KR20170045963A - 센서 및 상기 센서의 제조방법 - Google Patents
센서 및 상기 센서의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명의 센서의 제조방법은, 안테나 패턴, 센싱 전극 및 회로 배선을 갖는 전도성 레이어를 기판의 일면에 단층으로 인쇄하는 단계; 상기 전도성 레이어를 열건조하는 단계; 상기 회로 배선의 일부를 덮는 회로 절연층과 상기 안테나 패턴의 일부를 덮는 안테나 절연층을 단층으로 인쇄하는 단계; 상기 절연층을 경화하는 단계; 상기 안테나 절연층 위에 안테나 브릿지를 인쇄하는 단계; 상기 안테나 브릿지를 열건조하는 단계; 및 상기 회로 배선과 전기적으로 연결되는 소자를 상기 기판에 본딩하는 단계를 포함한다.
Description
도 2는 본 발명의 센서를 보인 분해 사시도다.
도 3은 도 1의 라인 A-A를 따라 바라본 단면도다.
도 4는 외부 기기와 센서의 상호 연계된 작동을 보인 개념도다.
도 5는 센서를 이용하여 측정 대상 물질의 상태를 측정하는 방법을 보인 흐름도다.
도 6은 대량 생산에 유리한 회로 배선, 센싱 전극 및 회로 절연층의 구조를 보인 개념도다.
도 7과 도 8은 센싱 전극의 구조와 분해능과의 관계를 실험적으로 보인 그래프다.
도 9는 센서의 제조방법을 보인 흐름도다.
도 10a 내지 도 10d는 도 9의 제조방법에 따른 센서의 제조 과정을 부분적으로 보인 개념도다.
패턴 | 길이(㎛) | 폭(㎛) | 간격(㎛) |
2 | 500 | 100 | 200 |
3 | 500 | 100 | 300 |
5 | 500 | 200 | 200 |
6 | 500 | 200 | 300 |
11 | 1,000 | 100 | 200 |
12 | 1,000 | 100 | 300 |
14 | 1,000 | 200 | 200 |
15 | 1,000 | 200 | 300 |
32 | 1,250 | 100 | 900 |
33 | 1,600 | 100 | 900 |
Claims (20)
- 기판;
기판의 일면에 단층으로 형성되는 전도성 레이어; 및
상기 전도성 레이어는,
외부 기기와 무선 신호를 송수신하도록 형성되는 안테나 패턴;
상기 안테나 패턴을 통해 무선 신호가 수신되면 구동되며, 센싱 대상 물질과 접촉하여 임피던스 변화를 일으키도록 이루어지는 센싱 전극; 및
상기 안테나 패턴과 상기 센싱 전극을 전기적으로 연결하는 회로 배선을 포함하고,
상기 안테나 패턴, 상기 센싱 전극 및 상기 회로 배선은 동일한 소재로 이루어지며, 동일한 레이어를 형성하는 것을 특징으로 하는 센서. - 제1항에 있어서,
상기 센서는 상기 안테나 패턴을 통해 수신된 무선 신호로부터 직류 전원을 생성하여 구동되고, 상기 센싱 전극의 측정에 의해 발생된 신호를 상기 외부 기기로 송신하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 센서. - 제1항에 있어서,
상기 센서는,
상기 안테나 패턴을 통해 수신되는 무선 신호를 이용하여 직류 전원을 생성하도록 이루어지는 전원생성부;
상기 직류 전원을 공급받아 구동되고, 상기 센싱 전극에 교류 전압을 입력하도록 이루어지는 제어부;
상기 센싱 전극의 임피던스 변화에 근거하여 나타나는 상기 교류 전압의 변화를 디지털 신호로 변환하는 변환부; 및
상기 안테나 패턴을 통해 상기 외부 기기로 상기 디지털 신호를 송신하는 통신부를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서. - 제1항에 있어서,
상기 센서는,
상기 센싱 전극을 노출시키는 윈도우을 구비하고, 상기 회로 배선의 적어도 일부를 덮도록 배치되는 회로 절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서. - 제4항에 있어서,
상기 센싱 전극은 길이 방향으로 제1단부와 제2단부를 구비하며,
상기 회로 절연층은 상기 제1단부와 상기 제2단부를 덮고, 상기 윈도우는 상기 제1단부와 상기 제2단부 사이의 영역을 노출시키도록 형성되는 것을 특징으로 하는 센서. - 제4항에 있어서,
상기 센싱 전극은 400㎛ 이상의 길이를 갖고,
상기 윈도우를 통해 노출되는 상기 센싱 전극의 노출 길이는 300~2,000㎛인 것을 특징으로 하는 센서. - 제4항에 있어서,
상기 회로 절연층은 800㎚~30㎛의 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 센서. - 제4항에 있어서,
상기 회로 절연층은 상기 기판보다 큰 표면에너지를 갖는 것을 특징으로 하는 센서. - 제4항에 있어서,
상기 센서는,
상기 안테나 패턴의 어느 일부를 덮도록 배치되고, 상기 어느 일부를 가로지르는 방향으로 연장되는 안테나 절연층; 및
상기 안테나 절연층 위에 배치되고, 상기 안테나 패턴의 두 부분을 서로 연결하거나 상기 안테나 패턴과 상기 회로 배선을 서로 연결하는 안테나 브릿지를 포함하며,
상기 회로 절연층과 상기 안테나 절연층은 동일한 소재로 이루어지고, 상기 전도성 레이어 위에 동일한 레이어를 형성하는 것을 특징으로 하는 센서. - 제1항에 있어서,
상기 센싱 전극은 50~1,000㎛의 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 센서. - 제1항에 있어서,
상기 센싱 전극은 제1전극과 제2전극을 포함하고,
상기 제1전극과 제2전극 사이의 간격은 50~3,000㎛인 것을 특징으로 하는 센서. - 제1항에 있어서,
상기 센싱 전극의 높이는 700㎚~15㎛인 것을 특징으로 하는 센서. - 제1항에 있어서,
상기 전도성 레이어는,
은(Ag), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al) 중 적어도 하나로 이루어지며, 구형 또는 플레이크(flake)의 형상을 갖는 고체 입자; 및
폴리에틸렌 옥사이드(polyethylene oxide, PEO) 계열, 올레산(oleic acid) 계열, 아크릴레이트(acrylate) 계열, 아세테이트(acetate) 계열 및 에폭시(epoxy) 계열로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나의 유기물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 센서. - 제1항에 있어서,
상기 센서의 측정 전압은 상기 전도성 레이어의 부식을 억제하도록 0.1~4V로 설정되는 것을 특징으로 하는 센서. - 제1항에 있어서,
상기 전도성 레이어는 기공을 갖는 것을 특징으로 하는 센서. - 제1항에 있어서,
상기 센싱 전극과 상기 기판은 예각의 접촉각을 형성하는 것을 특징으로 하는 센서. - 제1항에 있어서,
상기 기판은,
연성을 갖는 플라스틱 레이어; 및
상기 플라스틱 레이어와 상기 전도성 레이어 사이에 형성되는 실리카 레이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서. - 제1항에 있어서,
상기 안테나 패턴은 500~1,500㎛의 선폭을 갖는 2차원 나선의 형태로 연장되고,
상기 2차원 나선을 형성하는 라인들 간의 간격은 300~700㎛인 것을 특징으로 하는 센서. - 안테나 패턴, 센싱 전극 및 회로 배선을 갖는 전도성 레이어를 기판의 일면에 단층으로 인쇄하는 단계;
상기 전도성 레이어를 열건조하는 단계;
상기 회로 배선의 일부를 덮는 회로 절연층과 상기 안테나 패턴의 일부를 덮는 안테나 절연층을 단층으로 인쇄하는 단계;
상기 절연층을 경화하는 단계;
상기 안테나 절연층 위에 안테나 브릿지를 인쇄하는 단계;
상기 안테나 브릿지를 열건조하는 단계; 및
상기 회로 배선과 전기적으로 연결되는 소자를 상기 기판에 본딩하는 단계를 포함하는 센서의 제조방법. - 제19항에 있어서,
상기 전도성 레이어는 분말 잉크 또는 페이스트를 인쇄하여 형성되고,
상기 분말 잉크 또는 페이스트의 조성은,
은(Ag), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al) 중 적어도 하나로 이루어지며, 구형 또는 플레이크(flake)의 형상을 갖는 고체 입자 40~70 중량%; 및
용매를 포함하며, 폴리에틸렌 옥사이드(polyethylene oxide, PEO) 계열, 올레산(oleic acid) 계열, 아크릴레이트(acrylate) 계열, 아세테이트(acetate) 계열 및 에폭시(epoxy) 계열로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나의 유기물 30~60 중량%로 이루어지고,
상기 용매는 아세톤(acetone), 알릴알코올(allyl alcohol), 아세트산(acetic acid), 아세톨(acetol), 메틸알코올(methylalcohol) 및 벤젠(Benzene)으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서의 제조방법.
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