an aspect of the present invention, An organic light emitting diode (OLED) disposed on the substrate; A thin film encapsulating layer covering the organic light emitting device; And a barrier layer interposed between the organic light emitting device and the thin film encapsulation layer, wherein the barrier layer includes a first barrier layer including an alkali metal-containing compound, or a second barrier layer including an amorphous inorganic oxide, And the thin film encapsulation layer includes an organic layer and an inorganic layer.

본 실시예에 있어서, 상기 제1 배리어층은 LiF, CsF, NaF, 또는 Li2O 을 포함할 수 있다. In the present embodiment, the first barrier layer may include LiF, CsF, NaF, or Li 2 O.

본 실시예에 있어서, SiO, TiOx, MoOx, ZnO, ZnSnOx, 및 AlOxNy 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. In the present embodiment, it may include at least one of SiO, TiO x , MoO x , ZnO, ZnSnO x , and AlO x N y .

본 실시예에 있어서, 상기 배리어층은 상기 박막 봉지층의 상기 무기층 바로 아래에 배치될 수 있다. In this embodiment, the barrier layer may be disposed directly below the inorganic layer of the thin-film encapsulation layer.

본 실시예에 있어서, 상기 배리어층은 상기 제2 배리어층을 포함하며, 상기 제2 배리어층의 상면은 상기 무기층과 직접 접촉할 수 있다. In this embodiment, the barrier layer includes the second barrier layer, and the upper surface of the second barrier layer may directly contact the inorganic layer.

본 실시예에 있어서, 상기 제2 배리어층은, 다른 영역보다 상대적으로 산소의 농도가 높은 일부 영역을 포함할 수 있다. In the present embodiment, the second barrier layer may include a part of the region having a higher oxygen concentration than the other regions.

본 실시예에 있어서, 상기 무기층은 무기 산화물을 포함할 수 있다.In the present embodiment, the inorganic layer may include an inorganic oxide.

본 실시예에 있어서, 상기 제2 배리어층의 두께는 10Å 내지 100Å일 수 있다.In this embodiment, the thickness of the second barrier layer may be about 10 Å to about 100 Å.

본 실시예에 있어서, 상기 제1 배리어층의 두께는 100Å 내지 3000Å일 수 있다.In this embodiment, the thickness of the first barrier layer may be 100 Å to 3000 Å.

본 실시예에 있어서, 상기 박막 봉지층은, 상기 무기층, 상기 무기층 위의 상기 유기층, 및 상기 유기층 위의 무기층을 포함할 수 있다. In the present embodiment, the thin film encapsulation layer may include the inorganic layer, the organic layer on the inorganic layer, and the inorganic layer on the organic layer.

상기와 같은 본 발명의 일실시예에 따르면, 제1 배리어층 및 비정질 산화 무기물을 포함하는 제2 베리어층을 구비함으로써, 박막 봉지층의 막질을 개선시킬 수 있으며, 진행성 암점에 의한 불량 발생을 방지할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first barrier layer and the second barrier layer including the amorphous oxide inorganic material are provided to improve the film quality of the thin-film encapsulation layer and prevent the occurrence of defects due to the progressive dark spot can do.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 유기 발광 표시 장치의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 비교예에 따른 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 4는 도 3의 LiF의 배리어층의 결정 구조를 나타낸 SEM(Scanning Electron Microscope) 사진이다.
도 5a는 LiF의 제1 배리어층의 결정구조를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 5b는 SiO의 제2 배리어층의 결정 구조를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 6a 및 도 6b은 고에너지 산소 원자가 비교예 및 실시예에 따른 배리어층에 입사하였을 때의 거동을 나타낸 그래프로서, 도 6a은 LiF의 배리어층과 SiO의 제2 배리어층에 입사한 산소 원자의 에너지 변화를 나타낸 그래프이고, 도 6b은 LiF의 배리어층과 SiO의 제2 배리어층에 입사한 산소 원자의 침투 깊이를 나타낸 그래프이다.
도 7은 비교예에 따른 배리어층(40) 상에 무기층(51)이 형성된 상태를 나타낸 SEM 사진이다.
도 8a는 SiO의 제2 배리어층의 두께에 따른 청색 소자의 효율 및 CIE 1931 색좌표 중 y 좌표 값(CiEy)을 나타낸 그래프이다.
도 8b 및 도 8c는 SiO의 제2 배리어층의 두께에 따른 투과율 및 반사율을 나타낸 그래프이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 형성하는 공정을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.1 is a perspective view schematically illustrating an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view schematically showing the structure of an organic light emitting display device.
3 is a cross-sectional view schematically showing an organic light emitting display according to a comparative example of the present invention.
4 is a SEM (Scanning Electron Microscope) photograph showing the crystal structure of the LiF barrier layer of FIG.
5A schematically shows the crystal structure of the first barrier layer of LiF.
5B schematically shows the crystal structure of the second barrier layer of SiO.
6A and 6B are graphs showing behaviors of high-energy oxygen atoms when they are incident on the barrier layer according to the comparative example and the embodiment. FIG. 6A is a graph showing the behavior of oxygen atoms incident on the barrier layer of LiF and the second barrier layer of SiO 2 FIG. 6B is a graph showing penetration depths of oxygen atoms incident on the barrier layer of LiF and the second barrier layer of SiO 2. FIG.
7 is an SEM photograph showing a state in which the inorganic layer 51 is formed on the barrier layer 40 according to the comparative example.
8A is a graph showing the efficiency of the blue element according to the thickness of the SiO 2 second barrier layer and the y coordinate value (CiEy) of CIE 1931 color coordinates.
8B and 8C are graphs showing transmittance and reflectance according to the thickness of the second barrier layer of SiO 2.
9 is a flowchart schematically illustrating a process of forming an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view schematically showing an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. It is to be understood that the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. It is noted that the terms "comprises" and / or "comprising" used in the specification are intended to be inclusive in a manner similar to the components, steps, operations, and / Or additions. The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by terms. Terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 또는 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.In the drawings, the thickness is enlarged to clearly represent the layers and regions. Like parts are designated with like reference numerals throughout the specification. When a portion of a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "on" or "on" another portion, it includes not only the case directly above another portion but also the case where there is another portion in between.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(100)를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 2는 유기 발광 표시 장치(100)의 구조를 개략적으로 나타낸 것이다.FIG. 1 is a perspective view schematically showing an organic light emitting diode display 100 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic view of a structure of an OLED display 100.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예의 유기 발광 표시 장치(100)는 기판(110), 기판(110) 상에 형성된 유기 발광 소자(120), 박막 봉지층(150), 및 유기 발광 소자(120)와 박막 봉지층(150) 사이에 개재된 배리어층(140)을 포함한다. 1 and 2, the OLED display 100 of the present embodiment includes a substrate 110, an organic light emitting device 120 formed on the substrate 110, a thin film encapsulation layer 150, And a barrier layer 140 interposed between the barrier layer 120 and the thin-film encapsulation layer 150.

기판(110)은, 가요성 기판일 수 있으며, 내열성 및 내구성이 우수한 플라스틱으로 구성될 수 있다. 예컨대, 기판(110)은 폴리에테르술폰(PES, polyethersulphone), 폴리아크릴레이트(PAR, polyacrylate), 폴리에테르 이미드(PEI,polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN, polyethyelenen napthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethyeleneterepthalate), 폴리페닐렌설파이드(polyphenylene sulfide: PPS), 폴리아릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(polyimide: PI), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(cellulosetriacetate), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate: CAP), 폴리아릴렌에테르술폰(poly(aryleneether sulfone)) 및 이들의 조합으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나를 포함할 수 있다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 기판(110)은 금속이나 유리 등 다양한 소재로 구성될 수 있다.The substrate 110 may be a flexible substrate, and may be made of a plastic having excellent heat resistance and durability. For example, the substrate 110 may be formed of one or more materials selected from the group consisting of polyethersulphone (PES), polyacrylate (PAR), polyetherimide (PEI), polyethyelenen naphthalate (PEN), polyethylene terephthalate , polyethyeleneterepthalate, polyphenylene sulfide (PPS), polyallylate, polyimide (PI), polycarbonate (PC), cellulosetriacetate, cellulose acetate propionate acetate propionate (CAP), poly (arylene ether sulfone), and combinations thereof. However, the present invention is not limited thereto, and the substrate 110 may be formed of various materials such as metal or glass.

도시되지는 않았으나, 기판(110) 상에는 소자/배선층이 배치될 수 있으며, 소자/배선층은 유기 발광 소자(120)를 구동시키는 구동시키는 구동 박막트랜지스터, 스위칭 박막트랜지스터, 커패시터, 상기 박막트랜지스터나 커패시터에 연결되는 배선들이 포함될 수 있다.Although not shown, a device / wiring layer may be disposed on the substrate 110, and the device / wiring layer may include a driving thin film transistor, a switching thin film transistor, a capacitor, a thin film transistor, or a capacitor for driving the organic light emitting diode 120 Wiring to be connected may be included.

유기 발광 소자(120)는 기판(110) 상에 형성되며, 제1 전극(121), 제1 전극(121) 상에 형성된 유기 발광층(122), 및 유기 발광층(122) 상에 형성된 제2 전극(123)을 포함할 수 있다.The organic light emitting device 120 is formed on the substrate 110 and includes a first electrode 121, an organic light emitting layer 122 formed on the first electrode 121, and a second electrode 122 formed on the organic light emitting layer 122. [ (123).

제1 전극(121)은 화소 전극으로 애노드(anode)일 수 있으며, 적색, 녹색, 청색의 부화소(R, G, B Sub-pixel)별로 패팅닝된 형태일 수 있다. 상기 제1 전극(121)은 전도성이 우수한 물질로 이루어지며, 공지된 제1 전극(121)용 물질을 포함할 수 있다. 제1 전극(121)용 물질은 예를 들면 Li, Mg, Al, Ag, Al-Li, Ca, Mg-In, Mg-Ag, Ca-Al, ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), ZnO(zinc oxide)일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 전극(121)은 투명 전극, 반투명 전극 또는 반사 전극일 수 있으며, 서로 다른 2 이상의 물질을 이용하여 2층 이상의 구조를 가질 수 있는 등, 다양한 변형이 가능하다.The first electrode 121 may be an anode as a pixel electrode, and may be a patterned pixel for red, green, and blue sub-pixels (R, G, and B sub-pixels). The first electrode 121 may be made of a material having excellent conductivity and may include a known material for the first electrode 121. The material for the first electrode 121 may be at least one selected from the group consisting of Li, Mg, Al, Ag, Al-Li, Ca, Mg-In, Mg-Ag, Ca-Al, indium tin oxide (ITO) ) And ZnO (zinc oxide), but the present invention is not limited thereto. The first electrode 121 may be a transparent electrode, a semi-transparent electrode, or a reflective electrode. The first electrode 121 may have two or more layers using two or more different materials.

제2 전극(123)은 대향 전극으로서 캐소드(cathode)일 수 있으며, Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg 및 이들의 화합물을 포함하는 일함수가 작은 금속 박막으로 형성될 수 있다. 또는, ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3 등의 투명 전극이나 반투명 전극일 수 있다. The second electrode 123 may be a cathode as an opposite electrode and may be formed of a metal thin film containing a small work function including Li, Ca, LiF / Ca, LiF / Al, Al, Ag, . Alternatively, it may be a transparent electrode or a semi-transparent electrode such as ITO, IZO, ZnO, or In 2 O 3 .

본 실시예에서는, 제1 전극(121)은 애노드(anode)이고, 제2 전극(123)은 캐소드(cathode)로 구성될 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고 유기 발광 표시 장치(100)의 구동 방법에 따라 제1 전극(121)이 캐소드이고, 제2 전극(123)이 애노드일 수 있다. 제1 전극(121)과 제2 전극(123)으로부터 각각 정공과 전자가 유기 발광층(122) 내부로 주입된다. 주입된 정공과 전자가 결합한 엑시톤(exiton)이 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어지면서 광을 방출한다.In the present embodiment, the first electrode 121 may be an anode and the second electrode 123 may be a cathode. However, the present invention is not limited to this, The first electrode 121 may be a cathode and the second electrode 123 may be an anode depending on a driving method. Holes and electrons are injected into the organic light emitting layer 122 from the first electrode 121 and the second electrode 123, respectively. The excitons formed by the injected holes and electrons fall from the excited state to the ground state and emit light.

유기 발광층(122)은 공지된 다양한 발광 물질을 포함할 수 있다. 예컨대, 발광 물질은 옥사디아졸 다이머 염료(oxadiazole dimer dyes (Bis-DAPOXP)), 스피로 화합물(spiro compounds)(Spiro-DPVBi, Spiro-6P), 트리아릴아민 화합물(triarylamine compounds), 비스(스티릴)아민(bis(styryl)amine)(DPVBi, DSA), BCzVBi(4,4´-비스(9-에틸-3-카바조비닐렌)-1,1´-비페닐), 페릴렌(perylene), TPBe(2,5,8,11-tetra-tert-butylperylene), BCzVB(9H-카바졸-3,3´-(1,4-페닐렌-디-2,1-에텐-디일)비스[9-에틸-(9C)]), DPAVBi(4,4-비스[4-(디-p-톨일아미노)스티릴]비페닐), DPAVB(4-(디-p-톨일아미노)-4´-[(디-p-톨일아미노)스티릴]스틸벤), BDAVBi(4,4´-비스[4-(디페닐아미노)스티릴]비페닐), FIrPic(비스(3,5-디플루오로-2-(2-피리딜)페닐-(2-카르복시피리딜)이리듐 III)) 등 (이상 청색); Coumarin 6(3-(2-벤조티아졸일)-7-(디에틸아미노)쿠마린), C545T(2,3,6,7-테트라히드로-1,1,7,7,-테트라메틸-1H,5H,11H-10-(2-벤조티아졸일)퀴놀리지노-[9,9a,1gh]쿠마린), DMQA(N,N´-디메틸-퀸아크리돈), Ir(ppy)3(트리스(2-페닐피리딘)이리듐(III)) 등 (이상 녹색); 테트라페닐나프타센(Tetraphenylnaphthacene)(루브린: Rubrene), Ir(piq)3(트리스(1-페닐이소퀴놀린)이리듐(III)), 비스(2-벤조[b]티오펜-2-일-피리딘) (아세틸아세토네이트)이리듐(III) (Ir(btp)2(acac)), 트리스(디벤조일메탄)펜안트롤린 유로퓸(III) (Eu(dbm)3(phen)), 트리스[4,4'-디-tert-부틸-(2,2')-비피리딘]루테늄(III)착물 (Ru(dtb-bpy)3*2(PF6)), DCM1, DCM2, Eu(TTA)3 (europium(thenoyltrifluoroacetone)3), CJTB(butyl-6-(1,1,7,7-tetramethyljulolidyl-9-enyl)-4H-pyran) 등 (이상 적색)일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 또한 상기 발광 물질은 고분자 발광 물질일 수 있으며, 예를 들면 페닐렌(phenylene)계, 페닐렌 비닐렌 (phenylene vinylene)계, 티오펜(thiophene)계, 플루오렌(fluorene)계 또는 스피로플루오렌(spiro-fluorene)계 고분자 등과 같은 고분자와 질소를 포함하는 방향족 화합물 등일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The organic light emitting layer 122 may include various known light emitting materials. For example, the luminescent material may be oxadiazole dimer dyes (Bis-DAPOXP), spiro compounds (Spiro-DPVBi, Spiro-6P), triarylamine compounds, (DPVBi, DSA), BCzVBi (4,4'-bis (9-ethyl-3-carbazovinylene) -1,1'-biphenyl), perylene , TPBe (2,5,8,11-tetra-tert-butylperylene), BCzVB (9H-carbazole-3,3'- 4- (di-p-tolylamino) styryl] biphenyl), DPAVB (4- (di- p-tolylamino) -4 ' - [(di-p-tolylamino) styryl] stilbene), BDAVBi (4,4'-bis [4- (diphenylamino) styryl] biphenyl), FIrPic 2- (2-pyridyl) phenyl- (2-carboxypyridyl) iridium III)) or the like (ideal blue); Coumarin 6 (3- (2-benzothiazolyl) -7- (diethylamino) coumarin), C545T (2,3,6,7-tetrahydro-1,1,7,7, -tetramethyl- (N, N'-dimethyl-quinacridone), Ir (ppy) 3 (tris (2-benzothiazolyl) quinolinone- [9,9a, 1gh] coumarin), DMQA - phenylpyridine) iridium (III)) or the like (abnormal green); Tetraphenyl-naphthacene (Tetraphenylnaphthacene) (rubrene: Rubrene), Ir (piq) 3 ( tris (1-phenyl-isoquinoline) iridium (III)), bis (2-benzo [b] thiophen-2-yl-pyridine ) (acetylacetonate) iridium (III) (Ir (btp) 2 (acac)), tris (dibenzoylmethane) phenanthroline europium (III) (Eu (dbm) 3 (phen)), tris [4,4 (Ruthenium complex) (Ru (dtb-bpy) 3 * 2 (PF 6 )), DCM1, DCM2, Eu (TTA) 3 (europium (butoyltrifluoroacetone) 3), CJTB (butyl-6- (1,1,7,7-tetramethyljulolidyl-9-enyl) -4H-pyran) and the like. The light emitting material may be a polymer light emitting material, for example, a phenylene based compound, a phenylene vinylene based compound, a thiophene based compound, a fluorene based compound or a spirofluorene compound spiro-fluorene-based polymers, and aromatic compounds containing nitrogen. However, the present invention is not limited thereto.

제1 전극(121)과 제2 전극(123) 사이에는 유기 발광층(122) 이외에, 홀 수송층(HTL; hole transport layer), 홀 주입층(HIL; hole injection layer), 전자 수송층(ETL; electron transport layer) 및 전자 주입층(EIL; electron injection layer) 등과 같은 중간층이 선택적으로 배치될 수 있다.A hole transport layer (HTL), a hole injection layer (HIL), and an electron transport layer (ETL) are formed between the first electrode 121 and the second electrode 123, an intermediate layer such as an electron injection layer (EIL) and the like may be selectively disposed.

캡핑층(130)은 유기 발광 소자(120) 상에 형성되며, 유기 발광 소자(120)을 보호할 수 있다. 혹은, 캡핑층(130)은 제2 전극(123)의 저항을 감소시킬 수 있다. 캡핑층(130)은 유기물, 무기물 또는 인들의 혼합물을 포함할 수 있다. The capping layer 130 may be formed on the organic light emitting diode 120 to protect the organic light emitting diode 120. Alternatively, the capping layer 130 may reduce the resistance of the second electrode 123. The capping layer 130 may comprise an organic, inorganic or phosphorous mixture.

박막 봉지층(150)은 유기 발광 소자(120) 상에 형성되고, 상기 유기 발광 소자(120)를 덮으며 상기 기판(110) 상에 합착될 수 있다. 박막 봉지층(150)은 무기층(151)과 유기층(152)을 교대로 형성함으로써 구성될 수 있으며, 박막 봉지층(150)의 최하층과 최상층에는 무기층(151)이 배치될 수 있다.The thin film encapsulation layer 150 may be formed on the organic light emitting device 120 and may be bonded onto the substrate 110 to cover the organic light emitting device 120. [ The thin film encapsulation layer 150 may be formed by alternately forming the inorganic layer 151 and the organic layer 152 and the inorganic layer 151 may be disposed on the lowermost layer and the uppermost layer of the thin encapsulation layer 150.

무기층(151)은 무기 산화물로 구성될 수 있다. 예컨대, 무기층(151)은 AlOx, TiO2, ZrO, SiO2, AlON, SiON, ZnO, 및 Ta2O5 중 하나 이상의 무기물을 포함할 수 있다. The inorganic layer 151 may be composed of an inorganic oxide. For example, the inorganic layer 151 may include one or more minerals of AlO x, TiO 2, ZrO, SiO 2, AlON, SiON, ZnO, and Ta 2 O 5.

유기층(152)은 폴리머(polymer)계열의 소재를 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 아크릴계 수지, 에폭시계 수지, 폴리이미드 및 폴리에틸렌 등을 포함할 수 있다. 유기층(152)은 무기층(151)의 내부 스트레스를 완화시키고, 무기층(151)의 결함을 보완하며 평탄화하는 역할을 할 수 있다.The organic layer 152 may include a polymer-based material. Examples of the polymer-based material may include an acrylic resin, an epoxy resin, polyimide, and polyethylene. The organic layer 152 may mitigate the internal stress of the inorganic layer 151 and may serve to complement and planarize the defects of the inorganic layer 151.

본 실시예에서는, 무기층(151)은 4회, 유기층(152)은 3회 적층된 경우를 예시하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 즉 무기층(151)과 유기층(152)이 교대로 적층되는 횟수에는 제한이 없다.In this embodiment, the case where the inorganic layer 151 is laminated four times and the organic layer 152 is laminated three times is exemplified, but the present invention is not limited thereto. The number of times that the inorganic layer 151 and the organic layer 152 are alternately stacked is not limited.

배리어층(140)은 유기 발광 소자(120) 및 박막 봉지층(150) 사이에 형성되며, 박막 봉지층(150)의 막질을 개선시킬 수 있으며, 진행성 암점에 의한 불량 발생을 방지할 수 있다. 이를 위해, 배리어층(140)은 제1 배리어층(141)과 제2 배리어층(142)을 포함할 수 있다. The barrier layer 140 is formed between the organic light emitting device 120 and the thin film encapsulation layer 150 to improve the film quality of the thin encapsulation layer 150 and to prevent the occurrence of defects due to progressive dark points. For this purpose, the barrier layer 140 may include a first barrier layer 141 and a second barrier layer 142.

제1 배리어층(141)은 유기 발광 소자(120) 상에 형성될 수 있으며, 제1 배리어층(141)과 유기 발광 소자(120) 사이에는 캡핑층(130) 상에 형성될 수 있다. 제1 배리어층(141)은 캡핑층(130) 상에 형성되며, 후술할 박막 봉지층(150)을 형성하는 공정시, 제2 배리어층(142)과 함께 유기 발광층(122)을 보호하는 역할을 수행할 수 있다.The first barrier layer 141 may be formed on the organic light emitting device 120 and may be formed on the capping layer 130 between the first barrier layer 141 and the organic light emitting device 120. The first barrier layer 141 is formed on the capping layer 130 and protects the organic light emitting layer 122 together with the second barrier layer 142 in the process of forming the thin film encapsulation layer 150 Can be performed.

제1 배리어층(141)은 알칼리 금속 함유 화합물을 포함할 수 있다. 알칼리 금속 함유 화합물로는 LiF가 사용될 수 있다. 또는, CsF, NaF, 및 Li2O 등이 사용될 수도 있다. The first barrier layer 141 may comprise an alkali metal-containing compound. As the alkali metal-containing compound, LiF may be used. Or, it may be used such as CsF, NaF, and Li 2 O.

제1 배리어층(141)은 약 100Å ~ 3000Å의 두께로 형성될 수 있다. 제1 배리어층(141)의 두께가 100Å보다 작다면 제1 배리어층(141)의 기능, 즉 유기 발광층(122)의 열화를 방지하는 기능을 수행할 수 없고, 3000Å 보다 크다면 제1 배리어층(141)에 응력(stress)이 크게 작용하며, 박리되기 용이해지는 문제가 있다.The first barrier layer 141 may be formed to a thickness of about 100 Å to 3000 Å. If the thickness of the first barrier layer 141 is less than 100 angstroms, the function of the first barrier layer 141, that is, the function of preventing deterioration of the organic light emitting layer 122, can not be performed. There is a problem that stress acts largely on the base plate 141 and it becomes easy to peel off.

제2 배리어층(142)은 제1 배리어층(141) 상에 형성되며, 박막 봉지층(150)의 하부에 형성된다. 제2 배리어층(142)의 상부면은 박막 봉지층(150)의 하부면과 직접 접촉하도록 형성될 수 있다. 제2 배리어층(142)은 박막 봉지층(150)의 바로 아래에 개재됨으로써, 제2 배리어층(142) 상에 성막되는 박막 봉지층(150)의 막질을 개선할 수 있다. 또한, 무기 산화물을 포함하는 무기층(151)의 형성 공정에서 생성되는 고에너지 산소 입자의 투과를 효과적으로 저지할 수 있다.The second barrier layer 142 is formed on the first barrier layer 141 and is formed under the thin-film encapsulation layer 150. The upper surface of the second barrier layer 142 may be formed to be in direct contact with the lower surface of the thin-film encapsulating layer 150. The second barrier layer 142 is interposed directly under the thin film encapsulation layer 150 to improve the film quality of the thin encapsulation layer 150 formed on the second barrier layer 142. Further, the permeation of the high-energy oxygen particles generated in the step of forming the inorganic layer 151 containing the inorganic oxide can be effectively prevented.

제2 배리어층(142)은 비정질 무기 산화물을 포함할 수 있다. 예컨대, 제2 배리어층(142)은 SiO, TiOx, MoOx, ZnO, ZnSnOx, 및 AlOxNy를 포함하는 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. The second barrier layer 142 may comprise an amorphous inorganic oxide. For example, the second barrier layer 142 may include at least one selected from the group consisting of SiO, TiO x , MoO x , ZnO, ZnSnO x , and AlO x N y .

제2 배리어층(142)의 일부 영역은 다른 영역에 비하여 산소의 농도가 높게 형성될 수 있다. 예컨대, 제2 배리어층(142)이 SiO로 형성된 경우, 전체적으로 제2 배리어층(142)은 SiO를 포함하되 국소적으로 SiO2 가 포함될 수 있다. 이와 같은 현상은, 후술할 무기층(151)의 형성 공정시 고에너지 산소 입자가 제2 배리어층(142)과 결합하면서 제2 배리어층(142)에 캡쳐되기 때문으로, 이에 대한 내용은 도 6a 및 도 6b를 참조하여 해당 부분에서 자세하게 설명한다. A portion of the second barrier layer 142 may have a higher concentration of oxygen than the other regions. For example, if the second barrier layer 142 is formed of SiO 2, the second barrier layer 142 may include SiO 2 as a whole but may include SiO 2 locally. This is because the high energy oxygen particles are captured in the second barrier layer 142 while being bonded to the second barrier layer 142 in the process of forming the inorganic layer 151 to be described later. And FIG. 6B.

제2 배리어층(142)은 약 10Å ~ 100Å의 두께로 형성될 수 있다. 제2 배리어층(142)의 두께가 10Å보다 작다면 박막 봉지층(150)을 형성하는 공정시 발생하는 고에너지 입자로부터 유기 발광층(122)을 보호하기 어렵고, 제2 배리어층(142)을 형성하기 위한 공정제어가 어려우며, 100Å 보다 크다면 광효율이 약 10% 정도 줄어들어 발광효율을 저하시키는 문제가 있다. 제2 배리어층(142)의 두께가 10Å보다 작은 경우 박막 봉지층(150)을 형성하는 공정시 발생하는 고에너지 입자로부터 유기 발광층(122)을 보호하기 어려운 것은 도 6a 및 도 6b의 그래프를 참조한 해당 설명 부분에서 확인할 수 있으며, 제2 배리어층(142)의 두께가 100Å보다 큰 경우의 문제는 도 8a 내지 도 8c, 특히 도 8a의 그래프를 참조한 해당 설명 부분에서 확인할 수 있다.The second barrier layer 142 may be formed to a thickness of about 10 Å to 100 Å. If the thickness of the second barrier layer 142 is less than 10 angstroms, it is difficult to protect the organic light emitting layer 122 from high energy particles generated during the process of forming the thin film encapsulation layer 150, And if it is larger than 100 ANGSTROM, the light efficiency is reduced by about 10%, which causes a problem of lowering the luminous efficiency. When the thickness of the second barrier layer 142 is less than 10 angstroms, it is difficult to protect the organic light-emitting layer 122 from the high energy particles generated in the process of forming the thin film encapsulation layer 150, And the problem in the case where the thickness of the second barrier layer 142 is larger than 100 angstroms can be confirmed in the corresponding description with reference to the graphs of FIGS. 8A to 8C, particularly FIG. 8A.

이하에서는 비교예를 참조하여, 배리어층(140)의 기능에 대하여 보다 구체적으로 설명한다. Hereinafter, the function of the barrier layer 140 will be described in more detail with reference to a comparative example.

도 3은 본 발명의 비교에에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다. 3 is a view schematically showing an organic light emitting diode display according to a comparison of the present invention.

비교예에 따른 유기 발광 표시 장치는, 기판, 기판 상에 형성된 유기 발광 소자(20), 캡핑층(30), 배리어층(40) 및 박막 봉지층(50)을 포함한다. 비교예에 따른 배리어층(40)은 본 발명의 실시예에 따른 제1 배리어층(141)과 실질적으로 동일하며, 제2 배리어층(142)을 포함하지 않는 점에서만 차이가 있다. The organic light emitting diode display according to the comparative example includes a substrate, an organic light emitting diode 20 formed on the substrate, a capping layer 30, a barrier layer 40, and a thin sealing layer 50. The barrier layer 40 according to the comparative example is substantially the same as the first barrier layer 141 according to the embodiment of the present invention and differs only in that it does not include the second barrier layer 142.

이하에서는 설명의 편의를 위하여, 비교예에 따른 배리어층(40)은 LiF로 구성된 경우를 설명하며, 본 발명의 실시예에 따른 배리어층(140)은 LiF로 구성된 제1 배리어층(141)과, 비정질 무기 산화물 중 SiO으로 구성된 제2 배리어층(142)을 포함하는 경우로 설명한다.The barrier layer 140 according to an embodiment of the present invention includes a first barrier layer 141 made of LiF and a second barrier layer 140 made of LiF. , And a second barrier layer 142 composed of SiO in amorphous inorganic oxide.

먼저, 비교예와 실시예에 따른 배리어층(40, 140)의 결정 구조를 살펴보면 다음과 같다.First, the crystal structures of the barrier layers 40 and 140 according to the comparative example and the example will be described.

비교예에 따른 배리어층(40)의 LiF의 결정 구조는, 도 4에 나타난 사진과 같다. 도 4는 LiF으로 구성된 배리어층(40)의 SEM(Scanning Electron Microscope) 사진이다. 도 4에 나타난 바와 같이, LiF의 배리어층(40)은 컬럼(column) 구조를 갖는다. The crystal structure of LiF in the barrier layer 40 according to the comparative example is the same as that shown in Fig. 4 is an SEM (Scanning Electron Microscope) photograph of the barrier layer 40 made of LiF. As shown in FIG. 4, the barrier layer 40 of LiF has a columnar structure.

본 발명의 실시예에 따른 배리어층(140)의 LiF와 SiO의 결정 구조는 도 5a 및 도 5b에 나타난 바와 같다. 도 5a에 나타난 바와 같이 제1 배리어층(141)의 LiF는 도 4와 같이 컬럼 구조를 갖는 반면, 제2 배리어층(142)의 SiO는 비정형의 구조를 갖는다. 본 실시예에 따른 배리어층(140)은 비정질 무기 산화물을 갖는 제2 배리어층(142)을 구비함으로써, 고에너지 입자의 확산을 저지하고 진행성 암점을 효과적으로 억제할 수 있으며, 무기층(151)의 막질을 개선하는 등의 효과를 나타낼 수 있다. 이를 자세하게 살펴보면 다음과 같다.The crystal structure of LiF and SiO in the barrier layer 140 according to the embodiment of the present invention is as shown in Figs. 5A and 5B. As shown in FIG. 5A, the LiF of the first barrier layer 141 has a columnar structure as shown in FIG. 4, while the SiO of the second barrier layer 142 has an irregular structure. The barrier layer 140 according to the present embodiment includes the second barrier layer 142 having an amorphous inorganic oxide so that diffusion of high energy particles can be prevented and the progressive dark spot can be effectively suppressed. Improving the film quality and the like. The details are as follows.

고에너지 입자의 확산 저지 및 진행성 Diffusion inhibition and progression of high energy particles 암점Scotch 억제 control

배리어층(40, 140) 상에는 박막 봉지층(50, 150)의 무기층(51, 151)이 형성되는데, 이 경우 무기층(51, 151)은 산화물을 포함할 수 있다. 무기층(151)이 형성될 때, 무기층(51, 151) 형성 공정에서 고에너지를 갖는 입자, 예컨대 산소 원자는 배리어층(40, 140)에 입사될 수 있는데, 이 때 배리어층(40, 140)에 입사되는 산소 원자의 거동을 살펴보면 다음의 도 6a 및 도 6b에 나타난 그래프와 같다.The inorganic layers 51 and 151 of the thin film encapsulation layers 50 and 150 are formed on the barrier layers 40 and 140. In this case, the inorganic layers 51 and 151 may include an oxide. Particles having a high energy such as oxygen atoms may be incident on the barrier layers 40 and 140 in the step of forming the inorganic layers 51 and 151 when the inorganic layer 151 is formed. 140 are shown in the graphs shown in FIGS. 6A and 6B.

도 6a 및 도 6b은 고에너지 산소 원자가 배리어층(40, 140)에 입사하였을 때의 거동을 나타낸 그래프로서, 도 6a은 LiF의 배리어층(40)과 SiO의 제2 배리어층(142)에 입사한 산소 원자의 에너지 변화를 나타낸 그래프이고, 도 6b은 LiF의 배리어층(40)과 SiO의 제2 배리어층(142)에 입사한 산소 원자의 침투 깊이를 나타낸 그래프이다. 보다 구체적으로, 도 6a 및 도 6b에서는, LiF의 배리어층(40)과 SiO의 제2 배리어층(142)에 입사한 산소 원자는 10eV의 에너지를 갖는 경우와 20eV의 에너지를 갖는 경우에 대한 값을 나타낸다.6A and 6B are graphs showing the behavior when the high-energy oxygen atoms are incident on the barrier layers 40 and 140. FIG. 6A is a graph showing the behavior when the barrier layer 40 of LiF and the second barrier layer 142 of SiO are incident 6B is a graph showing penetration depths of oxygen atoms incident on the barrier layer 40 of LiF and the second barrier layer 142 of SiO. More specifically, in Figs. 6A and 6B, the oxygen atoms incident on the barrier layer 40 of LiF and the second barrier layer 142 of SiO have a value of 10 eV and a value of 20 eV .

도 6a 및 도 6b을 참조하면, 비교예에 따른 배리어층(40)에 고에너지 산소 원자가 입사한 경우를 살펴보면, 산소 원자가 LiF의 표면에 닿은 후 내부로 침투하면서 Li와 F 원자들에 의한 마찰에 의해 점차적으로 속력이 줄어드는 것을 확인할 수 있다. 이 때, 산소 원자는 주변의 Li와 F원자들과 화학적으로 결합하지 않으면서 결정 격자 내의 침입형자리(interstitial site)를 돌아다닌다. LiF의 배리어층(40)을 침투한 산소 원자들은, 이후 충분한 온도가 주어진다면 LiF의 배리어층(40)의 바깥쪽, 즉 LiF의 하부에 위치한 캡핑층(30)으로 방출되어 진행성 암점의 원인이 될 수 있다.Referring to FIGS. 6A and 6B, when a high-energy oxygen atom enters the barrier layer 40 according to the comparative example, oxygen atoms penetrate into the surface of the LiF, It can be seen that the speed gradually decreases. At this time, the oxygen atoms travel around the interstitial site in the crystal lattice without chemically bonding to the surrounding Li and F atoms. The oxygen atoms penetrating the barrier layer 40 of LiF are then released to the capping layer 30 located outside of the barrier layer 40 of LiF, i. E. Below the LiF, given a sufficient temperature to cause the progressive dark spot .

그러나, 본 발명의 실시예에 따른 배리어층(140)에 고에너지 산소 원자가 입사한 경우는 다르다.However, the case where the high energy oxygen atoms are incident on the barrier layer 140 according to the embodiment of the present invention is different.

도 6a 및 도 6b을 참조하면, 실시예에 따른 배리어층(140)에 고에너지 산소 원자가 입사한 경우를 살펴보면, 산소 원자는 먼저 SiO의 제2 배리어층(142)에 침투하게 된다. SiO의 제2 배리어층(142)에 투입된 산소 원자는 SiO 결정 구조의 공극 부분을 한동안 자유롭게 유동하다가, Si 또는 O 원자를 만나면서 에너지를 잃으면서 화학 결합을 형성한다. 화학 결합을 통해 산소 원자는 제2 배리어층(142)의 내부에 캡쳐되며, 제2 배리어층(142)의 내부에는 국소적으로 SiO2 가 형성된다. 즉, 제2 배리어층(142)의 내부는 전체적으로 SiO를 포함하되 국소적으로 O의 농도가 높은, 즉 SiO2가 형성된 영역이 구비될 수 있다. SiO2는 광투과도가 우수하므로 배리어층(140)의 전체적 광학적 성능을 개선시킬 수 있다.Referring to FIGS. 6A and 6B, when a high energy oxygen atom is incident on the barrier layer 140 according to an embodiment, the oxygen atoms first penetrate the second barrier layer 142 of SiO 2. The oxygen atoms injected into the second barrier layer 142 of SiO 2 flow freely over a period of time in the void portion of the SiO 2 crystal structure and form a chemical bond by losing energy while meeting Si or O atoms. Oxygen atoms are captured inside the second barrier layer 142 through chemical bonding, and SiO 2 is locally formed inside the second barrier layer 142. That is, the inside of the second barrier layer 142 may include a region including SiO 2 as a whole but having a high concentration of O locally, that is, a region formed with SiO 2 . SiO 2 can improve the overall optical performance of the barrier layer 140 because of its excellent light transmittance.

이와 같이 제2 배리어층(142)의 내부에 캡쳐된 산소 원자는, 이후 배리어층(140)이 특정 온도에 노출되더라도 화학 결합이 분해되지 않는 한, 캡핑층(130)을 향해 이동하지 않는다. 뿐만 아니라, 설령 제2 배리어층(142)의 내부에 캡쳐된 산소 원자가 제2 배리어층(142)를 투과한다 하더라도, 제2 배리어층(142) 하부에 LiF의 제1 배리어층(141)이 더 구비되므로 산소 원자의 진행은 제1 배리어층(141)의 상부 영역에서 억제될 수 있다.Thus, the oxygen atoms captured in the second barrier layer 142 do not move toward the capping layer 130 unless the chemical bond is decomposed, even if the barrier layer 140 is exposed to a specific temperature. In addition, even if the oxygen atoms captured in the second barrier layer 142 pass through the second barrier layer 142, the first barrier layer 141 of LiF may be further under the second barrier layer 142 So that the progress of the oxygen atoms can be suppressed in the upper region of the first barrier layer 141.

도 6b을 참조하여 산소 원자의 침투 깊이를 살펴보면, 침투 깊이의 경우 LiF의 배리어층(140)의 침투 깊이가 SiO를 포함하는 배리어층(140)의 침투 깊이 보다 작지만 큰 차이는 아니며, 약 20eV의 에너지를 갖는 입자(산소 입자)의 운동을 저지하기 위해 SiO의 두께를 약 1nm(10Å) 이상 형성하면 충분하다.6B, the depth of penetration of the oxygen atoms in the barrier layer 140 of LiF is smaller than the depth of penetration of the barrier layer 140 including SiO, but not in the case of the depth of penetration, It is sufficient to form the SiO 2 to have a thickness of about 1 nm (10 ANGSTROM) or more in order to prevent the movement of particles having energy (oxygen particles).

도 6a 및 도 6b을 참조하여 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면 배리어층(140)이 비정질 무기 산화물을 포함하는 제2 배리어층(142)을 구비함으로써, 배리어층(140) 형성 이후의 무기층(151) 형성 공정시 야기되는 고에너지 입자의 확산을 저지할 수 있다. 따라서, 진행성 암점을 예방할 수 있으며, 고에너지 입자에 의한 유기 발광층(122)의 손상을 예방할 수 있다.6A and 6B, according to the embodiment of the present invention, since the barrier layer 140 includes the second barrier layer 142 including the amorphous inorganic oxide, It is possible to prevent the diffusion of high energy particles caused in the step of forming the inorganic layer 151. Therefore, progressive scarring can be prevented, and damage of the organic light emitting layer 122 due to high energy particles can be prevented.

무기층(151)의The thickness of the inorganic layer 151 막질 개선 Improve membrane quality

또한, 본 발명의 실시예에 따른 배리어층(140)은 비정질 무기 산화물의 제2 배리어층(142)을 구비함으로써, 무기층(151)의 막질을 개선할 수 있다. 이하에서는, 무기층(151)의 막질 개선 효과를 도 7을 참조하여 설명한다.In addition, the barrier layer 140 according to the embodiment of the present invention includes the second barrier layer 142 of amorphous inorganic oxide, so that the film quality of the inorganic layer 151 can be improved. Hereinafter, the effect of improving the film quality of the inorganic layer 151 will be described with reference to FIG.

도 7은 비교예에 따른 배리어층(40) 상에 무기층(51)이 형성된 상태를 나타낸 SEM 사진이다. 7 is an SEM photograph showing a state in which the inorganic layer 51 is formed on the barrier layer 40 according to the comparative example.

도 7을 참조하면, LiF의 배리어층(40) 상에 AlOx의 무기층(51)이 형성된 경우 핀홀(pin hole)이 다수 형성된 것을 확인할 수 있다. 이는, 도 4에 도시된 바와 같은 구조의 LiF의 배리어층(40)에 영향을 받은 것으로 예상된다. 즉, 컬럼 구조의 LiF 배리어층(40) 상에 형성되는 무기층(151)은, LiF의 컬럼 구조에 영향을 받으므로 다수의 핀홀이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 7, it can be seen that a plurality of pin holes are formed when the inorganic layer 51 of AlO x is formed on the barrier layer 40 of LiF. This is expected to be influenced by the barrier layer 40 of LiF having the structure as shown in Fig. That is, since the inorganic layer 151 formed on the LiF barrier layer 40 of the column structure is affected by the columnar structure of LiF, a large number of pinholes can be formed.

그러나, 본 발명의 실시예에 따른 배리어층(140)은 LiF의 제1 배리어층(141)과 무기층(151) 사이에 비정형의 구조를 갖는 제2 배리어층(142)을 형성하므로 핀홀의 형성을 예방할 수 있고, 따라서 무기층(151)의 막질을 개선할 수 있다. However, since the barrier layer 140 according to the embodiment of the present invention forms the second barrier layer 142 having an irregular structure between the first barrier layer 141 of LiF and the inorganic layer 151, And thus the film quality of the inorganic layer 151 can be improved.

제2 배리어층(142)은 비정형의 결정 구조를 가지므로, 컬럼 구조를 갖는 제1 배리어층(141)이 무기층(151)의 결정 구조에 영향을 미치는 것을 원천적으로 차단할 수 있다. 또한, 제2 배리어층(142)의 결정 구조는 비정형으로서 컬럼 구조가 아니므로, 무기층(151) 내부에서 두께 방향을 따라 형성되는 핀홀의 형성을 억제할 수 있다.Since the second barrier layer 142 has an amorphous crystal structure, it is possible to originally prevent the first barrier layer 141 having a column structure from affecting the crystal structure of the inorganic layer 151. In addition, since the crystal structure of the second barrier layer 142 is irregular and not a columnar structure, the formation of pinholes along the thickness direction inside the inorganic layer 151 can be suppressed.

만약, 무기층(151)을 원자증착(ALD: atomic layer deposition)법에 의해 형성하는 경우, TMA(Trimethyl Aluminum)을 사용할 수 있다. 이 때 TMA의 응착 에너지(adhesion energy)를 계산해보면 LiF에 대한 TMA의 응착에너지는 0.18eV인데 반하여, SiO에 대한 TMA의 응착 에너지는 1.32eV로 약 8배 가량 높다. 따라서, SiO를 포함하는 제2 배리어층(142) 상에 무기층(151)을 형성하는 경우 무기층(151)의 막질이 더욱 개선될 수 있다.If the inorganic layer 151 is formed by atomic layer deposition (ALD), TMA (Trimethyl Aluminum) may be used. The adhesion energy of TMA to LiF is about 0.18 eV, whereas the adhesion energy of TMA to SiO is about 8 times higher than 1.32 eV. Therefore, when the inorganic layer 151 is formed on the second barrier layer 142 including SiO, the film quality of the inorganic layer 151 can be further improved.

본 실시예에 따른 비정질 무기 산화물을 포함하는 제2 배리어층(142)은, 상술한 바와 같은 장점을 가지고 있으나, 두께가 증가할수록 광효율이 저하되므로 제2 배리어층(142)만으로 배리어층(140)을 구성할 수 없다. 이를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.The second barrier layer 142 including the amorphous inorganic oxide according to the present embodiment has the advantages described above. However, since the light efficiency decreases as the thickness increases, the barrier layer 140 may be formed only of the second barrier layer 142, Can not be constructed. Specifically, it is as follows.

도 8a는 SiO의 제2 배리어층(142)의 두께에 따른 청색 소자의 효율 및 CIE 1931 색좌표 중 y 좌표 값(CiEy)을 나타낸 그래프이고, 도 8b 및 도 8c는 SiO의 제2 배리어층(142)의 두께에 따른 투과율 및 반사율을 나타낸 그래프이다. 유기 발광 소자(120)를 구성하는 적색, 녹색, 청색(R, G, B) 소자 중 특히 청색 소자의 효율 저하가 두드러지므로, 도 8a에서는 청색 소자에 대해서 살펴본다. 한편, 도 8a 내지 도 8c에서, 제2 배리어층(142)은 약 500Å의 두께로 형성된 LiF의 제1 배리어층(141) 상에 형성된 경우를 나타낸다. 8A is a graph showing the efficiency of the blue element and the y coordinate value CiEy among the CIE 1931 color coordinates according to the thickness of the second barrier layer 142 of SiO 2 and FIGS. 8B and 8C are graphs showing the y coordinate value CiEy of the SiO 2 second barrier layer 142 ) And a reflectivity according to the thickness of the transparent substrate. Efficiency deterioration of the blue element among the red, green, and blue (R, G, B) elements constituting the organic light emitting element 120 becomes conspicuous. Therefore, the blue element will be examined in FIG. Meanwhile, 8A to 8C, the second barrier layer 142 is formed on the first barrier layer 141 of LiF formed to a thickness of about 500 ANGSTROM.

도 8a 내지 도 8c를 참조하면, SiO의 두께가 증가할수록 청색 소자의 효율이 점차 저하되고 CiEy값이 낮게 나타나며, 투과율 및 반사율이 저하되는 것을 확인할 수 있다. CiEy 값이 낮게 나타날수록 발광되는 빛이 구현하고자 하는 청색에 가까운 경우에 해당한다. 도 8a를 참조하면, 특히 SiO의 두께가 약 10nm(100Å)만 되어도 효율이 10% 감소하는 것을 확인할 수 있다. 즉, 광학적으로는 제2 배리어층(142)의 두께가 얇을수록 좋다. 따라서, 광학적 조건을 만족하면서 고에너지 입자의 침투를 억제하기 위하여, 배리어층(140)은 제2 배리어층(142)과 제1 배리어층(141)을 함께 구비하는 것이 바람직하다.Referring to FIGS. 8A to 8C, as the thickness of SiO is increased, the efficiency of the blue element is gradually decreased, the CiEy value is lowered, and the transmittance and reflectance are lowered. The lower the value of CiEy is, the closer the emitted light is to the desired blue color. Referring to FIG. 8A, it can be seen that the efficiency is reduced by 10% even when the thickness of SiO is only about 10 nm (100 ANGSTROM). In other words, the thickness of the second barrier layer 142 is preferably as thin as possible. Therefore, it is preferable that the barrier layer 140 includes the second barrier layer 142 and the first barrier layer 141 in order to suppress penetration of the high energy particles while satisfying the optical condition.

이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(100)를 형성하는 공정을 설명한다.Hereinafter, a process of forming the OLED display 100 according to an embodiment of the present invention will be described.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(100)를 형성하는 공정을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.9 is a flowchart schematically illustrating a process of forming the OLED display 100 according to an embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 단계 S910에서, 기판(110) 상에 유기 발광 소자(120)를 형성한다. 기판(110)은 가요성 기판으로서, 상술한 바와 같은 내열성 및 내구성이 우수한 고분자를 포함하는 플라스틱 기판일 수 있다. 가요성 기판은 가요성 기판을 지지하는 유리 등으로 구성된 지지 기판(미도시) 상에 배치될 수도 있다. 지지 기판(미도시)은 모든 공정이 끝난 후, 또는 공정 중에 제거될 수 있다.Referring to FIG. 9, in step S910, an organic light emitting element 120 is formed on a substrate 110. [ The substrate 110 is a flexible substrate, and may be a plastic substrate containing a polymer having excellent heat resistance and durability as described above. The flexible substrate may be disposed on a supporting substrate (not shown) made of glass or the like for supporting the flexible substrate. The support substrate (not shown) may be removed after all processes are completed or during the process.

유기 발광 소자(120)는 제1 전극(121), 유기 발광층(122), 및 제2 전극(123)을 포함하며, 이들은 공지의 방법에 따라 형성될 수 있다.The organic light emitting diode 120 includes a first electrode 121, an organic light emitting layer 122, and a second electrode 123, which may be formed according to a known method.

제1 전극(121)은 반사 전극이고, 제2 전극(123)은 투명 또는 반투명 전극일 수 있다. 따라서, 유기 발광층(122)에서 발생된 광은 제2 전극(123) 방향으로 직접 또는 제1 전극(121)에 의해 반사되어 방출될 수 있다. 이 때, 제2 전극(123)을 반투명 전극으로 형성하여 제1 전극(121)과 제2 전극(123)에 의한 공진 구조를 형성할 수도 있다. The first electrode 121 may be a reflective electrode and the second electrode 123 may be a transparent or semitransparent electrode. Accordingly, the light generated in the organic light emitting layer 122 can be directly reflected toward the second electrode 123 or reflected by the first electrode 121, and then emitted. At this time, the second electrode 123 may be formed as a semi-transparent electrode to form a resonance structure of the first electrode 121 and the second electrode 123.

유기 발광층(122)은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물일 수 있으며, 구체적 물질은 앞서 설명한 바와 같다. 제1 전극(121)과 제2 전극(123) 사이에 유기 발광층(122) 이외에, 상술한 바와 같은 중간층이 선택적으로 더 형성될 수 있음은 물론이다.The organic luminescent layer 122 may be a low molecular organic material or a polymer organic material, and specific materials are as described above. The intermediate layer may be selectively formed between the first electrode 121 and the second electrode 123 in addition to the organic emission layer 122.

기타, 유기 발광 소자(120)를 구동시키기 위한 소자/배선층이 기판(110) 상에 더 형성될 수 있다. 소자/배선층은 유기 발광 소자(120)를 구동시키는 구동시키는 구동 박막트랜지스터, 스위칭 박막트랜지스터, 커패시터, 상기 박막트랜지스터나 커패시터에 연결되는 배선들을 포함할 수 있다.In addition, a device / wiring layer for driving the organic light emitting diode 120 may be further formed on the substrate 110. The device / wiring layer may include a driving thin film transistor for driving the organic light emitting diode 120, a switching thin film transistor, a capacitor, and a wiring connected to the thin film transistor or the capacitor.

단계 S920에서, 캡핑층(130)을 형성한다.In step S920, a capping layer 130 is formed.

캡핑층(130)은 유기 발광 소자(120) 상에, 보다 구체적으로 제2 전극(123) 상에 형성될 수 있다. 캡핑층(130)은 유기물, 무기물 또는 이들의 혼합물을 포함할 수 있으며, 구체적 물질은 앞서 설명한 바와 같다. The capping layer 130 may be formed on the organic light emitting diode 120, more specifically, on the second electrode 123. The capping layer 130 may include an organic material, an inorganic material, or a mixture thereof, and specific materials are as described above.

단계 S930에서, 제1 배리어층(141)을 형성한다. In step S930, the first barrier layer 141 is formed.

제1 배리어층(141)은 알칼리 금속 함유 화합물로 형성할 수 있으며, 알칼리 금속 함유 화합물로는 LiF가 사용될 수 있다. 또는 CsF, NaF, 또는 Li2O 가 사용될 수 있다. 제1 배리어층(141)은 열증착(Thermal evaporation)법에 의하여 형성될 수 있다. 열증착법에 의해 제1 배리어층(141)을 형성함으로써,_다른 유기막에 미치는 데미지(damage)를 최소화할 수 있다.The first barrier layer 141 may be formed of an alkali metal-containing compound, and the alkali metal-containing compound may be LiF. Or may be used, CsF, NaF, or Li 2 O. The first barrier layer 141 may be formed by a thermal evaporation method. By forming the first barrier layer 141 by the thermal evaporation method, the damage to other organic films can be minimized.

제1 배리어층(141)은 약 100Å ~ 3000Å의 두께로 형성될 수 있다. 제1 배리어층(141)의 두께가 100Å보다 작다면 제1 배리어층(141)의 기능, 즉 유기 발광층(122)의 열화를 방지하는 기능을 수행할 수 없고, 3000Å 보다 크다면 제1 배리어층(141)에 응력(stress)이 크게 작용하며, 박리되기 용이해지는 문제가 있다.The first barrier layer 141 may be formed to a thickness of about 100 Å to 3000 Å. If the thickness of the first barrier layer 141 is less than 100 angstroms, the function of the first barrier layer 141, that is, the function of preventing deterioration of the organic light emitting layer 122, can not be performed. There is a problem that stress acts largely on the base plate 141 and it becomes easy to peel off.

단계 S940에서, 제2 배리어층(142)을 형성한다.In step S940, a second barrier layer 142 is formed.

제2 배리어층(142)은 제1 배리어층(141) 상에 형성되며, 비정질 무기 산화물으로 형성될 수 있다. 예컨대, 제2 배리어층(142)은 SiO, TiOx, MoOx, ZnO, ZnSnOx, 및 AlOxNy를 포함하는 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 제2 배리어층(142)은 열증착(Thermal evaporation)법에 의하여 형성될 수 있다.The second barrier layer 142 is formed on the first barrier layer 141 and may be formed of an amorphous inorganic oxide. For example, the second barrier layer 142 may include at least one selected from the group consisting of SiO, TiO x , MoO x , ZnO, ZnSnO x , and AlO x N y . The second barrier layer 142 may be formed by a thermal evaporation method.

제2 배리어층(142)은 약 10Å ~ 100Å의 두께로 형성될 수 있다. 제2 배리어층(142)의 두께가 10Å보다 작다면 도 6a 및 도 6b를 참조하여 설명한 바와 같이 고에너지 입자로부터 유기 발광층(122)을 보호하기 어렵고, 제2 배리어층(142)을 형성하기 위한 공정제어가 어렵다. 한편, 제2 배리어층(142)의 두께가 100Å 보다 크다면 도 8a 내지 도 8c를 참조하여 설명한 바와 같이 광학적 성능이 크게 저하되어 유기 발광 소자(120)의 발광효율을 저하시키는 문제가 있다.The second barrier layer 142 may be formed to a thickness of about 10 Å to 100 Å. If the thickness of the second barrier layer 142 is less than 10 angstroms, it is difficult to protect the organic light emitting layer 122 from the high energy particles as described with reference to FIGS. 6A and 6B, Process control is difficult. On the other hand, if the thickness of the second barrier layer 142 is greater than 100 ANGSTROM, there is a problem that the optical performance is significantly lowered as described with reference to FIGS. 8A to 8C, thereby lowering the luminous efficiency of the organic light emitting diode 120.

단계 S950에서, 박막 봉지층(150)을 형성한다.In step S950, the thin film encapsulation layer 150 is formed.

먼저, 제2 배리어층(142) 상에 무기층(151)을 형성할 수 있다. 무기층(151)은 무기 산화물로 형성될 수 있다. 예컨대, 무기층(151)은 AlOx, TiO2, ZrO, SiO2, AlON, SiON, ZnO, 및 Ta2O5 중 하나 이상의 무기물을 포함할 수 있다. 무기층(151)은 플라즈마 증착법, 또는 원자증착법에 의하여 형성될 수 있다.First, the inorganic layer 151 may be formed on the second barrier layer 142. The inorganic layer 151 may be formed of an inorganic oxide. For example, the inorganic layer 151 may include one or more minerals of AlO x, TiO 2, ZrO, SiO 2, AlON, SiON, ZnO, and Ta 2 O 5. The inorganic layer 151 may be formed by a plasma deposition method or an atomic deposition method.

특히, 앞서 설명한 바와 같이 원자 증착법에 사용되는 TMA의 SiO에 대한 응착 에너지가 높으므로, 무기층(151)은 원자 증착법에 의하여 형성되는 경우에 막질이 더욱 우수하다.In particular, as described above, since the adhesion energy of TMA used in the atomic deposition method to SiO is high, the inorganic layer 151 is more excellent in film quality when formed by atomic deposition.

다음으로, 무기층(151) 상에 유기층(152)을 형성할 수 있다. 유기층(152)은 폴리머(polymer)계열의 소재를 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 아크릴계 수지, 에폭시계 수지, 폴리이미드 및 폴리에틸렌 등을 포함할 수 있다. 유기층(152)은 무기층(151)의 내부 스트레스를 완화시키고, 무기층(151)의 결함을 보완하며 평탄화하는 역할을 할 수 있다.Next, the organic layer 152 may be formed on the inorganic layer 151. [ The organic layer 152 may include a polymer-based material. Examples of the polymer-based material may include an acrylic resin, an epoxy resin, polyimide, and polyethylene. The organic layer 152 may mitigate the internal stress of the inorganic layer 151 and may serve to complement and planarize the defects of the inorganic layer 151.

도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.10 is a cross-sectional view schematically showing an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention.

도 10을 참조하면, 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치도 유기 발광 소자(120), 박막 봉지층(150), 및 유기 발광 소자(120)와 박막 봉지층(150) 사이에 개재된 배리어층(140)을 포함하며, 박막 봉지층(150) 하부에 구비된 배리어층(140)은 제1 배리어층(141) 및 제2 배리어층(142)를 포함한다. 이들 구성의 구체적 설명은 앞서 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 내용과 같다.10, the organic light emitting display according to the present embodiment may also include an organic light emitting device 120, a thin film encapsulation layer 150, and a barrier layer 150 interposed between the organic light emitting device 120 and the thin encapsulation layer 150. [ And a barrier layer 140 provided under the thin film encapsulation layer 150 includes a first barrier layer 141 and a second barrier layer 142. A detailed description of these configurations is the same as that described above with reference to Figs. 1 and 2. Fig.

다만, 본 실시예에서는 유무기 복합층인 박막 봉지층(150)의 중간에 배치된 무기층(151) 하부에 배리어층(160)이 더 포함된 점에서 차이가 있다. However, in this embodiment, there is a difference in that the barrier layer 160 is further included under the inorganic layer 151 disposed in the middle of the thin film encapsulation layer 150 which is the organic / inorganic hybrid layer.

배리어층(160)은 제3 배리어층(161)과 제4 배리어층(162)을 포함하며, 무기층(151)의 하부라면 어디든지 배치될 수 있다. 제3 배리어층(161)은 실질적으로 제1 배리어층(141)과 동일하며, 제4 배리어층(162)은 제2 배리어층(142)와 동일하므로, 구체적 설명은 앞서 설명한 내용으로 갈음한다.The barrier layer 160 includes a third barrier layer 161 and a fourth barrier layer 162 and may be disposed anywhere on the lower surface of the inorganic layer 151. Since the third barrier layer 161 is substantially the same as the first barrier layer 141 and the fourth barrier layer 162 is the same as the second barrier layer 142, the detailed description is omitted.

배리어층(160)이 무기층(151)의 하부에 위치함으로써, 고에너지 입자로부터 유기 발광층(122)을 보호할 수 있으며, 진행성 암점을 억제할 수 있고, 무기층의 막질을 개선할 수 있음은 앞서 설명한 바와 같다.It is possible to protect the organic luminescent layer 122 from high energy particles by suppressing the progressive dark spot and improve the film quality of the inorganic layer by positioning the barrier layer 160 under the inorganic layer 151 As described above.

본 실시예에서는 3번째 무기층(151) 하부에 배리어층(160)이 형성된 경우를 도시하였으나, 본 발명은 이에 한정하지 않는다. 예컨대, 배리어층(16))은 2번째 또는 4번째 무기층(151)의 하부에 형성될 수 있음은 물론이다.Although the barrier layer 160 is formed under the third inorganic layer 151 in the present embodiment, the present invention is not limited thereto. (For example, the barrier layer 16) may be formed under the second or fourth inorganic layer 151.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위에는 본 발명의 요지에 속하는 한 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications and variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, it is intended that the appended claims cover all such modifications and variations as fall within the true spirit of the invention.

100: 유기 발광 표시 장치 110: 기판
20, 120: 유기 발광 소자 21, 121: 제1 전극
22, 122: 유기 발광층 23, 123: 제2 전극
30, 130: 캡핑층 40, 140: 배리어층
141: 제1 배리어층 142: 제2 배리어층
50, 150: 박막 봉지층 51, 151: 무기층
52, 152: 유기층100: organic light emitting diode display 110: substrate
20, 120: organic light emitting element 21, 121: first electrode
22, 122: organic light emitting layer 23, 123: second electrode
30, 130: capping layer 40, 140: barrier layer
141: first barrier layer 142: second barrier layer
50, 150: thin film encapsulating layer 51, 151: inorganic layer
52, 152: organic layer

Claims (10)

기판;
상기 기판 상에 위치하는 유기 발광 소자;
상기 유기 발광 소자를 덮는 박막 봉지층; 및
상기 유기 발광 소자 및 상기 박막 봉지층 사이에 개재되는 배리어층;을 포함하며,
상기 배리어층은,
알칼리 금속 함유 화합물을 포함하는 제1 배리어층, 또는 비정질의 무기 산화물을 포함하는 제2 배리어층을 구비하며,
상기 박막 봉지층은 유기층 및 무기층을 포함하는, 유기 발광 표시 장치.Board;
An organic light emitting diode (OLED) disposed on the substrate;
A thin film encapsulating layer covering the organic light emitting device; And
And a barrier layer interposed between the organic light emitting device and the thin film encapsulation layer,
The barrier layer
A first barrier layer comprising an alkali metal-containing compound, or a second barrier layer comprising an amorphous inorganic oxide,
Wherein the thin film encapsulation layer comprises an organic layer and an inorganic layer. 제1항에 있어서
상기 제1 배리어층은 LiF, CsF, NaF, 또는 Li2O 을 포함하는, 유기 발광 표시 장치.The method of claim 1, wherein
The first barrier layer, the organic light emitting display comprising a LiF, CsF, NaF, or Li 2 O. 제1항에 있어서,
상기 제2 배리어층은 SiO, TiOx, MoOx, ZnO, ZnSnOx, 및 AlOxNy 중 적어도 어느 하나를 포함하는, 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 1,
Wherein the second barrier layer comprises at least one of SiO, TiO x , MoO x , ZnO, ZnSnO x , and AlO x N y . 제1항에 있어서,
상기 배리어층은 상기 박막 봉지층의 상기 무기층 바로 아래에 배치된, 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 1,
Wherein the barrier layer is disposed directly below the inorganic layer of the thin-film encapsulation layer. 제4항에 있어서,
상기 배리어층은 상기 제2 배리어층을 포함하며, 상기 제2 배리어층의 상면은 상기 무기층과 직접 접촉하는, 유기 발광 표시 장치.5. The method of claim 4,
Wherein the barrier layer includes the second barrier layer, and the upper surface of the second barrier layer is in direct contact with the inorganic layer. 제5항에 있어서,
상기 제2 배리어층은, 다른 영역보다 상대적으로 산소의 농도가 높은 일부 영역을 포함하는, 유기 발광 표시 장치.6. The method of claim 5,
And the second barrier layer includes a part of the region having a higher concentration of oxygen relative to the other region. 제1항 또는 제5항에 있어서,
상기 무기층은 무기 산화물을 포함하는, 유기 발광 표시 장치.6. The method according to claim 1 or 5,
Wherein the inorganic layer comprises an inorganic oxide. 제1항 또는 제5항에 있어서,
상기 제2 배리어층의 두께는 10Å 내지 100Å인, 유기 발광 표시 장치.6. The method according to claim 1 or 5,
And the second barrier layer has a thickness of 10 to 100 ANGSTROM. 제1항에 있어서,
상기 제1 배리어층의 두께는 100Å 내지 3000Å인, 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 1,
Wherein the thickness of the first barrier layer is 100 ANGSTROM to 3000 ANGSTROM. 제1항에 있어서,
상기 박막 봉지층은,
상기 무기층, 상기 무기층 위의 상기 유기층, 및 상기 유기층 위의 무기층을 포함하는, 유기 발광 표시 장치.
The method according to claim 1,
The thin-
The organic layer on the inorganic layer, and the inorganic layer on the organic layer.
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