KR20170058182A - 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치는 전기 전도성 잉크가 인쇄된 기판에 광을 조사하여 상기 기판에 인쇄된 상기 전기 전도성 잉크를 소결하는 광 출력부 및 상기 광 출력부의 하부에 상기 광 출력부와 대응되는 위치로 상기 기판을 이송시킬 수 있도록 구비되고, 상기 기판에 인쇄된 상기 전기 전도성 잉크를 소결 시 발생하는 연기가 상기 광 출력부에서 조사되는 광의 조사 경로를 차단 또는 억제하지 않도록 소정각도 경사지게 구비되는 기판 이송부를 포함한다.

Description

연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치{Light Sintering Apparatus Having Inclined Feeding Part for Fume Removal}

본 발명은 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 광 출력부에서 조사되는 광을 이용하여 기판에 인쇄된 전기 전도성 잉크를 인쇄하는 중 잉크의 연소 또는 화학적 반응에 의해 발생하는 연기를 별도의 제거장치를 사용하지 않고, 고온의 연기가 상승하는 원리를 이용하여 기판을 이송하는 기판 이송부를 경사지게 함으로써 연기가 광 출력부에서 조사되는 광의 조사를 차단 또는 억제하는 것을 방지할 수 있는 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치에 관한 것이다.

인쇄기술이라 함은 잉크를 사용하여 판면에 그려져 있는 글이나 그림 따위를 종이, 천 따위에 박아내는 기술로서, 최근에는 잉크젯 프린팅, 플렉소 프린팅, 그라뷰어 프린팅 및 스크린 프린팅과 같은 다양한 기술이 사용되고 있다. 이러한 기술은 RFID 시스템, 대면적의 디스플레이 장치, 박판형 태양전지, 박판형 배터리 등과 같은 고부가 가치 상품에 적용되므로, 기술의 수요가 점차 증가하고 있다.

특히, 잉크젯을 통한 다이렉트 패터닝 기술(Direct Patterning Technology)은 잉크젯 헤드를 통해 정량의 잉크를 정확한 위치에 직접 토출시켜 배선을 형성하는 기술이다. 이러한 기술은 재료비 절감뿐만 아니라 제조공정 및 시간을 단축할 수 있는 장점이 있다. 현재, 다이렉트 패터닝을 위한 도전성 금속 잉크로는 금, 은 또는 구리 중 적어도 어느 하나를 사용하는 나노 잉크를 사용한다. 잉크젯 프린팅에서 핵심기술은 전도성 잉크의 소결 방법인데 현재까지는 주로 다양한 입자들을 소결하기 위하여 고온의 열소결 공정이 사용되어 왔다. 열소결 공정은 금속 나노 입자를 소결시키기 위하여 비활성 기체 상태에서 약 200 내지 350의 온도로 가열하는 방식이며, 이 밖에도 상온 및 대기압 상태에서의 소결이 가능한 레이저 소결법이 많이 사용되고 있다.

그러나 최근 플랙시블 저온 폴리머 또는 종이 위에 전자 패턴을 제작하려는 시도가 이루어지면서 고온 소결 방법은 인쇄 전자 산업 및 기술에 있어서 적용이 어려운 문제점이 있다. 또한, 구리는 열화학적 평형에 의하여 그 표면에 산화층이 형성되어 있어 소결이 매우 어렵고 소결 후에도 전도성이 감소하는 것으로 알려져 있다.

또한, 레이저 소결법은 극소면적에 대한 소결만이 가능하여 실용성이 떨어지는 문제점이 있다.

이러한 문제점들을 해결하기 위하여 광 소결방법을 이용한 소결법의 사용이 증대되고 있다. 광 소결방법은 백색광 등의 광을 조사하는 광 출력부를 이용하여 단펄스의 광을 조사하여 기판에 인쇄된 전기 전도성 잉크를 소결시키는 방법이다.

도 1은 일반적인 광 소결 상태를 나타내는 단면도이다. 하지만, 광 소결방법을 포함하는 전술한 소결 방법들은 대부분 고온의 열 또는 광을 기판에 조사하여 기판에 인쇄된 전기 전도성 잉크를 소결하는 방법으로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 광 출력부(100)를 이용한 기판(300)에 인쇄된 전기 전도성 잉크의 소결 시 잉크의 연소 또는 화학적 반응에 의해 연기가 발생하게 된다.

이처럼 연기가 발생하게 되면, 연기는 상부로 상승하게 되어 광 출력부(100)에서 조사되는 광의 경로를 막아 광을 차단하거나, 광을 난반사 시킴으로써 광 출력부(100)에서 조사되는 광이 기판(300)으로 원활하게 조사되지 않아 광 효율이 저하되는 문제점이 있다.

본 발명은 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로서, 광 출력부에서 조사되는 광을 이용하여 기판에 인쇄된 전기 전도성 잉크를 인쇄하는 중 잉크의 연소 또는 화학적 반응에 의해 발생하는 연기를 별도의 제거장치를 사용하지 않고, 고온의 연기가 상승하는 원리를 이용하여 기판을 이송하는 기판 이송부를 경사지게 함으로써 연기가 광 출력부에서 조사되는 광의 조사를 차단 또는 억제하는 것을 방지할 수 있는 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치는 전기 전도성 잉크가 인쇄된 기판에 광을 조사하여 상기 기판에 인쇄된 상기 전기 전도성 잉크를 소결하는 광 출력부 및 상기 광 출력부의 하부에 상기 광 출력부와 대응되는 위치로 상기 기판을 이송시킬 수 있도록 구비되고, 상기 기판에 인쇄된 상기 전기 전도성 잉크를 소결 시 발생하는 연기가 상기 광 출력부에서 조사되는 광의 조사 경로를 차단 또는 억제하지 않도록 소정각도 경사지게 구비되는 기판 이송부를 포함한다.

이때, 상기 기판 이송부는 경사 각도가 조절 가능하게 구비될 수 있다.

또한, 상기 광 출력부는 상기 기판 이송부의 경사 각도에 따라 변경되는 광의 조사 각도를 조절하기 위하여 회전 또는 위치 변경이 가능하게 구비될 수 있다.

또한, 상기 기판 이송부에는 상기 기판을 안정적으로 고정하고, 상기 광 출력부를 통한 소결 시 발생하는 상기 기판의 구겨짐을 방지하기 위하여 상기 기판과 대면하는 일면에 기판 고정부재가 더 구비될 수 있다.

또한, 상기 기판 고정부재는 상기 기판과 대면하는 일면이 점착성을 갖는 점착패드일 수 있다.

또한, 상기 기판 고정부재는 상기 기판 이송부의 일측에 부분적으로 구비될 수 있다.

또한, 상기 기판 고정부재는 상기 기판과 대면하는 일면에 흡착홀이 형성된 흡착장치일 수 있다.

본 발명의 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치는 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 기판에 인쇄된 전기 전도성 잉크의 소결 시 발생하는 연기를 고온의 연기가 상승하는 원리를 이용하여 별도의 장치를 사용하지 않고, 기판 이송부를 경사지게 형성함으로써 연기의 상승 경로와 광 출력부에서 조사되는 광의 조사경로가 일치 되지 않도록 할 수 있는 효과가 있다.

둘째, 경사진 기판 이송부를 통해 연기가 광 출력부에서 조사되는 광의 경로와 어긋남에 따라, 연기로 인한 광의 조사 경로 변환, 광 투과율 저하 등과 같은 광 효율 저하 요인을 감소하여 원활한 기판의 소결이 가능한 효과가 있다.

셋째, 경사진 기판 이송부에 안착되는 기판을 기판 고정부재를 통해 안정적으로 이송할 수 있는 효과가 있다.

넷째, 기판 고정부재는 점착 또는 흡착 등의 방법을 통해 기판을 고정함으로써 광 소결 시 기판에 조사되는 광 또는 광에 의한 발열에 의해 기판의 구겨짐과 같은 손상이 발생하는 것을 억제 및 방지할 수 있는 효과가 있다.

본 발명의 효과들은 상기 언급한 효과에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 명세서에서 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일반적인 광 소결 상태를 나타내는 단면도;
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치의 단면도;
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치의 사용양태를 나타내는 단면도;
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치의 단면도;
도 5는 본 발명의 제2실시예의 변형예에 따른 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치의 단면도; 및
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 이송부 및 기판 고정부재의 사시도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

제1실시예

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치의 단면도이다. 본 발명의 제1실시예에 따른 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치(10)는 크게 광 출력부(100) 및 기판 이송부(200)로 구성된다.

광 출력부(100)는 도 2에 도시된 바와 같이, PI필름(Polyimide Film) 등의 기판(300) 상에 패터닝된 미세금속입자 또는 전구체와 같은 전기 전도성 잉크를 소결하기 위한 광을 조사하기 위한 장치이다. 이러한 광 출력부(100)는 램프 유닛(110)을 포함하며, 사용양태에 따라서는 반사판(120) 및 광파장 필터(130)를 더 포함하여 구성될 수 있다.

램프 유닛(110)은 기판(300)에 패터닝된 전기 전도성 잉크를 소결하기 위한 광을 조사하는 장치이다. 이러한 램프 유닛(110)은 전기 전도성 잉크를 소결할 수 있는 광을 조사하는 장치라면 어떠한 장치를 사용하여도 무방하지만, 바람직하게는 제논 플래시 램프(Xenon Flash Lamp)를 사용하는 것이 좋으며, 백색광을 면 형태로 조사하는 것이 바람직하다. 제논 플래시 램프는 실린더 형상의 밀봉된 석영 석영튜브 안에 주입된 제논가스를 포함하는 구성으로 이루어진다. 제논가스는 입력 받은 전기에너지로부터 광 에너지를 출력하여, 50%가 넘는 에너지 변환율을 갖는다. 또한, 제논 플래시 램프는 내부 양쪽에 양극 및 음극 형성을 위해 텅스텐과 같은 금속전극이 형성된다. 이러한 구성으로 이루어진 램프 유닛(110)에 후술하는 높은 전원 및 전류를 인가 받으면, 내부에 주입된 제논가스가 이온화되고, 양극과 음극 사이로 스파크가 발생된다. 이때, 축전부에서 집적된 전하가 인가되면 램프 유닛(110) 내부에서 발생한 스파크를 통해 약 1000Adml 전류가 1ms 내지 10ms 동안 전류가 흐르면서 램프 유닛(110) 내부에는 아크 플라즈마 형상이 발생하고, 강한 세기의 광이 발생된다. 여기서 발생된 광은 160nm 내지 2.5mm 사이의 자외선부터 적외선까지의 넓은 파장대역의 광 스펙트럼을 내장하고 있기 때문에 백색광으로 보인다. 본 발명에서는 일실시예로서, 제논 플래시 램프를 기재하였지만, 이러한 목적을 달성할 수 있는 램프 유닛(110)이라면 어떠한 종류를 사용하더라도 무방하다.

반사판(120)은 도 2에 도시된 바와 같이, 램프 유닛(110)의 상부에 구비되어 램프 유닛(110)으로부터 상부로 조사되는 광을 반사시켜 하부 방향으로 출력하도록 하는 장치이다.

광파장 필터(130)는 도 2에 도시된 바와 같이, 램프 유닛(110)의 하부에 구비되어 기 설정된 파장대역을 갖는 극단파 백색광만을 필터링한다. 특히, 제논 플래시 램프를 사용하는 램프 유닛(110)에서 조사되는 자외선광이 폴리머 재질로 이루어진 기판(300)을 손상시킬 수 있기 때문에 자외선 대역의 광을 차단하여야 하며, 기판(300)의 종류에 따라 조사되는 광의 파장대역을 선택적으로 차단한다.

기판 이송부(200)는 적어도 하나 이상의 기판(300)을 일방 또는 양방으로 이송하는 장치이다. 이러한 기판 이송부(200)는 광 출력부(100)의 하부를 통과하도록 배치되며, 기판 이송부(200)의 폭은 기판(300) 및 광 출력부(100)의 폭과 대응되도록 구비되고, 길이는 안착되는 기판(300)의 개수 및 기판(300) 이송 거리 등을 고려하여 선택적으로 결정될 수 있다. 이처럼, 기판 이송부(200)는 기판(300)을 광 출력부(100)를 통과하며 기판(300)에 인쇄된 전기 전도성 잉크를 소결할 수 있도록 이송하는 장치라면 어떠한 장치를 사용하여도 무방하지만, 바람직하게는 컨베이어벨트, 복수의 롤러로 구성된 롤러 이송부 또는 상호 이격된 롤러를 벨트 등으로 감싸도록 구비되는 이송부 등을 사용하는 것이 좋다.

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치의 사용양태를 나타내는 단면도이다. 전술한 구성으로 이루어지는 기판 이송부(200)는 도 3에 도시된 바와 같이, 광 소결 시 전기 전도성 잉크의 연소 또는 화학적 반응으로 인해 발생하는 연기(F)가 광의 조사 경로 상에 잔류하여 광의 조사효율을 감소하는 것을 방지하기 위하여 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 수평면과 비교하여 소정각도 경사지게 구비된다. 여기서, 기판 이송부(200)의 경사 각도는 기판(300) 소결 시 발생하는 연기(F)의 양, 기판(300)의 크기 및 작업 환경 등을 고려하여 기판(300) 소결 시 발생하는 연기(F)가 광의 조사 경로에 잔류 시간이 최소화될 수 있는 각도를 선택적으로 결정할 수 있다.

이때, 기판 이송부(200)는 사용양태에 따라서 그 경사 각도를 조절할 수 있도록 구비될 수 있다. 일예로, 기판 이송부(200)의 일측에 유압 실린더와 같은 리니어 액추에이터가 연결되고, 리니어 액추에이터의 구동을 통해 기판 이송부(200)의 경사 각도를 조절할 수 있다. 일실시예로 리니어 액추에이터를 이용하여 기판 이송부(200)의 경사 각도를 조절하도록 설명하고 있으나, 기판 이송부(200)의 경사각도를 조절할 수 있는 장치 또는 방법이라면 어떠한 장치 및 방법을 이용하여도 무방하다.

이와 같이, 기판 이송부(200)의 각도가 변경되면 광 출력부(100)에서 기판 이송부(200)로 조사되는 광의 조사 각도가 변경되어 광의 효율이 저하될 수 있기 때문에, 광 출력부(100) 역시 회전 또는 위치 변경이 가능하게 구비되는 것이 좋다. 기판 이송부(200)와 광 출력부(100)가 일체로 이루어지는 경우에는 기판 이송부(200)의 경사 각도 변화와 무관하게 광 출력부(100)의 조사 각도 등이 변화하지 않지만, 각각 별도로 구성되는 경우에는 기판 이송부(200)의 경사 각도에 따라 광 출력부(100)에서 조사되는 광의 조사 각도가 변경됨에 따라 광 출력부(100)가 회전 또는 위치가 변경되는 것이 좋다. 이때, 광 출력부(100)의 회전 또는 위치 변경을 위한 구성은 한정적인 것이 아니며, 기판 이송부(200)의 경사 각도에 따라 광 조사 효율을 극대화 시킬 수 있는 각도 및 위치로 광 출력부(100)의 각도 및 위치를 변경할 수 있는 장치 및 방법이라면 어떠한 장치 및 방법을 사용하여도 무방하다.

도 3에 도시된 바와 같이, 광 출력부(100)에 의해 소결 시 발생하는 연기(F)는 대기 중의 공기보다 고온이기 때문에 상부로 상승하게 된다. 이때, 광 출력부(100)는 기판(300)이 경화되는 위치에서 중력방향을 기준으로 소정 각도 기울어진 위치에 구비되기 때문에 광의 조사경로상에 잔류 및 유동하는 연기(F)가 최소화 됨에 따라 광 출력부(100)에서 조사되는 광은 연기(F)의 영향을 거의 받지 않는다. 이로 인해, 연기(F)를 제거하기 위한 별도의 장치를 사용하거나, 작업자가 일정 주기로 바람을 불어주지 않더라도 광 출력부(100)에서 조사되는 광 효율을 극대화하여 기판(300)의 소결 효율을 극대화할 수 있다.

제2실시예

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치의 단면도이다. 본 발명의 제2실시예에 따른 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치(10)는 도 4에 도시된 바와 같이, 전체적으로 전술한 제1실시예와 유사한 구성으로 이루어진다. 하지만, 기판 이송부(200)의 일측에 기판(300)을 안정적으로 고정하고, 기판(300)의 변형과 같은 손상을 억제하기 위한 기판 고정부재(210)가 더 구비된다. 본 실시예에서는 전술한 제1실시예와 차이가 있는 기판 고정부재(210)를 중심으로 설명하기로 한다.

기판 고정부재(210)는 기판 이송부(200)의 적어도 일부를 감싸도록 구비되어 기판(300)을 점착 또는 흡착하여 경사진 기판 이송부(200)로 이송되는 기판(300)의 미끄러짐 등과 같이 임의로 위치가 변경되는 것을 방지하고, 기판(300)의 구겨짐 또는 휨 등의 변형을 억제할 수 있는 장치이다. 이와 같이, 기판 고정부재(210)는 기판(300)의 임의의 위치 변경 또는 변형 등의 손상을 억제 및 방지할 수 있는 것이라면 어떠한 장치를 사용하여도 무방하지만, 바람직하게는 기판(300)과 대면하는 일면이 점착성을 갖는 점착패드를 사용하는 것이 좋다.

이와 같이, 점착패드로 구성된 기판 고정부재(210)는 도 4에 도시된 바와 같이, 컨베이어벨트 등과 같은 기판 이송부(200)의 전면적을 감싸도록 구비되거나, 기판 이송부(200)를 구성하는 벨트 등을 대체하여 구비될 수 있다.

전술한 구성으로 이루어진 기판 고정부재(210)는 기판 이송부(200)의 구동을 통해 기판(300)이 점착되어 고정된 상태로 기판 이송부(200)의 구동방향에 따라 기판(300)을 이송시킨다. 이처럼 기판 고정부재(210)를 통해 기판(300)은 점착된 상태로 경사진 기판 이송부(200)를 따라 이송되더라도 미끄러짐 등과 같은 위치 변경 및 틀어짐과 같은 위치 변형이 발생되지 않고 안정적으로 이송될 수 있다.

또한, 광 출력부(100)를 통한 소결 시 발생하는 발열 등에 의해 기판(300)이 뜨거나, 휘어지거나, 구겨지는 등의 손상 또는 변형이 발생하는 것을 기판 고정부재(210)의 점착력에 의해 기판(300)의 전면을 점착하여 고정하고 있기 때문에 기판(300)의 손상 또는 변형이 발생하는 것을 억제 또는 방지할 수 있다.

(변형예)

도 5는 본 발명의 제2실시예의 변형예에 따른 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치의 단면도이다. 제2실시예에 따른 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치(10)는 도 5에 도시된 바와 같이, 기판 고정부재(210)가 기판 이송부(200)를 전체적으로 감싸지 않고, 기판(300)의 크기와 대응되는 크기로 복수 구비될 수 있다.

이때, 기판 고정부재(210)의 면적은 기판(300)의 면적과 동일하거나, 상대적으로 크게 형성될 수 있다. 또한, 상호 인접한 기판 고정부재(210)와의 이격거리는 연속적으로 공급되는 기판(300)의 공급속도 등을 고려하여 그와 대응되도록 조절할 수 있다.

제3실시예

도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 이송부 및 기판 고정부재의 사시도이다. 본 발명의 제3실시예에 따른 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치(10)는 전술한 실시예들과 유사한 구성으로 이루어진다. 하지만, 도 6에 도시된 바와 같이, 기판 이송부(200) 및 기판 고정부재(210)의 구성이 변형됨에 따라 이를 중심으로 설명하기로 한다.

기판 고정부재(210)는 전술한 실시예들과 달리 진공흡착을 이용하여 기판(300)을 흡착하여 고정시킬 수 있도록 기판(300)과 대면하는 일면에 복수의 흡착홀이 형성된 흡착장치로 구성될 수 있다. 이러한 흡착장치는 진공 흡착을 이용하여 기판(300)을 흡착하여 기판(300)을 고정하고, 기판(300)의 변형을 억제 및 방지할 수 있는 장치라면 어떠한 장치를 사용하여도 무방하다. 이때, 기판 고정부재(210)는 적어도 하나 이상의 기판(300)이 안착될 수 있도록, 기판(300)의 면적과 대응되거나, 상대적으로 크게 형성되는 것이 좋다.

기판 이송부(200)는 기판(300)이 광 출력부(100)를 통과하여 이동할 수 있도록 흡착장치로 이루어진 기판 고정부재(210)를 일방 또는 양방으로 이송시킬 수 있는 장치라면 어떠한 구성으로 이루어져도 무방하다. 바람직하게는 도 6에 도시된 바와 같이, 유압 또는 공압 실린더 등을 이용하여 기판 고정부재(210)를 슬라이딩 이동을 통해 구동시킬 수 있는 기판 이송부(200)를 사용하는 것이 좋다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술한 실시예들은 모든 면에 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

10 : 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치
100 : 광 출력부
110 : 램프 유닛
120 : 반사판
130 : 광파장 필터
200 : 기판 이송부
210 : 기판 고정부재
300 : 기판
F : 연기

Claims (7)

1. 전기 전도성 잉크가 인쇄된 기판에 광을 조사하여 상기 기판에 인쇄된 상기 전기 전도성 잉크를 소결하는 광 출력부; 및
   상기 광 출력부의 하부에 상기 광 출력부와 대응되는 위치로 상기 기판을 이송시킬 수 있도록 구비되고, 상기 기판에 인쇄된 상기 전기 전도성 잉크를 소결 시 발생하는 연기가 상기 광 출력부에서 조사되는 광의 조사 경로를 차단 또는 억제하지 않도록 소정각도 경사지게 구비되는 기판 이송부;
   를 포함하는 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 기판 이송부는 경사 각도가 조절 가능하게 구비되는 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치.
3. 제 2항에 있어서,
   상기 광 출력부는 상기 기판 이송부의 경사 각도에 따라 변경되는 광의 조사 각도를 조절하기 위하여 회전 또는 위치 변경이 가능하게 구비되는 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 기판 이송부에는 상기 기판을 안정적으로 고정하고, 상기 광 출력부를 통한 소결 시 발생하는 상기 기판의 구겨짐을 방지하기 위하여 상기 기판과 대면하는 일면에 기판 고정부재가 더 구비되는 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 기판 고정부재는 상기 기판과 대면하는 일면이 점착성을 갖는 점착패드인 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 기판 고정부재는 상기 기판 이송부의 일측에 부분적으로 구비되는 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치.
7. 제4항에 있어서,
   상기 기판 고정부재는 상기 기판과 대면하는 일면에 흡착홀이 형성된 흡착장치인 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치.

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