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KR20170080231A - Array Substrate, Fabricating Method Thereof, And Liquid Crystal Display Device Including The Same - Google Patents

Array Substrate, Fabricating Method Thereof, And Liquid Crystal Display Device Including The Same Download PDF

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KR20170080231A
KR20170080231A KR1020150191542A KR20150191542A KR20170080231A KR 20170080231 A KR20170080231 A KR 20170080231A KR 1020150191542 A KR1020150191542 A KR 1020150191542A KR 20150191542 A KR20150191542 A KR 20150191542A KR 20170080231 A KR20170080231 A KR 20170080231A
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layer
protrusion
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forming
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KR1020150191542A
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Inventor
전우열
이덕원
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명의 액정표시장치는, 기판 상에 이격된 게이트 배선 및 공통 배선과, 게이트 배선과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 배선과, 게이트 배선 및 데이터 배선에 연결된 박막 트랜지스터와, 박막트랜지스터를 덮는 보호층과, 보호층 상부의 화소영역에 위치하는 컬러필터층과, 공통 배선에 대응하여 보호층 상부에 위치하는 차광층과, 컬러필터층 및 차광층 상부에 위치하는 오버코트층과, 오버코트층 상부의 화소영역에 위치하는 화소전극 및 공통전극을 포함하고, 오버코트층은 공통 배선에 대응하여 제1 돌출부를 가지며, 제1 돌출부는 내부에 홀을 포함하는 고리 모양의 평면 구조를 가진다. 제1 돌출부는 대향 기판의 셀갭 유지를 위한 컬럼 스페이서와 접촉할 수 있다.A liquid crystal display device of the present invention includes a gate wiring and a common wiring line spaced on a substrate, a data line crossing the gate line and defining a pixel region, a thin film transistor connected to the gate wiring and the data wiring, A color filter layer located in a pixel region above the protective layer, a light shielding layer located above the protective layer in correspondence with the common wiring, an overcoat layer located above the color filter layer and the light shielding layer, And the overcoat layer has a first protrusion corresponding to the common wiring, and the first protrusion has an annular planar structure including a hole therein. The first projection may contact the column spacer for holding the cell gap of the counter substrate.

Description

어레이 기판과 그 제조 방법 및 이를 포함하는 액정표시장치{Array Substrate, Fabricating Method Thereof, And Liquid Crystal Display Device Including The Same}[0001] The present invention relates to an array substrate, a method of manufacturing the same, and a liquid crystal display device including the array substrate.

본 발명은 액정표시장치용 어레이 기판에 관한 것으로, 특히 컬러필터를 포함하는 어레이 기판과 그 제조 방법 및 이를 포함하는 액정표시장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an array substrate for a liquid crystal display, and more particularly to an array substrate including a color filter, a manufacturing method thereof, and a liquid crystal display including the same.

정보화 사회가 발전함에 따라 화상을 표시하기 위한 표시장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있으며, 액정표시장치(liquid crystal display device: LCD) 및 유기발광다이오드 표시장치(organic light emitting diode display device: OLED)와 같은 평판표시장치(flat panel display device: FPD)가 개발되어 다양한 분야에 적용되고 있다.BACKGROUND ART [0002] As an information society has developed, there have been various demands for a display device for displaying an image, and a liquid crystal display (LCD) device and an organic light emitting diode (OLED) Flat panel display devices (FPDs) have been developed and applied to various fields.

이들 평판표시장치 중에서, 액정표시장치는 소형화, 경량화, 박형화, 저전력 구동 등의 장점을 가지고 있어 널리 사용되고 있다. Among these flat panel display devices, liquid crystal display devices are widely used because they have advantages of miniaturization, weight reduction, thinning, low power driving, and the like.

액정표시장치는 액정의 광학적 이방성과 유전율 이방성을 이용하는 것으로, 두 기판과, 두 기판 사이의 액정층, 그리고 액정층의 액정분자를 구동하기 위한 화소전극과 공통전극을 포함한다. 따라서, 액정표시장치는, 화소전극과 공통전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정분자의 배열을 조절하고, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율에 의해 영상을 표시한다. 이러한 액정표시장치는 휴대폰이나 멀티미디어장치와 같은 휴대용 기기부터 노트북 또는 컴퓨터의 모니터, 그리고 대형 텔레비전에 이르기까지 다양하게 적용된다. The liquid crystal display device utilizes optical anisotropy and permittivity anisotropy of a liquid crystal and includes two substrates, a liquid crystal layer between two substrates, and a pixel electrode and a common electrode for driving liquid crystal molecules in the liquid crystal layer. Therefore, the liquid crystal display device adjusts the arrangement of liquid crystal molecules by an electric field generated by applying a voltage to the pixel electrode and the common electrode, and displays the image by the transmittance of light depending on the arrangement. Such a liquid crystal display device is applied to a variety of applications ranging from a portable device such as a mobile phone or a multimedia device to a monitor of a notebook computer or a computer, and a large television.

일반적으로 액정표시장치의 하부 기판에는 각 화소영역의 화소전극에 신호를 인가하기 위한 박막 트랜지스터가 형성되고, 상부 기판에는 각 화소영역에 대응하여 컬러필터가 형성된다. 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 기판은 어레이 기판이라 일컬어지고, 컬러필터를 포함하는 상부 기판은 컬러필터 기판이라 일컬어진다. In general, a thin film transistor for applying a signal to pixel electrodes of each pixel region is formed on a lower substrate of a liquid crystal display device, and a color filter is formed on an upper substrate corresponding to each pixel region. The lower substrate including the thin film transistor is referred to as an array substrate, and the upper substrate including the color filter is referred to as a color filter substrate.

이러한 액정표시장치는 두 기판을 각각 형성하고 어레이 기판의 화소전극과 컬러필터 기판의 컬러필터가 일대일 대응되도록 배치하는 공정을 통해 형성되는데, 두 기판을 배치하는 과정에서 오정렬(misalign)이 발생하여 불량이 생길 수 있다. 이를 방지하기 위해, 어레이 기판 및 컬러필터 기판 사이의 합착 마진을 고려하여 컬러필터 기판에 폭이 넓은 블랙 매트릭스를 형성할 수 있다. 그러나, 이러한 경우 액정표시장치의 개구율이 낮아지게 되며, 이에 따라, 화질이 영향을 받게 된다.Such a liquid crystal display device is formed through a process of forming two substrates and arranging the pixel electrodes of the array substrate and the color filters of the color filter substrate in a one-to-one correspondence relationship. In the process of arranging the two substrates, misalignment occurs, Can occur. In order to prevent this, it is possible to form a wide black matrix on the color filter substrate in consideration of the cohesion margin between the array substrate and the color filter substrate. However, in this case, the aperture ratio of the liquid crystal display device is lowered, and accordingly, the image quality is affected.

특히, 액정표시장치가 고해상도를 가짐에 따라 동일 면적 내에서 화소영역의 크기가 줄어들게 되므로, 적은 개구율의 차이에도 영상의 화질은 큰 영향을 받게 된다. In particular, as the liquid crystal display device has a high resolution, the size of the pixel area is reduced within the same area, so that the image quality of the image is greatly affected even with a small difference in aperture ratio.

한편, 어레이 기판과 컬러필터 기판 사이에는 두 기판 사이의 간격을 일정하게 유지하기 위한 스페이서가 위치한다. 최근에는 특정 위치에 원하는 형태로 형성 가능한 컬럼 스페이서가 널리 사용되며, 컬럼 스페이서는 상대적으로 공정수가 적은 컬러필터 기판 상에 주로 형성된다.On the other hand, a spacer is provided between the array substrate and the color filter substrate to maintain a constant gap between the two substrates. Recently, a column spacer which can be formed in a desired shape at a specific position is widely used, and a column spacer is formed mainly on a color filter substrate having a relatively small number of processes.

이러한 컬럼 스페이서를 포함하는 종래의 액정표시장치에 대해 도 1을 참조하여 설명한다.A conventional liquid crystal display device including such a column spacer will be described with reference to Fig.

도 1은 종래의 액정표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a conventional liquid crystal display device.

도 1에 도시한 바와 같이, 하부 기판(10)과 상부 기판(20)이 이격되어 배치되고, 하부 기판(10)과 상부 기판(20) 사이에는 액정층(30)이 위치한다. 상부 기판(20)의 내면에는 컬럼 스페이서(40)가 형성된다. 컬럼 스페이서(40)는 하부 기판(10)의 최상층(12)과 접촉하여 하부 기판(10)과 상부 기판(20) 사이의 간격을 유지한다.The lower substrate 10 and the upper substrate 20 are spaced apart from each other and the liquid crystal layer 30 is positioned between the lower substrate 10 and the upper substrate 20 as shown in FIG. On the inner surface of the upper substrate 20, a column spacer 40 is formed. The column spacer 40 contacts the uppermost layer 12 of the lower substrate 10 to maintain a gap between the lower substrate 10 and the upper substrate 20. [

이러한 컬럼 스페이서(40)는 일정 간격을 가지고 배치된다. 이에 따라, 컬럼 스페이서(40)가 없는 영역에서는 상부 기판(20)의 처짐이 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위해, 동일 면적 내에 컬럼 스페이서(40)의 개수를 증가시켜 컬럼 스페이서(40)의 배치 밀도를 높일 수 있다. 그러나, 이러한 경우 하부 기판(10)의 최상층(12)과 컬럼 스페이서(40)의 접촉 면적이 증가하여 터치 불량이 발생할 수 있다. 즉, 접촉 면적이 증가하게 되어 접촉 밀도가 높아지며, 이로 인해 상부 기판(20)의 유동이 자유롭지 못하여, 상부 기판(20)의 터치에 의해 액정분자가 이동된 후 원상태로 복귀하지 못함에 따라 얼룩이 발생할 수 있다. 특히, 블랙 상태에서 얼룩이 발생하여 콘트라스트 비를 저하시킬 수 있다.
These column spacers 40 are arranged at regular intervals. Accordingly, in the region where the column spacer 40 is not present, deflection of the upper substrate 20 may occur. In order to prevent this, the number of the column spacers 40 within the same area can be increased to increase the arrangement density of the column spacer 40. [ However, in this case, the contact area between the uppermost layer 12 of the lower substrate 10 and the column spacer 40 increases, and thus a touch failure may occur. That is, the contact area is increased and the contact density is increased. As a result, the flow of the upper substrate 20 is not free and the liquid crystal molecules are moved due to the touch of the upper substrate 20, . Especially, unevenness occurs in the black state, and the contrast ratio can be lowered.

본 발명은, 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제시된 것으로, 액정표시장치의 개구율을 향상시키고자 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems and aims to improve the aperture ratio of a liquid crystal display device.

또한, 본 발명은, 액정표시장치에서 기판의 처짐 및 터치 불량을 해결하고자 한다.
Further, the present invention is intended to solve deflection and touch failure of a substrate in a liquid crystal display device.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 액정표시장치는, 기판 상에 이격된 게이트 배선 및 공통 배선과, 상기 게이트 배선과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 배선과, 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선에 연결된 박막 트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터를 덮는 보호층과, 상기 보호층 상부의 상기 화소영역에 위치하는 컬러필터층과, 상기 공통 배선에 대응하여 상기 보호층 상부에 위치하는 차광층과, 상기 컬러필터층 및 상기 차광층 상부에 위치하는 오버코트층과, 상기 오버코트층 상부의 상기 화소영역에 위치하는 화소전극 및 공통전극을 포함하고, 상기 오버코트층은 상기 공통 배선에 대응하여 제1 돌출부를 가지며, 상기 제1 돌출부는 내부에 홀을 포함하는 고리 모양의 평면 구조를 가진다. In order to achieve the above object, a liquid crystal display device of the present invention includes: a gate wiring and a common wiring which are spaced on a substrate; a data wiring crossing the gate wiring and defining a pixel region; A protection layer covering the thin film transistor; a color filter layer located in the pixel region above the protection layer; a light shielding layer located above the protection layer in correspondence to the common wiring; And an overcoat layer positioned above the light-shielding layer, and pixel electrodes and a common electrode positioned in the pixel region above the overcoat layer, wherein the overcoat layer has a first protrusion corresponding to the common wiring, 1 projections have an annular planar structure including holes therein.

제1 돌출부의 홀은 공통 배선 상부에 위치하는 콘택홀일 수 있다. 이때, 콘택홀은 공통 배선을 노출할 수 있다. The hole of the first projection may be a contact hole located on the common wiring. At this time, the contact hole can expose the common wiring.

이러한 제1 돌출부는 대향 기판의 셀갭 유지를 위한 컬럼 스페이서와 접촉할 수 있다. This first projection may contact the column spacer for holding the cell gap of the counter substrate.

상기 오버코트층은 제1 화소영역에 대응하여 상기 제1 돌출부를 가지며, 제2 화소영역에 대응하여 상기 제1 돌출부보다 작은 폭과 두께를 갖는 제2 돌출부를 가질 수 있다.The overcoat layer may have the first protrusion corresponding to the first pixel area and the second protrusion corresponding to the second pixel area and having a width and a thickness smaller than the first protrusion.

이러한 오버코트층의 제1 및 제2 돌출부는 차단부와 투과부 및 반투과부를 포함하는 노광 마스크를 이용하여 형성될 수 있다.
The first and second projections of the overcoat layer may be formed using an exposure mask including a blocking portion, a transmissive portion, and a semi-transmissive portion.

본 발명에서는, 컬러필터를 어레이 기판에 형성하여 액정표시장치의 개구율을 높일 수 있다.In the present invention, the color filter can be formed on the array substrate to increase the aperture ratio of the liquid crystal display device.

또한, 어레이 기판 상의 단차 구조에 의해 셀갭 유지를 위한 컬럼 스페이서의 수량을 증가시켜 기판의 처짐을 방지하면서, 컬럼 스페이서의 접촉 면적을 감소시켜 터치 불량을 방지할 수 있다. In addition, the stepped structure on the array substrate can increase the number of column spacers for maintaining the cell gap, preventing sagging of the substrate, and reducing the contact area of the column spacer, thereby preventing touch failure.

이때, 컬럼 스페이서를 콘택홀 상부에 배치함으로써, 컬럼 스페이서의 배치에 제약이 없으며, 개구율을 더욱 높일 수 있다. At this time, by arranging the column spacer above the contact hole, there is no restriction on the arrangement of the column spacer, and the aperture ratio can be further increased.

한편, 이러한 단차 구조는 어레이 기판 상에 공정의 추가 없이 형성할 수 있다.
On the other hand, this step structure can be formed on the array substrate without adding a process.

도 1은 종래의 액정표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판의 개략적인 평면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판의 개략적인 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치를 개략적으로 도시한 단면도로, 도 5의 VIA-VI선과 VIB-VIB선 그리고 VIC-VIC선에 대응하는 단면을 도시한다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 제2 돌출부를 위에서 본 3차원 현미경 영상이다.
도 8a 내지 도 8f는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 공정 중 각 단계에서 어레이 기판을 개략적으로 도시한 단면도로, 도 5의 VIA-VI선과 VIB-VIB선 그리고 VIC-VIC선에 대응하는 단면을 도시한다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
1 is a cross-sectional view schematically showing a conventional liquid crystal display device.
2 is a cross-sectional view schematically showing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic plan view of an array substrate for a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention.
4 is a schematic cross-sectional view of an array substrate for a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view schematically showing a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view schematically showing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention, and shows cross sections corresponding to lines VIA-VI, VIB-VIB, and VIC-VIC in FIG.
7 is a three-dimensional micrograph image of the second projection according to the embodiment of the present invention viewed from above.
FIGS. 8A to 8F are cross-sectional views schematically showing an array substrate in each step of a manufacturing process of an array substrate for a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention, in which VIA-VI line, VIB- Sectional view corresponding to the VIC line.
9 is a cross-sectional view schematically showing a liquid crystal display device according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 어레이 기판은, 기판과, 상기 기판 상에 이격된 게이트 배선 및 공통 배선과, 상기 게이트 배선과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 배선과, 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선에 연결된 박막 트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터를 덮는 보호층과, 상기 보호층 상부의 상기 화소영역에 위치하는 컬러필터층과, 상기 공통 배선에 대응하여 상기 보호층 상부에 위치하는 차광층과, 상기 컬러필터층 및 상기 차광층 상부에 위치하는 오버코트층과, 상기 오버코트층 상부의 상기 화소영역에 위치하는 화소전극 및 공통전극을 포함하고, 상기 오버코트층은 상기 공통 배선에 대응하여 제1 돌출부를 가지며, 상기 제1 돌출부는 내부에 홀을 포함한다.The array substrate of the present invention includes a substrate, a gate wiring and a common wiring spaced on the substrate, a data wiring crossing the gate wiring and defining a pixel region, a thin film transistor connected to the gate wiring and the data wiring, A protective layer covering the thin film transistor; a color filter layer located in the pixel region above the protective layer; a light shielding layer located above the protective layer in correspondence with the common wiring; Wherein the overcoat layer has a first protrusion corresponding to the common wiring, and the first protrusion is formed in the overcoat layer, and the overcoat layer is formed on the overcoat layer, Holes.

상기 오버코트층은 상기 공통 배선 상부에 콘택홀을 가지며, 상기 콘택홀은 상기 제1 돌출부 내에도 형성된다.The overcoat layer has a contact hole on the common wiring, and the contact hole is also formed in the first projection.

상기 콘택홀은 상기 공통 배선을 노출한다.The contact hole exposes the common wiring.

본 발명의 어레이 기판은 상기 오버코트층 상부에 상기 공통전극과 연결되는 공통전극 접촉부를 더 포함하고, 상기 공통전극 접촉부는 상기 콘택홀을 통해 상기 공통 배선과 접촉한다.The array substrate of the present invention further includes a common electrode contact portion connected to the common electrode on the overcoat layer, and the common electrode contact portion contacts the common wiring through the contact hole.

상기 제1 돌출부는 원형이나 다각형 고리 모양의 평면 구조를 가진다.The first protrusion has a circular or polygonal annular planar structure.

상기 제1 돌출부는 일정 간격으로 배치된 다수의 홈을 포함한다.The first projections include a plurality of grooves arranged at regular intervals.

상기 차광층은 제1 컬러패턴과 상기 제1 컬러패턴 상부의 제2 컬러패턴을 포함한다.The light-shielding layer includes a first color pattern and a second color pattern on the first color pattern.

상기 오버코트층은 제1 화소영역에 대응하여 상기 제1 돌출부를 갖고, 제2 화소영역에 대응하여 제2 돌출부를 가지며, 상기 제1 돌출부의 폭과 두께는 상기 제2 돌출부의 폭과 두께보다 크다.Wherein the overcoat layer has the first protrusion corresponding to the first pixel area and has a second protrusion corresponding to the second pixel area, the width and the thickness of the first protrusion being greater than the width and thickness of the second protrusion .

상기 오버코트층은 제3 화소영역에 대응하여 제3 돌출부를 갖고, 상기 제3 돌출부의 폭과 두께는 상기 제1 돌출부의 폭과 두께보다 크다.The overcoat layer has a third protrusion corresponding to the third pixel region, and the width and thickness of the third protrusion are larger than the width and thickness of the first protrusion.

본 발명의 액정표시장치는, 어레이 기판과, 상기 어레이 기판과 이격되는 대향 기판과, 상기 어레이 기판과 상기 대향 기판 사이의 액정층을 포함하고, 상기 대향 기판은 상기 제3 돌출부 또는 상기 제3 돌출부 상의 막과 접촉한다.A liquid crystal display device according to the present invention includes an array substrate, an opposing substrate spaced apart from the array substrate, and a liquid crystal layer between the array substrate and the opposing substrate, wherein the opposing substrate has the third projections or the third projections Lt; / RTI >

이와 달리, 본 발명의 액정표시장치는, 어레이 기판과, 상기 어레이 기판과 이격되는 대향 기판과, 상기 어레이 기판과 상기 대향 기판 사이의 액정층과, 상기 대향 기판의 내면에 위치하고 두께가 다른 제1 및 제2 컬럼 스페이서를 포함하고, 상기 제1 컬럼 스페이서는 상기 제1 돌출부 또는 상기 제1 돌출부 상의 막과 접촉한다.Alternatively, the liquid crystal display of the present invention may include: an array substrate; an opposing substrate spaced apart from the array substrate; a liquid crystal layer between the array substrate and the opposing substrate; and a liquid crystal layer disposed between the array substrate and the opposing substrate, And a second column spacer, wherein the first column spacer is in contact with the film on the first projection or the first projection.

한편, 본 발명의 어레이 기판의 제조 방법은, 기판 상에 이격된 게이트 배선 및 공통 배선을 형성하는 단계와, 상기 게이트 배선과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 배선을 형성하는 단계와, 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선에 연결된 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와, 상기 박막트랜지스터를 덮는 보호층을 형성하는 단계와, 상기 보호층 상부의 상기 화소영역에 컬러필터층을 형성하는 단계와, 상기 공통 배선에 대응하여 상기 보호층 상부에 차광층을 형성하는 단계와, 상기 컬러필터층 및 상기 차광층 상부에 오버코트층을 형성하는 단계와, 상기 오버코트층 상부의 상기 화소영역에 화소전극 및 공통전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 오버코트층을 형성하는 단계는, 상기 공통 배선에 대응하여 내부에 홀을 가지는 제1 돌출부를 형성하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an array substrate, including: forming a gate wiring and a common wiring on a substrate; forming a data wiring crossing the gate wiring and defining a pixel region; And forming a thin film transistor connected to the data line; forming a protective layer covering the thin film transistor; forming a color filter layer in the pixel region above the protective layer; Forming an overcoat layer on the color filter layer and the light shielding layer; and forming a pixel electrode and a common electrode in the pixel region above the overcoat layer And the step of forming the overcoat layer includes the steps of: forming a first protrusion And a step of sex.

상기 오버코트층을 형성하는 단계는, 감광성 유기막을 형성하는 단계와, 상기 감광성 유기막 상부에 차단부와 투과부 및 반투과부를 포함하는 노광 마스크를 배치하는 단계와, 상기 노광 마스크를 통해 상기 감광성 유기막을 노광하는 단계와, 노광된 상기 감광성 유기막을 현상하고 경화하는 단계를 포함하고, 상기 제1 돌출부는 상기 투과부에 대응한다.The step of forming the overcoat layer includes the steps of forming a photosensitive organic film, disposing an exposure mask including a blocking portion, a transmissive portion and a transflective portion on the photosensitive organic film, and exposing the photosensitive organic film And developing and curing the exposed photosensitive organic film, wherein the first protrusion corresponds to the transmissive portion.

상기 오버코트층을 형성하는 단계는, 제1 화소영역에 대응하여 상기 제1 돌출부를 형성하는 단계와, 제2 화소영역에 대응하여 제2 돌출부를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 돌출부의 폭과 두께는 상기 제2 돌출부의 폭과 두께보다 크다.Forming the overcoat layer includes forming the first protrusion corresponding to the first pixel region and forming a second protrusion corresponding to the second pixel region, wherein the width of the first protrusion And the thickness is greater than the width and thickness of the second projection.

상기 제1 돌출부에 대응하는 상기 노광 마스크의 투과부의 폭은 상기 제2 돌출부에 대응하는 상기 노광 마스크의 투과부의 폭보다 크다.The width of the transmissive portion of the exposure mask corresponding to the first projecting portion is larger than the width of the transmissive portion of the exposure mask corresponding to the second projecting portion.

상기 오버코트층을 형성하는 단계는, 제3 화소영역에 대응하여 제3 돌출부를 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 제3 돌출부의 폭과 두께는 상기 제1 돌출부의 폭과 두께보다 크다.The step of forming the overcoat layer may further include forming a third protrusion corresponding to the third pixel region, wherein the width and thickness of the third protrusion are larger than the width and thickness of the first protrusion.

상기 제3 돌출부에 대응하는 상기 노광 마스크의 투과부의 폭은 상기 제1 돌출부에 대응하는 상기 노광 마스크의 투과부의 폭보다 크다.
The width of the transmissive portion of the exposure mask corresponding to the third projecting portion is larger than the width of the transmissive portion of the exposure mask corresponding to the first projecting portion.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view schematically showing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시한 바와 같이, 제1 기판(102)과 제2 기판(104)이 이격되어 배치되고, 제1 기판(102)과 제2 기판(104) 사이에는 액정층(106)이 위치한다. 제2 기판(104)의 하부에는 컬럼 스페이서(108)가 형성되며, 컬럼 스페이서(108)는 제1 기판(102)의 단차 구조(103)와 접촉하여 제1 기판(102)과 제2 기판(104) 사이의 간격을 유지한다. The first substrate 102 and the second substrate 104 are spaced apart from each other and the liquid crystal layer 106 is positioned between the first substrate 102 and the second substrate 104 . A column spacer 108 is formed under the second substrate 104 and the column spacer 108 contacts the step structure 103 of the first substrate 102 to form the first substrate 102 and the second substrate 104).

이때, 제1 기판(102) 상의 단차 구조(103)는 내부에 홀을 가지고 있어 컬럼 스페이서(108)의 일부와 접촉한다. 따라서, 본 발명에서는 제1 기판(102) 상의 단차 구조(103)와 컬럼 스페이서(108)의 접촉 면적이 종래에 비해 작다. 이에 따라, 컬럼 스페이서(108)의 배치 밀도를 높이더라도, 접촉 밀도, 즉, 컬럼 스페이서(108)의 접촉 면적은 종래에 비해 작거나 같아질 수 있으므로, 제2 기판(104)의 처짐을 방치하면서 터치 불량을 막을 수 있다. At this time, the step structure 103 on the first substrate 102 has a hole therein and contacts a part of the column spacer 108. Therefore, in the present invention, the contact area between the stepped structure 103 on the first substrate 102 and the column spacer 108 is smaller than that in the prior art. Accordingly, even if the arrangement density of the column spacer 108 is increased, the contact density, that is, the contact area of the column spacer 108 can be smaller than or equal to the conventional one, It is possible to prevent a bad touch.

한편, 본 발명에서는 컬러필터를 어레이 기판에 형성함으로써, 오정렬을 방지하고 액정표시장치의 개구율을 높일 수 있다. 이때, 컬러필터는 박막 트랜지스터의 상부에 형성될 수 있으며, 이러한 구조는 컬러필터 온 박막 트랜지스터(color filter on thin film transistor: COT) 구조라고 일컬어진다. 이러한 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판에 대해 도 3과 도4를 참조하여 설명한다. On the other hand, in the present invention, misalignment can be prevented and the aperture ratio of the liquid crystal display device can be increased by forming color filters on the array substrate. At this time, a color filter may be formed on the top of the thin film transistor, and this structure is referred to as a color filter on thin film transistor (COT) structure. An array substrate for a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 3 and 4. Fig.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판의 개략적인 평면도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판의 개략적인 단면도로, 한 화소영역을 도시한다. 여기서, 도 4는 도 3의 IV-IV선에 대응하는 단면을 도시한다. FIG. 3 is a schematic plan view of an array substrate for a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of an array substrate for a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention, . Here, FIG. 4 shows a cross section corresponding to line IV-IV in FIG.

도 3과 도 4에 도시한 바와 같이, 투명한 절연 기판(110) 위에 도전성 물질로 이루어진 게이트 배선(112)과 게이트 전극(114), 그리고 공통 배선(116)이 형성된다. As shown in FIGS. 3 and 4, a gate wiring 112, a gate electrode 114, and a common wiring 116 made of a conductive material are formed on a transparent insulating substrate 110.

게이트 배선(112)은 제1 방향을 따라 연장되고, 게이트 전극(114)은 게이트 배선(112)에 연결된다. 게이트 전극(114)은 게이트 배선(112)의 일부로 이루어진다. 이때, 게이트 전극(114)은 게이트 배선(112)의 다른 부분보다 넓은 폭을 가질 수 있다. 이와 달리, 게이트 전극(114)은 게이트 배선(112)으로부터 연장될 수 있다.The gate wiring 112 extends along the first direction, and the gate electrode 114 is connected to the gate wiring 112. The gate electrode 114 is formed of a part of the gate wiring 112. At this time, the gate electrode 114 may have a wider width than other portions of the gate wiring 112. Alternatively, the gate electrode 114 may extend from the gate wiring 112.

공통 배선(116)은 제1 방향을 따라 연장되고, 게이트 배선(112)과 이격되어 위치한다. The common wiring 116 extends along the first direction and is spaced apart from the gate wiring 112.

기판(110)은 유리나 플라스틱으로 이루어질 수 있다. 또한, 게이트 배선(112)과 게이트 전극(114), 그리고 공통 배선(116)은 알루미늄(aluminum)이나 몰리브덴(molybdenum), 니켈(nickel), 크롬(chromium), 구리(copper) 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있으며, 단일층 또는 다중층 구조일 수 있다. The substrate 110 may be made of glass or plastic. The gate wiring 112, the gate electrode 114 and the common wiring 116 are formed of aluminum, molybdenum, nickel, chromium, copper, or an alloy thereof. And may be a single layer or a multilayer structure.

이어, 게이트 배선(112)과 게이트 전극(114), 그리고 공통 배선(116) 상부에는 게이트 절연막(120)이 형성되어 이들을 덮는다. 게이트 절연막(120)은 실질적으로 기판(110) 전면에 형성될 수 있으며, 게이트 절연막(120)은 질화 실리콘(SiNx)이나 산화 실리콘(SiO2)으로 이루어질 수 있다. Then, a gate insulating film 120 is formed over the gate wiring 112, the gate electrode 114, and the common wiring 116 to cover them. A gate insulating film 120 is substantially can be formed on the front substrate 110, a gate insulating film 120 may be formed of a silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiO 2).

게이트 전극(114) 상부의 게이트 절연막(120) 위에는 반도체층(122)이 형성된다. 반도체층(122)은 진성 비정질 실리콘의 액티브층(122a)과 불순물 도핑된 비정질 실리콘의 오믹 콘택층(122b)을 포함한다. 이와 달리, 반도체층(122)은 산화물 반도체로 이루어질 수 있다. 이 경우, 오믹 콘택층(122b)은 생략되고, 반도체층(122)의 상부에는 게이트 전극(114)에 대응하여 식각 방지막이 형성될 수 있다. A semiconductor layer 122 is formed on the gate insulating layer 120 above the gate electrode 114. The semiconductor layer 122 includes an active layer 122a of intrinsic amorphous silicon and an ohmic contact layer 122b of impurity doped amorphous silicon. Alternatively, the semiconductor layer 122 may be formed of an oxide semiconductor. In this case, the ohmic contact layer 122b may be omitted, and an etch stopping layer may be formed on the semiconductor layer 122 to correspond to the gate electrode 114.

또한, 게이트 절연막(120) 상부에는 반도체 패턴(도시하지 않음)이 형성된다. 반도체 패턴은 제1 반도체 패턴(도시하지 않음)과 제2 반도체 패턴(도시하지 않음)을 포함한다. 제1 반도체 패턴은 액티브층(122a)과 동일 물질로 이루어지고, 제2 반도체 패턴은 오믹 콘택층(122b)과 동일 물질로 이루어진다.A semiconductor pattern (not shown) is formed on the gate insulating layer 120. The semiconductor pattern includes a first semiconductor pattern (not shown) and a second semiconductor pattern (not shown). The first semiconductor pattern is made of the same material as the active layer 122a and the second semiconductor pattern is made of the same material as the ohmic contact layer 122b.

다음, 반도체층(122) 상부에는 소스 및 드레인 전극(134, 136)이 형성된다. 소스 및 드레인 전극(134, 136)은 반도체층(122) 상부에서 게이트 전극(114)을 중심으로 이격되어 위치하고, 오믹 콘택층(122b)은 소스 및 드레인 전극(134, 136)과 동일한 모양을 가진다. 소스 및 드레인 전극(134, 136) 사이에는 액티브층(122a)이 노출된다.Next, source and drain electrodes 134 and 136 are formed on the semiconductor layer 122. The source and drain electrodes 134 and 136 are spaced about the gate electrode 114 above the semiconductor layer 122 and the ohmic contact layer 122b has the same shape as the source and drain electrodes 134 and 136 . And the active layer 122a is exposed between the source and drain electrodes 134 and 136. [

드레인 전극(136)의 일부는 공통 배선(116)과 중첩하여 스토리지 커패시터를 형성한다. 드레인 전극(136)의 중첩 부분은 제1 커패시터 전극을 이루고, 공통 배선(116)의 중첩 부분은 제2 커패시터 전극을 이룬다. 이때, 공통 배선(116)의 중첩 부분은 다른 부분에 비해 넓은 폭을 가질 수 있다. A part of the drain electrode 136 overlaps with the common wiring 116 to form a storage capacitor. The overlapped portion of the drain electrode 136 constitutes a first capacitor electrode and the overlapping portion of the common wiring 116 constitutes a second capacitor electrode. At this time, the overlapping portion of the common wiring 116 may have a wider width than the other portions.

게이트 전극(114)과 반도체층(122), 소스 전극(134), 그리고 드레인 전극(136)은 박막 트랜지스터를 이루며, 소스 및 드레인 전극(134, 136) 사이에 노출된 액티브층(122a)은 박막 트랜지스터의 채널이 된다. 여기서, 박막 트랜지스터의 채널은 실질적으로 U자 모양을 가지나, 이에 제한되지 않으며 박막 트랜지스터의 채널 형상은 달라질 수 있다. The active layer 122a exposed between the source and drain electrodes 134 and 136 is a thin film transistor that is formed between the source electrode 134 and the drain electrode 136. The gate electrode 114, the semiconductor layer 122, the source electrode 134, Channel of the transistor. Here, the channel of the thin film transistor has a substantially U-shaped shape, but is not limited thereto, and the channel shape of the thin film transistor may be varied.

또한, 반도체 패턴 상부에는 데이터 배선(132)이 형성된다. 데이터 배선(132)은 실질적으로 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 연장되고, 게이트 배선(112)과 교차하여 화소영역을 정의한다. 데이터 배선(132)은 화소영역의 중앙을 기준으로 꺾어진 구조를 가진다. 데이터 배선(132)은 소스 전극(134)과 연결되며, 소스 전극(134)은 데이터 배선(132)에서 연장될 수 있다. 이때, 소스 전극(134)은 데이터 배선(132)에 인접하여 개구부를 가질 수 있다. 소스 전극(134)과 게이트 전극(114)의 중첩에 의해 기생용량이 발생하는데, 이러한 소스 전극(134)의 개구부는 소스 전극(134)과 게이트 전극(114) 사이의 중첩 면적을 줄여 기생용량을 감소시킬 수 있다. A data line 132 is formed on the semiconductor pattern. The data line 132 extends substantially along a second direction that intersects the first direction, and intersects with the gate line 112 to define a pixel region. The data wiring 132 has a structure bent around the center of the pixel region. The data line 132 may be connected to the source electrode 134 and the source electrode 134 may extend from the data line 132. At this time, the source electrode 134 may have an opening adjacent to the data line 132. The parasitic capacitance is generated by overlapping the source electrode 134 and the gate electrode 114. The opening of the source electrode 134 reduces the overlapping area between the source electrode 134 and the gate electrode 114, .

이와 달리, 소스 전극(134)은 데이터 배선(132)의 일부로 이루어질 수도 있다. Alternatively, the source electrode 134 may be formed as a part of the data line 132.

한편, 보조 공통 배선(도시하지 않음)이 공통 배선(116)으로부터 제2 방향을 따라 연장될 수 있으며, 보조 공통 배선은 서로 이격되고 평행한 제1 및 제2 패턴(도시하지 않음)을 포함할 수 있다. 이때, 데이터 배선(132)의 제1 측은 보조 공통 배선의 제1 패턴과 중첩하고, 데이터 배선(132)의 제2 측은 보조 공통 배선의 제2 패턴과 중첩할 수 있다. 이와 달리, 데이터 배선(132)은 보조 공통 배선의 제1 패턴 및 제2 패턴 사이에 위치할 수 있다.On the other hand, auxiliary common wiring (not shown) may extend from the common wiring 116 along the second direction, and the auxiliary common wiring may include first and second patterns (not shown) spaced apart from and parallel to each other . At this time, the first side of the data wiring 132 overlaps with the first pattern of the auxiliary common wiring, and the second side of the data wiring 132 can overlap with the second pattern of the auxiliary common wiring. Alternatively, the data wiring 132 may be located between the first pattern and the second pattern of the auxiliary common wiring.

소스 및 드레인 전극(134, 136)과 데이터 배선(132)은 알루미늄(aluminum)이나 몰리브덴(molybdenum), 니켈(nickel), 크롬(chromium), 구리(copper) 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있으며, 단일층 또는 다중층 구조일 수 있다. The source and drain electrodes 134 and 136 and the data line 132 may be made of aluminum, molybdenum, nickel, chromium, copper, or an alloy thereof, Layer or multi-layer structure.

여기서, 반도체층(122)과 반도체 패턴, 소스 및 드레인 전극(134, 136), 그리고 데이터 배선(132)은 하나의 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 형성된다. 이때, 소스 및 드레인 전극(134, 136)과 데이터 배선(132)은 각각 반도체층(122)의 액티브층(122a) 및 반도체 패턴의 제1 반도체 패턴보다 좁은 폭을 가져, 액티브층(122a) 및 제1 반도체 패턴의 가장자리 상면은 소스 및 드레인 전극(134, 136)과 데이터 배선(132)에 의해 각각 노출될 수 있다. Here, the semiconductor layer 122, the semiconductor pattern, the source and drain electrodes 134 and 136, and the data line 132 are formed through a photolithography process using a single mask. At this time, the source and drain electrodes 134 and 136 and the data line 132 have widths narrower than the active layer 122a of the semiconductor layer 122 and the first semiconductor pattern of the semiconductor pattern, respectively, The upper surface of the edge of the first semiconductor pattern can be exposed by the source and drain electrodes 134 and 136 and the data line 132, respectively.

이와 달리, 반도체층(122)과 소스 및 드레인 전극(134, 136)은 서로 다른 마스크를 이용한 각각의 사진식각공정을 통해 형성될 수도 있는데, 이 경우, 반도체층(122)의 측면은 소스 및 드레인 전극(134, 136)으로 덮이며, 데이터 배선(132) 하부의 반도체 패턴은 생략될 수 있다. Alternatively, the semiconductor layer 122 and the source and drain electrodes 134 and 136 may be formed through respective photolithography processes using different masks. In this case, Electrodes 134 and 136, and the semiconductor pattern under the data line 132 may be omitted.

다음, 소스 및 드레인 전극(134, 136)과 데이터 배선(132) 상부에는 보호층(140)이 형성된다. 보호층(140)은 산화 실리콘(SiO2)나 질화 실리콘(SiNx)의 무기절연물질로 형성될 수 있다. Next, a protective layer 140 is formed on the source and drain electrodes 134 and 136 and the data line 132. The protective layer 140 may be formed of an inorganic insulating material of silicon oxide (SiO 2) or silicon nitride (SiNx).

보호층(140) 상부의 화소영역에는 컬러필터층(152)이 형성된다. 컬러필터층(152)은 적(R), 녹(G), 청(B) 컬러필터를 포함하며, 하나의 컬러필터가 하나의 화소영역에 대응한다. 일례로, 도 4의 컬러필터층(152)은 적 컬러필터일 수 있다. A color filter layer 152 is formed in a pixel region above the protective layer 140. The color filter layer 152 includes red (R), green (G), and blue (B) color filters, and one color filter corresponds to one pixel region. In one example, the color filter layer 152 of FIG. 4 may be a red color filter.

또한, 보호층(140) 상부에는 차광층(156)이 형성된다. 차광층(156)은 화소영역 가장자리의 경계영역에 위치하며, 게이트 배선(112)과 공통 배선(116) 및 박막 트랜지스터와 대응한다. 차광층(156)은 화소영역 이외의 영역에서 빛이 출력되는 것을 차단한다. 또한, 차광층(156)은 외부광이 박막 트랜지스터로 입사하는 것을 방지하며, 외부광이 게이트 배선(112)과 공통 배선(116) 및 박막 트랜지스터에서 반사되어 출력되는 것을 차단하거나 감소시킨다. A light shielding layer 156 is formed on the protective layer 140. The light shielding layer 156 is located in the boundary region of the edge of the pixel region, and corresponds to the gate wiring 112, the common wiring 116, and the thin film transistor. The light shielding layer 156 blocks light from being output in a region other than the pixel region. Further, the light shielding layer 156 prevents external light from entering the thin film transistor, and blocks or reduces external light from being reflected from the gate wiring 112, the common wiring 116, and the thin film transistor.

차광층(156)은 제1 컬러패턴(156a)과 제1 컬러패턴(156a) 상부의 제2 컬러패턴(156b)을 포함한다. 제1 컬러패턴(156a) 및 제2 컬러패턴(156b)은 적, 녹, 청 컬러필터 중 선택된 두 컬러필터와 동일 물질로 형성될 수 있는데, 적 컬러필터 및 청 컬러필터와 동일 물질로 형성하는 것이 차광 효과를 높이는데 바람직하다.The shading layer 156 includes a first color pattern 156a and a second color pattern 156b on the first color pattern 156a. The first color pattern 156a and the second color pattern 156b may be formed of the same material as the two color filters selected from the red, green and blue color filters, Is preferable for enhancing the shading effect.

도시한 바와 같이, 컬러필터층(152)이 제1 컬러패턴(156a)과 동일한 컬러물질로 형성될 경우, 제1 컬러패턴(156a)과 컬러필터층(152)은 중첩되지 않고 서로 연결될 수 있다. As shown in the figure, when the color filter layer 152 is formed of the same color material as the first color pattern 156a, the first color pattern 156a and the color filter layer 152 can be connected to each other without overlapping.

또한, 컬러필터층(152)이 제2 컬러패턴(156b)과 동일한 컬러물질로 형성될 경우, 제2 컬러패턴(156b)과 컬러필터층(152)은 서로 중첩되지 않고 연결될 수 있다.In addition, when the color filter layer 152 is formed of the same color material as the second color pattern 156b, the second color pattern 156b and the color filter layer 152 can be connected without overlapping each other.

이와 달리, 차광층(156)은 컬러필터층(152)과 중첩할 수 있다. 이때, 차광층(156)의 제1 및 제2 컬러패턴(156a, 156b)과 컬러필터층(152)은 서로 다른 컬러물질로 형성될 수 있다. 이 경우, 제1 컬러패턴(156a)이 먼저 형성되고, 컬러필터층(152)이 제1 컬러패턴(156a) 상부에 제1 컬러패턴(156a)과 중첩하도록 형성되며, 제2 컬러패턴(156b)이 컬러필터층(152) 상부에 컬러필터층(152)과 중첩하도록 형성될 수 있다. Alternatively, the light shielding layer 156 may overlap with the color filter layer 152. At this time, the first and second color patterns 156a and 156b of the light shielding layer 156 and the color filter layer 152 may be formed of different color materials. In this case, the first color pattern 156a is formed first, the color filter layer 152 is formed to overlap the first color pattern 156a on the first color pattern 156a, May be formed on the color filter layer 152 to overlap with the color filter layer 152.

그러나, 제1 및 제2 컬러패턴(156a, 156b)과 컬러필터층(152)의 적층 순서는 이에 제한되지 않는다.However, the order of stacking the first and second color patterns 156a and 156b and the color filter layer 152 is not limited thereto.

한편, 도시하지 않았지만, 데이터 배선(132) 상부에도 차광층이 형성될 수 있다.On the other hand, although not shown, a light shielding layer may also be formed on the data wiring 132.

컬러필터층(152)과 차광층(156) 상부에는 오버코트층(160)이 형성된다. 오버코트층(160)은 화소영역에서 실질적으로 평탄한 표면을 가지며, 컬러필터층(152) 상부의 오버코트층(160)의 상면은 차광층(156) 상부의 오버코트층(160)의 상면보다 낮을 수 있다. An overcoat layer 160 is formed on the color filter layer 152 and the light shielding layer 156. The overcoat layer 160 has a substantially planar surface in the pixel region and the top surface of the overcoat layer 160 above the color filter layer 152 may be lower than the top surface of the overcoat layer 160 above the light shade layer 156.

오버코트층(160)은 보호층(140)과 함께 드레인 전극(136)을 노출하는 드레인 콘택홀(162)을 가진다. 이때, 차광층(156)도 드레인 콘택홀(162)에 대응하여 홀을 가질 수 있다. The overcoat layer 160 has a drain contact hole 162 exposing the drain electrode 136 together with the protective layer 140. At this time, the light shielding layer 156 may have a hole corresponding to the drain contact hole 162.

또한, 오버코트층(160)은 보호층(140) 및 게이트 절연막(120)과 함께 공통 배선(116)을 노출하는 공통 콘택홀(164)을 가진다. 이때, 차광층(156)도 공통 콘택홀(164)에 대응하여 홀을 가질 수 있다.The overcoat layer 160 has a common contact hole 164 for exposing the common wiring 116 together with the protective layer 140 and the gate insulating film 120. At this time, the light shielding layer 156 may have a hole corresponding to the common contact hole 164.

이러한 오버코트층(160)은 감광성을 갖는 포토아크릴(photo acryl)로 이루어질 수 있다. The overcoat layer 160 may be formed of a photo-sensitive acryl.

오버코트층(160) 상부의 화소영역에는 화소전극(172)과 공통전극(174)이 형성된다. 화소전극(172)과 공통전극(174) 각각은 실질적으로 제2 방향을 따라 연장되고, 제1 방향을 따라 서로 이격되어 있는 다수의 패턴을 포함한다. 공통전극(174)의 패턴은 화소전극(172)의 패턴과 제1 방향을 따라 이격되어 번갈아 배치된다. 화소전극(172)과 공통전극(174)의 각 패턴은 화소영역의 중앙을 기준으로 꺾어져 있어 제2 방향에 대해 일정 각도를 가지며, 제1 방향으로 화소영역의 중앙을 지나는 가상의 선에 대해 실질적으로 대칭인 구조를 가진다. 여기서, 화소전극(172)과 공통전극(174)은 제2 방향에 대해 45도 또는 이보다 작은 각도를 가지고 꺾어진다.A pixel electrode 172 and a common electrode 174 are formed in a pixel region above the overcoat layer 160. The pixel electrode 172 and the common electrode 174 each include a plurality of patterns extending substantially along the second direction and spaced apart from each other along the first direction. The patterns of the common electrodes 174 are alternately arranged with the pattern of the pixel electrodes 172 in the first direction. Each pattern of the pixel electrode 172 and the common electrode 174 is bent with respect to the center of the pixel region and has a certain angle with respect to the second direction, and the virtual line passing through the center of the pixel region in the first direction And has a structure that is substantially symmetric. Here, the pixel electrode 172 and the common electrode 174 are bent at an angle of 45 degrees or less with respect to the second direction.

한편, 데이터 배선(132)과 인접한 공통전극(174)의 일 패턴은 데이터 배선(132)과 중첩할 수 있다. 따라서, 데이터 배선(132)의 제1 측은 해당 화소영역의 공통전극(174)의 일 패턴과 중첩하고, 데이터 배선(132)의 제2 측은 인접한 화소영역의 공통전극(174)의 일 패턴과 중첩할 수 있다.On the other hand, one pattern of the common electrode 174 adjacent to the data wiring 132 can overlap with the data wiring 132. [ The first side of the data line 132 overlaps with one pattern of the common electrode 174 of the pixel region and the second side of the data line 132 overlaps with one pattern of the common electrode 174 of the adjacent pixel region can do.

화소전극(172) 및 공통전극(174)은 인듐-틴-옥사이드(indium tin oxide)나 인듐-징크-옥사이드(indium zinc oxide)와 같은 투명도전물질로 형성될 수 있다.The pixel electrode 172 and the common electrode 174 may be formed of a transparent conductive material such as indium tin oxide or indium zinc oxide.

또한, 제1 연결부인 화소전극 연결부(173)와 제2 연결부인 공통전극 연결부(175) 그리고 공통전극 접촉부(176)가 화소전극(172) 및 공통전극(174)과 동일층 상에 동일 물질로 형성된다. The pixel electrode connection portion 173 as the first connection portion, the common electrode connection portion 175 as the second connection portion and the common electrode contact portion 176 are formed on the same layer as the pixel electrode 172 and the common electrode 174 with the same material .

화소전극 연결부(173)와 공통전극 연결부(175)는 제1 방향을 따라 연장되고, 화소영역의 마주대하는 양측에 각각 위치한다. 화소전극 연결부(173)는 화소전극(172)의 패턴들 일단과 연결되고, 드레인 전극(136)과 중첩하며, 드레인 콘택홀(162)을 통해 드레인 전극(136)과 접촉한다. The pixel electrode connection portion 173 and the common electrode connection portion 175 extend along the first direction and are located on opposite sides of the pixel region, respectively. The pixel electrode connection portion 173 is connected to one end of the pattern of the pixel electrode 172 and overlaps with the drain electrode 136 and contacts the drain electrode 136 through the drain contact hole 162.

또한, 공통전극 연결부(175)는 공통전극(174)의 패턴들 일단과 연결되며, 전단의 게이트 배선(112)과 부분적으로 중첩할 수 있다. 도시한 것처럼, 한 화소영역에 대응하는 공통전극 연결부(175)는 인접한 화소영역에 대응하는 공통전극 연결부(175)와 연결될 수 있다. 이와 달리, 한 화소영역에 대응하는 공통전극 연결부(175)는 인접한 화소영역에 대응하는 공통전극 연결부(175)와 분리되어, 공통전극 연결부(175)는 각 화소영역별로 분리되어 있을 수도 있다. In addition, the common electrode connection portion 175 is connected to one end of the patterns of the common electrode 174, and can partially overlap the gate wiring 112 of the previous stage. As shown in the figure, the common electrode connection portion 175 corresponding to one pixel region can be connected to the common electrode connection portion 175 corresponding to the adjacent pixel region. Alternatively, the common electrode connection portion 175 corresponding to one pixel region may be separated from the common electrode connection portion 175 corresponding to the adjacent pixel region, and the common electrode connection portion 175 may be separated for each pixel region.

한편, 공통전극 접촉부(176)는 공통전극(174)의 일 패턴 및/또는 공통전극 연결부(175)로부터 연장되어 공통 배선(116)과 중첩한다. 이러한 공통전극 접촉부(176)는 공통 콘택홀(164)을 통해 공통 배선(116)과 접촉한다. On the other hand, the common electrode contact portion 176 extends from one pattern of the common electrode 174 and / or the common electrode connection portion 175 and overlaps with the common wiring 116. The common electrode contact portion 176 contacts the common wiring 116 through the common contact hole 164.

이와 같이, 본 발명의 실시예에에서는, 어레이 기판의 박막 트랜지스터 상부에 컬러필터층(152)과 차광층(156)을 형성함으로써, 어레이 기판에 대향하는 상부 기판(도시하지 않음)의 블랙 매트릭스를 생략할 수 있으므로, 액정표시장치의 개구율을 높일 수 있다.
As described above, in the embodiment of the present invention, the color filter layer 152 and the light shielding layer 156 are formed over the thin film transistors of the array substrate, thereby omitting the black matrix of the upper substrate (not shown) The aperture ratio of the liquid crystal display device can be increased.

이러한 본 발명의 실시예에 따른 어레이 기판은 컬럼 스페이서를 포함하는 상부 기판과 합착되어 액정표시장치를 구성한다. 이때, 상부 기판에는 어레이 기판과 상부 기판 사이의 셀갭 유지를 위한 제1 컬럼 스페이서 이외에 상부 기판의 눌림 방지를 위한 제2 컬럼 스페이서가 형성된다. 동일 면적 내에서 제2 컬럼 스페이서의 개수는 제1 컬럼 스페이서의 개수보다 많다.The array substrate according to an embodiment of the present invention is bonded to an upper substrate including a column spacer to constitute a liquid crystal display device. At this time, a second column spacer for preventing the upper substrate from being pressed is formed on the upper substrate in addition to the first column spacer for maintaining the cell gap between the array substrate and the upper substrate. Within the same area, the number of second column spacers is greater than the number of first column spacers.

제1 및 제2 컬럼 스페이서는 동일 공정을 통해 형성되는데, 제2 컬럼 스페이서의 두께는 제1 컬럼 스페이서의 두께보다 작으며, 제2 컬럼 스페이서와 어레이 기판의 최상층 사이에 일정 간격을 확보하기 위해, 제1 컬럼 스페이서와 제2 컬럼 스페이서의 두께 차이는 일정 범위 이내이어야 한다. The first and second column spacers are formed through the same process wherein the thickness of the second column spacer is less than the thickness of the first column spacer and in order to secure a certain distance between the second column spacer and the top layer of the array substrate, The difference in thickness between the first column spacer and the second column spacer should be within a certain range.

여기서, 제1 컬럼 스페이서와 제2 컬럼 스페이서의 두께 차이가 일정 범위보다 작을 경우, 제2 컬럼 스페이서는 작은 외력에도 어레이 기판의 최상층과 접촉하게 된다. 이에 따라, 컬럼 스페이서와 어레이 기판 사이의 접촉 밀도가 증가하여, 터치 불량이 발생할 수 있다. 반면, 제1 컬럼 스페이서와 제2 컬럼 스페이서의 두께 차이가 일정 범위보다 클 경우, 일정 이상의 외력이 가해지더라도 제2 컬럼 스페이서는 어레이 기판 상의 최상층과 접촉하지 못하므로 눌림을 방지하지 못하게 된다. Here, when the difference in thickness between the first column spacer and the second column spacer is smaller than a certain range, the second column spacer comes into contact with the uppermost layer of the array substrate even with a small external force. As a result, the contact density between the column spacer and the array substrate increases, and a touch failure may occur. On the other hand, when the difference between the thicknesses of the first and second column spacers is larger than a certain range, the second column spacer does not contact the uppermost layer on the array substrate even if an external force is applied.

그런데, 이러한 제1 및 제2 컬럼 스페이서는 경계영역에 형성되므로, 본 발명의 실시예에 따른 어레이 기판을 포함하는 액정표시장치에서, 제1 및 제2 컬럼 스페이서는 어레이 기판의 차광층(156) 상부에 위치하게 된다. 이때, 경계영역에서의 셀갭은 차광층(156)의 두께에 의해 화소영역에서의 셀갭보다 작다. 이에 따라, 제1 및 제2 컬럼 스페이서의 두께는 종래에 비해 작아지게 되며, 동일 공정을 통해 일정 범위 내의 두께 차이를 갖는 제1 및 제2 컬럼 스페이서를 형성하기가 쉽지 않다. 따라서, 본 발명의 액정표시장치에서는 어레이 기판 상의 단차에 의해 제2 컬럼 스페이서와 어레이 기판 간의 간격을 확보한다. Since the first and second column spacers are formed in the boundary region, in the liquid crystal display device including the array substrate according to the embodiment of the present invention, the first and second column spacers are formed on the light shielding layer 156 of the array substrate, As shown in FIG. At this time, the cell gap in the boundary region is smaller than the cell gap in the pixel region due to the thickness of the light shielding layer 156. Accordingly, the thicknesses of the first and second column spacers become smaller than those of the prior art, and it is difficult to form the first and second column spacers having the thickness difference within a certain range through the same process. Therefore, in the liquid crystal display device of the present invention, the gap between the second column spacer and the array substrate is secured by the step on the array substrate.

이때, 드레인 콘택홀(162) 및 공통 콘택홀(164) 근처의 영역은 다른 영역에 비해 높이가 낮아, 제1 컬럼 스페이서를 형성하기 어렵다. 이에 따라, 제1 컬럼 스페이서는 드레인 콘택홀(162) 및 공통 콘택홀(164)과 일정 간격을 두고 배치되어야 하므로, 제1 컬럼 스페이서의 배치에 제약이 있다. 이는 제2 컬럼 스페이서의 배치에도 제약을 가한다. 또한, 드레인 콘택홀(162) 및 공통 콘택홀(164)을 제외한 영역에 제1 및 제2 컬럼 스페이서를 배치하기 위해 경계영역의 면적이 더 필요하여, 개구율이 저하될 수 있다. At this time, the region near the drain contact hole 162 and the common contact hole 164 is lower in height than the other regions, and it is difficult to form the first column spacer. Accordingly, the first column spacer must be disposed at a certain distance from the drain contact hole 162 and the common contact hole 164, thereby restricting the arrangement of the first column spacer. This also imposes restrictions on the arrangement of the second column spacer. Further, in order to dispose the first and second column spacers in the region except for the drain contact hole 162 and the common contact hole 164, an area of the boundary region is further required, so that the aperture ratio can be lowered.

따라서, 본 발명의 실시예에서는 드레인 콘택홀(162) 및/또는 공통 콘택홀(164)에 대응하여 단차 구조를 형성하여, 제1 및 제2 컬럼 스페이서의 배치에 있어 자유도를 높이며, 개구율 저하를 방지한다. 이때, 단차 구조는 앞서 도 2에서 언급한 바와 같이 내부에 홀을 가진다. Therefore, in the embodiment of the present invention, a step structure is formed corresponding to the drain contact hole 162 and / or the common contact hole 164 to increase the degree of freedom in arrangement of the first and second column spacers, prevent. At this time, as shown in FIG. 2, the step structure has a hole therein.

이러한 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치에 대해 도 5와 도 6을 참조하여 설명한다. A liquid crystal display according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6. FIG.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치를 개략적으로 도시한 단면도로, 도 5의 VIA-VI선과 VIB-VIB선 그리고 VIC-VIC선에 대응하는 단면을 도시한다. 여기서, 도 5와 도 6은 제1 내지 제3 화소영역을 도시하며, 각 화소영역은 공통 콘택홀이 형성된 영역을 제외하고 도 3 및 도 4에 도시된 것과 동일한 구조를 가지며, 동일 부분에 대한 설명은 생략하거나 간략히 한다. FIG. 5 is a plan view schematically illustrating a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention, FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention, -VIB line and the VIC-VIC line. Here, FIGS. 5 and 6 show the first to third pixel regions, and each pixel region has the same structure as that shown in FIGS. 3 and 4 except for the region where the common contact hole is formed, The description is omitted or simplified.

도 5와 도 6에 도시한 바와 같이, 제1 내지 제3 화소영역(P1, P2, P3)이 정의된 투명한 제1 기판(110) 위에 공통 배선(116)이 형성된다. 공통 배선(116) 상부에는 게이트 절연막(120)이 형성되고, 게이트 절연막(120) 상부에는 보호층(140)이 형성된다. 5 and 6, a common wiring 116 is formed on a transparent first substrate 110 on which first, second, and third pixel regions P1, P2, and P3 are defined. A gate insulating layer 120 is formed on the common wiring 116 and a passivation layer 140 is formed on the gate insulating layer 120.

보호층(140) 상부에는 차광층(156)이 형성된다. 차광층(156)은 제1 컬러패턴(156a)과 제1 컬러패턴(156a) 상부의 제2 컬러패턴(156b)을 포함한다. 일례로, 제1 컬러패턴(156a)은 적 컬러필터와 동일 물질로 이루어지고, 제2 컬러패턴(156b)은 청 컬러필터와 동일 물질로 이루어질 수 있다. A light shielding layer 156 is formed on the protective layer 140. The shading layer 156 includes a first color pattern 156a and a second color pattern 156b on the first color pattern 156a. For example, the first color pattern 156a may be made of the same material as the red color filter, and the second color pattern 156b may be made of the same material as the blue color filter.

차광층(156) 상부에는 오버코트층(160)이 형성된다. 오버코트층(160)은 공통배선(116)을 노출하는 공통 콘택홀(164)을 가진다. 이때, 공통 콘택홀(164)은 보호층(140) 및 게이트 절연막(120) 내에도 형성된다. An overcoat layer 160 is formed on the light-shielding layer 156. The overcoat layer 160 has a common contact hole 164 that exposes the common wiring 116. At this time, the common contact hole 164 is also formed in the protective layer 140 and the gate insulating film 120.

여기서, 제1 및 제2 컬러패턴(156a, 156b)의 각각은 공통 콘택홀(164)에 대응하여 홀을 가질 수 있다. 보다 상세하게, 공통 콘택홀(164)은 제1 및 제2 컬러패턴(156a, 156b)의 홀 내에 위치하고, 제2 컬러패턴(156b)의 홀은 제1 컬러패턴(156a)의 홀 내에 위치하며, 제2 컬러패턴(156b)은 제1 컬러패턴(156a)의 측면을 덮을 수 있다. Here, each of the first and second color patterns 156a and 156b may have a hole corresponding to the common contact hole 164. More specifically, the common contact hole 164 is located in the holes of the first and second color patterns 156a and 156b, and the hole of the second color pattern 156b is located in the hole of the first color pattern 156a , The second color pattern 156b may cover the side surface of the first color pattern 156a.

이와 달리, 제1 및 제2 컬러패턴(156a, 156b)의 홀은 생략되고, 제1 및 제2 컬러패턴(156a, 156b) 내에도 공통 콘택홀(164)이 형성될 수 있다. Alternatively, holes of the first and second color patterns 156a and 156b may be omitted, and a common contact hole 164 may also be formed in the first and second color patterns 156a and 156b.

또한, 오버코트층(160)은 제1 화소영역(P1)의 공통 콘택홀(164)에 대응하여 제1 돌출부(166)를 가질 수 있고, 제2 화소영역(P2)의 공통 콘택홀(164)에 대응하여 제2 돌출부(168)를 가질 수 있으며, 제3 화소영역(P3)의 공통 콘택홀(164)에 대응하여 돌출부를 가지지 않을 수 있다. 여기서, 제1 화소영역(P1)의 공통 콘택홀(164)은 제1 돌출부(166) 내에도 형성되고, 제2 화소영역(P2)의 공통 콘택홀(164)은 제2 돌출부(168) 내에도 형성된다. The overcoat layer 160 may have a first protrusion 166 corresponding to the common contact hole 164 of the first pixel region P1 and a common contact hole 164 of the second pixel region P2. And may not have a protrusion corresponding to the common contact hole 164 of the third pixel region P3. The common contact hole 164 of the first pixel region P1 is also formed in the first protrusion 166 and the common contact hole 164 of the second pixel region P2 is formed in the second protrusion 168 .

이와 달리, 오버코트층(160)은 제1 화소영역(P1)의 공통 콘택홀(164)에 대응하여 제2 돌출부(168)를 가질 수도 있고, 돌출부를 가지지 않을 수도 있으며, 제3 화소영역(P3)의 공통 콘택홀(164)에 대응하여 제1 돌출부(166)를 가질 수도 있다.Alternatively, the overcoat layer 160 may have the second protrusion 168 corresponding to the common contact hole 164 of the first pixel region P1, may not have the protrusion, and the third pixel region P3 The first contact hole 164 may have a first protrusion 166 corresponding to the common contact hole 164.

제1 및 제2 돌출부(166, 168)는 오버코트층(160)의 상면으로부터 상방으로 돌출되며, 제2 돌출부(168)의 폭(w2)과 두께는 각각 제1 돌출부(166)의 폭(w1)과 두께보다 크다. 일례로, 제1 및 제2 돌출부(166, 168)를 제외한 오버코트층(160)은 2000 Å 내지 3000 Å의 두께를 가질 수 있다. 또한, 제1 돌출부(166)의 폭(w1)은 3 ㎛ 내지 5 ㎛일 수 있고 두께는 500 Å 내지 1000 Å일 수 있으며, 제2 돌출부(168)의 폭(w2)은 5 ㎛ 내지 8 ㎛일 수 있고 두께는 2000 Å 내지 4000 Å일 수 있다. 그러나, 오버코트층(160)의 두께 그리고 제1 및 제2 돌출부(166, 168)의 폭과 두께는 이에 제한되지 않는다. The first and second protrusions 166 and 168 protrude upward from the top surface of the overcoat layer 160 and the width w2 and the thickness of the second protrusion 168 are respectively equal to the width w1 of the first protrusion 166 ) And the thickness. For example, the overcoat layer 160, except for the first and second protrusions 166 and 168, may have a thickness of 2000 Å to 3000 Å. The width w1 of the first protrusion 166 may be 3 to 5 占 퐉 and the thickness may be 500 to 1000 占 and the width w2 of the second protrusion 168 may be 5 to 8 占 퐉 And the thickness may be 2000 A to 4000 A. However, the thickness of the overcoat layer 160 and the width and thickness of the first and second projections 166 and 168 are not limited thereto.

제1 내지 제3 화소영역(P1, P2, P3) 중 적어도 하나의 오버코트층(160) 상부에는 공통전극 접촉부(176)가 형성되며, 공통전극 접촉부(176)는 공통 콘택홀(164)을 통해 공통 배선(116)과 접촉한다. 이때, 공통전극 접촉부(176)는 제1 및 제3 화소영역(P1, P3)에 형성되고, 제2 화소영역(P2)에서는 생략될 수 있다. 이에 따라, 제1 화소영역(P1)에서 공통전극 접촉부(176)는 제1 돌출부(166)를 덮을 수 있다.A common electrode contact portion 176 is formed on at least one of the overcoat layer 160 of the first to third pixel regions P1, P2 and P3 and the common electrode contact portion 176 is electrically connected to the common contact hole 164 through the common contact hole 164 And contacts the common wiring 116. At this time, the common electrode contact portion 176 may be formed in the first and third pixel regions P1 and P3, and may be omitted in the second pixel region P2. Accordingly, the common electrode contact portion 176 in the first pixel region P1 can cover the first projection portion 166. [

이와 달리, 공통전극 접촉부(176)는 제1 화소영역(P1) 또는 제3 화소영역(P3)에만 형성될 수도 있으며, 제1 내지 제3 화소영역(P1, P2, P3) 모두에 형성될 수도 있다. Alternatively, the common electrode contact portion 176 may be formed only in the first pixel region P1 or the third pixel region P3 and may be formed in all of the first to third pixel regions P1, P2, and P3 have.

한편, 제1 기판(110)과 이격되어 제2 기판(180)이 배치된다. 제2 기판(180)은 투명한 절연물질로 이루어지며 유리나 플라스틱으로 이루어질 수 있다. Meanwhile, the second substrate 180 is disposed apart from the first substrate 110. The second substrate 180 is made of a transparent insulating material and may be made of glass or plastic.

제2 기판(180) 하부에는 제1 및 제2 컬럼 스페이서(182, 184)가 형성된다. 이때, 제1 컬럼 스페이서(182)는 제2 화소영역(P2)에 위치하고, 제2 컬럼 스페이서(184)는 제3 화소영역(P3)에 위치하며, 제1 화소영역(P1)에는 컬럼 스페이서가 형성되지 않을 수 있다. 제1 및 제2 컬럼 스페이서(182, 184)는 투명 또는 불투명 유기물질로 형성될 수 있다. First and second column spacers 182 and 184 are formed under the second substrate 180. At this time, the first column spacer 182 is located in the second pixel region P2, the second column spacer 184 is located in the third pixel region P3, and the first pixel region P1 is provided with a column spacer May not be formed. The first and second column spacers 182 and 184 may be formed of a transparent or opaque organic material.

여기서, 제1 컬럼 스페이서(182)는 셀갭 유지 스페이서이고, 제2 컬럼 스페이서(184)는 눌림 방지 스페이서이며, 제1 컬럼 스페이서(182)의 두께가 제2 컬럼 스페이서(184)의 두께보다 크다. 이때, 제1 컬럼 스페이서(182)와 제2 컬럼 스페이서(184)의 두께 차는 3000 Å 이상인 것이 바람직하며, 일례로, 제1 컬럼 스페이서(182)의 두께는 2.0 ㎛ 내지 2.5 ㎛이고, 제2 컬럼 스페이서(184)의 두께는 1.7 ㎛ 내지 2.2 ㎛일 수 있다. Here, the first column spacer 182 is a cell gap holding spacer, the second column spacer 184 is an anti-collapse spacer, and the thickness of the first column spacer 182 is greater than the thickness of the second column spacer 184. [ The thickness of the first column spacer 182 and the thickness of the second column spacer 184 are preferably equal to or greater than 3000 angstroms. For example, the thickness of the first column spacer 182 ranges from 2.0 to 2.5 占 퐉, The thickness of the spacer 184 may be 1.7 탆 to 2.2 탆.

제1 컬럼 스페이서(182)는 제2 돌출부(168)에 대응하며, 제2 돌출부(168) 또는 제2 돌출부(168) 상의 막과 접촉한다. 반면, 제2 컬럼 스페이서(184)는 제1 기판(110) 상의 최상층과 이격된다. The first column spacer 182 corresponds to the second projection 168 and contacts the membrane on the second projection 168 or the second projection 168. On the other hand, the second column spacer 184 is spaced apart from the uppermost layer on the first substrate 110.

이때, 제2 돌출부(168) 또는 제2 돌출부(168) 상의 막과 접촉하는 제1 컬럼 스페이서(182)의 하면은 가장자리가 제2 돌출부(168)의 상면 내에 놓일 수 있다. 이에 따라, 외력에 의해 제2 기판(180) 및 제1 및 제2 컬럼 스페이서(182, 184)가 이동하더라도 제1 컬럼 스페이서(182)는 제2 돌출부(168)에 의해 지지될 수 있다. At this time, the lower surface of the first column spacer 182, which is in contact with the film on the second projection 168 or the second projection 168, may have an edge placed in the upper surface of the second projection 168. Accordingly, even if the second substrate 180 and the first and second column spacers 182 and 184 move due to an external force, the first column spacer 182 can be supported by the second projection 168.

이와 달리, 제2 돌출부(168)의 상면은 가장자리가 제1 컬럼 스페이서(182)의 하면 내에 놓일 수도 있으며, 이에 제한되지 않는다.Alternatively, the upper surface of the second projection 168 may be positioned within the lower surface of the first column spacer 182, but is not limited thereto.

제1 및 제2 컬럼 스페이서(182, 184)의 각각은 원, 바(bar) 또는 사각 모양의 평면구조를 가질 수 있으며, 제2 컬럼 스페이서(184)의 최대 폭은 제1 컬럼 스페이서(182)의 최대 폭보다 큰 것이 바람직하다. 예를 들어, 제1 및 제2 컬럼 스페이서(182, 184)는 원 모양의 평면 구조를 가질 수 있으며, 제2 컬럼 스페이서(184)의 지름은 제1 컬럼 스페이서(182)의 지름의 약 2배일 수 있다. 일례로, 제1 컬럼 스페이서(182)의 지름은 약 15 ㎛이고, 제2 컬럼 스페이서(184)의 지름은 약 30 ㎛일 수 있다.Each of the first and second column spacers 182 and 184 may have a circular, bar or square planar structure and the maximum width of the second column spacer 184 may be a first column spacer 182, Is preferably greater than the maximum width of the first layer. For example, the first and second column spacers 182 and 184 may have a circular planar structure, and the diameter of the second column spacer 184 may be about twice the diameter of the first column spacer 182 . For example, the diameter of the first column spacer 182 may be about 15 microns, and the diameter of the second column spacer 184 may be about 30 microns.

공통전극 접촉부(176)를 포함하는 제1 기판(110)과 제1 및 제2 컬럼 스페이서(182, 184)를 포함하는 제2 기판(180) 사이에는 액정층(190)이 형성된다.A liquid crystal layer 190 is formed between the first substrate 110 including the common electrode contact portion 176 and the second substrate 180 including the first and second column spacers 182 and 184.

도시하지 않았지만, 공통전극 접촉부(176) 상부에는 제1 배향막이 형성되고, 제1 및 제2 컬럼 스페이서(182, 184) 하부 또는 상부에는 제2 배향막이 형성되며, 액정층(190)은 제1 및 제2 배향막 사이에 위치한다. 제1 및 제2 배향막은 러빙배향법 또는 광배향법에 의해 표면이 일정한 방향성을 가지며, 액정층(190)의 액정분자는 제1 및 제2 배향막의 배향 방향을 따라 초기 배열된다.Although not shown, a first alignment layer is formed on the common electrode contact portion 176, a second alignment layer is formed on the lower or upper portion of the first and second column spacers 182 and 184, And the second alignment film. The surfaces of the first and second alignment films have a constant directional orientation by the rubbing alignment method or the photo alignment method, and the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer 190 are initially aligned along the alignment direction of the first and second alignment films.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 제2 돌출부를 위에서 본 3차원 현미경 영상이다.7 is a three-dimensional micrograph image of the second projection according to the embodiment of the present invention viewed from above.

도 7에 도시한 바와 같이, 제2 돌출부(도 6의 168)는 내부에 홀, 즉, 공통 콘택홀(도 6의 1624)을 포함하여 굴뚝 형태를 가지며, 고리 모양의 평면 구조를 수 있다. 이때, 제2 돌출부(도 6의 168)는 실질적으로 사각형의 평면 구조를 가질 수 있다. 이와 달리, 제2 돌출부(도 6의 168)는 원형의 평면 구조를 가질 수도 있다. 또한, 제2 돌출부(도 6의 168)는 일정 간격으로 배치된 다수의 홈을 포함할 수도 있다. As shown in Fig. 7, the second projection (168 in Fig. 6) has a chimney shape including a hole, i.e., a common contact hole (1624 in Fig. 6) therein, and can have an annular planar structure. At this time, the second projection (168 in Fig. 6) may have a substantially rectangular planar structure. Alternatively, the second projection (168 in Fig. 6) may have a circular planar structure. In addition, the second projection (168 in Fig. 6) may include a plurality of grooves arranged at regular intervals.

한편, 제1 돌출부(도 6의 166)도 제2 돌출부(도 6의 168)와 실질적으로 동일한 형태를 가질 수 있다.On the other hand, the first projecting portion (166 in Fig. 6) may have substantially the same shape as the second projecting portion (168 in Fig. 6).

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치에서는 공통 콘택홀(도 6의 168) 상부에 제1 및 제2 컬럼 스페이서(도 6의 182, 도 6의 184)를 배치한다. 이때, 제1 컬럼 스페이서(도 6의 182)에 대응하여 비교적 두께가 두꺼우며 내부에 공통 콘택홀(도 6의 164)을 포함하는 제2 돌출부(도 6의 168)를 형성하고, 제1 컬럼 스페이서(도 6의 182)를 제2 돌출부(도 6의 168) 또는 제2 돌출부(도 6의 168) 상부의 막과 접촉하도록 한다. 또한, 제2 컬럼 스페이서(도 6의 184)에 대응하여 돌출부를 형성하지 않거나 비교적 두께가 얇은 제1 돌출부(도 6의 166)를 형성한다. Thus, in the liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention, the first and second column spacers (182 in FIG. 6 and 184 in FIG. 6) are arranged above the common contact hole (168 in FIG. 6). At this time, a second protrusion (168 in Fig. 6) having a relatively thick thickness corresponding to the first column spacer (182 in Fig. 6) and including a common contact hole (164 in Fig. 6) The spacer (182 in Fig. 6) is brought into contact with the film above the second projection (168 in Fig. 6) or the second projection (168 in Fig. Also, a first protrusion (166 in Fig. 6) is formed which does not form a protrusion corresponding to the second column spacer (184 in Fig. 6) or is relatively thin.

따라서, 제2 돌출부(도 6의 168)의 단차 구조에 의해 제1 기판(도 6의 110) 상의 최상층, 일례로, 오버코트층(도 6의 160)의 상면과 제2 컬럼 스페이서(도 6의 184) 사이에 일정 간격을 확보할 수 있다. 6) by the step structure of the second projection (168 in Fig. 6) and the upper surface of the overcoat layer (160 in Fig. 6) and the second column spacer 184 can be ensured.

이때, 제1 컬럼 스페이서(도 6의 182)와 제1 기판(도 6의 110) 상의 최상층과의 접촉 면적을 줄여 터치 불량을 방지할 수 있으며, 제1 컬럼 스페이서(도 6의 182)의 배치 밀도를 높여 제2 기판(도 6의 180) 처짐을 막을 수 있다. At this time, it is possible to reduce the contact area between the first column spacer (182 in FIG. 6) and the uppermost layer on the first substrate (110 in FIG. 6) to prevent the touch failure and to arrange the first column spacer The density of the second substrate (180 in Fig. 6) can be prevented from being deflected.

또한, 제1 및 제2 컬럼 스페이서(도 6의 182, 도 6의 184)의 배치 자유도를 높이고, 경계영역의 면적을 줄일 수 있어 개구율을 증가시킬 수 있다.Further, the degree of freedom of arranging the first and second column spacers (182 in FIG. 6 and 184 in FIG. 6) can be increased, the area of the boundary region can be reduced, and the aperture ratio can be increased.

한편, 본 발명의 실시예에서는 제1 및 제2 돌출부(도 6의 166, 도 6의 168)가 공통 콘택홀(도 6의 164)에 대응하여 형성된 구조에 대해 설명하였으나, 이에 제한되지 않는다. 즉, 제1 및 제2 돌출부(도 6의 166, 도 6의 168)는 드레인 콘택홀(도 4의 162)에 대응하여 형성될 수도 있으며, 이 경우 제1 및 제2 컬럼 스페이서(도 6의 182, 도 6의 184)는 드레인 콘택홀(도 4의 162) 상부에 위치할 수도 있다.
In the embodiment of the present invention, the first and second protrusions (166 in FIG. 6 and 168 in FIG. 6) have been described in correspondence with the common contact hole (164 in FIG. 6), but the present invention is not limited thereto. In other words, the first and second protrusions (166 in Fig. 6, 168 in Fig. 6) may be formed corresponding to the drain contact holes (162 in Fig. 4), in which case the first and second column spacers 182, 184 in FIG. 6) may be located above the drain contact hole (162 in FIG. 4).

이러한 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 방법에 대해 도 8a 내지 도 8f와 도 4를 참조하여 상세히 설명한다. A method of manufacturing an array substrate for a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 8A to 8F and FIG.

도 8a 내지 도 8f는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 공정 중 각 단계에서 어레이 기판을 개략적으로 도시한 단면도로, 도 5의 VIA-VI선과 VIB-VIB선 그리고 VIC-VIC선에 대응하는 단면을 도시한다.FIGS. 8A to 8F are cross-sectional views schematically showing an array substrate in each step of a manufacturing process of an array substrate for a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention, in which VIA-VI line, VIB- Sectional view corresponding to the VIC line.

도 8a에 도시한 바와 같이, 제1 내지 제3 화소영역(P1, P2, P3)이 정의된 투명한 절연 기판(110) 위에 스퍼터링(sputtering) 등의 방법으로 제1 도전성 물질을 증착하여 제1 도전물질층(도시하지 않음)을 형성하고, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 제1 도전물질층을 선택적으로 패터닝함으로써, 공통 배선(116)을 형성한다. 8A, a first conductive material is deposited on a transparent insulating substrate 110 having first, second, and third pixel regions P1, P2, and P3 defined therein by sputtering or the like, A material layer (not shown) is formed, and the first conductive material layer is selectively patterned through a photolithography process using a mask to form the common wiring 116.

이때, 게이트 전극(도 4의 114)과 게이트 배선(도 5의 112)도 함께 형성된다. 게이트 전극(도 4의 114)은 각 화소영역(P1, P2, P3)에 위치하는 게이트 배선(도 5의 112)의 일부일 수 있다. At this time, a gate electrode (114 in Fig. 4) and a gate wiring (112 in Fig. 5) are also formed. The gate electrode (114 in FIG. 4) may be part of the gate wiring (112 in FIG. 5) located in each pixel region P1, P2, and P3.

기판(110)은 유리나 플라스틱으로 이루어질 수 있으며, 제1 도전물질층은 알루미늄(aluminum)이나 몰리브덴(molybdenum), 니켈(nickel), 크롬(chromium), 구리(copper) 또는 이들의 합금을 포함할 수 있고, 단일 층 또는 다중층 구조일 수 있다. The substrate 110 may be made of glass or plastic and the first layer of conductive material may include aluminum, molybdenum, nickel, chromium, copper, or alloys thereof. And may be a single layer or multilayer structure.

다음, 도 8b에 도시한 바와 같이, 공통 배선(116)과 게이트 전극(도 4의 114) 및 게이트 배선(도 5의 112) 상부에 게이트 절연막(120)을 형성한다. 게이트 절연막(120)은 실질적으로 기판(110) 전면에 플라즈마를 이용한 화학기상증착(chemical vapor deposition: CVD) 방법으로 제1 절연물질을 증착함으로써 형성될 수 있다. 이때, 제1 절연물질은 질화 실리콘(SiNx)이나 산화 실리콘(SiO2)의 무기절연물질일 수 있으며, 일례로, 질화 실리콘일 수 있다. Next, as shown in Fig. 8B, a gate insulating film 120 is formed on the common wiring 116, the gate electrode (114 in Fig. 4) and the gate wiring (112 in Fig. 5). The gate insulating layer 120 may be formed by depositing a first insulating material on the entire surface of the substrate 110 by a chemical vapor deposition (CVD) method using plasma. In this case, the first insulating material may be an inorganic insulating material of silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiO 2), for example, it may be silicon nitride.

이어, 게이트 절연막(120) 상부에 제1 반도체물질층(도시하지 않음)과 제2 반도체물질층(도시하지 않음)을 차례로 형성하고, 제2 반도체물질층 상부에 제2 도전물질층(도시하지 않음)을 형성한 후, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 제2 도전물질층과 제1 및 제2 반도체물질층을 선택적으로 패터닝하여 반도체층(도 4의 122)과, 반도체 패턴(도시하지 않음), 소스 전극(도 4의 134), 드레인 전극(도 4의 136), 그리고 데이터 배선(도 4의 132)을 형성한다. 여기서, 마스크는 광차단부와 광투과부 및 광반투과부를 포함할 수 있다.Next, a first semiconductor material layer (not shown) and a second semiconductor material layer (not shown) are sequentially formed on the gate insulating layer 120, and a second conductive material layer 4) and a semiconductor pattern (not shown in FIG. 4) is formed by selectively patterning the second conductive material layer and the first and second semiconductor material layers through a photolithography process using a mask, ), A source electrode (134 in FIG. 4), a drain electrode (136 in FIG. 4), and a data line (132 in FIG. Here, the mask may include a light blocking portion, a light transmitting portion, and an optically semitransmissive portion.

제1 반도체물질층과 제2 반도체물질층은 플라즈마를 이용한 CVD 방법으로 진성 비정질 실리콘과 불순물을 포함하는 비정질 실리콘을 각각 증착함으로써 형성될 수 있고, 제2 도전물질층은 금속과 같은 도전성 물질을 스퍼터링 방법으로 증착함으로써 형성될 수 있다. 제2 도전물질층은 알루미늄(aluminum)이나 몰리브덴(molybdenum), 니켈(nickel), 크롬(chromium), 구리(copper) 또는 이들의 합금을 포함할 수 있으며, 단일층 또는 다중층 구조일 수 있다.The first semiconductor material layer and the second semiconductor material layer may be formed by depositing amorphous silicon containing impurity and intrinsic amorphous silicon respectively by a CVD method using plasma and the second conductive material layer may be formed by sputtering a conductive material such as metal For example, by evaporation. The second conductive material layer may include aluminum, molybdenum, nickel, chromium, copper, or an alloy thereof, and may be a single layer or a multilayer structure.

다음, 소스 및 드레인 전극(도 4의 134, 도 4의 136)과 데이터 배선(도 4의 132) 상부에 보호층(140)을 형성한다. 보호층(140)은 실질적으로 기판(110) 전면에 플라즈마를 이용한 CVD 방법으로 제2 절연물질을 증착함으로써 형성될 수 있다. 제2 절연물질은 질화 실리콘(SiNx)이나 산화 실리콘(SiO2)의 무기절연물질일 수 있으며, 일례로, 질화 실리콘일 수 있다.Next, a protective layer 140 is formed on the source and drain electrodes (134 in FIG. 4, 136 in FIG. 4) and on the data line (132 in FIG. 4). The protective layer 140 may be formed by depositing a second insulating material on the entire surface of the substrate 110 by a CVD method using plasma. The second insulating material may be an inorganic insulating material of silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiO 2), it may be in one example, silicon nitride.

이어, 보호층(140) 상부의 실질적으로 기판(110) 전면에 제1 컬러 레지스트를 도포하고 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 패터닝함으로써, 일 화소영역에 제1 컬러필터(도시하지 않음)를 형성하고, 공통 배선(116) 상부에 제1 컬러패턴(156a)을 형성한다. 이때, 제1 컬러패턴(156a)은 소스 및 드레인 전극(도 4의 134, 도 4의 136) 상부에도 형성될 수 있다. 일례로, 제1 컬러 레지스트는 적색 레지스트일 수 있다. Next, a first color resist (not shown) is formed on one pixel region by applying a first color resist to the entire surface of the substrate 110 substantially over the passivation layer 140 and patterning through a photolithography process using a mask And a first color pattern 156a is formed on the common wiring 116. [ At this time, the first color pattern 156a may also be formed on the source and drain electrodes (134 in Fig. 4, 136 in Fig. 4). In one example, the first color resist may be a red resist.

여기서, 제1 컬러패턴(156a)은 공통 배선(116)과 드레인 전극(도 4의 136)에 대응하여 제1 홀을 가질 수 있다. Here, the first color pattern 156a may have a first hole corresponding to the common wiring 116 and the drain electrode (136 in Fig. 4).

다음, 도 8c에 도시한 바와 같이, 제1 컬러패턴(156a)과 제1 컬러필터(도시하지 않음) 상부의 실질적으로 기판(110) 전면에 제2 컬러 레지스트를 도포하고 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 패터닝함으로써, 또 다른 화소영역에 제2 컬러필터(도시하지 않음)를 형성하고, 제1 컬러패턴(156a) 상부에는 제2 컬러패턴(156b)을 형성한다. 제1 및 제2 컬러패턴(156a, 156b)은 차광층(156)을 이룬다. 일례로, 제2 컬러 레지스트는 청색 레지스트일 수 있다.Next, as shown in FIG. 8C, a second color resist is applied to the entire surface of the substrate 110 substantially over the first color pattern 156a and the first color filter (not shown), and a photolithography process A second color filter (not shown) is formed in another pixel region, and a second color pattern 156b is formed on the first color pattern 156a. The first and second color patterns 156a and 156b form a light shielding layer 156. [ As an example, the second color resist may be a blue resist.

여기서, 제2 컬러패턴(156b)은 제1 컬러패턴(156a)의 제1 홀에 대응하여 제2 홀을 가질 수 있다. 이때, 제2 컬러패턴(156b)의 제2 홀은 제1 컬러패턴(156a)의 제1 홀 내에 위치할 수 있으며, 제2 컬러패턴(156b)은 제1 홀에 대응하는 제1 컬러패턴(156a)의 측면을 덮을 수 있다. Here, the second color pattern 156b may have a second hole corresponding to the first hole of the first color pattern 156a. At this time, the second hole of the second color pattern 156b may be located in the first hole of the first color pattern 156a, and the second color pattern 156b may be located in the first color pattern 156b corresponding to the first hole 156a.

이어, 차광층(156)과 제2 컬러필터 상부의 실질적으로 기판(110) 전면에 제3 컬러 레지스트를 도포하고 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 패터닝함으로써, 또 다른 화소영역에 제3 컬러필터를 형성할 수 있다. 제1, 제2, 제3 컬러필터는 컬러필터층(도 4의 152)을 이룬다. 일례로, 제3 컬러 레지스트는 녹색 레지스트일 수 있다.Next, a third color resist is applied to the entire surface of the substrate 110 substantially over the light shielding layer 156 and the second color filter, and patterned through a photolithography process using a mask, thereby forming a third color filter . The first, second and third color filters form a color filter layer (152 in Fig. 4). As an example, the third color resist may be a green resist.

여기서, 차광층(156)의 제1 및 제2 컬러패턴(156a, 156b)과 제1, 제2, 제3 컬러필터의 형성 순서는 이에 제한되지 않으며, 달라질 수 있다.Here, the order of forming the first and second color patterns 156a and 156b and the first, second, and third color filters of the light shielding layer 156 is not limited to this, and may vary.

다음, 도 8d에 도시한 바와 같이, 차광층(156)과 컬러필터층(도 4의 152) 상부에 감광성 유기물질을 도포하여 감광성 유기막(160a)을 형성한다. 다음, 건조 공정을 수행하여 감광성 유기막(160a)의 용매를 제거할 수 있다. 여기서, 감광성 유기막(160a)은 포토아크릴(photo acryl)일 수 있다.Next, as shown in FIG. 8D, a photosensitive organic material is applied on the light shielding layer 156 and the color filter layer 152 (FIG. 4) to form a photosensitive organic film 160a. Next, the drying process may be performed to remove the solvent of the photosensitive organic film 160a. Here, the photosensitive organic layer 160a may be a photo acryl.

이어, 감광성 유기막(160a) 상부에 노광 마스크(200)를 배치하고, 노광 마스크(200)를 통해 감광성 유기막(160a)을 노광한다. 이때, 노광 마스크(200)는 빛을 차단하는 차단부(A1)와 빛을 투과시키는 투과부(A2) 그리고 빛을 부분적으로 투과시키는 반투과부(A3)를 포함한다. 즉, 반투과부(A3)의 투과도가 투과부(A2)의 투과도보다 낮으며, 반투과부(A3)의 투과도는 약 30% 내지 50%일 수 있다. Next, an exposure mask 200 is disposed on the photosensitive organic film 160a, and the photosensitive organic film 160a is exposed through the exposure mask 200. [ At this time, the exposure mask 200 includes a blocking portion A1 for blocking light, a transmitting portion A2 for transmitting light, and a semi-transmitting portion A3 for partially transmitting light. That is, the transmittance of the transflective portion A3 may be lower than the transmittance of the transmissive portion A2, and the transmittance of the transflective portion A3 may be about 30% to 50%.

여기서, 감광성 유기막(160a)은 빛에 노출된 부분이 현상 후 남게 되는 음의 감광성을 가질 수 있다. 따라서, 차단부(A1)는 제1 내지 제3 화소영역(P1, P2, P3)의 공통 배선(116) 상부에 대응하고, 투과부(A2)는 제1 및 제2 화소영역(P1, P2)의 차단부(A1)의 양측, 보다 상세하게는 제1 및 제2 화소영역(P1, P2)의 차단부(A1)를 둘러싸도록 위치하며, 반투과부(A3)는 나머지 영역에 대응한다. 이때, 제2 화소영역(P2)의 투과부(A2) 폭이 제1 화소영역(P1)의 투과부(A2) 폭보다 크다. 일례로, 제1 화소영역(P1)의 투과부(A2)의 폭은 3 ㎛ 내지 5 ㎛이고, 제2 화소영역(P2)의 투과부(A2)의 폭은 5 ㎛ 내지 8 ㎛일 수 있다.Here, the photosensitive organic layer 160a may have a negative photosensitive property such that a portion exposed to light remains after development. The blocking portion A1 corresponds to the upper portion of the common wiring 116 of the first to third pixel regions P1, P2 and P3 and the transmissive portion A2 corresponds to the upper portion of the first and second pixel regions P1 and P2. The transflective portion A3 is located on both sides of the blocking portion A1 of the first and second pixel regions P1 and P2 so as to surround the blocking portion A1. At this time, the width of the transmitting portion A2 of the second pixel region P2 is larger than the width of the transmitting portion A2 of the first pixel region P1. For example, the width of the transmissive portion A2 of the first pixel region P1 may be between 3 탆 and 5 탆, and the width of the transmissive portion A2 of the second pixel region P2 may be between 5 탆 and 8 탆.

이와 달리, 감광성 유기막(160a)은 빛에 노출된 부분이 현상 후 제거되는 양의 감광성을 가질 수도 있으며, 이 경우, 차단부(A1)와 투과부(A2)의 위치는 반대가 된다.Alternatively, the photosensitive organic layer 160a may have a photosensitivity in which a portion exposed to light is removed after development. In this case, the positions of the blocking portions A1 and the transmissive portions A2 are reversed.

한편, 도시하지 않았지만, 드레인 전극(도 4의 136) 상부에도 차단부(A1)가 위치한다. On the other hand, although not shown, the blocking portion A1 is also located above the drain electrode (136 in Fig. 4).

다음, 도 8e에 도시한 바와 같이, 노광된 감광성 유기막(도 8d의 160a)을 현상하고 경화하여 오버코트층(160)을 형성한다. Next, as shown in Fig. 8E, the exposed photosensitive organic film (160a in Fig. 8D) is developed and cured to form the overcoat layer 160. [

여기서, 제1 내지 제3 화소영역(P1, P2, P3)의 각각에는 노광 마스크(도 8d의 200)의 차단부(도 8d의 A1)에 대응하여 공통 콘택홀(164)이 형성된다. 또한, 제1 화소영역(P1)에는 노광 마스크(도 8d의 200)의 투과부(도 8d의 A2)에 대응하여 제1 돌출부(166)가 형성되고, 제2 화소영역(P2)에는 노광 마스크(도 8d의 200)의 투과부(도 8d의 A2)에 대응하여 제2 돌출부(168)가 형성되며, 나머지 영역에는 노광 마스크(도 8d의 200)의 반투과부(도 8d의 A3)에 대응하여 감광성 유기막(도 8d의 160a)보다 낮은 두께의 오버코트층(160)이 형성된다. A common contact hole 164 is formed in each of the first to third pixel regions P1, P2, and P3 corresponding to the blocking portion (A1 in FIG. 8D) of the exposure mask (200 in FIG. 8D). 8D) of the exposure mask (200 in Fig. 8D) is formed in the first pixel region P1, and the first projection portion 166 is formed in the second pixel region P2 in the exposure mask 8D) corresponding to the transmissive portion (A2 in Fig. 8D) of the exposure mask (200 in Fig. 8D) and the remaining region is provided with a photosensitive portion An overcoat layer 160 having a lower thickness than the organic film (160a in Fig. 8D) is formed.

이때, 제1 화소영역(P1)의 공통 콘택홀(164)은 제1 돌출부(166) 내에도 형성되고, 제2 화소영역(P2)의 공통 콘택홀(164)은 제2 돌출부(168) 내에도 형성된다. 따라서, 제1 및 제2 돌출부(166, 168)는 고리 형태의 평면 구조를 가진다. The common contact hole 164 of the first pixel region P1 is also formed in the first protrusion 166 and the common contact hole 164 of the second pixel region P2 is formed in the second protrusion 168 . Accordingly, the first and second projections 166 and 168 have a ring-shaped planar structure.

한편, 공통 콘택홀(164) 근처의 오버코트층(160)과 제1 및 제2 돌출부(166, 168)는 경화 단계에서 공통 콘택홀(164) 내부로 흘러내려 그 높이가 낮아지는데, 제2 돌출부(168)의 폭이 제1 돌출부(166)의 폭보다 크므로, 제2 돌출부(168)의 흘러내리는 정도가 제1 돌출부(166)에 비해 적어, 제2 돌출부(168)는 제1 돌출부(166)에 비해 큰 두께를 가진다. On the other hand, the overcoat layer 160 near the common contact hole 164 and the first and second protrusions 166 and 168 flow down into the common contact hole 164 in the curing step, The width of the second protrusion 168 is smaller than the width of the first protrusion 166 so that the degree of flow of the second protrusion 168 is smaller than that of the first protrusion 166, 166).

일례로, 제1 및 제2 돌출부(166, 168)을 제외한 오버코트층(160)은 2000 Å 내지 3000 Å의 두께를 가질 수 있다. 또한, 제1 돌출부(166)의 폭은 3 ㎛ 내지 5 ㎛일 수 있고 두께는 500 Å 내지 1000 Å일 수 있으며, 제2 돌출부(168)의 폭은 5 ㎛ 내지 8 ㎛일 수 있고 두께는 2000 Å 내지 4000 Å일 수 있다.For example, the overcoat layer 160 excluding the first and second protrusions 166 and 168 may have a thickness of 2000 Å to 3000 Å. In addition, the width of the first protrusion 166 may be between 3 탆 and 5 탆, the thickness may be between 500 Å and 1000 Å, the width of the second protrusion 168 may be between 5 袖 m and 8 袖 m, Lt; / RTI > to 4000 Angstroms.

이어, 오버코트층(160)을 식각 마스크로 이용하여 보호층(140)와 게이트 절연막(120)을 제거한다. 따라서, 공통 콘택홀(164)은 보호층(140) 및 게이트 절연막(120) 내에도 형성되며, 공통 콘택홀(164)을 통해 공통 배선(116)이 노출된다. Next, the protective layer 140 and the gate insulating layer 120 are removed using the overcoat layer 160 as an etching mask. The common contact hole 164 is also formed in the protective layer 140 and the gate insulating film 120 and the common wiring 116 is exposed through the common contact hole 164.

또한, 드레인 전극(도 4의 136)을 노출하는 드레인 콘택홀(도 4의 162)이 제1 내지 제3 화소영역(P1, P2, P3) 각각의 오버코트층(160) 내에 형성되며, 드레인 콘택홀(도 4의 162)은 보호층(140) 내에도 형성된다.4) is formed in the overcoat layer 160 of each of the first to third pixel regions P1, P2, and P3, and a drain contact hole (not shown in FIG. The hole (162 in FIG. 4) is also formed in the protective layer 140.

다음, 도 8f에 도시한 바와 같이, 오버코트층(160) 상부에 스퍼터링 등의 방법으로 제3 도전성 물질을 증착하여 제3 도전물질층(도시하지 않음)을 형성하고, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 제3 도전물질층을 선택적으로 패터닝함으로써, 공통전극 접촉부(176)를 형성한다. 이때, 공통전극 접촉부(176)는 제1 및 제3 화소영역(P1, P3)에 각각 형성되며, 공통 콘택홀(164)을 통해 공통 배선(116)과 접촉한다. Next, as shown in FIG. 8F, a third conductive material layer (not shown) is deposited on the overcoat layer 160 by a method such as sputtering to form a third conductive material layer, and a photolithography process using a mask To form a common electrode contact portion 176. The common electrode contact portion 176 is formed by patterning the third conductive material layer. The common electrode contact portion 176 is formed in the first and third pixel regions P1 and P3 and is in contact with the common wiring 116 through the common contact hole 164.

또한, 각 화소영역(P1, P2, P3)에는 화소전극(도 4의 172)과 화소전극 연결부(도 4의 173), 공통전극(도 4의 174), 그리고 공통전극 연결부(도 5의 175)가 형성된다.4), a common electrode (174 in FIG. 4), and a common electrode connection (175 in FIG. 5) are formed in the pixel regions P1, P2, and P3, Is formed.

여기서, 제3 도전물질층은 인듐-틴-옥사이드(indium tin oxide)나 인듐-징크-옥사이드(indium zinc oxide)와 같은 투명도전물질로 형성될 수 있다. Here, the third conductive material layer may be formed of a transparent conductive material such as indium tin oxide or indium zinc oxide.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 방법에 따르면, 1회의 사진식각공정을 통해 서로 다른 두께를 갖는 제1 및 제2 돌출부(166, 168)을 형성할 수 있으므로, 공정의 증가 없이 어레이 기판 상에 단차 구조를 형성할 수 있다. As described above, according to the method of manufacturing an array substrate for a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention, the first and second protrusions 166 and 168 having different thicknesses can be formed through a single photolithography process , A stepped structure can be formed on the array substrate without increasing the number of steps.

한편, 앞선 실시예에서는 제1 기판(110) 상부의 제2 돌출부(168)가 내부에 공통 콘택홀(164)을 포함하여 제1 컬럼 스페이서(182)와의 접촉 면적을 줄이는데, 이와 달리, 제1 기판(110) 상부에 홀을 포함하지 않는 돌출부를 형성하고 제1 컬럼 스페이서(182) 내부에 홀을 형성하여 제1 컬럼 스페이서(182)의 접촉 면적을 줄일 수도 있다.
In the above embodiment, the second protrusion 168 on the first substrate 110 includes the common contact hole 164 therein to reduce the contact area with the first column spacer 182. Alternatively, A contact area of the first column spacer 182 may be reduced by forming a protrusion not including a hole on the substrate 110 and forming a hole in the first column spacer 182.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치는 공통 콘택홀이 형성된 영역을 제외하고 앞선 실시예와 동일한 구조를 가지며, 동일 부분에 대한 설명은 간략히 하거나 생략한다. 9 is a cross-sectional view schematically showing a liquid crystal display device according to another embodiment of the present invention. The liquid crystal display device according to another embodiment of the present invention has the same structure as the previous embodiment except for the region where the common contact hole is formed, and a description of the same portion will be simplified or omitted.

도 9에 도시한 바와 같이, 제1 내지 제3 화소영역(P1, P2, P3)이 정의된 투명한 제1 기판(210) 위에 공통 배선(216)이 형성된다. 9, a common wiring 216 is formed on a transparent first substrate 210 on which first, second, and third pixel regions P1, P2, and P3 are defined.

공통 배선(216) 상부에는 게이트 절연막(220)이 형성되고, 게이트 절연막(220) 상부에는 보호층(240)이 형성된다. A gate insulating layer 220 is formed on the common wiring 216 and a protective layer 240 is formed on the gate insulating layer 220.

보호층(240) 상부에는 차광층(256)이 형성된다. 차광층(256)은 제1 컬러패턴(256a)과 제1 컬러패턴(256a) 상부의 제2 컬러패턴(256b)을 포함한다. 일례로, 제1 컬러패턴(256a)은 적 컬러필터와 동일 물질로 이루어지고, 제2 컬러패턴(256b)은 청 컬러필터와 동일 물질로 이루어질 수 있다. A light shielding layer 256 is formed on the protective layer 240. The shading layer 256 includes a first color pattern 256a and a second color pattern 256b over the first color pattern 256a. For example, the first color pattern 256a may be made of the same material as the red color filter, and the second color pattern 256b may be made of the same material as the blue color filter.

차광층(256) 상부에는 오버코트층(260)이 형성된다. 오버코트층(260)은 공통배선(216)을 노출하는 공통 콘택홀(264)을 가진다. 이때, 공통 콘택홀(264)은 보호층(240) 및 게이트 절연막(220) 내에도 형성된다. An overcoat layer 260 is formed on the light-shielding layer 256. The overcoat layer 260 has a common contact hole 264 that exposes the common wiring 216. At this time, the common contact hole 264 is also formed in the protective layer 240 and the gate insulating film 220.

여기서, 제1 및 제2 컬러패턴(256a, 256b)의 각각은 공통 콘택홀(264)에 대응하여 홀을 가질 수 있다. 보다 상세하게, 공통 콘택홀(264)은 제1 및 제2 컬러패턴(256a, 256b)의 홀 내에 위치하고, 제2 컬러패턴(256b)의 홀은 제1 컬러패턴(256a)의 홀 내에 위치하며, 제2 컬러패턴(256b)은 제1 컬러패턴(156a)의 측면을 덮을 수 있다. Here, each of the first and second color patterns 256a and 256b may have a hole corresponding to the common contact hole 264. More specifically, the common contact holes 264 are located in the holes of the first and second color patterns 256a and 256b and the holes of the second color pattern 256b are located in the holes of the first color pattern 256a , The second color pattern 256b may cover the side surface of the first color pattern 156a.

이와 달리, 제1 및 제2 컬러패턴(256a, 256b)의 홀은 생략되고, 제1 및 제2 컬러패턴(256a, 256b) 내에도 공통 콘택홀(264)이 형성될 수 있다. Alternatively, holes of the first and second color patterns 256a and 256b may be omitted, and a common contact hole 264 may be formed in the first and second color patterns 256a and 256b.

또한, 오버코트층(260)은 제1 화소영역(P1)의 공통 콘택홀(264)에 대응하여 제1 돌출부(266)을 가질 수 있고, 제2 화소영역(P2)의 공통 콘택홀(264)에 대응하여 제2 돌출부(268)를 가질 수 있으며, 제3 화소영역(P3)의 공통 콘택홀(264)에 대응하여 제3 돌출부(269)를 가질 수 있다. 여기서, 제1 화소영역(P1)의 공통 콘택홀(264)은 제1 돌출부(266) 내에도 형성되고, 제2 화소영역(P2)의 공통 콘택홀(264)은 제2 돌출부(268) 내에도 형성되며, 제3 화소영역(P3)의 공통 콘택홀(264)은 제3 돌출부(269) 내에도 형성된다.The overcoat layer 260 may have a first protrusion 266 corresponding to the common contact hole 264 of the first pixel region P1 and a common contact hole 264 of the second pixel region P2. And may have a third protrusion 269 corresponding to the common contact hole 264 of the third pixel region P3. The common contact hole 264 of the first pixel region P1 is also formed in the first protrusion 266 and the common contact hole 264 of the second pixel region P2 is formed in the second protrusion 268 And the common contact hole 264 of the third pixel region P3 is also formed in the third projection 269. [

이와 달리, 오버코트층(260)은 제1 화소영역(P1)의 공통 콘택홀(264)에 대응하여 제3 돌출부(269)를 가질 수도 있고, 돌출부를 가지지 않을 수도 있다. Alternatively, the overcoat layer 260 may have the third protrusion 269 corresponding to the common contact hole 264 of the first pixel region P1, or may not have the protrusion.

제1 내지 제3 돌출부(266, 268, 269)는 오버코트층(260)의 상면으로부터 상방으로 돌출되며, 제3 돌출부(269)의 폭(w13)과 두께는 각각 제1 돌출부(266)의 폭(w11)과 두께보다 크고, 제2 돌출부(268)의 폭(w12)과 두께보다 작다. 일례로, 제1 내지 제3 돌출부(266, 268, 269)를 제외한 오버코트층(260)은 2000 Å 내지 3000 Å의 두께를 가질 수 있다. 또한, 제1 돌출부(266)의 폭(w11)은 3 ㎛ 내지 5 ㎛일 수 있고 두께는 500 Å 내지 1000 Å일 수 있으며, 제2 돌출부(268)의 폭(w12)은 15 ㎛ 내지 20 ㎛일 수 있고 두께는 2.0 ㎛ 내지 3.0 ㎛일 수 있으며, 제3 돌출부(269)의 폭(w13)은 5 ㎛ 내지 8 ㎛일 수 있고 두께는 2000 Å 내지 4000 Å일 수 있다. 그러나, 오버코트층(260)의 두께 그리고 제1 내지 제3 돌출부(266, 268, 269)의 폭과 두께는 이에 제한되지 않는다. The width w13 of the third protrusion 269 and the thickness of the third protrusion 269 protrude upward from the top surface of the overcoat layer 260 such that the width of the first protrusion 266 (w11) and the width (w12) of the second projection 268 and the thickness. For example, the overcoat layer 260, excluding the first to third protrusions 266, 268, and 269, may have a thickness of 2000 Å to 3000 Å. In addition, the width w11 of the first protrusion 266 may be 3 占 퐉 to 5 占 퐉, the thickness may be 500 占 퐉 to 1000 占 and the width w12 of the second protrusion 268 may be 15 占 퐉 to 20 占 퐉 And the thickness may be 2.0 占 퐉 to 3.0 占 퐉 and the width w13 of the third protrusion 269 may be 5 占 퐉 to 8 占 퐉 and the thickness may be 2000 占 퐉 to 4000 占 퐉. However, the thickness of the overcoat layer 260 and the width and thickness of the first to third projections 266, 268, 269 are not limited thereto.

제1 내지 제3 화소영역(P1, P2, P3) 중 적어도 하나의 오버코트층(260) 상부에는 공통전극 접촉부(276)가 형성되며, 공통전극 접촉부(276)는 공통 콘택홀(264)을 통해 공통 배선(216)과 접촉한다. 이때, 공통전극 접촉부(276)는 제1 화소영역(P1)에만 형성되고, 제2 및 제3 화소영역(P2, P3)에서는 생략될 수 있다. 이에 따라, 제1 화소영역(P1)에서 공통전극 접촉부(276)는 제1 돌출부(266)를 덮을 수 있다. 이와 달리, 공통전극 접촉부(276)는 제3 화소영역(P3)에도 형성될 수 있다. A common electrode contact portion 276 is formed on at least one of the overcoat layers 260 of the first to third pixel regions P1 to P3 and the common electrode contact portion 276 is electrically connected to the common contact hole 264 And contacts the common wiring 216. At this time, the common electrode contact portion 276 may be formed only in the first pixel region P1 and may be omitted in the second and third pixel regions P2 and P3. Thus, the common electrode contact portion 276 in the first pixel region P1 can cover the first projection 266. [ Alternatively, the common electrode contact portion 276 may also be formed in the third pixel region P3.

한편, 제1 기판(210)과 이격되어 제2 기판(280)이 배치된다. 제2 기판(280)은 투명한 절연물질로 이루어지며 유리나 플라스틱으로 이루어질 수 있다. Meanwhile, the second substrate 280 is disposed apart from the first substrate 210. The second substrate 280 is made of a transparent insulating material and may be made of glass or plastic.

제2 기판(280)은 제2 돌출부(268) 또는 제2 돌출부(268) 상의 막과 접촉하고, 제3 돌출부(269) 또는 제3 돌출부(269) 상의 막과는 이격된다. 이때, 제2 돌출부(268)는 셀갭 유지 스페이서의 역할을 하고, 제3 돌출부(269)는 눌림 방지 스페이서의 역할을 한다. The second substrate 280 contacts the film on the second projection 268 or the second projection 268 and is spaced apart from the film on the third projection 269 or the third projection 269. [ At this time, the second projections 268 serve as cell gap holding spacers, and the third projections 269 serve as anti-collapse spacers.

여기서, 오버코트층(260)은 제3 화소영역(P3)의 공통 콘택홀(264)에 대응하여 돌출부를 가지지 않을 수도 있으며, 이 경우 제3 화소영역(P3)의 제2 기판(280) 하부에는 눌림 방지를 위한 스페이서가 형성될 수 있다. Here, the overcoat layer 260 may not have protrusions corresponding to the common contact holes 264 of the third pixel region P3. In this case, under the second substrate 280 of the third pixel region P3, A spacer for preventing the pressing can be formed.

공통전극 접촉부(276)를 포함하는 제1 기판(210)과 제2 기판(280) 사이에는 액정층(290)이 형성된다.A liquid crystal layer 290 is formed between the first substrate 210 and the second substrate 280 including the common electrode contact portion 276.

도시하지 않았지만, 공통전극 접촉부(276) 상부에는 제1 배향막이 형성되고, 제2 기판(280) 하부에는 제2 배향막이 형성되며, 액정층(290)은 제1 및 제2 배향막 사이에 위치한다. 제1 및 제2 배향막은 러빙배향법 또는 광배향법에 의해 표면이 일정한 방향성을 가지며, 액정층(290)의 액정분자는 제1 및 제2 배향막의 배향 방향을 따라 초기 배열된다.Although not shown, a first alignment layer is formed on the common electrode contact portion 276, a second alignment layer is formed on the second substrate 280, and a liquid crystal layer 290 is disposed between the first and second alignment layers . The surfaces of the first and second alignment layers have a constant directionality by the rubbing alignment method or the photo alignment method, and the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer 290 are initially arranged along the alignment direction of the first and second alignment layers.

이러한 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이 기판은 도 8a 내지 도 8f의 공정에 따라 제조될 수 있으며, 제1 내지 제3 돌출부(266, 268, 269)는 노광 마스크(도 8d의 200)의 투과부(도 8d의 A2) 폭을 다르게 하여 형성될 수 있다. The array substrate for a liquid crystal display according to another embodiment of the present invention may be manufactured according to the processes of FIGS. 8A to 8F, and the first to third protrusions 266, 268, The width of the transmissive portion (A2 in FIG.

이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치에서는 제1 기판(210) 상의 제2 돌출부(268)를 제1 컬럼 스페이서로 이용할 수 있다. 따라서, 제2 기판(280)에 제1 컬럼 스페이서를 형성하는 공정을 생략하여, 공정을 단순화할 수 있다. 이때, 제3 돌출부(269)는 제2 컬럼 스페이서로 이용할 수 있으며, 제3 돌출부(269)를 생략하고 제2 기판(280)의 하부에 눌림 방지를 위한 컬럼 스페이서를 형성할 수도 있다. As described above, in the liquid crystal display device according to another embodiment of the present invention, the second protrusion 268 on the first substrate 210 can be used as the first column spacer. Therefore, the step of forming the first column spacer on the second substrate 280 can be omitted, and the process can be simplified. At this time, the third protrusion 269 may be used as a second column spacer, and the third protrusion 269 may be omitted and a column spacer may be formed on the lower surface of the second substrate 280 to prevent the second protrusion 269 from being pressed.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치에서는 제2 기판(280)과 제2 돌출부(268) 또는 제2 돌출부(268) 상의 막과의 접촉 면적을 줄여 터치 불량을 방지할 수 있으며, 제2 돌출부(268)의 배치 밀도를 높여 제2 기판(280) 처짐을 막을 수 있다. In addition, in the liquid crystal display device according to another embodiment of the present invention, the contact area between the second substrate 280 and the film on the second projection 268 or the second projection 268 can be reduced, The arrangement density of the second protrusions 268 can be increased to prevent deflection of the second substrate 280.

또한, 제1 컬럼 스페이서의 역할을 하는 제2 돌출부(268)를 공통 콘택홀(164)에 대응하여 형성할 수 있으므로, 경계영역의 면적을 줄일 수 있어 개구율을 증가시킬 수 있다.
In addition, since the second projection 268 serving as the first column spacer can be formed corresponding to the common contact hole 164, the area of the boundary region can be reduced and the aperture ratio can be increased.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. And changes may be made without departing from the spirit and scope of the invention.

110: 기판 112: 게이트 배선
114: 게이트 전극 116: 공통 배선
120: 게이트 절연막 122: 반도체층
132: 데이터 배선 134: 소스 전극
136: 드레인 전극 140: 보호층
152: 컬러필터층 156: 차광층
160: 오버코트층 162: 드레인 콘택홀
164: 공통 콘택홀 166: 제1 돌출부
168: 제2 돌출부 172: 화소전극
173: 화소전극 연결부 174: 공통전극
175: 공통전극 연결부 176: 공통전극 접촉부
110: substrate 112: gate wiring
114: gate electrode 116: common wiring
120: gate insulating film 122: semiconductor layer
132: data line 134: source electrode
136: drain electrode 140: protective layer
152: Color filter layer 156: Shading layer
160: Overcoat layer 162: Drain contact hole
164: common contact hole 166: first protrusion
168: second projection 172: pixel electrode
173: pixel electrode connection portion 174: common electrode
175: common electrode connection part 176: common electrode contact part

Claims (17)

기판과;
상기 기판 상에 이격된 게이트 배선 및 공통 배선과;
상기 게이트 배선과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 배선과;
상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선에 연결된 박막 트랜지스터와;
상기 박막 트랜지스터를 덮는 보호층과;
상기 보호층 상부의 상기 화소영역에 위치하는 컬러필터층과;
상기 공통 배선에 대응하여 상기 보호층 상부에 위치하는 차광층과;
상기 컬러필터층 및 상기 차광층 상부에 위치하는 오버코트층과;
상기 오버코트층 상부의 상기 화소영역에 위치하는 화소전극 및 공통전극
을 포함하고,
상기 오버코트층은 상기 공통 배선에 대응하여 제1 돌출부를 가지며, 상기 제1 돌출부는 내부에 홀을 포함하는 어레이 기판.
Claims [1]
A gate wiring and a common wiring on the substrate;
A data line crossing the gate line and defining a pixel region;
A thin film transistor connected to the gate wiring and the data wiring;
A protective layer covering the thin film transistor;
A color filter layer located in the pixel region above the protective layer;
A light shielding layer located above the protective layer in correspondence with the common wiring;
An overcoat layer located above the color filter layer and the light blocking layer;
The pixel electrode and the common electrode located in the pixel region above the overcoat layer,
/ RTI >
Wherein the overcoat layer has a first protrusion corresponding to the common wiring, and the first protrusion includes a hole therein.
제1항에 있어서,
상기 오버코트층은 상기 공통 배선 상부에 콘택홀을 가지며, 상기 콘택홀은 상기 제1 돌출부 내에도 형성되는 어레이 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the overcoat layer has a contact hole on the common wiring, and the contact hole is also formed in the first projection.
제2항에 있어서,
상기 콘택홀은 상기 공통 배선을 노출하는 어레이 기판.
3. The method of claim 2,
And the contact hole exposes the common wiring.
제3항에 있어서,
상기 오버코트층 상부에 상기 공통전극과 연결되는 공통전극 접촉부를 더 포함하고, 상기 공통전극 접촉부는 상기 콘택홀을 통해 상기 공통 배선과 접촉하는 어레이 기판.
The method of claim 3,
And a common electrode contact portion connected to the common electrode on the overcoat layer, wherein the common electrode contact portion contacts the common wiring through the contact hole.
제1항에 있어서,
상기 제1 돌출부는 원형이나 다각형 고리 모양의 평면 구조를 가지는 어레이 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the first projection has a circular or polygonal annular planar structure.
제5항에 있어서,
상기 제1 돌출부는 일정 간격으로 배치된 다수의 홈을 포함하는 어레이 기판.
6. The method of claim 5,
Wherein the first protrusions include a plurality of grooves arranged at regular intervals.
제1항에 있어서,
상기 차광층은 제1 컬러패턴과 상기 제1 컬러패턴 상부의 제2 컬러패턴을 포함하는 어레이 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the light-shielding layer includes a first color pattern and a second color pattern on the first color pattern.
제1항에 있어서,
상기 오버코트층은 제1 화소영역에 대응하여 상기 제1 돌출부를 갖고, 제2 화소영역에 대응하여 제2 돌출부를 가지며, 상기 제1 돌출부의 폭과 두께는 상기 제2 돌출부의 폭과 두께보다 큰 어레이 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the overcoat layer has the first protrusion corresponding to the first pixel area and has a second protrusion corresponding to the second pixel area, the width and thickness of the first protrusion being greater than the width and thickness of the second protrusion Array substrate.
제8항에 있어서,
상기 오버코트층은 제3 화소영역에 대응하여 제3 돌출부를 갖고, 상기 제3 돌출부의 폭과 두께는 상기 제1 돌출부의 폭과 두께보다 큰 어레이 기판.
9. The method of claim 8,
Wherein the overcoat layer has a third protrusion corresponding to the third pixel region, and the width and the thickness of the third protrusion are larger than the width and thickness of the first protrusion.
제9항에 따른 어레이 기판과;
상기 어레이 기판과 이격되는 대향 기판과;
상기 어레이 기판과 상기 대향 기판 사이의 액정층
을 포함하고,
상기 대향 기판은 상기 제3 돌출부 또는 상기 제3 돌출부 상의 막과 접촉하는 액정표시장치.
An array substrate according to claim 9;
An opposing substrate spaced apart from the array substrate;
The liquid crystal layer between the array substrate and the counter substrate
/ RTI >
And the counter substrate is in contact with the film on the third projection or the third projection.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 어레이 기판과;
상기 어레이 기판과 이격되는 대향 기판과;
상기 어레이 기판과 상기 대향 기판 사이의 액정층과;
상기 대향 기판의 내면에 위치하고 두께가 다른 제1 및 제2 컬럼 스페이서
를 포함하고,
상기 제1 컬럼 스페이서는 상기 제1 돌출부 또는 상기 제1 돌출부 상의 막과 접촉하는 액정표시장치.
An array substrate according to any one of claims 1 to 8;
An opposing substrate spaced apart from the array substrate;
A liquid crystal layer between the array substrate and the counter substrate;
The first and second column spacers, which are located on the inner surface of the counter substrate and have different thicknesses,
Lt; / RTI >
Wherein the first column spacer is in contact with the film on the first projection or the first projection.
기판 상에 이격된 게이트 배선 및 공통 배선을 형성하는 단계와;
상기 게이트 배선과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 배선을 형성하는 단계와;
상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선에 연결된 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와;
상기 박막 트랜지스터를 덮는 보호층을 형성하는 단계와;
상기 보호층 상부의 상기 화소영역에 컬러필터층을 형성하는 단계와;
상기 공통 배선에 대응하여 상기 보호층 상부에 차광층을 형성하는 단계와;
상기 컬러필터층 및 상기 차광층 상부에 오버코트층을 형성하는 단계와;
상기 오버코트층 상부의 상기 화소영역에 화소전극 및 공통전극을 형성하는 단계
를 포함하고,
상기 오버코트층을 형성하는 단계는, 상기 공통 배선에 대응하여 내부에 홀을 가지는 제1 돌출부를 형성하는 단계를 포함하는 어레이 기판의 제조 방법.
Forming a gate wiring and a common wiring on the substrate;
Forming a data line crossing the gate line and defining a pixel region;
Forming a thin film transistor connected to the gate wiring and the data wiring;
Forming a protective layer covering the thin film transistor;
Forming a color filter layer on the pixel region above the protective layer;
Forming a light-shielding layer on the protective layer corresponding to the common wiring;
Forming an overcoat layer on the color filter layer and the light blocking layer;
Forming a pixel electrode and a common electrode in the pixel region above the overcoat layer
Lt; / RTI >
Wherein forming the overcoat layer includes forming a first protrusion having a hole therein corresponding to the common wiring.
제12항에 있어서,
상기 오버코트층을 형성하는 단계는,
감광성 유기막을 형성하는 단계와;
상기 감광성 유기막 상부에 차단부와 투과부 및 반투과부를 포함하는 노광 마스크를 배치하는 단계와;
상기 노광 마스크를 통해 상기 감광성 유기막을 노광하는 단계와;
노광된 상기 감광성 유기막을 현상하고 경화하는 단계
를 포함하고,
상기 제1 돌출부는 상기 투과부에 대응하는 어레이 기판의 제조 방법.
13. The method of claim 12,
Wherein forming the overcoat layer comprises:
Forming a photosensitive organic film;
Disposing an exposure mask including blocking portions, transmissive portions and transflective portions on the photosensitive organic film;
Exposing the photosensitive organic film through the exposure mask;
Developing and curing the exposed photosensitive organic film
Lt; / RTI >
Wherein the first protrusion corresponds to the transmissive portion.
제13항에 있어서,
상기 오버코트층을 형성하는 단계는, 제1 화소영역에 대응하여 상기 제1 돌출부를 형성하는 단계와, 제2 화소영역에 대응하여 제2 돌출부를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 돌출부의 폭과 두께는 상기 제2 돌출부의 폭과 두께보다 큰 어레이 기판의 제조 방법.
14. The method of claim 13,
Forming the overcoat layer includes forming the first protrusion corresponding to the first pixel region and forming a second protrusion corresponding to the second pixel region, wherein the width of the first protrusion And the thickness is larger than the width and the thickness of the second projecting portion.
제14항에 있어서,
상기 제1 돌출부에 대응하는 상기 노광 마스크의 투과부의 폭은 상기 제2 돌출부에 대응하는 상기 노광 마스크의 투과부의 폭보다 큰 어레이 기판의 제조 방법.
15. The method of claim 14,
Wherein the width of the transmissive portion of the exposure mask corresponding to the first projecting portion is larger than the width of the transmissive portion of the exposure mask corresponding to the second projecting portion.
제14항에 있어서,
상기 오버코트층을 형성하는 단계는, 제3 화소영역에 대응하여 제3 돌출부를 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 제3 돌출부의 폭과 두께는 상기 제1 돌출부의 폭과 두께보다 큰 어레이 기판의 제조 방법.
15. The method of claim 14,
Wherein the step of forming the overcoat layer further includes the step of forming a third protrusion corresponding to the third pixel region, wherein the width and thickness of the third protrusion are larger than the width and thickness of the first protrusion, Gt;
제16항에 있어서,
상기 제3 돌출부에 대응하는 상기 노광 마스크의 투과부의 폭은 상기 제1 돌출부에 대응하는 상기 노광 마스크의 투과부의 폭보다 큰 어레이 기판의 제조 방법.
17. The method of claim 16,
Wherein the width of the transmissive portion of the exposure mask corresponding to the third projecting portion is larger than the width of the transmissive portion of the exposure mask corresponding to the first projecting portion.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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CN112335053A (en) * 2018-07-10 2021-02-05 三星显示有限公司 display screen

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN112335053A (en) * 2018-07-10 2021-02-05 三星显示有限公司 display screen
CN112335053B (en) * 2018-07-10 2024-04-12 三星显示有限公司 display screen
CN111694464A (en) * 2020-06-19 2020-09-22 京东方科技集团股份有限公司 Array substrate, preparation method thereof and display device
US20230027406A1 (en) * 2020-06-19 2023-01-26 Boe Technology Group Co., Ltd. Array substrate and method of manufacturing the same, and display apparatus
US11901367B2 (en) * 2020-06-19 2024-02-13 Boe Technology Group Co., Ltd. Array substrate and method of manufacturing the same, and display apparatus
CN111694464B (en) * 2020-06-19 2024-04-19 京东方科技集团股份有限公司 Array substrate, preparation method thereof and display device

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